JP3920446B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、カーブジェネレータのような加工機によって加工された被加工物の被加工面の形状を測定するための形状測定装置に、関する。
【0002】
【従来の技術】
ガラスレンズ等の球面や平面を研削加工する場合には、カーブジェネレータや球面研削盤(以下、これらを総称して「加工機」という)が用いられている。図7に例示した従来の加工機(カーブジェネレータ)は、ベット50上でX方向(図の左右方向)にスライド自在に据え付けられたXテーブル51と、回転軸l1をX方向に向けた状態でXテーブル51上に固定されたワークスピンドル52と、ベット50上でY方向(図の上下方向)にスライド自在に据え付けられたYテーブル53と、Yテーブル53上でX方向及びY方向に直交するθ軸を中心として回転可能に設けられたθテーブル54と、回転軸l2をθ軸に直交させた状態でθテーブル54上に固定された砥石スピンドル55とから、構成されている。そして、ワークスピンドル52に被加工物(ガラスブロック,超硬合金等)Wを取り付けるとともに、砥石スピンドル55に砥石Cを取り付け、両スピンドル52,55の回転軸l1 ,l2同士が所定の角度をなした状態で砥石Cの先端外縁が被加工物Wの端面(被加工面)中心に当接するように、各テーブル51,53,54を調整する。以上のように調整した後、各スピンドル52,55の回転を開始させ、被加工物Wの端面を凹球面状に加工するのである(凸球面状に加工する場合にはカップ砥石を用い、このカップ砥石の内縁を被加工物Wの端面中心に当接させる)。
【0003】
このような加工機によって加工中の被加工物Wの端面形状を測定するには、一旦ワークスピンドル52から被加工物Wを取り外した上で、被加工物Wの表面にスフェロメータやフォームタリサーフ等の測定器を当てて、機械的に測定する。また、被加工物Wの端面が鏡面となるまで研削されているならば、ワークスピンドル52から取り外した被加工物Wを干渉計にセットして、光学的に測定する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来における測定手順では、被加工物Wの端面が設計値通りに加工されたかどうかを確認するために、作業者は、被加工物Wをワークスピンドル52から取り外して測定した後に再度ワークスピンドル52に取り付け直すという作業を、何度も繰り返さなければならない。このような作業の繰り返しは、作業能率を著しく悪くして作業時間や作業の手間を徒に浪費しているばかりか、被加工物Wのワークスピンドル52への再取付に際して、両者の位置ズレを生じてしまう可能性がある。
【0005】
本発明の課題は、従来における以上のような問題点に鑑み、被加工物を加工機に装着したままの状態にてその被加工面の曲率半径及び面形状の測定を行うことができる形状測定装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の各請求項記載の形状測定装置は、上記課題を解決するために案出されたものである。即ち、請求項1記載の形状測定装置は、加工具を回転させる第1スピンドルと、この加工具によって加工される被加工物を回転させる第2スピンドルと、この第2スピンドルの回転軸の方向へ、前記第2スピンドルを直進移動させる第1スライドテーブルと、前記第2スピンドルの回転軸に直交する方向へ、前記第1スピンドルを直進移動させる第2スライドテーブルと、前記第1スピンドルを前記第2スライドテーブルに対して回転させる回転テーブルと、その測定光軸を前記第1スピンドルの回転軸に対して直交させた状態で、前記回転テーブルに設置されている干渉計とを、備えたことを特徴とする。
【0007】
このように構成されると、加工具によって被加工物が加工される位置から、第2スライドテーブルによって第1スピンドルと第2スピンドルとを相対移動,回転させると、その移動途中において、干渉計が第2スピンドルの回転軸上に位置する。この位置においては、干渉計は、第2スピンドルに取り付けられた被加工物の被加工面に対向する。従って、第1スライドテーブルによって第1スピンドルと干渉計とを相対移動させることによって、干渉計を用いて被加工物の被加工面に対する形状測定を行う事が可能になる。このように、本発明によれば、被加工物を第2スピンドルから取り外す必要がないので、作業効率が向上するとともに、被加工物の第2スピンドルへの再取付に伴う位置ズレが生じない。
【0013】
請求項2記載の発明は、請求項1の干渉計が、前記被加工物の前記加工具による被加工面の曲率半径の誤差及び真球度についての情報を生じることで、特定したものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
【0015】
【実施形態1】
図1は、本発明の第1実施形態による形状測定装置が実施されたカーブジェネレータの構造を示す平面図である。図1に示されるように、カーブジェネレータは、ベット1上に配置されたワーク部Aと砥石部Bとから、構成されている。
【0016】
このワーク部Aは、ベッド1上に固定された梯子状のレール2aに沿ってX方向(図の左右方向)のみにスライドする第1スライドテーブルとしてのXテーブル2と、このXテーブル2をスライド駆動するモータを含む駆動機構7と、この駆動機構7による駆動量を検出することによってXテーブル2のスライド量を測定するスライド量測定器8と、回転軸(ワーク軸)l1をX方向に向けた状態でXテーブル2上に固定されたワークスピンドル3とから、構成されている。
【0017】
第2スピンドルとしてのワークスピンドル3は、図示せぬ駆動軸をワーク軸l1を中心として超精密に支持する静圧空気軸受5と、この静圧空気軸受5によって支持された駆動軸を回転させるモータ4と、このモータ4によって回転される駆動軸の先端に対して同軸に取り付けられた円錐台型のホルダ6とから、構成されている。そして、このホルダ6の先端には、被加工物Wが着脱自在に取り付けられる。
【0018】
一方、砥石部Bは、ベッド1上に固定された梯子上のレール9aに沿ってY方向(図中の上下方向)にスライドする第2スライドテーブルとしてのYテーブル9と、このYテーブル9上においてZ方向(X方向及びY方向に直交する方向)を向いたθ軸を中心に回転する回転テーブルとしてのθテーブル11と、その回転軸(砥石軸)l2をθ軸に直交させてθテーブル11上に固定された第1スピンドルとしての砥石スピンドル12と、Yテーブル9上においてθテーブル11に対してY方向に並べて据え付けられた干渉計16とから、構成されている。
【0019】
砥石スピンドル12は、図示せぬ駆動軸を砥石軸l2を中心として超精密に支持する静圧空気軸受13と、この静圧空気軸受13によって支持された駆動軸を回転させるモータ14と、このモータ14によって回転される駆動軸の先端に対して同軸に取り付けられた円錐台型の砥石ホルダ15とから、構成されている。そして、この砥石ホルダ15の先端には、円筒形状を有した加工具としての砥石Cが同軸に取り付けられている。なお、砥石軸l2は、ワーク軸l1と同じ水平面内に存している。
【0020】
以上のような構成により、両スピンドル3,12は、Xテーブル2及びYテーブル9が適宜スライドすることによって、図1の面内で相対的に移動可能となっている。また、砥石軸l2は、θテーブル11が適宜回転することによって、ワーク軸l1に対してあらゆる角度にて交わることができる。そのため、被加工物Wの端面(被加工面)における回転中心に対して、砥石Cを任意の傾斜角で接触させることができるので、被加工物Wの端面に様々な曲率の球面形状を加工することができる。
【0021】
干渉計16は、X方向と略平行な光軸(測定光軸)を有する対物レンズLを、ワーク部A側に向けている。この干渉計16の対物レンズLは、図3及び図4に示す公知のものであり、第1面R1が球凹面(参照球面)となっている。そして、干渉計16は、図示せぬ光源からの光を参照球面R1からその曲率中心Oに向けて出射させるとともに、参照球面R1での内面反射光と測定対象面(被検球面)W1からの反射光とを同一の撮像面(図示略)上に投影することによって、撮像面上に干渉縞を形成する。この干渉計16の図示せぬ撮像面上に形成された干渉縞は、この干渉計16に接続されたディスプレイ17上に表示される。
【0022】
次に、以上のように構成された本第1実施形態によるカーブジェネレータを用いて行われる被加工物Wに対する研削加工及び形状測定の手順を、説明する。
まず、作業者は、被加工物Wを、その中心軸がワーク軸l1と合致するようにして、ワークホルダ6に取り付ける。同様に、砥石Cを、その中心軸が砥石軸l2と合致するようにして、砥石ホルダ15に取り付ける。そして、作業者は、θテーブル11を適宜回転させることにより、砥石軸l2の角度を、被加工物Wに対する加工時の角度に合わせる。そして、Yテーブル9を適宜スライドさせることにより、砥石Cのエッジをワーク軸l1に合致させ、Xテーブル2を適宜スライドさせることにより、砥石Cの外エッジを被加工物W端面の回転中心に接触させる。
【0023】
続いて、作業者は、砥石スピンドル12により砥石Cを高速回転させるとともに、ワークスピンドル3により被加工物Wを低速回転させて、被加工物Wの端面を研削する。
【0024】
研削が進んで、被加工物Wの端面が略球面状且つ鏡面状になると、作業者は、図2に示すように、Yテーブル9を適宜スライドすることにより、ワーク軸l1を干渉計16の対物レンズLの光軸に合致させる。そして、作業者は、ディスプレイ17上に表示されている映像を監視しつつ、Xテーブル2を徐々にスライドさせることによって、被加工物Wを対物レンズLに近づけてゆく。
【0025】
ところで、ディスプレイ17上に干渉縞が現れるのは、図3に示すオートコリメーション状態(対物レンズLの参照球面R1の曲率中心と被加工物Wの端面[被検球面]W1の曲率中心とが合致した状態[被検球面W1が凹面である場合には曲率中心を挟んで被検球面W1と参照球面R1とが対向する状態,被検球面W1が凸面である場合には曲率中心に対して同じ側に被検球面W1と参照球面R1とが並ぶ状態])と図4に示すキャッツ状態(対物レンズLの参照球面R1の曲率中心と被加工物Wの被検球面W1とが合致した状態)のみである。それ故、オートコリメーション状態における被検球面W1とキャッツ状態における被検球面W1とのズレ量を計測すれば、被検球面W1の曲率半径を計測することができる。また、オートコリメーション状態での干渉縞を観察すれば、被検球面W1の形状誤差(真球面からの誤差,真球度)を知ることができる。
【0026】
従って、作業者は、被加工物Wの端面W1が凹面である場合には、ディスプレイ17上に最初に干渉縞が現れた時点(オートコリメーション状態となった時点)で、ディスプレイ17上に現れた干渉縞の状態に基づいて被加工物W1の端面W1の形状誤差を求めるとともに、スライド量測定器8をリセットする。そして、更に被加工物Wを対物レンズLに近づけてゆき、ディスプレイ17上に再度干渉縞が現れた時点(キャッツ状態となった時点)で、スライド量測定器8によって測定された距離(被加工物W1のオートコリメーション状態からの相対移動距離)を読み取ることによって、その曲率半径を認識する。一方、被加工物Wの端面W1が凸面である場合には、作業者は、ディスプレイ17上に最初に干渉縞が現れた時点(キャッツ状態となった時点)で、スライド量測定器8をリセットする。そして、更に被加工物Wを対物レンズLに近づけてゆき、ディスプレイ17上に再度干渉縞が現れた時点(オートコリメーション状態となった時点)で、ディスプレイ17上に現れた干渉縞の状態に基づいて被加工物Wの端面W1の形状誤差を求めるとともに、スライド量測定器8によって測定された距離(被加工物W1のキャッツ状態からの相対移動距離)を読み取って、その曲率半径を認識する。
【0027】
このような形状計測の結果、被加工物Wの端面W1の曲率半径が設計値通りになっていないと判定した場合,又は、形状誤差が所定の許容値を超えていると判定した場合には、作業者は、Xテーブル2の位置及びYテーブル9の位置を元に戻し、被加工物Wの端面W1に対する研削作業を再開する。
【0028】
これに対して、以上の研削作業及び形状計測を繰り返した結果、被加工物Wの端面W1の曲率半径が設計値通りとなり且つ形状誤差が所定の許容値以下となったと判定できた場合には、作業者は、全ての作業を終了し、被加工物Wをワークスピンドル3から取り外す。
【0029】
このように、本第1実施形態による形状測定装置によれば、ワークスピンドル3に取り付けた状態のままで被加工物Wの端面W1の形状測定ができる。従って、作業時間や作業の手間を浪費することがないので作業能率は向上する。しかも、被加工物Wのワークスピンドル3に対する再取付に伴う位置ズレも生じることがないので、許容範囲内の精度に入れるまでの時間が最小で済む。
【0030】
【実施形態2】
図5は、本発明の第2実施形態による形状測定装置が実施されたカーブジェネレータの構造を示す平面図である。本第2実施例は、上述した第1実施例のものと比較して、干渉計16の設置位置,及び、Yテーブル9のY方向における長さのみが異なる。従って、第1実施例と同じ構成については、第1実施例におけるものと同じ参照番号を付して、その説明を省略する。
【0031】
図5に示すように、本第2実施例によるカーブジェネレータにおいて、干渉計16は、θテーブル11上に設置されている。具体的には、干渉計16は、その対物レンズLの光軸(測定光軸)が砥石軸l2と直交する方向を向いた状態で、ワークスピンドル12の側面に接してθテーブル11上に設置されている。従って、Yテーブル9上に直接干渉計16が設置される訳ではないので、その分だけYテーブル9のY方向における長さが短くなっている。
【0032】
次に、以上のように構成された本第2実施形態によるカーブジェネレータを用いて行われる被加工物Wに対する研削加工及び形状測定の手順を、説明する。
まず、作業者は、上述した第1実施形態の場合と同様にして被加工物Wの端面W1を研削加工する。
【0033】
研削が進んで、被加工物Wの端面W1が球面状且つ鏡面状になると、作業者は、図6に示すように、θテーブル11を反時計方向に、ワークスピンドル3の回転軸l1と干渉計16の光軸とが平行になる様に回転させるとともに、Yテーブル9を適宜スライドすることにより、ワーク軸l1を干渉計16の対物レンズLの光軸に合致させる。そして、作業者は、ディスプレイ17上に表示されている映像を監視しつつ、Xテーブル2を徐々にスライドさせることによって、被加工物Wを対物レンズLに近づけてゆく。
【0034】
そして、作業者は、上記第1実施形態の場合と同様にしてディスプレイ17上に表示された干渉縞の状態を観察しつつスライド量測定器8を操作することによって、被加工物Wの端面W1の曲率半径及び形状誤差を求める。
【0035】
このような形状計測の結果、被加工物Wの端面W1の曲率半径が設計値通りになっていないと判定した場合,又は、形状誤差が所定の許容値を超えていると判定した場合には、作業者は、θテーブルを時計方向に回転させ元の角度に戻すとともに、Xテーブル2の位置及びYテーブル9の位置を元に戻し、被加工物Wの端面W1に対する研削作業を再開する。
【0036】
これに対して、以上の研削作業及び形状計測を繰り返した結果、被加工物Wの端面W1の曲率半径が設計値通りとなり且つ形状誤差が所定の許容値以下となったと判定できた場合には、作業者は、全ての作業を終了し、被加工物Wをワークスピンドル3から取り外す。
【0037】
このように、本第2実施形態による形状測定装置によっても、ワークスピンドル3に取り付けた状態のままで被加工物Wの端面W1に対する形状測定を行うことができる。従って、作業時間や作業の手間を浪費することがないので作業能率は向上する。しかも、被加工物Wのワークスピンドル3に対する再取付に伴う位置ズレも生じることがないので、許容範囲内の精度に入れるまでの時間が最小で済む。
【0038】
【発明の効果】
本発明の形状測定装置によれば、被加工物を加工機に装着したままの状態にてその被加工面の形状測定を行うことができるので、作業能率が向上するとともに、被加工物Wのワークスピンドル3に対する再取付に伴う位置ズレも生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態による形状測定装置が適用されたカーブジェネレータの平面図
【図2】 図1のカーブジェネレータの形状測定時の状態を示す平面図
【図3】 図1の干渉計の対物レンズと被検球面とのオートコリメーション状態を示す光学構成図
【図4】 図1の干渉計の対物レンズと被検球面とのキャッツ状態を示す光学構成図
【図5】 本発明の第2実施形態による形状測定装置が適用されたカーブジェネレータの平面図
【図6】 図5のカーブジェネレータの形状測定時の状態を示す平面図
【図7】 従来のカーブジェネレータの平面図
【符号の説明】
2 Xテーブル
3 ワークスピンドル
8 スライド量測定器
9 Yテーブル
11 θテーブル
12 砥石スピンドル
16 干渉計
C 砥石
L 対物レンズ
W 被加工物
Claims (2)
- 加工具を回転させる第1スピンドルと、
この加工具によって加工される被加工物を回転させる第2スピンドルと、
この第2スピンドルの回転軸の方向へ、前記第2スピンドルを直進移動させる第1スライドテーブルと、
前記第2スピンドルの回転軸に直交する方向へ、前記第1スピンドルを直進移動させる第2スライドテーブルと、
前記第1スピンドルを前記第2スライドテーブルに対して回転させる回転テーブルと、
その測定光軸を前記第1スピンドルの回転軸に対して直交させた状態で、前記回転テーブルに設置されている干渉計と
を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 前記干渉計は、前記被加工物の前記加工具による被加工面の曲率半径の誤差及び真球度についての情報を生じることを特徴とする請求項1記載の形状測定装置。
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