JPH09189750A - 混合信号vlsiテスタ用アナログチャンネル - Google Patents

混合信号vlsiテスタ用アナログチャンネル

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JPH09189750A
JPH09189750A JP8203773A JP20377396A JPH09189750A JP H09189750 A JPH09189750 A JP H09189750A JP 8203773 A JP8203773 A JP 8203773A JP 20377396 A JP20377396 A JP 20377396A JP H09189750 A JPH09189750 A JP H09189750A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 データ転送を最小とし、アナログチャンネル
内における並列データ後処理を可能とし、柔軟性のある
同期が可能なテスト装置を提供する。 【解決手段】 マスタクロック250、複数個のデジタ
ルチャンネル、複数個のアナログチャンネルとを有する
混合信号集積回路被検査装置(DUT)テスト装置にお
いて、各デジタルチャンネルは、マスタクロック250
からタイミング基準を受取ってデジタルピンエレクトロ
ニクスと通信を行なうデジタルピンスライス310,3
15と、DUT290へデジタル信号を印加しそれから
デジタル信号を受取るためにデジタルピンスライスと通
信を行なうデジタルピンエレクトロニクス325,33
0を有し、各アナログチャンネルは、DSPモジュール
340の制御下にるアナログ供給源シーケンサ350、
アナログピンエレクトロニクス345と、アナログ測定
シーケンサ355を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、混合信号VLSI
装置をテストする装置及び方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】デジタル集積回路(IC)装置は、典型
的に、所定パターン及びタイミング関係にある二進励起
信号からなるパターンを該装置のピンへ印加することに
よってテストされる。デジタルテストシステムは、該装
置の結果的に得られるデジタル出力信号を観察しそれら
を予め定めた真理値表と比較する。各時間インターバル
期間中に、該装置の出力ピンにおけるビット(1及び
0)が真理値表のビットと一致するか否かに依存して合
否決定が行なわれる。これらの装置に対するテストシス
テムは、テストすべき装置のタイプの条件に適合させる
ように、柔軟性があり且つプログラム可能なものであ
る。高速でプログラム可能なデジタルテストシステムの
一例は、カリフォルニア州サンノゼのシュルンベルジェ
テクノロジィーズ社から市販されているITS9000
FXシステムがある。
【0003】テストすべきその他の装置は純粋にデジタ
ル的なものではない。これらの装置は「混合信号」装置
として知られ、且つデジタル及びアナログの両方の信号
特性を有する場合がある。混合信号装置は、しばしば、
殆どデジタル的なものであるが、純粋にデジタル装置を
テストする場合にテストすることは不可能である。混合
信号装置は、デジタル信号入力又は出力に加えて、1個
又はそれ以上のアナログ信号入力(例えば、アナログ・
デジタル変換器(ADC))又は1個又はそれ以上のア
ナログ信号出力(例えば、デジタル・アナログ変換器
(DAC))を必要とするピンを有する場合がある。混
合信号装置は、アナログ信号のデジタル表示を受取るか
又は供給するピンを有する場合がある(例えば、コーダ
ー・デコーダー装置(CODEC))。アナログ信号の
デジタル表示は、デジタル形態でコード化されている情
報がアナログ値を表示する点においてデジタル信号と異
なる。コード化された信号の出力ビットを時間窓内にお
いて予め定義した真理値表と比較するだけでは不充分で
ある。何故ならば、その装置が期待された通りに動作す
るか否かを決定するために評価されねばならないのは1
及び0でコード化されている情報だからである。そのコ
ード化されている信号は1個のピン上の直列データ又は
複数個のピン上の並列データの形態である場合があり且
つ多数の方法のうちのいずれかを使用してコード化され
ている場合がある。該装置の直流(DC)特性をテスト
することに加えて、該テスタはあるエラーバンド内にお
いて基本的に同一のアナログ値を表わす任意の数の異な
るビット結合を許容可能なものとして認識せねばならな
い。DUTの出力を解析するために、アナログ及びデジ
タル出力信号から定量的性能パラメータを抽出するため
にデジタル信号処理が使用される。
【0004】混合信号装置のテストは時間のかかるもの
である。個別的なテストサイクルは、1組の入力励起を
装置へ印加し且つ該装置の応答を測定することから構成
される場合がある。例えば、アナログ電圧をADCへ印
加し且つその結果得られるデジタル出力を検知する。テ
ストサイクルは種々の条件下での装置性能を評価するた
めに、多数の組の異なる組の励起に対して繰り返して行
なわれる。例えば、アナログ電圧をその予測される動作
範囲にわたってADCへ印加する。測定の信号対雑音比
が低い場合には、各組の入力励起に対して複数個のテス
トサイクルを実行し且つ結果を平均化せねばならない場
合がある。装置性能の再現性についてもテストを行なう
ことが必要な場合があり、その場合には更に多数のテス
トサイクルが必要とされる。
【0005】DUTへ印加する励起は、しばしば、前の
テストサイクルにおいて印加した励起に対するその応答
に依存する場合がある。従って、全体的なテスト時間を
妥当な範囲内に維持すべき場合には、後処理を迅速に行
なわねばならない。
【0006】従来の混合信号テストシステムにおいて
は、単一のホストコンピュータが全体的なテストプロセ
スを制御し且つ複数個のアナログチャンネルに対してデ
ジタル信号処理を行なうものである。複数個の供給源か
らのデータはメインのテストプログラムで同期的に処理
される。あるテストシステムにおいては、ホストコンピ
ュータはアレイプロセサ又はデジタル信号プロセサによ
って補充される。各アナログチャンネルにおいて高速フ
ーリエ変換(FFT)処理を行なったとしても、計算用
の資源がチャンネルによって共用されているテストシス
テムは本来的な欠点を有している。第一に、大量の情報
がDUTへ信号を供給し又はDUTから信号を受取る各
アナログチャンネルを介して通過せねばならない。DU
Tからの信号はデジタル化され且つチャンネル内のメモ
リ内に捕獲される。この大量のデータは、後処理を開始
する前に、バスを介して共用されているプロセサへ転送
されねばならない。このデータ転送遅延は、チャンネル
数及びDUTに関して実行されるべきテストサイクルの
数によって乗算された場合に顕著なものとなる。第二
に、共通バスを介して共用されているプロセサへデータ
を転送することは、チャンネル毎に順番に行なわれねば
ならない。従って、デ−タは、チャンネル毎に順番に該
共用されているプロセサ及び/又はアレイプロセサにお
いて後処理される。逐次的なデータ転送及び処理はスル
ープット遅延を発生する。テスト速度はテストシステム
のアーキテクチュアによって制限される。
【0007】更に、従来のシステムは単一プログラム
「スレッド」、即ちメインプログラムを有している。即
ち、メインプログラムがデータの捕獲を行ない且つ共用
されているプロセサによってデータの後処理を行なう。
共用されているアレイプロセサ又はDSP分岐されたプ
ロセスは、メインプログラムと並列的に稼動するもので
はない。従って、従来のシステムはDSPエンジンの真
に非同期的な制御を可能とするものではないので、従来
のシステムにおいてはDSPエンジンは最適な態様で使
用されるものではない。
【0008】アナログ信号とデジタル信号の両方を取扱
う混合信号装置はより大きな機能性、性能及び速度を有
するものである。これらの装置は、DC特性を包含する
デジタル及びアナログ回路の結合したテストによって、
それらが順調に動作する状態において、システムとして
テストせねばならない。混合信号装置をシステムとして
テストするために、該装置へ入力され且つそれから出力
されるアナログ及びデジタル信号の発生及び測定は柔軟
性のある同期を必要とする。現在使用可能なテスタは、
混合信号装置の同期的及び非同期的制御を与えるのに適
切なものではない。混合信号装置のより高速且つより柔
軟性のあるテストシステムが所望されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の点に
鑑みなされたものであって、上述した如き従来技術の欠
点を解消し、データ転送を最小とし、アナログチャンネ
ル内における並列データ後処理を可能とし且つ柔軟性の
ある同期を可能とした混合信号テスト装置及び方法を提
供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の好適実施形態に
よれば、データ転送を最小とし、アナログチャンネル内
において並列データ後処理を可能とし且つ柔軟な同期を
可能としたテスト装置及び方法が提供される。
【0011】複数個のアナログチャンネルが設けられて
おり、各アナログチャンネルは、供給源デジタル信号プ
ロセサ、データ供給源シーケンサ、デジタル供給源計
装、アナログ供給源計装、アナログ測定計装、デジタル
測定計装、デジタルピンマルチプレクサ、デジタル測定
シーケンサ、DSPアドレス可能マルチバンク捕獲メモ
リ、捕獲デジタル信号プロセサ、供給源DSPと捕獲D
SPとの間の通信のためのDSP間フィードバック経路
を有している。各アナログチャンネルは、そのアナログ
又はデジタル計装か、又はその組合わせのいずれかによ
って、DSP間フィードバック経路を使用して完全なフ
ィードバックループの形態で配設させることが可能であ
る。
【0012】DUTの応答は該チャンネルにおいて処理
し、その処理結果は、後のテストサイクルのためのパラ
メータを画定するために使用し、且つこれらのパラメー
タに対応する信号が発生され且つDUTへ印加される。
次ぎのテストサイクルを画定するためにアナログチャン
ネル内においてこのような対応で1つのテストサイクル
の結果をループバックさせることの可能性はテストプロ
セスを高速化させる。供給源DSPは実時間で信号を合
成し且つアナログ又はデジタル供給源計装を介してDU
Tへ印加させることが可能である。供給源DSPは実時
間で供給源シーケンサメモリアドレス(波形又は波形セ
グメントを表わすメモリ内に格納されている波形データ
に対するポインタ)を合成し且つアナログ又はデジタル
供給源計装を介してそれをDUTへ印加することが可能
である。
【0013】DUTの応答はチャンネル内の捕獲メモリ
へ書込まれ、該メモリは一時的な格納バッファを介する
ものではなく捕獲DSPによって直接的にアドレス可能
である。処理を行なう前にデータを転送することを回避
することは、テストプロセスを更に高速化させる。捕獲
DSPの制御下にあるマルチバンク捕獲メモリは、別の
バンクに前に書込まれたデータを処理しながら、DUT
応答を表わすデータを1つのバンク内へ書込むことを可
能とする。このような態様でデータ捕獲とデータ処理と
をインターリーブさせることにより、データ捕獲とデー
タ処理とを同時的に進行することを可能とし、テストプ
ロセスを更に高速化させる。
【0014】各アナログチャンネルに対して供給源DS
Pと捕獲DSPとが設けられているので、「スレッディ
ング」技術を使用し、その場合に、多数の処理スレッド
の各々は、資源の利用を最適化するために、他のスレッ
ドとは独立的に処理を実行する。テストプロセスのメイ
ンスレッドはDSPとの頻繁な通信に対する必要性によ
って拘束されることはなく且つアナログチャンネルのD
SPで実行されるべき種々の処理を発生させた後にその
他の種々の作業(計算、バッファ管理、アナログチャン
ネルハードウエアが関与することのないデジタルテスト
等)を実行することが可能である。テストシステムの各
アナログチャンネルは独立的(即ち、アナログチャンネ
ルは処理用資源を共用することはない)であるので、テ
スト時間を劣化させることなしに複数個の混合信号測定
を並列的に実行することが可能である。並列テストのた
めの高速なテスト時間を容易化させるためにチャンネル
は単独的又は組の状態でプログラムすることが可能であ
る。アナログクロックは高精度で高分解能であり低ジッ
ターのクロック信号を発生し、該クロック信号はDSP
技術を容易とさせるためにシステムマスタクロック(従
って、デジタルサブシステム)とフェーズロックされて
いる。
【0015】処理は独立的であるが、必要な場合には、
データを共用することが可能である。処理マネジャーが
実行中の異なるスレッドを追従する。処理の同期は、意
志決定又は依存性が発生する所定の時刻において効果的
に達成される。このアプローチは、データ捕獲及び後処
理に対しDSPの最適な使用を確保している。捕獲メモ
リから捕獲DSPへ捕獲データを移動させるために必要
な待ち時間は存在しない。捕獲DSPは捕獲メモリへ直
接的にアクセスすることが可能であるので、処理を開始
する前に、捕獲したデータは捕獲メモリから個別のDS
P(又はアレイプロセサ)メモリへ転送することは必要
ではない。
【0016】
【発明の実施の形態】図1は本発明に基づく混合信号テ
スタのある機能的能力を示している。混合信号DUT1
00は、例えば正弦波110等の特定した形態のアナロ
グ励起信号を供給すべきアナログ入力端105を有して
いる。アナログ励起信号は、データシーケンサ115に
よって供給され且つDAC120によってアナログ形態
へ変換されるデジタルデータとして表わされている。次
いで、このアナログ信号はフィルタ125を介して入力
端105へ供給される。混合信号DUT100は、特定
した形態のデジタルデータとしてコード化したアナログ
情報が供給されるデジタル入力端130を有している。
このデジタルデータは、フォーマット化した信号をデジ
タル入力端130へ供給するフォーマッタ140へデー
タシーケンサ135によって供給される。
【0017】混合信号DUTは、テストシステムによっ
て解析されるべきアナログ信号150を供給するアナロ
グ出力端145を有している。その信号は、フィルタ1
55を介してADC160へ通過される。その結果得ら
れるデジタル化された信号は捕獲メモリ165内に格納
され、該メモリはDSP170へアクセスすることが可
能である。混合信号DUTは、アナログ情報を表わすデ
ジタル信号を供給するデジタル出力端175を有してい
る。そのデジタル信号はフォーマッタ180へ通過さ
れ、該フォーマッタはそのデジタル信号をデコードし且
つ結果的に得られるデコードされた情報を捕獲メモリ1
85内に格納する。捕獲メモリ185内のデータはDS
P190に対してアクセス可能である。DSP170及
びDSP190は、該DUTから受取った信号の時間を
ベースとした解析及び周波数をベースとした解析を実行
するためにプログラムすることが可能である。
【0018】図2は本発明に基づく混合信号テストシス
テムのアーキテクチュア全体図を示している。ワークス
テーション200がトップレベルのプログラミング及び
テスタの制御のためのユーザインターフェースを提供し
ており、且つDSPプロセサ220と通信を行なうテス
タコンピュータ210と通信を行なう。以下に更に詳細
に説明するように、各アナログチャンネルに対して一対
のDSPプロセサが設けられている。DSPプロセサ2
20はアナログシーケンサ230を駆動し、該シーケン
サは必要に応じてアナログクロック供給源240からク
ロック信号を受取る。アナログクロック供給源240
は、デジタルマスタクロック250に対する基準を与え
ている。デジタルピン「スライス」260はデジタルマ
スタクロック250からタイミング基準を受取る。デジ
タルピンスライス260はデジタルピンエレトロニクス
270と通信を行なう。アナログシーケンサ230はア
ナログピンエレクトロニクス280と通信を行なう。デ
ジタルピンエレクトロニクス270及びアナログピンエ
レクトロニクス280は被検査装置(DUT)290の
ピンへ励起信号を供給し且つ該ピンから応答信号を受取
る。アナログ信号及びデジタル信号はアナログシーケン
サ230、アナログチャンネルクロック信号発生器24
0、デジタルマスタクロック信号発生器250及びデジ
タルピンスライス260の同期を介して連携されてい
る。
【0019】図3は本発明の好適実施例に基づく混合信
号テストシステムのデジタルチャンネル300及びアナ
ログチャンネル305のハイレベルのブロック図を示し
ている。デジタルチャンネル300及びアナログチャン
ネル305の数は設計上選択されるものであり、好適実
施例では448個のデジタルチャンネルと4個のアナロ
グチャンネルとを有している。制御可能なマスタクロッ
ク250が、例えば306.5MHz乃至312.5M
Hzにおけるクロック信号を、各デジタルチャンネルの
デジタルピンスライス(デジタルピン制御器)及び各ア
ナログチャンネルのアナログクロック発生器、例えばデ
ジタルチャンネル位置のデジタルピン制御器310、デ
ジタルチャンネル448のデジタルピン制御器315、
アナログチャンネルクロック信号発生器240へ供給す
る。
【0020】デジタルピン制御器はピンエレクトロニク
ス(PE)カード及びDUTが装着されているロードボ
ード320を介してDUTと通信を行ない、例えば、デ
ジタルピン制御器310及び315はPEカード325
及び330を介してDUT290と通信を行なう。デジ
タルチャンネルは従来の態様で動作し、各デジタルチャ
ンネルは、所定のパターンに従ってDUTのピンを駆動
し及び/又は予定された応答パターンと比較するために
DUTのピン上のデジタル信号を検知するために従来の
態様でプログラムすることが可能である。
【0021】各アナログチャンネルは、混合信号デジタ
ルサブシステム335、プログラム可能なデジタル信号
プロセサ(DSP)モジュール340、アナログピンエ
レクトロニクス(PE)345を有している。混合信号
デジタルサブシステム335は、クロック信号発生器2
40、アナログ供給源シーケンサモジュール350、ア
ナログ測定シーケンサモジュール355を有している。
アナログPE345は、波形供給源(WFS)380、
入力(I/P)及び出力(O/P)フィルタ385、波
形測定器390を有している。
【0022】DUTへ印加すべきアナログ信号パターン
のデジタル表示は、クロック240からのクロック信号
と同期するプログラム可能なDSPモジュール340の
制御下にあるアナログ供給源シーケンサモジュールによ
って発生される。これらのデジタル表示は波形供給源3
80へ供給され、該波形供給源はそれらをアナログ励起
信号へ変換する。アナログ励起信号は必要に応じてフィ
ルタ385を介して通過され、且つロードボード320
を介してDUT290へ供給される。
【0023】DUT290からのアナログ応答信号はロ
ードボード320を介してデジタル化のために波形測定
器390へ通過される。アナログ応答信号は必要に応じ
てフィルタ385を介して通過される。アナログ応答信
号のデジタル表示は格納のため及び後処理及びDSPモ
ジュール340による解析のためにアナログ測定シーケ
ンサモジュール355へ通過される。
【0024】図4は図3のテストシステムの信号経路の
より詳細を示したブロック図であって、同一の構成要素
には同一の参照番号を付してある。図示した実施例にお
いては、各アナログチャンネルはアナログピンエレクト
ロニクス(PE)カード(波形供給源380、フィルタ
モジュール385、波形測定器390)、2個のアナロ
グシーケンサカード(アナログ供給源シーケンサ350
及びアナログ測定シーケンサ355)、1個のDSPモ
ジュール340を有している。各チャンネルは、特定の
アナログ信号帯域幅及び分解能に対して最適化させるこ
とが可能である。アナログPEカードは、好適には、デ
ジタルPEカードと共に低ノイズテストヘッド400内
に位置されている。
【0025】アナログ供給源シーケンサモジュール35
0、アナログ測定シーケンサモジュール355及びDS
Pプロセサモジュールが各チャンネルに対して設けられ
ている。これらのモジュールは、好適には、システムメ
インフレーム又はアナログケージ402内に位置されて
いる。アナログ供給源シーケンサモジュール350は、
先入先出メモリ470、シーケンサ472、シンクロナ
イザ474、シーケンサメモリ476及びマルチプレク
サ(MUX)478を有している。アナログ測定シーケ
ンサモジュール355は、マルチプレクサ480、デー
タパッカー482、データフォーマッター484、シン
クロナイザ486を有している。アナログ供給源シーケ
ンサモジュール350及びアナログ測定シーケンサモジ
ュール355は、例えば125MHz乃至250MHz
の範囲内のクロック信号を発生することの可能なチャン
ネル毎アナログクロック信号発生器240からの選択し
た周波数のクロック信号によって同期される。この選択
可能なクロックは、所望の周波数又はデータレートにお
いてDUTへの信号及びそれからの信号をアナログチャ
ンネルが供給し且つ測定することを可能としている。例
えば、特定したITU−TSS(以前はCCITT)国
際標準周波数においてモデム装置と通信することにより
モデム装置をテストすることが所望される場合がある。
【0026】アナログ供給源シーケンサモジュール35
0は、波形供給源380を介して、及び、オプションと
して、フィルタ385を介して、DUTへ供給される複
雑な波形のランタイム発生を与える。アナログ供給源シ
ーケンサモジュール350は、更に、サブルーチンメモ
リ及び別のデータマルチプレクサ405を介してアナロ
グ信号のデジタル表示をデジタルピンスライス410へ
供給することが可能である。このデジタル表示は、デジ
タルピンエレクトロニクス415を介してDUT29の
入力ピンを駆動するために使用される。一実施例におい
ては、56個のデジタルPEユニット415が本システ
ム内に設けられており且つユーザが定義したテストプロ
グラムがアナログチャンネルによって使用するために必
要に応じてそれらを選択することが可能である。
【0027】デジタルPEカード420からのデータ
は、デジタルピンスライス425、「Hフェイル(H−
fail)」マルチプレクサ430及び「アナログ」マ
ルチプレクサ435を介してアナログ測定シーケンサ3
55へ通過する。アナログ測定シーケンサモジュール3
55は、デジタルPEカード420又は波形測定カード
390からのデータをDSPモジュール340内へ転送
する。アナログ測定シーケンサモジュール355は、該
データをフォーマット化し且つそれをDSPモジュール
340へ転送する。
【0028】各DSPモジュール340はDSPエンジ
ン440及び「スーパーメザニン(super mez
zanine)」445を有している。AMS355か
ら入力するデータは、ECL対TTL変換器450を介
し、次いでスイッチ455を介して、メモリ460又は
465の一方へ通過される。DSPエンジン440から
スーパーメザニン445へ供給されるデータはラッチ4
66及びTTL対ECL変換器468を介してアナログ
供給源シーケンサ350へ通過する。
【0029】DSPエンジン440は、例えば、メリー
ランド州シルバースプリングのイクストス(Ixtho
s)インコーポレイテッドから販売されているモデルI
XD7232信号処理ボードのような市販されているプ
ロセサボードとすることが可能である。図5はこのIX
D7232ボードのハイレベルアーキテクチュアを示し
ている。一対のデジタル信号プロセサ500,505の
各々が、夫々のデータバス510,515を介して、ス
ーパーメザニン445、夫々のデータメモリ520,5
25、DSP間先入先出(FIFO)メモリ530及び
グローバルメモリメザニン535と通信を行なう。デジ
タル信号プロセサ500,505の各々は、夫々のプロ
グラムバス540,545を介して、夫々のプログラム
メモリ550,555と通信を行なう。プログラムバス
540,545は、更に、ボード制御器/VMEインタ
ーフェース560を介してVMEバス565及びシリア
ルポート570,575への通信を与えている。
【0030】データメモリバンク520,525及びグ
ローバルメモリ535は対応するDSPプロセサアドレ
ス空間内にマッピングされており、それによりDSPプ
ロセサが通常のメモリのようにこれらの要素へアクセス
することを可能としている。アドレス発生器(不図示)
はアナログ測定シーケンサ355ではなくDSPプロセ
サによってアクセスされる。
【0031】DSP−A500はスーパーメザニンメモ
リ460又は465のアドレス空間内における位置に対
してアドレス発生器Aを設定する。DSP−A500が
メモリ(例えば、メモリ460)の1つのバンクから読
取を行なっている間に、AMS355は他方のメモリバ
ンク(例えば、メモリ465)内にデータを格納するこ
とが可能である。次いで、DSP−A500はバンクを
スイッチし、且つ、AMS355が最初のバンク(例え
ば、メモリ460)内にデータを書込んでいる間に、D
SP−A500は2番目のバンク(例えばメモリ46
5)からデータを読取ることが可能である。捕獲したも
の全てに対して充分な空間がメモリバンク内に存在する
場合には、DSP−A500は高速のAMS445が前
に捕獲したものに上書きすることの恐れなしで1個のバ
ンク内に複数個の捕獲したものを強制的に入れるように
アドレス発生器Aを設定することが可能である。1つの
メモリバンク内において1個の捕獲したものが得られる
と、DSPはAMSをロックアウトして、それがスーパ
ーメザニン内にデータを書込むことを阻止する。
【0032】AMS355に対する入力/出力(I/
O)方法は、2つの異なるモード、即ちブロックモード
及び実時間モードで制御することが可能である。ブロッ
クモードにおいては、AMS355からのデータを処理
するためにDSP−A500のみが使用される。このモ
ードにおいては、スーパーメザニン445の全てのバン
クはDSP−A500によって制御される。入力データ
カウントに対応するDSP−A500内のレジスタ(不
図示)の寸法は、スーパーメザニン445の全メモリ寸
法と等しい。スーパーメザニン445は、転送されるデ
ータ寸法に対応するカウンタ(不図示)を有している。
DSP−A500は入力するデータが開始するスーパー
メザニン445内のベースデータを知得している。更
に、DSP−A500は現在のデータが格納されている
アドレス位置に対するポインタをアップデートさせる。
DSP−Aはスーパーメザニン445におけるデータア
ドレス発生をイネーブル及びディスエーブルさせること
が可能であり、その際にそれをAMSからカットオフす
る。DSP−A500は、更に、スーパーメザニンをリ
セットすることが可能である。
【0033】スーパーメザニン445は入力データブロ
ックの終りにDSP−A500へインタラプトを送給す
る能力を有している。スーパーメザニン445は、特定
した数の入力データブロックの後にDSP−A500へ
インタラプトを発生するための能力を有している。スー
パーメザニン445は、データを損失することなしに一
方のバンクが満杯である場合にメモリバンク460,4
65の間でスイッチすることが可能である。スーパーメ
ザニンは特定のブロック寸法を受取った後に次のバンク
へスイッチするようにセットアップすることが可能であ
る。
【0034】ブロックモード。現在のテストに対する捕
獲したものの寸法に基づいて、DSP−A500はテス
トプログラムにおいて特定されているデータに基づいて
スーパーメザニン445内に転送カウンタを設定する。
スーパーメザニン445が転送カウンタ内において特定
されている寸法に対応してMAS355からデータブロ
ック(レコードとしても知られている)を受取ると、ス
ーパーメザニン445はDSP−A500に対してイン
タラプトを発生する。DSP−A500は、MAS35
5からある数の入力ブロックが送られた後においてのみ
インタラプトが発生されるようにスーパーメザニン44
5を構成させることが可能である。DSP−A500が
スーパーメザニン445からインタラプトを受取ると、
それはメモリバンク内のデータの処理を開始する。DS
P−A500はMAS355がデータを書込んでいるバ
ンクへアクセスすることはできない。更に、DSP−A
500は、AMS355がデータを書込んでいる間に、
AMS355からの次の入力に対する必要なレジスタを
セットアップすることが可能である。このモードにおい
ては、DSP−A500は、MAS355によってアク
セスされている1つを除いて、全てのバンクへアクセス
する。
【0035】図6及び7はブロック動作モードにおける
スーパーメザニン(MS)445を示している。図6に
おいて、DSP−A500がメモリバンク465からデ
ータを読取っている間にAMS335がメモリバンク4
60へ書込を行なっている。SM445内のレジスタ6
00が入力ブロックの寸法、例えば1024バイトを表
わす「Xferlen」の値を保持し、且つAMS33
5からバンク460へ転送されるデータのカウントを表
わす「Xfercount」の値を保持している。図6
において、DSP−A500はAMS335からのデー
タを受付けるべくレジスタをセットアップしている。A
MSがバンク460内へデータを入力している間に、D
SP−A500はバンク460内のデータへアクセスす
ることはできず、DSP−A500は次の入力に対して
レジスタをセットアップする。特定した転送長さの終り
において、SM445はDSP−A500へインタラプ
トを送る。次いで、DSP−A500は図7に示したよ
うにAMS335のアクセスをバンク460からバンク
465へ変更する。必要なレジスタは既にDSP−A5
00によってセットアップされているので、何等データ
ロスが発生することはない。この時点において、AMS
335がバンク465を充填している間に、DSP−A
500はバンク460内のデータを処理する。
【0036】実時間モード。実時間動作モードにおいて
は、データが継続してAMS335からDSP−A50
0へ転送される。
【0037】本明細書において説明する本発明に基づく
好適な混合信号テストシステムは、シュルンベルジェI
TS9000FXデジタルテストシステムのデジタルサ
ブシステムに基づいており且つそれを利用している。そ
のデジタルテストシステムは、例えば、カリフォルニア
州サンノゼのシュルンベルジェテクノロジィーズインコ
ーポレイテッドによって発行されたシュルンベルジェI
TS9000FXハードウエア参照マニュアル、発行番
号57010045、第4版、ECO17313、19
93年8月に記載されている。このITS9000FX
システムはテストのセットアップ及びプログラミングを
簡単化させる「ASAP」(アドバンストシンボリック
ATEプログラミング)として知られるソフトウエア環
境を包含している。混合信号テスト条件に対処するため
に、低ノイズパワー及び接地分布が与えられ、アナログ
サブシステム及び計装セットが付加され、且つASAP
ソフトウエア環境は、混合信号テストハードウエアの制
御のためのツールを提供する。
【0038】図8はITS9000FXシステムに基づ
いた本発明の混合信号テストシステム実施例の全体的な
アーキテクチュアを示したブロック図である。DSPモ
ジュール440はCPUケージ内に収納されており且つ
VMEバス565を介して中央処理装置(例えば、スパ
ークプロセサに基づいた「フォース(force)」C
PU)805及びメモリ810と通信を行なう。CPU
805は、更に、ユーザプログラミング及びテストシス
テムの制御のためにスクリーン820と入力/出力装置
(不図示)とを具備するワークステーション815と通
信を行なう。CPU805は、更に、システムステータ
ス制御器(SSC)825と通信を行なう。VME対テ
スタインターフェース(VTI)828は、VMEバス
565へ取付けられている要素とその他のカードケージ
内に位置されている高速インターフェース(HSI)モ
ジュールとの間において高速バスを介しての通信を可能
としており、例えば、制御(C)ケージ835内のHS
I830、高速ピン(H)ケージ845内のHSI84
0(及びその他の6個のHケージにおけるそのようなH
SIユニットを介し)、且つアナログ(AN)ケージ8
55におけるHSI850を介して通信を行なうことを
可能とする。Cケージは、グローバルタイミング及びア
ドレス発生を与える全ての高速ピンスライスカードとイ
ンターフェースする。HSIに加えて、各Hケージはク
ロックバッファカード及び最大で16個のピンスライス
カードと適合されている。各ピンスライスカードは4個
のテストヘッドチャンネルを制御する。Hケージ当たり
2つのサブルーチンメモリ及び別のデータマルチプレク
サ(SMADM)モジュールは、各々が32個のチャン
ネルを制御するように適合させることが可能である。
【0039】VTI828は、更に、VMEバス565
へ取付けられている要素とテストヘッド内のテストヘッ
ドインターフェース(THI)モジュール858との間
のテストヘッドバスを介して、例えば、テストの前にア
ナログチャンネルの種々の要素に対しCPU805から
のセットアップ情報を通信し且つテストの後に情報を検
索するために、通信を行なうことを可能としている。時
間測定ユニット250は選択した周波数においてのデジ
タルクロック信号をテスト周期発生器(TPG)回路8
60へ供給する。メインシーケンス制御メモリ(MSC
M)865、命令デコーダ870、デバッグ制御器87
5及びクロックバッファ880も制御(C)ケージ83
5内に収容されている。クロックバッファ885及び8
90は、夫々、Hケージ845及びANケージ855内
に設けられている。制御可能なサブルーチンメモリ及び
交互のデータマルチプレクサ405は、アナログ供給源
シーケンサ350から又はその他のオプション(SCA
N及び自動プログラム発生器(APG)パターン供給
源)からのデジタルパターンを選択し且つ格納すること
が可能である。直流(DC)サブシステム895がDU
TのDC特性の測定のために設けられている。
【0040】図9はこのようなテストシステムのハイレ
ベル動作を制御するためのテストプロセサ(例えば、C
PU805)において稼動するスケージューラープログ
ラムのフローチャートを示している。動作はブロック9
00からスタートする。ブロック910において、この
プログラムは、テスタが混合信号テスト動作の準備がな
されているか否かをチェックする。その結果が否定であ
る場合には、スケジューラーはデジタルテストを実行す
べきものと仮定し且つステップ915へ進行し、デジタ
ルテスト用にITS9000FXデジタルテスタの「A
SAP」ソフトウエア環境を使用する。一方、その結果
が肯定である場合には、スケジューラーはステップ92
0において何等かのテストが実行を待機しているか否か
を判別する。その結果が否定である場合には、スケジュ
ーラーはステップ925において動作を停止する。一
方、その結果が肯定である場合には、スケジューラーは
ステップ930において混合信号テストが行なわれるべ
きか否かを判別する。その結果が否定である場合には、
スケジューラーはステップ935へ進行し「ASAP」
ソフトウエア環境を使用してデジタルテストを実行す
る。一方、その結果が肯定である場合には、スケジュー
ラーはステップ940において実行されるべきテストが
「ロードボードツール(Loadboardtoo
l)」という名称のソフトウエアツールによって制御さ
れるべきか否かを判別する。実行されるべきテストがロ
ードボードツールによって制御されるべき場合には、ス
ケジューラーはステップ945において全ての混合信号
テストが完了するのを待機し、次いでステップ950に
おいてDSPが現在のテストに対して捕獲データを保持
することが可能であるか否かを判別する。その結果が否
定である場合には、スケジューラーは、DSPが1つの
メモリバンクを解放するまで、ステップ955において
アイドリング状態を維持する。一方、その結果が肯定で
ある場合には、スケジューラーはステップ960におい
て現在の捕獲データを保持すべくDSPに命令を与え
る。次いで、スケジューラーはステップ965において
現在のテストがロードボードツールソフトウエアによっ
て制御されるか否かを判別する。その結果が否定である
場合には、処理の流れはステップ920へ進行する
(「A」のマーク)。一方、その結果が肯定である場合
には、スケジューラーはステップ970において現在の
混合信号テストが完了するのを待機し、次いでステップ
920へ進行する(「A」のマーク)。実行されるべき
更なるテストが存在しない場合には、スケジューラーは
ステップ925において動作を停止する。
【0041】ロードボードツールはテスタの機能的及び
物理的アナログ能力へ容易にユーザがアクセスすること
を可能とするソフトウエアインターフェースである。そ
れは、混合信号テストの実行、テストステータスのモニ
タ、及びテストに関与する装置の制御を与える。図10
は、ディスプレイ820上においてユーザが見るような
機能的表示を示しており、その中にはDUT1000及
びそのピンの表示が示されている。更に、例えばマウス
等のポインティング/選択装置でディスプレイを操作す
ることによってDUTのピンへユーザが機能的に接続さ
せた装置の表示も示されている。例えば、波形供給源W
F1及び波形測定WM1がDUTピン1及び2に接続さ
れており、デジタルパターン供給源DP1がDUTピン
3へ接続しており、別のデジタルパターン供給源DP2
がDUTピン4へ接続されている等である。このディス
プレイは、ユーザがセットアップするリレー制御の状態
(「C」ビット)及びその他のテストパラメータによっ
て決定されるロードボードリレーの現在の状態を示して
いる。セットアップが完了すると、ロードボードツール
ソフトウエアは必要に応じてその他のASAPツールを
動作させてテストを実行する(例えば、パターン、タイ
ミング、レベル、DC値等を設定するツール)。
【0042】ロードボードツールを介して、ユーザは、
更に、計算、信号供給及び測定、Cビット制御、アナロ
グクロック制御、波形発生及び測定、基準、生産性、仕
様要約、システムステータス、シーケンス動作に対する
特別のソフトウエアツールを動作させることが可能であ
る。特定のハードウエアを制御するこれらのツールの各
々は、好適には、ハードウエアのブロック図を表示し且
つそのブロック図のどの部分をユーザが変更することが
可能であるかを表示する。
【0043】「DSPツール」はDSPが適宜の転送機
能を実行するようにユーザがプログラムすることを可能
とする。図11において示したように、DSPをプログ
ラミングするためのスタンダードなライブラリ機能及び
ユーザがコード化した機能と共に、図形的インターフェ
ースが提供される。このツールは、更に、ユーザに対し
て閉ループテストを記述するための能力を提供し、且
つ、プログラムデバッグ期間中に、機能に関してブレー
クポイントを設定し且つアレイデータを表示する能力を
提供している。図11は、1100においてDSPツー
ルのサンプルのスクリーン表示を示している。ファイル
機能のメニューは1105に示してあり、編集機能のメ
ニューは1110に示してあり、動作機能のメニューは
1115に示してあり、計算機能のメニューは1120
に示してあり、ユーザが構成することの可能なツールバ
ーは1125に示してある。デバッグ機能のメニューは
1130に示してある。これらのメニュー項目の各々
は、所望のシステム能力を喚起させるためにマウス又は
キーボードの助けを借りてユーザによって選択すること
が可能である。
【0044】図12はユーザが定義した機能のみなら
ず、ベクトル、スカラ及びDSPとして分類される広範
囲のスタンダードなライブラリ機能を含む動作機能のメ
ニューヒエラルキーを示している。DSP機能は、ハニ
ング(Hanning)窓の計算、複雑な高速フーリエ
変換(FFT)の実行、及び時間ドメイン自己相関等の
公知の動作に対するアルゴリズムを包含している。
【0045】サンプルのユーザが提起した動作シーケン
スを図1に表示してあり、その場合に、A/D変換器か
らの信号がローパスフィルタ(LPF)を介して通過さ
れ、格納されたファイルからの信号はハニング窓動作に
露呈される。これらの2つの動作の結果は各々高速フー
リエ変換(FFT)へ露呈され、回旋され(CON
V)、次いで逆高速フーリエ変換(IFFT)が行なわ
れて所望の結果を発生する。図1に示したような図形を
構成することによって、ユーザはシステム動作の詳細な
知識なしで所望の動作シーケンスをセットアップするこ
とが可能である。ASAPソフトウエア環境は、ユーザ
が形成したテストの流れの図形表示から詳細なテストプ
ログラムを発生する。
【0046】「測定ツール」はユーザが測定インストル
メンテーション(計装)をプログラムすることを可能と
している。測定ツールは幾つかのモード、即ちHAWM
(高精度波形測定)、HFWM(高周波数波形測定)又
はデジタルピン、のうちの1つを選択することを可能と
している。各モードにおいて、適切な回路図及び測定シ
ーケンサ図が表示される。このディスプレイはユーザが
パラメータをセットすることを促すブロックを有してい
る。測定ツールHAWMダイヤグラムの一例を図13に
示してある。HAWMモードにおける測定ツールの主要
な機能はオーディオフィルタを設定し、適宜の高精度測
定オプションを設定し、且つマルチメータを使用して波
形測定装置の電圧出力を測定するためのオプションを提
供することである。HFWMモードにおける測定ツール
の主要な機能は、適宜の高周波数測定オプションを設定
し、ビデオフィルタを設定し、且つマルチメータを使用
する波形測定装置の電圧出力を測定するためのオプショ
ンを提供することである。デジタルピンモードにおける
測定ツールの主要機能は、HCAGEビットマップマル
チプレクサ及びアナログ測定マルチプレクサを制御する
ことによって測定シーケンサにおけるデジタルピンをマ
ッピングすることである。アナログ測定シーケンサハー
ドウエアも測定ツールで制御される。アナログ測定シー
ケンサインターフェースの主要な機能は、直接的にDS
Pへ送給するか又はアナログ測定シーケンサを介してD
SPへ送給するかのデータ経路付けをユーザが選択する
ことを可能とし、且つ波形評価ブロック、クロック供給
源、クロック周波数、スタートアンドストップトリガ、
データフォーマット及びデータ捕獲モード等のパラメー
タをインターフェースに与えることである。
【0047】供給ツール(SourceTool)はア
ナログ波形/サンプルデータをDUTへ供給する技術を
ユーザへ与えている。ロードボードツールにおけるハー
ドウエアの設定に依存して、このツールにおいて適宜の
装置回路図が表示される。波形ツール(Wavefor
mTool)は波形を形成するためにこのツールから喚
起させることが可能である。供給ツールは3つのモー
ド、即ちHAWS(高精度波形供給)、HFWS(高周
波数波形供給)又はデジタルピンのうちのいずれか1つ
で動作する。各モードにおいて、適宜の回路図及び供給
シーケンサダイヤグラムが表示される。図14は供給ツ
ールHAWSダイヤグラムディスプレイの一例を示して
いる。HFWSモードにおける供給ツールの主要な機能
は、適宜の高周波数供給オプション及びビデオフィルタ
を設定することである。デジタルピンモードにおける供
給ツールの主要な機能は、供給シーケンサにおいてデジ
タルピンをマッピングすることである。アナログ供給シ
ーケンサハードウエアも供給ツールで制御される。アナ
ログ供給シーケンサインターフェースの主要な機能は、
DSPからDUTへデータを供給する場合にアナログ供
給シーケンサハードウエアをバイパスすることをユーザ
が選択することを可能とし、波形発生ブロック、クロッ
ク供給源、クロック周波数、スタートアンドストップト
リガ等のパラメータをインターフェースに与えることで
ある。
【0048】その他のユーザがアクセス可能なソフトウ
エアツールも好適に設けられている。例えば、基準ツー
ルはユーザが基準供給源を制御することを可能とし、且
つ回路図の機能的表示を表示する。波形ツールは発生さ
れるべき波形の図形表示を形成する方法を与えている。
Cビットツールは「C」ビットリレーを制御し、全ての
ロードボードユーザリレーハードウエアのブロック図を
表示し且つどの部分がユーザによって変更することが可
能であるかを表示する。アナログクロックツールはユー
ザがアナログクロック動作を操作し且つテスタのジッタ
ー供給ハードウエアを操作することを助け、アナログク
ロック動作及びジッター供給ハードウエアの図形を表示
し、マスタクロックを制御し且つその図形のどの部分を
ユーザが変更することが可能であるかを表示する。シー
ケンスツール(SequenceTool)は混合信号
テスト期間中に実行されるテスタの活動の順番をユーザ
が特定することを可能とする。
【0049】上述した図形ソフトウエアツールは、好適
には、ユーザによるシステムセットアップを簡単化する
ために使用されるが、そのようなセットアップは、例え
ばユーザによるテストプログラムの直接的な発生等その
他の公知の手段によって行なうことも可能である。ユー
ザによってセットアップが行なわれると、CPU805
はセットアップ及び制御及びシーケンス情報をVTI8
28、Cケージ、Hケージ及びANケージにおけるHS
Iユニット、及びTHI858を介してシステムのハー
ドウエアモジュールへ通過させる。このようにして柔軟
に構成することの可能な供給及び測定装置を有する複数
個のアナログチャンネルが使用可能であることは、本シ
ステムが広範囲の混合信号テスト、例えば図30乃至3
2を参照して説明するようなテストを効率的に実行する
ことを可能とする。
【0050】図15は、テストセットアップ及び動作を
制御する場合に有用な制御ツール(ControlTo
ol)ソフトウエアツールの図形表示を示している。こ
の表示は、例えば、ワークステーション200のディス
プレイスクリーンの「ウインドウ」内に表われ、且つテ
ストプログラム名称のユーザエントリ用のブロック、及
び「Build(構築)」、「Load(ロード)」、
「Install(インストール)」、「Init(初
期化)」、「Begin(開始)」、「Reset(リ
セット)」、「FlowTool(流れツール)」、
「SourceTool(供給源ツール)」、「Tim
ing(タイミング)」等の名称の付いた機能を活性化
させるために制御装置(例えば、「マウス」又はその他
のポイント・アンド・クリック装置)によって選択する
ことの可能な「ボタン」を有している。
【0051】図16は制御ツールディスプレイのサブウ
インドウを示しており、その中には、ワークステーショ
ン200へ接続されており且つそれを介して制御可能な
テストシステムT1,T2/M及びT3を表わすアイコ
ンが示されている。テストシステムT1及びT3は、こ
の例においては、デジタルテスタ(例えば、スタンダー
ドのITS9000FXテストシステム)であり、一方
テストシステムT2/Mは本明細書に説明するような混
合信号テスタである。「T2/M」アイコンをユーザが
選択すると、図17に示したような表示が表われ、その
場合に、「T2/M」の記号の付いたブロックが混合信
号テスタの夫々のテストヘッドを表わすインジケータへ
取付けられた状態で示される。図示した例においては、
テストヘッド#1「TH1」用のインジケータは、その
テストヘッドが使用可能であることを表わしており、一
方テストヘッド#2に対するインジケータは、そのテス
トヘッドが現在使用不可能であることを示している。
「TH1」の記号の付いたインジケータを選択すること
によって、ユーザはシステムに対してテストヘッド#1
の動作の準備をするべく指示を与える。ユーザがテスト
プログラム名称をエンターし且つ「Load」アイコン
(図15参照)を選択すると、図18に示したようなテ
ストプログラムI/Oウインドウが表示されて、テスト
プログラム動作のステータス、例えば「テストプログラ
ムローディング」、「テストプログラムロード済」等の
ステータスを表示する。
【0052】図15の「FlowTool」アイコンを
選択することによって、ユーザは図1に示したような
「FlowTool」表示ウインドウを活性化させるこ
とが可能である。このFlowTool(流れツール)
表示は、ITS9000FXテストシステムの「ASA
P」ツールを使用してテストの流れをユーザが定義する
ことを助ける。図19の簡単な例においては、テストは
「Begin」の記号の付いたブロックで開始し且つ3
3MHzクロック速度でDUTの機能的デジタルテスト
を実行する「33MHzFTest」セグメントへ進行
する。この33MHzテストをパス(合格)すると、テ
ストの流れは混合信号「MTest」セグメントへ移
る。そうでない場合には、テストの流れは「20MHz
FTest」セグメント等へ進行する。単一テストセグ
メント、例えば「MTest」セグメントを実行すべき
場合には、ユーザは、そのセグメントのみを実行するた
めの選択をすべきボタンを具備する図20に示したよう
なサブウインドウディスプレイを得るために、図19か
ら対応するアイコンを選択することが可能である。単一
セグメント又は選択した一群のセグメントの実行は、テ
ストを開発中にテストのデバッグを行なう場合に有用な
場合がある。
【0053】ASAPランタイム実行環境は、テストプ
ログラムプロセス及びテスタCPUに関するサポートプ
ロセスから構成されている。テストデータ制御(TD
C)ソフトウエアはデータ転送用インターフェースを与
え且つUNIXTCP/ICのソケットをベースとした
通信プロトコル上で実現されたランタイムプロセスに対
するイベント通知をサポートしている。テスタコンピュ
ータ210上で稼動するTDCプロセスは、例えば、ア
ナログサブシステムの構成(「Load」)、アナログ
ハードウエアのインストール(「Install」)、
アナログハードウエアの初期化(「Init」)、アナ
ログテスト実行(「Execute」)、DSP結果の
管理、及びアナログデータブロック処理等のアナログラ
ンタイムサービス要求を取扱うためのステーメントを有
している。
【0054】図21は本発明に基づく種々の流れにおけ
る混合信号テスタのランタイム動作に対する状態線図を
示している。ランタイム実行プロセスはイベント駆動型
状態モデルに基づいているので、状態線図技術はランタ
イムの流れを記述する。流れはイベント、状態、活動及
び結果の寄せ集めである。ランタイムプロセス制御は、
ASAP環境内におけるアナログサブシステムを操作す
るための機能を提供している。この流れの一部を図23
−29のサブ状態線図に示してあり、特定の流れのより
詳細、状態変化を発生させるイベント、及び状態変化か
ら得られる活動を示している。実線の楕円は初期状態及
びオプション条件を表わしている。点線の区切りは同時
的に発生する状態を示している。
【0055】ユーザは、上述したようなグラフィカルユ
ーザインターフェース(GUI)か又はキーボードによ
るコマンドの直接的エントリ等のオペレータインターフ
ェースコンソール(OIC)技術によって、ワークステ
ーション200を介して命令を与える。GUI又はOI
Cユーザがランタイムサービスを要求するか又は実行プ
ロセスがランタイム実行サイクル期間中にイベント(例
えば、データログが必要とされるか、又は何等かのシス
テムの致命的なエラーが発生したか又はテスト結果を更
に処理する準備がなされている等)を検知すると、イベ
ントが発生する場合がある。イベントによって確立され
ている状態はランタイムプロセス活動を制御する。テス
トプログラム状態と関連している活動はランタイム動作
である。ランタイムプロセスの活動に基づいて発生され
る結果は特定の要求(イベント)に対する回答である。
【0056】ロード流れ。ユーザが、(1)制御ツール
ディスプレイの「Load」ボタンを選択するか、又は
(2)LOADコマンドをタイプ入力することによっ
て、ロード機能を要求すると、ランタイムプロセスは、
2105においてTDC設備からTDC_SETUP_
CONFIGのメッセージタイプを有するTDC動作メ
ッセージを受取る。ランタイムプロセスがこの動作メッ
セージを受付けた後に、それは1210において「Lo
ad」状態を初期化させる。図23は「Load」状態
の活動のサブ状態線図を示している。次いで、例えば、
2305においてテストヘッド及びDSPに対しコンフ
ィギュレーション(形態乃至は構成)ファイル内にデフ
ォルトのセットアップ情報をエンターすることによっ
て、システムコンフィギュレーション(形態又は構成)
セットアップを実行する。
【0057】インストール流れ。ユーザが(1)制御ツ
ールの「Install」ボタンを選択するか、(2)
流れツールから予め定義したINSTALL(インスト
ール)セグメントを実行するか、又は(3)INSTA
LLコマンドをタイプ入力することによって、ユーザが
インストール機能を要求する場合には、ランタイムプロ
セスは、TDC設備からTDC_INSTALLのメッ
セージタイプを有するTDC動作メッセージを受取る。
ランタイムプロセスがこの動作メッセージを受付けた後
に、それは2115において「Install」状態を
初期化させる。図24は、「Install(インスト
ール)」状態のアナログ活動を記述するためのサブ状態
線図を示している。これらは、2405においてのハー
ドウエア変数のリセット及びローディング(例えば、ロ
ードボードキャリブレイション値)、2410における
発生器(供給源)ハードウエアの初期化(例えば、パタ
ーンメモリ内へのパターンのローディング)、2415
においての捕獲(測定)ハードウエアの初期化、242
0においてのDSPの初期化、2425においてのDS
Pへのプログラムのダウンロード、且つ2430におい
てのアナログシステムキャリブレイションの実行等を有
している。
【0058】初期流れ。ユーザが、(1)制御ツール表
示の「Init」ボタンを選択するか、(2)流れツー
ルから予め定義したINITセグメントを実行するか、
又は(3)INITコマンドをタイプ入力することによ
って初期化機能を要求すると、ランタイムプロセスは、
TDC設備からTDC_INITのメッセージタイプを
有するTDC動作メッセージを受取る。ランタイムプロ
セスがこの動作メッセージを受付けた後に、それは21
20において「Init」状態を初期化させる。図25
は「Init」状態に関するアナログ活動のサブ状態線
図を示しており、その場合に、アナログチャンネルハー
ドウエアの各要素は既知の状態とされ且つDSPユニッ
トがリセットされる。
【0059】実行流れ。ユーザが(1)例えば図20に
示したようにテストツールの「EXECUTE(実
行)」ボタンを選択するか、(2)例えば図19に示し
たように流れツールからセグメントを実行するか、又は
(3)EXECUTE(実行)コマンドをタイプ入力す
るかによってテスト実行機能を要求すると、ランタイム
プロセスはTDC設備からTDC_EXECUTEのメ
ッセージタイプを有するTDC動作メッセージを受取
る。ランタイムプロセスがこの動作メッセージを受付け
た後に、それは2125において「EXECUTE(実
行)」状態を初期化させる。図21の2125において
「execute_SEGMENT(セグメント実
行)」2130、「start_of_test(テス
ト開始)」2135、「HW_reset_teste
r(HWテスタリセット)」2140(ハードウエア高
速初期化)、「execute_test(テスト実
行)」2145(これはテスト流れの全てのテストが実
行されるまで繰り返し行なわれる)、「end_of_
test(テスト終了)」2150(これはテスト動作
を停止させる)を包含するサブ状態線図を示している。
2155において示したように、必要に応じてその他の
流れも与えることが可能である。
【0060】図26−29は「Execute(実
行)」状態のサブ状態線図を示している。図26は「e
xecute_test」状態2145の「conti
nue(継続)」モードの更なる詳細を示しており、そ
の場合に、テスタは2605においてリセットされ、テ
ストは2610においてセットアップされ、混合信号テ
ストは2615において実行され(「do_analo
g_test」)、デジタルピンエレクトロニクスは2
620においてリセットされ(「RTL_setup_
restore_pins」)、且つ状態2605−2
620のシーケンスは、その流れの全てのテストが実行
されるまで継続する。状態2610におけるテストセッ
トアップは、2625においてのデジタルピンエレクト
ロニクスのセットアップ(「RTL_setup_op
en_pins」)及び2630においてのアナログチ
ャンネルのセットアップ(「ane_setup_an
alog」)に対するサブ状態を包含している。図27
は2705においてのテスト装置の機能的テストアップ
(「レベル、タイミング、パターン..セットアッ
プ」)、2710においてのDSPセットアップ、27
15においてのシーケンサ波形セットアップ(「loa
d_analog_sequencer」)、2720
においての波形供給源セットアップ(「src_set
up_ws」)、2725においての波形測定セットア
ップ(「meas_setup_wm」)を包含するア
ナログチャンネルセットアップ状態2630のサブ状態
線図を示している。
【0061】図28は、2805におけるテストスター
ト状態及び、2810において測定シーケンサをスター
トさせ、2815において供給源シーケンサをスタート
させ、且つ2820において機能的テスト(「ftes
t」)をスタートさせるそのサブ状態を含むアナログテ
スト状態2615のサブ状態線図を示している。停止条
件が発生すると、テストは状態2825において停止し
且つテスト結果は状態2830においてDSPにおいて
処理するために転送される。図29はアナログテスト停
止のサブ状態線図を示している。DSPは状態2905
においてポーリングされて、それがその動作を完了した
か否かを判別し、一方タイムアウトクロックが状態29
10においてチェックされる。DSPがその動作を完了
しているか又はタイムアウトクロックが経過すると、供
給源シーケンサは2915において停止され、測定シー
ケンサは2920において停止され、「ftest」が
2925において終了され、且つDSPは2930にお
いて停止される。
【0062】図22は関連するハイレベル機能と共にラ
ンタイムテスト実行サイクルを完全に完了するためのラ
ンタイム状態の順番を示している。テストプログラムが
ロードされ且つインストールされ、次いでテスタが初期
化される。図22における垂直二重線の間の部分(「F
astInit(高速初期化)」から「EOTBinn
ing(EOTビン処理)」まで)は実行部分であり、
それは多様な態様で実行することが可能である。生産に
おいては、この実行サイクルはテストプログラムの流れ
によって指示されて実行され、例えば、テストされるべ
き各装置に対して一度実施され且つテストを開始させる
コマンドによってビン処理される。プログラミング及び
デバッグ期間中に、ユーザは「execute tes
t(テスト実行)」部分又は「execute seg
ment(セグメント実行)」部分又は「execut
e & continue segment(セグメン
ト実行及び継続)」部分のみを実施する場合がある。
【0063】注意すべきことであるが、「ftest_
start」状態2820は、「ftest」のスター
トを表わす「einst(Enable INStru
ment、即ち装置イネーブル)」トリガに応答して発
生する。このトリガは、図4に示したように、アナログ
供給源シーケンサ350及びアナログ測定シーケンサ3
55へ供給される。このEINSTトリガは、デジタル
サブシステムとアナログインストルメンテーション(計
装)サブシステムとの間の同期信号であり、且つ、例え
ば、図8に示したように、命令デコーダ870から供給
される最大で256個の個別的なトリガイベントを有す
る8ビットコード化信号とすることが可能である。この
EINSTトリガは、例えば、DUTへ印加されている
デジタルパターンと相対的に特定の点においてのアナロ
グ信号の捕獲を開始するために使用することが可能であ
る。それは、更に、DUTへ印加されるアナログ波形励
起が常にテスト毎に及びDUT毎にデジタルパターンと
相対的に同一の位相内にあるように該供給源を開始させ
るために使用することが可能である。EINSTトリガ
は、供給源シーケンサ内に格納されている波形情報がデ
ジタルピンスライスエレクトロニクスにおけるフレーム
化情報と共働することが可能であるように、例えばデー
タが適切な時間にフレーム内に入るように1つのデータ
ステップだけいつ前進するかを供給源シーケンサへ告げ
るように、供給源シーケンサを制御するために使用する
ことが可能である。同様に、EINSTトリガは、格納
されているフレーム化情報にしたがってフレームから捕
獲されているデータをいつ抽出するかを測定シーケンサ
へ命令を与えるために使用することが可能である。
【0064】図30は1つのタイプの混合信号テストの
主要な信号処理を示しており、その場合には、CODE
Cの送信側と受信側との信号対雑音比が決定される。C
ODECは単一チップ上において、デジタル・アナログ
(D/A)変換器及びアナログ・デジタル(A/D)変
換器を有しており、多分その他の回路も設けられてい
る。図30の左側の欄は、CODECの送信側(D/A
変換器)をテストする場合の処理を示している。図30
の右側の欄はCODECの受信側(A/D変換器)をテ
ストする場合の処理を示している。この場合には正弦波
であるテスト信号のデジタル表示がテスタCPU805
において形成され且つシステムセットアップ期間中にア
ナログ供給源シーケンサ350のメモリ内へロードされ
る。ユーザによって命令が与えられてテスタがセットア
ップされ且つ全ての必要なセットアップ情報が、VTI
828、THI858及びHSIユニット830,84
0,850等に接続されている高速バスを介して通信さ
れているものと仮定する。
【0065】テストが開始すると、アナログ供給源シー
ケンサ350はアナログチャンネルの経路C1を介して
デジタル表示をサブルーチンメモリ及び交互データマル
チプレクサ405へ通過させる。注意すべきことである
が、この経路は図30において経路Cとして示されてい
るが、実際には、このような1つの経路は4つのアナロ
グチャンネルの各々に対して設けられている。説明の便
宜上、アナログチャンネル1の経路Cは経路C1として
言及し、アナログチャンネル2の経路Cは経路C2とし
て言及し、アナログチャンネル1の経路EはE1として
言及する。以下の説明を簡単化するために、例えば経路
D1を介してデータが転送される場合には、それらはア
ナログチャンネル1のアナログ供給源シーケンサ350
によって供給され且つアナログチャンネル1の波形供給
源エレクトロニクス380によって受取られるものと理
解する。アナログチャンネル1のDSP−AはDSP−
A1として言及し且つアナログチャンネル2のDSP−
AはDSP−A2として言及する。
【0066】システムセットアップ期間中に、デジタル
ピンスライスエレクトロニクス410は、信号レベル及
びタイミング等を含んでDUTに対してどのようにデー
タをフレーム化し且つフォーマット化するかに関するユ
ーザが定義した情報が供給される。テスト期間中に、経
路C1上のデータはサブルーチンメモリ及び交互データ
マルチプレクサ405の制御下でフレーム内へ挿入され
且つDUTに対して適切にデジタルピンスライスエレク
トニクス410においてフォーマット化される。その結
果得られるデジタル信号はデジタルピンエレクトロニク
ス415及び経路E1を介してDUTへ供給される。
【0067】DUTの出力はアナログ正弦波信号であ
り、それは経路H1を介して波形測定ピンエレクトロニ
クスWFM390へ供給され、そこで該信号はデジタル
化される。その結果得られるデータは経路N1を介して
アナログ測定シーケンサ355へ送給され、そこでIE
EE浮動小数点フォーマットへ変換される。このIEE
E浮動小数点データは経路K1、スーパーメザニン44
5及び経路L1を介してDSP−A1 500へ転送さ
れる。DSP−A1 500は捕獲したデータに関して
高速フーリエ変換を実施し、次いで信号対雑音比(SN
R)の計算を行なう。SNRを計算した後に、DSP−
A1はテスト結果、この場合には93.5dBの単一の
浮動小数点SNR値を表わすデータを保持する。DSP
−A1 500は、又、例えば偶発的な自由なダイナミ
ックレンジ、全高調波歪等のセットアップ期間中にユー
ザによって命令された場合に興味のあるその他の関係を
計算することが可能である。SNRは、基本周波数Mに
おけるパワーの、典型的にDCを排除した1乃至Nのそ
の他の全てのスペクトル成分のパワーに対する比であ
る。全高調波歪は、基本周波数Mにおけるパワーの、基
本周波数の高調波におけるパワーに対する比であって、
例えば、f0におけるパワーの2f0,3f0及び4f
0におけるパワーの和に対する比である。偶発的自由ダ
イナミックレンジは、基本信号におけるパワーの次に大
きなスペクトル成分におけるパワーに対する比である。
【0068】CODECのD/A変換器がアナログチャ
ンネル1においてテストされている間に、CODECの
A/D変換器は同時的にアナログチャンネル2において
テストされる。正弦波を表わすデジタルデータがアナロ
グ供給源シーケンサ350によって経路D2を介して波
形供給源380へ供給される。波形供給源は、対応する
アナログ正弦波を経路F2上においてDUTのA/D変
換器へ印加する。このA/D変換器の出力はデジタルデ
ータであって、それは経路G2及びデジタルピンエレク
トロニクス420を介してデジタルピンスライスエレク
トロニクス425へ供給される。デジタルピンスライス
エレクトロニクス425において、デジタルデータは論
理スレッシュホールドと比較され且つシステムセットア
ップ期間中にユーザによって画定されたスレッシュホー
ルド及びタイミング情報を使用して、適宜の時間におい
てサンプリングする。その結果経路I2上において得ら
れるデジタルデータは、典型的に、ビット毎にスクラン
ブルされる。何故ならば、ロードボードは、好適には、
各DUTピンを信号経路を交差することなしに最も近い
テスタピンへ接続すべく構成されているからである。経
路I2上でビット毎にスクランブルされたデータはH−
failマルチプレクサ430及びアナログマルチプレ
クサ435によってスクランブル解除され、これらのマ
ルチプレクサはシステムセットアップ期間中に適宜の形
態に設定されている。経路J2上のスクランブル解除さ
れたデータはアナログ測定シーケンサ355においてI
EEE浮動小数点フォーマットへ変換され(それはDS
P処理のために好適なフォーマットである)、且つ経路
K2、スーパーメザニン445及び経路L2を介してD
SP−A2 500へ供給される。DSP−A2 50
0はこのデータに関して高速フーリエ変換を実施し且つ
SNR及びその他のユーザが画定したパラメータを計算
する。SNRを計算した後に、DSP−A2はテスト結
果を保持し、この例においては、SNR値97.3dB
を表わす単一の浮動小数点数を保持する。その処理を終
了すると、DSP−A1及びDSP−A2の各々はその
ことをCPU805へ告げる。CPU805によって質
問されると、DSP−A1及びDSP−A2はSNR値
をCPU805へ転送し、CPU805はそのSNR値
をシステムセットアップ期間中にユーザによって確立さ
れたテスト限界に対してテストを行なう。CPU805
はCODECが限界内のものであり且つそのテストをパ
スしたか又は限界外であり且つそのテストに不合格であ
ったかを判別する。上述した実施例におけるように、テ
スタが4個のアナログチャンネルを有する場合には、2
個のこのようなCODECの送信側及び受信側を同時的
にテストすることが可能である。同様に、最大で4個ま
での任意の組合わせのA/D変換器及びD/A変換器を
同時にテストすることが可能である。
【0069】図31は時折モデムビットエラーレートテ
ストと呼ばれるモデムビットエラーテストの主要な信号
処理を示している。DUT、この場合にはモデム(mo
dem)をアナログ信号で駆動し且つその出力をエラー
に対してチェックする。適切なセットアップ情報がテス
トを開始する前にテストシステム要素へ供給されている
ものと仮定する。セットアップ期間中に、波形セグメン
トを表わすデータがアナログ供給源シーケンサ350の
メモリ内に格納され、従って波形を表わすデータがDS
P−B505からのフレームポインタに応答してアナロ
グ供給源シーケンサ350によって発生される。このテ
スト期間中に、アナログ供給源シーケンサ350はDS
P−アドレスモードで動作し、従ってDSP−B1 5
05が経路B1上にユーザが定義したシーケンスのフレ
ームポインタ(a,b,b,a,等)を発生し、アナロ
グ供給源シーケンサは波形セグメントの対応するシーケ
ンスを表わすデータを経路D1上に供給する。経路D1
上のデータは波形供給源380によってアナログ信号へ
変換され、それは経路F1を介してDUTへ印加され
る。図示した例においては、DUTは周波数シフトキー
(FSK)信号で駆動されるが、同一のDSPアドレス
技術を使用してフェーズシフトキー、マルチレベル、直
交変調型又はその他の信号を発生させることが可能であ
る。DUTは印加されたアナログ信号をデジタルワード
へ変換し、該デジタルワードは経路G1及びデジタルピ
ンエレクトロニクス420を介してデジタルピンスライ
スエレクトロニクス425へ供給される。このテストに
おいては、デジタルワードの予測値はテストシステムセ
ットアップ期間中にピンスライスエレクトロニクス42
5内に格納されている。これらの予測値はDUTに対し
てのアナログ信号を発生させるために使用したユーザが
画定したパターンと同一である。デジタルピンスライス
エレクトロニクス425は、スタンダードのITS90
00FXデジタルテスタにおけるように、実時間でDU
Tからのデジタルワードを予測値と比較し且つエラーが
検知された場合にハードウエア欠陥検知フラグをセット
することが可能である。ユーザがどのようにテスタをセ
ットアップしたかに依存して、欠陥検知フラグがセット
された場合にテストが終了されるか又はデバッグを行な
うために付加的なデータを収集するためにテストを継続
することが可能である。テストが完了すると、欠陥検知
フラグ及び/又はデバッグのために使用すべきデータは
HSI840及びVTI828を介してCPU805へ
送給することが可能である。CPU805は、該フラグ
及び/又はデータから、DUTがビットエラーテストを
パスしたか不合格であったかを判別する。
【0070】本発明の混合信号テスタは、更に、A/D
変換器サーボループコードエッジ遷移正確性テストを実
施するのに適している。A/D変換器は、連続した範囲
にわたって無限の数の可能なアナログ入力値を有してい
るが、離散的数のデジタル出力値を有しているに過ぎな
い。A/D変換器を適切に特性づけするために、1つの
コードから次のコードへ出力を遷移させる入力電圧の各
々を知ることが必要である。コードエッジ遷移電圧を決
定する1つの方法は、DUTへ電圧を印加し且つその応
答をモニタすることである。
【0071】図32はこのようなテストを実施する場合
のアナログチャンネルにおける主要な信号の流れを示し
ている。その目的とするところは、測定すべき遷移の正
の側において、所望のデジタルコードDATAzをDU
Tの出力端において発生させるためにDUTへ印加せね
ばならないアナログ入力電圧zを見つけだすことであ
る。HighLimit及びLowLimit値はDU
Tへ印加されるべきアナログ値に対するユーザが定義し
た限界値である。x(n)の値はテストプロセスの与え
られた繰返しn期間中にDUTへ印加されるアナログ電
圧である。z+ε及びz−εの値は決定した値のzにお
ける許容可能なエラー帯域のユーザが画定した限界値で
ある(即ち、εはzの測定に対する許容可能な分解能で
ある)。変数wは極性フラグ(+1又は−1の値を持っ
ている)であり、それはDUTへ印加されるべきx
(n)の次の値は前の繰返しから増加されるべきである
か又は減少されるべきであるかを表わし、即ち、DUT
へ現在の値x(n)を印加すると所望の遷移コードDA
TAzより高いか又は低い出力コードを発生させるか否
かを表わす。y(n)の値は最後のKパス期間中にDU
Tへ印加されるx(n)の値の移動平均であり、尚Kは
移動平均に対するユーザが画定した繰返し数である。テ
ストシステムはテストを開始する前にユーザによって命
令されたように初期化されているものと仮定する。
【0072】図32を参照すると、プロセスは既知の値
のzの幾分上側又は下側であるユーザの推定値z0を表
わす値へ設定された変数x(0)及び初期化された変数
w及びnでスタートする。例えば、変数x(0)がユー
ザによってzの予測値より幾分低い値に設定された場合
には、変数wは1に設定されて、zがx(0)の初期値
よりも大きいものであることが予測されることを表わ
す。変数nは0へ初期化されて、これがテストループの
0番目の繰返しであることを表わす。DSP−B1 5
05は経路B1上のx(1)の値を表わすデータをアナ
ログ供給源シーケンサ350へ供給する。このテストの
場合には、供給源シーケンサ350はフロースルーモー
ドにあり、従ってデータは修正されることなしに信号経
路D1へ通過され、従って波形供給源380へ供給され
る。波形供給源380はそのデータをディスクリート即
ち離散的なアナログ電圧x(1)へ変換し且つその値を
経路F1を介してDUT290へ印加する。DUTは印
加されたアナログ電圧x(1)を経路G1を介してフォ
ーマット化したデジタルコードへ変換する。そのデジタ
ルコードはデジタルピンエレクトロニクス420を介し
て通過され、デジタルピンスライスエレクトロニクス4
25によってフォーマットが解除され、マルチプレクサ
430及び435を介して通過され、且つシリアルデー
タストリ−ムとしてアナログ測定シーケンサ355へ印
加される。アナログ測定シーケンサ355は、データパ
ッカー482においてシリアルデータをパラレルデータ
へ変換し、フォーマッタ484においてそのパラレルデ
ータをIEEE浮動小数点フォーマットへ変換し、且つ
DUT出力のその浮動小数点表示を経路K1上へ供給す
る。浮動小数点表示(DATAn)はスーパーメザニン
445を介し且つ経路L1を介してDSP−A1 50
0へ移行し、そこでそれは興味のあるコード遷移DAT
Azと比較される。この繰返しnに対するコードDAT
Anの値がコード遷移DATAzの値以上であると、w
は次の繰返しに対して−1へセットされる。コードDA
TAnの値がコード遷移DATAzよりも低い場合に
は、wは次の繰返しに対して+1へセットされる。DS
P−A1 500は経路M1を介してwの値をメモリ5
35へ送給し、そこで、それはDSP−B1 500へ
アクセスすることが可能である。
【0073】DSP−B1 500は、変数wの極性を
考慮に入れて、各繰返し毎にx(n)の値を積分し、例
えば、x(n)=x(n−1)+A・wであり、尚Aは
テストループの1つの繰り返しから次のものへx(n)
の値をどの程度インクリメント即ち増分させるかを支配
するユーザが画定した変数である。変数Aは一定値とす
ることが可能であるが、好適には、初期的にはzの値が
所定の範囲となるまでx(n)の値を大きなステップで
移動させることを可能とし、且つzの値がユーザにとっ
て許容可能な分解能で決定されることを確保するために
次第にステップ寸法を減少させる適宜のアルゴリズムに
よって決定される。このような可変ステップ寸法アルゴ
リズムは、与えられた分解能でテスト結果を得るために
必要な繰返し回数を減少させることが可能である。DS
P−B1 505は、最後のKパス期間中にDUTへ印
加されるアナログ電圧x(n)の移動平均y(n)を維
持し、例えば、それは次式のように表わすことが可能で
ある。
【0074】
【数式1】
【0075】尚、kは加算指数である。
【0076】次いで、DSP−B1はnの値をインクリ
メントし、且つ移動平均が移動した分がユーザが定義し
た分解能よりも小さいものである場合にはテストループ
から抜け出る。即ち、|y(n)−y(n−1)|<ε
である場合にループから抜け出る。移動平均がユーザが
画定した分解能の範囲内のものでない場合には、DSP
−B1は経路B1を介してx(n)のアップデートした
値のデジタル表示をアナログ供給源シーケンサ350へ
送給する。この流れのループは、DSP−B1がテスト
ループから抜け出るまで繰返し行なわれる。テストルー
プから抜け出ると、DSP−B1はy(n)の値をテス
タCPU805へ送給する。
【0077】この流れループを介して多数のパスにわた
り信号経路F1において時間に関しての電圧をモニタす
る場合には、zの値をオーバーシュートするまでそれは
増加する傾向であり、又zの値をアンダーシュートする
まで減少する傾向である。即ち、信号経路F1における
電圧は多数のパスにわたりコード遷移電圧zに関して振
動するように見え、それは次第に減少する振幅の鋸歯状
波のように見える。安定化された移動平均y(n)によ
って示されるように、ユーザが画定した分解能限界内に
おいてこの電圧信号がzに関して安定化すると、y
(n)の値をコードエッジ遷移電圧としてとることが可
能である。
【0078】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に基づく混合信号テスタの幾つかの機
能的能力を示した概略図。
【図2】 本発明に基づく混合信号テストシステムの全
体的なアーキテクチュアを示した概略図。
【図3】 本発明の好適実施例に基づく混合信号テスト
システムの信号チャンネルのハイレベルブロック線図を
示した概略図。
【図4】 図3のテストシステムの信号経路の詳細なブ
ロック図。
【図5】 図4のDSPエンジンのハイレベルアーキテ
クチュアを示した概略図。
【図6】 ブロック動作モードにおける図4のアナログ
チャンネルの1つの状態を示した概略図。
【図7】 ブロック動作モードにある図4のアナログチ
ャンネルの別の状態を示した概略図。
【図8】 本発明に基づく混合信号テストシステムの全
体的なアーキテクチュアを示した概略ブロック図。
【図9】 本発明に基づくテストシステムのハイレベル
動作を制御するためのテストプロセサにおいて走るスケ
ジューラープログラムのフローチャートを示した概略
図。
【図10】 本発明に基づいてテストシステムを所定の
形態とさせるためのユーザインターフェースの機能的表
示を示した概略図。
【図11】 本発明に基づいてテストシステムを所定の
形態とさせるための別のユーザインターフェースの表示
を示した概略図。
【図12】 本発明に基づくテストシステムのDSP機
能の階層的メニューを示した説明図。
【図13】 本発明に基づいて高精度波形測定のための
アナログチャンネルをセットアップするためにパラメー
タ入力を促すブロックをもったユーザインターフェース
の表示を示した概略図。
【図14】 本発明に基づいて高精度波形供給動作を行
なうためのアナログチャンネルをセットアップするため
にパラメータ入力を促すブロックをもったユーザインタ
ーフェースの表示を示した概略図。
【図15】 本発明に基づいてテスタを制御するのに有
用なソフトウエアツールの特徴を示した1つのグラフィ
ック表示を示した概略図。
【図16】 本発明に基づいてテスタを制御するのに有
用なソフトウエアツールの特徴を示した1つのグラフィ
ック表示を示した概略図。
【図17】 本発明に基づいてテスタを制御するのに有
用なソフトウエアツールの特徴を示した1つのグラフィ
ック表示を示した概略図。
【図18】 本発明に基づいてテスタを制御するのに有
用なソフトウエアツールの特徴を示した1つのグラフィ
ック表示を示した概略図。
【図19】 本発明に基づいてテスタを制御するのに有
用なソフトウエアツールの特徴を示した1つのグラフィ
ック表示を示した概略図。
【図20】 本発明に基づいてテスタを制御するのに有
用なソフトウエアツールの特徴を示した1つのグラフィ
ック表示を示した概略図。
【図21】 本発明に基づく混合信号テスタのランタイ
ム動作に対する状態線図を示した概略図。
【図22】 本発明に基づく混合信号テストの動作シー
ケンスを示した概略図。
【図23】 本発明に基づく混合信号テスタのアナログ
要素を所定の形態とするための「ロード」サブ状態線図
を示した概略図。
【図24】 本発明に基づく混合信号テスタのハードウ
エア要素を初期化させるための「インストール」サブ状
態線図を示した概略図。
【図25】 本発明に基づく混合信号テスタのアナログ
要素を初期化させるための「init(初期化)」サブ
状態線図を示した概略図。
【図26】 本発明に基づく混合信号テスタにおいての
テストの実行におけるアナログ要素の第一「execu
te(実行)」サブ状態線図を示した概略図。
【図27】 本発明に基づく混合信号テスタにおいての
テストの実行におけるアナログ要素の第二「execu
te(実行)」サブ状態線図を示した概略図。
【図28】 本発明に基づく混合信号テスタにおいての
テストの実行においてのアナログ要素の第三「exec
ute(実行)」サブ状態線図を示した概略図。
【図29】 本発明に基づく混合信号テスタにおいての
テストの実行においてのアナログ要素の第四「exec
ute(実行)」サブ状態線図を示した概略図。
【図30】 本発明に基づくCODEC送信/受信信号
対雑音比テストの主要な信号処理を示した概略図。
【図31】 本発明に基づくモデムビットエラーレート
テストの主要な信号処理を示した概略図。
【図32】 本発明に基づくA/Dサーボループコード
エッジ遷移正確性テストの主要な信号処理を示した概略
図。
【符号の説明】
100 混合信号DUT 105 アナログ入力端 110 正弦波 115 データシーケンサ 120 DAC 125 フィルタ 130 デジタル入力端 135 データシーケンサ 140 フォーマッタ 145 アナログ出力端 150 アナログ信号 155 フィルタ 160 ADC 165 捕獲メモリ 170 DSP 175 デジタル出力端 180 フォーマッタ 185 捕獲メモリ 190 DSP
フロントページの続き (72)発明者 カンナン コナス アメリカ合衆国, カリフォルニア 94536, フリモント, セイルフィッシ ュ コモン 38948 (72)発明者 ロバート ワイト イギリス国, ハンツ ビイエイチ24 3 エルエイ, リングウッド, ノース プ ルナー ロード 89 (72)発明者 エリック ノートン アメリカ合衆国, カリフォルニア 95014, クパチーノ, マククレラン ロード 22015 (72)発明者 スチュアート ロバート ピアース アメリカ合衆国, カリフォルニア 95136, サン ノゼ, サウザンド オ ークス コート 4515

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 混合信号集積回路被検査装置(DUT)
    テスト装置において、 (a)マスタクロック(250)、 (b)各デジタルチャンネルが、(i)前記マスタクロ
    ック(250)からタイミング基準を受取り且つデジタ
    ルピンエレクトロニクスと通信を行なうデジタルピンス
    ライス(310,315)、(ii)DUT(290)へ
    デジタル信号を印加し且つそれからデジタル信号を受取
    るために前記デジタルピンスライスと通信を行なうデジ
    タルピンエレクトロニクス(325,330)、を有す
    る複数個のデジタルチャンネル、 (c)各アナログチャンネルが、(i)前記DUT(2
    90)へ印加すべきアナログ信号のデジタル表示を発生
    するためのDSPモジュール(340)制御下にあるア
    ナログ供給源シーケンサ(350)、(ii)前記アナロ
    グ供給源シーケンサ(350)に応答して前記DUT
    (290)へアナログ信号を印加し且つDUT(29
    0)からアナログ信号を受取るアナログピンエレクトロ
    ニクス(345)、(iii )前記アナログピンエレクト
    ロニクス(350)に応答して前記DUT(290)に
    よって発生されるアナログ信号のデジタル表示を用意す
    るアナログ測定シーケンサ(355)、(iv)前記アナ
    ログ測定シーケンサ(355)内に格納されているアナ
    ログ信号の表示を処理し且つ前記アナログ供給源シーケ
    ンサ(350)へ制御情報を供給するプログラム可能な
    DSPモジュール(340)、を有している複数個のア
    ナログチャンネル、を有することを特徴とする装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記DSPモジュー
    ル(340)が第一DSP(500)、第二DSP(5
    05)、前記第一DSP(500)及び前記第二DSP
    (505)へアクセス可能な少なくとも1個のメモリ
    (530,535)を有することを特徴とする装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、前記第一DSP(5
    00)が前記アナログ測定シーケンサ(355)によっ
    て用意されたアナログ信号のデジタル表示を受取り、前
    記アナログ信号のデジタル表示を処理して結果を発生
    し、且つその結果を前記メモリ内に格納すべくプログラ
    ムされており、且つ前記第二DSP(505)が、前記
    メモリ内に格納されている前記結果へアクセスし且つ前
    記結果に依存して前記アナログ源シーケンサを制御すべ
    くプログラムされていることを特徴とする装置。
  4. 【請求項4】 請求項2において、前記少なくとも1個
    のメモリがグローバルメモリ(535)を有することを
    特徴とする装置。
  5. 【請求項5】 請求項2において、前記少なくとも1個
    のメモリがDSP間先入先出メモリ(530)を有する
    ことを特徴とする装置。
  6. 【請求項6】 請求項2において、前記DSPモジュー
    ル(340)が、更に、前記第一DSP(500)と通
    信を行なうデータメモリ(520)及びプログラムメモ
    リ(550)を有すると共に、前記第二DSP(50
    5)と通信を行なうデータメモリ(525)及びプログ
    ラムメモリ(555)を有することを特徴とする装置。
  7. 【請求項7】 請求項1において、前記DSPモジュー
    ル(340)がDSPエンジン(440)、第一メモリ
    (460)、第二メモリ(465)、前記第二メモリ
    (465)内のデータが前記DSPエンジン(440)
    へアクセス可能である間に前記第一メモリ(460)内
    へ格納するためにアナログ測定シーケンサ(355)か
    らの捕獲データを第一状態にある場合に選択的に通過す
    べく作用する多状態スイッチ(455)、前記第一メモ
    リ(460)内のデータが前記DSPエンジン(44
    0)へアクセス可能である間に前記第二メモリ(46
    5)内に格納するためにアナログ測定シーケンサ(35
    5)からの捕獲データを、第二状態にある場合に、選択
    的に通過させるべく作用するスイッチ(455)を有す
    ることを特徴とする装置。
  8. 【請求項8】 請求項7において、前記DSPエンジン
    (440)が、第一DSP(500)、第二DSP(5
    05)、前記第一DSP(500)及び前記第二DSP
    (505)へアクセス可能な少なくとも1個のメモリ
    (530,535)を有することを特徴とする装置。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002511590A (ja) * 1998-04-15 2002-04-16 テラダイン・インコーポレーテッド 自動試験装置のための高速リアルタイム状態相互接続
JP2002243808A (ja) * 2001-02-09 2002-08-28 Advantest Corp アナログ・デジタル混成ic用テストシステム
US6456102B1 (en) 2001-02-08 2002-09-24 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha External test ancillary device to be used for testing semiconductor device, and method of testing semiconductor device using the device
US6628137B2 (en) 2001-02-08 2003-09-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Apparatus and method for testing semiconductor integrated circuit
US6651023B2 (en) 2001-02-08 2003-11-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor test apparatus, and method of testing semiconductor device
US6653855B2 (en) 2001-02-08 2003-11-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha External test auxiliary device to be used for testing semiconductor device
US6690189B2 (en) 2001-02-08 2004-02-10 Renesas Technology Corp. Apparatus and method for testing semiconductor integrated circuit
US6714888B2 (en) 2001-02-08 2004-03-30 Renesas Technology Corp. Apparatus for testing semiconductor integrated circuit
US6900627B2 (en) 2001-02-08 2005-05-31 Renesas Technology Corp. Apparatus and method for testing semiconductor integrated circuit
JP2005300324A (ja) * 2004-04-09 2005-10-27 Agilent Technol Inc 被試験対象デバイスの測定データ解析方法、プログラム、および測定データ解析システム
JP2010014576A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Yokogawa Electric Corp 半導体試験装置
KR102319127B1 (ko) * 2020-07-14 2021-11-01 주식회사 엑시콘 비동기 패턴 데이터를 제공하는 피검사 디바이스 테스트 시스템

Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5646521A (en) * 1995-08-01 1997-07-08 Schlumberger Technologies, Inc. Analog channel for mixed-signal-VLSI tester
JP2814997B2 (ja) * 1996-08-08 1998-10-27 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置
US5918198A (en) * 1996-10-22 1999-06-29 Schlumberger Technologies Inc. Generating pulses in analog channel of ATE tester
US5978942A (en) * 1996-12-19 1999-11-02 Simd Solutions, Inc. STAR-I: scalable tester architecture with I-cached SIMD technology
US6018814A (en) * 1997-03-26 2000-01-25 Simd Solutions, Inc. Star-I: scalable tester architecture with I-cached SIMD technology
US5974363A (en) * 1997-04-09 1999-10-26 Lucent Technologies Inc. Self-testing of smart line cards
DE19737589C1 (de) * 1997-08-28 1998-11-26 Siemens Ag Interfaceschaltung für fullcustom- und semicustom-Taktdomänen
US6597394B1 (en) * 1997-11-16 2003-07-22 Pictos Technologies, Inc. Programmable image transform processor for digital image processing
US6032107A (en) * 1998-05-19 2000-02-29 Micron Technology, Inc. Calibrating test equipment
US6502221B1 (en) 1998-07-14 2002-12-31 Nvidia Corporation Prototype development system
US6449741B1 (en) 1998-10-30 2002-09-10 Ltx Corporation Single platform electronic tester
US7092837B1 (en) 1998-10-30 2006-08-15 Ltx Corporation Single platform electronic tester
US7173443B1 (en) 1998-11-24 2007-02-06 Advantest Corp. Semiconductor test system
US6498851B1 (en) 1998-11-25 2002-12-24 Sandisk Corporation Data encryption and signal scrambling using programmable data conversion arrays
US6154715A (en) * 1999-01-15 2000-11-28 Credence Systems Corporation Integrated circuit tester with real time branching
US6360343B1 (en) * 1999-02-26 2002-03-19 Advantest Corp. Delta time event based test system
US6367043B1 (en) * 1999-03-23 2002-04-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Implementation of signature analysis for analog and mixed signal circuits
US6512989B1 (en) * 1999-03-26 2003-01-28 Ltx Corporation Generating and controlling analog and digital signals on a mixed signal test system
TW495616B (en) * 1999-04-06 2002-07-21 Advantest Corp Test device and method for electrically testing electronic device
US6316933B1 (en) 1999-08-26 2001-11-13 Broadcom Corporation Test bus circuit and associated method
US6536006B1 (en) * 1999-11-12 2003-03-18 Advantest Corp. Event tester architecture for mixed signal testing
KR100598702B1 (ko) * 2000-03-22 2006-07-11 넥스원퓨처 주식회사 수신데이터의 수신감도 측정 시스템
CA2344793A1 (en) * 2000-04-27 2001-10-27 Odiletil Oliveira Silva Inspection apparatus
US6931579B2 (en) * 2000-04-28 2005-08-16 Mcgill University Integrated excitation/extraction system for test and measurement
US6925428B1 (en) * 2000-05-19 2005-08-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Multifunctional, multi-input, missile signal measurement apparatus
US6492798B2 (en) 2001-04-27 2002-12-10 Logicvision, Inc. Method and circuit for testing high frequency mixed signal circuits with low frequency signals
US7035755B2 (en) * 2001-08-17 2006-04-25 Credence Systems Corporation Circuit testing with ring-connected test instrument modules
US6826495B2 (en) * 2001-09-28 2004-11-30 Intel Corporation Noise injection method to characterize common-clock timing margins
KR20030067890A (ko) * 2002-02-08 2003-08-19 삼성전자주식회사 믹스드 신호용 반도체 소자 테스터 및 이를 이용한 검사방법
GB0213882D0 (en) * 2002-06-17 2002-07-31 Univ Strathclyde A digital system & method for testing analogue & mixed-signal circuits or systems
US6842022B2 (en) * 2002-09-20 2005-01-11 Agilent Technologies, Inc. System and method for heterogeneous multi-site testing
US7343538B2 (en) * 2003-02-13 2008-03-11 Credence Systems Corporation Programmable multi-function module for automatic test equipment systems
WO2004072668A1 (en) * 2003-02-13 2004-08-26 Mcgill Iniversity Mixed-signal-device testing
KR100945369B1 (ko) * 2003-06-30 2010-03-08 엘지디스플레이 주식회사 표시기기의 검사장치 및 그 검사방법
DE10332008B4 (de) * 2003-07-14 2006-08-10 Infineon Technologies Ag Elektrische Schaltung sowie Verfahren zum Testen von elektronischen Bauteilen
US6925408B2 (en) * 2003-09-08 2005-08-02 Texas Instruments Incorporated Mixed-signal core design for concurrent testing of mixed-signal, analog, and digital components
US6944558B2 (en) * 2003-10-14 2005-09-13 Agilent Technologies, Inc. Methods and apparatus for optimizing the masking of waveforms to reduce the number of waveforms in a list of waveforms
US7010453B2 (en) * 2003-10-14 2006-03-07 Agilent Technologies, Inc. Methods and apparatus for optimizing lists of waveforms
DE102004017787A1 (de) * 2004-04-02 2005-11-03 Atmel Germany Gmbh Verfahren und Testvorrichtung zum Testen integrierter Schaltungen
US7242209B2 (en) * 2004-05-03 2007-07-10 Dft Microsystems, Inc. System and method for testing integrated circuits
KR100548199B1 (ko) * 2004-07-15 2006-02-02 삼성전자주식회사 아날로그/디지털 혼합 신호 반도체 디바이스 테스트 장치
US7342603B2 (en) * 2004-11-23 2008-03-11 Inventec Corporation Image output test system and method and device thereof
US7373263B2 (en) * 2006-05-16 2008-05-13 Tektronix, Inx. Analog-type measurements for a logic analyzer
US8401812B2 (en) * 2006-12-22 2013-03-19 Advantest (Singapore) Pte Ltd Tester, method for testing a device under test and computer program
US8239158B2 (en) * 2008-08-04 2012-08-07 National Instruments Corporation Synchronizing a loop performed by a measurement device with a measurement and control loop performed by a processor of a host computer
KR101050111B1 (ko) 2008-12-26 2011-07-19 전자부품연구원 자동 테스트 시스템의 차등 신호 발생 장치 및 그 방법
WO2011028248A2 (en) * 2009-08-24 2011-03-10 California Institute Of Technology Electronic self-healing methods for radio-frequency receivers
US8324885B2 (en) * 2009-09-17 2012-12-04 Tektronix, Inc. Mixed signal acquisition system for a measurement instrument
US20110093225A1 (en) * 2009-10-20 2011-04-21 Ramesh P E Method of making frequency domain measurements on a time domain instrument
US8274296B2 (en) * 2009-11-11 2012-09-25 Advantest Corporation Test apparatus and electronic device that tests a device under test
DE102010029693A1 (de) * 2010-06-04 2011-12-08 Robert Bosch Gmbh Schaltungsanordnung zum Erkennen eines Fehlers eines Wandlers
US9350916B2 (en) * 2013-05-28 2016-05-24 Apple Inc. Interleaving image processing and image capture operations
US9384552B2 (en) 2013-06-06 2016-07-05 Apple Inc. Image registration methods for still image stabilization
US9491360B2 (en) 2013-06-06 2016-11-08 Apple Inc. Reference frame selection for still image stabilization
US9262684B2 (en) 2013-06-06 2016-02-16 Apple Inc. Methods of image fusion for image stabilization
US20150071547A1 (en) 2013-09-09 2015-03-12 Apple Inc. Automated Selection Of Keeper Images From A Burst Photo Captured Set
US9081927B2 (en) * 2013-10-04 2015-07-14 Jasper Design Automation, Inc. Manipulation of traces for debugging a circuit design
TWI569028B (zh) * 2014-05-02 2017-02-01 塞拉有限公司 除錯系統
JP7471240B2 (ja) * 2018-06-14 2024-04-19 テクトロニクス・インコーポレイテッド 試験測定装置及び試験測定装置の送信部
US11228368B1 (en) * 2020-09-03 2022-01-18 Microsoft Technology Licensing, Llc Characterization of inter-channel crosstalk in an optical network

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5243273A (en) * 1990-09-12 1993-09-07 Hewlett-Packard Company General purpose, reconfigurable system for processing serial bit streams
US5150048A (en) * 1990-09-12 1992-09-22 Hewlett-Packard Company General purpose, reconfigurable system for processing serial bit streams
DE9110554U1 (de) * 1991-08-26 1992-07-02 ITE Ing.-Büro Guinari, 8000 München Vorrichtung zum automatischen Prüfen von elektrische und/oder elektronische Bauelemente bzw. Baugruppen aufweisenden Prüfobjekten
JP3563750B2 (ja) * 1992-10-16 2004-09-08 テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド アナログ回路のための走査に基づく試験
US5646521A (en) * 1995-08-01 1997-07-08 Schlumberger Technologies, Inc. Analog channel for mixed-signal-VLSI tester

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002511590A (ja) * 1998-04-15 2002-04-16 テラダイン・インコーポレーテッド 自動試験装置のための高速リアルタイム状態相互接続
JP5025042B2 (ja) * 1998-04-15 2012-09-12 テラダイン・インコーポレーテッド 自動試験装置のための高速リアルタイム状態相互接続
US6690189B2 (en) 2001-02-08 2004-02-10 Renesas Technology Corp. Apparatus and method for testing semiconductor integrated circuit
US6628137B2 (en) 2001-02-08 2003-09-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Apparatus and method for testing semiconductor integrated circuit
US6651023B2 (en) 2001-02-08 2003-11-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor test apparatus, and method of testing semiconductor device
US6653855B2 (en) 2001-02-08 2003-11-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha External test auxiliary device to be used for testing semiconductor device
US6456102B1 (en) 2001-02-08 2002-09-24 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha External test ancillary device to be used for testing semiconductor device, and method of testing semiconductor device using the device
US6714888B2 (en) 2001-02-08 2004-03-30 Renesas Technology Corp. Apparatus for testing semiconductor integrated circuit
US6900627B2 (en) 2001-02-08 2005-05-31 Renesas Technology Corp. Apparatus and method for testing semiconductor integrated circuit
JP2002243808A (ja) * 2001-02-09 2002-08-28 Advantest Corp アナログ・デジタル混成ic用テストシステム
JP2005300324A (ja) * 2004-04-09 2005-10-27 Agilent Technol Inc 被試験対象デバイスの測定データ解析方法、プログラム、および測定データ解析システム
JP2010014576A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Yokogawa Electric Corp 半導体試験装置
KR102319127B1 (ko) * 2020-07-14 2021-11-01 주식회사 엑시콘 비동기 패턴 데이터를 제공하는 피검사 디바이스 테스트 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980013621A (ko) 1998-05-15
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KR100413075B1 (ko) 2004-03-26
US5748124A (en) 1998-05-05
FR2737575B1 (fr) 1998-09-25
JP3859776B2 (ja) 2006-12-20
DE19631005A1 (de) 1997-02-06

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