JPH09171886A - プレート状発熱体及び加熱装置 - Google Patents
プレート状発熱体及び加熱装置Info
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- JPH09171886A JPH09171886A JP7330395A JP33039595A JPH09171886A JP H09171886 A JPH09171886 A JP H09171886A JP 7330395 A JP7330395 A JP 7330395A JP 33039595 A JP33039595 A JP 33039595A JP H09171886 A JPH09171886 A JP H09171886A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 発熱体を正確に位置決めし、被加熱物を均一
に加熱すること。 【解決手段】 プレート状発熱体２は、ベースプレート
１からフェースプレート３に挿通されている第１のネジ
１２ａと第２のネジ１２ｂとによって締め付け固定され
ており、前記第１のネジ１２ａは前記フェースプレート
３の中央部分をネジ締めしており、前記フェースプレー
ト３の前記中央部分かつ表面にはへこみ部が形成されて
いる。前記プレート状発熱体２は、発熱線４ａ，４ｂを
巻着した複数の第１及び第２の絶縁基板２１ａ，２１ｂ
とこれらの絶縁基板２１ａ，２１ｂの間に設けた第１の
絶縁板２２とを内外関係に配置して凹凸関係で相互に組
み合わせている。
に加熱すること。 【解決手段】 プレート状発熱体２は、ベースプレート
１からフェースプレート３に挿通されている第１のネジ
１２ａと第２のネジ１２ｂとによって締め付け固定され
ており、前記第１のネジ１２ａは前記フェースプレート
３の中央部分をネジ締めしており、前記フェースプレー
ト３の前記中央部分かつ表面にはへこみ部が形成されて
いる。前記プレート状発熱体２は、発熱線４ａ，４ｂを
巻着した複数の第１及び第２の絶縁基板２１ａ，２１ｂ
とこれらの絶縁基板２１ａ，２１ｂの間に設けた第１の
絶縁板２２とを内外関係に配置して凹凸関係で相互に組
み合わせている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等の製造に
おけるベーキング処理及び成膜工程等におけるウエハ及
び基板等の焼成等の加熱処理に適用されるプレート状発
熱体、及び加熱装置に属する。
おけるベーキング処理及び成膜工程等におけるウエハ及
び基板等の焼成等の加熱処理に適用されるプレート状発
熱体、及び加熱装置に属する。
【０００２】
【従来の技術】液晶、半導体等の製造におけるベーキン
グ処理及び成膜工程等には加熱処理を必要とする工程が
ある。半導体製造におけるホトマスクを例として説明す
る。
グ処理及び成膜工程等には加熱処理を必要とする工程が
ある。半導体製造におけるホトマスクを例として説明す
る。
【０００３】ホトマスクは、ガラスやシリコンウエハ等
の基板上にクロミウムやアルミニウム等をスパッタリン
グさせ金属薄膜を形成させるメタライジング、その薄膜
上にフォトレジストと呼ばれる感光樹脂を被覆させる塗
布、例えば、遮光作用のあるフォトマスクを用いて紫外
線照射してパターン焼き付けをする露光、露光部を溶剤
処理で除去してパターンに応じた樹脂被覆のマスクを残
させる現像、さらに酸処理で樹脂被覆のない金属薄膜部
分を除去するエッチング、最後にマスクに残ったフォト
レジストを剥離、の各工程を経て完了する。
の基板上にクロミウムやアルミニウム等をスパッタリン
グさせ金属薄膜を形成させるメタライジング、その薄膜
上にフォトレジストと呼ばれる感光樹脂を被覆させる塗
布、例えば、遮光作用のあるフォトマスクを用いて紫外
線照射してパターン焼き付けをする露光、露光部を溶剤
処理で除去してパターンに応じた樹脂被覆のマスクを残
させる現像、さらに酸処理で樹脂被覆のない金属薄膜部
分を除去するエッチング、最後にマスクに残ったフォト
レジストを剥離、の各工程を経て完了する。
【０００４】露光工程において、フォトレジスト被覆を
施した基板を加熱装置の上に搭載して加熱させると露光
を促進させることができる。これは、感光剤が紫外線照
射により重合又は分解する飯能を露光というが、加熱に
より飯能速度が早くなるためである。したがって、加熱
装置を使用するならば、感光剤の露光感度は基板温度に
左右されるため、加熱装置の表面温度分布は均一でなけ
ればならない。
施した基板を加熱装置の上に搭載して加熱させると露光
を促進させることができる。これは、感光剤が紫外線照
射により重合又は分解する飯能を露光というが、加熱に
より飯能速度が早くなるためである。したがって、加熱
装置を使用するならば、感光剤の露光感度は基板温度に
左右されるため、加熱装置の表面温度分布は均一でなけ
ればならない。
【０００５】従来の加熱装置は、図５に示すように、ベ
ースプレート１０１と、ベースプレート１０１の一方面
上に設けたプレート状発熱体１０２と、プレート状発熱
体の一方面上に設けたフェースプレート１０３とを有し
ている。
ースプレート１０１と、ベースプレート１０１の一方面
上に設けたプレート状発熱体１０２と、プレート状発熱
体の一方面上に設けたフェースプレート１０３とを有し
ている。
【０００６】プレート状発熱体１０２には、発熱線１０
４が設けられており、発熱線１０４の両端部はリード線
１０５に接続され、リード線１０５をベースプレート１
０１の外に引き出している。
４が設けられており、発熱線１０４の両端部はリード線
１０５に接続され、リード線１０５をベースプレート１
０１の外に引き出している。
【０００７】プレート状発熱体１０２は、ベースプレー
ト１０１からフェースプレート１０３の周縁部の近傍
で、これらに挿通されているネジ１０６によってベース
プレート１０１とフェースプレート１０３との間で締め
付け固定されている。さらにプレート状発熱体１０２
は、絶縁板に発熱線１０４を巻着し、両面に絶縁板を設
けたものを採用している。
ト１０１からフェースプレート１０３の周縁部の近傍
で、これらに挿通されているネジ１０６によってベース
プレート１０１とフェースプレート１０３との間で締め
付け固定されている。さらにプレート状発熱体１０２
は、絶縁板に発熱線１０４を巻着し、両面に絶縁板を設
けたものを採用している。
【０００８】この加熱装置では、プレート状発熱体１０
２からの熱伝導によってフェースプレート１０３の表面
に搭載される被加熱物（図示せず）を加熱するものであ
る。
２からの熱伝導によってフェースプレート１０３の表面
に搭載される被加熱物（図示せず）を加熱するものであ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フェー
スプレート１０３の表面温度は、フェースプレート１０
３の中央部分よりも周縁部分に近付くにしたがって低く
なる。その理由は、プレート状発熱体１０２において、
発熱線１０４が絶縁板上に中央部から周縁部分にかけて
放射状に沿わせてあるので、その巻着状態は中央部は密
に、周縁部は中央部に比べて粗になっているため熱の放
散が他の部分よりも大きいことにある。
スプレート１０３の表面温度は、フェースプレート１０
３の中央部分よりも周縁部分に近付くにしたがって低く
なる。その理由は、プレート状発熱体１０２において、
発熱線１０４が絶縁板上に中央部から周縁部分にかけて
放射状に沿わせてあるので、その巻着状態は中央部は密
に、周縁部は中央部に比べて粗になっているため熱の放
散が他の部分よりも大きいことにある。
【００１０】したがって、フェースプレート１０３は、
熱膨脹によって中央部分が、図５の二点鎖線で示すよう
に、２ミクロン程度盛り上がってしまう。例えば、フェ
ースプレート１０３の表面に被加熱物としてウエハを乗
せて加熱する場合には、ウエハが不安定な状態で乗せら
れるため、均一な加熱処理ができないという問題があ
る。
熱膨脹によって中央部分が、図５の二点鎖線で示すよう
に、２ミクロン程度盛り上がってしまう。例えば、フェ
ースプレート１０３の表面に被加熱物としてウエハを乗
せて加熱する場合には、ウエハが不安定な状態で乗せら
れるため、均一な加熱処理ができないという問題があ
る。
【００１１】また、フェースプレート１０３の表面温度
は、フェースプレート１０３の中央部分よりも周縁部分
に近付くにしたがって低くなることから、プレート状発
熱体１０２は、単に、絶縁板に発熱線を巻着したもので
はフェースプレート１０３の表面の均一な温度分布が得
られない。このため、フェースプレート１０３の中央部
分及び周囲部分を加熱するように別々のプレート状発熱
体１０２を設ける構成が提案されているが、所定位置に
２つのプレート状発熱体１０２を位置付けする作業は極
めて困難なものとなっている。
は、フェースプレート１０３の中央部分よりも周縁部分
に近付くにしたがって低くなることから、プレート状発
熱体１０２は、単に、絶縁板に発熱線を巻着したもので
はフェースプレート１０３の表面の均一な温度分布が得
られない。このため、フェースプレート１０３の中央部
分及び周囲部分を加熱するように別々のプレート状発熱
体１０２を設ける構成が提案されているが、所定位置に
２つのプレート状発熱体１０２を位置付けする作業は極
めて困難なものとなっている。
【００１２】それ故に本発明の課題は、フェースプレー
トの温度分布を向上し、被加熱物を均一に加熱できるプ
レート状発熱体及び加熱装置を提供することにある。
トの温度分布を向上し、被加熱物を均一に加熱できるプ
レート状発熱体及び加熱装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数枚
の絶縁基板と、該複数枚の絶縁基板のそれぞれに巻着し
た発熱線とを有しているプレート状発熱体において、前
記発熱線を巻着した前記複数枚の絶縁基板は、これらが
一面方向でかつ内側と外側との関係で相互に複数枚が組
み合わされており、隣合う前記絶縁基板の間に介在した
絶縁板を有し、前記絶縁基板及び絶縁板にはこれらの周
縁部に凹部と凸部とが相互に切り欠き状に形成されてい
るものであり、前記絶縁基板及び絶縁板は凹凸関係で相
互に係合していることを特徴とするプレート状発熱体が
得られる。
の絶縁基板と、該複数枚の絶縁基板のそれぞれに巻着し
た発熱線とを有しているプレート状発熱体において、前
記発熱線を巻着した前記複数枚の絶縁基板は、これらが
一面方向でかつ内側と外側との関係で相互に複数枚が組
み合わされており、隣合う前記絶縁基板の間に介在した
絶縁板を有し、前記絶縁基板及び絶縁板にはこれらの周
縁部に凹部と凸部とが相互に切り欠き状に形成されてい
るものであり、前記絶縁基板及び絶縁板は凹凸関係で相
互に係合していることを特徴とするプレート状発熱体が
得られる。
【００１４】また本発明によれば、複数枚の絶縁基板
と、該複数枚の絶縁基板のそれぞれに巻着した発熱線と
を有しているプレート状発熱体において、前記発熱線を
巻着した前記複数枚の絶縁基板は、これらが一面方向で
かつ内側と外側との関係で相互に組み合わされており、
隣合う前記絶縁基板の間に介在した絶縁板を有し、前記
絶縁基板及び絶縁板にはこれらの周縁部に凹部と凸部と
が相互に切り欠き状に形成されているものであり、前記
絶縁基板及び絶縁板は凹凸関係で相互に係合し、さらに
前記内側の前記発熱線を巻着した絶縁基板は、これらが
複数枚に分割された状態で前記絶縁板の内側に組み合わ
されていることを特徴とするプレート状発熱体が得られ
る。
と、該複数枚の絶縁基板のそれぞれに巻着した発熱線と
を有しているプレート状発熱体において、前記発熱線を
巻着した前記複数枚の絶縁基板は、これらが一面方向で
かつ内側と外側との関係で相互に組み合わされており、
隣合う前記絶縁基板の間に介在した絶縁板を有し、前記
絶縁基板及び絶縁板にはこれらの周縁部に凹部と凸部と
が相互に切り欠き状に形成されているものであり、前記
絶縁基板及び絶縁板は凹凸関係で相互に係合し、さらに
前記内側の前記発熱線を巻着した絶縁基板は、これらが
複数枚に分割された状態で前記絶縁板の内側に組み合わ
されていることを特徴とするプレート状発熱体が得られ
る。
【００１５】また本発明によれば、ベースプレートと、
該ベースプレートの一方面上に設けたプレート状発熱体
と、該プレート状発熱体の一方面上に設けたフェースプ
レートとを含む加熱装置において、前記プレート状発熱
体は、前記ベースプレートから前記フェースプレートに
挿通されている第１のネジと第２のネジとによって前記
ベースプレートと前記フェースプレートとの間に締め付
け固定されており、前記第１のネジは前記フェースプレ
ートの中央部分をネジ締めしており、前記第２のネジは
前記フェースプレートの周縁近傍をネジ締めしており、
前記フェースプレートの前記中央部分かつ表面が凹面形
状に形成されていることを特徴とする加熱装置が得られ
る。
該ベースプレートの一方面上に設けたプレート状発熱体
と、該プレート状発熱体の一方面上に設けたフェースプ
レートとを含む加熱装置において、前記プレート状発熱
体は、前記ベースプレートから前記フェースプレートに
挿通されている第１のネジと第２のネジとによって前記
ベースプレートと前記フェースプレートとの間に締め付
け固定されており、前記第１のネジは前記フェースプレ
ートの中央部分をネジ締めしており、前記第２のネジは
前記フェースプレートの周縁近傍をネジ締めしており、
前記フェースプレートの前記中央部分かつ表面が凹面形
状に形成されていることを特徴とする加熱装置が得られ
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１及び図２は、本発明の加熱装
置の一実施の形態例を示している。図１及び図２を参照
して、加熱装置は、ベースプレート１と、ベースプレー
ト１の一方面上に設けたプレート状発熱体２と、プレー
ト状発熱体２の一方面上に設けたフェースプレート３と
を有している。
置の一実施の形態例を示している。図１及び図２を参照
して、加熱装置は、ベースプレート１と、ベースプレー
ト１の一方面上に設けたプレート状発熱体２と、プレー
ト状発熱体２の一方面上に設けたフェースプレート３と
を有している。
【００１７】フェースプレート３は、プレート状発熱体
２からの熱の伝導によってフェースプレート３の表面に
搭載される被加熱物（図示せず）を加熱するものであ
る。フェースプレート３は、アルミニウム材、銅もしく
は銅合金材によって作られており、ベースプレート１は
フェースプレート３よりも硬質な金属材によって作られ
ている。
２からの熱の伝導によってフェースプレート３の表面に
搭載される被加熱物（図示せず）を加熱するものであ
る。フェースプレート３は、アルミニウム材、銅もしく
は銅合金材によって作られており、ベースプレート１は
フェースプレート３よりも硬質な金属材によって作られ
ている。
【００１８】プレート状発熱体２は、図２に示すよう
に、マイカ板のような絶縁基板２１に帯線状の発熱線
（金属抵抗線）４を巻着したものであり、絶縁基板２１
及び発熱線４を二枚のマイカ板のような絶縁保護板８
ａ，８ｂによって挟み込んだものである。即ち、フェー
スプレート３とベースプレート１との間に少なくとも２
枚の絶縁保護板８ａ，８ｂを配し、絶縁保護板８ａ，８
ｂの間にプレート状発熱体２が設けられ、プレート状発
熱体２が第１及び第２のネジ１２ａ，１２ｂによって固
定されている。なお、プレート状発熱体２の具体的な構
成については、後述する。
に、マイカ板のような絶縁基板２１に帯線状の発熱線
（金属抵抗線）４を巻着したものであり、絶縁基板２１
及び発熱線４を二枚のマイカ板のような絶縁保護板８
ａ，８ｂによって挟み込んだものである。即ち、フェー
スプレート３とベースプレート１との間に少なくとも２
枚の絶縁保護板８ａ，８ｂを配し、絶縁保護板８ａ，８
ｂの間にプレート状発熱体２が設けられ、プレート状発
熱体２が第１及び第２のネジ１２ａ，１２ｂによって固
定されている。なお、プレート状発熱体２の具体的な構
成については、後述する。
【００１９】プレート状発熱体２の下方には保持板９が
設けられている。保持板９には反射板を兼ねる熱遮蔽板
１０が固定されている。プレート状発熱体２はベースプ
レート１及びフェースプレート３の間で三本の第１のネ
ジ１２ａと四本の第２のネジ１２ｂによって一体に固着
されている。即ち、プレート状発熱体２は、ベースプレ
ート１からフェースプレート３に挿通されている第１の
ネジ１２ａと、第２のネジ１２ｂとによってベースプレ
ート１とフェースプレート３との間に締め付け固定され
ている。第１のネジ１２ａはフェースプレート３の中央
部分をネジ締めしており、第２のネジ１２ｂはフェース
プレート３の周縁近傍をネジ締めしている。
設けられている。保持板９には反射板を兼ねる熱遮蔽板
１０が固定されている。プレート状発熱体２はベースプ
レート１及びフェースプレート３の間で三本の第１のネ
ジ１２ａと四本の第２のネジ１２ｂによって一体に固着
されている。即ち、プレート状発熱体２は、ベースプレ
ート１からフェースプレート３に挿通されている第１の
ネジ１２ａと、第２のネジ１２ｂとによってベースプレ
ート１とフェースプレート３との間に締め付け固定され
ている。第１のネジ１２ａはフェースプレート３の中央
部分をネジ締めしており、第２のネジ１２ｂはフェース
プレート３の周縁近傍をネジ締めしている。
【００２０】さらに、フェースプレート３の表面は、凹
面３ａ形状とし、フェースプレート３の表面の中心部分
のへこみを２〜１０マイクロメートルとして形成されて
いる。このフェースプレート３は、第１のネジ１２ａの
締め付け力によってフェースプレート３の中央部分をベ
ースプレート１側に引き付けることによってへこみ部３
ａのへこみ形状を維持させている。
面３ａ形状とし、フェースプレート３の表面の中心部分
のへこみを２〜１０マイクロメートルとして形成されて
いる。このフェースプレート３は、第１のネジ１２ａの
締め付け力によってフェースプレート３の中央部分をベ
ースプレート１側に引き付けることによってへこみ部３
ａのへこみ形状を維持させている。
【００２１】保持板９とベースプレート１とは複数のス
ペーサ１１及び複数の第３のネジ１３とを介して一体に
固定されている。熱遮蔽板１０は保持板９に複数のスペ
ーサ１５を介して複数の第４のネジ１４によって一体に
固着されている。保持板９は加熱装置を保持する保持部
材１７によって保持されている。
ペーサ１１及び複数の第３のネジ１３とを介して一体に
固定されている。熱遮蔽板１０は保持板９に複数のスペ
ーサ１５を介して複数の第４のネジ１４によって一体に
固着されている。保持板９は加熱装置を保持する保持部
材１７によって保持されている。
【００２２】プレート状発熱体２の発熱線４は、リード
線５に接続されて、ベースプレート１に形成されている
リード穴１ａから保持板９のリード穴９ａ及び熱遮蔽板
１０のリード穴１０ａのそれぞれを通して外に導出され
ている。また、ベースプレート１の裏面には温度過昇防
止器１８が設けられている。さらにフェースプレート３
には、ベースプレート１側からフェースプレート３の温
度を検出するための温度検出素子１９が挿入されてい
る。温度過昇防止器１８及び温度検出素子１９は図示し
ない制御装置によってプレート状発熱体２の電源を開閉
する役目を果たすものである。
線５に接続されて、ベースプレート１に形成されている
リード穴１ａから保持板９のリード穴９ａ及び熱遮蔽板
１０のリード穴１０ａのそれぞれを通して外に導出され
ている。また、ベースプレート１の裏面には温度過昇防
止器１８が設けられている。さらにフェースプレート３
には、ベースプレート１側からフェースプレート３の温
度を検出するための温度検出素子１９が挿入されてい
る。温度過昇防止器１８及び温度検出素子１９は図示し
ない制御装置によってプレート状発熱体２の電源を開閉
する役目を果たすものである。
【００２３】具体的には、フェースプレート３は、直径
２２０ｍｍ，厚さ寸法 １３ｍｍ、のほぼ平坦な形状
のものであって、フェースプレート３の表面にはアルミ
酸化膜処理が施されている。ベースプレート１は、フェ
ースプレート３と同じ直径のものであり、厚さ寸法 ４
ｍｍの鋼材によって作られている。プレート状発熱体２
は、フェースプレート３と同じ直径のものであり、厚さ
寸法 ２ｍｍである。
２２０ｍｍ，厚さ寸法 １３ｍｍ、のほぼ平坦な形状
のものであって、フェースプレート３の表面にはアルミ
酸化膜処理が施されている。ベースプレート１は、フェ
ースプレート３と同じ直径のものであり、厚さ寸法 ４
ｍｍの鋼材によって作られている。プレート状発熱体２
は、フェースプレート３と同じ直径のものであり、厚さ
寸法 ２ｍｍである。
【００２４】この加熱装置では、プレート状発熱体２か
ら絶縁保護板８ｂを介してフェースプレート３に熱が伝
わる。この際、フェースプレート３には凹面３ａが形成
されており、フェースプレート３の中央部分が表面上方
に膨れるように作用しても表面よりも膨らむことがない
ため、被加熱物を安定した状態で表面に乗せておくこと
ができる。
ら絶縁保護板８ｂを介してフェースプレート３に熱が伝
わる。この際、フェースプレート３には凹面３ａが形成
されており、フェースプレート３の中央部分が表面上方
に膨れるように作用しても表面よりも膨らむことがない
ため、被加熱物を安定した状態で表面に乗せておくこと
ができる。
【００２５】次に、実施の形態例に示した加熱装置に用
いた上記プレート状発熱体２の第１の実施の形態例を図
３によって具体的に説明する。
いた上記プレート状発熱体２の第１の実施の形態例を図
３によって具体的に説明する。
【００２６】図３を参照して、プレート状発熱体２は、
二枚の絶縁基板２１ａ、２１ｂと、二枚の絶縁基板２１
ａ、２１ｂのそれぞれに巻着した発熱線４ａ，４ｂとを
有している。発熱線４ａ，４ｂを巻着した二枚の絶縁基
板２１ａ、２１ｂは、これらが面方向でかつ内側と外側
との関係で組み合わされている。隣合う絶縁基板２１
ａ、２１ｂの間には第１の絶縁板２２が介在されてい
る。内側の絶縁基板２１ｂの内側には、第２の絶縁板３
０が設けられてる。絶縁基板２１ａ、２１ｂ、第１及び
第２の絶縁板２２、３０には、これらの周縁部に歯車の
歯形状に凹部２４ａ〜２４ｅと凸部２５ａ〜２５ｅとが
相互に切り欠き形成されている。即ち、絶縁基板２１
ａ、２１ｂ，第１及び第２の絶縁板２２、３０は凹凸関
係で相互に係合している。
二枚の絶縁基板２１ａ、２１ｂと、二枚の絶縁基板２１
ａ、２１ｂのそれぞれに巻着した発熱線４ａ，４ｂとを
有している。発熱線４ａ，４ｂを巻着した二枚の絶縁基
板２１ａ、２１ｂは、これらが面方向でかつ内側と外側
との関係で組み合わされている。隣合う絶縁基板２１
ａ、２１ｂの間には第１の絶縁板２２が介在されてい
る。内側の絶縁基板２１ｂの内側には、第２の絶縁板３
０が設けられてる。絶縁基板２１ａ、２１ｂ、第１及び
第２の絶縁板２２、３０には、これらの周縁部に歯車の
歯形状に凹部２４ａ〜２４ｅと凸部２５ａ〜２５ｅとが
相互に切り欠き形成されている。即ち、絶縁基板２１
ａ、２１ｂ，第１及び第２の絶縁板２２、３０は凹凸関
係で相互に係合している。
【００２７】外側及び内側の関係に組み合わされた二枚
の絶縁基板２１ａ、２１ｂ及び第１の絶縁板２２は、ド
ーナツ形状を呈している。即ち、二枚の絶縁基板２１
ａ、２１ｂ及び絶縁板２２は同心円状に配置されて組み
合わされている。
の絶縁基板２１ａ、２１ｂ及び第１の絶縁板２２は、ド
ーナツ形状を呈している。即ち、二枚の絶縁基板２１
ａ、２１ｂ及び絶縁板２２は同心円状に配置されて組み
合わされている。
【００２８】図３において、外側の絶縁基板２１ａの外
側周縁部には、六か所に大きな切り欠き部２８が形成さ
れている。これらの切り欠き部２８の内側には、図２に
示した第２のネジ１２ｂが発熱線４ａに離間して挿入さ
れる。また、図２にも示したように、第２の絶縁板３０
の中央部には第１のネジ１２ａを通すためのネジ穴３１
ａが形成されている。さらに発熱線４ａ、４ｂはこれら
が直列に接続されて、発熱線４ａ、４ｂの両端が引き出
し部３３に収束されている。
側周縁部には、六か所に大きな切り欠き部２８が形成さ
れている。これらの切り欠き部２８の内側には、図２に
示した第２のネジ１２ｂが発熱線４ａに離間して挿入さ
れる。また、図２にも示したように、第２の絶縁板３０
の中央部には第１のネジ１２ａを通すためのネジ穴３１
ａが形成されている。さらに発熱線４ａ、４ｂはこれら
が直列に接続されて、発熱線４ａ、４ｂの両端が引き出
し部３３に収束されている。
【００２９】図４に示すプレート状発熱体２は、プレー
ト状発熱体２の第１の実施の形態例を変形した第２の実
施の形態例を示している。なお、この第２の実施の形態
例において第１の実施の形態例と同じ機能を果たす部分
に同じ符号を付して説明の一部を省略する。
ト状発熱体２の第１の実施の形態例を変形した第２の実
施の形態例を示している。なお、この第２の実施の形態
例において第１の実施の形態例と同じ機能を果たす部分
に同じ符号を付して説明の一部を省略する。
【００３０】図４を参照して、プレート状発熱体２は、
二枚の絶縁基板２１ａ、２１ｂと、二枚の絶縁基板２１
ａ、２１ｂのそれぞれに巻着した発熱線４ａ，４ｂとを
有している。発熱線４ａ，４ｂを巻着した二枚の絶縁基
板２１ａ、２１ｂは、これらが面方向でかつ内側と外側
との関係で組み合わされている。隣合う絶縁基板２１
ａ、２１ｂの間には第１の絶縁板２２が介在されてい
る。
二枚の絶縁基板２１ａ、２１ｂと、二枚の絶縁基板２１
ａ、２１ｂのそれぞれに巻着した発熱線４ａ，４ｂとを
有している。発熱線４ａ，４ｂを巻着した二枚の絶縁基
板２１ａ、２１ｂは、これらが面方向でかつ内側と外側
との関係で組み合わされている。隣合う絶縁基板２１
ａ、２１ｂの間には第１の絶縁板２２が介在されてい
る。
【００３１】絶縁基板２１ａ、２１ｂ、第１の絶縁板２
２には、これらの周縁部に歯車の歯形状に凹部２４ａ〜
２４ｄと凸部２５ａ〜２５ｄとが相互に切り欠き形成さ
れている。即ち、絶縁基板２１ａ、２１ｂ，第１の絶縁
板２２は凹凸関係で相互に係合している。
２には、これらの周縁部に歯車の歯形状に凹部２４ａ〜
２４ｄと凸部２５ａ〜２５ｄとが相互に切り欠き形成さ
れている。即ち、絶縁基板２１ａ、２１ｂ，第１の絶縁
板２２は凹凸関係で相互に係合している。
【００３２】さらに、外側及び内側の関係に組み合わさ
れた二枚の絶縁基板２１ａ、２１ｂはドーナツ形状を呈
している。発熱線４ｂを巻着した内側の絶縁基板２１ｂ
は、これらが三枚に分割された状態で第１の絶縁板２２
の内側に組み合わされている。発熱線４ｂを巻着した内
側の絶縁基板２１ｂは，径方向に三分割されているとと
もに同心円状に組み合わされている、内側の絶縁基板２
１ｂは分割縁部分Ａのそれぞれで対向している縁部分の
それぞれに凹部３２ａと凸部３２ｂとが相互に切り欠き
形成されている。また、内側の絶縁基板２１ｂの中央部
には、三角形状の空間部Ｓが形成されている。この空間
部Ｓは、発熱線４ｂを内側の絶縁基板２１ｂに所定方向
に巻き付けるときに必要となる縁部分によって形成され
る。
れた二枚の絶縁基板２１ａ、２１ｂはドーナツ形状を呈
している。発熱線４ｂを巻着した内側の絶縁基板２１ｂ
は、これらが三枚に分割された状態で第１の絶縁板２２
の内側に組み合わされている。発熱線４ｂを巻着した内
側の絶縁基板２１ｂは，径方向に三分割されているとと
もに同心円状に組み合わされている、内側の絶縁基板２
１ｂは分割縁部分Ａのそれぞれで対向している縁部分の
それぞれに凹部３２ａと凸部３２ｂとが相互に切り欠き
形成されている。また、内側の絶縁基板２１ｂの中央部
には、三角形状の空間部Ｓが形成されている。この空間
部Ｓは、発熱線４ｂを内側の絶縁基板２１ｂに所定方向
に巻き付けるときに必要となる縁部分によって形成され
る。
【００３３】なお、図２に示した第１のネジ１２ａを挿
通するネジ穴３１は、内側の絶縁基板２１ｂの分割縁部
分Ａの双方を半円弧に切り欠くことによって形成されて
いる。内側の絶縁基板２１ｂの発熱線４ｂは，これらを
直列にっ接続し、外側の絶縁基板２１ａの発熱線４ａに
接続する。
通するネジ穴３１は、内側の絶縁基板２１ｂの分割縁部
分Ａの双方を半円弧に切り欠くことによって形成されて
いる。内側の絶縁基板２１ｂの発熱線４ｂは，これらを
直列にっ接続し、外側の絶縁基板２１ａの発熱線４ａに
接続する。
【００３４】このように、プレート状発熱体２の第１及
び第２の実施の形態例では、いずれも凹部２４ａ〜２４
ｅ，３２ａに発熱線４ａ，４ｂが掛け止められ、凹部２
４ａ〜２４ｅ，２５ａ〜２５ｅを所定位置で組み合わせ
ると、一枚のプレート状発熱体２が完成する。
び第２の実施の形態例では、いずれも凹部２４ａ〜２４
ｅ，３２ａに発熱線４ａ，４ｂが掛け止められ、凹部２
４ａ〜２４ｅ，２５ａ〜２５ｅを所定位置で組み合わせ
ると、一枚のプレート状発熱体２が完成する。
【００３５】
【発明の効果】以上、各実施の形態例で説明したよう
に、本発明の加熱装置によると、フェースプレートをネ
ジによって引き付けてフェースプレートの表面にへこみ
部を形成するようにしたため、フェースプレートの中央
部が膨れることがなくなるため、被加熱物を安定した状
態で乗せて加熱処理を行うことができる。
に、本発明の加熱装置によると、フェースプレートをネ
ジによって引き付けてフェースプレートの表面にへこみ
部を形成するようにしたため、フェースプレートの中央
部が膨れることがなくなるため、被加熱物を安定した状
態で乗せて加熱処理を行うことができる。
【００３６】また、プレート状発熱体は、這う熱線を巻
着した複数の絶縁基板を凹凸関係で組み合わせる構成と
したため、各絶縁基板の位置を正確に設置できるととも
に、製造工程における効率をも向上することができる。
着した複数の絶縁基板を凹凸関係で組み合わせる構成と
したため、各絶縁基板の位置を正確に設置できるととも
に、製造工程における効率をも向上することができる。
【図１】本発明の加熱装置の第一の実施の形態例を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】図１の加熱装置の分解斜視図である。
【図３】本発明の加熱装置に用いるプレート状発熱体の
第１の実施の形態例を示す平面図である。
第１の実施の形態例を示す平面図である。
【図４】本発明の加熱装置に用いるプレート状発熱体の
第２の実施の形態例を示す平面図である。
第２の実施の形態例を示す平面図である。
【図５】従来の加熱装置を示す断面図である。
１、１０１ ベースプレート ２、１０２ プレート状発熱体 ３、１０３ フェースプレート ３ａ 凹面 ４ａ、４ｂ、１０４ 発熱線 ５、１０５ リード線 ８ａ、８ｂ 絶縁保護板 ９ 保持板 １０ 熱遮蔽板 １１、１５ スペーサ １２ａ 第１のネジ １２ｂ 第２のネジ １３ 第３のネジ １４ 第４のネジ １８ 温度過昇防止器 １９ 温度検出素子 ２１ａ 第１の絶縁基板 ２１ｂ 第２の絶縁基板 ２２ 第１の絶縁板 ３０ 第２の絶縁板 ２４ａ〜２４ｅ、３２ａ 凹部 ２５ａ〜２５ｅ、３２ｂ 凸部
Claims (11)
- 【請求項１】 複数枚の絶縁基板と、該絶縁基板のそれ
ぞれに巻着した発熱線とを有しているプレート状発熱体
において、前記発熱線を巻着した前記複数枚の絶縁基板
は、これらが一面方向でかつ内側と外側との関係で相互
に複数枚が組み合わされており、隣合う前記絶縁基板の
間に介在した絶縁板を有し、前記絶縁基板及び絶縁板に
はこれらの周縁部に凹部と凸部とが相互に切り欠き状に
形成されているものであり、前記絶縁基板及び絶縁板は
凹凸関係で相互に係合していることを特徴とするプレー
ト状発熱体。 - 【請求項２】 請求項１記載のプレート状発熱体におい
て、前記外側及び内側の関係に組み合わされた前記複数
枚の絶縁基板及び前記絶縁板は、これらがドーナツ形状
を呈しておりかつ同心円状に組み合わされていることを
特徴とするプレート状発熱体。 - 【請求項３】 複数枚の絶縁基板と、該複数枚の絶縁基
板のそれぞれに巻着した発熱線とを有しているプレート
状発熱体において、前記発熱線を巻着した前記複数枚の
絶縁基板は、これらが一面方向でかつ内側と外側との関
係で相互に組み合わされており、隣合う前記絶縁基板の
間に介在した絶縁板を有し、前記絶縁基板及び絶縁板に
はこれらの周縁部に凹部と凸部とが相互に切り欠き状に
形成されているものであり、前記絶縁基板及び絶縁板は
凹凸関係で相互に係合し、さらに前記内側の前記発熱線
を巻着した絶縁基板は、これらが複数枚に分割された状
態で前記絶縁板の内側に組み合わされていることを特徴
とするプレート状発熱体。 - 【請求項４】 請求項３記載のプレート状発熱体におい
て、前記外側及び内側の関係に組み合わされた前記絶縁
基板及び前記絶縁板はドーナツ形状を呈しておりかつ前
記内側の前記発熱線を巻着した前記複数枚絶縁基板は径
方向に分割されているとともに同心円状に組み合わされ
ており、さらに分割縁部分で対向している縁部分のそれ
ぞれに凹部と凸部とが相互に切り欠き状に形成されてい
ることを特徴とするプレート状発熱体。 - 【請求項５】 請求項１又は３記載のプレート状発熱体
において、前記凹部に前記発熱線が掛け止められている
ことを特徴とするプレート状発熱体。 - 【請求項６】 請求項１又は２記載のプレート状発熱体
において、前記複数枚の絶縁基板及び前記絶縁板はマイ
カ板であることをを特徴とするプレート状発熱体。 - 【請求項７】 請求項１又は２記載のプレート状発熱体
において、該複数枚の絶縁基板のそれぞれの表裏面に巻
着した発熱線は、これらが直列に接続されていることを
特徴とするプレート状発熱体。 - 【請求項８】 ベースプレートと、該ベースプレートの
一方面上に設けたプレート状発熱体と、該プレート状発
熱体の一方面上に設けたフェースプレートとを含む加熱
装置において、前記プレート状発熱体は、前記ベースプ
レートから前記フェースプレートに挿通されている第１
のネジと第２のネジとによって前記ベースプレートと前
記フェースプレートとの間に締め付け固定されており、
前記第１のネジは前記フェースプレートの中央部分をネ
ジ締めしており、前記第２のネジは前記フェースプレー
トの周縁近傍をネジ締めしており、前記フェースプレー
トの表面が凹面形状に形成されていることを特徴とする
加熱装置。 - 【請求項９】 請求項８記載の加熱装置において、前記
第１のネジの締め付け力によって前記フェースプレート
の前記中央部分を前記ベースプレート側に引き付け前記
表面の凹面形状を維持させたことを特徴とする加熱装
置。 - 【請求項１０】 請求項８記載の加熱装置において、前
記フェースプレートは、アルミニウム材、銅もしくは銅
合金によって作られており、前記ベースプレートは前記
フェースプレートよりも硬質な金属材によって作られて
いることを特徴とする加熱装置。 - 【請求項１１】 請求項１又は３記載のプレート状発熱
体を用いた請求項８記載の加熱装置において、前記フェ
ースプレートと前記ベースプレートとの間に少なくとも
２枚の絶縁保護板を配し、該絶縁保護板の間に前記プレ
ート状発熱体を設け、前記第１及び第２のネジによって
固定したことを特徴とする加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33039595A JP3717572B2 (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | プレート状発熱体及び加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33039595A JP3717572B2 (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | プレート状発熱体及び加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09171886A true JPH09171886A (ja) | 1997-06-30 |
| JP3717572B2 JP3717572B2 (ja) | 2005-11-16 |
Family
ID=18232131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33039595A Expired - Fee Related JP3717572B2 (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | プレート状発熱体及び加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3717572B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222257A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウェハ加熱用ヒータユニットおよびそれを搭載した半導体製造装置 |
| KR101480783B1 (ko) * | 2014-06-25 | 2015-01-14 | 주식회사 포톤 | 시트 메탈을 이용한 서셉터 및 그 제조방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286689A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-21 | 松下電器産業株式会社 | 電気保温ポツト |
| JPH0350421A (ja) * | 1989-07-18 | 1991-03-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 加熱調理器 |
-
1995
- 1995-12-19 JP JP33039595A patent/JP3717572B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286689A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-21 | 松下電器産業株式会社 | 電気保温ポツト |
| JPH0350421A (ja) * | 1989-07-18 | 1991-03-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 加熱調理器 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222257A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウェハ加熱用ヒータユニットおよびそれを搭載した半導体製造装置 |
| KR101480783B1 (ko) * | 2014-06-25 | 2015-01-14 | 주식회사 포톤 | 시트 메탈을 이용한 서셉터 및 그 제조방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3717572B2 (ja) | 2005-11-16 |
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