JPH09191036A

JPH09191036A - ウエハ検査装置

Info

Publication number: JPH09191036A
Application number: JP292497A
Authority: JP
Inventors: Kazu Nagai; 和永井; Genichi Yamana; 元一山名; Eiichi Hanzawa; 栄一半沢; Akira Uriyuuta; 明瓜生田; Tatsuo Nirei; 辰夫楡井; Hidefumi Ibaraki; 秀文茨木
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1997-01-10
Filing date: 1997-01-10
Publication date: 1997-07-22
Anticipated expiration: 2014-07-28
Also published as: JP2926682B2

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送によるウエハの汚染を防止すると共に、
ウエハを安全且つ高速で搬送し検査工程時間を容易に短
縮できるウエハ検査装置を提供する。【解決手段】複数のウエハ２を収納したキャリア１か
ら供給されたウエハ２をマクロ観察するマクロ検査部７
０と、マクロ検査部７０を経由して供給されるウエハ２
をミクロ観察するミクロ検査部１２と、キャリア１とマ
クロ検査部７０との間に配置されウエハ２を真空吸着し
て搬送する第１の吸着アーム２３と、マクロ検査部７０
とミクロ検査部１２との間に配置されウエハ２を真空吸
着して搬送する第２の吸着アーム９とを備え、キャリア
１から各検査部１２，７０に吸着アーム９，２３だけを
用いてウエハ２を搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、キヤリア内に収納
されたウエハをマクロ観察、ミクロ観察するためのウエ
ハ検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のウエハ検査装置は、ウエハを収納
するキャリアとミクロ観察するための顕微鏡装置とをウ
エハ搬送装置を介して連結することにより構成されてい
る。そして、ウエハ搬送装置は、そもそもウエハをキャ
リアから取り出して顕微鏡ステージに送り、顕微鏡観察
の済んだウエハをキャリアに能率良く戻すように構成さ
れている。

【０００３】図９は従来のウエハ検査装置を示すの斜視
図、図１０は同装置のウエハ搬送部を示す平面図であ
る。１はウエハ２を収納するキャリア、３はキャリア１
をウエハ２の収納ピッチ間隔で上下動して所定位置に移
動するエレベータ、４はキャリア１からウエハ２を押し
出すウエハ押し出し部材、５は押し出されたウエハ２を
後述の回転台の方へ搬送したり、該回転台上のウエハ２
をキャリア１の方へ搬送するコンベアベルトである。

【０００４】６，６はコンベアベルト５により搬送され
てきたウエハ２を矢印方向の往復動により回転台に芯合
わせするセンタ出しガイド、７はウエハ２を真空吸着し
て回転せしめる回転台、８はウエハ２の外周部より若干
内側に位置するように配置されていてウエハ２のオリフ
ラ位置を検出するオリフラセンサである。

【０００５】９は上昇により回転台７上のウエハ２を載
置し真空吸着してから１８０°回転し、その後真空吸着
を解除し下降して後述のホルダにウエハ２を渡したり、
同様な動作によりホルダ上のウエハ２を回転台７上へ受
け渡す交換アーム、１０はコンベアベルト５により搬送
されてきたウエハ２をキャリア１内へ押し込むウエハ押
し込み部材、１１はその際のウエハ２の有無を検出する
ウエハ検出センサである。

【０００６】１２はＸＹステージ１２ａを有する顕微
鏡、１３は交換アーム９の上下死点の中間に位置するよ
うにしてステージ１２ａ上にＸ方向に摺動可能に取り付
けられていて交換アーム９からウエハ２を受取って顕微
鏡観察部に移動せしめたり、観察済みのウエハ２を交換
アーム９に戻すホルダである。

【０００７】１４はホルダ検知スイッチ、１５はキャリ
ア１内の全ウエハ２を搬送するか後述のウエハＮｏ．指
定スイッチにより指定されたウエハ２を搬送するかを決
める全数／抜取切替えスイッチ、１６はオリフラ合わせ
の方向を決めるオリフラ位置選択スイッチ、１７はクリ
ーニングスイッチ、１８はエラー表示ＬＥＤ、１９は抜
取りするウエハのＮｏ．を指定するウエハＮｏ．指定ス
イッチ、２０は動作の開始を入力する開始スイッチ、２
１は途中で装置を初期状態にするリセットスイッチ、２
２は緊急に装置を停止させる非常停止スイッチであっ
て、これらのスイッチは図示しない制御回路を介して上
記の各部材と接続されている。

【０００８】そして、上記の各部材からキャリア１及び
顕微鏡１２を除いたコンベアベルト５、回転台７、交換
アーム９によりウエハ搬送部を構成している。

【０００９】次に、上記ウエハ搬送部の動作について説
明する。まず、エレベータ３にキャリア１を載せ、開始
スイッチ２０をＯＮにすると、エレベータ３が１番目
（キャリア１の下から１番目、２番目と呼ぶ）のウエハ
２がベルトコンベア５の搬入位置と一致する位置まで下
降し、１番目のウエハ２がウエハ押し出し部材４により
コンベアベルト５上に押し出される。

【００１０】このウエハ２はコンベアベルト５により回
転台７上に搬送されセンタ出しガイド６，６により回転
台７に芯合わせされる。その後、回転台７はウエハ２を
真空吸着した状態で回転する。続いて、オリフラセンサ
８によりウエハ２のオリフラ位置を検出し、オリフラ位
置選択スイッチ１６により設定されたオリフラ位置でウ
エハ２を停止させる。

【００１１】このオリフラ合わせが終了すると、回転台
７の載置面より下方に待機していた交換アーム９が上昇
し、その一端にウエハ２を載せて真空吸着し、１８０°
回転する。その後、交換アーム９は真空吸着を解除し再
び下降する。この交換アーム９の下降途中でホルダ１３
がウエハ２を受け取り、顕微鏡観察部に送る。

【００１２】続いて、キャリア１内の２番目のウエハ２
がウエハ押し出し部材４によりコンベアベルト５上に押
し出され、以下上記と同様にしてオリフラ合わせされ、
回転台７上で待機する。

【００１３】顕微鏡１２によるホルダ１３上に載置され
たウエハ２のミクロ検査が終了して開始スイッチ２０が
ＯＮされると、交換アーム９が上昇し、その両端に１，
２番目のウエハ２，２が真空吸着される。この状態で交
換アーム９が１８０°回転し、真空吸着を解除した後に
下降し、１番目のウエハ２と２番目ウエハ２との入れ替
えが行われる。

【００１４】ミクロ検査の終了した１番目のウエハ２
は、コンベアベルト５によりキャリア１内の元のスロッ
トに入り、ウエハ押し込み部材１０によりスロット内に
完全に押し込まれる。

【００１５】その後、３番目のウエハ２がウエハ押し出
し部材４によりコンベアベルト５の上に押し出され、上
記と同様にしてオリフラ合わせされ、回転台７上で待機
する。以下、同様にして順次ウエハ２が顕微鏡１２の
ホルダ１３に搬送され、最後のウエハ２のミクロ検査が
終了し、全てのウエハ２がキャリア１内に収納される
と、エレベータ３は上昇して初期位置に復帰する。

【００１６】尚、上記動作において、全数／抜取切替ス
ッチ１５によりキャリア１内の全てのウエハ２を搬送す
る（全数検査）か、ウエハＮｏ．指定スイッチ１９で指
定したウエハ２のみを搬送する（抜取検査）かを設定す
ることができる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、一般に顕微
鏡によるミクロ観察を行う場合、前処理としてウエハ表
面のキズ、汚れ、ゴミを目視で観察するマクロ検査が行
われている。従来のウエハ検査装置には、マクロ検査装
置とミクロ検査装置の両方を備えたものが無く、図９に
示すようにコンベアベルト５を備えたウエハ搬送装置に
隣接してミクロ観察するための顕微鏡１２が配置されて
いる。マクロ観察を行う場合には、コンベアベルト式の
ウエハ搬送路に隣接してマクロ検査装置とミクロ検査装
置を配置し、コンベアベルトにより搬送されてきたウエ
ハを吸着アームを用いて各検査装置に引き渡すことが行
われる。このような従来のウエハ検査装置では、オリフ
ラ合わせ工程、マクロ観察工程、又はミクロ観察工程に
ウエハを搬送する手段としてコンベアベルトが用いられ
ているので、ウエハの裏面とコンベアベルトとの間の摩
擦によりウエハ裏面にベルトからの粉塵等が付着して汚
れることがある。このコンベアベルトにより搬送された
ウエハはキャリア内に所定の間隔で収納される際に、上
側に収納されたウエハの裏面に付着した粉塵等が下側に
収納されたウエハの表面に落下し、ウエハの表面を汚し
てしまうという問題を引き起こしてしまう。又、マクロ
観察やミクロ観察ではウエハの表面しか検査していなか
ったため、ウエハ収納後に問題が発生しても対処するこ
とができなかった。更に、マクロ検査装置とミクロ検査
装置を別個に配置すると、ウエハの搬送路が長くなると
共に、コンベアベルトの上にウエハが載せられているの
で高速で搬送することができず、検査工程時間を短縮す
ることが困難であった。

【００１８】本発明は、上記問題点に鑑み、キャリアか
ら各検査部へのウエハの搬送手段からコンベアベルトを
排除し搬送による汚染を防止すると共に、ウエハを安全
且つ高速で搬送し検査工程時間を容易に短縮できるウエ
ハ検査装置を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、複数のウエハを収納したキャリアと、
このキャリアから選択供給されたウエハをマクロ観察す
るマクロ検査部と、マクロ検査部を経由して供給される
前記ウエハをミクロ観察するミクロ検査部と、前記キャ
リアと前記マクロ検査部との間に配置されキャリア内か
らウエハを真空吸着してマクロ検査部に搬送する第１の
吸着アームと、前記マクロ検査部と前記ミクロ検査部と
の間に配置されマクロ検査部に供給されたウエハを真空
吸着してミクロ検査部に搬送する第２の吸着アームとを
備え、前記キャリアからマクロ検査部またはマクロ検査
部を介してミクロ検査部に前記吸着アームだけを用いて
ウエハを搬送する。この本発明によれば、キャリア内に
収納されたウエハをマクロ検査部を介してミクロ検査部
に全て吸着アームで吸着した状態で安定且つ高速に搬送
できる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。なお、上記従来例と同一の
部材には同一符号を付して説明を省略する。図１は本発
明の実施の形態に係るウエハ検査装置の全体構成を示す
斜視図、図２は同装置の平面図である。

【００２１】２３は後述の駆動機構により駆動されるよ
うになっていて、エレベータ３の上下動によりウエハ２
を載置した後に真空吸着し、キャリア１より水平移動せ
しめて回転台７０に渡したり、回転台７０上のウエハ２
をキャリア１へ戻す第１の吸着アームである。２４は回
転台７０を揺動する手段と電気的又は機械的に連結され
ているジョイステイック、２５は操作パネルである。

【００２２】図３は吸着アーム２３の駆動機構の平面
図、図４は該駆動機構の一部破断正面図、図５は図４Ｖ
−Ｖ線に沿う断面図であって、図３中の（I），（I
I），（III）は夫々吸着アーム２３の回転台７上にある
位置，ウエハ２をキャリア１に収納後次のウエハ２を受
取る前の待機位置，キャリア１内に挿入した位置を示し
ている。

【００２３】２６は搬送装置本体に固定されたフレー
ム、２７はフレーム２６の左右（図２では前後）壁間に
横架された一対の水平ガイド軸、２８はリニア軸受２９
を介して水平ガイド軸２７に摺動可能に装架されたアー
ムブロック、３０はリニア軸受３１を介してアームブロ
ック２８に上下方向に摺動可能に支持された一対の支持
軸、３２は支持軸３０の上端に固着され且つ先端部に吸
着アーム２３が固定されていると共に支持軸３０の下方
への抜けも防止する支持腕、３３は支持軸３０の下端に
固着されていて支持軸３０の上方への抜けを防止すると
共に後述のエアシリンダのピストンロッドに係合し得る
係合片、３４は支持軸３０に嵌められ上方への移動習性
を付与しているバネ、３５は支持腕３２に固定されてい
てアームブロック２８が上下方向に動いた時後述の上点
センサ，下点センサに検知される被検知片、３６はアー
ムブロック２８に固定されていてアームブロツク２８が
水平方向に移動した時後述の位置センサに検知される被
検知片である。３７及び３８はフレーム２６の左右端近
傍に枢着されたプーリー、３９はプーリー３７，３８間
に掛けられ且つアームブロック２８に接続されたベル
ト、４０はプーリー３７を駆動する正逆回転可能なモー
タであって、これらがアームブロック水平駆動機構を構
成している。

【００２４】４１，４２，４３は夫々上記位置（I），
（II），（III）に対応してフレーム２６に固定されて
いて被検知片３６を検知するとによりアームブロック２
８の水平方向位置を検出する位置センサである。４４は
フレーム２６の左端近傍に固定されていてアームブロッ
ク２８が上記位置（I）にある時ピストンロッド４４ａ
が係合片３３に係合してアームブロック２８を引き下げ
たりするエアシリンダー、４５，４６はフレーム２６の
左壁に固定されていてアームブロック２８が上記位置
（I）にある時被検知片３５を検知することによりアー
ムブロック２８の上下方向位置を検出する上点センサ，
下点センサである。

【００２５】図６は操作パネル２５の正面図である。４
７は自動／手動切替えスイッチであって、自動モードの
時は開始スイッチ２０を一回押すだけで全ウエハ２が連
続的に搬送され、手動モードの時は開始スイッチ２０を
一回押すたびに一枚のウエハ２が搬送されるようになっ
ている。４８はシーケンス設定スイッチであって、ホル
ダ搬送スイッチがＯＮの時は顕微鏡観察（ミクロ観察）
のためにウエハ２がホルダ１３まで搬送され、オリフラ
合わせスイッチがＯＮの時は回転台７０上でオリフラ合
わせが行なわれ、揺動マクロスイッチがＯＮの時は揺動
マクロ観察のために回転台７０に真空吸着されているウ
エハ２が上昇した状態でジョイステック２４の操作に応
じて回転軸７０ａが傾斜揺動せしめられ、水平マクロス
イッチがＯＮの時は水平マクロ観察のために回転台７０
上に真空吸着されているウエハ２が上昇しない初期位置
に停止した状態で回転軸７０ａが回転せしめられ、マク
ロ回転スイッチがＯＮの時は揺動マクロ観察と同様にジ
ョイステック２４を用いて回転軸７０ａを所望の角度に
傾斜させた状態で回転軸７０ａが回転せしめられるよう
になっている。

【００２６】４９は回転台７０の回転速度を設定する回
転速度設定スイッチ、５０は停止時間設定スイッチであ
って、マクロ観察シーケンスの時はウエハ２の回転台７
０上での停止時間を設定し、ホルダ搬送シーケンスの時
はウエハ２のホルダ１３上での停止時間を設定する（但
し、自動モードの時）ようになっている。５１は一時停
止スイッチであって、これがＯＮの時は停止時間設定ス
イッチ５０を無効にして連続停止を行わせるようになっ
ている。５２は処理中のウエハ２のＮｏ．又はエラーコ
ードを表示するウエハＮｏ．／エラーコード表示部、５
３はＮｏ．／コード表示ＬＥＤ、５４は自動／手動表示
ＬＥＤ、５５は全数／抜取表示ＬＥＤである。

【００２７】次に本発明の実施の形態の動作について説
明する。ウエハの搬送について：（ａ）自動モードでホルダ搬送・オリフラ合わせシーケ
ンスの場合まず、エレベータ３にキャリア１を載せて開始スイッチ
２０を押すと、エレベータ３が１番目のウエハ２の取り
出し位置まで下降する。次に、位置（II）で待機してい
る第１の吸着アーム２３が水平駆動機構により図７中の
一点鎖線で示す如く１番目のウエハ２の下に挿入され
（位置（III））、この状態でエレベータ３を若干下降
せしめることにより吸着アーム２３にウエハ２が載せら
れて真空吸着される。その後、吸着アーム２３は水平駆
動機構によりそのまま図７の実線図で示す如く回転台７
０の上方（位置（I））まで水平移動し、真空吸着を解
除しエアシリンダ４４により下降して回転台７０上にウ
エハ２を載せる。

【００２８】次に、一対のセンタ出しガイド６の往復動
（図２中の矢印方向）によりウエハ２が回転台７０に芯
合わせされ、その後ウエハ２を回転台７０に真空吸着し
回転させる。次に、オリフラセンサ８によりウエハ２の
オリフラを検出し、オリフラ位置選択スイッチ１６によ
り設定されたオリフラ位置でウエハ２を停止させる。

【００２９】次に，回転台７０より下方位置に待機して
いた交換アーム９（第２の吸着アーム）が上昇してウエ
ハ２を該アーム９に載せ真空吸着し、１８０°回転す
る。続いて、交換アーム９は真空吸着を解除して再び下
降し、ホルダ１３は交換アーム９の下降途中でウエハ２
を受取る。交換アーム９の下降後、キャリア１内の２番
目のウエハ２が吸着アーム２３により回転台７上に搬送
され、オリフラ合わせされる。

【００３０】次に，停止時間設定スイッチ５０により設
定された停止時間後、交換アーム９が上昇してホルダ１
３上及び回転台７０上の１番目，２番目のウエハ２，２
を真空吸着し、１８０°回転する。続いて、交換アーム
９は真空吸着解除後に降し、１番目と２番目のウエハ
２，２の交換を完了する。尚、上記停止時間は、ホルダ
１３が顕微鏡側にセットされている場合は、ホルダ１３
がホルダ検知スイッチ１４に検知された時即ち顕微鏡観
察が終了しホルダ１３が戻されたことが検知された時か
ら計時される。その後、１番目のウエハ２は吸着アーム
２３によりキャリア１内の元のスロット内に戻され、続
いて３番目のウエハ２が吸着アーム９により回転台７０
上に搬送され、再びオリフラ合わせされて待機せしめら
れる。

【００３１】以下同様に順次ウエハ２がホルダ１３まで
搬送されるが、最後のウエハ２がホルダ１３内に収納さ
れると、エレベータ３，吸着アーム２３は初期位置に戻
って停止せしめられる。

【００３２】（ｂ）オリフラ合わせのシーケンスが設定
されていない場合オリフラ合わせは省略される。（ｃ）手動モードの場合停止時間による動作の制御がなく、常に開始スイッチ２
０による制御となる。

【００３３】マクロ観察について：（ａ）自動モードで揺動マクロシーケンスが設定されて
いる場合まず、エレベータ３にキャリア１を載せて開始スイッチ
２０を押すと、前述と同様にして吸着アーム２３により
１番目のウエハ２が回転台７０上に搬送された後センタ
出しガイド６，６により回転台７０に芯合わせされる。
次に回転台７０にウエハ２を真空吸着し、回転台７０と
一緒に上昇させる。次に、回転台７０は下降時以外はジ
ョイステック２４の操作により図８中のａで示すように
全方向に傾斜せしめられ、その状態でウエハ２の揺動マ
クロ観察が行われる。

【００３４】尚、マクロ回転のシーケンスが設定されて
いる場合は、回転速度設定スイッチ４９によって設定さ
れた速度で回転台７０が回転せしめられ、その状態でウ
エハ２のマクロ回転観察が行われる。次に停止時間設定
スイッチ５０により設定された時間回転台７０が上昇状
態を保った後、回転台７０は再び下降する。そして、吸
着アーム２３が、１番目のウエハ２をキャリア１内に戻
し、２番目のウエハ２を１番目と同様に揺動検知位置ま
で搬送する。以上の繰り返しが行われ、最後のウエハ２
がキャリア１内に収納されると、吸着アーム２３，エレ
ベータ３は初期位置に戻り停止する。

【００３５】（ｂ）水平マクロシーケンスが設定されて
いる場合基本動作は揺動マクロシーケンスと同様であるが、回転
台７０が上昇せず図８中のｂで示すように水平な状態で
ウエハ２の水平マクロ観察が行われる。尚、マクロ回転
のシーケンスが設定されている時は、揺動マクロ観察の
場合と同じである。

【００３６】（ｃ）シーケンス設定スイッチ４８の全て
が設定されていない場合吸着アーム２３によるウエハ２のキャリア１に対する抜
き出し収納動作のみとなり、観察位置は図８中のｃ位置
となる。

【００３７】（ｄ）手動モードの場合一枚のウエハ毎に開始スイッチ２０を押して行うことに
なり、吸着アーム２３はキャリア１内にウエハ２を収納
した後に次のウエハ２を取り出し、準備完了状態で開始
スイッチ２０の動作待ちで待機する。揺動マクロ又は水
平マクロのシーケンス設定でオリフラ合わせシーケンス
が設定されている時は、搬送途中又は収納途中でオリフ
ラ合わせされる。

【００３８】（ｅ）シーケンスの途中変更の場合一枚のウエハ毎にシーケンスの変更ができる。例えば水
平マクロシーケンスの状態で検査中に、顕微鏡１２で更
に詳細にミクロ観察したい場合、まず一時停止スイッチ
５１を押して停止時間設定スイッチ５０を無効にし、ホ
ルダ搬送（オリフラ合わせの必要ある場合は更にオリフ
ラ合わせ）のシーケンス設定スイッチを押すと、該当ウ
エハ２がホルダ１３まで搬送される。

【００３９】以上のように、本発明の実施の形態は、各
種の操作・観察を検査工程の中で自在に適合し得るよう
にしているので、操作性が良く、検査の多様性への適合
が容易である。具体的には、（１）複数種のマクロ観察
に対応できる、（２）マクロ観察と顕微鏡観察の切替え
にワンタッチで対応できる、（３）一枚のウエハ毎に上
記観察の変更ができる、（４）揺動せずに水平状態で回
転なしで検査の場合に揺動，回転を排除できるので搬送
時間が短くて済むなどの利点がある。又、キャリア、マ
クロ検査部及びミクロ検査部間をすべて吸着アームによ
りウエハを搬送しコンベアベルトを廃止することによ
り、ベルト搬送方式のようにウエハ裏面との擦れによる
ウエハ裏面の汚染及びキズが付き難くなり、その結果と
してウエハの不良化をほとんど無くすことができると共
に、ベルトのように磨耗等による粉塵の発生がほとんど
無く検査部のクリーン化を向上させることができる。
又、ウエハを吸着パッドにより吸着して搬送するので、
ウエハを安定かつ高速に搬送することができる。更に、
マクロ検査部とミクロ検査部を同一ライン上に配置する
ことにより、ウエハの搬送行程を短くでき検査時間の短
縮を図ることができる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、キャリ
ア、マクロ検査部及びミクロ検査部間をすべて吸着アー
ムによりウエハを搬送しコンベアベルトを廃止すること
により、ベルト搬送方式のようにウエハ裏面との擦れに
よるウエハ裏面の汚染を良好に防止することができると
共に、ウエハを吸着パッドにより吸着して搬送するの
で、ウエハを安定かつ高速に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るウエハ検査装置全体
の構成を示す斜視図である。

【図２】同装置の平面図である。

【図３】同装置の吸着アームの駆動機構の平面図であ
る。

【図４】同装置の吸着アームの駆動機構の一部破断正面
図である。

【図５】図４Ｖ−Ｖ線に沿う断面図である。

【図６】同装置の操作パネルの正面図である。

【図７】同装置の吸着アームの動作を示す図である。

【図８】同装置の回転台の動作を示す図である。

【図９】従来のウエハ検査装置全体の構成を示す斜視図
である。

【図１０】同従来装置の平面図である。

【符号の説明】

１キャリア２ウエハ３エレベータ６センタ出しガイド７回転台８オリフラセンサ９交換アーム１１ウエハ検出センサ１２顕微鏡１３ホルダ１４ホルダ検知スイッチ２３第１の吸着アーム２６フレーム２７水平ガイド軸２８アームブロック２９，３１リニア軸受３０支持軸３２支持腕３３係合片３４バネ３５，３６被検知片３７，３８プーリー３９ベルト４０モータ４１，４２，４３位置センサ４４エアシリンダー４５上点センサ４６下点センサ７０回転台

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ (72)発明者瓜生田明東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者楡井辰夫東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者茨木秀文東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のウエハを収納したキャリアと、こ
のキャリアから選択供給されたウエハをマクロ観察する
マクロ検査部と、マクロ検査部を経由して供給される前
記ウエハをミクロ観察するミクロ検査部と、前記キャリ
アと前記マクロ検査部との間に配置されキャリア内から
ウエハを真空吸着してマクロ検査部に搬送する第１の吸
着アームと、前記マクロ検査部と前記ミクロ検査部との
間に配置されマクロ検査部に供給されたウエハを真空吸
着してミクロ検査部に搬送する第２の吸着アームとを備
え、前記キャリアからマクロ検査部またはマクロ検査部
を介してミクロ検査部に前記吸着アームだけを用いてウ
エハを搬送することを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項２】前記第２の吸着アームは前記マクロ検査
部で待機しているウエハと前記ミクロ検査部でミクロ観
察が終了したウエハとを同時に交換することを特徴とす
る請求項１記載のウエハ検査装置。