JPH09210790A - 色むら検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、カラーカメラの特性の影響によるシ
ェーディング分を除去して、正確かつ信頼性の高い色む
ら検査を行う。 【解決手段】液晶ディスプレイ用のガラス基板１に対す
るカラーカメラ３を撮像変更部２６の制御によって少な
くとも撮像する角度又は位置を変更し、これによりガラ
ス基板１を複数に分割して撮像し、これら撮像により得
られた第１〜第３の分割画像データを画像組合せ部２８
において組合わせてガラス基板１全体のカラー画像デー
タを作成し、このカラー画像データに基づいてガラス基
板１の色むらを検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイのガラス基板や塗装板等の検査対象物の微妙な色
むらを検査する色むら検査装置に係わり、検査対象物を
撮像するときのシェーディング補正を行う色むら検査方
法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０はかかる色むら検査装置の構成図
である。検査対象物として液晶ディスプレイのガラス基
板１が配置され、このガラス板１の斜め上方には、照明
装置２が配置されている。

【０００３】又、照明装置２とは反対側のガラス基板１
の上方には、工業用カラーテレビジョンカメラ（以下、
カラーカメラと省略する）３が配置されている。このカ
ラーカメラ３は、照明装置２により照明されているガラ
ス基板１の検査領域全体を、ガラス板１の斜め上方から
撮像してその映像信号を出力する。この映像信号はディ
ジタル変換されて画像処理部４に入力する。

【０００４】このようにガラス板１の斜め上方から撮像
するのは、ガラス基板１の色むらは見え方が微妙であり
真上からでは色むらを認識することが困難となっている
からである。

【０００５】この画像処理部４は、ディジタル映像信号
を取り込んでカラー画像データとして記憶し、このカラ
ー画像データの濃淡レベルからガラス基板１における色
むら部分を判定する。このガラス基板１における色むら
部分の判定結果は、モニタテレビジョン５に映し出され
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
基板１を斜め上方から撮像してそのカラー画像データを
取得するために、カラーカメラ３の特性の影響を受けて
シェーディング分を含んだ再現性の悪いカラー画像デー
タを得るものとなっている。

【０００７】すなわち、カラーカメラ３は、撮像視野の
中央部ほど最適な明るさで、その周辺部ほど暗くなって
おり、かつ斜め上方からガラス基板１を撮像するために
カラーカメラ３から見てガラス基板１に対して最適な明
るさを得る撮像の角度θに対し、ガラス基板１の向こう
側と手前側とでは撮像する各角度θ´、θ″が大きくず
れてしまう。

【０００８】このため、ガラス基板１全体のカラー画像
データを一度に取得すると、例えば、ガラス基板１のカ
ラー画像データにおいてガラス基板１の向こう側が明か
るく、手前側が暗くなるというシェーディング分を含ん
だカラー画像データとなってしまい、色むらの変化量と
シェーディングによる変化量とからほぼ同一となってし
まい、色むらの良否判定を正確に行うのが困難である。

【０００９】そこで本発明は、カラーカメラの特性の影
響によるシェーディング分を除去して、正確かつ信頼性
の高い色むら検査ができる色むら検査方法を提供するこ
とを目的とする。

【００１０】又、本発明は、カラーカメラの特性の影響
によるシェーディング分を除去して、正確かつ信頼性の
高い色むら検査ができる色むら検査装置を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、検査
対象物を斜め方向から撮像装置により撮像して得られた
画像データに基づいて検査対象の色むらを検査する色む
ら検査方法において、撮像装置の検査対象物に対する少
なくとも撮像する角度又は位置を変更することにより検
査対象物を複数に分割して撮像する第１の工程と、この
第１の工程の撮像により得られた複数の分割画像データ
を組合わせて検査対象物全体の画像データを作成し、こ
の画像データに基づいて検査対象物の色むらを検査する
第２の工程と、を有する色むら検査方法である。

【００１２】請求項２によれば、検査対象物に対して斜
め方向に配置された撮像装置により検査対象物を撮像
し、この撮像により得られた画像データに基づいて検査
対象の色むらを検査する色むら検査装置において、検査
対象物又は撮像装置の少なくとも一方を移動し、撮像装
置による検査対象物の少なくとも撮像する角度又は位置
を変更して検査対象物を複数に分割した複数の分割画像
データを得る撮像変更手段と、この撮像変更手段により
得た複数の分割画像データを組合わせて検査対象物全体
の画像データを作成する画像組合せ手段と、この画像組
合せ手段により作成された検査対象物全体の画像データ
に基づいて検査対象物の色むらを検査する検査手段と、
を備えた色むら検査装置である。

【００１３】このような色むら検査装置であれば、撮像
装置による検査対象物の少なくとも撮像する角度又は位
置を変更して検査対象物を複数に分割した複数の分割画
像データを取得し、これら分割画像データを組合せて検
査対象物全体の画像データを作成する。そして、この検
査対象物全体の画像データに基づいて検査対象物の色む
らを検査する。

【００１４】請求項３によれば、請求項２記載の色むら
検査装置において、撮像変更手段は、検査対象物をＸＹ
θテーブル上に載置し、このＸＹθテーブルを駆動する
ことにより撮像装置の検査対象物に対する少なくとも撮
像する角度又は位置を変更する色むら検査装置である。

【００１５】

【発明の実施の形態】

(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１０と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。本発明の色むら検
査方法は、図１に示すように、検査対象物としての例え
ば液晶ディスプレイ用のガラス基板１を斜め方向からカ
ラーカメラ３により撮像して得られた画像データに基づ
いてガラス基板１の色むらを検査する色むら検査方法に
おいて、カラーカメラ３のガラス基板１に対する少なく
とも撮像する角度又は位置を変更することによりガラス
基板１を複数に分割して撮像する第１の工程と、この第
１の工程の撮像により得られた複数の分割画像データを
組合わせてガラス基板１全体の画像データを作成し、こ
の画像データに基づいてガラス基板１の色むらを検査す
る第２の工程と、を有している。

【００１６】図１はかかる色むら検査方法を適用した色
むら検査装置の構成図である。ＸＹθ移動機構１０は、
液晶ディスプレイ用のガラス基板１を載置し、ＸＹ平面
に移動自在で、かつ回転軸１０ａを中心してθ方向に回
転自在に設けられている。

【００１７】一方、判定処理部２０は、ガラス基板１を
斜め方向からカラーカメラ３により撮像して得られたカ
ラー画像データに基づいてガラス基板１の色むらを検査
する機能を有するもので、主制御部２１が備えられ、こ
の主制御部２１に対して入力部２２、出力部２３、操作
部２４、画像メモリ２５が接続され、かつ主制御部２１
から発せられる指令により撮像変更部２６、移動駆動部
２７、画像組合せ部２８、及び検査部２９が作動する構
成となっている。

【００１８】このうち入力部２２は、カラーカメラ３の
出力端子に対して接続され、このカラーカメラ３から出
力される映像信号をＡ／Ｄ（アナログ／ディジタル）変
換してカラー画像データとして画像メモリ２５に送る機
能を有している。

【００１９】出力部２３には、モニタテレビジョン３０
が接続され、画像メモリ２５に記憶された画像データを
モニタテレビジョン３０に映し出すものとなっている。
操作部２４は、例えばキーボードやマウスである。

【００２０】撮像変更部２６は、移動駆動部２７を駆動
してＸＹθ移動機構１０を移動制御し、カラーカメラ３
によるガラス基板１に対する撮像する角度又は位置を変
更し、ガラス基板１を複数の領域に分割して撮像した複
数の分割画像データを得る機能を有している。

【００２１】又、この撮像変更部２６は、カラーカメラ
３による１度の撮像により得られたカラー画像データの
うち撮像視野のほぼ中央部、例えば図２に示すようにカ
ラー画像データＤの中央帯の画像データＤｃを分割画像
データとして抽出して画像メモリ２５に記憶する機能を
有している。

【００２２】なお、移動駆動部２７は、撮像変更部２６
からの制御指令を受けてＸＹθ移動機構１０をＸＹ平面
及びθ方向に移動駆動する機能を有している。画像組合
せ部２８は、撮像変更部２６の作動により得た複数の分
割画像データを組合わせてガラス基板１の全体のカラー
画像データを作成して画像メモリ２５に記憶する機能を
有している。

【００２３】検査部２９は、画像組合せ部２８により作
成されて画像メモリ２５に記憶されたガラス基板１の全
体のカラー画像データを読み出し、このカラー画像デー
タの濃淡レベルに基づいてガラス基板１の色むらを検査
する機能を有している。

【００２４】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。照明装置２から照明光が放射されると、
この照明光は、ガラス基板１に照射される。

【００２５】カラーカメラ３は、照明光により照明され
たガラス基板１を撮像してその映像信号を出力する。一
方、判定処理装置２０において撮像変更部２６は、ガラ
ス基板１における色むら部分が最もよく見える最適な角
度θとなるように移動駆動部２７に対して移動指令を発
する。

【００２６】この移動駆動部２７は、移動指令を受けて
ＸＹθ移動機構１０を軸１０ａを中心として回転し、カ
ラーカメラ３からガラス基板１における色むら部分が最
もよく見える最適な角度θに設定される。

【００２７】次に撮像変更部２６は、ＸＹθ移動機構１
０を例えばＸ方向に移動制御し、図３に示すようにカラ
ーカメラ３の撮像視野の中心がガラス基板１の向こう側
部分１ａに位置するように設定する。

【００２８】カラーカメラ３は、ガラス基板１の向こう
側部分１ａを視野中心として撮像し、その映像信号を出
力する。この映像信号は、判定処理装置２０の入力部２
２に送られ、ここでディジタル映像信号に変換される。

【００２９】このようにディジタル映像信号が判定処理
装置２０に取り込まれると、撮像変更部２６は、ディジ
タル映像信号から得られるカラー画像データのうち撮像
視野の中央帯の画像データ、すなわち図４に示すように
ガラス基板１の向こう側部分１ａを抽出し、これを第１
の分割画像データＱａとして画像メモリ２５に記憶す
る。

【００３０】次に撮像変更部２６は、ＸＹθ移動機構１
０を再びＸ方向に移動制御し、図３に示すようにカラー
カメラ３の撮像視野の中心がガラス基板１の中央部分１
ｂに位置するように設定する。

【００３１】カラーカメラ３は、ガラス基板１の中央部
分１ｂを視野中心として撮像し、その映像信号を出力す
る。この映像信号は、判定処理装置２０の入力部２２に
送られ、ここでディジタル映像信号に変換される。

【００３２】このようにディジタル映像信号が判定処理
装置２０に取り込まれると、撮像変更部２６は、ディジ
タル映像信号から得られるカラー画像データのうち撮像
視野の中央帯の画像データ、すなわち図４に示すように
ガラス基板１の中央部分１ｂを抽出し、これを第２の分
割画像データＱｂとして画像メモリ２５に記憶する。

【００３３】次に撮像変更部２６は、ＸＹθ移動機構１
０を、さらなＸ方向に移動制御し、図３に示すようにカ
ラーカメラ３の撮像視野の中心がガラス基板１の手前部
分１ｃに位置するように設定する。

【００３４】カラーカメラ３は、ガラス基板１の手前部
分１ｃを視野中心として撮像し、その映像信号を出力す
る。この映像信号は、判定処理装置２０の入力部２２に
送られ、ここでディジタル映像信号に変換される。

【００３５】このようにディジタル映像信号が判定処理
装置２０に取り込まれると、撮像変更部２６は、ディジ
タル映像信号から得られるカラー画像データのうち撮像
視野の中央帯の画像データ、すなわち図４に示すように
ガラス基板１の手前部分１ｃを抽出し、これを第３の分
割画像データＱｃとして画像メモリ２５に記憶する。

【００３６】次に画像組合せ部２８は、画像メモリ２５
に記憶されている第１〜第３の分割画像データＱａ、Ｑ
ｂ、Ｑｃを読み出し、これら分割画像データＱａ、Ｑ
ｂ、Ｑｃを図４に示すように組合せてガラス基板１の全
体のカラー画像データＱD を作成し、画像メモリ２５に
記憶する。

【００３７】次に検査部２９は、画像組合せ部２８によ
り作成されて画像メモリ２５に記憶されたガラス基板１
の全体のカラー画像データＱD を読み出し、このカラー
画像データＱD の濃淡レベルに基づいてガラス基板１の
色むらを判定する。

【００３８】このように上記第１の実施の形態において
は、液晶ディスプレイ用のガラス基板１に対するカラー
カメラ３の少なくとも撮像する角度又は位置を変更して
ガラス基板１を複数に分割して撮像し、これら撮像によ
り得られた第１〜第３の分割画像データＱａ〜Ｑｃを組
合わせてガラス基板１全体のカラー画像データＱD を作
成し、このカラー画像データＱD に基づいてガラス基板
１の色むらを検査するので、カラーカメラ３の特性の影
響によるシェーディング分、例えばガラス基板１のカラ
ー画像データにおいてガラス基板１の向こう側が明かる
く、手前側が暗くなるというシェーディング分が除去さ
れた再現性の高い液晶ディスプレイ用のガラス基板１の
カラー画像データを得ることができ、このカラー画像デ
ータから微妙な変化の色むらを判定でき、正確かつ信頼
性の高い色むら検査ができる。 (2) 次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。

【００３９】図５は色むら検査装置の構成図である。判
定処理装置４０は、主制御部４１に対して入力部２２、
出力部２３、操作部２４、画像メモリ２５が接続され、
かつ主制御部４１から発せられる指令により撮像変更部
２６、移動駆動部２７、画像組合せ部２８、ＲＧＢ−Ｈ
ＳＩ変換部４２、加算部４３０、判定手段４４が作動す
る構成となっている。

【００４０】このうちＲＧＢ−ＨＳＩ変換部４２は、画
像メモリ２５に記憶されているガラス基板１のカラー画
像データを読み出し、このカラー画像データにおける
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色信号をマンセル表色系の色相Ｈ、彩度
Ｓ、明度Ｉの各画像データに変換処理する機能を有して
いる。

【００４１】加算部２７は、ＲＧＢ−ＨＳＩ変換部４２
によるカラー画像データのＲ、Ｇ、Ｂからマンセル表色
系の色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｉの各画像データへの変換処
理を繰り返し、これらの変換データを順次加算してそれ
ぞれ画像を強調した色相Ｈｎ、彩度Ｓｎ、明度Ｉｎの各
画像データを得る機能を有している。

【００４２】判定手段４４は、加算部４３により得られ
る色相Ｈｎ、彩度Ｓｎ、明度Ｉｎの各画像データの少な
くとも１つの画像データに基づいてガラス基板１に対す
る色むら判定を行う機能を有するもので、ヒストグラム
作成部４５、平均・分散算出部４６、領域分割部４７及
び色むら判定部４８の各機能を有している。

【００４３】ヒストグラム作成部４５は、加算部４３に
より得られる色相Ｈｎ、彩度Ｓｎ、明度Ｉｎの各画像デ
ータの少なくとも１つの画像データ、例えば色相Ｈｎの
画像データを読み出し、この色相Ｈｎの画像データの濃
淡レベルに対する頻度のヒストグラムを作成する機能を
有している。

【００４４】平均・分散算出部４６は、ヒストグラム作
成部４５により作成されたヒストグラムの結果を受け、
このヒストグラム結果からその平均値、分散値を算出す
る機能を有している。

【００４５】領域分割部４７は、加算部４３により得ら
れる色相Ｈｎ、彩度Ｓｎ、明度Ｉｎの各画像データの少
なくとも１つの画像データ、例えば色相Ｈｎの画像デー
タを読み出し、この色相Ｈｎの画像データを複数の領域
に分割、例えば色相Ｈｎの画像データを４分の１に分割
し、次のこの分割された領域をさらに４分の１に分割す
るというように、順次４分の１づつ分割して各領域画像
データにする機能を有している。

【００４６】又、この領域分割部４７は、平均・分散算
出部４６により算出された例えば１枚の色相Ｈｎの画像
データに対するヒストグラムの平均値、分散値が第１の
所定範囲内にあるか否かを判定し、これら平均値、分散
値が第１の許容範囲外にあれば例えば色相Ｈｎの画像デ
ータを順次４分の１づつ分割して各領域画像データを
得、これら領域画像データをヒストグラム作成部４５に
送る機能を有している。

【００４７】色むら判定部４８は、平均・分散算出部４
６により算出されたヒストグラムの平均値、分散値が予
め設定された第２の許容範囲内にあるか否かを判定し、
平均値、分散値が、第２の許容範囲内にあれば色むら無
しと判定し、第２の許容範囲外にあれば色むら有りと判
定する機能を有している。

【００４８】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図６に示す色むら検査流れ図を参照して説明する。
照明装置２から照明光が放射されると、この照明光は、
ガラス基板１に照射される。カラーカメラ３は、照明光
により照明されたガラス基板１を撮像してその映像信号
を出力する。

【００４９】一方、判定処理装置４０において撮像変更
部２６は、ガラス基板１における色むら部分が最もよく
見える最適な角度θとなるように移動駆動部２７に対し
て移動指令を発する。

【００５０】この移動駆動部２７は、移動指令を受けて
ＸＹθ移動機構１０を軸１０ａを中心として回転し、カ
ラーカメラ３からガラス基板１における色むら部分が最
もよく見える最適な角度θに設定される。

【００５１】次に撮像変更部２６は、ＸＹθ移動機構１
０を例えばＸ方向に移動制御し、図３に示すようにカラ
ーカメラ３の撮像視野の中心がガラス基板１の向こう側
部分１ａに位置するように設定する。

【００５２】カラーカメラ３は、ガラス基板１の向こう
側部分１ａを視野中心として撮像し、その映像信号を出
力する。この映像信号は、判定処理装置４０の入力部２
２に送られ、ここでディジタル映像信号に変換される。

【００５３】このようにディジタル映像信号が判定処理
装置４０に取り込まれると、撮像変更部２６は、ステッ
プ＃１において、ディジタル映像信号から得られるカラ
ー画像データのうち撮像視野の中央帯の画像データ、す
なわち図４に示すようにガラス基板１の向こう側部分１
ａを抽出し、これを第１の分割画像データＱａとして画
像メモリ２５に記憶する。

【００５４】次に撮像変更部２６は、ＸＹθ移動機構１
０を再びＸ方向に移動制御し、図３に示すようにカラー
カメラ３の撮像視野の中心がガラス基板１の中央部分１
ｂに位置するように設定する。

【００５５】カラーカメラ３は、ガラス基板１の中央部
分１ｂを視野中心として撮像し、その映像信号を出力す
る。この映像信号は、入力部２２に送られ、ここでディ
ジタル映像信号に変換される。

【００５６】撮像変更部２６は、ステップ＃１におい
て、ディジタル映像信号から得られるカラー画像データ
のうち撮像視野の中央帯の画像データ、すなわち図４に
示すようにガラス基板１の中央部分１ｂを抽出し、これ
を第２の分割画像データＱｂとして画像メモリ２５に記
憶する。

【００５７】次に撮像変更部２６は、ＸＹθ移動機構１
０を、さらなＸ方向に移動制御し、図３に示すようにカ
ラーカメラ３の撮像視野の中心がガラス基板１の手前部
分１ｃに位置するように設定する。

【００５８】カラーカメラ３は、ガラス基板１の手前部
分１ｃを視野中心として撮像し、その映像信号を出力す
る。この映像信号は、入力部２２に送られ、ここでディ
ジタル映像信号に変換される。

【００５９】撮像変更部２６は、ステップ＃１におい
て、ディジタル映像信号から得られるカラー画像データ
のうち撮像視野の中央帯の画像データ、すなわち図４に
示すようにガラス基板１の手前部分１ｃを抽出し、これ
を第３の分割画像データＱｃとして画像メモリ２５に記
憶する。

【００６０】次に画像組合せ部２８は、画像メモリ２５
に記憶されている第１〜第３の分割画像データＱａ、Ｑ
ｂ、Ｑｃを読み出し、これら分割画像データＱａ、Ｑ
ｂ、Ｑｃを図４に示すように組合せてガラス基板１の全
体のカラー画像データＱD を作成し、画像メモリ２５に
記憶する。

【００６１】次にＲＧＢ−ＨＳＩ変換部４２は、ステッ
プ＃２において、画像メモリ２５に記憶されているガラ
ス基板１全体のカラー画像データＱD を読み出し、この
カラー画像データＱD におけるＲ、Ｇ、Ｂの各色信号を
マンセル表色系の色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｉの各画像デー
タに変換処理する。

【００６２】このマンセル表色系の色相Ｈ、彩度Ｓ、明
度Ｉへの変換により、色の違いに応じた値になる。これ
ら色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｉの各画像データは、ステップ
＃３において画像メモリ２５に記憶される。

【００６３】ここで、検査対象物の品種によって違いが
あるが、液晶ディスプレイのガラス基板１は、色の見え
方が微妙であることが予め知れているので、色相Ｈ、彩
度Ｓ、明度Ｉの各画像データの強調を行う。

【００６４】すなわち、加算部４３は、ステップ＃１〜
＃４を繰り返し実行し、ＲＧＢ−ＨＳＩ変換部４２によ
るカラー画像データの赤、緑、青からマンセル表色系の
色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｉの各画像データへの変換処理を
繰り返し、これらの変換データを順次加算してそれぞれ
画像を強調した色相Ｈｎ、彩度Ｓｎ、明度Ｉｎの各画像
データを得る。

【００６５】このようにして得た色相Ｈｎ、彩度Ｓｎ、
明度Ｉｎの各画像データのうち、色相Ｈｎの画像データ
が最も色の違いを表したものとなっている。そこで、判
定手段４４は、ステップ＃５において、加算部４３によ
り得られた色相Ｈｎ、彩度Ｓｎ、明度Ｉｎの各画像デー
タのうち最も色の違いを表している色相Ｈｎの画像デー
タを画像メモリ２５から読み出す。

【００６６】図７はガラス基板１全体の１枚の色相Ｈｎ
の画像データの模式図であり、例えば色むら部分Ｗが存
在している。次にヒストグラム作成部４５は、ステップ
＃６において、加算部４３により得られた１枚の色相Ｈ
ｎの画像データを読み出し、この色相Ｈｎの画像データ
の濃淡レベルに対する頻度のヒストグラムを作成する。

【００６７】次に平均・分散算出部４６は、ステップ＃
７において、ヒストグラム作成部４５により作成された
ヒストグラムの結果を受け、このヒストグラム結果から
その平均値、分散値を算出する。

【００６８】次に領域分割部４７は、ステップ＃８にお
いて、平均・分散算出部４６により算出された１枚の色
相Ｈｎの画像データに対するヒストグラムの平均値、分
散値が第１の所定範囲内にあるか否かを判定する。

【００６９】この判定の結果、平均値、分散値が第１の
所定範囲外にあれば、領域分割部４７は、１枚の色相Ｈ
ｎの画像データを複数の領域に分割する。すなわち領域
分割部４７は、図７に示すように色相Ｈｎの画像データ
を４分の１に分割して４枚の領域画像データｅ₁ 〜ｅ₄
を得、これら領域画像データｅ₁〜ｅ₄ をヒストグラム
作成部４５に送る。

【００７０】このヒストグラム作成部４５は、再びステ
ップ＃６において、領域分割部４７により分割された４
枚の領域画像データｅ₁ 〜ｅ₄ を受け、これら領域画像
データｅ₁ 〜ｅ₄ ごとに濃淡レベルに対する頻度の各ヒ
ストグラムを作成する。

【００７１】次に平均・分散算出部４６は、ステップ＃
７において、ヒストグラム作成部４５により作成された
各領域画像データｅ₁ 〜ｅ₄ ごとの各ヒストグラムの結
果を受け、これらヒストグラム結果からその各平均値、
各分散値を算出する。

【００７２】次に領域分割部４７は、ステップ＃８にお
いて、平均・分散算出部４６により算出された４枚の領
域画像データｅ₁ 〜ｅ₄ に対する各ヒストグラムの各平
均値、各分散値が第１の所定範囲内にあるか否かを判定
する。

【００７３】この判定の結果、４枚の領域画像データｅ
₁ 〜ｅ₄ のうち領域画像データｅ₃の平均値、分散値が
第１の所定範囲外にあれば、領域分割部４７は、領域画
像データｅ₃ をさらに４分の１に分割して４枚の領域画
像データｆ₁ 〜ｆ₄ を得、これら領域画像データｆ₁ 〜
ｆ₄ をヒストグラム作成部４５に送る。

【００７４】このヒストグラム作成部４５は、再びステ
ップ＃６において、領域分割部４７により分割された４
枚の領域画像データｆ₁ 〜ｆ₄ を受け、これら領域画像
データｆ₁ 〜ｆ₄ ごとに濃淡レベルに対する頻度の各ヒ
ストグラムを作成する。

【００７５】次に平均・分散算出部４６は、ステップ＃
７において、ヒストグラム作成部４５により作成された
各領域画像データｆ₁ 〜ｆ₄ ごとの各ヒストグラムの結
果を受け、これらヒストグラム結果からその各平均値、
各分散値を算出する。

【００７６】次に領域分割部４７は、ステップ＃８にお
いて、平均・分散算出部４６により算出された４枚の領
域画像データｆ₁ 〜ｆ₄ に対する各ヒストグラムの各平
均値、各分散値が第１の所定範囲内にあるか否かを判定
する。

【００７７】この判定の結果、４枚の領域画像データｆ
₁ 〜ｆ₄ のうち領域画像データｆ₂の平均値、分散値が
第１の所定範囲外にあれば、領域分割部４７は、領域画
像データｆ₂ をさらに４分の１に分割する。

【００７８】このように１枚の色相Ｈｎの画像データを
順次４分の１に分割し、その領域画像データごとに各ヒ
ストグラムを作成してその平均値、分散値を算出するこ
とを繰り返すと、最終的に色むらＷの存在する領域画像
データｒに到達する。

【００７９】この結果、色むら判定部４８は、ステップ
＃９において、平均・分散算出部４６により算出された
領域画像データｒのヒストグラムの平均値、分散値が予
め設定された第２の許容範囲内にあるか否かを判定す
る。

【００８０】この判定の結果、分割画像データｒのヒス
トグラムの平均値、分散値が、第２の許容範囲外にあれ
ば、色むら判定部４８は、図８に示すように領域画像デ
ータｒの領域を色むら有りと判定する。

【００８１】なお、この色むら有りと判定された領域画
像データｒの領域は、主制御部４１の指令によりモニタ
テレビジョン３０に映し出される。このように上記第２
の実施の形態においては、上記第１の実施の形態と同様
に、液晶ディスプレイ用のガラス基板１に対するカラー
カメラ３の少なくとも撮像する角度又は位置を変更して
ガラス基板１を複数に分割して撮像し、これら撮像によ
り得られた第１〜第３の領域画像データＱａ〜Ｑｃを組
合わせてガラス基板１全体のカラー画像データＱD を作
成し、このカラー画像データＱD に基づいてガラス基板
１の色むらを検査するので、カラーカメラ３の特性の影
響によるシェーディング分、例えばガラス基板１のカラ
ー画像データにおいてガラス基板１の向こう側が明かる
く、手前側が暗くなるというシェーディング分が除去さ
れた再現性の高い液晶ディスプレイ用のガラス基板１の
カラー画像データを得ることができ、このカラー画像デ
ータから微妙な変化の色むらを判定でき、正確かつ信頼
性の高い色むら検査ができる。

【００８２】又、ガラス基板１のカラー画像データの
Ｒ、Ｇ、Ｂをマンセル表色系の色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｉ
の各画像データに変換し、かつこのカラー画像データの
Ｒ、Ｇ、Ｂからマンセル表色系の色相Ｈ、彩度Ｓ、明度
Ｉの各画像データへの変換処理を繰り返して順次加算す
るので、ガラス基板１の画像データのコントラントが低
く色むらの見え方が微妙であっても、シェーディング補
正されたカラー画像データのコントラントを強調するこ
とができ、色むら部分Ｗを確実に判定できて信頼性の高
い装置とすることができ、又、色むら部分Ｗの型が不定
形であっても、その色むら部分Ｗを確実に検出できる。

【００８３】

【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１に
よれば、カラーカメラの特性の影響によるシェーディン
グ分を除去して、正確かつ信頼性の高い色むら検査がで
きる色むら検査方法を提供できる。

【００８４】又、本発明の請求項２、３によれば、カラ
ーカメラの特性の影響によるシェーディング分を除去し
て、正確かつ信頼性の高い色むら検査ができる色むら検
査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる色むら検査装置の第１の実施の
形態を示す構成図。

【図２】カラー画像データにおける抽出部分を示す図。

【図３】ガラス基板に対する撮像作用を示す図。

【図４】分割画像データの組合せ作用を示す図。

【図５】本発明に係わる色むら検査装置の第２の実施の
形態を示す構成図。

【図６】色むら検査流れ図。

【図７】色相の画像データの模式図。

【図８】色相の画像データに対する領域画像データを示
す模式図。

【図９】色むら有りと判定した領域画像データの領域を
示す模式図。

【図１０】従来の色むら検査装置の構成図。

【符号の説明】

１…ガラス基板、２…照明装置、３…カラーカメラ、１
０…ＸＹθ移動機構、２０…判定処理部、２１…主制御
部、２５…画像メモリ、２６…撮像変更部、２７…移動
制御部、２８…画像組合せ部、２９…検査部、４１…主
制御部、４２…ＲＧＢ−ＨＳＩ変換部、４３…加算部、
４４…判定手段、４５…ヒストグラム作成部、４６…平
均・分散算出部、４７…領域分割部、４８…色むら判定
部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象物を斜め方向から撮像装置によ
   り撮像して得られた画像データに基づいて前記検査対象
   の色むらを検査する色むら検査方法において、 前記撮像装置の前記検査対象物に対する少なくとも撮像
   する角度又は位置を変更することにより前記検査対象物
   を複数に分割して撮像する第１の工程と、 この第１の工程の撮像により得られた複数の分割画像デ
   ータを組合わせて前記検査対象物全体の画像データを作
   成し、この画像データに基づいて前記検査対象物の色む
   らを検査する第２の工程と、を有することを特徴とする
   色むら検査方法。
2. 【請求項２】 検査対象物に対して斜め方向に配置され
   た撮像装置により前記検査対象物を撮像し、この撮像に
   より得られた画像データに基づいて前記検査対象の色む
   らを検査する色むら検査装置において、 前記検査対象物又は前記撮像装置の少なくとも一方を移
   動し、前記撮像装置による前記検査対象物の少なくとも
   撮像する角度又は位置を変更して前記検査対象物を複数
   に分割した複数の分割画像データを得る撮像変更手段
   と、 この撮像変更手段により得た複数の前記分割画像データ
   を組合わせて前記検査対象物全体の画像データを作成す
   る画像組合せ手段と、 この画像組合せ手段により作成された前記検査対象物全
   体の画像データに基づいて前記検査対象物の色むらを検
   査する検査手段と、を具備したことを特徴とする色むら
   検査装置。
3. 【請求項３】 前記撮像変更手段は、前記検査対象物を
   ＸＹθテーブル上に載置し、このＸＹθテーブルを駆動
   することにより前記撮像装置の前記検査対象物に対する
   少なくとも撮像する角度又は位置を変更することを特徴
   とする請求項２記載の色むら検査装置。