JPH09197008A - マニュアル挿抜機 - Google Patents
マニュアル挿抜機Info
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- JPH09197008A JPH09197008A JP8004978A JP497896A JPH09197008A JP H09197008 A JPH09197008 A JP H09197008A JP 8004978 A JP8004978 A JP 8004978A JP 497896 A JP497896 A JP 497896A JP H09197008 A JPH09197008 A JP H09197008A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- socket
- package
- burn
- tray
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R9/00—Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, e.g. terminal strips or terminal blocks; Terminals or binding posts mounted upon a base or in a case; Bases therefor
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Connecting Device With Holders (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パッケージのバーンインソケットへの挿入又
は抜き取りの際に、ソケットの蓋の縁にパッケージのリ
ードが接触してリードを変形させることやソケットの蓋
を押さえるときの負荷により作業者の指の疲れや痛みが
発生して作業能率が悪くなることなどがなく、バーンイ
ンテストの処理効率を大幅に向上させることができる、
マニュアル挿抜機を提供する。 【解決手段】 トレイからパッケージをバーンインソケ
ットに移動させる機構と、この移動させたパッケージを
バーンインソケットに挿入できるように位置決めする機
構と、この位置決めしたするパッケージをバーンインソ
ケットに挿入する機構とを備えている。また、バーンイ
ンソケットからパッケージを取り出す機構と、この取り
出したパッケージをトレイまで移動する機構と、この移
動されたパッケージをトレイに収納する機構とを備えて
いる。
は抜き取りの際に、ソケットの蓋の縁にパッケージのリ
ードが接触してリードを変形させることやソケットの蓋
を押さえるときの負荷により作業者の指の疲れや痛みが
発生して作業能率が悪くなることなどがなく、バーンイ
ンテストの処理効率を大幅に向上させることができる、
マニュアル挿抜機を提供する。 【解決手段】 トレイからパッケージをバーンインソケ
ットに移動させる機構と、この移動させたパッケージを
バーンインソケットに挿入できるように位置決めする機
構と、この位置決めしたするパッケージをバーンインソ
ケットに挿入する機構とを備えている。また、バーンイ
ンソケットからパッケージを取り出す機構と、この取り
出したパッケージをトレイまで移動する機構と、この移
動されたパッケージをトレイに収納する機構とを備えて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置のフ
ァイナルテスト工程におけるバーンインテストを行う
為、パッケージをバーンインソケットに挿入し、又はバ
ーンイン後にソケットよりパッケージを抜き取り、トレ
イに収納するための、マニュアル挿抜機に関するもので
ある。
ァイナルテスト工程におけるバーンインテストを行う
為、パッケージをバーンインソケットに挿入し、又はバ
ーンイン後にソケットよりパッケージを抜き取り、トレ
イに収納するための、マニュアル挿抜機に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、このバーンインボード上のソケッ
トへの挿入、又はソケットからの抜き取り作業は、図７
に示すように、トレイ４に収納されたパッケージ６を真
空パット７等で吸着し、バーンインボード上のソケット
２の蓋３を指で押さえて、コンタクト９を開放し、真空
パット７で吸着されたパッケージをソケット２に落とし
こむ方法をとっていた。又、抜き取りは、指でソケット
２の蓋３を押さえ、コンタクト９を開放しながら、吸着
パット７でパッケージ６を吸着し、ソケット２より抜き
取り、トレイ４のポケット５に収納していた。
トへの挿入、又はソケットからの抜き取り作業は、図７
に示すように、トレイ４に収納されたパッケージ６を真
空パット７等で吸着し、バーンインボード上のソケット
２の蓋３を指で押さえて、コンタクト９を開放し、真空
パット７で吸着されたパッケージをソケット２に落とし
こむ方法をとっていた。又、抜き取りは、指でソケット
２の蓋３を押さえ、コンタクト９を開放しながら、吸着
パット７でパッケージ６を吸着し、ソケット２より抜き
取り、トレイ４のポケット５に収納していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来は、以上のような
方法で挿入、抜き取り作業を行っていたので、ソケット
への挿入、又は、抜き取りの際に、ソケットの蓋３の縁
にパッケージ６のリード８が接触してしまい、リード８
を変形させることがあった。また、ソケット２の蓋３を
押さえるときの負荷により、作業者の指の疲れや痛みが
発生してしまい、作業能率が悪いという問題があった
（以上の問題点は図８又は図９を参照）。
方法で挿入、抜き取り作業を行っていたので、ソケット
への挿入、又は、抜き取りの際に、ソケットの蓋３の縁
にパッケージ６のリード８が接触してしまい、リード８
を変形させることがあった。また、ソケット２の蓋３を
押さえるときの負荷により、作業者の指の疲れや痛みが
発生してしまい、作業能率が悪いという問題があった
（以上の問題点は図８又は図９を参照）。
【０００４】本発明はこのような従来技術の問題点に着
目してなされたもので、パッケージのバーンインソケッ
トへの挿入又は抜き取りの際に、バーンインソケットの
蓋の縁にパッケージのリードが接触してリードを変形さ
せることやバーンインソケットの蓋を押さえるときの負
荷により作業者の指の疲れや痛みが発生して作業能率が
悪くなることなどがなく、バーンインテストの処理効率
を大幅に向上させることができる、マニュアル挿抜機を
提供することを目的とする。
目してなされたもので、パッケージのバーンインソケッ
トへの挿入又は抜き取りの際に、バーンインソケットの
蓋の縁にパッケージのリードが接触してリードを変形さ
せることやバーンインソケットの蓋を押さえるときの負
荷により作業者の指の疲れや痛みが発生して作業能率が
悪くなることなどがなく、バーンインテストの処理効率
を大幅に向上させることができる、マニュアル挿抜機を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上のうよな課題を解決
するための本発明によるマニュアル挿抜機は、半導体装
置のファイナルテスト工程におけるバーンインテストを
行うために、パッケージをバーンインソケットに挿入し
又はバーンイン後にソケットよりパッケージを抜き取り
トレイに収納するためのマニュアル挿抜機において、ト
レイからパッケージをバーンインソケットに移動させる
機構と、この移動させたパッケージをバーンインソケッ
トに挿入できるように位置決めする機構と、この位置決
めしたするパッケージをバーンインソケットに挿入する
機構と、を備えたことを特徴としている。
するための本発明によるマニュアル挿抜機は、半導体装
置のファイナルテスト工程におけるバーンインテストを
行うために、パッケージをバーンインソケットに挿入し
又はバーンイン後にソケットよりパッケージを抜き取り
トレイに収納するためのマニュアル挿抜機において、ト
レイからパッケージをバーンインソケットに移動させる
機構と、この移動させたパッケージをバーンインソケッ
トに挿入できるように位置決めする機構と、この位置決
めしたするパッケージをバーンインソケットに挿入する
機構と、を備えたことを特徴としている。
【０００６】また本発明によるマニュアル挿抜機は、半
導体装置のファイナルテスト工程におけるバーンインテ
ストを行うために、パッケージをバーンインソケットに
挿入し又はバーンイン後にソケットよりパッケージを抜
き取りトレイに収納するためのマニュアル挿抜機におい
て、バーンインソケットからパッケージを取り出す機構
と、この取り出したパッケージをトレイまで移動する機
構と、この移動させたパッケージをトレイに収納する機
構と、を備えたことを特徴としている。
導体装置のファイナルテスト工程におけるバーンインテ
ストを行うために、パッケージをバーンインソケットに
挿入し又はバーンイン後にソケットよりパッケージを抜
き取りトレイに収納するためのマニュアル挿抜機におい
て、バーンインソケットからパッケージを取り出す機構
と、この取り出したパッケージをトレイまで移動する機
構と、この移動させたパッケージをトレイに収納する機
構と、を備えたことを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】以上のように、本発明によれば、
一度に多数個のパッケージをトレイからバーンインソケ
ットまで移動してバーンインソケットに挿入することが
できるので、バーンインテストのための処理能力が大幅
に向上するようになる。また、バーンインソケットに挿
入する前に、パッケージの位置決めを行うようにしてい
るので、パッケージをバーンインソケットの中心に正確
な挿入を行うことができるようになり、歩留まりが大幅
に向上するようになる。
一度に多数個のパッケージをトレイからバーンインソケ
ットまで移動してバーンインソケットに挿入することが
できるので、バーンインテストのための処理能力が大幅
に向上するようになる。また、バーンインソケットに挿
入する前に、パッケージの位置決めを行うようにしてい
るので、パッケージをバーンインソケットの中心に正確
な挿入を行うことができるようになり、歩留まりが大幅
に向上するようになる。
【０００８】また、本発明では、一度に多数個のパッケ
ージをバーンインソケットからトレイから取り出してト
レイに収納することができるので、バーンインテストの
ための処理能力が大幅に向上するようになる。
ージをバーンインソケットからトレイから取り出してト
レイに収納することができるので、バーンインテストの
ための処理能力が大幅に向上するようになる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１において、１０はベース板、１１はベース板
に取り付いたＬＭガイドレール、１２は同じくヘッド位
置決め板、１３はヘッド位置決め板１２に設けられた位
置決め溝、１４は位置決め溝１３に入るベアリング、１
５はベアリング１４が固定されたスライドブロック、１
６はスライドブロック１５を押し上げる圧縮ばね、１７
はＬＭガイド上に乗った支柱、１８は支柱１７に保持さ
れた上板、１９は上板１８に設置されたハンドル、２０
はアプローチ用アーム、２１はアーム２０に固定された
側板、２２は吸着パット、２３はソケット開閉パット、
２４は可動吸着ヘッド、２５は可動吸着ヘッド２４に取
り付けたガイド板、２６はガイド板２５に取り付けた可
変ピッチ用ベアリング、２７は位置決めブロック、２８
はトレイ４を保持するトレイ受け、２９はボード１を固
定するシリンダー、３０は吸着パット２２を上下させる
シリンダー、３１は側板２１、スライドブロック１５を
上下動させるアクチェータ、３２は可動吸着ヘッド２４
のピッチを変えるカム板である。
する。図１において、１０はベース板、１１はベース板
に取り付いたＬＭガイドレール、１２は同じくヘッド位
置決め板、１３はヘッド位置決め板１２に設けられた位
置決め溝、１４は位置決め溝１３に入るベアリング、１
５はベアリング１４が固定されたスライドブロック、１
６はスライドブロック１５を押し上げる圧縮ばね、１７
はＬＭガイド上に乗った支柱、１８は支柱１７に保持さ
れた上板、１９は上板１８に設置されたハンドル、２０
はアプローチ用アーム、２１はアーム２０に固定された
側板、２２は吸着パット、２３はソケット開閉パット、
２４は可動吸着ヘッド、２５は可動吸着ヘッド２４に取
り付けたガイド板、２６はガイド板２５に取り付けた可
変ピッチ用ベアリング、２７は位置決めブロック、２８
はトレイ４を保持するトレイ受け、２９はボード１を固
定するシリンダー、３０は吸着パット２２を上下させる
シリンダー、３１は側板２１、スライドブロック１５を
上下動させるアクチェータ、３２は可動吸着ヘッド２４
のピッチを変えるカム板である。
【００１０】また図１において、３３は側板２１に取り
付いたＬＭガイド、３４は吸着パット２２を上下させる
バー、３５は真空ホース、３６はソケット開閉パット２
３を保持するホルダー、３７はソケット開閉パット２３
を可変させるバー、３８は吸着パット２２に取り付いた
圧縮ばね、３９はソケット開閉パット２３に取り付けた
圧縮ばね、４０は吸着パット２２の回転止め具、４１は
ホルダー３６を保持ガイドするガイドブロック、４２は
ソケット開閉アプローチ用アクチェータ軸、４３はアク
チェータ軸４２の偏芯量である。
付いたＬＭガイド、３４は吸着パット２２を上下させる
バー、３５は真空ホース、３６はソケット開閉パット２
３を保持するホルダー、３７はソケット開閉パット２３
を可変させるバー、３８は吸着パット２２に取り付いた
圧縮ばね、３９はソケット開閉パット２３に取り付けた
圧縮ばね、４０は吸着パット２２の回転止め具、４１は
ホルダー３６を保持ガイドするガイドブロック、４２は
ソケット開閉アプローチ用アクチェータ軸、４３はアク
チェータ軸４２の偏芯量である。
【００１１】次に動作について説明する。まず、図２に
示すように、トレイ４に収納されたパッケージをソケッ
ト２に挿入する場合、ハンドル１９を引き上げた状態
で、トレイ４側にユニットを移動させ、吸着ポジション
の位置決め溝１３にベアリング１４を合わせ、ハンドル
１９を引き下げる。この時、板カム３２により可動吸着
ヘッド２４はトレイ４のポケットピッチに可変してい
る。ベアリング１４は位置決め溝に設置されたストッパ
（図示せず）により下降が止まる。このストロークエン
ドをリミットスイッチ等（図示せず）で検出すると、吸
着パット２２を下降させるシリンダ３０が駆動し、バー
３４を下降させることにより、吸着パット２２に設置さ
れた圧縮ばね４１が伸びて、吸着パット２２は下降す
る。この時、電磁弁等（図示せず）による真空の切替え
で吸着パット２２は吸引状態となる。下降端でパッケー
ジ６を吸着すると、真空センサーがＯＮとなり、その信
号でシリンダ３０が駆動し、バー３４を上昇させ、吸着
パット２２はパッケージ６を吸着したまま上昇する（図
３（ａ）など参照）。
示すように、トレイ４に収納されたパッケージをソケッ
ト２に挿入する場合、ハンドル１９を引き上げた状態
で、トレイ４側にユニットを移動させ、吸着ポジション
の位置決め溝１３にベアリング１４を合わせ、ハンドル
１９を引き下げる。この時、板カム３２により可動吸着
ヘッド２４はトレイ４のポケットピッチに可変してい
る。ベアリング１４は位置決め溝に設置されたストッパ
（図示せず）により下降が止まる。このストロークエン
ドをリミットスイッチ等（図示せず）で検出すると、吸
着パット２２を下降させるシリンダ３０が駆動し、バー
３４を下降させることにより、吸着パット２２に設置さ
れた圧縮ばね４１が伸びて、吸着パット２２は下降す
る。この時、電磁弁等（図示せず）による真空の切替え
で吸着パット２２は吸引状態となる。下降端でパッケー
ジ６を吸着すると、真空センサーがＯＮとなり、その信
号でシリンダ３０が駆動し、バー３４を上昇させ、吸着
パット２２はパッケージ６を吸着したまま上昇する（図
３（ａ）など参照）。
【００１２】図３（ｂ）に示す状態を説明する。上昇完
了の信号でランプ等（図示せず）をＯＮし、作業者が確
認するとハンドル１９を引き上げ、位置決め溝１３より
ベアリング１４を開放し、次の位置決めブロック２７の
位置にユニットを移動させ、位置決め溝１３にベアリン
グ１４を合わせハンドル１９を引き下げる。この時、板
カム３２により可動吸着ヘッド２４はバーンインボード
上のソケットピッチに可変する。ベアリング１４は位置
決め溝に設置されたストッパ（図示せず）により下降が
止まる。このストロークエンドをリミットスイッチ等
（図示せず）で検出すると、電磁弁等（図示せず）によ
る真空の切替えで吸着パット２２は大気状態となり、パ
ッケージ６は位置決めブロック２７に落下し、位置決め
補正される。
了の信号でランプ等（図示せず）をＯＮし、作業者が確
認するとハンドル１９を引き上げ、位置決め溝１３より
ベアリング１４を開放し、次の位置決めブロック２７の
位置にユニットを移動させ、位置決め溝１３にベアリン
グ１４を合わせハンドル１９を引き下げる。この時、板
カム３２により可動吸着ヘッド２４はバーンインボード
上のソケットピッチに可変する。ベアリング１４は位置
決め溝に設置されたストッパ（図示せず）により下降が
止まる。このストロークエンドをリミットスイッチ等
（図示せず）で検出すると、電磁弁等（図示せず）によ
る真空の切替えで吸着パット２２は大気状態となり、パ
ッケージ６は位置決めブロック２７に落下し、位置決め
補正される。
【００１３】図３（ｂ）に示す状態を説明する。真空を
切り替えた時点からのタイマーにより、吸着パット２２
を下降させるシリンダ３０が駆動し、バー３４を下降さ
せることにより、吸着パット２２に設置された圧縮ばね
４１が伸びて、吸着パット２２は下降する。この時、電
磁弁等（図示せず）による真空の切替えで吸着パット２
２は吸引状態となる。下降端でパッケージ６を吸着する
と、真空センサーがＯＮとなり、その信号でシリンダ３
０が駆動し、バー３４を上昇させ、吸着パット２２はパ
ッケージ６を吸着したまま上昇する。
切り替えた時点からのタイマーにより、吸着パット２２
を下降させるシリンダ３０が駆動し、バー３４を下降さ
せることにより、吸着パット２２に設置された圧縮ばね
４１が伸びて、吸着パット２２は下降する。この時、電
磁弁等（図示せず）による真空の切替えで吸着パット２
２は吸引状態となる。下降端でパッケージ６を吸着する
と、真空センサーがＯＮとなり、その信号でシリンダ３
０が駆動し、バー３４を上昇させ、吸着パット２２はパ
ッケージ６を吸着したまま上昇する。
【００１４】図３（ｃ）に示す状態を説明する。上昇完
了の信号でランプ等（図示せず）をＯＮし、作業者が確
認するとハンドル１９を引き上げ、位置決め溝１３より
ベアリング１４を開放し、次のバーンインボード側へユ
ニットを移動させる。位置決め溝１３にベアリング１４
を合わせハンドル１９を引き下げる。この時、板カム３
２により可動吸着ヘッド２４はバーンインボード上のソ
ケットピッチのままになっている。
了の信号でランプ等（図示せず）をＯＮし、作業者が確
認するとハンドル１９を引き上げ、位置決め溝１３より
ベアリング１４を開放し、次のバーンインボード側へユ
ニットを移動させる。位置決め溝１３にベアリング１４
を合わせハンドル１９を引き下げる。この時、板カム３
２により可動吸着ヘッド２４はバーンインボード上のソ
ケットピッチのままになっている。
【００１５】図４〜図５に示す状態を説明する。ベアリ
ング１４は位置決め溝に設置されたストッパ（図示せ
ず）により下降が止まる。このストロークエンドをリミ
ットスイッチ等（図示せず）で検出すると、アクチェー
タ３１が駆動し、アクチェータ軸４２が１８０度回転
し、偏芯量４３の２倍のストロークだけ可動吸着ヘッド
２４が下降し、それに取り付いたホルダー３６、ソケッ
ト開閉パット２３、吸着パット２２が下降する。ソケッ
ト開閉パット２３は直下にあるソケット２の蓋３を押し
下げ、コンタクト９を開く。このアクチェータのストロ
ークエンドの信号で、電磁弁等（図示せず）による真空
の切替えを行い、吸着パット２２は大気状態となり、パ
ッケージ６はソケット２に落下する。さらに真空切替え
時点からのタイマーにより吸着パット２２を下降させる
シリンダ３０が駆動し、バー３４を下降させることによ
り、吸着パット２２に設置された圧縮ばね４１が伸び
て、吸着パット２２は下降しパッケージ６を押さえる。
ング１４は位置決め溝に設置されたストッパ（図示せ
ず）により下降が止まる。このストロークエンドをリミ
ットスイッチ等（図示せず）で検出すると、アクチェー
タ３１が駆動し、アクチェータ軸４２が１８０度回転
し、偏芯量４３の２倍のストロークだけ可動吸着ヘッド
２４が下降し、それに取り付いたホルダー３６、ソケッ
ト開閉パット２３、吸着パット２２が下降する。ソケッ
ト開閉パット２３は直下にあるソケット２の蓋３を押し
下げ、コンタクト９を開く。このアクチェータのストロ
ークエンドの信号で、電磁弁等（図示せず）による真空
の切替えを行い、吸着パット２２は大気状態となり、パ
ッケージ６はソケット２に落下する。さらに真空切替え
時点からのタイマーにより吸着パット２２を下降させる
シリンダ３０が駆動し、バー３４を下降させることによ
り、吸着パット２２に設置された圧縮ばね４１が伸び
て、吸着パット２２は下降しパッケージ６を押さえる。
【００１６】次にシリンダー３０のストロークエンド信
号により、アクチェータ３１が駆動し、アクチェータ軸
４２が１８０度回転し、偏芯量４３の２倍のストローク
だけ可動吸着ヘッド２４が上昇し、それに取り付いたホ
ルダー３６、ソケット開閉パット２３が上昇する。吸着
パット２２は設置された圧縮ばねが伸びる分だけ遅れて
上昇する。アクチェータのストロークエンド信号により
ランプ等（図示せず）をＯＮし、作業者が確認するとハ
ンドル１９を引き上げ、位置決め溝１３よりベアリング
１４を開放し、次のトレイ４の吸着位置にユニットを移
動させる（つまり、図５から図４（ａ）の状態に戻
る）。
号により、アクチェータ３１が駆動し、アクチェータ軸
４２が１８０度回転し、偏芯量４３の２倍のストローク
だけ可動吸着ヘッド２４が上昇し、それに取り付いたホ
ルダー３６、ソケット開閉パット２３が上昇する。吸着
パット２２は設置された圧縮ばねが伸びる分だけ遅れて
上昇する。アクチェータのストロークエンド信号により
ランプ等（図示せず）をＯＮし、作業者が確認するとハ
ンドル１９を引き上げ、位置決め溝１３よりベアリング
１４を開放し、次のトレイ４の吸着位置にユニットを移
動させる（つまり、図５から図４（ａ）の状態に戻
る）。
【００１７】次に、図５に示す状態を説明する。ソケッ
ト２に収納されたパッケージ６を抜き取り、トレイ４に
収納する場合、ハンドル１９を引き上げた状態で、バー
ンインボード側にユニットを移動させ、吸着ポジション
の位置決め溝１３にベアリング１４を合わせ、ハンドル
１９を引き下げる。この時、板カム３２により可動吸着
ヘッド２４はトレイ４のポケットピッチに可変してい
る。ベアリング１４は位置決め溝に設置されたストッパ
（図示せず）により下降が止まる。このストロークエン
ドをリミットスイッチ等（図示せず）で検出すると、ア
クチェータ３１が駆動し、アクチェータ軸４２が１８０
度回転し、偏芯量４３の２倍のストロークだけ可動吸着
ヘッド２４が下降し、それに取り付いたホルダー３６、
ソケット開閉パット２３、吸着パット２２が下降する。
ソケット開閉パット２３は直下にあるソケット２の蓋３
を押し下げ、コンタクト９を開く。このアクチェータの
ストロークエンドの信号で、吸着パット２２を下降させ
るシリンダ３０が駆動し、バー３４を下降させることに
より、吸着パット２２に設置された圧縮ばね４１が伸び
て、吸着パット２２は下降する。
ト２に収納されたパッケージ６を抜き取り、トレイ４に
収納する場合、ハンドル１９を引き上げた状態で、バー
ンインボード側にユニットを移動させ、吸着ポジション
の位置決め溝１３にベアリング１４を合わせ、ハンドル
１９を引き下げる。この時、板カム３２により可動吸着
ヘッド２４はトレイ４のポケットピッチに可変してい
る。ベアリング１４は位置決め溝に設置されたストッパ
（図示せず）により下降が止まる。このストロークエン
ドをリミットスイッチ等（図示せず）で検出すると、ア
クチェータ３１が駆動し、アクチェータ軸４２が１８０
度回転し、偏芯量４３の２倍のストロークだけ可動吸着
ヘッド２４が下降し、それに取り付いたホルダー３６、
ソケット開閉パット２３、吸着パット２２が下降する。
ソケット開閉パット２３は直下にあるソケット２の蓋３
を押し下げ、コンタクト９を開く。このアクチェータの
ストロークエンドの信号で、吸着パット２２を下降させ
るシリンダ３０が駆動し、バー３４を下降させることに
より、吸着パット２２に設置された圧縮ばね４１が伸び
て、吸着パット２２は下降する。
【００１８】この時、電磁弁等（図示せず）による真空
の切替えで吸着パット２２は吸引状態となる。下降端で
パッケージ６を吸着すると、真空センサーがＯＮとな
り、その信号でシリンダ３０が駆動し、バー３４を上昇
させ、吸着パット２２はパッケージ６を吸着したまま上
昇する（以上、図３（ｃ）参照）。
の切替えで吸着パット２２は吸引状態となる。下降端で
パッケージ６を吸着すると、真空センサーがＯＮとな
り、その信号でシリンダ３０が駆動し、バー３４を上昇
させ、吸着パット２２はパッケージ６を吸着したまま上
昇する（以上、図３（ｃ）参照）。
【００１９】そして、シリンダ３０のストロークエンド
信号でアクチェータ３１が駆動し、アクチェータ軸４２
が１８０度回転し、偏芯量４３の２倍のストロークだけ
可動吸着ヘッド２４が上昇し、それに取り付いたホルダ
ー３６、ソケット開閉パット２３が上昇する。アクチェ
ータのストロークエンド信号によりランプ等（図示せ
ず）をＯＮし、作業者が確認するとハンドル１９を引き
上げ、位置決め溝１３よりベアリング１４を開放し、次
のトレイ４の収納位置にユニットを移動させる。位置決
め溝１３にベアリング１４を合わせハンドル１９を引き
下げる。この時、板カム３２により可動吸着ヘッド２４
はトレイのポケットピッチに可変する。ベアリング１４
は位置決め溝に設置されたストッパ（図示せず）により
下降が止まる。このストロークエンドをリミットスイッ
チ等（図示せず）で検出すると、電磁弁等（図示せず）
による真空の切替えで吸着パット２２は大気状態とな
り、パッケージ６はトレイ４のポケット５に落下し、収
納される（以上、図３（ａ）参照）。
信号でアクチェータ３１が駆動し、アクチェータ軸４２
が１８０度回転し、偏芯量４３の２倍のストロークだけ
可動吸着ヘッド２４が上昇し、それに取り付いたホルダ
ー３６、ソケット開閉パット２３が上昇する。アクチェ
ータのストロークエンド信号によりランプ等（図示せ
ず）をＯＮし、作業者が確認するとハンドル１９を引き
上げ、位置決め溝１３よりベアリング１４を開放し、次
のトレイ４の収納位置にユニットを移動させる。位置決
め溝１３にベアリング１４を合わせハンドル１９を引き
下げる。この時、板カム３２により可動吸着ヘッド２４
はトレイのポケットピッチに可変する。ベアリング１４
は位置決め溝に設置されたストッパ（図示せず）により
下降が止まる。このストロークエンドをリミットスイッ
チ等（図示せず）で検出すると、電磁弁等（図示せず）
による真空の切替えで吸着パット２２は大気状態とな
り、パッケージ６はトレイ４のポケット５に落下し、収
納される（以上、図３（ａ）参照）。
【００２０】以上のように、本実施例では、一度に多数
個のパッケージを挿入、抜き取りを行うことができるの
で、処理能力が大幅に向上するようになる。また位置決
め溝、板カムによる正確な芯出し、及び、位置決めブロ
ックによる位置補正が可能になり、ソケットの中心に正
確な挿入を行うことができ、歩留まりの向上に効果があ
る。またソケット２の寸法が変化した場合の対応とし
て、ホルダー３６に組み付けたバー３７を可変させ、ソ
ケット開閉パット２３の間口を変更出来る。さらに、ソ
ケットピッチ、トレイポケットピッチが変化した場合の
対応として、板カム、及び位置決め板１２をユニット化
し、ワンタッチで交換することにより、安価で異品種に
対応することができる。
個のパッケージを挿入、抜き取りを行うことができるの
で、処理能力が大幅に向上するようになる。また位置決
め溝、板カムによる正確な芯出し、及び、位置決めブロ
ックによる位置補正が可能になり、ソケットの中心に正
確な挿入を行うことができ、歩留まりの向上に効果があ
る。またソケット２の寸法が変化した場合の対応とし
て、ホルダー３６に組み付けたバー３７を可変させ、ソ
ケット開閉パット２３の間口を変更出来る。さらに、ソ
ケットピッチ、トレイポケットピッチが変化した場合の
対応として、板カム、及び位置決め板１２をユニット化
し、ワンタッチで交換することにより、安価で異品種に
対応することができる。
【００２１】なお、本実施例では、可動吸着ヘッドのア
プローチはハンドル１９を人手で行うように記載した
が、別駆動のアクチェータでも差し障り無い。また本実
施例ではトレイ４及びバーンインボード１は１枚ずつ設
置するようにしたが、ストッカー等を具備し多数枚の自
動供給としても可能である。
プローチはハンドル１９を人手で行うように記載した
が、別駆動のアクチェータでも差し障り無い。また本実
施例ではトレイ４及びバーンインボード１は１枚ずつ設
置するようにしたが、ストッカー等を具備し多数枚の自
動供給としても可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、一度に
多数個のパッケージをトレイからバーンインソケットま
で移動してバーンインソケットに挿入することができる
ので、バーンインテストのための処理能力が大幅に向上
するようになる。また、バーンインソケットに挿入する
前に、パッケージの位置決めを行うようにしているの
で、パッケージをバーンインソケットの中心に正確な挿
入を行うことができるようになり、歩留まりが大幅に向
上するようになる。また、本発明では、パッケージのバ
ーンインソケットへの挿入工程及びその前の位置決め工
程を自動化できるので、ソケットの蓋の縁にパッケージ
のリードが接触してリードを変形させることやソケット
の蓋を押さえるときの負荷により作業者の指の疲れや痛
みが発生して作業能率が悪くなることなどがなく、バー
ンインテストの処理効率を大幅に向上させることができ
るようになる。
多数個のパッケージをトレイからバーンインソケットま
で移動してバーンインソケットに挿入することができる
ので、バーンインテストのための処理能力が大幅に向上
するようになる。また、バーンインソケットに挿入する
前に、パッケージの位置決めを行うようにしているの
で、パッケージをバーンインソケットの中心に正確な挿
入を行うことができるようになり、歩留まりが大幅に向
上するようになる。また、本発明では、パッケージのバ
ーンインソケットへの挿入工程及びその前の位置決め工
程を自動化できるので、ソケットの蓋の縁にパッケージ
のリードが接触してリードを変形させることやソケット
の蓋を押さえるときの負荷により作業者の指の疲れや痛
みが発生して作業能率が悪くなることなどがなく、バー
ンインテストの処理効率を大幅に向上させることができ
るようになる。
【００２３】また、本発明では、一度に多数個のパッケ
ージをバーンインソケットからトレイから取り出してト
レイに収納することができるので、バーンインテストの
ための処理能力が大幅に向上するようになる。
ージをバーンインソケットからトレイから取り出してト
レイに収納することができるので、バーンインテストの
ための処理能力が大幅に向上するようになる。
【図１】 この発明の一実施例によるマニュアル挿抜機
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】 この発明の一実施例によるマニュアル挿抜機
のユニット部を示す部分断面図である。
のユニット部を示す部分断面図である。
【図３】 この発明の一実施例によるマニュアル挿抜機
のユニット部の動きを示す部分断面図である。
のユニット部の動きを示す部分断面図である。
【図４】 この発明の一実施例によるマニュアル挿抜機
のユニット部のソケット蓋開閉動作を示す部分断面図で
ある。
のユニット部のソケット蓋開閉動作を示す部分断面図で
ある。
【図５】 この発明の一実施例によるマニュアル挿抜機
のユニット部のソケットへの挿入動作を示す部分断面図
である。
のユニット部のソケットへの挿入動作を示す部分断面図
である。
【図６】 この発明の一実施例によるマニュアル挿抜機
のユニット部の可動吸着ヘッド可変ピッチ動作を示す正
面図である。
のユニット部の可動吸着ヘッド可変ピッチ動作を示す正
面図である。
【図７】 従来の挿入、抜き取り作業を示す斜視図であ
る
る
【図８】 従来のソケットに挿入する場合の断面図であ
る
る
【図９】 従来のソケットに挿入する場合の不具合を示
す断面図である
す断面図である
１０ ベース． １１ ＬＭガイドレール． １２ 位
置決め板．１３ 位置決め溝． １４ ベアリング．
１５ スライドブロック．１６ 圧縮ばね． １７ 支
柱． １８ 上板． １９ ハンドル．２０ アーム．
２１ 側板． ２２ 吸着パット．２３ ソケット開
閉パット． ２４ 可動吸着ヘッド． ２５ ガイド
板．２６ ベアリング． ２７ 位置決めブロック．
２８ トレイ受け．２９ シリンダー． ３０ シリン
ダー． ３１ アクチェータ．３２ カム板． ３３
ＬＭガイド． ３４ バー． ３５ 真空ホース．３６
ホルダー． ３７ バー． ３８ 圧縮ばね． ３９
圧縮ばね．４０ 回転止め具． ４１ ガイドブロッ
ク． ４２ アクチェータ軸．４３ 偏芯量
置決め板．１３ 位置決め溝． １４ ベアリング．
１５ スライドブロック．１６ 圧縮ばね． １７ 支
柱． １８ 上板． １９ ハンドル．２０ アーム．
２１ 側板． ２２ 吸着パット．２３ ソケット開
閉パット． ２４ 可動吸着ヘッド． ２５ ガイド
板．２６ ベアリング． ２７ 位置決めブロック．
２８ トレイ受け．２９ シリンダー． ３０ シリン
ダー． ３１ アクチェータ．３２ カム板． ３３
ＬＭガイド． ３４ バー． ３５ 真空ホース．３６
ホルダー． ３７ バー． ３８ 圧縮ばね． ３９
圧縮ばね．４０ 回転止め具． ４１ ガイドブロッ
ク． ４２ アクチェータ軸．４３ 偏芯量
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体装置のファイナルテスト工程にお
けるバーンインテストを行うために、パッケージをバー
ンインソケットに挿入するためのマニュアル挿抜機にお
いて、トレイからパッケージをバーンインソケットに移
動させる機構と、この移動されたパッケージをバーンイ
ンソケットに挿入できるように位置決めする機構と、こ
の位置決めされたするパッケージをバーンインソケット
に挿入する機構と、を備えたことを特徴とするマニュア
ル挿抜機。 - 【請求項２】 半導体装置のファイナルテスト工程にお
けるバーンインテストを行うために、パッケージをバー
ンインソケットに挿入し又はバーンイン後にソケットよ
りパッケージを抜き取りトレイに収納するためのマニュ
アル挿抜機において、バーンインソケットからパッケー
ジを取り出す機構と、この取り出されたパッケージをト
レイまで移動する機構と、この移動されたパッケージを
トレイに収納する機構と、を備えたことを特徴とするマ
ニュアル挿抜機。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8004978A JPH09197008A (ja) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | マニュアル挿抜機 |
| TW091210541U TW551609U (en) | 1996-01-16 | 1996-04-15 | Manual insertion-removing device |
| CNB961085967A CN1135612C (zh) | 1996-01-16 | 1996-06-19 | 手动插拔机 |
| KR1019960033668A KR100215098B1 (ko) | 1996-01-16 | 1996-08-14 | 매뉴얼 삽입 및 빼냄기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8004978A JPH09197008A (ja) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | マニュアル挿抜機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09197008A true JPH09197008A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=11598697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8004978A Pending JPH09197008A (ja) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | マニュアル挿抜機 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09197008A (ja) |
| KR (1) | KR100215098B1 (ja) |
| CN (1) | CN1135612C (ja) |
| TW (1) | TW551609U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058707A1 (fr) * | 2002-01-08 | 2003-07-17 | Tokyo Electron Limited | Systeme de traitement a semi-conducteur et mecanisme porteur de semi-conducteur |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10369706B2 (en) * | 2017-08-09 | 2019-08-06 | The Boeing Company | End effectors carrying plies of limp material for shaping by a mandrel |
| CN107817366A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-03-20 | 北方电子研究院安徽有限公司 | 一种金属管壳厚膜集成电路起拔装置 |
-
1996
- 1996-01-16 JP JP8004978A patent/JPH09197008A/ja active Pending
- 1996-04-15 TW TW091210541U patent/TW551609U/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-06-19 CN CNB961085967A patent/CN1135612C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-14 KR KR1019960033668A patent/KR100215098B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058707A1 (fr) * | 2002-01-08 | 2003-07-17 | Tokyo Electron Limited | Systeme de traitement a semi-conducteur et mecanisme porteur de semi-conducteur |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1135612C (zh) | 2004-01-21 |
| TW551609U (en) | 2003-09-01 |
| CN1155161A (zh) | 1997-07-23 |
| KR970060593A (ko) | 1997-08-12 |
| KR100215098B1 (ko) | 1999-08-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040813 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041021 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050614 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060207 |