JPH09167871A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 所定のパルス周期でパルスレーザ光を出力す
ることのできるパルスレーザ発振装置を提供する。 【解決手段】 第１のレーザ光を出射する第１のレーザ
出射手段（１１０，１０２〜１０９）と、第２のレーザ
光を出射する第２のレーザ出射手段（１３０，１２２〜
１２９）と、第１のレーザ光及び第２のレーザ光を電気
信号に変換する変換手段（１３２）と、変換手段により
変換された電気信号に基づいて、第１のレーザ出射手段
から第１のレーザ光が出射した時から所定時間経過後に
第２のレーザ出射手段から第２のレーザ光が出射するよ
うに、第２のレーザ出射手段及び第２のレーザ出射手段
をそれぞれ制御する制御手段（１１１，１３１，１３３
〜１３６）とを具備したことを特徴とするパルスレーザ
発振装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のレーザ発振
装置を用いることにより得られるパルスレーザ光の各パ
ルス間の間隔を制御するパルスレーザ発振装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】パルスレーザ光を発生するガスレーザ装
置としては、図８に示すようなガスレーザ発振装置が知
られている。高電圧電源１には、主コンデンサ２を介し
て、ガスレーザ管内に設けられた主電極３が接続され、
且つこの主電極３と対向する位置には主電極４が設けら
れている。これら、主電極３及び主電極４には、ピーキ
ングコンデンサ５及び予備電離電極６の直列回路と、ピ
ーキングコンデンサ７及び予備電離電極８の直列回路
と、インダクタンス９とが接続されている。

【０００３】さらに、高電圧電源１と主コンデンサ２の
間には、主電極３及び主電極４に対して高電圧スイッチ
１０が接続されており、この高電圧スイッチ１０には、
高電圧スイッチ１０にトリガパルス信号を出力するトリ
ガパルス発生装置１１が接続されている。

【０００４】次に、このパルスガスレーザ発振装置の動
作について説明する。高電圧電源１から、充電用インダ
クタンス９を通して主コンデンサ２を充電され、高電圧
スイッチ１０がトリガパルス発生装置１１のトリガパル
ス信号によりオンとなると、予備電離電極６，８が放電
し、主コンデンサ２に蓄えられた電荷は、ピーキングコ
ンデンサ５及びピーキングコンデンサ７に移行する。

【０００５】そして、ピーキングコンデンサ５及びピー
キングコンデンサ７の電圧が上昇し、主電極３及び主電
極４間の電圧が放電破壊電圧以上になると、主電極３及
び主電極４間で放電が発生する。そして、この放電によ
りガスレーザ管内のレーザ媒質ガスが励起されて光が発
生する。この光は、光共振器（図示せず）により増幅さ
れて、パルスレーザ光として出射される。以後、高電圧
スイッチ１０を所定の周波数に従って、オン・オフ制御
することにより断続的にパルスレーザ光が出射される。

【０００６】ところで、最近の新しい技術として、パル
スレーザ光を用いて薄膜金属の溶融及び熱処理を行なう
技術がある。この技術で用いられるパルスガスレーザに
は、光の吸収率の高さから波長の短いエキシマレーザが
用いられているが、パルスレーザ光を用いて、薄膜金属
を蒸発させることなく溶融させるためには、以下の条件
が必要である。

【０００７】第１の条件として、１０［μｓ］以下のパ
ルス間の時間間隔（パルス周期）でパルスレーザ光を照
射することができることが必要である。また、第２の条
件として、精度高く温度制御を行なうためにパルスレー
ザ光のパルス間隔を可変できることが必要であり、しか
も、このパルス間隔が変化しないことが必要である。さ
らに、第３の条件として、１パルス毎に光エネルギーを
変化させることができ、且つ光エネルギーは、設定値か
ら変化しないことが必要である。

【０００８】しかしながら、エキシマレーザでは、エキ
シマとしての励起状態が短い寿命であるために、パルス
幅が２０［ｎｓ］程度と短いので、そのパルス間隔を
０．２［ｍｓ］程度以下にすることができない。

【０００９】そこで、上記パルスレーザ光のパルス間隔
の問題を解決するために、複数のパルスガスレーザ発振
装置を用いたり、１つの放電部に複数の放電回路を使用
したパルスガスレーザ発振装置が用いられる。

【００１０】図９は、１つの放電部に複数の放電回路を
使用したパルスガスレーザ発振装置の構成を示す図であ
る。一方の高電圧電源２１には、充電抵抗２２、ダイオ
ード２３を介して主コンデンサ２４が接続されている。
他方の高電圧電源２５には、充電抵抗２６、ダイオード
２７を介して主コンデンサ２８が接続されている。

【００１１】また、主コンデンサ２４には、ガスレーザ
管内に設けられた主電極２９が接続され、この主電極２
９と対向する位置のガスレーザ管内には主電極３０が設
けられている。さらに、主コンデンサ２８にも、過飽和
リアクトル３１を介して主電極２９が接続されている。

【００１２】また、主電極２９及び主電極３０は、ピー
キングコンデンサ３２及び予備電離電極３３の直列回路
と、ピーキングコンデンサ３４及び予備電離電極３５の
直列回路と、インダクタンス３６が並列接続されてい
る。

【００１３】さらに、主コンデンサ２４には高電圧スイ
ッチ３７が主電極２９及び主電極３０に対して並列接続
され、主コンデンサ２８には高電圧スイッチ３８が、主
電極２９及び主電極３０に対して並列接続されている。

【００１４】一方、パルス発生器３９には、トリガパル
ス信号のパルス間隔を設定する遅延パルス時間設定器４
０が接続される。この遅延パルス時間設定器４０には、
遅延パルス時間設定器４０にて設定されたパルス間隔に
基づいて、高電圧スイッチ３７に対してトリガパルス信
号を出力するトリガパルス発生装置４１と、高電圧スイ
ッチ３８に対してトリガパルス信号を出力するトリガパ
ルス発生装置４２が接続されている。

【００１５】次に、上述のように構成したパルスガスレ
ーザ発振装置の動作について説明する。パルス発生器３
９からパルス信号が出力されると、遅延パルス時間設定
器４０は、このパルス信号に基づいて各トリガパルス発
生装置４１、４２から発生するトリガパルス信号の時間
間隔を設定する。

【００１６】各トリガパルス発生装置４１、４２は、遅
延パルス時間設定器４０で設定されたパルス間隔に基づ
いたトリガパルス信号を各高電圧スイッチ３７、３８に
出力して高電圧スイッチ３７、３８のオン・オフ制御を
行ない、上述のように、パルスガスレーザ発振装置から
パルスレーザ光を断続的に出射させる。

【００１７】すなわち、主コンデンサ２４、２８と高電
圧電源２１、２５の組をダイオード２３、２７、過飽和
リアクトル３６等で電気的に分離・接続し、複数の高電
圧スイッチをオン・オフ制御することで、図１０に示す
ようなバースト的な短いパルス間隔のパルスレーザ光を
得る。

【００１８】ところが、パルスガスレーザ発振装置から
出射するパルスレーザ光のエネルギーは、ガスレーザ管
内に封入されているレーザ媒質ガスが劣化することによ
り低下する。

【００１９】このパルスレーザ光のエネルギーの低下に
対処するために、従来は、高電圧電源の電源電圧変化に
よって、主コンデンサの充電電圧を変化させることによ
り、パルスレーザ光のエネルギーが予め定められた設定
値となるように調整していた。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】高電圧電源によって、
主コンデンサの充電電圧を変化させて、パルスレーザ光
のエネルギーを予め定められた設定値に調整する方法で
は、主電極間に印加される電圧波形が図１１に示すよう
に変化するため、各パルスレーザ光の放電開始電圧及び
放電開始時間が異なってしまう。

【００２１】その結果、パルスレーザ光のパルス間隔が
変化してしまうので、薄膜金属の溶融及び熱処理には必
ずしも適していなかった。本発明は、上記実情に鑑みて
なされたものであり、所定のパルス間隔でパルスレーザ
光を出射することのできるパルスレーザ発振装置を提供
することを目的とする。

【００２２】また、本発明の他の目的は、パルスレーザ
光のエネルギーを変化させることにより、所定のパルス
間隔でパルスレーザ光を出射することのできるパルスレ
ーザ発振装置を提供することである。

【００２３】

【課題を解決するための手段】従って、まず、上記目的
を達成するために第１の発明によれば、第１のレーザ光
を出射する第１のレーザ出射手段と、第２のレーザ光を
出射する第２のレーザ出射手段と、前記第１のレーザ光
及び前記第２のレーザ光を電気信号に変換する変換手段
と、前記変換手段により変換された電気信号に基づい
て、前記第１のレーザ出射手段から前記第１のレーザ光
が出射した時から所定時間経過後に前記第２のレーザ出
射手段から前記第２のレーザ光が出射するように、前記
第２のレーザ出射手段及び前記第２のレーザ出射手段を
それぞれ制御する制御手段とを具備したことを特徴とす
るパルスレーザ発振装置である。

【００２４】また、第２の発明によれば、第１のレーザ
光を出射する第１のレーザ出射手段と、第２のレーザ光
を出射する第２のレーザ出射手段と、前記第１のレーザ
光及び前記第２のレーザ光を電気信号に変換する変換手
段と、前記変換手段により変換された電気信号に基づい
て、前記第２のレーザ光の前記第１のレーザ光に対する
遅延時間を測定する測定手段と、前記第１のレーザ出射
手段及び前記第２のレーザ出射手段からそれぞれ前記第
１のレーザ光及び前記第２のレーザ光を出射させるため
のパルス信号を前記第１のレーザ出射手段及び前記第２
のレーザ出射手段に出力するパルス信号出力手段と、前
記測定手段により測定された遅延時間と所定時間との偏
差量を算出する偏差量算出手段と、前記偏差量算出手段
から算出される偏差量に基づいて、前記パルス信号出力
手段から出力される前記パルス信号の周期を変化させる
ことにより、前記第２のレーザ出射手段から前記第２の
レーザ光が出射した時から所定時間経過後に前記第１の
レーザ出射手段から前記第１のレーザ光が出射するよう
に制御する制御手段とを具備したことを特徴とするパル
スレーザ発振装置である。

【００２５】さらに、第３の発明によれば、第２の発明
のパルスレーザ発振装置において、前記測定手段は、ク
ロック発振器から出力されるクロック信号をカウントし
てパルス信号の周期を測定するカウンタ或いは印加され
る電圧を積分して前記パルス信号の周期を測定する積分
器であることを特徴とする請求項２記載のパルスレーザ
発振装置である。

【００２６】さらに、第４の発明によれば、第１の電源
からの電力供給により、第１のレーザ光を出射する第１
のレーザ出射手段と、第２の電源からの電力供給によ
り、第２のレーザ光を出射する第２のレーザ出射手段
と、前記第１の電源及び前記第２の電源の出力レベルに
応じて、前記第２のレーザ光の出射の前記第１のレーザ
光の出射に対する遅延時間を予測する予測手段と、前記
第１のレーザ出射手段及び前記第２のレーザ出射手段か
らそれぞれ前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光
を出射させるためのパルス信号を前記第１のレーザ出射
手段及び前記第２のレーザ出射手段に出力するパルス信
号出力手段と、前記予測手段により予測された遅延時間
と、所定時間との偏差量を算出する偏差量算出手段と、
前記偏差量算出手段から出力される偏差量に基づいて、
前記パルス信号出力手段から出力されるパルス信号の周
期を変化させることにより、前記第２のレーザ出射手段
から第２のレーザ光が出射した時から所定時間経過後に
前記第１のレーザ出射手段から第１のレーザ光が出射す
るように制御する制御手段とを具備したことを特徴とす
るパルスレーザ発振装置である。

【００２７】さらに、第５の発明によれば、第１のレー
ザ光を出射する第１のレーザ出射手段と、第２のレーザ
光を出射する第２のレーザ出射手段と、前記第１のレー
ザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギーを検出するエ
ネルギー検出手段と、前記エネルギー検出手段で検出さ
れた前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光のエネ
ルギーに基づいて、前記第１のレーザ出射手段から出射
する前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ出射手段
から出射する第２のレーザ光のエネルギーが所定のエネ
ルギー量になるように制御することにより、前記第１の
レーザ光と前記第２のレーザ光との出射間隔が所定の出
射間隔となるようにするエネルギー制御手段とを具備し
たことを特徴とするパルスレーザ発振装置である。

【００２８】さらに、第６の発明によれば、第１のレー
ザ光を出射する第１のレーザ出射手段と、第２のレーザ
光を出射する第２のレーザ出射手段と、前記第１のレー
ザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギーを検出するエ
ネルギー検出手段と、前記第１のレーザ光及び前記第２
のレーザ光の光路上にそれぞれ設けられ、前記第１のレ
ーザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギーを制御する
ためのエネルギー可変用基板と、前記エネルギー検出手
段で検出された前記第１のレーザ光及び前記第２のレー
ザ光のエネルギーに基づいて、前記第１のレーザ光及び
前記第２のレーザ光のエネルギーが所定値となるよう前
記エネルギー可変用基板の配置角度を前記第１のレーザ
光及び前記第２のレーザ光の光軸に対して変化させるこ
とにより、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光と
の出射間隔が所定の出射間隔となるようにする基板角度
制御手段とを具備したことを特徴とするパルスレーザ発
振装置である。

【００２９】さらに、第７の発明によれば、第１のレー
ザ光を出射する第１のレーザ出射手段と、第２のレーザ
光を出射する第２のレーザ出射手段と、前記第１のレー
ザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギーを検出するエ
ネルギー検出手段と、前記第１のレーザ光及び前記第２
のレーザ光の光路上にそれぞれ設けられ、前記第１のレ
ーザ光及び前記第２のレーザ光が通過する通過孔を有す
るスリットと、前記エネルギー検出手段で検出された前
記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギー
に基づいて、前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ
光のエネルギーが所定値となるよう前記スリットの通過
孔の径を制御し、前記第１のレーザ光と前記第２のレー
ザ光との出射間隔が所定の出射間隔となるようにする制
御手段とを具備したことを特徴とするパルスレーザ発振
装置である。

【００３０】さらに、第８の発明によれば、第１のレー
ザ光を出射する第１のパルスレーザ出射手段と、第２の
レーザ光を出射する第２のパルスレーザ出射手段と、前
記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光との出射間隔を
示す遅延時間を設定する設定手段と、前記設定手段によ
り設定された遅延時間にオフセット時間を加算した加算
遅延時間を算出する算出手段と、前記算出手段によって
算出された加算遅延時間の間隔を異ならせて前記第１の
パルスレーザ出射手段及び前記第２のパルスレーザ出射
手段から前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光を
それぞれ出射するように制御する制御手段と、前記第１
のレーザ光及び前記第２のレーザ光を電気信号に変換す
る変換手段と、前記変換手段により変換された電気信号
に基づいて、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光
との出射間隔を測定する測定手段と、前記算出手段にて
算出された加算遅延時間から前記測定手段によって測定
された前記出射間隔を減算して補正値を算出する補正値
算出手段と、前記補正値算出手段によって算出された補
正値が所定値の場合に、前記補正値に基づいて前記遅延
時間を再び算出する再設定手段とを具備し、前記算出手
段は、前記再設定手段によって再び前記遅延時間が算出
された場合には、前記再設定手段によって算出された前
記遅延時間に基づいて、再び前記加算遅延時間を算出す
ることを特徴とするパルスレーザ発振装置である。

【００３１】さらに、第９の発明によれば、第８の発明
のパルスレーザ発振装置において、前記第１のレーザ出
射手段及び前記第２のレーザ出射手段は、異なる波長の
レーザ光を出射することを特徴とするパルスレーザ発振
装置である。

【００３２】さらに、第１０の発明によれば、第８の発
明のパルスレーザ発振装置において、前記第１のレーザ
出射手段及び前記第２のレーザ出射手段は、それぞれ異
なるパルス幅を有するパルスレーザ光を出射することを
特徴とするパルスレーザ発振装置である。

【００３３】次に、各発明の作用について説明する。第
１の発明は、変換手段により第１のレーザ光及び第２の
レーザ光を電気信号に変換する。そして、制御手段が変
換手段により変換された電気信号に基づいて、第１のレ
ーザ出射手段から第１のレーザ光が出射した時から所定
時間経過後に第２のレーザ出射手段から第２のレーザ光
が出射するように、第２のレーザ出射手段及び第２のレ
ーザ出射手段をそれぞれ制御するので、薄膜金属の溶融
及び熱処理に適したパルスレーザ発振装置を提供するこ
とができる。

【００３４】第２又は第３の発明は、制御手段により偏
差量算出手段から算出される偏差量に基づいて、パルス
信号出力手段から出力されるパルス信号の周期を変化さ
せることにより、第２のレーザ出射手段から第２のレー
ザ光が出射した時から所定時間経過後に第１のレーザ出
射手段から第１のレーザ光が出射するように制御するの
で、薄膜金属の溶融及び熱処理に適したパルスレーザ発
振装置を提供することができる。

【００３５】第４の発明は、制御手段により、偏差量算
出手段から出力される偏差量に基づいて、パルス信号出
力手段から出力されるパルス信号の周期を変化させるこ
とにより、第２のレーザ出射手段から第２のレーザ光が
出射した時から所定時間経過後に第１のレーザ出射手段
から第１のレーザ光が出射するように制御するので、薄
膜金属の溶融及び熱処理に適したパルスレーザ発振装置
を提供することができる。

【００３６】第５の発明は、エネルギー検出手段により
第１のレーザ光及び第２のレーザ光のエネルギーを検出
する。そして、エネルギー制御手段により、エネルギー
検出手段で検出された第１のレーザ光及び第２のレーザ
光のエネルギーに基づいて、第１のレーザ出射手段から
出射する第１のレーザ光及び第２のレーザ出射手段から
出射する第２のレーザ光のエネルギーが所定のエネルギ
ー量になるように制御することにより、第１のレーザ光
と第２のレーザ光との出射間隔が所定の出射間隔となる
ように制御するので、薄膜金属の溶融及び熱処理に適し
たパルスレーザ発振装置を提供することができる。

【００３７】第６の発明は、基板角度制御手段が、エネ
ルギー検出手段で検出された第１のレーザ光及び第２の
レーザ光のエネルギーに基づいて、第１のレーザ光及び
第２のレーザ光のエネルギーが所定値となるようエネル
ギー可変用基板の配置角度を第１のレーザ光及び第２の
レーザ光の光軸に対して変化させることにより、第１の
レーザ光と第２のレーザ光との出射間隔が所定の出射間
隔となるよう制御するので、薄膜金属の溶融及び熱処理
に適したパルスレーザ発振装置を提供することができ
る。

【００３８】第７の発明は、制御手段により、エネルギ
ー検出手段で検出された第１のレーザ光及び第２のレー
ザ光のエネルギーに基づいて、第１のレーザ光及び第２
のレーザ光のエネルギーが所定値となるようスリットの
通過孔の径を制御し、第１のレーザ光と第２のレーザ光
との出射間隔が所定の出射間隔となるようにするので、
薄膜金属の溶融及び熱処理に適したパルスレーザ発振装
置を提供することができる。

【００３９】第８の発明は、制御手段により、算出手段
によって算出された加算遅延時間の間隔を異ならせて第
１のパルスレーザ出射手段及び第２のパルスレーザ出射
手段から第１のレーザ光及び第２のレーザ光をそれぞれ
出射するように制御する。次に、測定手段により、変換
手段により変換された電気信号に基づいて、第１のレー
ザ光と第２のレーザ光との出射間隔を測定し、補正値算
出手段により、算出手段にて算出された加算遅延時間か
ら測定手段によって測定された出射間隔を減算して補正
値を算出する。そして、再設定手段により、補正値算出
手段によって算出された補正値が所定値の場合に、補正
値に基づいて遅延時間を再び算出し、算出手段により、
再設定手段によって再び遅延時間が算出された場合に
は、再設定手段によって算出された遅延時間に基づい
て、再び加算遅延時間を算出する。このようにして、補
正値が所定の値になるまで、遅延時間を調整することに
より、パルス幅よりも短い遅延時間を設定した場合に
も、正確に所定の間隔でレーザ光を出射することができ
る。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。 ＜第１の実施の形態＞図１は、本発明の第１の実施の形
態に係るパルスガスレーザ発振装置の構成を示す図であ
る。

【００４１】一方の高電圧電源１０１には、主コンデン
サ１０２を介して、ガスレーザ管内に設けられた主電極
１０３が接続され、且つこの主電極１０３と対向する位
置のガスレーザ管内に主電極１０４が配置されている。

【００４２】これら、主電極１０３及び主電極１０４に
は、ピーキングコンデンサ１０５及び予備電離電極１０
６の直列回路と、ピーキングコンデンサ１０７及び予備
電離電極１０８の直列回路と、インダクタンス１０９が
接続されている。

【００４３】さらに、高圧電源１０１と主コンデンサ１
０２の間には、主電極１０３及び主電極１０４と並列に
高電圧スイッチ１１０が接続され、この高電圧スイッチ
１１０には、トリガパルス発生装置１１１が接続されて
いる。

【００４４】他方の高電圧電源１２１には、高電圧電源
１０１と同様に、主コンデンサ１２２、主電極１２３、
主電極１２４、ピーキングコンデンサ１２５、予備電離
電極１２６、ピーキングコンデンサ１２７、予備電離電
極１２８、インダクタンス１２９、高電圧スイッチ１３
０、トリガパルス発生装置１３１が接続されている。

【００４５】また、主電極１０３、１０４間及び主電極
１２３、１２４間が放電することにより発生する各パル
スレーザ光を電気信号に変換する光電管１３２を設け、
この光電管１３２には、電気信号に変換されたパルスレ
ーザ光のパルス周期を測定する遅延時間測定装置１３３
の入力側が接続されている。

【００４６】遅延時間測定装置１３３の出力側には、予
め設定されたパルスレーザ光のパルス周期と遅延時間測
定装置１３３にて測定されたパルス周期との偏差をと
り、この偏差量をフィードバックして出力する制御装置
１３４が接続されている。

【００４７】この制御装置１３４は、高電圧電源１０１
及び高電圧電源１２１の出力電圧レベルに応じて、主コ
ンデンサ１０２、１２２に印加される充電電圧の変化に
対するパルスレーザ光の遅延時間を予測する予測手段
と、この予測手段により予測されたパルスレーザ光の遅
延時間と、予め設定されたパルスレーザ光のパルス間隔
との偏差量を出力する偏差量算出機能とを有している。

【００４８】制御装置１３４の出力側には、制御装置１
３４から出力される偏差量に基づいて、パルスレーザ光
のパルス周期が所定値となるようにパルス発生器１３５
から出力されるパルス信号のパルス周期を変化させたパ
ルス信号をトリガパルス発生装置１１１、１３１に出力
する遅延パルス時間設定器１３６が接続されている。

【００４９】図２（ａ）及び図２（ｂ）は、遅延時間測
定装置１３３の構成を示す図であり、ここでは、カウン
タ方式と積分器方式を示している。図２（ａ）に示した
カウンタ方式の遅延時間測定装置は、電気信号に変換さ
れたパルスレーザ光をパルス波形に整形してパルス信号
として出力する波形整形回路１４１と、この波形整形回
路１４１から出力されたパルス信号に基づいてスタート
・ストップ信号を出力するフリップ・フロップ回路１４
２と、クロックパルス信号を出力する発振器１４３と、
フリップ・フロップ回路１４２からのスタート・ストッ
プ信号に基づいて発振器１４３からのクロックパルス信
号をカウントするカウンタ１４４で構成されている。

【００５０】そして、このカウンタ１４４でカウントさ
れたカウント数にクロック周波数の逆数であるクロック
周期を乗じた値がパルスレーザ光のパルス間隔であると
いう関係をもっている。

【００５１】また、図２（ｂ）に示した積分器方式の場
合の遅延時間測定装置は、電気信号に変換されたパルス
レーザ光をパルス波形に整形してパルス信号として出力
する波形整形回路１５１と、この波形整形回路１５１か
ら出力されたパルス信号に基づいてスタート・ストップ
信号を出力するフリップ・フロップ回路１５２と、積分
器１５３と、積分器１５３に基準電圧を印加する基準電
源１５４と、フリップ・フロップ回路１５２からのスタ
ート・ストップ信号に基づいて基準電源１５４の基準電
圧を積分器１５３に印加するスイッチ１５５で構成され
ている。

【００５２】この積分方式の場合、スイッチ１５５をオ
ン・オフ制御する時間が変化すると積分時間が変化し
て、積分器１５３の出力電圧が変化する。そして、積分
器１５３の出力電圧に積分時定数を乗じて基準電圧で除
した値がパルスレーザ光のパルス間隔であるという関係
をもっている。

【００５３】次に、本実施の形態に係るパルスガスレー
ザ発振装置の動作について説明する。図３は、各装置か
ら出力された出力信号の出力波形を示す図である。

【００５４】まず、高電圧電源１０１及び高電圧電源１
２１により、主コンデンサ１０２、１２２をそれぞれ充
電する。一方、遅延パルス時間設定器１３６は、制御装
置１３４から出力される偏差量に基づいて、パルスレー
ザ光のパルス間隔が所定値となるようにパルス発生器１
３５から出力されるパルス信号のパルス間隔を変化させ
たパルス信号ｔ１，ｔ２をトリガパルス発生装置１１
１、１３１に出力する。

【００５５】トリガパルス発生装置１１１、１３１は、
遅延パルス時間設定器１３６から出力されたパルス信号
に基づいて、高電圧スイッチ１１０、１３０にトリガパ
ルス信号を出力する。

【００５６】高電圧スイッチ１１０、１３０は、トリガ
パルス発生装置１１１、１３１から入力されるトリガパ
ルス信号によりオン・オフ制御が行なわれる。その結
果、主電極１０３、１０４間及び主電極１２３、１２４
間で放電が発生し、パルスレーザ光が交互に出射する。
この出射したパルスレーザ光は、光電管１３２により電
気信号に変換されて遅延時間測定装置１３３に入力され
る。

【００５７】遅延時間測定装置１３３は、２つのパルス
レーザ光のパルス間隔を測定し、この測定したパルス間
隔を制御装置１３４に出力する。制御装置１３４は、予
め設定されたパルスレーザ光のパルス間隔と遅延時間測
定装置１３３にて測定されたパルス間隔との偏差をと
り、この偏差量をフィードバックして遅延パルス時間設
定器１３６に出力する。

【００５８】遅延パルス時間設定器１３６は、制御装置
１３４から出力される偏差に基づいて、パルスレーザ光
のパルス間隔が所定値となるようにパルス発生器１３５
から出力されるパルス信号のパルス間隔を変化させたパ
ルス信号ｔ1 、ｔ2 をトリガパルス発生装置１１１、１
３１に出力する。

【００５９】各トリガパルス発生装置１１１、１３１
は、遅延パルス時間設定器１３６から出力されたパルス
信号に基づいて、高電圧スイッチ１１０、１３０にトリ
ガパルス信号を出力し、高電圧スイッチ１１０、１３０
のオン・オフ制御を行なう。

【００６０】その結果、主コンデンサ１０２、１２２に
充電された電荷により主電極１０３、１０４間及び主電
極１２３、１２４間でそれぞれ放電が発生し、パルスレ
ーザ光が所定間隔で出射する。

【００６１】また、別の制御例として、制御装置１３４
の予測手段により、主コンデンサ１０２、１２２に印加
される高電圧電源１０１及び高電圧電源１２１の出力電
圧を監視して、主コンデンサ１０２、１２２に印加され
る充電電圧の変化に対するパルスレーザ光のパルス周期
を予測し、この予測手段により予測されたパルスレーザ
光のパルス周期と予め設定されたパルスレーザ光のパル
ス周期との偏差量を遅延パルス時間設定器１３６に出力
することにより、パルスガスレーザ発振装置から出射す
るパルスレーザ光のパルス周期を制御することもでき
る。

【００６２】従って、本実施の形態によれば、パルスレ
ーザ光のパルス間隔が一定となるよう制御することがで
きるので、薄膜金属の溶融及び熱処理に最適なパルスガ
スレーザ発振装置を提供することができる。

【００６３】実際に、２台のパルスガスレーザ発振装置
の充電電圧の差が５［ｋｖ］で、パルスレーザ光のパル
ス間隔が設定時間間隔から数１００［ｎｓ］ずれていた
ものを±５［ｎｓ］に抑えることができた。

【００６４】また、制御装置１３４の予測手段及び偏差
出力機能により高電圧電源１０１、１２１から主コンデ
ンサ１０２、１２２へ印加される充電電圧の変化に対す
るパルスレーザ光のパルス間隔の変化を予測して、パル
スレーザ光のパルス間隔が一定となるよう制御が行なわ
れるので制御時間を大幅に短縮することができる。 ＜第２の実施の形態＞上述の第１の実施の形態において
は、高電圧スイッチのスイッチング時間を制御すること
により、パルスレーザ光のパルス間隔を制御していた
が、本実施の形態においては、高電圧電源の電源電圧の
変化によらずに、パルスガスレーザ発振装置から出射さ
れるパルスレーザ光のエネルギーを制御することによ
り、パルスレーザ光のパルス間隔を所定値にする方法を
採用する。

【００６５】図４は、本発明の第２の実施の形態に係る
パルスガスレーザ発振装置の構成を示す図である。一方
の高電圧電源２０１には、充電抵抗２０２、主コンデン
サ２０３、ピーキングコンデンサ２１４及びアースされ
たコイル２１５を介して、ガスレーザ管内に設けられた
主電極２０４を接続し、且つこの主電極２０４と対向す
る位置のガスレーザ管内にはアースされた主電極２０５
を設ける。

【００６６】そして、ガスレーザ管の両端部には、主電
極２０４、２０５間が放電することにより発生するパル
スレーザ光を出射するための全反射ミラー２０６及び出
力ミラー２０７を設ける。

【００６７】この出力ミラー２０７を通過したパルスレ
ーザ光のレーザ光路上には光の、内部損失が少なく（即
ち、光の吸収性が少なく）、パルスレーザ光が入射する
角度によって透過率が異なる基板で構成された光エネル
ギー可変器２０８を設ける。

【００６８】光エネルギー可変器２０８は、アクチュエ
ータ２０９によって、パルスレーザ光の光軸に対する配
置角度を可変させることができるように取り付けられて
いる。

【００６９】光エネルギー可変器２０８を通過したパル
スレーザ光２１０のレーザ光路上には、ビームスプリッ
タ２１１が設けられており、このビームスプリッタ２１
１にて分岐されたレーザ光の一方のレーザ光路上には、
分岐されたパルスレーザ光のエネルギーを検出するエネ
ルギーモニタ２１２が設けられている。

【００７０】また、充電抵抗２０２と主コンデンサ２０
３間には、主電極２０４、２０５と並列に高電圧スイッ
チ２１３が接続されている。他方の高電圧電源２２１に
は、高電圧電源２０１と同様に、充電抵抗２２２、主コ
ンデンサ２２３、主電極２２４、２２５、全反射ミラー
２２６、出力ミラー２２７、光エネルギー可変器２２
８、アクチュエータ２２９、レーザ光２３０、ビームス
プリッタ２３１、エネルギーモニタ２３２、高電圧スイ
ッチ２３３、ピーキングコンデンサ２４１及びコイル２
４２が設けられている。

【００７１】一方、パルス発生器２３４には、制御装置
２３８で設定されたパルス時間間隔のパルス信号を出力
する遅延パルス時間設定器２３５を接続し、この遅延パ
ルス時間設定器２３５には、遅延パルス時間設定器２３
５から出力されるパルス信号に基づいて、高電圧スイッ
チ２１３、２３３にトリガパルス信号を出力するトリガ
パルス発生装置２３６、２３７を接続する。

【００７２】また、制御装置２３８は、エネルギーモニ
タ２１２及びエネルギーモニタ２３２で検出されたパル
スレーザ光のエネルギーに基づいて、光エネルギー可変
器２０８、２２８を通過したパルスレーザ光のエネルギ
ーが所定値となるよう光エネルギー可変器２０８、２２
８の配置角度をパルスレーザ光の光軸に対して可変させ
る制御信号Ａ，Ｂを出力するものである。

【００７３】アクチュエータ駆動器２３９、２４０は、
それぞれ制御装置２３８から出力される制御信号Ａ、Ｂ
に基づいて、アクチュエータ２０９、２２９を駆動し
て、光エネルギー可変器２０８、２２７の配置角度をパ
ルスレーザ光の光軸に対して可変させるものである。

【００７４】次に、本実施の形態のパルスガスレーザ発
振装置の動作について説明する。まず、高電圧電源２０
１、２２１によって、それぞれ主コンデンサ２０３、２
２３を充電する。一方、遅延パルス時間設定器２３５
は、トリガパルス発生装置２３６、２３７に制御装置２
３８で設定したパルス間隔のパルス信号をそれぞれ出力
する。

【００７５】トリガパルス発生装置２３６、２３７は、
遅延パルス時間設定器２３５から出力されるパルス信号
のパルス間隔に基づいて、それぞれ高電圧スイッチ２１
３、２３３にトリガパルス信号を出力して、高電圧スイ
ッチ２１３、２３３のスイッチング制御を行なう。

【００７６】そして、上述のように、主電極２０４、２
０５間及び主電極２２４、２２５間に主放電を発生させ
てパルスレーザ光２１０、２３２を出射させる。この
際、ピーキングコンデンサ２１４、２４１及びコイル２
１５、２４２の働きで放電時間が持続される。

【００７７】このパルスレーザ光２１０、２３２は、そ
れぞれビームスプリッタ２１１、２３１により分岐さ
れ、その一部は、エネルギーモニタ２１２、２３２に入
射する。エネルギーモニタ２１２、２３２は、このパル
スレーザ光２１０、２３０のエネルギーを検出して、こ
の検出値をそれぞれ制御装置２３８に入力する。

【００７８】制御装置２３８は、エネルギーモニタ２１
２、２３２から入力されるエネルギーの検出値と予め設
定されたエネルギーの値とを比較して、パルスレーザ光
のエネルギーの値が設定値となるようアクチュエータ駆
動器２３９、２４０に対してそれぞれ制御信号Ａ，Ｂを
出力する。

【００７９】アクチュエータ駆動器２３９、２４０は、
この制御信号Ａ，Ｂに基づいて、パルスガスレーザ発振
装置から出射するパルスレーザ光のエネルギーが設定値
となるようアクチュエータ２０９、２２９を駆動して、
エネルギー可変器２０８、２２８の基板の配置角度をパ
ルスレーザ光の光軸に対して可変させる。

【００８０】なお、光エネルギー可変器２０８、２２８
として、パルスレーザ光の通過孔の径の大きさを変化さ
せることのできるスリット３０１を用いて、この通過孔
の径の大きさを変化させることによりパルスレーザ光の
エネルギーを変化させてもよい。図５は、スリットの断
面図、図６はスリットの正面図である。

【００８１】さらに、光エネルギー可変器２０８、２２
８或いは、スリット３０１の設置場所は、パルスガスレ
ーザ発振装置の共振器の内側であっても良い。従って、
本実施の形態によれば、パルスレーザ光のエネルギーが
所定値となるように高電圧電源の電源電圧の変化によら
ずに制御することにより、パルスレーザ光のパルス間隔
を所定値とすることができるので、薄膜金属の溶融及び
熱処理に最適なパルスガスレーザ発振装置を提供するこ
とができる。 ＜第３の実施の形態＞次に、本発明の第３の実施の形態
のパルスレーザ装置について説明する。

【００８２】上述の第１の実施の形態において述べたパ
ルスガスレーザ発振装置においては、遅延時間測定装置
において２つのパルスレーザ光のパルス間隔（遅延時
間）を測定し、この測定したパルス間隔を制御装置に出
力している。しかしながら、遅延時間がパルスの幅より
も小さい場合には、パルスレーザ光同士が重なりあって
しまうので、このような方法を採用することはできな
い。

【００８３】本実施の形態のパルスガスレーザ発振装置
は、遅延時間がパルス幅以下のパルスレーザ光を正確に
出射することができるものである。本実施の形態のパル
スガスレーザ発振装置と、上述の第１の実施の形態にお
いて述べた図１に示したパルスレーザ発振装置と異なる
点は、制御装置１３４における制御方法にあり、他の構
成については図１と同様である。

【００８４】図７は、パルスレーザ光の遅延時間がパル
ス幅以下の場合の制御装置の制御動作を示すフローチャ
ートである。以下、図１及び図７を参照して、本実施の
形態のパルスレーザ発振装置の動作について説明する。

【００８５】まず、最初に制御装置１３４の入力装置に
よって、所望の遅延時間ｔ_d を入力する（ｓｔｅｐ
１）。ここでは、遅延時間ｔ_d は、１０［ｎｓ］に設定
されたものとし、この値は出射するパルスレーザ光のパ
ルス幅よりも短いものとする。

【００８６】次に、この遅延時間ｔ_d には、オフセット
遅延時間ｔ_off が加算される（ｓｔｅｐ２）。ここで
は、オフセット遅延時間ｔ_off は、５００［ｎｓ］であ
るものとする。従って、遅延時間ｔ_d とオフセット遅延
時間ｔ_off とを加算したオフセット加算遅延時間ｔ
_doは、５１０［ｎｓ］となる。

【００８７】そして、制御装置１３４は、このオフセッ
ト加算遅延時間ｔ_doに対応する偏差を遅延パルス時間設
定器１３６に出力する。遅延パルス時間設定器１３６
は、制御装置１３４から出力される偏差に基づいて、パ
ルスレーザ光のパルス間隔が加算遅延時間ｔ_doとなるよ
うにパルス発生器１３５から出力されるパルス信号のパ
ルス間隔を変化させたパルス信号ｔ₁ 、ｔ₂ をトリガパ
ルス発生装置１１１、１３１に出力する。

【００８８】各トリガパルス発生装置１１１、１３１
は、遅延パルス時間設定器１３６から出力されたパルス
信号に基づいて、高電圧スイッチ１１０、１３０にトリ
ガパルス信号を出力し、高電圧スイッチ１１０、１３０
のオン・オフ制御を行なう。

【００８９】その結果、主コンデンサ１０２、１２２に
充電された電荷により主電極１０３、１０４間及び主電
極１２３、１２４間でそれぞれ放電が発生し、パルスレ
ーザ光が出射する。

【００９０】この出射したパルスレーザ光は、光電管１
３２により電気信号に変換されて遅延時間測定装置１３
３に入力される。遅延時間測定装置１３３は、２つのパ
ルスレーザ光のパルス間隔を測定し、この測定したパル
ス間隔ｔ_dsを制御装置１３４に出力する。ここでは、測
定遅延時間ｔ_dsは、５２０［ｎｓ］であったものとす
る。このように設定した遅延時間と設定した遅延時間と
が異なる原因は、主コンデンサ１０２，１２２の充電電
圧値に起因する。

【００９１】制御装置１３４は、オフセット加算遅延時
間ｔ_doから測定遅延時間ｔ_dsを減算して補正値ｔ_daを算
出する（ｓｔｅｐ４）。オフセット加算遅延時間ｔ_doは
５１０［ｎｓ］、測定遅延時間ｔ_dsは５２０［ｎｓ］で
あるので、補正値ｔ_daは−１０［ｎｓ］となる。

【００９２】次に、ｓｔｅｐ４において算出された補正
値ｔ_daが「０」であるか否かの判定が行なわれる（ｓｔ
ｅｐ５）。なお、ここでは、補正値ｔ_daが「０」である
場合について説明しているが、この補正値ｔ_daは、例え
ば、−３［ｎｓ］〜＋３［ｎｓ］というように、一定の
範囲を持たせてもよい。

【００９３】ｓｔｅｐ５の処理において、補正値ｔ_daが
「０」でないと判定された場合には、再設定遅延時間ｔ
d ′を算出する（ｓｔｅｐ６）。この再設定遅延時間ｔ
d ′は、遅延時間ｔ_d から補正値ｔ_daを減算することに
より算出される。

【００９４】そして、ｓｔｅｐ６において算出された再
設定遅延時間ｔd ′を遅延時間ｔ_dとしてｓｔｅｐ２の
処理にもどる。一方、ｓｔｅｐ５の処理において、補正
値ｔ_daが「０」であると判定された場合には、このとき
の遅延時間ｔ_dsに対応する偏差で遅延パルス時間設定器
１３６を制御し、パルスレーザ光を出射させ、通常のプ
ロセス処理を開始する。

【００９５】なお、上述の第１乃至第３の実施の形態の
パルスガスレーザ発振装置において異なる波長の２つの
パルスレーザ光を出射するには、レーザ媒質ガスを封入
する各々の容器内のガスの種類を変えることにより実現
することができる。

【００９６】例えば、ＣＯ₂ レーザの場合には波長１
０．４［μｍ］、エキシマレーザでＫｒＦのレーザ媒質
を使用した場合には２４８［ｎｍ］、ＸｅＣｌでは３０
８［ｎｍ］、ＸｅＦでは３５３［ｎｍ］である。

【００９７】また、パルスレーザ光のパルス幅は、放電
回路の定数を変えることにより変化させることができ
る。例えば、図１のピーキングコンデンサ１０５，１０
７と主電極１０３，１０４との間に存在するインダクタ
ンスを大きくすることによってパルス幅を長くすること
ができる。ただし、レーザ媒質の種類によって、パルス
幅の長さには限界があり、例えば、ＣＯ₂ レーザでは数
μｓ程度、エキシマレーザでは１００［ｎｓ］程度であ
る。

【００９８】従って、本実施の形態のパルスレーザ発振
装置によれば、オフセット遅延時間を用いて、一度、長
い遅延時間でパルスレーザ光の遅延時間を正確に調整し
た後に、最初の遅延時間間隔でパルスレーザ光を出射す
るので、パルスレーザ光のパルス幅よりも短い遅延時間
を設定した場合にも正確なパルス間隔でパルスレーザ光
を出射することができる。

【００９９】また、パルス幅以下の設定値においても一
定のパルス間隔にすることができるので、複数のパルス
レーザ光を重ね合わせ、結果として照射エネルギーを高
くしたり、パルス幅を長くする制御を行なうことが可能
である。

【０１００】さらに、本実施の形態のパルスレーザ発振
装置によれば、１台の遅延時間測定装置１３３によっ
て、遅延時間を測定するため、測定精度は複数の測定器
を使用する場合よりもよい。

【０１０１】上述の第１乃至第３の実施の形態において
は、加えて、パルスガスレーザに限定されるものではな
い。すなわち、ＣＷ（連続発振レーザ）でも良いし、ま
た、ガスレーザでなくとも固体レーザや色素レーザなど
の他の種類のレーザであってもよい。

【０１０２】また、複数台のレーザ発振器を備えていれ
ば、何台のレーザ発振器に対しても本発明を適用するこ
とができる。つまり、第１のレーザ発振器と第２のレー
ザ発振器とを有する本特許請求の範囲においても、多段
階レーザ照射における隣あった時間で出射するレーザ光
を問題としているのである。これにより、異なる波長、
異なるパルス幅をもつ複数のレーザ光を用いて温度を精
密に制御した薄膜金属の熱処理が可能になる。

【０１０３】

【発明の効果】以上詳記したように、本発明によれば、
高電圧電源からの出力電圧レベルが変化しても所定のパ
ルス間隔でパルスレーザ光を出射することのできるパル
スレーザ発振装置を提供することができる。

【０１０４】また、パルスレーザ光のエネルギーを変化
させることにより、所定のパルス間隔でパルスレーザ光
を出射することのできるパルスレーザ発振装置を提供す
ることができる。さらに、本発明によれば、パルスレー
ザ光のパルス幅よりも短い間隔でパルスレーザ光を出射
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るパルスガスレ
ーザ発振装置の構成を示す図。

【図２】同実施の形態における遅延時間測定装置の構成
を示す図。

【図３】同実施の形態における各装置からの出力波形を
示す図。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係るパルスガスレ
ーザ発振装置の構成を示す図。

【図５】同実施の形態におけるスリットの断面図。

【図６】同実施の形態におけるスリットの正面図。

【図７】本発明の第３の実施の形態に係るパルスガスレ
ーザ発振装置の動作を説明するためのフローチャート。

【図８】従来のガスレーザ発振装置の構成を示す図。

【図９】従来の１つの放電部に複数の放電回路を使用し
たパルスガスレーザ発振装置の構成を示す図。

【図１０】従来のパルスガスレーザ発振装置を用いて出
力したパルスのパルス時間間隔を説明するための図。

【図１１】主電極に印加される電圧が変化したときのパ
ルスレーザ光の波形を説明するための図。

【符号の説明】

１０１、１２１…高電圧電源、 １１０、１３０…高電圧スイッチ、 １１１、１３１…トリガパルス発生装置、 １３２…光電管、 １３３…遅延時間測定装置、 １３４…制御装置、 １３５…パルス発生器、 １３６…遅延パルス時間設定器、 １４３…発振器、 １４４…カウンタ、 １５３…積分回路、 １５４…基準電源、 ２０８、２２８…光エネルギー可変器、 ２０９、２２９…アクチュエータ、 ２１１、２３１…ビームスプリッタ、 ２１２、２３２…エネルギーモニタ、 ２１３、２３３…高電圧スイッチ、 ２３４…パルス発生器、 ２３５…遅延パルス時間設定器、 ２３６、２３７…トリガパルス発生装置、 ２３８…制御装置、 ２３９、２４０…アクチュエータ駆動器、 ３０１…スリット。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のレーザ光を出射する第１のレーザ
   出射手段と、 第２のレーザ光を出射する第２のレーザ出射手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光を電気信号
   に変換する変換手段と、 前記変換手段により変換された電気信号に基づいて、前
   記第１のレーザ出射手段から前記第１のレーザ光が出射
   した時から所定時間経過後に前記第２のレーザ出射手段
   から前記第２のレーザ光が出射するように、前記第２の
   レーザ出射手段及び前記第２のレーザ出射手段をそれぞ
   れ制御する制御手段とを具備したことを特徴とするパル
   スレーザ発振装置。
2. 【請求項２】 第１のレーザ光を出射する第１のレーザ
   出射手段と、 第２のレーザ光を出射する第２のレーザ出射手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光を電気信号
   に変換する変換手段と、 前記変換手段により変換された電気信号に基づいて、前
   記第２のレーザ光の前記第１のレーザ光に対する遅延時
   間を測定する測定手段と、 前記第１のレーザ出射手段及び前記第２のレーザ出射手
   段からそれぞれ前記第１のレーザ光及び前記第２のレー
   ザ光を出射させるためのパルス信号を前記第１のレーザ
   出射手段及び前記第２のレーザ出射手段に出力するパル
   ス信号出力手段と、 前記測定手段により測定された遅延時間と所定時間との
   偏差量を算出する偏差量算出手段と、 前記偏差量算出手段から算出される偏差量に基づいて、
   前記パルス信号出力手段から出力される前記パルス信号
   の周期を変化させることにより、前記第２のレーザ出射
   手段から前記第２のレーザ光が出射した時から所定時間
   経過後に前記第１のレーザ出射手段から前記第１のレー
   ザ光が出射するように制御する制御手段とを具備したこ
   とを特徴とするパルスレーザ発振装置。
3. 【請求項３】 前記測定手段は、クロック発振器から出
   力されるクロック信号をカウントしてパルス信号の周期
   を測定するカウンタ或いは印加される電圧を積分して前
   記パルス信号の周期を測定する積分器であることを特徴
   とする請求項２記載のパルスレーザ発振装置。
4. 【請求項４】 第１の電源からの電力供給により、第１
   のレーザ光を出射する第１のレーザ出射手段と、 第２の電源からの電力供給により、第２のレーザ光を出
   射する第２のレーザ出射手段と、 前記第１の電源及び前記第２の電源の出力レベルに応じ
   て、前記第２のレーザ光の出射の前記第１のレーザ光の
   出射に対する遅延時間を予測する予測手段と、 前記第１のレーザ出射手段及び前記第２のレーザ出射手
   段からそれぞれ前記第１のレーザ光及び前記第２のレー
   ザ光を出射させるためのパルス信号を前記第１のレーザ
   出射手段及び前記第２のレーザ出射手段に出力するパル
   ス信号出力手段と、 前記予測手段により予測された遅延時間と、所定時間と
   の偏差量を算出する偏差量算出手段と、 前記偏差量算出手段から出力される偏差量に基づいて、
   前記パルス信号出力手段から出力されるパルス信号の周
   期を変化させることにより、前記第２のレーザ出射手段
   から第２のレーザ光が出射した時から所定時間経過後に
   前記第１のレーザ出射手段から第１のレーザ光が出射す
   るように制御する制御手段とを具備したことを特徴とす
   るパルスレーザ発振装置。
5. 【請求項５】 第１のレーザ光を出射する第１のレーザ
   出射手段と、 第２のレーザ光を出射する第２のレーザ出射手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギ
   ーを検出するエネルギー検出手段と、 前記エネルギー検出手段で検出された前記第１のレーザ
   光及び前記第２のレーザ光のエネルギーに基づいて、前
   記第１のレーザ出射手段から出射する前記第１のレーザ
   光及び前記第２のレーザ出射手段から出射する第２のレ
   ーザ光のエネルギーが所定のエネルギー量になるように
   制御することにより、前記第１のレーザ光と前記第２の
   レーザ光との出射間隔が所定の出射間隔となるようにす
   るエネルギー制御手段とを具備したことを特徴とするパ
   ルスレーザ発振装置。
6. 【請求項６】 第１のレーザ光を出射する第１のレーザ
   出射手段と、 第２のレーザ光を出射する第２のレーザ出射手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギ
   ーを検出するエネルギー検出手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光の光路上に
   それぞれ設けられ、前記第１のレーザ光及び前記第２の
   レーザ光のエネルギーを制御するためのエネルギー可変
   用基板と、 前記エネルギー検出手段で検出された前記第１のレーザ
   光及び前記第２のレーザ光のエネルギーに基づいて、前
   記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギー
   が所定値となるよう前記エネルギー可変用基板の配置角
   度を前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光の光軸
   に対して変化させることにより、前記第１のレーザ光と
   前記第２のレーザ光との出射間隔が所定の出射間隔とな
   るようにする基板角度制御手段とを具備したことを特徴
   とするパルスレーザ発振装置。
7. 【請求項７】 第１のレーザ光を出射する第１のレーザ
   出射手段と、 第２のレーザ光を出射する第２のレーザ出射手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギ
   ーを検出するエネルギー検出手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光の光路上に
   それぞれ設けられ、前記第１のレーザ光及び前記第２の
   レーザ光が通過する通過孔を有するスリットと、 前記エネルギー検出手段で検出された前記第１のレーザ
   光及び前記第２のレーザ光のエネルギーに基づいて、前
   記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光のエネルギー
   が所定値となるよう前記スリットの通過孔の径を制御
   し、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光との出射
   間隔が所定の出射間隔となるようにする制御手段とを具
   備したことを特徴とするパルスレーザ発振装置。
8. 【請求項８】 第１のレーザ光を出射する第１のパルス
   レーザ出射手段と、 第２のレーザ光を出射する第２のパルスレーザ出射手段
   と、 前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光との出射間隔
   を示す遅延時間を設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された遅延時間にオフセット時
   間を加算した加算遅延時間を算出する算出手段と、 前記算出手段によって算出された加算遅延時間の間隔を
   異ならせて前記第１のパルスレーザ出射手段及び前記第
   ２のパルスレーザ出射手段から前記第１のレーザ光及び
   前記第２のレーザ光をそれぞれ出射するように制御する
   制御手段と、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光を電気信号
   に変換する変換手段と、 前記変換手段により変換された電気信号に基づいて、前
   記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光との出射間隔を
   測定する測定手段と、 前記算出手段にて算出された加算遅延時間から前記測定
   手段によって測定された前記出射間隔を減算して補正値
   を算出する補正値算出手段と、 前記補正値算出手段によって算出された補正値が所定値
   の場合に、前記補正値に基づいて前記遅延時間を再び算
   出する再設定手段とを具備し、 前記算出手段は、前記再設定手段によって再び前記遅延
   時間が算出された場合には、前記再設定手段によって算
   出された前記遅延時間に基づいて、再び前記加算遅延時
   間を算出することを特徴とするパルスレーザ発振装置。
9. 【請求項９】 前記第１のレーザ出射手段及び前記第２
   のレーザ出射手段は、異なる波長のレーザ光を出射する
   ことを特徴とする請求項８記載のパルスレーザ発振装
   置。
10. 【請求項１０】 前記第１のレーザ出射手段及び前記第
    ２のレーザ出射手段は、それぞれ異なるパルス幅を有す
    るパルスレーザ光を出射することを特徴とする請求項８
    記載のパルスレーザ発振装置。