JPH09202879A - 水溶性蛍光体、その製造方法および水溶性蛍光体組成物並びに蛍光膜製造方法 - Google Patents

水溶性蛍光体、その製造方法および水溶性蛍光体組成物並びに蛍光膜製造方法

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JPH09202879A
JPH09202879A JP29426896A JP29426896A JPH09202879A JP H09202879 A JPH09202879 A JP H09202879A JP 29426896 A JP29426896 A JP 29426896A JP 29426896 A JP29426896 A JP 29426896A JP H09202879 A JPH09202879 A JP H09202879A
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phosphor
soluble
soluble phosphor
alkali metal
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JP29426896A
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English (en)
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Jong-Ho Cho
鍾 晧 趙
Choonlak Kim
充 洛 金
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SANSEI DENKAN KK
Samsung SDI Co Ltd
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SANSEI DENKAN KK
Samsung Display Devices Co Ltd
Samsung Electron Devices Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光効率と色再現範囲に優れる水溶性蛍
光体を使用するための乾式膜製造方法を通じて、カラー
陰極線管の輝度と鮮明度を向上させる。 【解決手段】 陽電荷調節用コーティング物質Aが0.
1〜5wt%ドーピングされた、下記式(I)で表され
るカラー陰極線管用の水溶性蛍光体、 【化1】MxGayz :A (I) ここに、Mはアルカリ金属であり、x=1〜5、y=1
〜5、z=2〜8の値である。この水溶性蛍光体を含む
組成物を噴射して蛍光膜を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はカラー陰極線管用水
溶性蛍光体、その製造方法および水溶性蛍光体組成物並
びに蛍光膜製造方法に関し、詳しくは、ブラウン管スク
リーン工程で水を使わない乾式製造工法を導入し、発光
効率が優れる水溶性蛍光体を代替使用することによって
ブラウン管の蛍光面の発光効率を増加させ、同一蛍光面
輝度から電子ビームによる電流値を減少させて、電子ビ
ームスポット減少による画面の鮮明度を増加させたカラ
ー陰極線管用蛍光体に関する。
【0002】
【従来の技術】陰極線管(CRT)の蛍光面は、電子ビ
ームのエネルギーを光エネルギーに変換させる所に、図
5に示すように電子が観察者の反対側からパネル11に
形成された蛍光面16の蛍光体に衝突することにより発
光され、この蛍光面の特性は蛍光体の性質に大きく依存
する。現在カラー陰極線管の蛍光面に使用される蛍光体
は、亜鉛、イットリウムなどの酸化物、硫化物などを母
体とし、これら母体に活性剤と呼ばれる微量の不純物を
添加して、700〜1300℃の温度で30分〜数時間
焼成して製造される。ここに添加される活性剤として、
銅、銀あるいは各種希土類元素などが使用される。
【0003】カラー陰極線管の蛍光面製造工程は、次の
通りである。この製造工程は写真製版法によってなされ
る。まず、洗浄を終えたパネルの内面にホトレジストを
塗布し、露光した後に現像、黒鉛塗布、エッチングの各
工程を経て、黒鉛ストリップを形成してブラック・マト
リックスを形成する。その後、パネル内面のブラック・
マトリックス間に蛍光体層を塗布した後、有機被膜を形
成するフィルミングを行い、アルミニウム蒸着によりア
ルミニウム膜を形成する。
【0004】そして、熱処理過程により有機物を分解し
て蛍光面に残っている有機物質を除去した後、蛍光面を
形成する過程を経る。この過程はスラリー法が主に利用
されていて、ポリビニルアルコール(PVA)と重クロ
ム酸アンモニウム(ADC)の溶液に、蛍光体を懸濁さ
せて蛍光体スラリーを製造する。図6に示すように、こ
の蛍光体スラリー22をノズル21を通じてパネル11
内面にスピンコート法により塗布を行い、赤外線ヒータ
ーで乾燥させた後、シャドウマスクを挿入してパネル内
面に形成された感光性膜を紫外線により感光されて硬化
させた後、水で現像して蛍光体パターンを形成する。こ
れを、赤、緑、青(R,G,B)について反復し、三色
の蛍光体パターンを形成する。このように、蛍光面は感
光性塗布膜を紫外線に感光することによって形成され、
感光層は蛍光体とポリビニルアルコール、重クロム酸ア
ンモニウム、水、界面活性剤などとからなっているが、
実際的な感光メカニズムはポリビニルアルコール、重ク
ロム酸アンモニウム、水により進行される。
【0005】蛍光膜形成のメカニズムは、大きく分けて
暗反応と明反応に分類できる。暗反応とは、蛍光体スラ
リーでポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニウム
の間で起こる酸化還元反応を意味し、明反応とはポリビ
ニルアルコールのチェーンが切れて明反応過程でCr+6
から還元されたCr+3によってポリビニルアルコールが
架橋し、結果的にポリビニルアルコールの水に対する溶
解度が減少する効果をもたらす反応を意味する。光反応
が進行する間は水が消費されるので、塗布膜に湿気が少
なすぎると反応が抑制される反面、多すぎると三次元的
な架橋が抑制される。光反応が進行する間に生成された
必要なCr+3は競合反応で、水とともに安定した化合物
を形成するようになるが、こうした化合物は架橋に寄与
できない。露光されて光反応が進行する間は、適当な湿
気の濃度が蛍光膜層に維持される時に限って、必要とす
る反応物を得ることができる。
【0006】上述したように形成された蛍光膜でのカラ
ー陰極線間の発光原理は、図5の電子銃14から発生さ
れた電子ビームによるエネルギーが、偏向ヨーク13の
影響を受けるとともに、コーン12を経て、パネル11
内面にコーティングされた蛍光体を発光させることによ
り画像が形成されるものである。上述した工程の内、塗
布工程は、蛍光体を水溶液にして噴射させることにより
塗布し、蛍光体が沈殿すると露光、硬化段階を経て洗浄
する工程とからなっているが、蛍光体が水に溶解する場
合、蛍光体の本来の性質を失うという問題点がある。そ
のため、蛍光体はその固有の特性を失わないためには水
と反応してはならない。したがって、水溶性蛍光体の場
合には、発光効率、色座表、残光時間などの諸特性にお
いて多くの長所があるにもかかわらず、工程上、最初か
ら考慮対象外とされてきた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
のカラー陰極線管では考慮対象外とされてきた、発光効
率と色再現範囲に優れる水溶性蛍光体を使用するための
乾式膜製造方法を通じて、カラー陰極線管の輝度と鮮明
度を向上させることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題は、請求項記載
の発明により達成される。即ち、本発明の特徴構成は、
陽電荷調節用コーティング物質Aが0.1〜5wt%ド
ーピングされた、下記式(I)に示す水溶性蛍光体であ
る点にある。
【0009】
【化2】MxGayz:A (I)
【0010】(ここに、Mはアルカリ金属であり、x=
1〜5、y=1〜5、z=2〜8の値である。) 前記陽電荷調節用コーティング物質は、エチルセルロー
ス、ポリメチルメタアクリレート、ニグロシン、第4級
アンモニウム塩からなる群から選ばれたものであること
が好ましい。前記アルカリ金属は、リチウム,ナトリウ
ム,カリウム,ルビジウムまたはセシウムの少なくとも
1であることが好ましい。さらに、前記水溶性蛍光体
は、スピネル構造を有するに至るものであることが好ま
しい。
【0011】更に、請求項1記載の水溶性蛍光体の製造
方法の特徴構成は、アルカリ金属−硫酸ガリウム(MG
a(SO4)・nH2O)を空気中で加熱する工程を含む
点にある。酸化ガリウム・アルカリ金属溶液(MGaO
2(l))とガリウム分散液を混合して酸化ガリウム・
アルカリ金属溶液とガリウム分散液の混合液を蒸発さ
せ、前記した蒸発させた混合液を共沈させる工程を含む
ことにより請求項1記載の水溶性蛍光体を製造してもよ
い。また、ゲル状態の水酸化ガリウム(Ga(O
H)3)とアルカリ金属水酸化物(M(OH))を混合
し、前記した水酸化ガリウムとアルカリ金属水酸化物の
混合液を300〜500℃の温度で急激に脱水化させる
工程を含むことにより請求項1記載の水溶性蛍光体を製
造してもよい。
【0012】更に又、本発明にかかるカラー陰極線管用
水溶性蛍光体組成物の特徴構成は、水溶性蛍光体と流体
を含む点にある。前記水溶性蛍光体は、組成式が上記式
(I)に示すカラー陰極線管用水溶性蛍光体組成物であ
ることが好ましい。前記水溶性蛍光体は顔料または活性
剤をさらに含むものであり、前記流体は空気または窒素
ガスであることが好ましい。
【0013】ブラック・マトリックスが形成されたカラ
ー陰極線管用パネルを帯電させ、前記帯電されているパ
ネルで選択部位の電荷が除去されるようにシャドーマス
クを通じて露光させ、露光させた前記パネルに陽極帯電
させた水溶性蛍光体組成物を噴射して乾燥させて、蛍光
膜を形成する工程を含むカラー陰極線管用蛍光膜製造方
法を提供する。前記帯電はコロナ帯電であることが好ま
しく、前記水溶性蛍光体組成物は蛍光体と流体を含むも
のであり、前記水溶性蛍光体は陽電荷調節用コーティン
グ物質Aが0.1〜5wt%ドーピングされた、上記式
(I)に記載したものであることが好ましい。
【0014】以上のように、本発明によれば、発光特性
が優秀なガリウム化合物系水溶性蛍光体およびその製造
方法を提供し、水を使わない乾式電子写真原理を導入し
て、この水溶性蛍光体と流体とからなっている蛍光体組
成物をブラウン管スクリーン製造工程に適用することに
よって、発光効率と色再現範囲を向上させ同一蛍光面輝
度で電子ビームによる電流値を減少させて、電子ビーム
スポットの減少によって鮮明度を増加させることができ
るのである。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明は、水溶性蛍光体を使用す
るための工程で、レーザープリンタなどに活用される乾
式電子写真原理をブラウン管スクリーンの製造に応用し
た図3のような工程を通じて、発光特性が優秀な水溶性
蛍光体で製造されたガリウム化合物系蛍光体を使用し
て、優れた輝度を持った蛍光膜を提供するものである。
本工程に使用される蛍光体は、アルカリ・ガリウム化合
物系蛍光体で、その組成式が上記式(I)に示されるも
のであり、主に使用される化合物としては、Li5Ga
4,LiGaO2,LiGaO8,MGaO2(Mはアル
カリ金属)等がある。
【0016】本発明による蛍光膜を現像する工程は、ブ
ラック・マトリックスが形成されたカラー陰極線管用パ
ネルをコロナ帯電させて陽極帯電になるようにした後、
露光させる。ついで、水溶性蛍光体組成物を準備する。
水溶性蛍光体組成物を準備する過程は、次の通りであ
る。まず、蛍光体粉末を蛍光体粉末タンクの注入口を通
じてフィーダーに一定量を入れた後、モーターの回転に
よるスクリューを駆動させて蛍光体を蛍光体量調節バル
ブに伝送し、蛍光体量調節バルブを開閉することによっ
て流体調節バルブを通じて供給される空気または窒素ガ
スが使用される流体の供給量と蛍光体量を適切な比率で
混ぜた後、流体に分散された蛍光体組成物を噴射銃に供
給する。噴射銃内部には、供給された蛍光体組成物が陽
極帯電するように摩擦またはコロナ帯電を可能にする装
置が内蔵されている。従って、露光後、図2に示すよう
に、静電潜像が形成されたパネル内面に陽極帯電された
蛍光体組成物を、噴出口を通じて噴射すると、電荷反発
力が作用して、パネルの帯電されていない領域に陽極帯
電された乾燥蛍光体組成物が蓄積するようになる。
【0017】
【実施例】つぎに、本発明の好適な実施例を示す。しか
し、この実施例は本発明をより理解し易くするために示
すものであり、本発明はこの実施例に限定されるもので
はない。 〔実施例1〕LiGa(SO42・nH2O 100g
を空気中で加熱して、リチウム・ガレイト系水溶性蛍光
体LiGaO2を製造した。この水溶性蛍光体LiGa
2に陽電荷調節用コーティング物質であるエチルセル
ロース1wt%をドーピングした。これを用いて、カラ
ー陰極線管用蛍光膜を製造する方法を説明する。洗浄し
たカラー陰極線管用ガラスパネルに導電性物質41を積
層し、その上に光導電性物質42を積層した後、コロナ
帯電をさせ、シャドウマスクを挿入し、光源5から紫外
線を照射して紫外線露光させた。ついで、黒鉛を塗布、
乾燥してブラック・マトリックスを形成した。
【0018】上述の調剤したガリウム酸リチウム系蛍光
体LiGaO2:M(M:活性剤)粉末36を、蛍光体
粉末タンク37の注入口を通じてフィーダーにその50
gを入れ、モーターの回転によりスクリューを駆動させ
て蛍光体粉末を蛍光体量調節バルブ35へ移送し、流体
調節バルブ34を通じて供給される流体(空気または窒
素)の供給量と前記蛍光体粉末の混合濃度が5g/m3
になるように蛍光体粉末量調節バルブ35を開閉し、空
気または窒素よりなる流体に分散された水溶性蛍光体粉
末を噴射銃33に供給し、この噴射銃33に供給された
蛍光体粉末を陽極帯電させた。露光後、静電潜像が形成
されたパネル11内面の非帯電領域43に、帯電した乾
燥蛍光体組成物31を蓄積して定着させた。上述のコロ
ナ帯電、露光、蛍光体現像および定着の過程を、赤色、
緑色、青色蛍光体の順に3回反復して行い、カラー陰極
線管用水溶性蛍光膜を形成した。
【0019】〔実施例2〕LiGaO2の溶液1リット
ルに、Ga5gを入れて蒸発させ共沈させて水溶性蛍光
体LiGaO2を製造すると共に、陽電荷調節用コーテ
ィング物質であるエチルセルロース1wt%をドーピン
グした工程を除いて、他は実施例1と同様にして水溶性
蛍光膜を形成した。
【0020】〔実施例3〕ゲル状態の水酸化ガリウム
(Ga(OH)3)を水酸化リチウム(Li(OH))
溶液に入れて400℃の温度で急激に脱水させ、水溶性
蛍光体LiGaO2を製造すると共に、陽電荷調節用コ
ーティング物質であるエチルセルロース1wt%をドー
ピングした工程を除いて、実施例1と同様にして水溶性
蛍光膜を形成した。
【0021】〔実施例4〕水溶性蛍光体LiGaO2
陽電荷調節用コーティング物質ポリメチルメタアクリレ
ート(PMMA)をドーピングした工程を除いて、実施
例1と同様にして水溶性蛍光膜を形成した。
【0022】〔実施例5〕水溶性蛍光体LiGaO2
陽電荷調節用コーティング物質ニグロシンをドーピング
した工程を除いて、実施例1と同様にして水溶性蛍光膜
を形成した。
【0023】〔実施例6〕水溶性蛍光体LiGaO2
陽電荷調節用コーティング物質第4級アンモニウム塩を
ドーピングした工程を除いて、実施例1と同様にして水
溶性蛍光膜を形成した。
【0024】〔比較例1〕洗浄したカラー陰極線管用ガ
ラスパネルを乾燥させてからホトレジストを塗布し、乾
燥させて露光した後、露光していないホトレジストを洗
浄して除去した。その後、黒鉛を塗布して乾燥させ、過
酸化水素水で洗浄してブラック・マトリックスを形成し
た。図2でのブラック・マトリックスが形成されたパネ
ル11にZnS:CuAlの蛍光体スラリー22の10
0g/蛍光体(14”基準)をノズル21を通じて塗布
し、図4に示すように乾燥、露光および定着の過程を経
て、蛍光膜を製造した。
【0025】〔比較例2〕水溶性蛍光体LiGaO
2に、陽電荷調節用コーティング物質をドーピングした
工程を除いて、実施例1と同様にして水溶性蛍光膜を形
成した。
【0026】実施例1〜6及び比較例1、2に示すよう
に製造した蛍光膜の物性を評価するため、相対輝度を測
定した。実施例1〜7と比較例による蛍光膜の相対輝度
を表1に示す。
【0027】
【表1】 相対輝度 区 分 化 学 式 相対輝度 ─────────────────────────────── 実施例1 LiGaO2 :エチルセルロース 131 実施例2 LiGaO2 :エチルセルロース 125 実施例3 LiGaO2 :エチルセルロース 127 実施例4 LiGaO2 :PMMA 130 実施例5 LiGaO2 :ニグロシン 125 実施例6 LiGaO2 :第4級アンモニウム塩 125 比較例1 ZnS:CuAl 100 比較例2 LiGaO2 (陽電荷調節用コー 85 ティング物質なし)
【0028】また、IK=500μA,14”CDT(c
olor display tube)であるとき、輝度を測定した結
果、実施例3は88Ft−L, 比較例は69Ft−Lの
結果が得られた。2つの輝度の測定結果を総合して見る
と、本発明による蛍光体は従来の蛍光体に比べて優秀な
輝度をもっていることがわかる。比較例2に見るよう
に、陽電荷調節用コーティング物質なしの場合、帯電量
が少ないため十分な蛍光体が塗布されず、これにより相
対輝度も低い値となっている。
【0029】
【発明の効果】以上、従来のカラー陰極線管では考慮対
象外とされてきた、発光効率と色再現範囲に優れる水溶
性蛍光体を使用するための乾式膜製造方法を通じて、輝
度と鮮明度が向上したカラー陰極線管用の水溶性蛍光体
とその製造方法と水溶性蛍光体組成物と蛍光膜製造方法
を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】カラー陰極線管用水溶性蛍光体組成物の塗布工
程の概略説明図
【図2】陽極帯電されたカラー陰極線管用ガラスパネル
を露光させた後の内面状態の概略断面図
【図3】実施例によるカラー陰極線管用蛍光膜の形成工
程を示す工程図
【図4】比較例によるカラー陰極線管用蛍光膜の形成工
程を示す工程図
【図5】カラー陰極線管の概略断面図
【図6】従来のカラー陰極線管用蛍光体組成物の塗布工
程の概略説明図
【符号の説明】
11 パネル 12 コーン 13 偏向ヨーク 14 電子銃 15 マスク 16 蛍光面 21 塗布ノズル 22 蛍光体スラリー 31 帯電された乾燥蛍光体粒子 32 パネル支持台 33 噴射銃 34 流体調節バルブ 35 蛍光体量調節バルブ 36 蛍光体粉末 37 蛍光体粉末タンク 41 導電層 42 光導電層 43 非電荷領域 44 シャドーマスク 45 光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01J 29/20 H01J 29/20

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陽電荷調節用コーティング物質Aが0.
    1〜5wt%ドーピングされた、下記式(I)で表され
    るカラー陰極線管用の水溶性蛍光体、 【化1】MxGayz :A (I) ここに、Mはアルカリ金属であり、x=1〜5、y=1
    〜5、z=2〜8の値である。
  2. 【請求項2】 前記陽電荷調節用コーティング物質が、
    エチルセルロース、ポリメチルメタアクリレート、ニグ
    ロシン、第4級アンモニウム塩からなる群から選ばれた
    ものである請求項1記載の水溶性蛍光体。
  3. 【請求項3】 前記アルカリ金属は、リチウム,ナトリ
    ウム,カリウム,ルビジウムまたはセシウムの少なくと
    も1である請求項1又は2記載の水溶性蛍光体。
  4. 【請求項4】 前記水溶性蛍光体は、スピネル構造を備
    えるに至るものである請求項1〜3のいずれか1記載の
    水溶性蛍光体。
  5. 【請求項5】 アルカリ金属−硫酸ガリウム(MGa
    (SO4)・nH2O)を空気中で加熱する工程を含む請
    求項1記載の水溶性蛍光体の製造方法。
  6. 【請求項6】 酸化ガリウム・アルカリ金属溶液(MG
    aO2(l))とガリウム分散液を混合し、 前記酸化ガリウム・アルカリ金属溶液と前記ガリウム分
    散液の混合液を蒸発させ、前記蒸発させた混合液を共沈
    させる工程を含む請求項1記載の水溶性蛍光体の製造方
    法。
  7. 【請求項7】 ゲル状態の水酸化ガリウム(Ga(O
    H)3)とアルカリ金属水酸化物(M(OH))を混合
    し、 前記水酸化ガリウムと前記アルカリ金属水酸化物の混合
    液を300〜500℃の温度で急激に脱水化させる工程
    を含む請求項1記載の水溶性蛍光体の製造方法。
  8. 【請求項8】 水溶性蛍光体と流体を含むカラー陰極線
    管用水溶性蛍光体組成物。
  9. 【請求項9】 前記水溶性蛍光体が、請求項1記載の水
    溶性蛍光体である請求項8記載のカラー陰極線管用水溶
    性蛍光体組成物。
  10. 【請求項10】 前記アルカリ金属は、リチウム、ナト
    リウム、カリウム、ルビジウムまたはセシウムの少なく
    とも1である請求項9記載のカラー陰極線管用水溶性蛍
    光体組成物。
  11. 【請求項11】 前記陽電荷調節用コーティング物質
    が、エチルセルロース、ポリメチルメタアクリレート、
    ニグロシン、第4級アンモニウム塩からなる群から選ば
    れたものである請求項9又は10記載のカラー陰極線管
    用水溶性蛍光体組成物。
  12. 【請求項12】 前記水溶性蛍光体は、顔料または活性
    剤をさらに含む請求項8〜11のいずれか1項記載のカ
    ラー陰極線管用水溶性蛍光体組成物。
  13. 【請求項13】 前記流体は、空気または窒素ガスであ
    る請求項8〜12のいずれか1項記載のカラー陰極線管
    用水溶性蛍光体組成物。
  14. 【請求項14】 ブラックマトリックスが形成されたカ
    ラー陰極線管用パネルを帯電させ、 この帯電されているパネルの選択部位の電荷が除去され
    るようにシャドーマスクを通じて露光させ、 露光させた前記パネルに陽極帯電させた水溶性蛍光体組
    成物を噴射して蛍光膜を形成する工程、 を含むカラー陰極線管用の蛍光膜製造方法。
  15. 【請求項15】 前記帯電はコロナ帯電である請求項1
    4記載の蛍光膜製造方法。
  16. 【請求項16】 前記水溶性蛍光体組成物は、水溶性蛍
    光体と流体を含む請求項14又は15記載の蛍光膜製造
    方法。
  17. 【請求項17】 前記水溶性蛍光体が、請求項1記載の
    水溶性蛍光体である請求項14記載の蛍光膜製造方法。
  18. 【請求項18】 前記陽電荷調節用コーティング物質
    が、エチルセルロース、ポリメチルメタアクリレート、
    ニグロシン、第4級アンモニウム塩からなる群から選ば
    れたものである請求項17記載の蛍光膜製造方法。
  19. 【請求項19】 前記アルカリ金属は、リチウム、ナト
    リウム、カリウム、ルビジウムまたはセシウムの少なく
    とも1である請求項17又は18記載の蛍光膜製造方
    法。
  20. 【請求項20】 前記水溶性蛍光体は、顔料または活性
    剤をさらに含む請求項16〜19のいずれか1項記載の
    蛍光膜製造方法。
  21. 【請求項21】 前記水溶性蛍光体は、スピネル型構造
    を備えるに至るものである請求項16〜20のいずれか
    1項記載の蛍光膜製造方法。
  22. 【請求項22】 前記水溶性蛍光体は、アルカリ金属−
    硫酸ガリウム(MGa(SO4)・nH2O)を空気中で
    加熱する工程を含む請求項16記載の蛍光膜製造方法。
  23. 【請求項23】 前記水溶性蛍光体は、酸化ガリウムア
    ルカリ金属溶液(MGaO2(l))とガリウム分散液
    を混合し、 前記酸化ガリウムアルカリ金属溶液と前記ガリウム分散
    液の混合液を蒸発させ、 前記蒸発させた混合液を共沈させる工程、 を含む請求項16記載の蛍光膜製造方法。
  24. 【請求項24】 前記水溶性蛍光体は、ゲル状態の水酸
    化ガリウム(Ga(OH)3)とアルカリ金属水酸化物
    (M(OH))を混合し、 前記水酸化ガリウムと前記アルカリ金属水酸化物の混合
    液を300〜500℃の温度で急激に脱水化させる工
    程、 を含む請求項16記載の蛍光膜製造方法。
  25. 【請求項25】 前記流体は空気または窒素ガスである
    請求項16〜24のいずれか1項記載の蛍光膜製造方
    法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014096379A (ja) * 2013-12-25 2014-05-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 二次電池及び電子機器

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