JPH0919859A - 超精密非球面鏡面部品加工機 - Google Patents
超精密非球面鏡面部品加工機Info
- Publication number
- JPH0919859A JPH0919859A JP19263295A JP19263295A JPH0919859A JP H0919859 A JPH0919859 A JP H0919859A JP 19263295 A JP19263295 A JP 19263295A JP 19263295 A JP19263295 A JP 19263295A JP H0919859 A JPH0919859 A JP H0919859A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- grindstone
- grinding wheel
- moving table
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 １）２軸駆動による砥石非球面研磨研削機に
おいて、粗加工から鏡面仕上加工まで１つの加工機で実
施出来る。 ２）砥石の位置、及び形状を本発明加工機を認識出来
る。 【構成】 球形の砥石粒径の大小順に複数個の砥石３ｅ
〜３ａとワーク回転モータから成る。計測手段として、
Ｘ，Ｙ，Ｚの位置検出センサ１０、１１、１２、１３が
砥石の位置形状の計測を行う。主軸１のＺ軸と位置検出
ユニットの中心は一致している。
おいて、粗加工から鏡面仕上加工まで１つの加工機で実
施出来る。 ２）砥石の位置、及び形状を本発明加工機を認識出来
る。 【構成】 球形の砥石粒径の大小順に複数個の砥石３ｅ
〜３ａとワーク回転モータから成る。計測手段として、
Ｘ，Ｙ，Ｚの位置検出センサ１０、１１、１２、１３が
砥石の位置形状の計測を行う。主軸１のＺ軸と位置検出
ユニットの中心は一致している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超精密非球面鏡面部品加
工機に関するものである。本発明の光応用素子、Ｘ線反
射鏡、レーザ核融合様光学部品、非球面金型等の加工機
に関するものである。本発明は被加工材として、硬質脆
性材料を対象にし、球形電着砥石の粒径の大のものから
順次小のものを加工工程毎に選択使用し、最終的に非球
面超精密鏡加工を行うことを特徴としている。
工機に関するものである。本発明の光応用素子、Ｘ線反
射鏡、レーザ核融合様光学部品、非球面金型等の加工機
に関するものである。本発明は被加工材として、硬質脆
性材料を対象にし、球形電着砥石の粒径の大のものから
順次小のものを加工工程毎に選択使用し、最終的に非球
面超精密鏡加工を行うことを特徴としている。
【０００２】本発明は２軸駆動による非球面加工を可能
にし、窪みの深い凹面部品の加工が出来ることを特徴と
している。
にし、窪みの深い凹面部品の加工が出来ることを特徴と
している。
【０００３】本発明は単純な機械構造方式を載用するこ
とにより、製造製品の高精度化を計っている。
とにより、製造製品の高精度化を計っている。
【０００４】本発明は砥石軸をワーク軸に対して傾斜角
を持たせ、ワークの軸芯の加工を可能にしている。
を持たせ、ワークの軸芯の加工を可能にしている。
【０００５】本発明は機械内に取り付く計測ユニットを
有し、工具摩擦時の補正が出来る。
有し、工具摩擦時の補正が出来る。
【０００６】本発明は機械内に取り付く計測ユニットを
有し、ワークと工具加工の位置関係を高精度に認識出来
るシステムになっている為、製造製品の高精度が計られ
ている。
有し、ワークと工具加工の位置関係を高精度に認識出来
るシステムになっている為、製造製品の高精度が計られ
ている。
【０００７】
【従来の技術】高精度加工機において駆動軸数が多くな
ればそれだけ、累積誤差が増加することは明白である。
硬質脆性材料の非球面加工の工具として砥石を使用する
場合は砥石とワークの位置決定にＸ，Ｙ，θ（回転）３
軸同時制御を行った。３軸同時制御により、加工点では
ワークの法線方向と砥石の法線方向を一致させ、アンダ
カットを防止してきた。ところが、Ｘ，Ｚの様な直線運
動に関してはレーザ干渉計を用いる等、高精度の外部位
置検出手段が存在するが、θに関してはロータリーエン
コーダが利用出来るとはいえ、決定的な外部位置検出手
段でない為、精度上の信頼性に問題があった。また、２
軸で直交または、直交に近い構造の場合は、窪みの深い
凹面部品の加工が難しかった。
ればそれだけ、累積誤差が増加することは明白である。
硬質脆性材料の非球面加工の工具として砥石を使用する
場合は砥石とワークの位置決定にＸ，Ｙ，θ（回転）３
軸同時制御を行った。３軸同時制御により、加工点では
ワークの法線方向と砥石の法線方向を一致させ、アンダ
カットを防止してきた。ところが、Ｘ，Ｚの様な直線運
動に関してはレーザ干渉計を用いる等、高精度の外部位
置検出手段が存在するが、θに関してはロータリーエン
コーダが利用出来るとはいえ、決定的な外部位置検出手
段でない為、精度上の信頼性に問題があった。また、２
軸で直交または、直交に近い構造の場合は、窪みの深い
凹面部品の加工が難しかった。
【０００８】また、従来の同種加工機は工具とワークの
位置関係を認識させる良い手段がない為、機械のそれぞ
れの軸の動作精度は高精度であるが、ワークの加工精度
は軸の動作精度に比べ、悪い結果になっていた。ワーク
の加工実現の為にワークの形状測定と修正研磨を繰り返
していた。
位置関係を認識させる良い手段がない為、機械のそれぞ
れの軸の動作精度は高精度であるが、ワークの加工精度
は軸の動作精度に比べ、悪い結果になっていた。ワーク
の加工実現の為にワークの形状測定と修正研磨を繰り返
していた。
【０００９】また、従来の同種加工機はワークの軸芯と
主軸の軸芯を一致させる方法として顕微鏡の目視的手段
によって行われていた。例えばワークを加工途中で取り
はずし、再加工を実行する場合、元通りの状態に高精度
化に再現する手段が前記目視手段しかない為、加工精度
の高精度化が計られない欠点があった。表の加工の終了
後、裏加工を実施する時、一担ワークを取りはずせて裏
返して再度ワークの軸芯と主軸の軸芯を一致させて取り
付けを実行する必要が生ずる。この様な場合、従来の加
工機では前記顕微鏡の目視手段では高精度の両軸芯の一
致は非常に難しかった。感覚的手段による位置決めは当
然不可能である。適切な手段がなければ、前述の用にレ
ンズの裏表の軸芯の一致が出来ない為、安価で簡便な手
段が必要とされていた。
主軸の軸芯を一致させる方法として顕微鏡の目視的手段
によって行われていた。例えばワークを加工途中で取り
はずし、再加工を実行する場合、元通りの状態に高精度
化に再現する手段が前記目視手段しかない為、加工精度
の高精度化が計られない欠点があった。表の加工の終了
後、裏加工を実施する時、一担ワークを取りはずせて裏
返して再度ワークの軸芯と主軸の軸芯を一致させて取り
付けを実行する必要が生ずる。この様な場合、従来の加
工機では前記顕微鏡の目視手段では高精度の両軸芯の一
致は非常に難しかった。感覚的手段による位置決めは当
然不可能である。適切な手段がなければ、前述の用にレ
ンズの裏表の軸芯の一致が出来ない為、安価で簡便な手
段が必要とされていた。
【００１０】窪みの深い凹面を高精度に加工出来ること
を目標とし、工具形状が一定曲面で出来ていて制御が単
純であること。
を目標とし、工具形状が一定曲面で出来ていて制御が単
純であること。
【００１１】従来の加工機は工具である砥石の形状を自
動計測する手段がない為、砥石の磨耗・組立寸法の目標
値からのずれが発生した場合の対応が難しかった。本加
工機に砥石形状の自動計測手段を持たせ、砥石位置の認
識と砥石の加工面とのワークの研磨面の位置関係を高精
度に対応させることが解決する課題である。
動計測する手段がない為、砥石の磨耗・組立寸法の目標
値からのずれが発生した場合の対応が難しかった。本加
工機に砥石形状の自動計測手段を持たせ、砥石位置の認
識と砥石の加工面とのワークの研磨面の位置関係を高精
度に対応させることが解決する課題である。
【００１２】砥石の計測手段をワークの中心位置決定手
段としても使い、裏表軸芯一致を可能にすること。
段としても使い、裏表軸芯一致を可能にすること。
【００１３】
【実施例】図１は実施例の全体を示す正面図である。本
発明による加工機はコンピュータ制御により駆動される
が、図１には制御系は公知の回路により駆動する為省略
した。１は主軸で筐体（図示せず）に軸が鉛直になる
（図１のＸ，Ｚ座標のＺ軸と主軸が平行である）様に取
り付けられている。２ａ〜２ｅは砥石回転用モータでそ
れぞれのモータで、それぞれのモータ軸の先端に砥石３
ａ〜３ｅがそれぞれ取り付けられている。４はＸ方向移
動台で、この上に砥石回転モータ２ａ〜２ｅが取り付け
られ、Ｘ方向にのみ移動し、高精度・高分解能により位
置決め停止することが出来る。５はＺ方向移動台でＺ方
向にのみ移動し、高精度高分解能に位置決め停止するこ
とが出来る。Ｘ方向移動台４はＸ方向軌道台５に取り付
けられている為、砥石３ａ〜３ｅはＸ，Ｚ方向に移動
し、高精度高分解能にて停止することが出来る。砥石３
ａは最終仕上の砥石で、３ｂ〜３ｅの順番で順次荒仕上
げ用の砥石になる。従って最初に荒仕上用の砥石３ｅが
選択され、最後に最終仕上げの３ａが選択される。これ
らの砥石の選択はＸ方向移動台４の移動により、３ａ〜
３ｅのそれぞれの砥石が主軸１と対向する様にして行わ
れる。図１が最終仕上げの砥石３ａが選択されている状
態を示している。
発明による加工機はコンピュータ制御により駆動される
が、図１には制御系は公知の回路により駆動する為省略
した。１は主軸で筐体（図示せず）に軸が鉛直になる
（図１のＸ，Ｚ座標のＺ軸と主軸が平行である）様に取
り付けられている。２ａ〜２ｅは砥石回転用モータでそ
れぞれのモータで、それぞれのモータ軸の先端に砥石３
ａ〜３ｅがそれぞれ取り付けられている。４はＸ方向移
動台で、この上に砥石回転モータ２ａ〜２ｅが取り付け
られ、Ｘ方向にのみ移動し、高精度・高分解能により位
置決め停止することが出来る。５はＺ方向移動台でＺ方
向にのみ移動し、高精度高分解能に位置決め停止するこ
とが出来る。Ｘ方向移動台４はＸ方向軌道台５に取り付
けられている為、砥石３ａ〜３ｅはＸ，Ｚ方向に移動
し、高精度高分解能にて停止することが出来る。砥石３
ａは最終仕上の砥石で、３ｂ〜３ｅの順番で順次荒仕上
げ用の砥石になる。従って最初に荒仕上用の砥石３ｅが
選択され、最後に最終仕上げの３ａが選択される。これ
らの砥石の選択はＸ方向移動台４の移動により、３ａ〜
３ｅのそれぞれの砥石が主軸１と対向する様にして行わ
れる。図１が最終仕上げの砥石３ａが選択されている状
態を示している。
【００１４】図２は球形の砥石により、Ｘ方向移動台４
とＺ方向移動台５の移動で自由曲面の加工及び研磨が行
われるか、説明するための最終仕上げ加工部の部分詳細
図である。また、図２はワーク６の自由曲面ｆ(x) の加
工及び研磨原理を示す断面図である。球形状の半径ｒの
砥石がα度傾いた軸を中心に矢印Ａ方向に回転してい
る。研磨点において自由曲面の法線と砥石の法線が一致
する様にするためには、自由曲面ｆ(x) 上の点ｋｎにお
いて法線とＺ軸がθn で交わる場合、砥石の中心Ｐo
（Ｘo ，Ｚo ＋ｒ）からＰn （Ｘn ＋ｒsin θn ）の点
へ砥石を移動させれば良いことがわかる。Ｘn ，Ｚn は
自由曲面断面の加工点の座標で、Ｚ＝ｆ(x)の式から求
められる。また点Ｘn ，Ｚn の点における法線方向の傾
きがθn とすれば、Ｐn 点の座標も前述の通り求められ
る。この様に自由曲面の加工（又は研磨）点の座標が決
定すれば計算により自動的に法線の傾き角度が求めら
れ、砥石の中心座標が求められる。これは、Ｘ方向移動
台４及びＺ方向移動台５の移動位置決め動作により砥石
の中心座標が得られていることを表している。この様に
選択された加工点に対応してＺ軸となす法線角度が求め
られ、砥石の中心が順次移動していくことによりこの軌
跡に従って、研磨が行われる。荒仕上加工についても若
干の砥石駆動の方法は異なるが、自由曲面の各点に前述
の様に砥石を対応させる方式は変わらない。また、砥石
が２の傾きを持つことにより、ワーク６の軸芯の研磨が
可能になる。また、この様な配置により、深い窪みの凹
面の加工が可能になる。以上の説明により、本発明によ
るとＸ方向移動台４、Ｚ方向移動台５の２軸駆動のみに
より自由曲面の加工研磨が可能となる。また、外部位置
検出の難しいステージのθ回転を省くことが出来ると同
時に加工装具の単純化と高精度化が計られる。
とＺ方向移動台５の移動で自由曲面の加工及び研磨が行
われるか、説明するための最終仕上げ加工部の部分詳細
図である。また、図２はワーク６の自由曲面ｆ(x) の加
工及び研磨原理を示す断面図である。球形状の半径ｒの
砥石がα度傾いた軸を中心に矢印Ａ方向に回転してい
る。研磨点において自由曲面の法線と砥石の法線が一致
する様にするためには、自由曲面ｆ(x) 上の点ｋｎにお
いて法線とＺ軸がθn で交わる場合、砥石の中心Ｐo
（Ｘo ，Ｚo ＋ｒ）からＰn （Ｘn ＋ｒsin θn ）の点
へ砥石を移動させれば良いことがわかる。Ｘn ，Ｚn は
自由曲面断面の加工点の座標で、Ｚ＝ｆ(x)の式から求
められる。また点Ｘn ，Ｚn の点における法線方向の傾
きがθn とすれば、Ｐn 点の座標も前述の通り求められ
る。この様に自由曲面の加工（又は研磨）点の座標が決
定すれば計算により自動的に法線の傾き角度が求めら
れ、砥石の中心座標が求められる。これは、Ｘ方向移動
台４及びＺ方向移動台５の移動位置決め動作により砥石
の中心座標が得られていることを表している。この様に
選択された加工点に対応してＺ軸となす法線角度が求め
られ、砥石の中心が順次移動していくことによりこの軌
跡に従って、研磨が行われる。荒仕上加工についても若
干の砥石駆動の方法は異なるが、自由曲面の各点に前述
の様に砥石を対応させる方式は変わらない。また、砥石
が２の傾きを持つことにより、ワーク６の軸芯の研磨が
可能になる。また、この様な配置により、深い窪みの凹
面の加工が可能になる。以上の説明により、本発明によ
るとＸ方向移動台４、Ｚ方向移動台５の２軸駆動のみに
より自由曲面の加工研磨が可能となる。また、外部位置
検出の難しいステージのθ回転を省くことが出来ると同
時に加工装具の単純化と高精度化が計られる。
【００１５】図３は砥石３ａ〜３ｅの位置検出及び砥石
３ａ〜３ｅの形状計測を行う位置形状検出ユニットの平
面図である。図４は同ユニットのＡ−Ａ断面図である。
本ユニットは砥石のＸ，Ｙ，Ｚ座標での位置検出を正確
に行う為のものであり、ワークと砥石の位置関係を高精
度に認識するためのものである。また、本発明では主軸
の中心を本発明加工機の原点としている。また、本ユニ
ットは加工機から必要に応じて簡単に取りはずしができ
るものである。図３にＸ，Ｙ座標を示す。このＸ，Ｙ座
標の原点は図３の砥石の中心Ｏと一致している。また、
Ｘ，Ｙ軸と直交してＺ軸がある。
３ａ〜３ｅの形状計測を行う位置形状検出ユニットの平
面図である。図４は同ユニットのＡ−Ａ断面図である。
本ユニットは砥石のＸ，Ｙ，Ｚ座標での位置検出を正確
に行う為のものであり、ワークと砥石の位置関係を高精
度に認識するためのものである。また、本発明では主軸
の中心を本発明加工機の原点としている。また、本ユニ
ットは加工機から必要に応じて簡単に取りはずしができ
るものである。図３にＸ，Ｙ座標を示す。このＸ，Ｙ座
標の原点は図３の砥石の中心Ｏと一致している。また、
Ｘ，Ｙ軸と直交してＺ軸がある。
【００１６】１４、１５はＹ方向導電体バーであり計測
時は一端が砥石３ａと接触していることが 条件となる
ものである。１６、１７はサポートばねである。１６、
１７はＹ方向位置検出センサ１０、１１をＹ方向にのみ
変位することが可能である様にサポートするものであ
る。本発明では１６、１７は基盤１８に固定されてい
る。サポートばね１６、１７に切欠１６ａ、１７ａを設
け、サポートばね１６、１７の弾性効果を高めている。
１９はＺ方向導電体バーであり、１４、１５と同様計測
字は一端が砥石３ａと接触していることが条件となるも
のである。２０はサポートばねであり部分的に弾性部を
有し、Ｘ方向及びＺ方向にのみ変位するものである。導
電体バー１９にＸ方向の力が加わればＸ方向に変位し、
Ｚ方向に力が加わればＺ方向に変位する。導電体バー１
９のそれぞれの方向の変位はＸ方向に関してＸ方向位置
検出センサに、Ｚ方向についてはｚ方向位置検出センサ
１３がその変位を検出する。サポートばね２０はＸ方向
及びＺ方向に限定して変位するが、その手段として本発
明では剛体の一部にＸ方向の変位を可能にする切欠２０
ａ、Ｚ方向の変位を可能にする切欠２０ｂをそれぞれ複
数ヵ所設け、両端を固定することにより達成したが、こ
の弾性体の目的を達成する手段はこれに限定するもので
はない。７は後述する図３の位置検出ユニットを示す。
時は一端が砥石３ａと接触していることが 条件となる
ものである。１６、１７はサポートばねである。１６、
１７はＹ方向位置検出センサ１０、１１をＹ方向にのみ
変位することが可能である様にサポートするものであ
る。本発明では１６、１７は基盤１８に固定されてい
る。サポートばね１６、１７に切欠１６ａ、１７ａを設
け、サポートばね１６、１７の弾性効果を高めている。
１９はＺ方向導電体バーであり、１４、１５と同様計測
字は一端が砥石３ａと接触していることが条件となるも
のである。２０はサポートばねであり部分的に弾性部を
有し、Ｘ方向及びＺ方向にのみ変位するものである。導
電体バー１９にＸ方向の力が加わればＸ方向に変位し、
Ｚ方向に力が加わればＺ方向に変位する。導電体バー１
９のそれぞれの方向の変位はＸ方向に関してＸ方向位置
検出センサに、Ｚ方向についてはｚ方向位置検出センサ
１３がその変位を検出する。サポートばね２０はＸ方向
及びＺ方向に限定して変位するが、その手段として本発
明では剛体の一部にＸ方向の変位を可能にする切欠２０
ａ、Ｚ方向の変位を可能にする切欠２０ｂをそれぞれ複
数ヵ所設け、両端を固定することにより達成したが、こ
の弾性体の目的を達成する手段はこれに限定するもので
はない。７は後述する図３の位置検出ユニットを示す。
【００１７】本ユニットは前述の通り、２つの機能を有
していて、その第１は砥石の中心を検出することであ
り、第２は砥石の形状を認識することである。本発明で
はこれらの機能の検出及び認識を同一のセンサを使用
し、加工機能として保有するＸ方向移動軸４、Ｚ方向移
動軸５の移動停止動作を活用して行う。同時にまた、セ
ンサ出力のデータベース化、データベースに基づく形状
認識も本加工機が保有している機能を活用して行う。１
０、１１はＹ方向位置検出センサである。本センサは静
電容量式原理に基づくセンサで導電性材料に反応を示
し、ナノメータオーダの検出機能を有する。１２はＸ方
向位置検出センサであり、１３はＺ方向位置検出センサ
である。１２、１３の各センサも１０、１１と同種セン
サである。ここでは砥石３ａの具体的な動作を省略した
が、Ｘ，Ｙ方向のセンサ１０、１１、１２があるので、
砥石３ａをＸ，Ｚ方向に移動させながら、砥石３ａが導
電性材料より成るＸ及びＹ方向導電性バー１４、１５、
１９に接触することにより、３ａの座標を認識出来るこ
とは明白である。
していて、その第１は砥石の中心を検出することであ
り、第２は砥石の形状を認識することである。本発明で
はこれらの機能の検出及び認識を同一のセンサを使用
し、加工機能として保有するＸ方向移動軸４、Ｚ方向移
動軸５の移動停止動作を活用して行う。同時にまた、セ
ンサ出力のデータベース化、データベースに基づく形状
認識も本加工機が保有している機能を活用して行う。１
０、１１はＹ方向位置検出センサである。本センサは静
電容量式原理に基づくセンサで導電性材料に反応を示
し、ナノメータオーダの検出機能を有する。１２はＸ方
向位置検出センサであり、１３はＺ方向位置検出センサ
である。１２、１３の各センサも１０、１１と同種セン
サである。ここでは砥石３ａの具体的な動作を省略した
が、Ｘ，Ｙ方向のセンサ１０、１１、１２があるので、
砥石３ａをＸ，Ｚ方向に移動させながら、砥石３ａが導
電性材料より成るＸ及びＹ方向導電性バー１４、１５、
１９に接触することにより、３ａの座標を認識出来るこ
とは明白である。
【００１８】砥石３ａの中心位置を決定するには、吸着
盤８上に砥石と同一径の円筒体を置き回転させ、軸芯が
一致した時のＸ，Ｙ方向位置検出センサに値を記憶す
る。この記憶された値と同一または、最も近い値になる
べくＸ，Ｚ方向移動台４、５の駆動により、砥石３ａを
移動させて砥石３ａの中心座標を求める。Ｘ，Ｙ方向の
位置は１０、１１、１２の値により決定出来る。
盤８上に砥石と同一径の円筒体を置き回転させ、軸芯が
一致した時のＸ，Ｙ方向位置検出センサに値を記憶す
る。この記憶された値と同一または、最も近い値になる
べくＸ，Ｚ方向移動台４、５の駆動により、砥石３ａを
移動させて砥石３ａの中心座標を求める。Ｘ，Ｙ方向の
位置は１０、１１、１２の値により決定出来る。
【００１９】
【発明の効果】本発明を導入することにより２軸直線駆
動のみによる加工機になる為、自動制御システムにおけ
る外部位置検出が高精度化でき、この種の加工機に最も
要求される製品加工の高精度化が出来た。同時に窪みの
深い凹面の加工が出来た。また、砥石の磨耗検出、砥石
回転軸の取り付け誤差を含めての砥石中心座標の検出、
砥石形状の計測が出来た為、製品加工の高精度化が計ら
れた。粗加工から仕上加工まで、一連の加工を１つの加
工機械内で達成出来、省力化が計られた。
動のみによる加工機になる為、自動制御システムにおけ
る外部位置検出が高精度化でき、この種の加工機に最も
要求される製品加工の高精度化が出来た。同時に窪みの
深い凹面の加工が出来た。また、砥石の磨耗検出、砥石
回転軸の取り付け誤差を含めての砥石中心座標の検出、
砥石形状の計測が出来た為、製品加工の高精度化が計ら
れた。粗加工から仕上加工まで、一連の加工を１つの加
工機械内で達成出来、省力化が計られた。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の全体を示す正面図
【図２】加工部の部分詳細図
【図３】位置検出ユニットの平面図
【図４】位置検出ユニットのＡ−Ａ断面図
【図５】砥石３ａの形状計測過程の１つの状態図
【図６】形状計測時のＺ方向位置検出センサ１３の出力
とＺ方向距離の関係のグラフ
とＺ方向距離の関係のグラフ
１ 主軸 ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｅ 砥石 ４ Ｘ方向移動台 ５ Ｚ方向移動台 １０、１１ Ｙ方向位置検出センサ １２ Ｘ方向位置検出センサ １３ Ｚ方向位置検出センサ １４、１５ Ｙ方向電導バー １９ Ｘ方向電導バー
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ，Ｚ座標軸のＸ方向移動台と、Ｚ方向
移動台とＺ方向軸を有するワーク回転用主軸と、Ｚ方向
移動台上に配置された工具回転モータと、この工具回転
モータに取り付けられた研磨砥石から成る非球面部品加
工機において、研磨砥石の研磨部が球形を成し、研磨砥
石軸がＺ軸と一定角を有することを特徴とする超精密非
球面鏡面部品加工機。 - 【請求項２】 前記請求項１の超精密非球面部品加工機
において、Ｘ方向移動台に複数個の粗切削用工具回転モ
ータと、この粗切削用工具回転モータに連結された複数
個のＺ軸と一定角を成す様に配置した、球形形状を成す
粗加工用切削砥石を有することを特徴とする超精密非球
面鏡面部品加工機。 - 【請求項３】 Ｘ，Ｙ，Ｚ座標軸のＹ方向に変形可能な
２つのＹ方向弾性支持体と、当該弾性体に支持又は搭載
された導電性材料より成る２つのＹ方向移動体とＺ，Ｘ
方向に変形可能なＺ，Ｘ方向弾性支持体と該支持体、又
は搭載された導電性材料より成るＸ方向導電体バーとＹ
方向導電体バーのＹ方向の微動動作を検出計測するＹ方
向計測ユニットと、Ｘ方向の微動動作を検出計測するＸ
方向検出ユニットと、Ｚ方向の微動動作を検出計測する
Ｚ方向計測ユニットとから成り、研磨砥石形状計測及
び、研磨砥石位置検出ユニットを有することを特徴とす
る請求項１、請求項２記載の超精密非球鏡面加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19263295A JPH0919859A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | 超精密非球面鏡面部品加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19263295A JPH0919859A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | 超精密非球面鏡面部品加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0919859A true JPH0919859A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=16294489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19263295A Pending JPH0919859A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | 超精密非球面鏡面部品加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0919859A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1331637C (zh) * | 2005-04-06 | 2007-08-15 | 南京师范大学 | 异性切刀波浪刃口的开刃和刃磨方法 |
| CN100343021C (zh) * | 2005-06-09 | 2007-10-17 | 上海交通大学 | 复杂曲线磨削过程中的砂轮法向跟踪方法 |
| CN103737451A (zh) * | 2014-01-08 | 2014-04-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 离轴非球面反射镜的砂轮原位自动整形铣磨加工方法 |
-
1995
- 1995-07-06 JP JP19263295A patent/JPH0919859A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1331637C (zh) * | 2005-04-06 | 2007-08-15 | 南京师范大学 | 异性切刀波浪刃口的开刃和刃磨方法 |
| CN100343021C (zh) * | 2005-06-09 | 2007-10-17 | 上海交通大学 | 复杂曲线磨削过程中的砂轮法向跟踪方法 |
| CN103737451A (zh) * | 2014-01-08 | 2014-04-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 离轴非球面反射镜的砂轮原位自动整形铣磨加工方法 |
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