JPH09195934A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空圧が設定真空圧より高くなると自動的に
運転が停止し、低くなると自動的に運転を開始する真空
ポンプを提供する。 【解決手段】 本体ブロック２両側のシリンダ９ａ，９
ｂを往復動するピストン１０ａ，１０ｂの内側を真空室
１２ａ，１２ｂに、外側を駆動室１３ａ，１３ｂにし
て、真空室を入口チェック弁１５ａ，１５ｂを介して真
空圧チャンバ５の空気を吸引する入口ポート６に、出口
チェック弁１６ａ，１６ｂを介して空気の出口ポート７
にそれぞれ連通させる。駆動流体の供給ポート３から、
ガバナ１８と切換弁１７を通して駆動室に駆動流体を給
排するとピストンが往復動し、これによって真空チャン
バの圧力が低下して真空圧になる。入口ポート６の真空
圧がガバナ１８で設定した設定真空圧より高くなると、
ガバナ１８が駆動室への駆動圧力流体の供給を遮断して
真空ポンプ１が自動的に停止し、低くなるとガバナ１８
により駆動室に駆動圧力流体が供給されて自動的に運転
を開始する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧縮空気等の圧力
流体を動力源とする真空ポンプに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】真空圧発生装置としては、圧縮空気を駆
動源とするエゼクタと、電動機を駆動源とする真空ポン
プとが知られている。しかしながら、エゼクタは発生真
空圧が低いために、例えば吸着搬送装置の真空パッドが
ワークを吸引している間も真空パッドに真空圧を作用さ
せる必要があるので、圧縮空気の使用量が多くなってラ
ンニングコストが上昇するという問題がある。また、発
生真空圧が低いために、使用する装置によっては多数の
エゼクタを設ける必要があるので、設置スペースが大き
くなるという問題もある。

【０００３】一方、真空ポンプは発生真空圧を高くする
ことができるが、真空圧が所定の真空圧より高くなった
ときに運転を停止し真空圧が所定の圧力より低くなった
ときに運転を開始する制御機構が、複雑かつ高価であ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、圧力流体を駆動源としたものでありながら
発生真空圧が高く、しかも安価な機構で自動的に運転を
開始及び停止することができる真空ポンプを提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の真空ポンプは、本体ブロックと、その両側
の一対のシリンダと、これらのシリンダ内を気密に往復
動する一対のピストンと、本体ブロックを気密に貫通し
これらのピストンを連結するロッドと、駆動流体の流れ
を切換える切換弁とを備え、本体ブロック内側の室を真
空室に外側の室を駆動室にし、供給ポートから切換弁を
通って駆動室に給排される駆動流体により上記ピストン
を往復動させて真空室に吸引した空気を排出する真空ポ
ンプであって、上記真空ポンプが、真空圧利用機器が接
続される入口ポート及び外部に開口する出口ポートと、
入口ポートから一対の真空室への空気の流入のみを許容
する入口チェック弁及び真空室から出口ポートへの空気
の流出のみを許容する出口チェック弁と、設定真空圧が
調節可能で、入口側の真空圧が設定真空圧より低いとき
は駆動室に駆動流体を供給し高いときは駆動流体の供給
を遮断するガバナとを備えていることを特徴としてい
る。

【０００６】また、同様の課題を解決するため、上記真
空ポンプのガバナが、設定真空圧を調節する真空圧設定
手段と、該真空圧設定手段で設定した真空圧と入口側の
真空圧との大小により変位する受圧体と、該受圧体の変
位により移動して入口側の真空圧が設定真空圧より低い
ときは駆動流体の供給流路を開放し高いときは供給流路
を閉鎖するガバナ弁とを備えていることを特徴としてい
る。

【０００７】さらに、同様の課題を解決するため、これ
らのガバナが、入口側の真空圧が設定真空圧より高いと
きに開口してその真空圧を低下させる給気弁を備えてい
ることを特徴としている。

【０００８】また、同様の課題を解決するため、ガバナ
が、入口側の真空圧を検出して信号を出力する圧力セン
サと、設定真空圧が調節可能で上記圧力センサの出力信
号と設定真空圧の信号の大小を比較して信号を出力する
制御回路と、制御回路の出力信号により駆動して、入口
側の真空圧が設定真空圧より低いときは駆動流体の供給
流路を開放し高いときは供給流路を閉鎖する流路開閉手
段とを備えていることを特徴としている。

【０００９】

【発明の実施の形態】供給ポートからガバナ及び切換弁
を介して一対の駆動室に駆動流体を給排すると一対のピ
ストンが往復動し、これにより入口ポート及び入口チェ
ック弁を通って真空圧利用機器の空気が真空室に吸入さ
れるとともに、真空室に吸入された空気が出口チェック
弁を通って出口ポートから排出されるので、真空圧利用
機器の圧力が低下して真空圧になる。入口側の真空圧が
設定真空圧より高くなると、ガバナによって駆動室への
駆動流体の供給が遮断されるので、真空ポンプの運転が
自動的に停止する。また、入口側の真空圧が設定真空圧
より低くなると、ガバナによって駆動室に駆動流体が供
給されるので、真空ポンプが自動的に運転を開始する。
真空ポンプの運転を自動的に停止及び開始させるための
設定真空圧は調節できるので、真空圧利用機器を所望の
真空圧とすることができる。

【００１０】具体的には、入口側の真空圧が真空圧設定
手段で設定した真空圧より低いときは、受圧体の所定方
向への変位によりガバナ弁が駆動流体の供給流路を開放
して、切換弁を介して駆動室に駆動流体が供給されるの
で、真空ポンプが自動的に運転を開始する。入口側の真
空圧が真空圧設定手段で設定した真空圧より高くなる
と、受圧体が反対の方向に変位し、これによってガバナ
弁が駆動流体の供給流路を閉鎖するので、真空ポンプの
運転が自動的に停止する。また、入口側の真空圧が真空
圧設定手段で設定した設定真空圧より高くなると、ガバ
ナに設けた給気弁が開口して入口側に外気が流入するの
で、入口側の真空圧が低下する。

【００１１】さらに、制御回路が、入口側の真空圧を検
出した圧力センサの出力信号と設定真空圧の信号との大
小を比較して、入口側の真空圧が設定真空圧より低いと
きは信号を出力し、これによって流路開閉手段が駆動流
体の供給流路を開放するので真空ポンプが自動的に運転
を開始し、入口側の真空圧が設定真空圧より高いときは
制御回路の出力信号がなく、このため流路開閉手段が駆
動流体の供給流路を遮断するので、真空ポンプの運転が
自動的に停止する。この場合も、制御回路によって設定
真空圧を調節することができる。

【００１２】

【実施例】図１は第１実施例の真空ポンプ１の概略構成
を、図２及び図３はその要部の具体的構成を示してい
る。図１によって上記実施例の概要を説明すると、この
真空ポンプ１における本体ブロック２は、駆動流体（一
例として圧縮空気）の供給ポート３及び排出ポート４
と、真空圧利用機器（図示を省略しているが、一例とし
て吸着搬送装置）に接続される真空チャンバ５が接続さ
れる入口ポート６及び外部に開口する出口ポート７とを
備えている。上記本体ブロック２の両側にはシリンダ９
ａ，９ｂが連設され、これらのシリンダ内を気密に往復
動するピストン１０ａ，１０ｂを、本体ブロック２を気
密に貫通するロッド１１により互いに連結し、ピストン
１０ａ，１０ｂによって上記シリンダ内を、ピストン内
側（本体ブロック２側）の真空室１２ａ，１２ｂと、外
側の駆動室１３ａ，１３ｂとに区画している。また、本
体ブロック２の内部に形成された流体流路には、入口チ
ェック弁１５ａ，１５ｂ及び出口チェック弁１６ａ，１
６ｂと、切換弁１７及びガバナ１８とが組込まれてい
る。

【００１３】上記入口チェック弁１５ａ，１５ｂは入口
ポート６から真空室１２ａ，１２ｂへの空気の流入のみ
を許容し、出口チェック弁１６ａ，１６ｂは真空室１２
ａ，１２ｂから出口ポート７への空気の流出のみを許容
するものである。また切換弁１７は、駆動室１３ａ及び
１３ｂの一方をガバナ１８を介して供給ポート３に切換
連通させるとともに、他方を排出ポート４に切換連通さ
せるものである。上記ガバナ１８は、入口ポート６の真
空圧が設定真空圧より高いときは駆動室１３ａ，１３ｂ
への駆動流体の供給を遮断して真空ポンプ１の運転を自
動的に停止させ、入口ポート６の真空圧が設定真空圧よ
り低いときは駆動流体を駆動室１３ａ，１３ｂに供給し
て真空ポンプ１の運転を自動的に開始させるものであ
り、後記する真空圧設定手段によって設定真空圧を調節
することができる。

【００１４】図２及び図３に詳細を示す上記ガバナ１８
は、本体ブロック２に組み込まれたガバナ本体２０を備
え、ガバナ本体２０に、供給ポート３に連通する弁室２
１、切換弁１７の後記する入力口に連通するガバナ弁座
２２、及びフィードバック口２３がそれぞれ形成されて
いる。ガバナ弁座２２を弁室側から開閉するガバナ弁２
４は、ガバナ弁座２２と同径で、ガバナ本体２０に設け
た凹部内を気密に摺動する筒状壁で形成した均圧室２５
と、均圧室をガバナ弁座２２の出口側に連通させる複数
の均圧孔とを備え、これによってガバナ弁２４に作用す
る流体圧をほぼ等しくしている。またガバナ弁２４は、
均圧室２５に縮設したばね２７によって、ガバナ弁座２
２を閉鎖する方向に付勢されている。

【００１５】ガバナ本体２０と、本体ブロック２に適宜
の手段により取付けられたボンネット３０との間には、
受圧体の一例であるダイヤフラム３１の周縁が気密に挟
持され、上記フィードバック口２３は、弁室２６を介し
て入口ポート６に連通するとともに、ダイヤフラム３１
で区画されたフィードバックバック室３２に連通してい
る。また、ボンネット３０内のフィードバック室３２と
反対側の部屋は、図示を省略している開口によって外部
に連通している。ダイヤフラム３１には、外部に開口す
る給気弁座３３を有する弁座部材３４が一体変位可能に
取付けられており、給気弁座３３を開閉する給気弁３５
は、弁座部材３４、ガバナ本体２０及び均圧室２５を通
る弁棒３６によって、ガバナ弁２４に一体移動可能に連
結されている。

【００１６】ボンネット３０内には、ナット３８が軸方
向に移動可能でかつ回転不能に設けられており、弁座部
材３４とナット３８にはダイヤフラム３１を図において
上方に付勢する引張りばね３９の両端が取付けられてい
る。上記ナット３８に螺合する調節ボルト４０は、ボン
ネット３０に回転のみ可能に取付けられたハンドル４１
に一体回転可能に取付けられており、これらによって真
空圧設定手段４２が構成される。上記真空圧設定手段４
２は、ハンドル４１を回転するとナット３８が図におい
て上下動し、これによって引張りばね３９の付勢力、換
言すれば設定真空圧を調節することができる。

【００１７】切換弁１７の入力口４５は上述のようにガ
バナ弁座２２の出口側に連通し、出力口４６ａ，４６ｂ
は本体ブロック２内の流路及び外部流路４８ａ，４８ｂ
によって駆動室１３ａ，１３ｂにそれぞれ連通し、排出
口４７は本体ブロック２内の流路によって排出ポート４
に連通している。また、切換弁１７に設けた切換用のプ
ッシュロッド５０ａ，５０ｂは、これらの間のトラベル
ばね５１の付勢力によって先端を真空室１２ａ，１２ｂ
内に突出させ、往復動するピストン１０ａ，１０ｂがプ
ッシュロッド５０ａ，５０ｂを押圧すると、そのプッシ
ュロッドがトラベルばね５１の付勢力に抗して押し込ま
れて切換弁１７の流れが切換えられ、これによって駆動
室１３ａ，１３ｂをガバナ１８と排出ポート４に交互に
連通させる。

【００１８】上記切換弁１７は、スプール弁として構成
されている。即ち、本体ブロック２には真空室１２ａ，
１２ｂを連通させる通孔が形成され、この通孔に嵌着し
たスリーブ５３をエギゾーストスリーブ及びプッシュロ
ッドガイド５４ａ，５４ｂを介して一対のサイドプレー
ト５５，５５で挟着することによって固定し、これらの
内部に、軸方向に貫通する貫通孔によって薄肉中空とし
た流路切換え用の中空のスプール５６、及び該スプール
を押圧する上記プッシュロッド５０ａ，５０ｂを軸方向
に摺動可能に嵌挿している。これらのプッシュロッド
は、内方にばね座として機能する段部５７が形成されて
おり、段部５７，５７間に上記トラベルばね５１が縮設
され、トラベルベアリング５８，５８で支持された先端
をサイドプレート５５，５５に設けた開口を通して常時
真空室１２ａ，１２ｂに向けて付勢している。また、ス
プール５６内面の突出部とプッシュロッドの段部５７，
５７との間には、図２に示すように、プッシュロッド５
０ａ，５０ｂの無作用摺動間隙が設けられている。

【００１９】図２は、駆動室１３ａに供給された駆動流
体によりピストン１０ａ，１０ｂが図において右動し
て、プッシュロッド５０ａが上記無作用間隙を越えて摺
動してスプール５６の突出部に当接し、入力口４５から
の圧力流体を出力口４６ｂ及び外部流路４８ｂを通して
駆動室１３ｂへ流入するように切換える直前の状態を示
している。ピストン１０ａ，１０ｂがさらに右動する
と、段部５７がスプール５６の突出部を押圧してスプー
ルを右動させ、これにより入力口４５が出力口４６ｂに
連通するので、駆動室１３ｂに駆動流体が供給されてピ
ストン１０ａ，１０ｂが図において左動する。ピストン
１０ａ，１０ｂが左動終端近くに摺動すると、プッシュ
ロッド５０ｂを押圧して左動させ、これに伴ってトラベ
ルばね５１、プッシュロッド５０ｂも左動するが、プッ
シュロッド５０ｂが無作用間隙を摺動している間は、ス
プール５６は静止している。ピストン１０ａ，１０ｂが
さらに左動すると、プッシュロッド５０ｂの段部５７が
スプール５６の突出部を押圧してスプールを左動させ、
入力口４５からの駆動流体を出力口４６ｂから出力口４
６ａに切換えるので、ピストン１０ａ，１０ｂが右動す
る。

【００２０】上記第１実施例は、真空ポンプ１の運転開
始前においては、引張りばね３９の付勢力によりダイヤ
フラム３１及びガバナ弁２４が図において上動している
（図２参照）。したがって、ガバナ弁２４がガバナ弁座
２２を開放し、給気弁３５は給気弁座３３を閉鎖してい
る。供給ポート３から、ガバナ１８及び切換弁１７を介
して駆動室１３ａ，１３ｂに駆動流体を給排するとピス
トン１０ａ，１０ｂが往復動し、これにより入口ポート
６及び入口チェック弁１５ａ，１５ｂを通って真空室１
２ａ，１２ｂに真空チャンバ５の空気が吸引されるとと
もに、真空室１２ａ，１２ｂに吸引された空気が、出口
チェック弁１６ａ，１６ｂ及び出口ポート７を通って外
部に排出される。したがって、真空チャンバ５、入口ポ
ート６及びフィードバック室３２の空気圧が低下して真
空圧になる。

【００２１】入口ポート６及びフィードバック室３２の
真空圧が、真空圧設定手段４２により設定した設定真空
圧になると、ダイヤフラム３１が引張りばね３９の付勢
力に抗して図における下方に変位するので、ガバナ弁２
４がガバナ弁座２２を閉鎖する（図３参照）。したがっ
て、供給ポート３から切換弁１７への駆動流体の供給が
遮断されるので、真空ポンプ１の運転が自動的に停止す
る。この場合、弁座部材３４、ダイヤフラム３１及びガ
バナ弁２４が一体に下動するので、給気弁３５が給気弁
座３３を開口することはない。入口ポート６及びフィー
ドバック室３２の真空圧が上記設定真空圧より高いとき
は、ダイヤフラム３１と弁座部材３４が図３に示す位置
よりさらに下動する。しかしながら、ガバナ弁２４がガ
バナ弁座２２を閉鎖していて給気弁３５は下動できない
ので、給気弁座３３が開口してフィードバック室３２に
外気が供給される。これにより入口ポート６及びフィー
ドバック室３２の真空圧が低くなると、ダイヤフラム３
１及び弁座部材３４が復帰して給気弁座３３が閉鎖され
るので、入口ポート６及びフィードバック室３２の真空
圧が設定真空圧となる。

【００２２】上記第１実施例は、駆動流体を駆動源とす
るものでありながら、エゼクタに比べて発生真空圧を高
くすることができ、したがって、１個の装置によって複
数の真空圧利用機器に真空圧を同時に作用させることが
できるので、設置スペースを小さくすることができる。
入口ポート６の真空圧が真空圧設定手段４２で設定した
設定真空圧より高くなると、ガバナ１８が駆動室１３
ａ，１３ｂへの駆動流体の供給を遮断して真空ポンプ１
の運転を自動的に停止させるので、圧縮空気の無駄な使
用がなくてランニングコストを低下することができ、か
つエネルギー消費の少ない真空ポンプとすることができ
る。また、入口ポート６の真空圧が設定真空圧より低く
なると、ガバナ１８が駆動室１３ａ，１３ｂに駆動流体
を供給するので、真空ポンプ１が自動的に運転を開始す
る。さらに、ハンドル４１の回転により引張りばね３９
の付勢力を調整して設定真空圧、換言すれば入口ポート
６の真空圧を調整することができ、しかも自動的に運転
を開始及び停止させるための制御回路を必要としないの
で、真空ポンプ１を安価なものにすることができる。

【００２３】図４ないし図６は本発明の第２実施例を示
し、第２実施例の真空ポンプ６１におけるガバナ６２
は、ガバナ本体６３と、入口ポート６の真空圧を検出し
て信号を出力する圧力センサ６４と、供給ポート３と切
換弁１７の連通を通断する流路開閉手段の一例である電
磁弁６５と、電磁弁６５に信号を出力する制御回路６６
とを備えている。上記ガバナ本体６３は、供給ポート３
をガバナ本体の上面に開口させる供給流路６８と、切換
弁１７の入力口４５をガバナ本体の上面に開口させる出
力流路６９とを備えている。ガバナ本体６３の上面に取
付けられた上記電磁弁６５は、圧力流体の入力ポート７
１、出力ポート７２及び排出ポート７３を備え、ソレノ
イド６５ａの励磁により供給ポート７１を出力ポートに
連通させ、ソレノイド６５ａの励磁が解除されると、復
帰ばね（図示省略）の付勢力により出力ポート７２を排
出ポート７３に切換えて連通させる周知の３ポート電磁
弁として構成されており、入力ポート７１は供給流路６
８の上面開口に、出力ポート７２は出力流路６９の上面
開口にそれぞれ連通し、排出ポート７３は外部に開口し
ている。

【００２４】上記制御回路６６は、圧力センサ６４が検
出した入口ポート６の真空圧の信号と設定真空圧の信号
との大小を比較して、圧力センサ６４が検出した真空圧
の信号が制御回路６６で設定した設定真空圧の信号より
も低いときは、信号を出力してソレノイド６５ａを励磁
し、高いときは上記信号の出力を停止してソレノイド６
５ａの励磁を解除するものとして構成されている。そし
て、設定真空圧は、例えば制御回路６６中の可変抵抗器
の抵抗値を調整することによって調節することができ
る。第２実施例の他の構成は第１実施例と同じであるか
ら、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細
な説明は省略する。

【００２５】第２実施例の真空ポンプ６１は、圧力セン
サ６４が検出した入口ポート６の真空圧の信号が制御回
路６６で設定した設定真空圧の信号より小さいときは、
制御回路６６が信号を出力して電磁弁６５のソレノイド
６５ａを励磁し、これにより供給流路６８と出力流路６
９が連通するので、駆動室１３ａ，１３ｂに駆動流体が
供給されて真空ポンプ６１が自動的に運転を開始する。
圧力センサ６４が検出した真空圧の信号が制御回路６６
の設定真空圧の信号より大きいときは、制御回路６６か
ら信号が出力されないためにソレノイド６５ａの励磁が
解除され、これにより供給流路６８と出力流路６９の連
通が遮断されて真空ポンプ６１が自動的に運転を停止す
る。第２実施例におけるガバナ６２以外の作用は第１実
施例と同じであるから、詳細な説明は省略する。

【００２６】上記第２実施例は、第１実施例に比べてガ
バナ６２の構成が簡単で小形にすることができ、しかも
既存の圧力センサ６４、電磁弁６５及び制御回路６６を
使用できるので、真空ポンプ６１の運転を自動的に開始
及び停止できる制御機構を比較的安価なものとすること
ができる。また、引張りばね３９による真空圧の設定に
比べて、設定真空圧が正確でしかも微調節が容易であ
る。

【００２７】

【発明の効果】本発明の真空ポンプは、駆動流体を駆動
源とするものでありながら、エゼクタに比べて小形でか
つ発生真空圧を高くすることができる。また、ガバナに
よって真空ポンプの運転を自動的に開始及び停止させる
ことができるので、駆動流体の無駄な使用がなくてラン
ニングコストを低下することができ、かつエネルギー消
費を少なくすることができる。さらに、圧力センサ、制
御回路等によってガバナを構成したので、設定真空圧が
正確でかつ微調節が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の概略構成図である。

【図２】要部の具体的構成の断面図である。

【図３】同じく真空圧が高いときの図である。

【図４】第２実施例の概略構成図である。

【図５】要部の具体的構成の断面図である。

【図６】図５のＡ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

１，６１ 真空ポンプ ２ 本体ブロック ３ 供給ポート ６ 入口ポート ７ 出口ポート ９ａ，９ｂ シリンダ １０ａ，１０ｂ ピストン １１ ロッド １２ａ，１２ｂ 真空室 １３ａ，１３ｂ 駆動室 １５ａ，１５ｂ 入口チェック弁 １６ａ，１６ｂ 出口チェック弁 １７ 切換弁 １８，６２ ガバナ ２４ ガバナ弁 ３１ ダイヤフラム ３５ 給気弁 ４２ 真空圧設定手段 ６４ 圧力センサ ６５ 電磁弁 ６６ 制御回路

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】本体ブロックと、その両側の一対のシリン
   ダと、これらのシリンダ内を気密に往復動する一対のピ
   ストンと、本体ブロックを気密に貫通しこれらのピスト
   ンを連結するロッドと、駆動流体の流れを切換える切換
   弁とを備え、本体ブロック内側の室を真空室に外側の室
   を駆動室にし、供給ポートから切換弁を通って駆動室に
   給排される駆動流体により上記ピストンを往復動させて
   真空室に吸引した空気を排出する真空ポンプであって、 上記真空ポンプが、真空圧利用機器が接続される入口ポ
   ート及び外部に開口する出口ポートと、入口ポートから
   一対の真空室への空気の流入のみを許容する入口チェッ
   ク弁及び真空室から出口ポートへの空気の流出のみを許
   容する出口チェック弁と、設定真空圧が調節可能で、入
   口側の真空圧が設定真空圧より低いときは駆動室に駆動
   流体を供給し高いときは駆動流体の供給を遮断するガバ
   ナとを備えている、ことを特徴とする真空ポンプ。
2. 【請求項２】ガバナが、設定真空圧を調節する真空圧設
   定手段と、該真空圧設定手段で設定した真空圧と入口側
   の真空圧との大小により変位する受圧体と、該受圧体の
   変位により移動して入口側の真空圧が設定真空圧より低
   いときは駆動流体の供給流路を開放し高いときは供給流
   路を閉鎖するガバナ弁とを備えている、ことを特徴とす
   る請求項１に記載した真空ポンプ。
3. 【請求項３】ガバナが、入口側の真空圧が設定真空圧よ
   り高いときに開口してその真空圧を低下させる給気弁を
   備えている、ことを特徴とする請求項１または請求項２
   に記載した真空ポンプ。
4. 【請求項４】ガバナが、入口側の真空圧を検出して信号
   を出力する圧力センサと、設定真空圧が調節可能で上記
   圧力センサの出力信号と設定真空圧の信号の大小を比較
   して信号を出力する制御回路と、制御回路の出力信号に
   より駆動して、入口側の真空圧が設定真空圧より低いと
   きは駆動流体の供給流路を開放し高いときは供給流路を
   閉鎖する流路開閉手段とを備えている、ことを特徴とす
   る請求項１に記載した真空ポンプ。