JPH09207128A - インゴットと取付ステーの接着方法及び接着装置及びそれを用いたインゴット切断加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤソーへのインゴットの取付作業を自動
化して、ワイヤソーの稼働率を向上することができるイ
ンゴットと取付ステーの接着方法及び接着装置及びそれ
を用いたインゴット切断加工方法を提供する。 【解決手段】 可動盤４２に支持したローラ４４にイン
ゴット１１を支持し、ローラ４８，５５によりインゴッ
ト１１をクランプする。このインゴット１１をモータ５
６により回転し、インゴット１１の端面にＸ線を照射し
てインゴットの結晶方位１６の傾きを測定する。結晶方
位１６が水平面内に変位するまで、インゴット１１を回
転して停止し、水平面内での結晶方位１６の傾角を測定
する。取付ステー１４をその軸線２３が前記結晶方位１
６と平行になるように位置調整して、インゴット１１上
に中間ステー１２を介して取付ステー１４を接着する。
前記取付ステー１４はワイヤソー３１のワーク取付機構
１２１により把持され、インゴット１１は格子面に沿っ
てウエハに切断される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、インゴットと取
付ステーの接着方法及び接着装置及びそれを用いたイン
ゴット切断加工方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】シリコン（Ｓｉ）ウエハを製造するため
のＳｉ単結晶インゴットは、規則正しい格子面を有す
る。しかしながら、坩堝から取り上げられた未加工のイ
ンゴットは円柱状に加工されるが、インゴットごとにそ
の中心軸線に対する結晶方位がばらつく。このインゴッ
トにカーボン製の中間ステーを接着し、その中間ステー
の上面にガラス製の絶縁プレートを介して取付ステーを
接着する。従って、このインゴットをワイヤソーに装着
してインゴツトをワイヤにより切断してウエハを形成し
たのでは、ウエハの切断面と格子面との位置関係が一定
にならないので、切断されたウエハの特性がばらつく。

【０００３】上記の問題を解消するため、従来、ワイヤ
ソーにインゴットのゴニオ角設定器を装着している。そ
して、このゴニオ角設定器にインゴットの取付ステーを
ボルトにより取り付けた状態で、方位測定装置によりイ
ンゴットの中心軸線からの結晶方位の水平方向及び垂直
方向の変位量を測定した後、ゴニオ角設定器によりワイ
ヤの走行方向に対しインゴットの結晶方位が適正位置と
なるように調整している。この調整はゴニオ角設定器に
よりインゴット及び取付ステーを水平面内で回動するこ
とにより、結晶方位をワイヤと直交する垂直面内で変位
させるとともに、インゴット及び取付ステーを前記垂直
面内で回動して、結晶方位を水平面内で変位させて行わ
れる。即ち、従来のインゴット切断加工は、図３３の手
順で行われ、取付ステーを接着したインゴットはワイヤ
ソーに取り付けられた後、加工前において必ずゴニオ調
整が行われていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従って、各ワイヤソー
にゴニオ角設定器を装着する必要があるため、加工装置
の設備費を低減することができないという問題がある。
又、ゴニオ角設定器にインゴットを取り付ける必要があ
るため、インゴットの取付作業を手動によりボルト締め
する必要があり、取付作業が面倒でインゴツトの方位調
整に時間を要し、この結果、ワイヤソーへのインゴット
の取付作業を自動化して、ワイヤソーの稼働率を向上す
ることができないという問題がある。

【０００５】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものであって、その目的
は、接着の段階において予めインゴットの結晶方位に基
づいてインゴットと取付ステーを互いに位置調整した状
態で接着し、加工機へ搬入することにより加工機にゴニ
オ角設定器を装着する必要を無くして、加工装置全体の
設備費を低減することができるとともに、加工機へのイ
ンゴットの取付作業を自動化して、加工機の稼働率を向
上することができるインゴットと取付ステーの接着方法
及び接着装置及びそれを用いたインゴット切断加工方法
を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
上記目的を達成するために、円柱状をなすインゴットの
中心軸線を水平に保ったままインゴットの結晶方位が水
平面内に位置するように、インゴットをその中心軸線を
中心に回転させて位置調整し、この位置調整されたイン
ゴットの結晶方位に対し、このインゴットに取り付けら
れる取付ステーの取付軸線が平行になるように、取付ス
テー又はインゴットのいずれか一方を水平面内で位置調
整した後、インゴットと取付ステーとを接着するという
手段をとっている。

【０００７】請求項２記載の発明においては、請求項１
において、インゴットの結晶方位をＸ線の回析を利用し
て測定し、結晶方位の測定データに基づいてインゴット
の位置調整及び該インゴットと取付ステーの相対位置調
整を行い、インゴットと取付ステーとを接着するという
手段をとっている。

【０００８】請求項３記載の発明においては、請求項２
において、円柱状をなすインゴットをその中心軸線を水
平にして所定位置で軸線を中心に回転し、該インゴット
の端面にＸ線を水平面内で照射して反射されたＸ線の出
力データが最大となってインゴットの結晶方位が水平面
内に変位したとき、インゴットの回転を停止し、次にイ
ンゴットの中心軸線に対する結晶方位の水平面内での傾
角を複数の測定点の反射Ｘ線の出力データから演算し、
該傾角から取付ステーの取付軸線が結晶方位と平行にな
るように取付ステー又はインゴットを水平面内で位置調
整し、インゴットに取付ステーを接着するという手段を
とっている。

【０００９】請求項４記載の発明においては、請求項２
において、円柱状をなすインゴットをその中心軸線を水
平にして所定位置で軸線を中心に回転し、該インゴット
の端面にＸ線を水平面内で照射して反射されたＸ線の出
力データが最大となってインゴットの結晶方位が水平面
内に変位するまで、インゴットを回転させた後、可切断
材よりなる中間ステーをその取付軸線を前記インゴット
の中心軸線に合わせて前記インゴットの上部に接着し、
前記中間ステーの上面に取付ステーを水平面内で変位可
能に支持し、インゴットの中心軸線に対する結晶方位の
水平面内での傾角を複数の測定点の反射Ｘ線の出力デー
タから演算し、該傾角から取付ステーの取付軸線が結晶
方位と平行になるように取付ステーを水平面内で位置調
整し、前記中間ステーに取付ステーを接着するという手
段をとっている。

【００１０】請求項５記載の発明においては、請求項４
において、インゴットに中間ステーを接着した後、イン
ゴットと中間ステーを乾燥室に搬送して接着剤を乾燥
し、その後中間ステーに取付ステーを接着するという手
段をとっている。

【００１１】請求項６記載の発明においては、請求項１
〜４のいずれかにおいて、単一の取付ステーに複数のイ
ンゴット又は中間ステーを順次接着するという手段をと
っている。

【００１２】請求項７記載の発明においては、インゴッ
トの結晶方位をＸ線の回析を利用して測定する結晶方位
測定手段と、上記結晶方位測定手段の測定データに基づ
いて円柱状をなすインゴットの中心軸線を水平に保った
ままインゴットの結晶方位が水平面内に位置するように
インゴットをその中心軸線を中心に回転させて位置調整
する結晶方位調整手段と、上記結晶方位調整手段により
位置調整されたインゴットに対する上記結晶方位測定手
段の測定データに基づいて、インゴットに取り付けられ
る取付ステーの取付軸線がインゴットの結晶方位に対し
平行になるように取付ステー又はインゴットのいずれか
一方を水平面内で位置調整する取付ステー位置調整手段
と、上記結晶方位調整手段及び取付ステー位置調整手段
により調整されたインゴットと取付ステーとを互いに接
着する取付ステー接着機構とを備えるという手段をとっ
ている。

【００１３】請求項８記載の発明においては、請求項７
において、前記インゴットの結晶方位が水平面内に位置
した状態で、該インゴットの上面又は下面に可切断材よ
りなる中間ステーを接着剤を介して接触させ、該中間ス
テーの取付軸線をインゴットの中心軸線に合わせて水平
に接着する中間ステー接着機構を備え、前記取付ステー
位置調整手段は、前記中間ステーの上面又は下面に水平
に接触した取付ステーをその取付軸線がインゴットの結
晶方位と平行になるように水平面内に位置調整するもの
であり、さらに、前記取付ステー接着機構は、この位置
調整された取付ステーを前記中間ステーの上面又は下面
に接着するという手段をとっている。

【００１４】請求項９記載の発明においては、請求項７
又は８において、前記結晶方位測定手段はインゴットの
端面にＸ線を水平面内で照射して反射されたＸ線の出力
データが最大となることによりインゴットの結晶方位が
水平面内に位置したことを検出するとともに、インゴッ
トの中心軸線に対する結晶方位の水平面内での傾角を複
数の測定点の反射Ｘ線の出力データから演算するもので
ある。

【００１５】請求項１０記載の発明においては、請求項
９において、前記結晶方位調整手段は、円柱状をなすイ
ンゴットをその中心軸線を水平に支持して回転させる回
転支持機構を有するものであり、前記結晶方位測定手段
は前記回転支持機構に支持された前記インゴットの端面
に対し水平面内においてＸ線を照射するＸ線投光器と、
反射されたＸ線の受光器と、該Ｘ線受光器により受光さ
れた反射Ｘ線の出力データが最大か否かを判断する判断
手段と、前記結晶方位調整手段によって位置調整された
インゴットの中心軸線に対する結晶方位の水平面内での
傾角を複数の測定点の反射Ｘ線の出力データから演算す
る角度演算手段とにより構成するという手段をとってい
る。

【００１６】請求項１１記載の発明においては、請求項
１０において、前記結晶方位調整手段は、結晶方位測定
手段からの反射Ｘ線の出力データが最大となる位置まで
インゴットを前記回転支持機構により回転してその結晶
方位を水平面内に位置させるものであり、前記取付ステ
ー位置調整手段は、インゴットの結晶方位が水平面内に
位置した状態で、該インゴットの上部又は下部に取付ス
テーを水平に接触し、結晶方位測定手段からのインゴッ
トの中心軸線に対する結晶方位の水平面内での傾角に基
づいて前記取付ステーを水平面内で位置調整する水平角
度調整機構を有している。

【００１７】請求項１２記載の発明においては、請求項
８において、前記中間ステー接着機構は中間ステーとイ
ンゴットの上面又は下面との間に接着剤を介在させた状
態で該中間ステー又はインゴットを、該インゴットの中
心軸線方向に往復動するオシレート機構を備えるという
手段をとっている。

【００１８】請求項１３記載の発明においては、請求項
１０〜１２のいずれかにおいて、前記結晶方位測定手段
と結晶方位調整手段との間には、インゴットを支持して
回転する前記回転支持機構を備えた搬送台車が往復動可
能に装設されている。

【００１９】請求項１４記載の発明においては、請求項
１３において、搬送台車上には、インゴット搬出入用の
複数の支持ローラが設けられ、前記回転支持機構は、そ
の支持ローラの上方に設けられ、かつ支持ローラ上に搬
入されたインゴットを両側より挟持して支持ローラから
若干持ち上げ、所定位置に位置決めする複数のクランプ
用ローラを有し、そのうちの少なくとも１個がインゴッ
トに回転を付与する駆動ローラである。

【００２０】請求項１５記載の発明においては、請求項
８において、前記結晶方位調整手段の下方には前記中間
ステー接着機構が配設され、該中間ステー接着機構には
前記取付ステー位置調整手段が一体的に組み込まれてい
る。

【００２１】請求項１６記載の発明においては、請求項
１５において、前記中間ステー接着機構は、機台の所定
位置において昇降機構により上下動可能に支持された昇
降支持ロッドと、該昇降支持ロッドの上端部に装着さ
れ、かつ上面に接着剤を塗布された中間ステーをクラン
プするクランプ機構とにより構成され、前記取付ステー
位置調整手段は前記機台と昇降支持ロッドとの間に介在
され、該昇降支持ロッドを垂直軸線の周りで回動して前
記クランプ機構に把持され、かつ上面に接着剤を塗布さ
れた取付ステーを水平面内で回動する傾き角調整機構で
ある。

【００２２】請求項１７記載の発明においては、請求項
１５又は１６において、前記機台には中間ステーを積層
してストックし、該中間ステーを一個ずつ繰り出し供給
する中間ステー貯留供給機構と、繰り出された中間ステ
ーを接着剤塗布機構まで搬送する中間ステー搬送機構
と、該搬送機構上の中間ステーを前記クランプ機構に搬
入する中間ステー搬入機構が設けられ、一方、機台の他
側には前述した中間ステー貯留供給機構、接着剤塗布機
構及び中間ステー搬送機構と同様に構成された取付ステ
ー貯留供給機構、接着剤塗布機構及び、取付ステー搬入
機構が設けられている。

【００２３】請求項１８記載の発明においては、請求項
７，８，１５，１６のいずれかにおいて、前記取付ステ
ー位置調整手段は単一の取付ステーに複数のインゴット
又は中間ステーを接着可能な取付ステー移動機構を備え
るという手段をとっている。

【００２４】請求項１９記載の発明においては、請求項
１８において、前記取付ステー移動機構は機台の所定位
置において垂直軸線の周りで往復回動される回転支持軸
と、該回転支持軸の上端部に水平に支持された回転支持
板と、該回転支持板に水平方向の往復動可能に支持さ
れ、かつ取付ステーをクランプするクランプ機構とによ
り構成されている。

【００２５】請求項２０記載の発明においては、円柱状
をなすインゴットをワイヤソーへ搬入して切断加工する
方法において、ワイヤソーへの搬入に先立って、予めイ
ンゴットをその中心軸線を平行に保ったままインゴット
の結晶方位が水平面内に位置するように、インゴットを
その軸線を中心に回転させて位置調整し、この位置調整
されたインゴットの結晶方位に対し、このインゴットに
取り付けられる取付ステーの取付軸線が平行になるよう
に、取付ステー又はインゴットのいずれか一方を水平面
内で位置調整して、インゴットと取付ステーとを接着し
た後、そのインゴットをワイヤソーへ搬入し、ワイヤソ
ーのワーク取付位置に取付ステーをその軸線がワイヤ走
行方向に対し直交する所定の姿勢で取り付け、ワイヤソ
ーによる切断加工を行うという手段をとっている。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化した第１
実施形態を図１〜図１７に基づいて説明する。

【００２７】最初に、図７及び図１１により、この実施
形態で接着されるＳｉ単結晶インゴット１１、カーボン
等の可切断材よりなる中間ステー１２、絶縁プレート１
３及び取付ステー１４について説明する。

【００２８】図１１に示すように、横円柱状に整形され
たインゴット１１の上部外周面には中間ステー１２の下
側円弧面が接着剤により接着され、その上面にはガラス
製の絶縁プレート１３が水平に接着され、該絶縁プレー
ト１３の上面には取付ステー１４が接着剤により水平に
接着されている。絶縁プレート１３は予め取付ステー１
４に接着されている。又、図７においてインゴット１１
の結晶格子面１５の法線、つまり結晶方位１６はインゴ
ット１１の中心軸線１７、水平面１８及び垂直面１９に
対しそれぞれ傾斜している。この結晶方位１６のインゴ
ット１１の両端面における中心軸線１７からの水平方向
の変位量は符号２０で、垂直方向の変位量は符号２１で
示されているが、この結晶方位１６の傾斜角は実際には
インゴット１１の中心軸線１７に対して最大で±３°程
度である。又、取付ステー１４の取付軸線とは、図７に
おいて該取付ステー１４の長手方向の仮想軸線２３を言
い、同図のステー１４の左右両側面は仮想軸線２３と平
行である。この実施形態の接着方法及び接着装置はイン
ゴット１１の前記結晶方位１６と取付ステー１４の取付
軸線２３とを平行に位置調整して、インゴット１１と取
付ステー１４とを適正に接着するものである。

【００２９】次に、ワイヤソーを使用したインゴット１
１の加工装置全体の概要を図１４及び図１７により説明
する。自動倉庫２５は、未加工のインゴット１１、中間
ステー１２あるいは取付ステー１４を接着したインゴッ
ト１１を収容し、図示しない搬入出装置によりインゴッ
トをベルトコンベア式の搬送装置２６に搬送するように
なっている。搬送装置２６の端部には、インゴット１１
の結晶方位１６と中間ステー１２及び取付ステー１４の
取付軸線を調整するとともに、インゴット１１に中間ス
テー１２及び取付ステー１４を二工程で接着するための
インゴットと取付ステーの接着装置２７が装設されてい
る。この接着装置２７の近傍にはインゴット１１の結晶
方位１６を測定するための方位測定装置２８が装設され
ている。

【００３０】前記搬送装置２６の途中には別の搬送装置
２９が接続され、該搬送装置２９の途中にはインゴット
１１、中間ステー１２及び絶縁プレート１３の接着部を
乾燥硬化させる乾燥室３０が設けられている。前記搬送
装置２９から取り出された取付ステー１４を備えたイン
ゴット１１はワイヤソー３１に向けて搬送台車３２上に
載置されてワイヤソー３１に供給される。なお、ワイヤ
ソー３１により加工を終えたインゴット１１は枚葉化洗
浄システム３３に送られ、ここで多数のウエハに分離さ
れるとともに洗浄が行われる。

【００３１】次に、図１〜図６により前記接着装置２７
について説明する。この接着装置２７は概略的に見て、
インゴット１１をクランプして回転する回転支持機構３
８と、該回転支持機構３８を中間ステー１２の接着位置
と方位測定装置２８との間で往復搬送する搬送台車３９
と、後述する方位測定動作中にインゴット１１を回転さ
せてその結晶方位１６を水平面内に位置するように調整
し、かつ前記回転支持機構３８を兼用する結晶方位調整
機構４０とを備えている。さらに、接着装置２７は前記
結晶方位調整機構４０により位置調整されたインゴット
１１の上部に対し中間ステー１２を接着する中間ステー
接着機構７１と、中間ステー１２の上面に対し取付ステ
ー１４を適正位置に位置調整してインゴット１１の結晶
方位１６に対する取付ステー１４の水平面内における取
付軸線２３を調整する水平角度調整機構９１とを備えて
いる。

【００３２】そこで、回転支持機構３８及び搬送台車３
９について説明すると、図２に示すように地面に固定さ
れた平行な左右一対の案内レール４１には水平可動盤４
２が水平方向の往復動可能に支持されている。この可動
盤４２の上面には図２において左右一対の軸受板４３が
立設固定され、両軸受板４３間には複数（この実施形態
では図５に示すように７個）の支持ローラ４４が遊転可
能に支持されている。又、図１に示すように最右端の支
持ローラ４４と搬送装置２６の端部との間には案内ロー
ラ４５が所定位置に支持され、搬送装置２６側からイン
ゴット１１を前記支持ローラ４４上に移送可能である。
前記可動盤４２の端部上面には図１に示すように位置規
制具４６が立設固定され、図１及び図３においてインゴ
ット１１の左端面の位置規制を行うようになっている。
図２〜図５に示すように可動盤４２の上面には一対の支
持盤４７が立設固定され、該支持盤４７間には上下一対
のインゴットクランプ用ローラ４８が遊転可能に支持さ
れている。前記可動盤４２の上面には一対の支持体４９
が立設固定され、該支持体４９には一対の案内棒５０が
所定間隔をおいて平行に、かつ水平に支持されており、
両案内棒５０には複数の支持体５１を介して支持盤５２
が案内棒５０に沿って水平方向の往復動可能に支持され
ている。この支持盤５２は、シリンダ５３のロッド５４
によって水平方向に往復動される。前記支持盤５２の両
側壁にはインゴット１１の外周面に回転接触してインゴ
ットを回転する上下一対の駆動ローラ５５が軸支されて
いる。これらのクランプ用ローラ４８と駆動ローラ５５
のローラ高さは、インゴット１１を把持したとき、イン
ゴット１１の中心が支持ローラ４４上での搬送時のイン
ゴット１１中心より高い位置になるように設定されてい
る。そして、この上下一対のクランプ用ローラ４８及び
駆動ローラ５５が支持ローラ４４上のインゴット１１を
把持したとき、インゴット１１は上部に若干持ち上げら
れ、ローラ４４より上方に離れる。前記支持盤５２の一
側壁には図１，５に示すようにサーボモータ５６が固定
され、該モータ５６の駆動プーリ５７と、前記駆動ロー
ラ５５の軸端に取り付けた被動プーリ５８との間にはベ
ルト５９が掛装され、サーボモータ５６によって前記駆
動ローラ５５が回転される。なお、６０はアイドラプー
リである。前記サーボモータ５６にはロータリーエンコ
ーダ６１が取り付けられ、回転数に比例したインゴット
１１の回転角が検出される。

【００３３】次に、中間ステー接着機構７１について説
明する。コラム７２の上部には一対の案内レール７３が
縦方向に固定され、両案内レール７３には水平の支持ア
ーム７４がレール７３に沿って昇降可能に支持されてい
る。この支持アーム７４の先端部にはブラケット７５が
固定され、その両端部には図１に示すように案内レール
７６が水平に、かつインゴット１１の中心軸線１７とほ
ぼ平行に支持されている。この案内レール７６には被案
内部材７７が往復動可能に嵌合され、被案内部材７７に
はホルダー７８が取付けられ、該ホルダー７８の下面に
図示しない搬送手段によって搬入された中間ステー１２
が水平に接触され、図２において左右一対のクランプ板
７９によって中間ステー１２が挟着固定される。前記両
クランプ板７９はシリンダ８０により開閉され中間ステ
ー１２をクランプしたりクランプ解除したりする。

【００３４】前記支持アーム７４の先端上部には図１，
２に示すようにモータ８２が下向きに固定され、その偏
心軸８３の下端部に取り付けたピン８４が前記ホルダー
７８の上面に形成した水平方向に伸び、案内レール７６
と直交する溝７８１に係合されている。従って、モータ
８２により偏心軸８３が回転されると、ピン８４によっ
てホルダー７８が案内レール７６に沿って往復動可能で
ある。前記モータ８２、偏心軸８３、案内レール７６及
びホルダー７８等によりインゴット１１への中間ステー
１２の接着状態を確実にするためのオシレート機構８９
が構成されている。

【００３５】前記コラム７２の内部にはボールねじ８５
が垂直方向に支持され、該ねじ８５はコラム７２の上部
に固定した昇降用サーボモータ８６によって正逆回転さ
れる。このボールねじ８５には昇降支持具８７が昇降可
能に支持され、該支持具８７は支持アーム７４の基端に
取り付けた係合片８８に係止されている。従って、前記
サーボモータ８６が回転されて昇降支持具８７が昇降動
作されると、支持アーム７４及び中間ステー１２を把持
したホルダー７８等が案内レール７３に沿って昇降動作
される。

【００３６】次に、図２，６により位置調整手段を構成
する水平角度調整機構９１について説明すると、前記コ
ラム７２の中間部には図２に示すように水平支持板９２
が取付けられ、該支持板９２の上面には水平角度調整板
９３が連結軸９４によって水平面内での回動可能に支持
されている。前記支持板９２には角度調整用サーボモー
タ９５が水平に支持され、該モータ９５の出力軸には自
在継手９６を介して第１ねじ９７と第２ねじ９８を直列
に連結したねじ棒が連結されている。第１ねじ９７には
作動片９９が螺合され、該作動片９９の下端に固定した
回転子１００が水平支持板９２に形成した孔９２１に回
動可能に係合されている。又、第２ねじ９８には作動片
１０１が螺合され、該作動片１０１の下端部には回転子
１０２が固定され、該回転子１０２は水平角度調整板９
３に形成した係合孔９３１に嵌入されている。

【００３７】従って、前記モータ９５により第１ねじ９
７と第２ねじ９８が回転されると、水平角度調整板９３
は軸９４を中心に水平方向に回転され、取付ステー１４
の中間ステー１２上における水平方向の傾角、つまり取
付軸線２３をインゴット１１の結晶方位１６と平行に調
整することができる。

【００３８】前記第１ねじ９７と第２ねじ９８は、その
ピッチが異なる差動ねじであって、水平角度調整板９３
の水平面内での傾角を微調整することができる。なお、
取付ステー１２は図４に示す取付ステー搬入接着機構１
０３によって水平角度調整板９３へ搬入される。この取
付ステー搬入接着機構１０３は水平の案内レール１０４
に沿って図示しない駆動機構により水平移動される可動
コラム１０５と、該コラム１０５に装着された案内レー
ル１０６に沿って図示しない昇降機構により昇降動作さ
れる昇降体１０７と、該昇降体１０７の水平部下面に取
付た電磁石１０８とを備えている。そして、前記電磁石
１０８により取付ステー１２を吸着把持して所望する位
置、つまり中間ステー１２の上面に移載する。

【００３９】次に、Ｘ線の回析を利用してインゴットの
結晶方位を測定する前記方位測定装置２８について説明
する。図１及び図５に示すように回転支持機構３８の支
持ローラ４４上に支持されたインゴット１１は搬送台車
４０の水平可動板４２を案内レール４１に沿って移動さ
せることにより、方位測定装置２８内の測定位置にイン
ゴット１１を搬入可能である。この方位測定装置２８内
にはＸ線を水平面内においてインゴット１１の端面に向
けて所定の傾斜角で照射するＸ線投光器１１１と、照射
されたＸ線を受光するＸ線受光器１１２とが配設されて
いる。Ｘ線投光器１１１と受光器１１２はブラケット１
１３によって所定角度で連結されている。このブラケッ
ト１１３は回転テーブル１１４に固定され、Ｘ線照射位
置調整装置１１５によってテーブル１１４が回動又は昇
降動作されると、インゴット１１の端面に対するＸ線照
射角及び照射位置を調整することができる。前記Ｘ線受
光器１１２には反射Ｘ線の出力データが最大か否かを判
別する判別器１１６と、角度演算装置１１７が接続され
てる。該角度演算装置１１７はインゴット１１の端面の
４箇所の反射Ｘ線の出力データに基づいて、インゴット
１１の中心軸線１７に対する水平面内における結晶方位
１６の傾角θを演算することができる。この傾角θの演
算は、例えば特開平３−２５５９４８号公報に開示され
ているものと同じである。

【００４０】図１４に示すように、接着装置２７は制御
装置１１８を有し、この制御装置１１８を介して前記各
モータ５６，８２，８６，９５、搬送装置２６の駆動モ
ータ１１９、搬送台車３９の送りモータ１２０及び結晶
方位測定装置２８が動作される。又、制御装置１１８に
は角度演算装置１１７が接続され、各モータ５６，９５
からのインゴット１１及び水平角度調整板９３の回転角
度が読み取られる。

【００４１】次に、図１２及び図１３に基づいてワイヤ
ソー３１に設けられたインゴット１１の取付ステー１４
を把持するワーク取付機構１２１について説明する。図
１２に示すように支持ブロック１２２は図示しないワイ
ヤソーの昇降コラムに固定され、該ブロック１２２には
固定ホルダー１２３がボルト等により固定されている。
該ホルダー１２３の下面には可動ホルダー１２４が水平
面内で回動可能に図１３に示す連結軸１２５によって連
結されている。前記固定ホルダー１２３と可動ホルダー
１２４との間には可動ホルダー１２４の水平角度を調整
する機構１２６が設けられている。

【００４２】上記機構１２６は固定ホルダー１２３側に
設けた第１ねじ１２７及び第２ねじ１２８を回動操作す
る操作つまみ１２９を備え、つまみ１２９は第１ねじ１
２７に自在継手１３０によって連結されている。又、第
１ねじ１２７には作動片１３１が第２ねじ１２８には作
動片１３３が、作動片１３１，１３３にはそれぞれ回転
子１３２，１３４が設けられ、操作つまみ１２９を回動
することによって、可動ホルダー１２４を軸１２５を中
心に水平方向の回動調節可能である。

【００４３】そして、前記可動ホルダー１２４の下面に
インゴット１１を固定した取付ステー１４が取り付けら
れる。前記支持ブロック１２２には支持筒１４２が下向
きに固定され、該支持筒内には昇降ロッド１４３が貫通
されている。該ロッド１４３の下端部には取付ステー１
４が挿入可能な取付溝１４４ａを形成した取付片１４４
が一体に形成されている。前記取付ステー１４と可動ホ
ルダー１２４との間にはスペーサ１４５が介在されてい
る。そして、一方の取付溝１４４ａにはシリンダ１４１
ａにより進退されるプッシャ１４１ｂが設けられ、前記
取付ステー１４は、他方の取付溝１４４ａの内側面を基
準として、そこへ押し当てられることにより、水平方向
の位置決めがなされる。

【００４４】前記支持ブロック１２２の内部には図１２
に示すように左右一対のカム部材１４６，１４７が横方
向に収容され、ブロック１２２の上面に固定した取付筒
１４８の上部にはエアシリンダ１４９が下向きに固定さ
れている。該シリンダのロッド１５０には作動ロッド１
５１が連結され、該作動ロッド１５１の下端部にはカム
フォロア１５２及びカムピン１５３が連結されている。
又、前記一対のカム部材１４６，１４７にはカム溝１５
４，１５６及びカム面１５５，１５７が形成され、カム
面１５５，１５７には前記カムフォロア１５２が接触さ
れ、カム溝１５４，１５６にはカムピン１５３が係合さ
れている。

【００４５】従って、前記シリンダ１４９により作動ロ
ッド１５１が下降されると、カムフォロア１５２及びカ
ムピン１５３が下動され、カムフォロア１５２がカム面
１５５，１５７に押し付けられる。このためカム部材１
４６，１４７の傾斜カム面１５８，１５９により昇降ロ
ッド１４３が持ち上げられ、取付片１４４によって取付
ステー１４が挟着され垂直方向に位置決めされ、クラン
プされる。

【００４６】反対に、シリンダ１４９によりカムフォロ
ア１５２及びカムピン１５３が持ち上げられると、カム
ピン１５３により、カム溝１５４，１５６が傾斜してい
るので、両カム部材１４６，１４７が接近する方向に移
動され、このため昇降ロッド１４３が下方に移動され、
取付ステー１４のクランプが解除される。

【００４７】さらに、予め前記操作つまみ１２９を回動
して可動ホルダー１２４及び取付片１４４の水平方向の
取付方位を、ワイヤ３４の走行方向に合うように組付上
の誤差を修正することができる。つまり、取付片１４４
の取付溝１４４ａがワイヤソーのワイヤ３４の走行方向
に対し直交する方向に延設されるように微調整してお
く。次に、前記のように構成したインゴット１１に対す
る中間ステー１２及び取付ステー１４の接着方法につい
て図１５のフローに従って説明する。

【００４８】最初に、自動倉庫２５から取り出された単
体のインゴット１１は搬送装置２６によって運ばれ、図
１に示すように搬送台車３９上の複数の支持ローラ４４
の上面に受け渡され、位置規制具４６によって所定位置
に停止される。（ステップＳ１） 次に、図２に示すように、シリンダ５３が作動されて駆
動ローラ５５がインゴット１１の外周面に押圧され、支
持ローラ４４より離れ、インゴット１１が四つのローラ
４８，４８、ローラ５５，５５によりクランプされる。
このインゴット１１のクランプ動作が終了すると、搬送
台車３９すなわち可動盤４２がインゴット１１をクラン
プした回転支持機構３８とともに方位測定装置２８内に
移送される。図１及び図５に鎖線で示すようにインゴッ
ト１１の端面がＸ線投光器１１と受光器１１２との正規
の結晶測定位置に移動されたら、可動盤４２を図示しな
い制動装置により固定する。（ステップＳ２） 次に、方位測定装置２８を起動し、インゴット１１の端
面にＸ線を水平面内で照射して反射させ、その反射Ｘ線
を受光器１１２により受光する。この測定動作を継続し
つつ、サーボモータ５６を起動して駆動プーリ５７を回
転させ、ベルト５９を介して両駆動ローラ５５を回転
し、インゴット１１を四つのローラ４８，５５に支持し
たまま回転する。

【００４９】この状態で反射Ｘ線の出力データが最大と
なる位置を判別器１１６により判別し、結晶方位１６が
水平面内に位置した状態を確認する。すなわち、図９は
インゴット１１の結晶方位１６が水平面１８に対し傾斜
しているが、インゴット１１を矢印方向に回動すると、
図１０に示すように結晶方位１６が水平面１８に移動し
たとき、前記Ｘ線の出力データが最大となるので、これ
を検出し回転を停止する。（ステップＳ３） 次に、前記Ｘ線の出力データが最大となった状態で、サ
ーボモータ１６の回転数に比例したインゴット１１の回
転角を検出するエンコーダ６１の検出位置の初期化を行
い、その初期化位置からインゴット１１を９０度ずつ回
転して計４回の反射Ｘ線の出力データをとる。この４回
の出力データにより結晶方位１６の水平面１８内におけ
るインゴット１１の中心軸線１７に対する水平面１８内
での傾角θ（図８参照）が角度演算装置１１７により演
算される。（ステップＳ４）この方位測定が終了すると
Ｘ線投光器１１１からのＸ線の照射が停止され、インゴ
ット１１は可動盤４２とともに案内レール４１に沿って
方位測定位置から接着装置７１の下方へ搬送される。こ
の状態では、インゴット１１は図２に示すように中間ス
テー１２の下方に位置する。（ステップＳ５） 次に、図２においてモータ８６を起動し、中間ステー１
２を装着したアーム７４を案内レール７３に沿って下方
に移動し、図３に示すように該中間ステー１２をインゴ
ット１１の上面に互いに軸線をほぼ一致させて接触し接
着剤によりインゴット１１と中間ステー１２を接着す
る。この時、オシレート機構８９のモータ８２を起動し
て偏心軸８３を回動すると、案内レール７６に沿ってホ
ルダー７７がインゴット１１の中心軸線１７と平行方向
に往復動されて、接着剤に含まれる気泡が排除され、中
間ステー１２の接着が迅速かつ確実に行われる。（ステ
ップＳ６） この中間ステー１２の接着が完了すると、シリンダ８０
によってクランプ板７９による中間ステー１２のクラン
プを解除した後、前記モータ８６を逆転駆動して支持ア
ーム７４を図４に示すように上昇させて、ホルダー７７
を上方の待機位置に移動停止する。

【００５０】ところで、インゴット１１の水平面内にお
ける中心軸線１７に対する結晶方位１６の傾角θは演算
されている。この傾角θに基づいて、水平角度調整機構
９１のサーボモータ９５が回動され、図６の平面に示す
ように水平角度調整板９３の水平面内での中心軸線１７
に対する傾角αが前記傾角θと同一となるように微調整
される。

【００５１】次に、予め下面に絶縁プレート１３を接着
しかつ絶縁プレート１３の下面に接着剤を塗布した取付
ステー１４が搬入装置１０３によって軽く把持された状
態でインゴット１１の中間ステー１２上面位置へ向かっ
て搬入され、取付ステー１４の側面が水平角度調整板９
３の端面に押し当てられて角度調整される。このため、
インゴット１１の結晶方位１６と取付ステー１４の水平
面内での取付軸線２３とは平行になる。（ステップＳ
７）この状態で搬入装置１０３が取付ステー１４をアン
クランプし、中間ステー１２の上面に対し、取付ステー
１４を載置し、該プレート１３を中間ステー１２に接着
する。（ステップＳ８） 又、図４において、シリンダ５３を作動して駆動ローラ
５５によるインゴット１１のクランプを解除した後、該
インゴット１１を取付ステー１４とともに支持ローラ４
４上を転動させて搬送装置２６上に移動し、搬出され
る。（ステップＳ９）さらに搬送装置２９を通して乾燥
室３０に導き接着部を乾燥させる。その後、搬送装置２
９、搬送台車３２を介してワイヤソー３１へ送られる。

【００５２】この接着完了状態では図１１に示すよう
に、インゴット１１の結晶方位１６及び取付ステー１４
の取付軸線２３は紙面と直交し、かつ水平面１８内にあ
って、インゴット１１の中心軸線１７は水平面内で結晶
方位１６に対しθだけ傾斜している。インゴット１１は
図示しない受け渡し装置によって搬送台車３２からワイ
ヤソー３１のワーク取付機構１２１へ受け渡される。こ
のとき、このインゴット１１の取付ステー１４は、図１
２に示すようにワーク取付機構１２１の取付片１４４内
に挿入され、クランプと同時に位置決めされる。そし
て、そのインゴット１１は、ワイヤソーのワイヤ３４に
より多数の薄いウエハに切断加工される。取付ステー１
４をワーク取付機構１２１の取付片１４４に取り付ける
のみで、取付ステー１４の軸線２３つまりインゴット１
１の結晶方位１６がワイヤソー３１のワイヤ３４走行
（水平）方向と直交する方向に位置決めされるため、加
工後のウエハの切断面は、結晶格子面と平行になる。

【００５３】このため図１６のフローで示すようにイン
ゴット１１をワイヤソー３１に取り付けた後は、ゴニオ
調整することなく、直ちに加工を開始できる。さて、前
記のように構成したインゴット１１と取付ステー１４の
接着方法の作用効果を以下に説明する。 （１）前記第１実施形態では、インゴット１１の結晶方
位１６に対し取付ステー１４の取付軸線２３が平行とな
るように両部材が接着固定されているので、この取付ス
テー１４を図１２に示すワイヤソー３１のワーク取付機
構１２１に取り付けるのみで、直ちにインゴット１１の
切断加工を精度良く行うことができる。従って、ワイヤ
ソー３１にゴニオ角設定器を装備しなくても済み、設備
費を大幅に低減することができる。 （２）前記第１実施形態では、インゴット１１の中心軸
線１７を水平に保ったまま、インゴット１１の結晶方位
１６を一旦水平面内に移動し、この結晶方位１６に対し
平行になるように取付ステー１４の取付軸線２３を水平
面内で移動して位置調整した状態で互いに接着したた
め、インゴット１１及び取付ステー１４を共に水平状態
で搬出され、そのままの姿勢でワイヤソー３１のワーク
取付機構１２１に把持でき、取付作業を迅速に行うこと
ができる。 （３）前記第１実施形態ではインゴット１１の回転支持
機構３８を、方位測定装置２８の一部を兼用し、かつイ
ンゴットの結晶方位１６を水平面内に変位する方位調整
機構４０に兼用したので、接着システムの構造を簡素化
することができる。 （４）前記第１実施形態ではクランプ用ローラ４８及び
駆動ローラ５５によってインゴット１１は所定位置に位
置決めされると同時に、支持ローラ４４から離されるた
め、方位測定及び回転調整が正確かつ円滑に行える。次
に、図１８〜図２７に基づいて本発明の第２実施形態に
ついて説明する。

【００５４】図１８の平面に示すように回転支持機構３
８、搬送台車３９の側方には、ベルトコンベア方式のイ
ンゴット搬入装置１６１及びインゴット搬出装置１６２
が設けられ、インゴット搬入装置１６１のベルトコンベ
ア上には、図２０（ａ）に示すようにインゴット１１が
支持されたパレット１６３が載置され、所定の位置に搬
送される。前記インゴット搬出装置１６２上には図２０
（ｂ) に示すように中間ステー１２及び取付ステー１４
を接着したインゴット１１がパレット１６４に支持され
た状態で搬出される。

【００５５】図１９に示すように回転支持機構３８、イ
ンゴット搬入装置１６１及びインゴット搬出装置１６２
の上方には、第１インゴット搬入出機構１６５が装設さ
れている。この第１インゴット搬入出機構１６５は、門
型のフレーム１６６と、該フレーム１６６に装着された
水平移動機構１６７と、該水平移動機構１６７に装着さ
れたシリンダ方式の昇降機構１６８と、該昇降機構１６
８に装着された把持機構１６９とにより構成されてい
る。そして、インゴット搬入装置１６１のパレット１６
３上のインゴット１１を把持して上方へ持ち上げた後、
水平方向に移動し、後述する第２インゴット搬入出機構
１８１の受け渡し位置Ｐ１（図２２参照）へインゴット
１１を供給可能である。また、第２インゴット搬入出機
構１８１上に移動され、かつ中間ステー１２及び取付ス
テー１４が接着されたインゴット１１を把持して上方へ
持ち上げ、次に水平方向に移動して前記インゴット搬出
装置１６２のパレット１６４上へインゴット１１を搬出
するようになっている。

【００５６】前記回転支持機構３８とインゴット搬入装
置１６１及びインゴット搬出装置１６２との間には、中
間ステー貯留供給機構１７１及び取付ステー貯留供給機
構１７２が装設されている。両貯留供給機構１７１，１
７２は、各ステー１２，１４を１個づつ繰り出して中間
ステー搬送機構１７３及び取付ステー搬送機構１７４上
へ供給する機能を備えている。前記中間ステー１２及び
取付ステー１４の貯留供給機構１７１，１７２の側方に
は中間ステー搬送機構１７３により搬送された中間ステ
ー１２の上面に接着剤を塗布する接着剤塗布機構１７５
が設けられている。同様に、取付ステー貯留供給機構１
７２の側方には取付ステー搬送機構１７４により搬送さ
れた取付ステー１４の上面に接着剤を塗布する接着剤塗
布機構１７６が設けられている。図１８及び図１９に示
すように前記中間ステー搬送機構１７３と対応して、接
着剤が塗布された中間ステーを後述する中間ステー１２
又は取付ステー１４を把持するクランプ機構２２１へ搬
入する中間ステー搬入機構１７７が装設されている。同
様に取付ステー搬送機構１７４と対応して接着剤が塗布
された取付ステーをクランプ機構２２１へ搬入する取付
ステー搬入機構１７８が装設されている。

【００５７】次に、第２実施形態の回転支持機構３８、
搬送台車３９及び結晶方位調整機構４０等の構成を順次
説明する。図２２に示すように機台３７の上面にはステ
ー接着前のインゴット１１を受け渡し位置Ｐ１からステ
ーを接着する接着位置Ｐ２へ搬送し、接着後のインゴッ
トを該接着位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ１へ搬送する第
２インゴット搬送機構１８１が装設されている。該第２
インゴット搬送機構１８１は機台３７に立設された支柱
１８２と、該支柱１８２に軸４０４を支点にして傾動可
能に水平に支持された一対の水平支持アーム１８３と、
該アーム１８３と前記機台３７との間に介在されたシリ
ンダ４００とを備えている。又、該第２インゴット搬送
機構１８１は、支持アーム１８３の前後両端部にそれぞ
れ一対ずつ支持された駆動プーリ１８４及び被動プーリ
１８５と、両プーリ１８４，１８５に巻掛けされた一対
の駆動ベルト１８６と、駆動ベルト１８６によって駆動
される複数のローラ４０１とを備えている。そして、前
記第１インゴット搬入出機構１６５の把持機構１６９に
よって受け渡し位置Ｐ１に搬入されたインゴット１１
を、駆動モータ１８７により駆動ベルト１８６を旋回す
ることによりローラ４０１が駆動され接着位置Ｐ２へ移
動することができる。

【００５８】次に、前記第２インゴット搬送機構１８１
により接着位置Ｐ２へ搬入されたインゴット１１を把持
して回転する回転支持機構３８及びこの機構を搭載して
インゴット１１を接着位置Ｐ２から方位測定位置Ｐ３へ
又その逆方向へ移動する搬送台車３９について説明す
る。

【００５９】図２１，２２に示すように、機台３７に設
けた水平可動盤４２の上面には支持板１９１が両側に立
設固定され、この支持板１９１の上部左右両側には一対
の支持軸１９２が水平方向に、かつ互いに平行に支持さ
れ、両支持軸１９２には駆動ローラ１９３がそれぞれ嵌
合固定されている。この一対の駆動ローラ１９３で形成
されるインゴット１１の搬送高さ４０２は前記一対の水
平支持アーム１８３に装着されたローラ４０１に支持さ
れたインゴット１１の搬送高さ４０３より下方に位置し
ている。前記両支持軸１９２の基端部にはプーリ１９４
が嵌合され、支持板１９１の左側面にはアイドラプーリ
１９４が支持され、ベルト１９５が各プーリ１９４に巻
掛けされている。また、前記６つのプーリ１９４のうち
１つのプーリ１９４はモータ１９６によって回転され、
駆動ローラ１９３を積極的に正逆回転させ、インゴット
１１を回転する。

【００６０】図２１に示すように、前記水平可動盤４２
の上面には、支持板１９７が立設され、該板にはブラケ
ット１９８が取り付けられ、該ブラケットにはレバー１
９９が軸２００を中心に上下方向の回動可能に支持され
ている。前記レバー１９９の先端には押えローラ２０１
が支持され、レバー１９９はシリンダ２０２によって上
下方向に往復傾動される。従って、インゴット１１が駆
動ベルト１８６によって第２インゴット搬入出機構１８
１の受け渡し位置Ｐ１から接着位置Ｐ２へ移動されて前
記駆動ローラ１９３上に移動される。この状態で水平支
持アーム１８３を支えているシリンダ４００のピストン
が下がり水平支持アーム１８３は軸４０４を中心にして
下方へ回動する。これによりインゴット１１は一対の駆
動ローラ１９３上に載置された状態となり、ここでシリ
ンダ２０２を作動させて押えローラ２０１をインゴット
１１の上部外周面に押圧し、インゴット１１を三つのロ
ーラ１９３，１９３，２０１により挟着把持する。同時
に支持板１９１に固設されたブラケット４１０，４１１
に取り付けられたシリンダ４１２，４１３が作動し、ク
ランパー４１４，４１５がインゴット１１を両サイド方
向よりクランプしてステーの接着作業時の上方への押圧
力を受け止めるようになっている。

【００６１】図２２に示すように機台３７の上面には軸
受２０３，２０４が所定間隔をおいて支持され、両軸受
２０３，２０４にはボールネジ２０５が水平に支持され
ている。このボールネジ２０５には前記水平可動盤４２
の下面に取り付けたブラケットにボールネジのナット２
０６が嵌合固定されている。前記軸受２０３の近傍には
駆動モータ２０７が設けられボールネジ２０５を回動可
能である。従って、このモータ２０７の回動によりボー
ルネジ２０５が回転され、ナット２０６を介して水平可
動盤４２上の回転支持機構３８が接着位置Ｐ２と方位測
定位置Ｐ３との間で往復動される。このため回転支持機
構３８に支持されたインゴット１１が方位測定装置２８
に向かって前進し方位測定が可能である。

【００６２】次に、インゴット１１の下面に対し中間ス
テー１２の接着と取付ステー１４の接着とを同一のステ
ーションで行う方式の接着機構を図２１〜２３に基づい
て説明する。

【００６３】前記機台３７には固定軸筒２１１が上下方
向に立設固定され、該筒２１１の内部にはベアリング２
１２を介して回転筒２１３が所定位置において回転可能
に支持されている。該回転筒２１３の内周面には上下１
対のスプライン筒２１４が嵌入され、ボルト２１５によ
り両筒２１３，２１４が固定されている。前記スプライ
ン筒２１４には昇降支持軸２１６が上下方向の往復動可
能に、かつ前記スプライン筒２１４にスプライン嵌合さ
れている。機台３７の内部には昇降レバー２１７が軸２
１８を支点にして揺動可能に支持され、昇降シリンダ２
１９によって昇降レバー２１７が上下方向に往復動され
ると、前記昇降支持軸２１６を昇降動作する。

【００６４】次に、図２３により昇降支持軸２１６の上
端部に設けられた中間ステー１２又は取付ステー１４を
交互にクランプするクランプ機構２２１について説明す
る。このクランプ機構２２１は昇降支持軸２１６の上端
に固定されたクランプ台２２２と、該クランプ台２２２
に設けた固定クランプ爪２２３と、クランプ台２２に取
り付けた可動クランプ爪２２４と、前記クランプ台２２
２に取り付けられ、かつ可動クランプ爪２２４を水平方
向に往復動するシリンダ２２５とにより構成されてい
る。

【００６５】次に、昇降支持軸２１６、クランプ機構２
２１を垂直軸線のまわりで回動して該機構に把持された
取付ステー１４の水平角度を調整する水平角度調整機構
９１の構成について図２２，２３により説明する。

【００６６】図２２に示すように前記回転筒２１３の下
端部外周にはリング２２６が嵌合され、該リングには回
動レバー２２７が取り付けられている。この回動レバー
２２７は機台３７の所定位置に設置された回動機構２２
８によって往復回動され、方位測定データに基づいて取
付ステー１４の取付軸線２３がインゴット１１の水平面
内に位置する中心軸線１７と平行になるように調整され
る。

【００６７】次に、図２４〜図２６に基づいて、中間ス
テー１２及び取付ステー１４をそれぞれ前記クランプ機
構２２１のクランプ台２２２上面に交互に供給する前記
中間ステー及び取付ステーの貯留供給機構１７１，１７
２、搬送機構１７３，１７４、接着剤塗布機構１７５，
１７６、ステー搬入機構１７７，１７８について順次説
明する。

【００６８】図２４に示すように機台３７に設けられた
フレーム２３１には中間ステー１２が上下方向に多数積
層状に収容されている。前記フレーム２３１の前後両側
にはブラケット２３２を介して係止レバー２３３が軸２
３４を中心にシリンダ２３５によって上下回動可能に支
持されている。

【００６９】中間ステー搬送機構１７３は機台３７に設
けられた支持フレーム２４１と該支持フレームに設けら
れたローラコンベア２４２と各ローラを回転する駆動ベ
ルト２４３及び駆動モータ４０５とにより構成されてい
る。そして、中間ステー貯留供給機構１７１から係止レ
バー２３３の作動により１個づつ繰り出された中間ステ
ーをローラコンベア２４２上に移動し、接着剤塗布機構
１７５側に移動可能である。

【００７０】次に、前記接着剤塗布機構１７５について
説明すると、機台３７に設けられたフレーム２５１の上
面には案内レール２５２が前後方向に互いに平行に支持
され、該案内レール２５２には移動体２５３が支持さ
れ、モータ２５４によって前後方向に往復動される。ま
た、移動体２５３には昇降体２５５が１対の案内レール
２５６に沿って昇降可能にシリンダ２５７により昇降可
能に支持されている。該昇降体２５５の側面にはディス
ペンサーノズル２５８が下向きに取り付けられ、該ディ
スペンサーノズルにはフレーム２５１側に設置した接着
剤供給機構２５９からフレキシブルパイプ２６０を介し
て接着剤が所定の量だけ供給されるようになっている。

【００７１】次に、中間ステー搬入機構１７７の構成を
図２１，２６に基づいて説明する。前記接着剤塗布機構
１７５側に移動された中間ステー１２には、接着剤塗布
機構１７５により接着剤が塗布される。これを前記クラ
ンプ機構２２１側に搬入する中間ステー搬入機構１７７
は、図２１に示すようにローラコンベア２４２の間に配
置され、中間ステー１２を上下方向から挟着可能な上下
１対のクランプ爪２６１と、該クランプ爪２６１を支持
し上下方向に往復動する昇降シリンダ２６２と、クラン
プ爪２６１を水平方向に往復動する前後動シリンダ２６
３とにより構成されている。

【００７２】以上のように構成した中間ステー貯留供給
機構１７１、中間ステー搬送機構１７３、接着剤塗布機
構１７５及び中間ステー搬入機構１７７の構成は、取付
ステー貯留供給機構１７２、取付ステー搬送機構１７
４、接着剤塗布機構１７６及び取付ステー搬入機構１７
８の各機構と全く同様に構成されているので、同一の符
号を付して説明を省略する。

【００７３】次に、前記のように構成した装置につい
て、図２７のフローチャートによりその作用を説明す
る。図１８，１９，２２においてインゴット搬入装置１
６１によりインゴット１１がパレット１６３に支持され
た状態で所定位置に移動されると、図示しない停止機構
が作動されて搬入装置１６１が停止される。

【００７４】上記の停止動作に同期して第１インゴット
搬入出機構１６５が作動され、その把持機構１６９が図
１９において、左側の矢印で示すように移動され、パレ
ット１６３上のインゴット１１が第２インゴット搬入出
機構１８１のコンベアローラ４０１の受け渡し位置Ｐ１
へ搬入される。（図２７のステップＳ１１） このインゴット１１の搬入が完了すると、駆動モータ１
８７が作動されてコンベアローラ４０１によりインゴッ
ト１１が受け渡し位置Ｐ１から接着位置Ｐ２に移動す
る。その後、シリンダ４００のピストンロッドが下降し
水平アーム１８３が軸４０４を中心に下方へ傾動される
ことにより、インゴット１１が回転支持機構３８の駆動
ローラ１９３上へ移載される。その後、シリンダ２０２
が作動されて押さえローラ２０１がインゴット１１の上
面に押圧される。同時に、シリンダ４１２，４１３が作
動してクランパー４１４，４１５がインゴット１１を両
側からクランプする。このようにして、インゴット１１
が搬送台車３９に移載される。（ステップＳ１２） この状態で駆動モータ２０７が作動されて搬送台車３９
が案内レール４１に沿って前記接着位置Ｐ２から方位測
定位置Ｐ３へ移動される。（ステップＳ１３） 方位測定位置Ｐ３においてインゴット１１の結晶方位が
前述した第１実施形態と同様にして測定され、インゴッ
トの中心軸線１７が水平面内に位置するようにインゴッ
トが回転される。（ステップＳ１４）その後、搬送台車
３９が案内レール４１に沿って前記方位測定位置Ｐ３か
ら接着位置Ｐ２へ戻される。（ステップＳ１５） 一方、中間ステー貯留供給機構１７１の中間ステー１２
は、中間ステー搬送機構１７３によりローラコンベア２
４２上に一個ずつ繰り出され、接着剤塗布機構１７５へ
供給されて該ステーの上面に接着剤が塗布される。（ス
テップＳ１９，２０）この中間ステー１２は中間ステー
搬入機構１７７のクランプ爪２６１によってクランプさ
れ、図２１に鎖線で示すように待機位置にあるクランプ
機構２２１のクランプ台２２２へ搬入される。その後、
シリンダ２２５により可動クランプ爪２２４が作動され
て、両クランプ爪２２３，２２４間に中間ステー１２が
挟着固定される。（ステップＳ２１） 次に、昇降シリンダ２１９が作動されて昇降支持軸２１
６が上方に移動され、クランプ機構２２１に把持された
中間ステー１２の上面がインゴット１１の下側外周面に
押圧接着される。（ステップＳ１６）このとき、駆動モ
ータ２０７が正逆回転されるので、搬送台車３９が前後
方向に所定のストロークで往復動され、中間ステー１２
とインゴット１１との接着がオシレート機能により確実
に行われる。

【００７５】中間ステー１２の接着が終了すると、クラ
ンプ機構２２１による中間ステー１２の把持が解除され
るとともに、昇降シリンダ２１９により昇降支持軸２１
６及びクランプ機構２２１が下降される。

【００７６】次に、ステップＳ２２で取付ステー貯留供
給機構１７２から繰り出された取付ステー１４は、ステ
ップＳ２３で接着剤塗布機構１７６により上面に接着剤
を塗布される。この接着剤を塗布された取付ステー１４
が、ステップＳ２４で取付ステー搬入機構１７８により
前記クランプ機構２２１へ搬入され、ステップＳ２５で
中間ステー１２の接着動作と同様の動作により取付ステ
ー１４が中間ステー１２の下面に押圧接着される。この
とき、インゴット１１の水平面内にある中心軸線１７に
対する取付ステー１４の取付軸線２３の水平面内での傾
角（前記傾角αに相当）は方位測定装置２８により測定
（ステップＳ１７，Ｓ１８）されているので、この測定
データに基づいて回動機構２２８により昇降支持軸２１
６及びクランプ機構２２１が所定の角度水平面内で回動
され、インゴット１１の中心軸線１７に対し取付ステー
１４の取付軸線２３が平行状態に調整される。

【００７７】なお、中間ステー１２及び取付ステー１４
が接着されたインゴット１１は、ステップＳ２６で接着
位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ１へ移動され、その後、ス
テップＳ２７で第１インゴット搬入出機構１６５により
受け渡し位置Ｐ１からインゴット搬出装置１６２側へ搬
出される。

【００７８】次に、前記第２実施形態の構成に基づく作
用、効果を説明する。 （１）第２実施形態では、中間ステー１２の接着作業
と、取付ステー１４の接着作業を同一のステーションで
行うように中間ステー接着機構及び取付ステー接着機構
を構成したので、構造を簡素化することができるととも
に、作業能率を向上することができる。 （２）第２実施形態では、中間ステー及び取付ステーの
貯留供給機構１７１，１７２、中間ステー及び取付ステ
ーの搬送機構１７３，１７４、接着材塗布機構１７５，
１７６及び中間ステー及び取付ステーをクランプ機構２
２１へ搬入する搬入機構１７７，１７８を設けたので、
中間ステー及び取付ステーに対する接着剤の塗布作業及
びクランプ機構２２１への搬入作業を自動化して作業能
率を向上することができる。 （３）第２実施形態では、インゴット搬入装置１６１、
インゴット搬出装置１６２を設け、第１インゴット搬入
出機構１６５によりインゴットを第２インゴット搬入出
機構１８１の受け渡し位置Ｐ１へ搬入出するようにした
ので、インゴットの搬入出作業を自動的に迅速に行うこ
とができる。 （４）第２実施形態では、機台３７に回動機構２２８に
より角度調整される昇降支持軸２１６を設け、該支持軸
２１６の上部に中間ステー又は取付ステーを把持するク
ランプ機構２２１を設けたので、接着機構の構成を簡素
化することができる。

【００７９】次に、本発明の第３実施形態を図２８〜図
３１に基づいて説明する。この第３実施形態では前述し
た第２実施形態における中間ステー１２の接着機構Ｋ１
と取付ステー１４の接着機構Ｋ２を分離して装設すると
ともに、取付ステー１４の接着機構Ｋ２側に対し、一つ
の取付ステー１４に複数のインゴット１１を取り付ける
取付ステー移動機構２７０を設けている。

【００８０】図２９によりこの取付ステー移動機構２７
０について説明すると、固定軸筒２１１に貫通支持さ
れ、かつ所定位置において回動機構２２８により回動さ
れる回転支持軸２７１の上端部に回転支持板２７２が水
平に支持されている。該回転支持板２７２には一対の案
内金具２７３が固定され、前記クランプ機構２２１のク
ランプ台２２２の下面に固定したガイドレール２７４が
案内金具２７３に案内されなされ長手方向に往復動可能
である。前記クランプ台２２２の下面側部にはその長手
方向にラック２７５が固定されている。このラック２７
５には前記回転支持板２７２のブラケット２７６に設け
られたブレーキ４０６内蔵のモータ２７７の軸に固定さ
れたピニオン２７６が噛み合わされている。

【００８１】次に、上述した取付ステー移動機構２７０
の作用について、図３０と平面を表した図３１（ａ）〜
（ｃ）を中心に説明する。図３１（ａ）はクランプ機構
２２１に把持された取付ステー１４の左端部寄りに第１
番目のインゴット１１が図示しない回転搬送支持機構
（前記回転支持機構３８と同様の機構）により把持さ
れ、インゴット１１の下面に接着された中間ステー１２
の下面が取付ステー１４の上面に位置した状態を示す。
この状態で第１番目のインゴット１１を所定位置に配置
したまま方位測定装置２８の測定データに基づいて回動
機構２２８により回転支持軸２７１を図３１（ａ）に示
すように回動し、方位調整した後、取付ステー１４とイ
ンゴット１１の下面に接着された中間ステー１２とを接
着する。

【００８２】第１番目のインゴット１１の接着が終了す
ると、モータ２７７のブレーキ４０６を解除するととも
に、モータ２７７によりピニオン２７８を回転してラッ
ク２７５を直線移動し、図３１（ｂ）に示すように取付
ステー１４のほぼ中央部を回転支持軸１７１の上方に移
動させモータ２７７のブレーキ４０６をＯＮにする。そ
して、この取付ステー１４の上面に第２番目のインゴッ
ト１１の下面に接着した中間ステー１２の下面を位置さ
せる。この状態で再び第１番目のインゴット１１の接着
動作と同様に第２番目のインゴット１１を所定位置に把
持したまま方位測定装置２８の測定データに基づいて回
動機構２２８により回転支持軸２７１を図３１（ｂ）に
示すように回動し、方位調整した後、取付ステー１４に
中間ステー１２を接着する。さらに、第３番目のインゴ
ット１１の接着動作も図３１（ｃ）に示すように第２番
目のインゴット１１の接着動作と同様に行われる。

【００８３】さて、前述した第３実施形態では、回転支
持軸２７１とクランプ機構２２１との間に取付ステー移
動機構２７０を設けたので、一つの取付ステー１４に対
し長さの短い複数個のインゴット１１を方位調整しなが
ら容易に接着することができる。

【００８４】次に、この発明の第４実施形態を図３２に
基づいて説明する。この第４実施形態では中間ステー１
２の接着機構Ｋ１と取付ステー１４の接着機構Ｋ２との
間に乾燥機構２８１を設けている。又、インゴット搬入
装置１６１の近傍には不要となったパレット１６３を収
納する装置１８２が設けられ、接着機構Ｋ１と搬入装置
１６１との間には中間ステー１２を接着したインゴット
１１を支持するパレット１６４をコンベア２８０の上面
に供給するパレット供給装置１８４が設けられている。
なお、前述した第２実施形態と同様の機能を有する部材
については同一の符号を付して説明を省略する。

【００８５】この第４実施形態では中間ステー１２を接
着した後、それを乾燥機構２８１に供給するので、イン
ゴット１１に中間ステー１２を確実にかつ迅速に接着し
た後、中間ステー１２への取付ステー１４の接着を確実
かつ容易に行うことができる。

【００８６】なお、本発明は次のように具体化すること
ができる。 （１）前記各実施形態において、制御装置１１８に対
し、インゴット１１に対する中間ステー１２及び取付ス
テー１４の接着時の押付圧、オシレート速度、オシレー
ト回数及びオシレート時間を制御できる機能を付与する
こと。そして、接着データを操作パネルにより設定した
り予め記憶されたデータの中から適正なデータを選択し
たりすること。 （２）前記絶縁プレート１３を省略すること。 （３）前記絶縁プレート１３及び中間ステー１２を省略
すること。 （４）結晶方位の測定及び方位調整は、インゴット１１
を停止させた状態で、方位測定装置２８を回転させるこ
とによって、インゴット１１の結晶方位１６の角度を測
定し、この測定結果に基づいて、結晶方位１６が水平面
内に位置するようにインゴット１１を回転調整するこ
と。 （５）インゴット１１の結晶方位１６に対し、取付ステ
ー１４の軸線２３を平行にするように位置調整する手段
は、取付ステー１４を所定の状態に静止させておき、イ
ンゴット１１を水平面内で回転させることによって相対
位置を調整するものである。 （６）予め、取付ステー１４に中間ステー１２を略方位
調整して接着しておき、一体化した状態で本接着装置に
て一工程で接着を行うこと。

【００８７】上記実施形態から把握できる請求項以外の
技術思想について、以下にその効果とともに記載する。
インゴット１１に対し取付ステー１４を結晶方位１６と
取付軸線２３とを平行にして接着した状態の取付ステー
１４を所定の方向に把持するワーク取付機構１２１を備
えたワイヤソー。

【００８８】このワイヤソーは、構造を簡素化し、取付
ステー１４の取付作業を自動化することができ、稼働率
を向上することができる。

【００８９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１，７，２
０記載の発明は、加工機にゴニオ角設定器を装着する必
要を無くして、インゴット切断加工の装置全体の設備費
を低減することができるとともに、加工機へのインゴッ
トの取付作業を自動化して、加工機の稼働率を向上する
ことができる。

【００９０】請求項２，３，４，９，１０記載の発明に
おいては、インゴットの結晶方位に対し取付ステーの取
付軸線が平行となるように両部材が接着固定されるの
で、この取付ステーを加工機のワーク取付位置に容易に
取り付けることができる。

【００９１】請求項５記載の発明においては、中間ステ
ー及び取付ステーの接着作業を迅速に行うことができ
る。請求項６、１８又は１９記載の発明においては、単
一の取付ステーに複数のインゴットを接着することがで
きる。

【００９２】請求項８，１５又は１６記載の発明におい
ては、中間ステーを介して取付ステーの接着を容易に行
うことができる。中間ステーの接着と取付ステーの接着
とを同一の接着装置で行うことができるので、スペース
の削減と設備費の低減が図れる。

【００９３】請求項１１記載の発明においては、接着装
置の構成を簡素化し、設備費を低減することができる。
請求項１２記載の発明においては、オシレート機構によ
りインゴットに対し中間ステーを確実に接着することが
できる。

【００９４】請求項１３記載の発明においては、搬送台
車により結晶方位測定手段と方位調整手段との間のイン
ゴットの移動を迅速に行うことができる。請求項１４記
載の発明においては、複数のクランプ用ローラによって
インゴットは所定位置に位置決めされると同時に駆動ロ
ーラ上から離されるため、方位測定及び回転調整を正確
かつ円滑に行うことができる。

【００９５】請求項１７記載の発明においては、中間ス
テー及び取付ステーの供給作業を自動的に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の接着方法を具体化した接着装置及
び方位測定装置を示す正断面図。

【図２】 接着装置及び方位測定装置の側断面図。

【図３】 接着装置及び方位測定装置の側断面図。

【図４】 接着装置及び方位測定装置の側断面図。

【図５】 回転支持機構及び方位測定装置の平断面図。

【図６】 水平角調整機構の平面図。

【図７】 インゴット及び取付ステーの斜視図。

【図８】 方位測定方法を説明する平面図。

【図９】 方位測定方法を説明する正面図。

【図１０】 方位測定方法を説明する正面図。

【図１１】 インゴットに取付ステーを接着した状態を
示す正面図。

【図１２】 ワーク取付機構の縦断面図。

【図１３】 ワーク取付機構の部分平面図。

【図１４】 制御装置を示す略体説明図。

【図１５】 インゴットと取付ステーの接着方法を示す
フローチャート。

【図１６】 インゴットの加工方法を示すフローチャー
ト。

【図１７】 加工装置全体の略体斜視図。

【図１８】 本発明の第２実施形態を示す平面図。

【図１９】 同じく第２実施形態の正面図。

【図２０】 （ａ），（ｂ）はパレット及びインゴット
の斜視図。

【図２１】 接着機構を示す断面図。

【図２２】 接着機構を示す断面図。

【図２３】 昇降支持軸の軸受構造及びクランプ機構の
拡大断面図。

【図２４】 ステー貯留供給機構及び接着剤塗布機構の
正面図。

【図２５】 ステー貯留供給機構及び接着剤塗布機構の
平面図。

【図２６】 ステー搬入機構の平面図。

【図２７】 インゴットと取付ステーの接着方法を示す
フローチャート。

【図２８】 本発明の第３実施形態を示す断面図。

【図２９】 取付ステーの接着機構を示す断面図。

【図３０】 取付ステーの接着機構を示す斜視図。

【図３１】 （ａ），（ｂ），（ｃ）は取付ステーの接
着方法を説明する平面図。

【図３２】 本発明の第４実施形態を示す略体平面図。

【図３３】 従来のインゴットの加工方法のフローチャ
ート。

【符号の説明】

１１…単結晶インゴット、１２…中間ステー、１４…取
付ステー、１５…格子面、１６…結晶方位、１７…イン
ゴットの中心軸線、２７…接着装置、２８…結晶方位測
定（手段）装置、３８…回転支持機構、３９…搬送台
車、４０…結晶方位調整（手段）機構、４２…水平可動
盤、４４…支持ローラ、４８…クランプ用ローラ、５５
…駆動ローラ、５６…回転用サーボモータ、７１…中間
ステー接着機構、７４…支持アーム、８６…昇降用サー
ボモータ、８９…オシレート機構、９１…位置調整手段
を構成する水平角度調整機構、９３…水平角度調整板、
９５…角度調整用サーボモータ、１０３…取付ステー搬
入接着機構、１１１…Ｘ線投光器、１１２…Ｘ線受光
器、１１６…判別器、１１７…角度演算装置、１１８…
各機構及び装置を制御する制御装置。

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円柱状をなすインゴットの中心軸線を水
   平に保ったままインゴットの結晶方位が水平面内に位置
   するように、インゴットをその中心軸線を中心に回転さ
   せて位置調整し、この位置調整されたインゴットの結晶
   方位に対し、このインゴットに取り付けられる取付ステ
   ーの取付軸線が平行になるように、取付ステー又はイン
   ゴットのいずれか一方を水平面内で位置調整した後、イ
   ンゴットと取付ステーとを接着するインゴットと取付ス
   テーの接着方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、インゴットの結晶方
   位をＸ線の回析を利用して測定し、結晶方位の測定デー
   タに基づいてインゴットの位置調整及び該インゴットと
   取付ステーの相対位置調整を行い、インゴットと取付ス
   テーとを接着するインゴットと取付ステーの接着方法。
3. 【請求項３】 請求項２において、円柱状をなすインゴ
   ットをその中心軸線を水平にして所定位置で該軸線を中
   心に回転し、該インゴットの端面にＸ線を水平面内で照
   射して反射されたＸ線の出力データが最大となってイン
   ゴットの結晶方位が水平面内に変位したとき、インゴッ
   トの回転を停止し、次にインゴットの中心軸線に対する
   結晶方位の水平面内での傾角を複数の測定点の反射Ｘ線
   の出力データから演算し、該傾角から取付ステーの取付
   軸線が結晶方位と平行になるように取付ステー又はイン
   ゴットを水平面内で位置調整し、インゴットに取付ステ
   ーを接着するインゴットと取付ステーの接着方法。
4. 【請求項４】 請求項２において、円柱状をなすインゴ
   ットをその中心軸線を水平にして所定位置で該軸線を中
   心に回転し、該インゴットの端面にＸ線を水平面内で照
   射して反射されたＸ線の出力データが最大となってイン
   ゴットの結晶方位が水平面内に変位するまで、インゴッ
   トを回転させた後、可切断材よりなる中間ステーをその
   取付軸線を前記インゴットの中心軸線に合わせて前記イ
   ンゴットの上部又は下部に接着し、前記中間ステーの上
   面又は下面に取付ステーを水平面内で変位可能に支持
   し、インゴットの中心軸線に対する結晶方位の水平面内
   での傾角を複数の測定点の反射Ｘ線の出力データから演
   算し、該傾角から取付ステーの取付軸線が結晶方位と平
   行になるように取付ステーを水平面内で位置調整し、前
   記中間ステーに取付ステーを接着するインゴットと取付
   ステーの接着方法。
5. 【請求項５】 請求項４において、インゴットに中間ス
   テーを接着した後、インゴットと中間ステーを乾燥室に
   搬送して接着剤を乾燥し、その後中間ステーに取付ステ
   ーを接着するインゴットと取付ステーの接着方法。
6. 【請求項６】 請求項１〜４のいずれかにおいて、単一
   の取付ステーに複数のインゴット又は中間ステーを順次
   接着するインゴットと取付ステーの接着方法。
7. 【請求項７】 インゴットの結晶方位をＸ線の回析を利
   用して測定する結晶方位測定手段と、 上記結晶方位測定手段の測定データに基づいて円柱状を
   なすインゴットの中心軸線を水平に保ったままインゴッ
   トの結晶方位が水平面内に位置するようにインゴットを
   その中心軸線を中心に回転させて位置調整する結晶方位
   調整手段と、 上記結晶方位調整手段により位置調整されたインゴット
   に対する上記結晶方位測定手段の測定データに基づい
   て、インゴットに取り付けられる取付ステーの取付軸線
   がインゴットの結晶方位に対し平行になるように取付ス
   テー又はインゴットのいずれか一方を水平面内で位置調
   整する取付ステー位置調整手段と、 上記結晶方位調整手段及び取付ステー位置調整手段によ
   り調整されたインゴットと取付ステーとを互いに接着す
   る取付ステー接着機構とを備えたインゴットと取付ステ
   ーの接着装置。
8. 【請求項８】 請求項７において、前記インゴットの結
   晶方位が水平面内に位置した状態で、該インゴットの上
   面又は下面に可切断材よりなる中間ステーを接着剤を介
   して接触させ、該中間ステーの取付軸線をインゴットの
   中心軸線に合わせて水平に接着する中間ステー接着機構
   を備え、前記取付ステー位置調整手段は、前記中間ステ
   ーの上面又は下面に接触した取付ステーをその取付軸線
   がインゴットの結晶方位と平行になるように水平面内に
   位置調整するものであり、さらに、前記取付ステー接着
   機構は、この位置調整された取付ステーを前記中間ステ
   ーの上面又は下面に接着するものであるインゴットと取
   付ステーの接着装置。
9. 【請求項９】 請求項７又は８において、前記結晶方位
   測定手段はインゴットの端面にＸ線を水平面内で照射し
   て反射されたＸ線の出力データが最大となることにより
   インゴットの結晶方位が水平面内に位置したことを検出
   するとともに、インゴットの中心軸線に対する結晶方位
   の水平面内での傾角を複数の測定点の反射Ｘ線の出力デ
   ータから演算するものであるインゴットと取付ステーの
   接着装置。
10. 【請求項１０】 請求項９において、前記結晶方位調整
    手段は、円柱状をなすインゴットをその中心軸線を水平
    に支持して回転させる回転支持機構を有するものであ
    り、前記結晶方位測定手段は前記回転支持機構に支持さ
    れた前記インゴットの端面に対し水平面内においてＸ線
    を照射するＸ線投光器と、反射されたＸ線の受光器と、
    該Ｘ線受光器により受光された反射Ｘ線の出力データが
    最大か否かを判断する判断手段と、前記結晶方位調整手
    段によって位置調整されたインゴットの中心軸線に対す
    る結晶方位の水平面内での傾角を複数の測定点の反射Ｘ
    線の出力データから演算する角度演算手段とにより構成
    されているインゴットと取付ステーの接着装置。
11. 【請求項１１】 請求項１０において、前記結晶方位調
    整手段は、結晶方位測定手段からの反射Ｘ線の出力デー
    タが最大となる位置までインゴットを前記回転支持機構
    により回転してその結晶方位を水平面内に位置させるも
    のであり、前記取付ステー位置調整手段は、インゴット
    の結晶方位が水平面内に位置した状態で、該インゴット
    の上部又は下部に取付ステーを接触し、結晶方位測定手
    段からのインゴットの中心軸線に対する結晶方位の水平
    面内での傾角に基づいて前記取付ステーを水平面内で位
    置調整する水平角度調整機構を有しているインゴットと
    取付ステーの接着装置。
12. 【請求項１２】 請求項８において、前記中間ステー接
    着機構は中間ステーとインゴットの上面又は下面との間
    に接着剤を介在させた状態で該中間ステー又はインゴッ
    トを、該インゴットの中心軸線方向に往復動するオシレ
    ート機構を備えているインゴットと取付ステーの接着装
    置。
13. 【請求項１３】 請求項１０〜１２のいずれかにおい
    て、前記結晶方位測定手段と結晶方位調整手段との間に
    は、インゴットを支持して回転する前記回転支持機構を
    備えた搬送台車が往復動可能に装設されているインゴッ
    トと取付ステーの接着装置。
14. 【請求項１４】 請求項１３において、搬送台車上に
    は、インゴット搬出入用の複数の支持ローラが設けら
    れ、前記回転支持機構は、その支持ローラの上方に設け
    られ、かつ支持ローラ上に搬入されたインゴットを両側
    より挟持して支持ローラから若干持ち上げ、所定位置に
    位置決めする複数のクランプ用ローラを有し、そのうち
    の少なくとも１個がインゴットに回転を付与する駆動ロ
    ーラであるインゴットと取付ステーの接着装置。
15. 【請求項１５】 請求項８において、前記結晶方位調整
    手段の下方には前記中間ステー接着機構が配設され、該
    中間ステー接着機構には前記取付ステー位置調整手段が
    一体的に組み込まれているインゴットと取付ステーの接
    着装置。
16. 【請求項１６】 請求項１５において、前記中間ステー
    接着機構は、機台の所定位置において昇降機構により上
    下動可能に支持された昇降支持ロッドと、該昇降支持ロ
    ッドの上端部に装着され、かつ上面に接着剤を塗布され
    た中間ステーをクランプするクランプ機構とにより構成
    され、前記取付ステー位置調整手段は前記機台と昇降支
    持ロッドとの間に介在され、該昇降支持ロッドを垂直軸
    線の周りで回動して前記クランプ機構に把持され、かつ
    上面に接着剤を塗布された取付ステーを水平面内で回動
    する傾き角調整機構であるインゴットと取付ステーの接
    着装置。
17. 【請求項１７】 請求項１５又は１６において、前記機
    台には中間ステーを積層してストックし、該中間ステー
    を一個ずつ繰り出し供給する中間ステー貯留供給機構
    と、繰り出された中間ステーを接着剤塗布機構まで搬送
    する中間ステー搬送機構と、該搬送機構上の中間ステー
    を前記クランプ機構に搬入する中間ステー搬入機構が設
    けられ、一方、機台の他側には前述した中間ステー貯留
    供給機構、接着剤塗布機構及び中間ステー搬送機構と同
    様に構成された取付ステー貯留供給機構、接着剤塗布機
    構及び、取付ステー搬入機構が設けられているインゴッ
    トと取付ステーの接着装置。
18. 【請求項１８】 請求項７，８，１５，１６のいずれか
    において、前記取付ステー位置調整手段は単一の取付ス
    テーに複数のインゴット又は中間ステーを接着可能な取
    付ステー移動機構を備えているインゴットと取付ステー
    の接着装置。
19. 【請求項１９】 請求項１８において、前記取付ステー
    移動機構は機台の所定位置において垂直軸線の周りで往
    復回動される回転支持軸と、該回転支持軸の上端部に水
    平に支持された回転支持板と、該回転支持板に水平方向
    の往復動可能に支持され、かつ取付ステーをクランプす
    るクランプ機構とにより構成されているインゴットと取
    付ステーの接着装置。
20. 【請求項２０】 円柱状をなすインゴットをワイヤソー
    へ搬入して切断加工する方法において、ワイヤソーへの
    搬入に先立って、予めインゴットをその中心軸線を平行
    に保ったままインゴットの結晶方位が水平面内に位置す
    るように、インゴットをその中心軸線を中心に回転させ
    て位置調整し、この位置調整されたインゴットの結晶方
    位に対し、このインゴットに取り付けられる取付ステー
    の取付軸線が平行になるように、取付ステー又はインゴ
    ットのいずれか一方を水平面内で位置調整して、インゴ
    ットと取付ステーとを接着した後、そのインゴットをワ
    イヤソーへ搬入し、ワイヤソーのワーク取付位置に取付
    ステーをその軸線がワイヤ走行方向に対し直交する所定
    の姿勢で取り付け、ワイヤソーによる切断加工を行うこ
    とを特徴とするインゴット切断加工方法。