JP2011222257A - ウェハ加熱用ヒータユニットおよびそれを搭載した半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のウェハ加熱用ヒータユニットは、ウェハ載置面を有する載置台と、該載置台のウェハ載置面とは反対側の面に抵抗発熱ユニットを有し、前記載置台と抵抗発熱ユニットを支持する支持板とから構成され、前記抵抗発熱ユニットが、発熱体と該発熱体を挟み込む複数の絶縁層とからなり、前記絶縁層の少なくとも1層に溝が形成されており、前記発熱体は前記溝に収納されて、他の絶縁層によって挟み込まれており、前記絶縁層同士は互いに接着されていない部分を有することを特徴とする。前記絶縁層同士は、互いに接着されていないことが好ましい。
【選択図】 図1
Description
[比較例1]
2 抵抗発熱ユニット
3 支持板
4 ネジ
10 ウェハ載置面
21 発熱体
22 絶縁層
Claims (5)
- ウェハ載置面を有する載置台と、該ウェハ載置面の反対側の面に抵抗発熱ユニットを有し、前記載置台と前記抵抗発熱ユニットを支持する支持板とから構成され、前記抵抗発熱ユニットは発熱体と該発熱体を挟み込む複数の絶縁層とからなり、該絶縁層の少なくとも1層に溝が形成されており、前記発熱体は前記溝に収納されて他の絶縁層によって挟み込まれており、前記絶縁層同士は互いに接着されていない部分を有することを特徴とするウェハ加熱用ヒータユニット。
- 前記絶縁層同士が互いに接着されていないことを特徴とする請求項1に記載のウェハ加熱用ヒータユニット。
- 前記載置台と抵抗発熱ユニットと支持板が機械的に結合されていることを特徴とする請求項1または2に記載のウェハ加熱用ヒータユニット。
- 前記絶縁層の溝がエッチング処理により形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のウェハ加熱用ヒータユニット。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載のウェハ加熱用ヒータユニットが搭載されたことを特徴とする半導体製造装置。
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