WO2018025394A1 - ガスレーザ装置 - Google Patents

ガスレーザ装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2018025394A1
WO2018025394A1 PCT/JP2016/073081 JP2016073081W WO2018025394A1 WO 2018025394 A1 WO2018025394 A1 WO 2018025394A1 JP 2016073081 W JP2016073081 W JP 2016073081W WO 2018025394 A1 WO2018025394 A1 WO 2018025394A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pulse
laser device
control unit
gas laser
timing
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/073081
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
博 梅田
若林　理
Original Assignee
ギガフォトン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ギガフォトン株式会社 filed Critical ギガフォトン株式会社
Priority to JP2018531706A priority Critical patent/JPWO2018025394A1/ja
Priority to PCT/JP2016/073081 priority patent/WO2018025394A1/ja
Priority to CN201680087553.2A priority patent/CN109478757B/zh
Publication of WO2018025394A1 publication Critical patent/WO2018025394A1/ja
Priority to US16/232,637 priority patent/US20190148905A1/en
Priority to US17/153,513 priority patent/US20210167568A1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/09702—Details of the driver electronics and electric discharge circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
    • H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
    • H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
    • H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/22—Gases
    • H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
    • H01S3/225—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms comprising an excimer or exciplex

Definitions

  • the present disclosure relates to a discharge excitation type gas laser device.
  • the semiconductor exposure apparatus As semiconductor integrated circuits are miniaturized and highly integrated, improvement in resolving power is demanded in semiconductor exposure apparatuses.
  • the semiconductor exposure apparatus is simply referred to as “exposure apparatus”. For this reason, the wavelength of light output from the light source for exposure is being shortened.
  • a discharge excitation type gas laser device is used instead of a conventional mercury lamp.
  • a KrF excimer laser device that outputs ultraviolet light with a wavelength of 248 nm and an ArF excimer laser device that outputs ultraviolet light with a wavelength of 193.4 nm are used as the exposure laser device.
  • Current exposure technology includes immersion exposure that fills the gap between the projection lens on the exposure apparatus side and the wafer with liquid and changes the refractive index of the gap to shorten the apparent wavelength of the exposure light source.
  • immersion exposure is performed using an ArF excimer laser device as an exposure light source, the wafer is irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 134 nm in water. This technique is called ArF immersion exposure.
  • ArF immersion exposure is also called ArF immersion lithography.
  • the spectral line width in natural oscillation of KrF and ArF excimer laser devices is as wide as about 350 to 400 pm, the chromatic aberration of laser light (ultraviolet light) projected on the wafer by the projection lens on the exposure device side is generated, resulting in high resolution. descend. Therefore, it is necessary to narrow the spectral line width of the laser light output from the gas laser device until the chromatic aberration becomes negligible. For this reason, a narrowband module (Line Narrowing Module) having a narrowband element is provided in the laser resonator of the gas laser device. With this narrowband module, the spectral linewidth is narrowed.
  • the band narrowing element may be an etalon or a grating.
  • a laser device whose spectral line width is narrowed in this way is called a narrow-band laser device.
  • a discharge-excitation gas laser apparatus includes: A. First and second discharge electrodes arranged oppositely; B. A plurality of peaking capacitors connected to the first discharge electrode; C. Charger; D. A plurality of pulse power modules, wherein one pulse power module includes the following D1 to D3: D1. A charging capacitor to which a charging voltage is applied from a charger; D2. A pulse compression circuit that pulse-compresses the electric energy held in the charging capacitor and outputs it as an output pulse to a corresponding peaking capacitor among a plurality of peaking capacitors; and D3. A switch placed between the charging capacitor and the pulse compression circuit; E. A plurality of output pulse sensors, wherein one output pulse sensor detects output pulses output by one pulse power module; and F. A control unit that controls the timing of the switch signal input to each switch based on the detection result of each output pulse sensor.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a laser apparatus according to a comparative example.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the gas laser device as viewed from the Z direction.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing the configuration of PPM (1) to PPM (n).
  • FIG. 4 is a graph showing the relationship between the charging voltage and the time required for the voltage to be applied to the discharge electrode from the input of the switch signal to the PPM (k).
  • FIG. 5 is a block diagram illustrating a configuration of the synchronization control unit.
  • FIG. 6 is a timing chart showing the relationship between the external trigger signal, the internal trigger signal, and the switch signal.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a laser apparatus according to a comparative example.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the gas laser device as viewed from the Z direction.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing the configuration of PPM (1) to PPM (n).
  • FIG. 4 is
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating processing executed by the laser control unit.
  • FIG. 8 is a flowchart showing the processing executed by the trigger correction unit.
  • FIG. 9 is a timing chart in the gas laser apparatus according to the comparative example.
  • FIG. 10 is a timing chart for explaining the problem of the gas laser device according to the comparative example.
  • FIG. 11 is a diagram schematically showing the configuration of the gas laser device according to the first embodiment.
  • FIG. 12 is a circuit diagram showing the configuration of PPM (1) to PPM (n).
  • FIG. 13 is a block diagram illustrating a configuration of the synchronization control unit.
  • FIG. 14 is a timing chart showing the relationship among the external trigger signal, the internal trigger signal, the switch signal, and the detection signal.
  • FIG. 15 is a flowchart illustrating processing executed by the trigger correction unit.
  • FIG. 16 is a diagram schematically showing a configuration of a gas laser device according to the second embodiment.
  • FIG. 17 is a circuit diagram showing the configuration of PPM (1) to PPM (n).
  • FIG. 18 is a block diagram illustrating a configuration of the synchronization control unit.
  • FIG. 19 is a flowchart showing the time difference data calculation process.
  • FIG. 20 is a flowchart showing a delay time calculation process.
  • FIG. 21 is a timing chart in the gas laser apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 22 is a diagram schematically showing a configuration of a gas laser device according to the third embodiment.
  • FIG. 23 is a block diagram illustrating a configuration of the synchronization control unit.
  • FIG. 24 is a flowchart showing calculation processing of time difference data and charging voltage.
  • FIG. 25 is a diagram schematically showing a configuration of a gas laser device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 26 is a block diagram illustrating a configuration of the synchronization control unit.
  • FIG. 27 is a timing chart showing the relationship among the external trigger signal, the internal trigger signal, the switch signal, and the detection signal.
  • FIG. 28 is a flowchart illustrating a delay time correction process performed by the delay time correction unit.
  • FIG. 29 is a diagram illustrating a specific example of a current detection type output pulse sensor.
  • FIG. 30 is a diagram illustrating a specific example of an output pulse sensor that detects charging timing based on a waveform of a current flowing through a peaking capacitor.
  • FIG. 31 is a graph for explaining the operation of the comparator.
  • FIG. 32 is a diagram showing a specific example of a voltage detection type output pulse sensor.
  • FIG. 33 is a diagram illustrating a specific example of an output pulse sensor that detects charging timing based on a waveform of a voltage applied to the peaking capacitor.
  • FIG. 34 is a graph for explaining the operation of the comparator.
  • FIG. 35 is a diagram illustrating a specific example of an optical sensor included in the discharge sensor.
  • FIG. 36 is a graph for explaining the operation of the comparator.
  • FIG. 1 schematically shows the configuration of the gas laser device 2.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the gas laser device 2 shown in FIG. 1 as viewed from the Z direction.
  • the gas laser device 2 is a discharge excitation type gas laser device, for example, an excimer laser device.
  • the traveling direction of the pulsed laser light PL output from the gas laser device 2 is referred to as the Z direction.
  • a discharge direction between first and second discharge electrodes 20a and 20b described later is referred to as a V direction.
  • a direction orthogonal to the Z direction and the V direction is referred to as an H direction.
  • the gas laser device 2 includes a laser chamber 10, a charger 11, and a plurality of pulse power modules (PPM) 12.
  • the gas laser device 2 further includes a rear mirror 14, an output coupling mirror 15, a pulse energy measurement unit 16, a synchronization control unit 17, and a laser control unit 18.
  • first and second discharge electrodes 20a and 20b as main electrodes, a ground plate 21, a wiring 22, a fan 23, and a heat exchanger 24 are provided. Note that a spare electrode (not shown) may be provided in the laser chamber 10.
  • Laser gas as a laser medium is sealed in the laser chamber 10.
  • the laser gas includes, for example, argon, krypton, xenon, etc. as rare gases, neon, helium, etc. as buffer gases, and chlorine, fluorine, etc. as halogen gases.
  • an opening is formed in the laser chamber 10.
  • An electric insulating plate 26 in which a plurality of feedthroughs 25 are embedded is provided so as to close the opening.
  • a plurality of peaking capacitors (Cp) 27 and a holder 28 for holding them are arranged on the electrical insulating plate 26, a plurality of peaking capacitors (Cp) 27 and a holder 28 for holding them are arranged.
  • a plurality of PPMs 12 are arranged on the holder 28.
  • the laser chamber 10 is provided with windows 21a and 21b.
  • the first and second discharge electrodes 20a and 20b are opposed to each other in the laser chamber 10 as electrodes for exciting the laser medium by discharge.
  • the first discharge electrode 20a and the second discharge electrode 20b are arranged so that their discharge surfaces face each other.
  • a space between the discharge surface of the first discharge electrode 20a and the discharge surface of the second discharge electrode 20b is referred to as a discharge space.
  • the first discharge electrode 20 a is supported by the electrical insulating plate 26 on the surface opposite to the discharge surface.
  • the surface of the second discharge electrode 20b opposite to the discharge surface is supported by the ground plate 21.
  • the feedthrough 25 is connected to the first discharge electrode 20a. As shown in FIG. 2, the feedthrough 25 is connected to a peaking capacitor 27 held by a holder 28 via a connection portion 29.
  • the connection part 29 is a member for connecting the peaking capacitor 27 to other components.
  • the wall 28a forming the internal space of the holder 28 is formed of a metal material such as aluminum metal. Inside the holder 28, a peaking capacitor 27, a connection portion 29, and a high voltage terminal 12b of the PPM 12 are arranged.
  • the peaking capacitor 27 is a capacitor that supplies electric energy to the first and second discharge electrodes 20a and 20b.
  • the peaking capacitor 27 receives electric energy from the PPM 12 and accumulates it, and then discharges the accumulated electric energy to the first and second discharge electrodes 20a and 20b.
  • Two peaking capacitors 27 are arranged along the H direction.
  • a plurality of peaking capacitors 27 may be arranged along the Z direction.
  • One electrode 27 a of the peaking capacitor 27 is connected to the high voltage terminal 12 b and the feedthrough 25 via the connection portion 29.
  • the other electrode 27 b of the peaking capacitor 27 is connected to the wall 28 a of the holder 28 via the connection portion 29.
  • connection unit 29 includes a connection plate 29a and connection terminals 29b and 29c.
  • the connection plate 29a is formed of a conductive plate having a U-shaped cross section, and is connected to the high voltage terminal 12b and the feedthrough 25.
  • the ground plate 21 is connected to the laser chamber 10 via a wiring 22.
  • the laser chamber 10 is grounded.
  • the ground plate 21 is kept at the ground potential via the wiring 22.
  • the end of the ground plate 21 in the Z direction is fixed to the laser chamber 10.
  • the fan 23 is a cross flow fan and circulates the laser gas in the laser chamber 10.
  • the fan 23 is disposed so that the longitudinal direction is substantially parallel to the Z direction.
  • the fan 23 is disposed on the opposite side of the discharge space with respect to the ground plate 21.
  • the fan 23 is rotationally driven by a motor 23a connected to the laser chamber 10 to generate a laser gas flow.
  • the laser gas blown out from the fan 23 flows into the discharge space.
  • the flow direction of the laser gas flow flowing into the discharge space is substantially parallel to the H direction.
  • the laser gas flowing out from the discharge space can be sucked into the fan 23 through the heat exchanger 24.
  • the heat exchanger 24 exchanges heat between the refrigerant supplied into the heat exchanger 24 and the laser gas.
  • Windows 21 a and 21 b are provided at the end of the laser chamber 10. The light generated in the laser chamber 10 is emitted to the outside of the laser chamber 10 through the windows 21a and 21b.
  • the rear mirror 14 and the output coupling mirror 15 constitute an optical resonator.
  • a laser chamber 10 is disposed on the optical path of the optical resonator.
  • the rear mirror 14 is obtained by coating a high reflection film on a substrate formed of calcium fluoride (CaF 2 ) or the like through which the pulse laser beam PL is transmitted.
  • the output coupling mirror 15 is obtained by coating a partial reflection film on a substrate made of calcium fluoride (CaF 2 ) or the like through which the pulse laser beam PL is transmitted.
  • the reflectance of this partial reflection film is in the range of 8% to 15%.
  • the light emitted from the laser chamber 10 reciprocates between the rear mirror 14 and the output coupling mirror 15 and is amplified every time it passes through the discharge space. A part of the amplified light is output as pulsed laser light PL through the output coupling mirror 15.
  • the pulse energy measuring unit 16 is disposed in the optical path of the pulsed laser beam PL output through the output coupling mirror 15.
  • the pulse energy measurement unit 16 includes a beam splitter 16a, a condensing optical system 16b, and an optical sensor 16c.
  • the beam splitter 16a transmits the pulsed laser light PL with a high transmittance and reflects a part of the pulsed laser light PL toward the condensing optical system 16b.
  • the condensing optical system 16b condenses the light reflected by the beam splitter 16a on the light receiving surface of the optical sensor 16c.
  • the optical sensor 16 c detects the pulse energy of the light collected on the light receiving surface, and outputs the detected pulse energy data to the laser control unit 18.
  • the charger 11 is a DC power supply device that supplies a constant charging voltage to a charging capacitor C 0 ( described later) included in each PPM 12.
  • Each PPM 12 includes a switch 12 a controlled by the laser control unit 18.
  • the switch 12a is composed of an insulated gate bipolar transistor (IGBT). When the switch 12a is turned ON from OFF, PPM12 generates a high voltage pulse from the electrical energy that has been held in the charging capacitor C 0, she is applied to the first discharge electrode 20a.
  • IGBT insulated gate bipolar transistor
  • the plurality of PPMs 12 are arranged on the holder 28 along the Z direction. At least one peaking capacitor 27 is electrically connected to each PPM 12. In this comparative example, two peaking capacitors 27 are connected in parallel to one PPM 12. The total number of the plurality of PPMs 12 is n.
  • each PPM 12 is expressed as PPM (k).
  • k 1, 2,..., N.
  • One or two or more peaking capacitors 27 connected to PPM (k) are collectively referred to as Cp (k).
  • the laser control unit 18 transmits and receives various signals to and from the external device control unit 3 included in an external device such as an exposure device (not shown).
  • the laser control unit 18 receives an external trigger signal TR as a light emission trigger, data of the target pulse energy Et, and the like from the external device control unit 3.
  • the laser control unit 18 receives a measured value of pulse energy from the pulse energy measurement unit 16.
  • the external device may be a processing laser device, a laser annealing device, a laser doping device, or the like in addition to the exposure device.
  • the laser control unit 18 refers to the data of the target pulse energy Et received from the external device control unit 3 and the measured value of the pulse energy received from the pulse energy measurement unit 16, and sets the charging voltage V to be set in the charger 11. Is calculated.
  • the laser control unit 18 is connected to the synchronization control unit 17 and transmits the external trigger signal TR and the set value of the charging voltage V to the synchronization control unit 17.
  • the synchronization control unit 17 is connected to the laser control unit 18, the charger 11, and PPM (1) to PPM (n).
  • Charger 11 receives the set value of the charging voltage V via the synchronization control section 17, based on the set value of the charging voltage V, to charge the charging capacitor C 0 included in each PPM (k).
  • the synchronization control unit 17 generates n switch signals S (1) to S (n) based on the external trigger signal TR received from the laser control unit 18.
  • the switch signal S (k) is input to the switch 12a included in the PPM (k).
  • FIG. 3 shows the configuration of PPM (1) to PPM (n) shown in FIG. Since PPM (1) to PPM (n) have the same configuration, the configuration of one PPM (k) will be described.
  • PPM (k) includes a charging capacitor C 0, a switch 12a, a pulse transformer PT, a plurality of magnetic switches MS 1 and MS 2, a plurality of capacitors C 1 and C 2, a.
  • the pulse transformer PT, the plurality of magnetic switches MS 1 and MS 2, and the plurality of capacitors C 1 and C 2 constitute a pulse compression circuit.
  • Each of the magnetic switches MS 1 and MS 2 includes a saturable reactor.
  • the magnetic switches MS 1 and MS 2 each have a low impedance when the time integration value of the voltage applied to both ends thereof reaches a predetermined value determined by the characteristics of the magnetic switch.
  • the switch signal S (k) is input from the synchronization control unit 17 to the switch 12a of the PPM (k).
  • Switch 12a when the switch signal S (k) is input turns ON, current flows from the charging capacitor C 0 to the primary side of the pulse transformer PT.
  • the magnetic switch MS 1 When the magnetic switch MS 1 is closed, a current pulse flows from the capacitor C 1 to the capacitor C 2 and the capacitor C 2 can be charged. At this time, the current pulse flowing through the capacitor C 2 has a shorter pulse width than the current pulse flowing through the capacitor C 1 . When the capacitor C 2 is charged, the magnetic switch MS 2 becomes magnetically saturated and closes.
  • the charging voltage V set to PPM (k) is larger than the reference voltage V 0
  • the required time F (V) is longer than the required time F (V 0 ) when the reference voltage V 0 is used.
  • the time difference ⁇ TV (k) is shortened.
  • FIG. 5 shows a configuration of the synchronization control unit 17 shown in FIG.
  • the synchronization control unit 17 includes an internal trigger signal generation unit 30 and a plurality of trigger correction units (TCS) 31.
  • Each trigger correction unit 31 includes a processing unit 32 and a delay circuit 33.
  • TCS TCS (1) to TCS (n) have the same configuration.
  • the internal trigger signal generator 30 is connected to the laser controller 18 and TCS (1) to TCS (n).
  • the internal trigger signal generation unit 30 receives the external trigger signal TR from the laser control unit 18, the internal trigger signal generation unit 30 generates the internal trigger signal TR (k) and inputs it to each delay circuit 33 of TCS (k).
  • the internal trigger signal generation unit 30 outputs the internal trigger signal TR (k) after the elapse of the delay time Trd (k) after receiving the external trigger signal TR.
  • the delay times Trd (1) to Trd (n) are all set to the reference delay time Trd0 and have the same value. That is, the internal trigger signal TR (k) is simultaneously input to each delay circuit 33 of TCS (k).
  • Each processing unit 32 of the TCS (k) is connected to the laser control unit 18 and the delay circuit 33.
  • the processing unit 32 calculates a delay time Td (k) for delaying the internal trigger signal TR (k) based on the set value of the charging voltage V received from the laser control unit 18 and inputs the delay time Td (k) to the delay circuit 33. .
  • the processing unit 32 obtains the time difference ⁇ TV (k) based on the above-described Expression 2.
  • the processing unit 32 may store a function representing the required time F (V) as table data, and obtain the time difference ⁇ TV (k) based on the table data.
  • Td (k) Td0 (k) + ⁇ TV (k) (3)
  • Td0 (k) is the reference delay time when the charging voltage V is the reference voltage V 0. That is, the delay time Td (k) is a value obtained by adding the correction time ⁇ TV (k) obtained based on the above equation 2 to the reference delay time Td0 (k).
  • the delay circuit 33 acquires and holds the data of the delay time Td (k) calculated by the processing unit 32. As shown in FIG. 6, when the delay circuit 33 receives the internal trigger signal TR (k) from the internal trigger signal generator 30, the delay circuit 33 delays the internal trigger signal TR (k) by a delay time Td (k). The switch signal S (k) is input to the PPM 12. As a result, the time required from when the laser control unit 18 receives the external trigger signal TR to when the high voltage is applied to the first discharge electrode 20a by the PPM (k) becomes substantially constant.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating processing executed by the laser control unit 18.
  • the laser control unit 18 calculates the charging voltage V set in the charger 11 based on the target pulse energy Et by the following processing.
  • the laser control unit 18 sets the set value of the charging voltage V to the reference voltage V 0 as an initial value.
  • the laser control unit 18 reads the data of the target pulse energy Et transmitted from the external device control unit 3.
  • the laser control unit 18 transmits the external trigger signal TR to the synchronization control unit 17, and determines whether or not the gas laser device 2 has oscillated.
  • the laser controller 18 stands by until laser oscillation occurs.
  • the laser control unit 18 advances the process to S104.
  • the laser control unit 18 detects the pulse energy E of the pulsed laser light PL output from the gas laser device 2.
  • the pulse energy E is measured by the pulse energy measuring unit 16.
  • the laser control unit 18 calculates a difference ⁇ E between the measured pulse energy E and the target pulse energy Et based on the following equation 4.
  • ⁇ E E ⁇ Et (4)
  • the laser control unit 18 calculates the change amount ⁇ V of the set value of the charging voltage V based on the following equation 5 based on the difference ⁇ E.
  • ⁇ V H ⁇ ⁇ E (5)
  • H is a proportionality constant.
  • the change amount ⁇ V represents how much the set value of the charging voltage V should be changed in order to set the difference ⁇ E to zero.
  • the laser control unit 18 sets a value obtained by adding the change amount ⁇ V to the current set value of the charging voltage V as the next set value.
  • the laser control unit 18 transmits the set value of the charging voltage V calculated in S106 to the charger 11 and the plurality of trigger correction units 31.
  • the laser control unit 18 determines whether or not the target pulse energy Et transmitted from the external device control unit 3 has been changed.
  • the laser control unit 18 returns the process to S102 described above.
  • the target pulse energy Et has not been changed (S108; NO)
  • the laser control unit 18 returns the process to S103 described above. The above processing is repeatedly executed.
  • FIG. 8 is a flowchart showing processing executed by the trigger correction unit 31.
  • Each trigger correction unit 31 calculates the delay time Td (k) by the following process when the set value of the charging voltage V is transmitted from the laser control unit 18 in S107 shown in FIG. The signal TR (k) is corrected.
  • the processing unit 32 included in each TCS (k) reads the set value of the charging voltage V transmitted from the laser control unit 18.
  • the processing unit 32 calculates a correction time ⁇ TV (k) based on the above-described Expression 1 and Expression 2.
  • the processing unit 32 calculates the delay time Td (k) based on the above-described Expression 3.
  • the processing unit 32 transmits data of the calculated delay time Td (k) to the delay circuit 33. Thereafter, the processing unit 32 returns the process to S201. The above process is repeated.
  • the delay circuit 33 When the delay circuit 33 receives the internal trigger signal TR (k) from the internal trigger signal generation unit 30, the delay circuit 33 delays the internal trigger signal TR (k) by the delay time Td (k), and delays the internal trigger signal TR (k). ) As a switch signal S (k) and input to PPM (k).
  • FIG. 9 is a timing chart in the gas laser device 2 according to the comparative example. The overall operation of the gas laser device will be described with reference to FIG.
  • the laser control unit 18 When the laser control unit 18 receives the data of the target pulse energy Et from the external device control unit 3, the laser control unit 18 calculates a set value of the charging voltage V such that the pulse energy E of the pulse laser light PL approaches the target pulse energy Et, and synchronizes. The data is transmitted to the charger 11 via the control unit 17.
  • the processing unit 32 of each TCS (k) calculates the delay time Td (k) based on the set value of the charging voltage V, and the delay circuit 33 stores the data of the delay time Td (k).
  • the internal trigger signal generation unit 30 in the synchronization control unit 17 receives the external trigger signal TR from the external device control unit 3 via the laser control unit 18, the internal trigger signal generation unit 30 generates the internal trigger signal TR (k) and generates each TCS (k ) To the delay circuit 33.
  • the internal trigger signal TR (k) input to the delay circuit 33 of each TCS (k) is delayed by the delay time Td (k) and input to the switch 12a of the PPM (k) as the switch signal S (k).
  • the switch signals S (1) to S (n) are input to the switches 12a of PPM (1) to PPM (n) almost simultaneously, and the switches 12a are turned on almost simultaneously. Then, Cp (1) to Cp (n) are charged almost simultaneously by the current pulse pulse-compressed by PPM (1) to PPM (n), and a high voltage is applied to the first discharge electrode 20a almost simultaneously. .
  • the laser control unit 18 reads the pulse energy E of the pulse laser beam measured by the pulse energy measurement unit 16 and calculates a set value of the charging voltage V that approaches the target pulse energy Et. The above steps are repeated.
  • the synchronization control unit 17 controls the timing at which the switches 12a of PPM (1) to PPM (n) are turned on based on the charging voltage V of the charger 11, so that Cp (1) ⁇
  • the timing at which Cp (n) is charged can be substantially matched.
  • the charging timings of Cp (1) to Cp (n) are controlled so as to be substantially the same. As described above, there is a possibility that a deviation occurs in the charging timing of Cp (1) to Cp (n). If the charging timing is deviated, the application timing of the high voltage from PPM (1) to PPM (n) to the first discharge electrode 20a is deviated, and the discharge intensity is lowered. As a result, the emission intensity of the pulse laser beam PL is reduced. In order to suppress a decrease in the emission intensity of the pulse laser beam PL, it is necessary to match the charging timings of Cp (1) to Cp (n) with an accuracy of several nanoseconds or less.
  • a deviation in charge timing of about several nanoseconds can occur due to individual differences or temperature differences between PPM (1) to PPM (n). For example, since the charging timing depends on the temperature of each component of PPM (1) to PPM (n), the charging timing is shifted due to the temperature difference. If it is possible to directly measure the temperature of each component of PPM (1) to PPM (n) and accurately predict the temperature change, it is possible to reduce the charge timing shift to some extent. In fact, direct measurement and prediction of temperature is difficult. It is also difficult to eliminate individual differences between PPM (1) to PPM (n).
  • the gas laser device according to the first embodiment is the same as the configuration of the gas laser device 2 according to the comparative example, except that the output laser sensor is included and the configuration of the trigger correction unit is different.
  • symbol is attached
  • FIG. 11 schematically illustrates the configuration of the gas laser device 2a according to the first embodiment.
  • FIG. 12 shows the configuration of PPM (1) to PPM (n) shown in FIG.
  • an output pulse sensor 40 is provided between the PPM 12 and the peaking capacitor 27.
  • One output pulse sensor 40 is provided for each PPM 12.
  • the output pulse sensor 40 disposed between PPM (k) and Cp (k) is denoted as A (k).
  • the output pulse sensor A (k) is a current sensor that detects a current pulse as an output pulse.
  • the output pulse sensor A (k) is connected between the magnetic switch MS 2 and the peaking capacitor 27.
  • the output pulse sensor A (k) inputs the detection signal D1 (k) to the synchronization control unit 50 when detecting the current pulse.
  • FIG. 13 shows a configuration of the synchronization control unit 50 according to the first embodiment.
  • the synchronization control unit 50 includes an internal trigger signal generation unit 30 and a plurality of trigger correction units (TCS) 51.
  • TCS trigger correction units
  • the synchronization control unit 50 controls the timing of the switch signals S (1) to S (n) input to the PPM (1) to PPM (n).
  • the synchronization control unit 50 is configured in whole or in part by an FPGA (Field Programmable Gate Gate Array) capable of high-speed processing.
  • the trigger correction unit 51 for PPM (k) is denoted as TCS (k).
  • the internal trigger signal generation unit 30 has the same configuration as the internal trigger signal generation unit 30 of the comparative example.
  • the internal trigger signal generation unit 30 receives the external trigger signal TR from the laser control unit 18, the internal trigger signal generation unit 30 generates the internal trigger signal TR (k) and inputs the generated internal trigger signal TR (k) to the TCS (k).
  • Each TCS (k) includes a processing unit 52, a delay circuit 53, and a timer 54.
  • the internal trigger signal TR (k) is simultaneously input from the internal trigger signal generation unit 30 to the delay circuit 53 and the timer 54.
  • the detection signal D1 (k) is input from the output pulse sensor A (k) to the timer 54 of the TCS (k).
  • the timer 54 is configured to start timing by the input of the internal trigger signal TR (k) and stop timing by the input of the detection signal D1 (k). That is, as shown in FIG. 14, the timer 54 measures a time Tdm (k) required from the input of the internal trigger signal TR (k) to the input of the detection signal D1 (k). The timer 54 inputs data of the measurement time Tdm (k) to the processing unit 52.
  • the processing unit 52 of TCS (k) calculates a delay time Td (k) for delaying the internal trigger signal TR (k) based on the set value of the charging voltage V received from the laser control unit 18, and the delay Input to the circuit 53. Specifically, the processing unit 52 obtains the time difference ⁇ TV (k) based on the above-described Expression 2. After obtaining the time difference ⁇ TV (k), the processing unit 52 calculates the delay time Td (k) based on Equation 3 described above.
  • the processing unit 52 of the TCS (k) corrects the delay time Td (k) based on the data of the measurement time Tdm (k) input from the timer 54. Thereby, the timing of the switch signal S (k) is corrected.
  • the synchronization control unit 50 and the laser control unit 18 constitute a control unit that controls the timing of the switch signal S (k) based on the detection result of the output pulse sensor A (k).
  • FIG. 15 is a flowchart showing processing executed by each TCS (k).
  • Each TCS (k) calculates the delay time Td (k) by the following process when the set value of the charging voltage V is transmitted from the laser control unit 18 in S107 shown in FIG. The signal TR (k) is corrected.
  • the processing unit 52 of each TCS (k) sets the reference delay time Td0 (k) to an initial value as follows.
  • Td0 (k) Tdt ⁇ F (V 0 )
  • Tdt is a target value of the measurement time Tdm (k).
  • F (V 0 ) is the required time F (V) described above when the charging voltage V is the reference voltage V 0 .
  • the relationship among the reference delay time Td0 (k), the target value Tdt, and the required time F (V 0 ) is shown in FIG.
  • J is a counter for counting the number of oscillation pulses.
  • Tdmsum (k) is a total value for calculating the average value of the measurement times Tdm (k) measured by the timer 54.
  • the processing unit 52 reads the set value of the charging voltage V transmitted from the laser control unit 18.
  • the processing unit 52 calculates the correction time ⁇ TV (k) based on the above-described Expression 1 and Expression 2.
  • the processing unit 52 calculates the delay time Td (k) based on Equation 3 described above.
  • the processing unit 32 transmits data of the calculated delay time Td (k) to the delay circuit 53.
  • the processing unit 52 determines whether or not the gas laser device 2a has laser-oscillated. Whether or not the gas laser device 2a has oscillated is determined by whether or not the timer 54 has received the detection signal D1 (k) from the output pulse sensor A (k). When the gas laser device 2a performs laser oscillation (S306; YES), the processing unit 52 advances the processing to S307. When the gas laser device 2a does not oscillate (S306; NO), the processing unit 52 stands by until the gas laser device 2a oscillates.
  • the processing unit 52 updates the value of J by adding 1 to the current value of the counter J.
  • the processing unit 52 receives data of the measurement time Tdm (k) from the timer 54.
  • the processing unit 52 updates the total value Tdmsum (k) by adding the measurement time Tdm (k) to the current total value Tdmsum (k).
  • the processing unit 52 determines whether or not the value of the counter J has reached a predetermined number of samples Jmax. When the value of the counter J has not reached the predetermined number of samples Jmax (S310; NO), the processing unit 52 returns the process to S302. When the value of the counter J reaches the predetermined number of samples Jmax (S310; YES), the processing unit 52 advances the process to S311.
  • the processing unit 52 calculates a difference ⁇ Td (k) between the average value of the measurement time Tdm (k) and the target value Tdt.
  • the difference ⁇ Td (k) is calculated by the following expression 6.
  • ⁇ Td (k) Tdmsum (k) / Jmax ⁇ Tdt (6)
  • the processing unit 52 sets a value obtained by subtracting the difference ⁇ Td (k) from the reference delay time Td0 (k) as a new reference delay time Td0 (k). Thus, after correcting the reference delay time Td0 (k), the processing unit 52 returns the process to S301. The above process is repeated.
  • the delay circuit 53 of the TCS (k) receives the internal trigger signal TR (k) from the internal trigger signal generation unit 30, the delay circuit 53 delays the internal trigger signal TR (k) by the delay time Td (k) and delays the internal trigger signal TR (k).
  • the trigger signal TR (k) is input to the PPM (k) as the switch signal S (k).
  • the first correction process for correcting the timing of the switch signal S (k) based on the charging voltage V is performed.
  • a second correction process drift correction process for correcting the timing of the switch signal S (k) based on the detection result of the output pulse sensor A (k) is performed.
  • the number of samples Jmax is preferably in the range of 200 to 10,000 times.
  • the frequency of the second correction process is preferably smaller than the frequency of the first correction process.
  • the laser control unit 18 receives the data of the target pulse energy Et from the external device control unit 3, the laser control unit 18 calculates a set value of the charging voltage V such that the pulse energy E of the pulse laser light PL approaches the target pulse energy Et. Then, the data is transmitted to the charger 11 via the synchronization control unit 50.
  • the processing unit 52 of each TCS (k) calculates the delay time Td (k) based on the set value of the charging voltage V and the reference delay time Td0 (k), and sends it to the delay circuit 53. Data of delay time Td (k) is transmitted.
  • the internal trigger signal generation unit 30 in the synchronization control unit 50 receives the external trigger signal TR from the external device control unit 3 via the laser control unit 18, the internal trigger signal generation unit 30 generates the internal trigger signal TR (k) and generates each TCS (k ) In the delay circuit 53 and the timer 54.
  • the timer 54 is reset and starts measuring time.
  • the internal trigger signal TR (k) input to each delay circuit 53 is delayed by the delay time Td (k) and input to the switch 12a of the PPM (k) as the switch signal S (k).
  • the switch signals S (1) to S (n) are input to the switches 12a of PPM (1) to PPM (n) almost simultaneously, and the switches 12a are turned on almost simultaneously.
  • the current pulse pulse-compressed by PPM (k) is output as an output pulse to Cp (k).
  • the output pulse from the PPM (k) is detected by the output pulse sensor A (k) provided at the subsequent stage of the PPM (k).
  • the output pulse sensor A (k) detects the output pulse
  • the output pulse sensor A (k) transmits a detection signal D1 (k) to the timer 54 of the TCS (k).
  • the timer 54 receives the detection signal D1 (k)
  • the timer 54 stops timing, and the measurement time Tdm (k) from the input of the internal trigger signal TR (k) to the input of the detection signal D1 (k) is sent to the processing unit 52. input.
  • the processing unit 52 executes the above-described process, calculates a difference ⁇ Td (k) between the average value of the measurement time Tdm (k) and the target value Tdt, and sets the reference The delay time Td0 (k) is corrected.
  • a high voltage is applied between the first discharge electrode 20a and the second discharge electrode 20b by charging Cp (k) with a current pulse.
  • Cp (k) As a result, dielectric breakdown occurs in the laser gas, and pulse discharge occurs in the discharge space.
  • ultraviolet laser light is output.
  • Laser oscillation is performed by the optical resonator, and the pulse laser beam PL is output from the output coupling mirror 15.
  • the pulsed energy E is measured by the pulsed energy measuring unit 16 in the output pulsed laser light PL.
  • the laser control unit 18 reads the pulse energy E of the pulse laser beam measured by the pulse energy measurement unit 16 and calculates a set value of the charging voltage V that approaches the target pulse energy Et. The above steps are repeated.
  • the reference delay time Td0 (k) is corrected based on the difference ⁇ Td (k) between the average value of the measurement times Tdm (k) and the target value Tdt, and the following.
  • the delay time Td (k) calculated in this cycle is corrected by the difference ⁇ Td (k).
  • the measurement time Tdm (k) approaches the target value Tdt.
  • the above processing is performed individually, so that the measurement time Tdm (k) by each timer 54 becomes substantially the same.
  • the detection timings of the output pulses by the output pulse sensors A (1) to A (n) are almost the same, and the deviation of the charging timing of Cp (1) to Cp (n) is suppressed. Therefore, according to the first embodiment, a decrease in the emission intensity of the pulsed laser light PL due to a shift in charging timing of Cp (1) to Cp (n) is suppressed.
  • the gas laser device 2a includes n PPMs 12 so that output energy increases n times. For example, if the output energy of one PPM 12 is 10 J, the gas laser device 2 a has a performance equivalent to that of a gas laser device having a high output PPM having an output energy of n ⁇ 10 J.
  • the charging voltages V applied to the plurality of PPMs 12 are substantially the same. For this reason, the difference in charging voltage V is small among the plurality of PPMs 12, and the influence on the charging timing is small.
  • a plurality of chargers may be provided and the charging voltage V may be supplied from each charger to each PPM 12.
  • gas laser apparatus makes it possible to control the pulse width of the pulsed laser light with high accuracy by changing the timing of the switch signal for each PPM.
  • the same components as those of the gas laser device 2a according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.
  • FIG. 16 schematically illustrates the configuration of a gas laser device 2b according to the second embodiment.
  • FIG. 17 shows the configuration of PPM (1) to PPM (n) shown in FIG.
  • data of the target pulse width Dt is transmitted from the external device control unit 3 to the laser control unit 18.
  • the laser chamber 10 a plurality of first discharge electrodes 20a 1 ⁇ 20a n, and a plurality of second discharge electrodes 20b 1 ⁇ 20b n Is provided.
  • PPM (k) first the discharge electrodes 20a k and the second discharge electrode 20b k are provided. This is the first discharge electrode 20a k connected to each PPM (k), in order to perform individual discharge.
  • k 1, 2,..., N.
  • the second discharge electrodes 20b 1 to 20b n are all ground electrodes, it is not always necessary to provide a plurality of them.
  • one second discharge electrode is used. It may be 20b.
  • the configuration of the PPM 12 is the same as that of the first embodiment.
  • Each PPM (k) is connected to Cp (k) via an output pulse sensor A (k).
  • Cp (k) is connected to the first and second discharge electrodes 20a k and 20b k .
  • the laser controller 18 determines the timing of the switch signals S (1) to S (n) based on the data of the target pulse width Dt input from the external device controller 3. Time difference data ⁇ T (1) to ⁇ T (n) are calculated and transmitted to the synchronization control unit 60.
  • FIG. 18 shows a configuration of the synchronization control unit 60 according to the second embodiment.
  • the synchronization control unit 60 includes a delay time calculation unit 61, an internal trigger signal generation unit 62, and a plurality of trigger correction units 51.
  • the trigger correction unit 51 has the same configuration as that of the first embodiment.
  • the delay time calculation unit 61 calculates the delay times Trd (1) to Trd (n) based on the time difference data ⁇ T (1) to ⁇ T (n) input from the laser control unit 18, and the internal trigger signal generation unit 62. To enter.
  • the internal trigger signal generation unit 62 When receiving the external trigger signal TR from the laser control unit 18, the internal trigger signal generation unit 62 generates the internal trigger signal TR (k) and inputs it to the TCS (k). At this time, the internal trigger signal generation unit 62 generates the internal trigger signal TR (k) by delaying the external trigger signal TR according to the delay time Trd (k) input from the delay time calculation unit 61.
  • the laser control unit 18 receives data of the target pulse width Dt from the external device control unit 3.
  • the laser control unit 18 calculates a charging time interval ⁇ Tch necessary for setting the pulse width of the pulsed laser light PL to the target pulse width Dt based on the following expression 7.
  • This charging time interval ⁇ Tch is a difference in charging timing between adjacent Cp (k ⁇ 1) and Cp (k).
  • ⁇ Tch (Dt ⁇ D0) / (n ⁇ 1) (7)
  • D0 is the pulse width of the pulse laser beam PL when Cp (1) to Cp (n) are all charged simultaneously. D0 is obtained experimentally or theoretically in advance.
  • the laser control unit 18 calculates time difference data ⁇ T (k) based on the following equation 8.
  • ⁇ T (k) (k ⁇ 1) ⁇ ⁇ Tch (8)
  • step S 404 the laser control unit 18 transmits the calculated time difference data ⁇ T (k) to the delay time calculation unit 61 in the synchronization control unit 60.
  • step S ⁇ b> 405 the laser control unit 18 determines whether a change signal for the target pulse width Dt is received from the external device control unit 3. When the change signal is not received (S405; NO), the laser control unit 18 stands by until the change signal is received. When receiving the change signal (S405; YES), the laser control unit 18 returns the process to S401. The above processing is repeatedly executed.
  • FIG. 20 shows a delay time Trd (k) calculation process performed by the delay time calculation unit 61.
  • the delay time calculation unit 61 receives the time difference data ⁇ T (k) transmitted from the laser control unit 18.
  • Trd (k) Trd0 + ⁇ T (k) (9)
  • Trd0 is a reference delay time, which is a constant value.
  • the delay time calculation unit 61 transmits the calculated delay time Trd (k) to the internal trigger signal generation unit 62, and the process returns to S501.
  • the above processing is repeatedly executed.
  • the internal trigger signal generation unit 62 receives and holds the delay time Trd (k) transmitted from the delay time calculation unit 61, and receives an external trigger signal TR from the laser control unit 18. Is received, the external trigger signal TR is delayed based on the following equation 10 to generate the internal trigger signal TR (k).
  • TR (k) TR + Trd (k) (10)
  • the internal trigger signal generation unit 62 inputs the generated internal trigger signal TR (k) to the TCS (k).
  • TR (k ⁇ 1) and T (k) have a time difference ⁇ Tch.
  • FIG. 21 is a timing chart in the gas laser device 2b according to the second embodiment. The overall operation of the gas laser device 2b will be described with reference to FIG.
  • the laser control unit 18 When the laser control unit 18 receives the data of the target pulse energy Et from the external device control unit 3, the laser control unit 18 calculates a set value of the charging voltage V such that the pulse energy E of the pulse laser light PL approaches the target pulse energy Et, and synchronizes. This is transmitted to the charger 11 via the control unit 60.
  • the processing unit 52 of each TCS (k) calculates the delay time Td (k) based on the charging voltage V and the reference delay time Td0 (k), and sends the delay time Td to the delay circuit 53.
  • the data of (k) is transmitted.
  • the laser control unit 18 calculates time difference data ⁇ T (k) and transmits it to the delay time calculation unit 61 of the synchronization control unit 60.
  • the delay time calculation unit 61 calculates the delay time Trd (k) based on the above-described equation 9 and inputs the delay time Trd (k) to the internal trigger signal generation unit 62.
  • the internal trigger signal generator 62 When the internal trigger signal generator 62 receives the external trigger signal TR from the laser controller 18, the internal trigger signal generator 62 generates the internal trigger signal TR (k) based on Equation 10 described above, and the delay circuit 53 and timer 54 of the TCS (k). To enter. As shown in FIG. 21, internal trigger signals TR (1) to TR (n) have a time difference.
  • each TCS (k) When the internal trigger signal TR (k) is input, the timer 54 of each TCS (k) is reset and starts measuring time.
  • the internal trigger signal TR (k) input to each delay circuit 53 is delayed by the delay time Td (k) and input to the switch 12a of the PPM (k) as the switch signal S (k).
  • the switch signals S (1) to S (n) are input to the switches 12a of PPM (1) to PPM (n) with a time difference.
  • the switches 12a of PPM (1) to PPM (n) are turned on in turn for each time difference ⁇ Tch.
  • a pulse-compressed current pulse is output as an output pulse to Cp (k).
  • Cp (1) to Cp (n) are charged in order for each time difference ⁇ Tch.
  • the output pulse from each PPM (k) is detected by the output pulse sensor A (k), and the detection signal D1 (k) is transmitted to the timer 54 of the TCS (k).
  • the timer 54 stops timing, and the processing time Tdm (k) from the input of the internal trigger signal TR (k) to the input of the detection signal D1 (k) 52.
  • the processing unit 52 calculates a difference ⁇ Td (k) between the average value of the measurement time Tdm (k) and the target value Tdt, and corrects the reference delay time Td0 (k). To do.
  • Cp (k) By Cp (k) is charged by current pulses, a high voltage is applied to the first discharge electrode 20a k, in the discharge space between the first discharge electrode 20a k and the second discharge electrode 20b k Pulse discharge occurs. As shown in FIG. 21, the pulse discharge occurs in order for each time difference ⁇ Tch. Each pulse discharge causes laser oscillation, and the output coupling mirror 15 outputs pulse laser light PL. Since the pulse laser beam PL is obtained by superimposing the laser beam output for each time difference ⁇ Tch, the pulse width becomes substantially the target pulse width Dt.
  • the pulse energy E of the pulse laser beam PL output from the output coupling mirror 15 is measured by the pulse energy measuring unit 16.
  • the laser control unit 18 reads the pulse energy E of the pulse laser beam measured by the pulse energy measurement unit 16 and calculates a set value of the charging voltage V that approaches the target pulse energy Et. The above steps are repeated.
  • the pulse energy measuring unit 16 may be a PIN photodiode or an ultraviolet photoelectric tube, such as a biplanar tube, instead of the optical sensor 16c.
  • the pulse energy measuring unit 16 can measure the pulse waveform in addition to the pulse energy of the pulse laser beam PL.
  • the laser control unit 18 may obtain the pulse width from the pulse waveform measured by the pulse energy measurement unit 16 and correct the time difference ⁇ Tch so that the pulse width approaches the target pulse width Dt.
  • gas laser device according to a third embodiment of the present disclosure will be described.
  • the gas laser device according to the third embodiment makes it possible to control the pulse waveform of the pulsed laser light with high accuracy by making the timing of the switch signal different for each PPM and making the charging voltage different.
  • the same components as those of the gas laser device 2b according to the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.
  • FIG. 22 schematically illustrates the configuration of a gas laser device 2 c according to the third embodiment.
  • data of the target pulse waveform Ft is transmitted from the external device control unit 3 to the laser control unit 18.
  • the gas laser device 2 c includes a plurality of chargers 70.
  • One charger 70 is provided for each PPM (k). That is, the total number of chargers 70 is n.
  • the charger 70 for PPM (k) is denoted as CG (k).
  • the laser control unit 18 uses time difference data ⁇ T (1) to ⁇ T (n) and a charging voltage V (() described later based on the data of the target pulse waveform Ft input from the external device control unit 3. 1) Calculate the data of V (n) and send it to the synchronization controller 60a.
  • FIG. 23 shows a configuration of a synchronization control unit 60a according to the third embodiment.
  • the synchronization control unit 60a is the synchronization control unit according to the second embodiment, except that the data of the charging voltage V (k) received from the laser control unit 18 is input to the processing unit 52 of the corresponding TCS (k).
  • the configuration is the same as 60.
  • the delay time calculation unit 61 calculates the delay times Trd (1) to Trd (n) based on the time difference data ⁇ T (1) to ⁇ T (n) input from the laser control unit 18, and the internal trigger signal generation unit 62. To enter.
  • the processing unit 52 of TCS (k) calculates a delay time Td (k) based on the data of the charging voltage V (k) and inputs the delay time Td (k) to the delay circuit 53. Note that data on the charging voltage V (k) is input to the CG (k) via the processing unit 52 of the TCS (k).
  • FIG. 24 illustrates time difference data ⁇ T (k) and charging voltage V (k) calculation processing performed by the laser control unit 18 of the third embodiment. Indicates.
  • the laser control unit 18 receives data of the target pulse waveform Ft from the external device control unit 3.
  • the laser control unit 18 calculates time difference data ⁇ T (k) corresponding to the width of the target pulse waveform Ft based on the data of the target pulse waveform Ft.
  • the laser control unit 18 calculates a charging voltage V (k) corresponding to the intensity distribution of the target pulse waveform Ft.
  • the laser control unit 18 transmits the calculated time difference data ⁇ T (k) to the delay time calculation unit 61 in the synchronization control unit 60a.
  • the laser control unit 18 transmits the calculated charging voltage V (k) data to the TCS (k) processing unit 52.
  • the laser controller 18 determines whether or not a change signal for the target pulse waveform Ft has been received from the external device controller 3.
  • the change signal has not been received (S606; NO)
  • the laser control unit 18 stands by until the change signal is received.
  • the laser control unit 18 returns the process to S601. The above processing is repeatedly executed.
  • an attenuator (not shown) is used without changing the set value of the charging voltage V (k) so that the pulse energy E measured by the pulse energy measuring unit 16 approaches the target pulse energy Et.
  • an attenuator (not shown) is controlled instead of S106 and S107 in the flowchart shown in FIG.
  • each TCS (k) performs the same processing as the processing shown in the flowchart of FIG.
  • V (k) charging voltage
  • the processing unit 52 of each TCS (k) calculates the delay time Td (k) based on the charging voltage V (k) and the reference delay time Td0 (k), and sends it to the delay circuit 53. Data of delay time Td (k) is transmitted. Further, in the synchronization control unit 60a, the delay time calculation unit 61 of each TCS (k) calculates the delay time Trd (k) based on Equation 9 described above, and inputs it to the internal trigger signal generation unit 62.
  • the internal trigger signal generator 62 When the internal trigger signal generator 62 receives the external trigger signal TR from the laser controller 18, the internal trigger signal generator 62 generates the internal trigger signal TR (k) based on Equation 10 described above, and the delay circuit 53 and timer 54 of the TCS (k). To enter. When the internal trigger signal TR (k) is input, the timer 54 of each TCS (k) is reset and starts measuring time. The internal trigger signal TR (k) input to each delay circuit 53 is delayed by the delay time Td (k) and input to the switch 12a of the PPM (k) as the switch signal S (k).
  • the switch signals S (1) to S (n) are input to the switches 12a of PPM (1) to PPM (n) with a time difference.
  • the switches 12a of PPM (1) to PPM (n) are turned on in order.
  • From each PPM (k) a pulse-compressed current pulse is output as an output pulse to Cp (k).
  • Cp (1) to Cp (n) are charged in order.
  • the output pulse from each PPM (k) is detected by the output pulse sensor A (k), and the detection signal D1 (k) is transmitted to the timer 54 of the TCS (k).
  • the timer 54 stops timing, and the processing time Tdm (k) from the input of the internal trigger signal TR (k) to the input of the detection signal D1 (k) 52.
  • the processing unit 52 calculates a difference ⁇ Td (k) between the average value of the measurement time Tdm (k) and the target value Tdt, and corrects the reference delay time Td0 (k). To do.
  • the laser oscillation is generated by each pulse discharge, and the pulse laser beam PL is output from the output coupling mirror 15. Since the pulse laser beam PL is obtained by superimposing a plurality of laser beams generated at the discharge timing according to the time difference data ⁇ T (k) and the excitation intensity according to the charge voltage V (k), the pulse waveform Is substantially the target pulse waveform Ft.
  • the pulse energy E of the pulse laser beam PL output from the output coupling mirror 15 is measured by the pulse energy measuring unit 16.
  • the laser control unit 18 reads the pulse energy E of the pulse laser beam measured by the pulse energy measurement unit 16 and controls an attenuator (not shown) so as to approach the target pulse energy Et. The above steps are repeated.
  • the timings of the internal trigger signals TR (1) to TR (n) and the charging voltages V (1) to V (n) are controlled, so that Cp (1) to Cp ( The charging timing and excitation intensity of n) can be controlled with high accuracy. Therefore, in the third embodiment, the pulse waveform of the pulsed laser light PL can be controlled with high accuracy so as to approach the target pulse waveform Ft.
  • the pulse energy measuring unit 16 may be a PIN photodiode or an ultraviolet photoelectric tube, for example, a biplanar tube, instead of the optical sensor 16c.
  • the pulse energy measuring unit 16 can measure the pulse waveform in addition to the pulse energy of the pulse laser beam PL.
  • the laser control unit 18 obtains the difference between the pulse waveform measured by the pulse energy measurement unit 16 and the target pulse waveform Ft, and corrects the time difference data ⁇ T (k) and the charging voltage V (k) so that the difference becomes small. May be.
  • the timing at which the peaking capacitor is charged is detected.
  • the time from when the peaking capacitor is charged until the actual discharge occurs in the discharge space may vary. There is. This is due to, for example, fluctuations in the gas pressure of the laser gas.
  • the gas laser device according to the fourth embodiment makes it possible to suppress fluctuations in time from the input of the external trigger signal until the actual discharge occurs.
  • the same components as those of the gas laser device 2a according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.
  • FIG. 25 schematically shows the configuration of a gas laser device 2d according to the fourth embodiment.
  • a discharge sensor 80 is provided on the opposite side of the rear mirror 14 from the laser chamber 10.
  • the discharge sensor 80 includes a condensing optical system 80a and an optical sensor 80b.
  • the optical sensor 80b is a sensor having sensitivity to visible light, and is configured by a photodiode or a phototube.
  • the rear mirror 14 is coated with a multilayer film that allows high transmission of visible light and high reflection of pulsed laser light.
  • the discharge light generated in the discharge space includes ultraviolet laser light and visible light.
  • the condensing optical system 80a condenses the visible light emitted from the laser chamber 10 through the window 21b and transmitted through the rear mirror 14 on the condensing surface of the optical sensor 80b. When the optical sensor 80b detects visible light, the optical sensor 80b transmits a detection signal D2 to the synchronization control unit 60b.
  • FIG. 26 shows a configuration of a synchronization control unit 60b according to the fourth embodiment.
  • the synchronization control unit 60b includes a delay time correction unit 81 and a timer 82 in addition to the configuration of the synchronization control unit 60 according to the first embodiment.
  • An external trigger signal TR is input from the laser control unit 18 to the timer 82.
  • the timer 82 receives the detection signal D2 from the optical sensor 80b.
  • the timer 82 is configured to start timing by the input of the external trigger signal TR and stop timing by the input of the detection signal D2. That is, as shown in FIG. 27, the timer 82 measures a time Trdm required from the input of the external trigger signal TR to the input of the detection signal D2. The timer 82 inputs data of the measurement time Trdm to the delay time correction unit 81.
  • the delay time correction unit 81 calculates the delay time Trd (k) based on the data of the measurement time Trdm input from the timer 82.
  • the delay time Trd (k) is the time from when the internal trigger signal generation unit 62 receives the external trigger signal TR until it outputs the internal trigger signal TR (k), that is, the internal trigger signal TR ( k) represents the delay time.
  • FIG. 28 is a flowchart showing a correction process of the delay time Trd (k) by the delay time correction unit 81.
  • the delay time correction unit 81 corrects the delay time Trd (k) by the following process.
  • I is a counter for counting the number of oscillation pulses.
  • Trdmsum is a total value for calculating the average value of the measurement time Trdm by the timer 82.
  • the delay time correction unit 81 sets all the delay times Trd (1) to Trd (n) to the reference delay time Trd0.
  • the delay time correction unit 81 transmits data of the delay time Trd (k) to the internal trigger signal generation unit 62.
  • the delay time correction unit 81 determines whether or not the gas laser device 2d has laser-oscillated. Whether or not the gas laser device 2d oscillates is determined by whether or not the timer 82 has received the detection signal D2 from the optical sensor 80b.
  • the delay time correction unit 81 advances the process to S705.
  • the delay time correction unit 81 waits until the gas laser device 2d oscillates.
  • the delay time correction unit 81 adds 1 to the current value of the counter I, and updates the value of I.
  • step S ⁇ b> 706 the delay time correction unit 81 receives data of the measurement time Trdm from the timer 82.
  • the delay time correction unit 81 updates the total value Trdmsum by adding the measurement time Trdm to the current total value Trdmsum.
  • the delay time correction unit 81 determines whether or not the value of the counter I has reached a predetermined number of samples Imax. When the value of the counter I has not reached the predetermined number of samples Imax (S708; NO), the delay time correction unit 81 returns the process to S704. When the value of the counter I reaches the predetermined number of samples Imax (S708; YES), the delay time correction unit 81 advances the process to S709.
  • the delay time correction unit 81 calculates a difference ⁇ Trd between the average value of the measurement times Trdm and the target value Trdt.
  • the difference ⁇ Trd is calculated by the following equation 11.
  • ⁇ Trd Trdmsum / Imax ⁇ Trdt (11)
  • the delay time correction unit 81 sets a value obtained by subtracting the difference ⁇ Trd from the reference delay time Trd0 as a new reference delay time Trd0. As described above, the delay time correction unit 81 corrects the reference delay time Trd0, and then returns the process to S701. The above process is repeated.
  • the internal trigger signal generation unit 62 When the internal trigger signal generation unit 62 receives the external trigger signal TR from the laser control unit 18, the internal trigger signal generation unit 62 generates the internal trigger signal TR (k) by delaying the external trigger signal TR by the delay time Trd (k), and TCS. Enter in (k).
  • the third correction process (drift correction process) for correcting the timing of the switch signal S (k) based on the detection result of the optical sensor 80b is performed.
  • the number of samples Imax is preferably larger than the above-mentioned number of samples Jmax, and particularly preferably in the range of 2000 times to 100,000 times. That is, it is preferable that the frequency of the third correction process is smaller than the frequency of the second correction process.
  • the laser control unit 18 inputs this to the timer 82 and the internal trigger signal generation unit 62.
  • the timer 82 is reset and starts measuring time.
  • the internal trigger signal generation unit 62 When the internal trigger signal generation unit 62 receives the external trigger signal TR, the internal trigger signal TR (k) delays the external trigger signal TR by the delay time Trd (k) input from the delay time correction unit 81. And input to TCS (k). Thereafter, the same operation as in the first embodiment is performed, and a pulse discharge is generated in the discharge space in the laser chamber 10. At this time, ultraviolet laser light is output and visible light is output. Part of this visible light passes through the rear mirror 14 and is detected by the optical sensor 80b.
  • the optical sensor 80b When the optical sensor 80b detects visible light, the optical sensor 80b transmits a detection signal D2 to the timer 82.
  • the timer 82 receives the detection signal D2
  • the timer 82 stops timing and inputs the measurement time Trdm from the input of the external trigger signal TR to the input of the detection signal D2 to the delay time correction unit 81.
  • the delay time correction unit 81 executes the above-described process, calculates a difference ⁇ Trd between the average value of the measurement time Trdm and the target value Trdt, and corrects the reference delay time Trd0.
  • the reference delay time Trd0 of the internal trigger signal TR (k) with respect to the external trigger signal TR is corrected based on the difference ⁇ Trd between the average value of the measurement time Trdm and the target value Trdt.
  • the delay time Trd (k) calculated in the next cycle is corrected by the difference ⁇ Trd.
  • the timing of the switch signal S (k) is corrected, and the measurement time Trdm approaches the target value Trdt.
  • the synchronization control unit 60b performs the third correction process for correcting the timing of the switch signal S (k) based on the detection result of the discharge timing by the optical sensor 80b. As a result, fluctuations in time from when the external trigger signal TR is input to the gas laser device 2d until when actual discharge occurs are suppressed.
  • the discharge sensor 80, the delay time correction unit 81, and the timer 82 are added to the gas laser device 2a according to the first embodiment. These may be added to the gas laser device 2b according to the second embodiment or the gas laser device 2c according to the third embodiment to correct the reference delay time Trd0 as in the fourth embodiment.
  • the discharge timing is detected by the discharge sensor 80 disposed on the back side of the rear mirror 14.
  • the discharge timing may be detected by the optical sensor 16 c included in the pulse energy measuring unit 16. .
  • FIG. 29 shows a specific example of a current detection type output pulse sensor.
  • the output pulse sensor 40 a is a current sensor that includes a magnetic core 91, a coil 92, and a voltmeter 93.
  • a wiring for connecting the magnetic switch MS 2 and the peaking capacitor 27 is inserted into the hollow portion of the magnetic core 91.
  • the coil 92 is wound around a part of the magnetic core 91, and both ends are connected to the voltmeter 93.
  • the voltmeter 93 detects an induced voltage generated in the magnetic core 91 when a current pulse flows through the wiring.
  • the induced voltage detection voltage is transmitted to the timer 54 as the detection signal D1 (k) described above.
  • the output pulse sensor may be a current sensor including a Rogowski coil. Further, the output pulse sensor may be a Hall element type current sensor in which Hall elements are arranged in the gaps in the magnetic core.
  • FIG. 30 shows a specific example of an output pulse sensor that detects the charging timing based on the waveform of the current flowing through the peaking capacitor 27.
  • the output pulse sensor 40 b includes a current sensor 94, an amplifier 95, and a comparator 96.
  • the current sensor 94 is disposed between the magnetic switch MS 2 and the peaking capacitor 27, detects the current flowing through the peaking capacitor 27, and outputs it to the amplifier 95.
  • the amplifier 95 converts the current input from the current sensor 94 into a voltage Vcplm and outputs it to the comparator 96.
  • the comparator 96 compares the voltage Vcplm input from the amplifier 95 with the reference voltage Vcpls, and outputs a constant voltage Vcplp when the voltage Vcplm is lower than the reference voltage Vcppls.
  • This voltage Vcplp has a pulse shape and is transmitted to the timer 54 as the detection signal D1 (k) described above.
  • the reference voltage Vcpls is set to a negative value close to 0 so as to detect the rise and fall timing of the voltage Vcppl.
  • the timer 54 is preferably configured to detect the rising timing of the voltage Vcplp. In this case, the charging start timing of the peaking capacitor 27 can be detected.
  • the timer 54 may be configured to detect the falling timing of the voltage Vcplp. In this case, the charging end timing of the peaking capacitor 27 can be detected. Since the charge end timing is close to the discharge timing in the discharge space, the discharge timing can be accurately detected by detecting the charge end timing.
  • FIG. 32 shows a specific example of a voltage detection type output pulse sensor.
  • the output pulse sensor 40 c is composed of a voltmeter 100 connected in parallel to the peaking capacitor 27.
  • the voltmeter 100 detects a voltage applied from the PPM 12 to the peaking capacitor 27. This detection voltage is transmitted to the timer 54 as the detection signal D1 (k) described above.
  • FIG. 33 shows a specific example of an output pulse sensor that detects the charging timing based on the waveform of the voltage applied to the peaking capacitor 27.
  • the output pulse sensor 40 d includes an amplifier 101 and a comparator 102.
  • the amplifier 101 is connected to the wiring between the magnetic switch MS 2 and the peaking capacitor 27.
  • the voltage applied to the peaking capacitor 27 is input to the amplifier 101.
  • the amplifier 101 converts the voltage applied to the peaking capacitor 27 into a voltage Vcpm and outputs it to the comparator 102.
  • the comparator 102 compares the voltage Vcpm input from the amplifier 101 with the reference voltage Vcps, and outputs a constant voltage Vcpp when the voltage Vcpm is lower than the reference voltage Vcps.
  • This voltage Vcpp has a pulse shape and is transmitted to the timer 54 as the detection signal D1 (k) described above.
  • the reference voltage Vcps is set to a negative value close to 0 so as to detect the rising and falling timings of the voltage Vcpm.
  • the timer 54 is configured to detect the rising timing of the voltage Vcpp or the falling timing of the voltage Vcpp.
  • FIG. 35 shows a specific example of the optical sensor 80 b included in the discharge sensor 80.
  • the optical sensor 80 b includes a photodiode 110, an amplifier 111, and a comparator 112.
  • the photodiode 110 is sensitive to visible light, and outputs a current corresponding to the light intensity of the received visible light to the amplifier 111.
  • the amplifier 111 converts the current input from the photodiode 110 into a voltage Vpm and outputs the voltage Vpm to the comparator 112.
  • the comparator 112 compares the voltage Vpm input from the amplifier 111 with the reference voltage Vps, and outputs a constant voltage Vpp when the voltage Vpm is higher than the reference voltage Vcps.
  • the voltage Vpp is pulsed and transmitted to the timer 82 as the detection signal D2.
  • the reference voltage Vps is set to a positive value close to 0 so as to detect the rising timing of the voltage Vpm.
  • timer 82 is preferably configured to detect the rising timing of voltage Vpp. In this case, the discharge timing in the discharge space can be detected with high accuracy.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

放電励起式のガスレーザ装置は、以下を備える：Ａ．対向配置された第１及び第２の放電電極；Ｂ．第１の放電電極に接続された複数のピーキングコンデンサ；Ｃ．充電器；Ｄ．複数のパルスパワーモジュールであって、１つのパルスパワーモジュールは、以下のＤ１～Ｄ３を含む：Ｄ１．充電器から充電電圧が印加される充電コンデンサ；Ｄ２．充電コンデンサに保持された電気エネルギをパルス圧縮し、出力パルスとして、対応するピーキングコンデンサに出力するパルス圧縮回路；及び、Ｄ３．充電コンデンサとパルス圧縮回路との間に配置されたスイッチ；Ｅ．複数の出力パルスセンサであって、１つの出力パルスセンサは、１つのパルスパワーモジュールが出力する出力パルスを検出する；及び、Ｆ．各出力パルスセンサの検出結果に基づいて、各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングを制御する制御部。

Description

ガスレーザ装置
　本開示は、放電励起式のガスレーザ装置に関する。
　半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、半導体露光装置においては解像力の向上が要請されている。半導体露光装置を以下、単に「露光装置」という。このため露光用光源から出力される光の短波長化が進められている。露光用光源には、従来の水銀ランプに代わって放電励起式のガスレーザ装置が用いられている。現在、露光用レーザ装置としては、波長２４８ｎｍの紫外線を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置ならびに、波長１９３．４ｎｍの紫外線を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられている。
　現在の露光技術としては、露光装置側の投影レンズとウエハ間の間隙を液体で満たして、当該間隙の屈折率を変えることによって、露光用光源の見かけ上の波長を短波長化する液浸露光が実用化されている。ＡｒＦエキシマレーザ装置を露光用光源として用いて液浸露光が行われた場合は、ウエハには水中における波長１３４ｎｍの紫外光が照射される。この技術をＡｒＦ液浸露光という。ＡｒＦ液浸露光はＡｒＦ液浸リソグラフィーとも呼ばれる。
　ＫｒＦ、ＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振におけるスペクトル線幅は約３５０～４００ｐｍと広いため、露光装置側の投影レンズによってウエハ上に縮小投影されるレーザ光（紫外線光）の色収差が発生して解像力が低下する。そこで色収差が無視できる程度となるまでガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を狭帯域化する必要がある。このためガスレーザ装置のレーザ共振器内には、狭帯域化素子を有する狭帯域化モジュール（Line Narrowing Module）が設けられている。この狭帯域化モジュールによりスペクトル線幅の狭帯域化が実現されている。狭帯域化素子は、エタロンやグレーティング等であってもよい。このようにスペクトル線幅が狭帯域化されたレーザ装置を狭帯域化レーザ装置という。
特開平６－２８３７８７号公報 国際公開２０１４／１５６８１８号 特表２００５－５１２３３３号公報 特開２００９－１９４０６３号公報 特開平１１－１７７１６８号公報 国際公開２０１５／１９００１２号
概要
　本開示の１つの観点に係る放電励起式のガスレーザ装置は、以下を備える：
　Ａ．対向配置された第１及び第２の放電電極；
　Ｂ．第１の放電電極に接続された複数のピーキングコンデンサ；
　Ｃ．充電器；
　Ｄ．複数のパルスパワーモジュールであって、１つのパルスパワーモジュールは、以下のＤ１～Ｄ３を含む：
　　Ｄ１．充電器から充電電圧が印加される充電コンデンサ；
　　Ｄ２．充電コンデンサに保持された電気エネルギをパルス圧縮し、出力パルスとして、複数のピーキングコンデンサのうち対応するピーキングコンデンサに出力するパルス圧縮回路；及び
　　Ｄ３．充電コンデンサとパルス圧縮回路との間に配置されたスイッチ；
　Ｅ．複数の出力パルスセンサであって、１つの出力パルスセンサは、１つのパルスパワーモジュールが出力する出力パルスを検出する；及び
　Ｆ．各出力パルスセンサの検出結果に基づいて、各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングを制御する制御部。
　本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は、比較例に係るレーザ装置の構成を概略的に示す図である。 図２は、ガスレーザ装置をＺ方向から見た断面図である。 図３は、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の構成を示す回路図である。 図４は、充電電圧と、ＰＰＭ（ｋ）へのスイッチ信号の入力から放電電極に電圧が印加されるまでの所要時間との関係を表すグラフである。 図５は、同期制御部の構成を示すブロック図である。 図６は、外部トリガ信号と、内部トリガ信号と、スイッチ信号との関係を示すタイミングチャートである。 図７は、レーザ制御部が実行する処理を示すフローチャートである。 図８は、トリガ補正部が実行する処理を示すフローチャートである。 図９は、比較例に係るガスレーザ装置におけるタイミングチャートである。 図１０は、比較例に係るガスレーザ装置の課題を説明するためのタイミングチャートである。 図１１は、第１の実施形態に係るガスレーザ装置の構成を概略的に示す図である。 図１２は、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の構成を示す回路図である。 図１３は、同期制御部の構成を示すブロック図である。 図１４は、外部トリガ信号と、内部トリガ信号と、スイッチ信号と、検出信号との関係を示すタイミングチャートである。 図１５は、トリガ補正部が実行する処理を示すフローチャートである。 図１６は、第２の実施形態に係るガスレーザ装置の構成を概略的に示す図である。 図１７は、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の構成を示す回路図である。 図１８は、同期制御部の構成を示すブロック図である。 図１９は、時間差データの算出処理を示すフローチャートである。 図２０は、遅延時間の算出処理を示すフローチャートである。 図２１は、第２の実施形態に係るガスレーザ装置におけるタイミングチャートである。 図２２は、第３の実施形態に係るガスレーザ装置の構成を概略的に示す図である。 図２３は、同期制御部の構成を示すブロック図である。 図２４は、時間差データ及び充電電圧の算出処理を示すフローチャートである。 図２５は、第４の実施形態に係るガスレーザ装置の構成を概略的に示す図である。 図２６は、同期制御部の構成を示すブロック図である。 図２７は、外部トリガ信号と、内部トリガ信号と、スイッチ信号と、検出信号との関係を示すタイミングチャートである。 図２８は、遅延時間補正部による遅延時間の補正処理を示すフローチャートである。 図２９は、電流検出方式の出力パルスセンサの具体例を示す図である。 図３０は、ピーキングコンデンサに流れる電流の波形に基づいて充電タイミングを検出する出力パルスセンサの具体例を示す図である。 図３１は、コンパレータの動作を説明するためのグラフである。 図３２は、電圧検出方式の出力パルスセンサの具体例を示す図である。 図３３は、ピーキングコンデンサに印加される電圧の波形に基づいて充電タイミングを検出する出力パルスセンサの具体例を示す図である。 図３４は、コンパレータの動作を説明するためのグラフである。 図３５は、放電センサに含まれる光センサの具体例を示す図である。 図３６は、コンパレータの動作を説明するためのグラフである。
実施形態
　＜内容＞
　１．比較例
　　１．１　構成
　　　１．１．１　ガスレーザ装置の概要
　　　１．１．２　パルスパワーモジュール
　　　１．１．３　同期制御部
　　１．２　動作
　　　１．２．１　レーザ制御部の処理
　　　１．２．２　トリガ補正部の処理
　　　１．２．３　ガスレーザ装置の全体動作
　　１．３　課題
　２．第１の実施形態
　　２．１　構成
　　２．２　動作
　　　２．２．１　レーザ制御部の処理
　　　２．２．２　トリガ補正部の処理
　　　２．２．３　ガスレーザ装置の全体動作
　　２．３　効果
　３．第２の実施形態
　　３．１　構成
　　３．２　動作
　　　３．２．１　時間差データの算出処理
　　　３．２．２　遅延時間の算出処理
　　　３．２．３　内部トリガ信号の生成処理
　　　３．２．４　ガスレーザ装置の全体動作
　　３．３　効果
　４．第３の実施形態
　　４．１　構成
　　４．２　動作
　　　４．２．１　時間差データ及び充電電圧の算出処理
　　　４．２．２　トリガ補正部の処理
　　　４．２．３　ガスレーザ装置の全体動作
　　４．３　効果
　５．第４の実施形態
　　５．１　構成
　　５．２　動作
　　　５．２．１　外部信号に対する内部トリガ信号の遅延時間の補正処理
　　　５．２．２　ガスレーザ装置の全体動作
　　５．３　効果
　６．出力パルスセンサの具体例
　　６．１　電流検出方式の出力パルスセンサ
　　６．２　電圧検出方式の出力パルスセンサ
　７．放電センサの具体例
　８．パルスパワーモジュールの変形例
　　８．１　構成
　　８．２　効果
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
　１．比較例
　　１．１　構成
　　　１．１．１　ガスレーザ装置の概要
　図１及び図２を用いて比較例に係るガスレーザ装置２の構成を概略的に示す。図１は、ガスレーザ装置２の構成を概略的に示す。図２は、図１に示されるガスレーザ装置２をＺ方向から見た断面図である。ガスレーザ装置２は、放電励起式のガスレーザ装置であり、例えば、エキシマレーザ装置である。
　図１において、ガスレーザ装置２から出力されるパルスレーザ光ＰＬの進行方向を、Ｚ方向という。後述する第１及び第２の放電電極２０ａ及び２０ｂの間の放電方向を、Ｖ方向という。また、Ｚ方向とＶ方向とに直交する方向を、Ｈ方向という。
　図１において、ガスレーザ装置２は、レーザチャンバ１０と、充電器１１と、複数のパルスパワーモジュール（ＰＰＭ）１２と、を含む。ガスレーザ装置２は、さらに、リアミラー１４と、出力結合ミラー１５と、パルスエネルギ計測部１６と、同期制御部１７と、レーザ制御部１８と、を含む。
　レーザチャンバ１０内には、主電極としての第１及び第２の放電電極２０ａ及び２０ｂと、グランドプレート２１と、配線２２と、ファン２３と、熱交換器２４と、が設けられている。なお、レーザチャンバ１０内には、図示しない予備電極が設けられていてもよい。
　レーザチャンバ１０内には、レーザ媒質としてのレーザガスが封入されている。レーザガスは、例えば、レアガスとしてのアルゴン、クリプトン、キセノン等を含み、バッファガスとしてのネオン、ヘリューム等を含み、ハロゲンガスとしての塩素、フッ素等を含む。
　また、レーザチャンバ１０には開口が形成されている。この開口を塞ぐように、複数のフィードスルー２５が埋め込まれた電気絶縁プレート２６が設けられている。この電気絶縁プレート２６上には、複数のピーキングコンデンサ（Ｃｐ）２７と、これらを保持するホルダ２８とが配置されている。このホルダ２８上に、複数のＰＰＭ１２が配置されている。さらに、レーザチャンバ１０には、ウィンドウ２１ａ及び２１ｂが設けられている。
　第１及び第２の放電電極２０ａ及び２０ｂは、レーザ媒質を放電により励起するための電極として、レーザチャンバ１０内に対向配置されている。第１の放電電極２０ａ及び第２の放電電極２０ｂは、互いの放電面が対向するように配置されている。第１の放電電極２０ａの放電面と第２の放電電極２０ｂとの放電面との間の空間を、放電空間という。第１の放電電極２０ａは、放電面とは反対側の面が、電気絶縁プレート２６に支持されている。第２の放電電極２０ｂは、放電面とは反対側の面が、グランドプレート２１に支持されている。
　フィードスルー２５は、第１の放電電極２０ａに接続されている。また、図２に示すように、フィードスルー２５は、接続部２９を介して、ホルダ２８に保持されたピーキングコンデンサ２７に接続されている。接続部２９は、ピーキングコンデンサ２７を他の構成要素と接続するための部材である。
　ホルダ２８の内部空間を形成する壁２８ａは、アルミ金属等の金属材料により形成されている。ホルダ２８の内部には、ピーキングコンデンサ２７と、接続部２９と、ＰＰＭ１２の高電圧端子１２ｂと、が配置されている。ピーキングコンデンサ２７は、第１及び第２の放電電極２０ａ及び２０ｂに電気エネルギを供給するコンデンサである。ピーキングコンデンサ２７は、電気エネルギをＰＰＭ１２から受け取って蓄積した後、蓄積した当該電気エネルギを、第１及び第２の放電電極２０ａ及び２０ｂに放出する。
　ピーキングコンデンサ２７は、Ｈ方向に沿って２個配置されている。ピーキングコンデンサ２７は、Ｚ方向に沿って複数個配置されてもよい。ピーキングコンデンサ２７の一方の電極２７ａは、接続部２９を介して、高電圧端子１２ｂ及びフィードスルー２５に接続されている。ピーキングコンデンサ２７の他方の電極２７ｂは、接続部２９を介して、ホルダ２８の壁２８ａに接続されている。
　接続部２９は、接続プレート２９ａと、接続端子２９ｂ及び２９ｃとを含む。接続プレート２９ａは、断面がＵ字状の導電板によって構成されており、高電圧端子１２ｂ及びフィードスルー２５に接続されている。
　グランドプレート２１は、配線２２を介してレーザチャンバ１０に接続されている。レーザチャンバ１０は、接地されている。グランドプレート２１は、配線２２を介して接地電位に保たれている。グランドプレート２１のＺ方向に関する端部は、レーザチャンバ１０に固定されている。
　ファン２３は、クロスフローファンであって、レーザガスをレーザチャンバ１０内で循環させる。ファン２３は、長手方向がＺ方向とほぼ平行となるように配置されている。ファン２３は、グランドプレート２１に対して放電空間の反対側に配置されている。ファン２３は、レーザチャンバ１０に接続されたモータ２３ａによって回転駆動され、レーザガス流を発生させる。
　ファン２３から吹き出したレーザガスは、放電空間に流入する。放電空間に流入するレーザガス流の流れ方向は、Ｈ方向にほぼ平行である。放電空間から流出したレーザガスは、熱交換器２４を介してファン２３に吸い込まれ得る。熱交換器２４は、熱交換器２４の内部に供給された冷媒とレーザガスとの間で熱交換を行う。
　レーザチャンバ１０の端部にはウィンドウ２１ａ及び２１ｂが設けられている。レーザチャンバ１０内で発生した光は、ウィンドウ２１ａ及び２１ｂを介してレーザチャンバ１０の外部に出射される。
　リアミラー１４と出力結合ミラー１５とで、光共振器が構成されている。光共振器の光路上にレーザチャンバ１０が配置されている。リアミラー１４は、パルスレーザ光ＰＬが透過するフッ化カルシウム（ＣａＦ2）等で形成された基板上に、高反射膜がコートされたものである。出力結合ミラー１５は、パルスレーザ光ＰＬが透過するフッ化カルシウム（ＣａＦ2）等で形成された基板上に、部分反射膜がコートされたものである。この部分反射膜の反射率は、８％～１５％の範囲内である。
　レーザチャンバ１０から出射された光は、リアミラー１４と出力結合ミラー１５との間で往復し、放電空間を通過する度に増幅される。増幅された光の一部が、出力結合ミラー１５を介して、パルスレーザ光ＰＬとして出力される。
　パルスエネルギ計測部１６は、出力結合ミラー１５を介して出力されたパルスレーザ光ＰＬの光路に配置されている。パルスエネルギ計測部１６は、ビームスプリッタ１６ａと、集光光学系１６ｂと、光センサ１６ｃとを含む。
　ビームスプリッタ１６ａは、パルスレーザ光ＰＬを高い透過率で透過させるとともに、パルスレーザ光ＰＬの一部を集光光学系１６ｂに向けて反射する。集光光学系１６ｂは、ビームスプリッタ１６ａによって反射された光を、光センサ１６ｃの受光面に集光する。光センサ１６ｃは、受光面に集光された光のパルスエネルギを検出し、検出されたパルスエネルギのデータをレーザ制御部１８に出力する。
　充電器１１は、各ＰＰＭ１２に含まれる後述する充電コンデンサＣ0に一定の充電電圧を供給する直流電源装置である。各ＰＰＭ１２は、レーザ制御部１８によって制御されるスイッチ１２ａを含んでいる。スイッチ１２ａは、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）により構成されている。スイッチ１２ａがＯＦＦからＯＮになると、ＰＰＭ１２は、充電コンデンサＣ0に保持されていた電気エネルギから高電圧パルスを生成し、第１の放電電極２０ａに印加する。
　複数のＰＰＭ１２は、ホルダ２８上に、Ｚ方向に沿って配列されている。各ＰＰＭ１２には、少なくとも１つのピーキングコンデンサ２７が電気的に接続されている。本比較例では、２つのピーキングコンデンサ２７が１つのＰＰＭ１２に対して並列に接続されている。複数のＰＰＭ１２の総数をｎ個とする。以下、各ＰＰＭ１２をＰＰＭ（ｋ）と表記する。ここで、ｋ＝１，２，・・・，ｎである。また、ＰＰＭ（ｋ）に接続された１又は２以上のピーキングコンデンサ２７を併せてＣｐ（ｋ）と表記する。
　レーザ制御部１８は、図示しない露光装置等の外部装置に含まれる外部装置制御部３との間で各種信号を送受信する。例えば、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から、発光トリガとしての外部トリガ信号ＴＲと、目標パルスエネルギＥｔのデータ等を受信する。また、レーザ制御部１８は、パルスエネルギ計測部１６からパルスエネルギの計測値を受信する。なお、外部装置は、露光装置以外に、加工用レーザ装置、レーザアニール装置、レーザドーピング装置等であり得る。
　レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から受信した目標パルスエネルギＥｔのデータと、パルスエネルギ計測部１６から受信したパルスエネルギの計測値とを参照して、充電器１１に設定する充電電圧Ｖを算出する。レーザ制御部１８は、同期制御部１７に接続されており、同期制御部１７に外部トリガ信号ＴＲと充電電圧Ｖの設定値とを送信する。
　同期制御部１７は、レーザ制御部１８と、充電器１１と、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）とに接続されている。充電器１１は、同期制御部１７を介して充電電圧Ｖの設定値を受信し、充電電圧Ｖの設定値に基づいて、各ＰＰＭ（ｋ）に含まれる充電コンデンサＣ0を充電する。
　同期制御部１７は、レーザ制御部１８から受信した外部トリガ信号ＴＲに基づいて、ｎ個のスイッチ信号Ｓ（１）～Ｓ（ｎ）を生成する。スイッチ信号Ｓ（ｋ）は、ＰＰＭ（ｋ）に含まれるスイッチ１２ａに入力される。
　　　１．１．２　パルスパワーモジュール
　図３は、図１に示されるＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の構成を示す。ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）は、それぞれ同一の構成であるので、１つのＰＰＭ（ｋ）について構成を説明する。ＰＰＭ（ｋ）は、充電コンデンサＣ0と、スイッチ１２ａと、パルストランスＰＴと、複数の磁気スイッチＭＳ1及びＭＳ2と、複数のコンデンサＣ1及びＣ2と、を含む。パルストランスＰＴと、複数の磁気スイッチＭＳ1及びＭＳ2と、複数のコンデンサＣ1及びＣ2とは、パルス圧縮回路を構成する。
　磁気スイッチＭＳ1及びＭＳ2は、それぞれ可飽和リアクトルを含んでいる。磁気スイッチＭＳ1及びＭＳ2は、それぞれ、その両端に印加された電圧の時間積分値が、磁気スイッチの特性で決まる所定の値になったときに、低インピーダンスになる。
　ＰＰＭ（ｋ）のスイッチ１２ａには、同期制御部１７にからスイッチ信号Ｓ（ｋ）が入力される。スイッチ１２ａは、スイッチ信号Ｓ（ｋ）が入力されてＯＮになると、充電コンデンサＣ0からパルストランスＰＴの１次側に電流を流す。
　パルストランスＰＴの１次側に電流が流れると、電磁誘導によってパルストランスＰＴの２次側に逆方向の電流が流れる。パルストランスＰＴの２次側に電流が流れると、コンデンサＣ1に電流パルスが流れ、コンデンサＣ1が充電される。このとき、磁気スイッチＭＳ1に印加される電圧の時間積分値が閾値に達する。磁気スイッチＭＳ1に印加される電圧の時間積分値が閾値に達すると、磁気スイッチＭＳ1は、磁気飽和した状態となり、閉じる。
　磁気スイッチＭＳ1が閉じると、コンデンサＣ1からコンデンサＣ2に電流パルスが流れ、コンデンサＣ2が充電され得る。このとき、コンデンサＣ2に流れる電流パルスは、コンデンサＣ1に流れる電流パルスよりもパルス幅が短い。コンデンサＣ2が充電されることにより、磁気スイッチＭＳ2は、磁気飽和した状態となり、閉じる。
　磁気スイッチＭＳ2が閉じると、コンデンサＣ2から、ＰＰＭ（ｋ）に接続されたピーキングコンデンサ２７であるＣｐ（ｋ）に電流パルスが流れ、Ｃｐ（ｋ）が充電される。このとき、Ｃｐ（ｋ）に流れる電流パルスは、コンデンサＣ2に流れる電流パルスよりもパルス幅が短い。このように、コンデンサＣ1からコンデンサＣ2、コンデンサＣ2からＣｐ（ｋ）へと順に電流パルスが流れることにより、電流パルスのパルス幅が圧縮される。このように電流パルスのパルス幅が圧縮されることを、パルス圧縮という。
　Ｃｐ（ｋ）の電圧がレーザガスのブレークダウン電圧に達したときに、第１及び第２の放電電極２０ａ及び２０ｂの間のレーザガスに絶縁破壊が生じる。これにより、レーザガスが励起され、基底状態に戻るときに、紫外のレーザ光が出力される。このような放電動作が、スイッチ１２ａのスイッチング動作によって繰り返されることにより、所定の発振周波数で、パルスレーザ光ＰＬが出力される。
　図４は、ＰＰＭ（ｋ）の充電電圧Ｖと、ＰＰＭ（ｋ）へのスイッチ信号Ｓ（ｋ）の入力から高電圧が第１の放電電極２０ａに印加されるまでの所要時間Ｆ（Ｖ）との関係を示している。ＰＰＭ（ｋ）がパルス圧縮回路（磁気圧縮回路）を含んで構成されていることにより、所要時間Ｆ（Ｖ）と充電電圧Ｖとの関係は、下式１で表される。
　　　Ｆ（Ｖ）＝Ｋ／Ｖ　　・・・（１）
　ここで、Ｋは、一定値である。
　したがって、ＰＰＭ（ｋ）に設定される充電電圧がＶである場合の所要時間Ｆ（Ｖ）は、充電電圧Ｖが基準電圧Ｖ0である場合の所要時間Ｆ（Ｖ0）に対して、下式２で表される時間差ΔＴＶ（ｋ）が生じる。
　　　ΔＴＶ（ｋ）＝Ｆ（Ｖ0）－Ｆ（Ｖ）　　・・・（２）
　具体的には、ＰＰＭ（ｋ）に設定される充電電圧Ｖが基準電圧Ｖ0より大きい場合には、所要時間Ｆ（Ｖ）は、基準電圧Ｖ0の場合の所要時間Ｆ（Ｖ0）より、時間差ΔＴＶ（ｋ）だけ短くなる。
　　　１．１．３　同期制御部
　図５は、図１に示される同期制御部１７の構成を示す。同期制御部１７は、内部トリガ信号生成部３０と、複数のトリガ補正部（ＴＣＳ）３１と、を含む。各トリガ補正部３１は、処理部３２と、遅延回路３３と、を含む。
　トリガ補正部３１は、１つのＰＰＭ１２に対して１つずつ設けられている。すなわち、トリガ補正部３１の総数はｎ個である。以下、ＰＰＭ（ｋ）に対するトリガ補正部３１をＴＣＳ（ｋ）と表記する。ＴＣＳ（１）～ＴＣＳ（ｎ）は、それぞれ同一の構成である。
　内部トリガ信号生成部３０は、レーザ制御部１８と、ＴＣＳ（１）～ＴＣＳ（ｎ）とに接続されている。内部トリガ信号生成部３０は、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成し、ＴＣＳ（ｋ）の各遅延回路３３に入力する。
　図６に示すように、内部トリガ信号生成部３０は、外部トリガ信号ＴＲを受信してから、遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）の経過後に内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を出力する。ここで、遅延時間Ｔｒｄ（１）～Ｔｒｄ（ｎ）は、全て基準遅延時間Ｔｒｄ０とされており、同一値である。すなわち、ＴＣＳ（ｋ）の各遅延回路３３には、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）が同時に入力される。
　ＴＣＳ（ｋ）の各処理部３２は、レーザ制御部１８と遅延回路３３とに接続されている。処理部３２は、レーザ制御部１８から受信する充電電圧Ｖの設定値に基づいて、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を遅延させるための遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出し、遅延回路３３に入力する。具体的には、処理部３２は、前述の式２に基づいて時間差ΔＴＶ（ｋ）を求める。なお、処理部３２は、所要時間Ｆ（Ｖ）を表す関数を、テーブルデータとして記憶しておき、このテーブルデータに基づいて時間差ΔＴＶ（ｋ）を求めてもよい。
　処理部３２は、時間差ΔＴＶ（ｋ）を求めた後、下式３に基づいて、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出する。
　　　Ｔｄ（ｋ）＝Ｔｄ０（ｋ）＋ΔＴＶ（ｋ）　　・・・（３）
　ここで、Ｔｄ０（ｋ）は、充電電圧Ｖが基準電圧Ｖ0である場合の基準遅延時間である。すなわち、遅延時間Ｔｄ（ｋ）は、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）に、上式２に基づいて求めた補正時間ΔＴＶ（ｋ）を加算した値である。
　遅延回路３３は、処理部３２により算出された遅延時間Ｔｄ（ｋ）のデータを取得して保持する。図６に示すように、遅延回路３３は、内部トリガ信号生成部３０から内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を遅延時間Ｔｄ（ｋ）だけ遅延させたものをスイッチ信号Ｓ（ｋ）として、ＰＰＭ１２に入力する。これにより、レーザ制御部１８が外部トリガ信号ＴＲを受信してから、ＰＰＭ（ｋ）により高電圧が第１の放電電極２０ａに印加されるまでの所要時間がほぼ一定となる。
　　１．２　動作
　次に、図７～図９を用いて比較例に係るガスレーザ装置２の動作を説明する。
　　　１．２．１　レーザ制御部の処理
　図７は、レーザ制御部１８が実行する処理を示すフローチャートである。レーザ制御部１８は、以下の処理により、目標パルスエネルギＥｔに基づいて、充電器１１に設定する充電電圧Ｖを算出する。
　まず、Ｓ１０１において、レーザ制御部１８は、充電電圧Ｖの設定値を、初期値としての基準電圧Ｖ0に設定する。次に、Ｓ１０２において、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から送信された目標パルスエネルギＥｔのデータを読み込む。
　次に、Ｓ１０３において、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、これを同期制御部１７に送信し、ガスレーザ装置２がレーザ発振したか否かを判定する。ガスレーザ装置２がレーザ発振していない場合（Ｓ１０３；ＮＯ）、レーザ制御部１８は、レーザ発振するまで待機する。ガスレーザ装置２がレーザ発振した場合（Ｓ１０３；ＹＥＳ）、レーザ制御部１８は、処理をＳ１０４に進める。
　Ｓ１０４において、レーザ制御部１８は、ガスレーザ装置２から出力されたパルスレーザ光ＰＬのパルスエネルギＥを検出する。パルスエネルギＥは、パルスエネルギ計測部１６によって計測される。
　次に、Ｓ１０５において、レーザ制御部１８は、計測されたパルスエネルギＥと、目標パルスエネルギＥｔとの差ΔＥを、下式４に基づいて算出する。
　　　ΔＥ＝Ｅ－Ｅｔ　　・・・（４）
　次に、Ｓ１０６において、レーザ制御部１８は、差ΔＥに基づいて、充電電圧Ｖの設定値の変更量ΔＶを下式５に基づいて算出する。
　　　ΔＶ＝Ｈ・ΔＥ　　・・・（５）
　ここで、Ｈは、比例定数である。変更量ΔＶは、差ΔＥを０とするために、充電電圧Ｖの設定値をどのくらい変更すればよいかを表している。レーザ制御部１８は、現在の充電電圧Ｖの設定値に変更量ΔＶを加算した値を、次の設定値とする。
　次に、Ｓ１０７において、レーザ制御部１８は、充電器１１と、複数のトリガ補正部３１とに、Ｓ１０６で算出した充電電圧Ｖの設定値を送信する。
　次に、Ｓ１０８において、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から送信された目標パルスエネルギＥｔが変更されたか否かを判定する。目標パルスエネルギＥｔが変更された場合（Ｓ１０８；ＹＥＳ）、レーザ制御部１８は、処理を前述のＳ１０２に戻す。目標パルスエネルギＥｔが変更されていない場合（Ｓ１０８；ＮＯ）、レーザ制御部１８は、処理を前述のＳ１０３に戻す。以上の処理が繰り返し実行される。
　　　１．２．２　トリガ補正部の処理
　図８は、トリガ補正部３１が実行する処理を示すフローチャートである。各トリガ補正部３１は、図７に示されるＳ１０７において、レーザ制御部１８から充電電圧Ｖの設定値が送信された場合に、以下の処理により、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出し、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を補正する。
　まず、Ｓ２０１において、各ＴＣＳ（ｋ）に含まれる処理部３２は、レーザ制御部１８から送信された充電電圧Ｖの設定値を読み込む。次に、Ｓ２０２において、処理部３２は、前述の式１及び式２に基づき、補正時間ΔＴＶ（ｋ）を算出する。次に、Ｓ２０３において、処理部３２は、前述の式３に基づき、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出する。そして、Ｓ２０４において、処理部３２は、算出した遅延時間Ｔｄ（ｋ）のデータを遅延回路３３に送信する。この後、処理部３２は、処理をＳ２０１に戻す。以上の処理が繰り返し行われる。
　遅延回路３３は、内部トリガ信号生成部３０から内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を遅延時間Ｔｄ（ｋ）だけ遅延させ、遅延させた内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）をスイッチ信号Ｓ（ｋ）として、ＰＰＭ（ｋ）に入力する。
　　　１．２．３　ガスレーザ装置の全体動作
　図９は、比較例に係るガスレーザ装置２におけるタイミングチャートである。図９を参照しながら、ガスレーザ装置の全体動作を説明する。
　レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から目標パルスエネルギＥｔのデータを受信すると、パルスレーザ光ＰＬのパルスエネルギＥが目標パルスエネルギＥｔに近づくような充電電圧Ｖの設定値を計算し、同期制御部１７を介して、充電器１１に送信する。
　同期制御部１7内において、各ＴＣＳ（ｋ）の処理部３２は、充電電圧Ｖの設定値に基づいて、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を計算し、遅延回路３３に遅延時間Ｔｄ（ｋ）のデータを送信する。同期制御部１7内の内部トリガ信号生成部３０は、外部装置制御部３からレーザ制御部１８を介して外部トリガ信号ＴＲを受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成して各ＴＣＳ（ｋ）の遅延回路３３に入力する。各ＴＣＳ（ｋ）の遅延回路３３に入力された内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）は、遅延時間Ｔｄ（ｋ）だけ遅延され、スイッチ信号Ｓ（ｋ）として、ＰＰＭ（ｋ）のスイッチ１２ａに入力される。
　図９に示すように、スイッチ信号Ｓ（１）～Ｓ（ｎ）は、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各スイッチ１２ａに、ほぼ同時に入力され、各スイッチ１２ａがほぼ同時にＯＮとなる。そして、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）によってパルス圧縮された電流パルスにより、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）がほぼ同時に充電され、ほぼ同時に第１の放電電極２０ａに高電圧が印加される。
　この結果、レーザガス中で絶縁破壊が起こり、放電空間においてパルス放電が生成される。このパルス放電によって、レーザガスが励起され、基底状態に戻るときに、紫外のレーザ光が出力される。光共振器によってレーザ発振し、出力結合ミラー１５からパルスレーザ光ＰＬが出力される。出力されたパルスレーザ光ＰＬは、パルスエネルギ計測部１６によってパルスエネルギＥが計測される。
　レーザ制御部１８は、パルスエネルギ計測部１６によって計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥを読み込み、目標パルスエネルギＥｔに近づくような充電電圧Ｖの設定値を計算する。以上のステップが繰り返される。
　以上のように、同期制御部１7は、充電器１１の充電電圧Ｖに基づいて、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）のスイッチ１２ａをＯＮとするタイミングを制御することによって、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）に充電されるタイミングをほぼ一致させることができる。
　　１．３　課題
　比較例に係るガスレーザ装置２では、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングがほぼ一致するように制御されるが、このように制御を行ったとしても、図１０に示すように、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングにずれが生じる可能性がある。充電タイミングにずれが生じると、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）から第１の放電電極２０ａへの高電圧の印加タイミングにずれが生じ、放電強度が低下する。この結果、パルスレーザ光ＰＬの発光強度が低下する。パルスレーザ光ＰＬの発光強度の低下を抑制するためには、数ナノ秒以下の精度で、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングを一致させる必要がある。
　数ナノ秒程度の充電タイミングのずれは、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の個体差や温度差等により生じ得る。例えば、充電タイミングは、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各構成部の温度に依存性するので、温度差によって充電タイミングにずれが生じる。ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各構成部の温度を直接計測することや、温度変化を正確に予測することが可能であれば、充電タイミングのずれをある程度低減することが可能であるが、温度の直接計測や予測は、実際には困難である。また、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の個体差をなくすことも困難である。
　したがって、比較例に係るガスレーザ装置２では、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングのずれを抑制することができず、これに起因したパルスレーザ光ＰＬの発光強度の低下を抑制することできないといった課題がある。
　２．第１の実施形態
　次に、本開示の第１の実施形態に係るガスレーザ装置について説明する。第１の実施形態に係るガスレーザ装置は、出力パルスセンサを含むことと、トリガ補正部の構成が異なること以外は、比較例に係るガスレーザ装置２の構成と同一である。以下では、比較例に係るガスレーザ装置２の構成要素と同じ部分については、同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
　　２．１　構成
　図１１は、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａの構成を概略的に示す。図１２は、図１１に示されるＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の構成を示す。第１の実施形態では、ＰＰＭ１２とピーキングコンデンサ２７との間に出力パルスセンサ４０が設けられている。出力パルスセンサ４０は、１つのＰＰＭ１２に対して１つずつ設けられている。以下、ＰＰＭ（ｋ）とＣｐ（ｋ）との間に配置された出力パルスセンサ４０を、Ａ（ｋ）と表記する。
　第１の実施形態では、出力パルスセンサＡ（ｋ）は、出力パルスとしての電流パルスを検出する電流センサである。出力パルスセンサＡ（ｋ）は、磁気スイッチＭＳ2とピーキングコンデンサ２７との間に接続されている。出力パルスセンサＡ（ｋ）は、電流パルスを検出した際に、検出信号Ｄ１（ｋ）を同期制御部５０に入力する。
　図１３は、第１の実施形態に係る同期制御部５０の構成を示す。同期制御部５０は、内部トリガ信号生成部３０と、複数のトリガ補正部（ＴＣＳ）５１と、を含む。同期制御部５０は、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）に入力するスイッチ信号Ｓ（１）～Ｓ（ｎ）のタイミングを制御する。同期制御部５０は、高速処理が可能なＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）により、全てまたは一部が構成されている。以下、ＰＰＭ（ｋ）に対するトリガ補正部５１をＴＣＳ（ｋ）と表記する。
　内部トリガ信号生成部３０は、比較例の内部トリガ信号生成部３０と同一の構成である。内部トリガ信号生成部３０は、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成し、生成した内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）をＴＣＳ（ｋ）に入力する。
　各ＴＣＳ（ｋ）は、処理部５２と、遅延回路５３と、タイマ５４と、を含む。遅延回路５３とタイマ５４とには、内部トリガ信号生成部３０から内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）が同時に入力される。ＴＣＳ（ｋ）のタイマ５４には、出力パルスセンサＡ（ｋ）から検出信号Ｄ１（ｋ）が入力される。
　タイマ５４は、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）の入力によって計時を開始し、検出信号Ｄ１（ｋ）の入力によって計時を停止するように構成されている。すなわち、タイマ５４は、図１４に示すように、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）の入力から検出信号Ｄ１（ｋ）の入力までに要される時間Ｔｄｍ（ｋ）を計測する。タイマ５４は、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）のデータを、処理部５２に入力する。
　ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２は、レーザ制御部１８から受信する充電電圧Ｖの設定値に基づいて、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を遅延させるための遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出し、遅延回路５３に入力する。具体的には、処理部５２は、前述の式２に基づいて時間差ΔＴＶ（ｋ）を求める。処理部５２は、時間差ΔＴＶ（ｋ）を求めた後、前述の式３に基づいて、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出する。
　また、ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２は、タイマ５４から入力される計測時間Ｔｄｍ（ｋ）のデータに基づいて、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を補正する。これにより、スイッチ信号Ｓ（ｋ）のタイミングが補正される。
　以上のように、同期制御部５０とレーザ制御部１８とが、出力パルスセンサＡ（ｋ）の検出結果に基づいてスイッチ信号Ｓ（ｋ）のタイミングを制御する制御部を構成している。
　　２．２　動作
　　　２．２．１　レーザ制御部の処理
　第１の実施形態においてレーザ制御部１８が行う処理は、比較例において図７に示されるフローチャートを用いて説明した処理と同一であるので、説明は省略する。
　　　２．２．２　トリガ補正部の処理
　図１５は、各ＴＣＳ（ｋ）が実行する処理を示すフローチャートである。各ＴＣＳ（ｋ）は、図７に示されるＳ１０７において、レーザ制御部１８から充電電圧Ｖの設定値が送信された場合に、以下の処理により、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出し、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を補正する。
　まず、Ｓ３００において、各ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２は、以下のように、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）を初期値に設定する。
　　　Ｔｄ０（ｋ）＝Ｔｄｔ－Ｆ（Ｖ0）
　ここで、Ｔｄｔは、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）の目標値である。Ｆ（Ｖ0）は、充電電圧Ｖが基準電圧Ｖ0である場合の前述の所要時間Ｆ（Ｖ）である。基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）と目標値Ｔｄｔと所要時間Ｆ（Ｖ0）との関係は、図１４に示されている。
　次に、Ｓ３０１において、処理部５２は、以下のように、変数のリセットを行う。
　　　Ｊ＝０
　　　Ｔｄｍｓｕｍ（ｋ）＝０
　ここで、Ｊは、発振パルス数を数えるためのカウンタである。Ｔｄｍｓｕｍ（ｋ）は、タイマ５４による計測時間Ｔｄｍ（ｋ）の平均値を算出するための合計値である。
　次に、Ｓ３０２において、処理部５２は、レーザ制御部１８から送信された充電電圧Ｖの設定値を読み込む。次に、Ｓ３０３において、処理部５２は、前述の式１及び式２に基づき、補正時間ΔＴＶ（ｋ）を算出する。次に、Ｓ３０４において、処理部５２は、前述の式３に基づき、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出する。次に、Ｓ３０５において、処理部３２は、算出した遅延時間Ｔｄ（ｋ）のデータを遅延回路５３に送信する。
　次に、Ｓ３０６において、処理部５２は、ガスレーザ装置２ａがレーザ発振したか否かを判定する。ガスレーザ装置２ａがレーザ発振したか否かは、タイマ５４が出力パルスセンサＡ（ｋ）から検出信号Ｄ１（ｋ）を受信したか否かによって判定される。ガスレーザ装置２ａがレーザ発振した場合（Ｓ３０６；ＹＥＳ）、処理部５２は、処理をＳ３０７に進める。ガスレーザ装置２ａがレーザ発振していない場合（Ｓ３０６；ＮＯ）、処理部５２は、ガスレーザ装置２ａがレーザ発振するまで待機する。
　Ｓ３０７において、処理部５２は、現在のカウンタＪの値に１を加算して、Ｊの値を更新する。次に、Ｓ３０８において、処理部５２は、タイマ５４から計測時間Ｔｄｍ（ｋ）のデータを受信する。次に、Ｓ３０９において、処理部５２は、現在の合計値Ｔｄｍｓｕｍ（ｋ）に計測時間Ｔｄｍ（ｋ）を加算することにより、合計値Ｔｄｍｓｕｍ（ｋ）を更新する。
　次に、Ｓ３１０において、処理部５２は、カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達したか否かを判定する。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達していない場合（Ｓ３１０；ＮＯ）、処理部５２は、処理をＳ３０２に戻す。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達した場合（Ｓ３１０；ＹＥＳ）、処理部５２は、処理をＳ３１１に進める。
　Ｓ３１１において、処理部５２は、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）の平均値と、目標値Ｔｄｔとの差ΔＴｄ（ｋ）を算出する。差ΔＴｄ（ｋ）は、下式６により算出される。
　ΔＴｄ（ｋ）＝Ｔｄｍｓｕｍ（ｋ）／Ｊｍａｘ－Ｔｄｔ　　・・・（６）
　次に、Ｓ３１２において、処理部５２は、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）から差ΔＴｄ（ｋ）を減算した値を、新たな基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）とする。このように、処理部５２は、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）を補正した後、処理をＳ３０１に戻す。以上の処理が繰り返し行われる。
　ＴＣＳ（ｋ）の遅延回路５３は、内部トリガ信号生成部３０から内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を遅延時間Ｔｄ（ｋ）だけ遅延させ、遅延させた内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）をスイッチ信号Ｓ（ｋ）として、ＰＰＭ（ｋ）に入力する。
　以上のように、Ｓ３０２～Ｓ３０５では、充電電圧Ｖに基づいてスイッチ信号Ｓ（ｋ）のタイミングを補正する第１の補正処理（ジッタ補正処理）が行われる。また、Ｓ３０６～Ｓ３１２では、出力パルスセンサＡ（ｋ）の検出結果に基づいてスイッチ信号Ｓ（ｋ）のタイミングを補正する第２の補正処理（ドリフト補正処理）が行われる。
　サンプル数Ｊｍａｘは、２００回～１００００回の範囲内であることが好ましい。すなわち、第２の補正処理の頻度は、第１の補正処理の頻度より小さいことが好ましい。
　　　２．２．３　ガスレーザ装置の全体動作
　次に、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａの全体動作を説明する。まず、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から目標パルスエネルギＥｔのデータを受信すると、パルスレーザ光ＰＬのパルスエネルギＥが目標パルスエネルギＥｔに近づくような充電電圧Ｖの設定値を計算し、同期制御部５０を介して、充電器１１に送信する。
　同期制御部５０内において、各ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２は、充電電圧Ｖの設定値及び基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）に基づいて、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を計算し、遅延回路５３に遅延時間Ｔｄ（ｋ）のデータを送信する。
　同期制御部５０内の内部トリガ信号生成部３０は、外部装置制御部３からレーザ制御部１８を介して外部トリガ信号ＴＲを受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成して各ＴＣＳ（ｋ）の遅延回路５３及びタイマ５４に入力する。タイマ５４は、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）が入力されると、リセットされ、計時を開始する。各遅延回路５３に入力された内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）は、遅延時間Ｔｄ（ｋ）だけ遅延され、スイッチ信号Ｓ（ｋ）として、ＰＰＭ（ｋ）のスイッチ１２ａに入力される。
　スイッチ信号Ｓ（１）～Ｓ（ｎ）は、ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各スイッチ１２ａに、ほぼ同時に入力され、各スイッチ１２ａがほぼ同時にＯＮとなる。そして、ＰＰＭ（ｋ）によってパルス圧縮された電流パルスが出力パルスとして、Ｃｐ（ｋ）に出力される。
　このとき、ＰＰＭ（ｋ）からの出力パルスは、ＰＰＭ（ｋ）の後段に設けられた出力パルスセンサＡ（ｋ）によって検出される。出力パルスセンサＡ（ｋ）は、出力パルスを検出すると、検出信号Ｄ１（ｋ）をＴＣＳ（ｋ）のタイマ５４に送信する。タイマ５４は、検出信号Ｄ１（ｋ）を受信すると計時を停止し、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）の入力から検出信号Ｄ１（ｋ）の入力までの計測時間Ｔｄｍ（ｋ）を、処理部５２に入力する。処理部５２は、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）が入力されると、前述した処理を実行し、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）の平均値と目標値Ｔｄｔとの差ΔＴｄ（ｋ）を算出して、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）を補正する。
　電流パルスでＣｐ（ｋ）が充電されることにより、第１の放電電極２０ａと第２の放電電極２０ｂとの間に高電圧が印加される。この結果、レーザガス中で絶縁破壊が起こり、放電空間においてパルス放電が生じる。このパルス放電によって、レーザガスが励起され、基底状態に戻るときに、紫外のレーザ光が出力される。光共振器によってレーザ発振し、出力結合ミラー１５からパルスレーザ光ＰＬが出力される。出力されたパルスレーザ光ＰＬは、パルスエネルギ計測部１６によってパルスエネルギＥが計測される。
　レーザ制御部１８は、パルスエネルギ計測部１６によって計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥを読み込み、目標パルスエネルギＥｔに近づくような充電電圧Ｖの設定値を計算する。以上のステップが繰り返される。
　　２．３　効果
　第１の実施形態では、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）が、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）の平均値と目標値Ｔｄｔとの差ΔＴｄ（ｋ）に基づいて補正されることにより、次のサイクルで算出される遅延時間Ｔｄ（ｋ）が差ΔＴｄ（ｋ）だけ補正される。これにより、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）が目標値Ｔｄｔに近づく。各ＴＣＳ（ｋ）において、上記処理が個別に行われることにより、各タイマ５４による計測時間Ｔｄｍ（ｋ）がほぼ同一となる。
　この結果、出力パルスセンサＡ（１）～Ａ（ｎ）による出力パルスの検出タイミングがほぼ同一となり、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングのずれが抑制される。したがって、第１の実施形態によれば、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングのずれに起因したパルスレーザ光ＰＬの発光強度の低下が抑制される。
　ガスレーザ装置２ａは、ｎ個のＰＰＭ１２を備えることにより、出力エネルギがｎ倍に増大する。例えば、１つのＰＰＭ１２の出力エネルギを１０Ｊとすると、ガスレーザ装置２ａは、ｎ×１０Ｊの出力エネルギを有する高出力のＰＰＭを備えるガスレーザ装置と同等の性能となる。
　なお、第１の実施形態では、１つの充電器１１に複数のＰＰＭ１２が並列に接続されているので、複数のＰＰＭ１２に印加される充電電圧Ｖは、ほぼ同一となる。このため、複数のＰＰＭ１２間で、充電電圧Ｖの差異が小さく、充電タイミングへの影響は小さい。しかし、ＰＰＭ１２の数が多く、充電器１１の出力が大きくなりすぎる場合には、複数の充電器を設け、各充電器から各ＰＰＭ１２に充電電圧Ｖを供給してもよい。
　３．第２の実施形態
　次に、本開示の第２の実施形態に係るガスレーザ装置について説明する。第２の実施形態に係るガスレーザ装置は、ＰＰＭごとにスイッチ信号のタイミングを異ならせることにより、パルスレーザ光のパルス幅を高精度に制御することを可能とする。以下では、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａの構成要素と同じ部分については、同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
　　３．１　構成
　図１６は、第２の実施形態に係るガスレーザ装置２ｂの構成を概略的に示す。図１７は、図１６に示されるＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の構成を示す。第２の実施形態では、外部装置制御部３からレーザ制御部１８に、外部トリガ信号ＴＲと、目標パルスエネルギＥｔのデータとに加えて、目標パルス幅Ｄｔのデータが送信される。
　第２の実施形態では、第１の実施形態とは異なり、レーザチャンバ１０内に、複数の第１の放電電極２０ａ1～２０ａnと、複数の第２の放電電極２０ｂ1～２０ｂnとが設けられている。ＰＰＭ（ｋ）に対して、第１の放電電極２０ａkと第２の放電電極２０ｂkとが設けられている。これは、各ＰＰＭ（ｋ）に接続された第１の放電電極２０ａkにより、個別に放電を行うためである。ここで、ｋ＝１，２，・・・，ｎである。
　なお、第２の放電電極２０ｂ1～２０ｂnは、いずれもグランド電極であるので、必ずしも複数設ける必要はなく、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａと同様に、１つの第２の放電電極２０ｂとしてもよい。
　ＰＰＭ１２の構成は、第１の実施形態と同一である。各ＰＰＭ（ｋ）は、出力パルスセンサＡ（ｋ）を介して、Ｃｐ（ｋ）に接続されている。また、Ｃｐ（ｋ）は、第１及び第２の放電電極２０ａk，２０ｂkに接続されている。
　第２の実施形態では、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から入力される目標パルス幅Ｄｔのデータに基づいて、スイッチ信号Ｓ（１）～Ｓ（ｎ）のタイミングを決定するための時間差データΔＴ（１）～ΔＴ（ｎ）を算出し、同期制御部６０に送信する。
　図１８は、第２の実施形態に係る同期制御部６０の構成を示す。同期制御部６０は、遅延時間算出部６１と、内部トリガ信号生成部６２と、複数のトリガ補正部５１と、を含む。トリガ補正部５１は、第１の実施形態と同一の構成である。遅延時間算出部６１は、レーザ制御部１８から入力される時間差データΔＴ（１）～ΔＴ（ｎ）に基づき、遅延時間Ｔｒｄ（１）～Ｔｒｄ（ｎ）を算出し、内部トリガ信号生成部６２に入力する。
　内部トリガ信号生成部６２は、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成し、ＴＣＳ（ｋ）に入力する。このとき、内部トリガ信号生成部６２は、遅延時間算出部６１から入力された遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）に応じて外部トリガ信号ＴＲを遅延させることにより、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成する。
　第２の実施形態に係るガスレーザ装置２ｂのその他の構成は、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａと同一である。
　　３．２　動作
　　　３．２．１　時間差データの算出処理
　第２の実施形態において、レーザ制御部１８は、比較例において図７に示される充電電圧Ｖの設定処理に加えて、図１９に示される時間差データΔＴ（ｋ）の算出処理を行う。以下、時間差データΔＴ（ｋ）の算出処理について、図１９に示されるフローチャートを参照しながら説明する。
　まず、Ｓ４０１において、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から、目標パルス幅Ｄｔのデータを受信する。次に、Ｓ４０２において、レーザ制御部１８は、下式７に基づいて、パルスレーザ光ＰＬのパルス幅を目標パルス幅Ｄｔとするために必要な充電時間間隔ΔＴｃｈを算出する。この充電時間間隔ΔＴｃｈは、隣り合うＣｐ（ｋ－１）とＣｐ（ｋ）との間の充電タイミングの差である。
　　　ΔＴｃｈ＝（Ｄｔ－Ｄ０）／（ｎ－１）　　・・・（７）
　ここで、Ｄ０は、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）が全て同時に充電された場合のパルスレーザ光ＰＬのパルス幅である。Ｄ０は、予め実験的または理論的に求められている。
　次に、Ｓ４０３において、レーザ制御部１８は、下式８に基づいて、時間差データΔＴ（ｋ）を算出する。
　　　ΔＴ（ｋ）＝（ｋ－１）・ΔＴｃｈ　　・・・（８）
　次に、Ｓ４０４において、レーザ制御部１８は、算出した時間差データΔＴ（ｋ）を、同期制御部６０内の遅延時間算出部６１に送信する。次に、Ｓ４０５において、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から、目標パルス幅Ｄｔの変更信号を受信したか否かを判定する。変更信号を受信していない場合（Ｓ４０５；ＮＯ）、レーザ制御部１８は、変更信号を受信するまで待機する。レーザ制御部１８は、変更信号を受信した場合（Ｓ４０５；ＹＥＳ）、処理をＳ４０１に戻す。以上の処理が繰り返し実行される。
　　　３．２．２　遅延時間の算出処理
　図２０は、遅延時間算出部６１により行われる遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）の算出処理を示す。まず、Ｓ５０１において、遅延時間算出部６１は、レーザ制御部１８から送信された時間差データΔＴ（ｋ）を受信する。
　次に、Ｓ５０２において、遅延時間算出部６１は、下式９に基づいて、遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）を算出する。
　　　Ｔｒｄ（ｋ）＝Ｔｒｄ０＋ΔＴ（ｋ）　　・・・（９）
　ここで、Ｔｒｄ０は、基準遅延時間であり、一定値である。
　次に、Ｓ５０３において、遅延時間算出部６１は、算出した遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）を内部トリガ信号生成部６２に送信し、処理をＳ５０１に戻す。以上の処理が繰り返し実行される。
　　　３．２．３　内部トリガ信号の生成処理
　内部トリガ信号生成部６２は、遅延時間算出部６１から送信された遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）を受信して保持し、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲを受信した場合に、下式１０に基づいて、外部トリガ信号ＴＲを遅延させ、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成する。
　　　ＴＲ（ｋ）＝ＴＲ＋Ｔｒｄ（ｋ）　　・・・（１０）
　内部トリガ信号生成部６２は、生成した内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を、ＴＣＳ（ｋ）に入力する。ＴＲ（ｋ－１）とＴ（ｋ）は、時間差ΔＴｃｈを有する。
　　　３．２．４　ガスレーザ装置の全体動作
　図２１は、第２の実施形態に係るガスレーザ装置２ｂにおけるタイミングチャートである。図２１を参照しながら、ガスレーザ装置２ｂの全体動作を説明する。
　レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から目標パルスエネルギＥｔのデータを受信すると、パルスレーザ光ＰＬのパルスエネルギＥが目標パルスエネルギＥｔに近づくような充電電圧Ｖの設定値を計算し、同期制御部６０を介して、充電器１１に送信する。
　同期制御部６０内において、各ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２は、充電電圧Ｖ及び基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）に基づいて、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を計算し、遅延回路５３に遅延時間Ｔｄ（ｋ）のデータを送信する。
　また、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から、目標パルス幅Ｄｔのデータを受信すると、時間差データΔＴ（ｋ）を算出し、同期制御部６０の遅延時間算出部６１に送信する。遅延時間算出部６１は、前述の式９に基づいて、遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）を算出し、内部トリガ信号生成部６２に入力する。
　内部トリガ信号生成部６２は、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、前述の式１０に基づいて内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成し、ＴＣＳ（ｋ）の遅延回路５３及びタイマ５４に入力する。図２１に示すように、内部トリガ信号ＴＲ（１）～ＴＲ（ｎ）は、時間差を有する。
　各ＴＣＳ（ｋ）のタイマ５４は、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）が入力されると、リセットされ、計時を開始する。各遅延回路５３に入力された内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）は、遅延時間Ｔｄ（ｋ）だけ遅延され、スイッチ信号Ｓ（ｋ）として、ＰＰＭ（ｋ）のスイッチ１２ａに入力される。
　図２１に示すように、スイッチ信号Ｓ（１）～Ｓ（ｎ）は、時間差を持ってＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各スイッチ１２ａに入力される。ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各スイッチ１２ａは、時間差ΔＴｃｈごとに順にＯＮとなる。各ＰＰＭ（ｋ）からは、パルス圧縮された電流パルスが出力パルスとして、Ｃｐ（ｋ）に出力される。この結果、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）は、時間差ΔＴｃｈごとに順に充電される。
　各ＰＰＭ（ｋ）からの出力パルスは、出力パルスセンサＡ（ｋ）によって検出され、検出信号Ｄ１（ｋ）が、ＴＣＳ（ｋ）のタイマ５４に送信される。タイマ５４は、検出信号Ｄ１（ｋ）が入力されると計時を停止し、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）の入力から検出信号Ｄ１（ｋ）の入力までの計測時間Ｔｄｍ（ｋ）を、処理部５２に入力する。処理部５２は、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）が入力されると、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）の平均値と目標値Ｔｄｔとの差ΔＴｄ（ｋ）を算出し、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）を補正する。
　電流パルスでＣｐ（ｋ）が充電されることにより、第１の放電電極２０ａkに高電圧が印加され、第１の放電電極２０ａkと第２の放電電極２０ｂkとの間の放電空間においてパルス放電が生じる。図２１に示すように、パルス放電は、時間差ΔＴｃｈごとに順に生じる。各パルス放電によって、レーザ発振が生じ、出力結合ミラー１５からパルスレーザ光ＰＬが出力される。パルスレーザ光ＰＬは、時間差ΔＴｃｈごとに出力されるレーザ光が重畳されたものであるので、パルス幅が、ほぼ目標パルス幅Ｄｔとなる。
　出力結合ミラー１５から出力されたパルスレーザ光ＰＬは、パルスエネルギ計測部１６によってパルスエネルギＥが計測される。レーザ制御部１８は、パルスエネルギ計測部１６によって計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥを読み込み、目標パルスエネルギＥｔに近づくような充電電圧Ｖの設定値を計算する。以上のステップが繰り返される。
　　３．３　効果
　第２の実施形態では、第１の実施形態と同様に、各ＴＣＳ（ｋ）に内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）が入力されてからＰＰＭ（ｋ）から出力パルスが出力されるまでの計測時間Ｔｄｍ（ｋ）は、目標値Ｔｄｔに近づくように制御される。このため、内部トリガ信号ＴＲ（１）～ＴＲ（ｎ）のタイミングを制御することにより、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングを高精度に制御することができる。したがって、第２の実施形態では、パルスレーザ光ＰＬのパルス幅を、目標パルス幅Ｄｔに近づけるように、高精度に制御することができる。
　なお、第２の実施形態では、Ｄｔ＝Ｄ０と設定し、ΔＴｃｈ＝０とすることにより、第１の実施形態のように、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミングを一致させることができる。
　また、第２の実施形態では、パルスエネルギ計測部１６を、光センサ１６ｃに代えて、ＰＩＮフォトダイオードや、紫外の光電管、例えばバイプラナー管を用いてもよい。この場合、パルスエネルギ計測部１６は、パルスレーザ光ＰＬのパルスエネルギに加えて、パルス波形を計測することができる。レーザ制御部１８は、パルスエネルギ計測部１６により計測されたパルス波形からパルス幅を求め、このパルス幅が目標パルス幅Ｄｔに近づくように時間差ΔＴｃｈを補正してもよい。
　４．第３の実施形態
　次に、本開示の第３の実施形態に係るガスレーザ装置について説明する。第３の実施形態に係るガスレーザ装置は、ＰＰＭごとにスイッチ信号のタイミングを異ならせ、かつ充電電圧を異ならせることにより、パルスレーザ光のパルス波形を高精度に制御することを可能とする。以下では、第２の実施形態に係るガスレーザ装置２ｂの構成要素と同じ部分については、同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
　　４．１　構成
　図２２は、第３の実施形態に係るガスレーザ装置２ｃの構成を概略的に示す。第３の実施形態では、外部装置制御部３からレーザ制御部１８に、外部トリガ信号ＴＲと、目標パルスエネルギＥｔのデータとに加えて、目標パルス波形Ｆｔのデータが送信される。
　第３の実施形態では、第２の実施形態とは異なり、ガスレーザ装置２ｃは、複数の充電器７０を備えている。充電器７０は、１つのＰＰＭ（ｋ）に対して１つずつ設けられている。すなわち、充電器７０の総数はｎ個である。以下、ＰＰＭ（ｋ）に対する充電器７０をＣＧ（ｋ）と表記する。
　第２の実施形態では、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から入力される目標パルス波形Ｆｔのデータに基づいて、後述する時間差データΔＴ（１）～ΔＴ（ｎ）及び充電電圧Ｖ（１）～Ｖ（ｎ）のデータを算出し、同期制御部６０ａに送信する。
　図２３は、第３の実施形態に係る同期制御部６０ａの構成を示す。同期制御部６０ａは、レーザ制御部１８から受信した充電電圧Ｖ（ｋ）のデータを、対応するＴＣＳ（ｋ）の処理部５２に入力すること以外は、第２の実施形態に係る同期制御部６０の構成と同一である。
　遅延時間算出部６１は、レーザ制御部１８から入力される時間差データΔＴ（１）～ΔＴ（ｎ）に基づき、遅延時間Ｔｒｄ（１）～Ｔｒｄ（ｎ）を算出し、内部トリガ信号生成部６２に入力する。
　ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２は、充電電圧Ｖ（ｋ）のデータに基づき、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を算出し、遅延回路５３に入力する。なお、ＣＧ（ｋ）には、ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２を介して充電電圧Ｖ（ｋ）のデータが入力される。
　第３の実施形態に係るガスレーザ装置２ｃのその他の構成は、第２の実施形態に係るガスレーザ装置２ｂと同一である。
　　４．２　動作
　　　４．２．１　時間差データ及び充電電圧の算出処理
　図２４は、第３の実施形態のレーザ制御部１８により行われる時間差データΔＴ（ｋ）及び充電電圧Ｖ（ｋ）の算出処理を示す。
　まず、Ｓ６０１において、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から、目標パルス波形Ｆｔのデータを受信する。次に、Ｓ６０２において、レーザ制御部１８は、目標パルス波形Ｆｔのデータに基づき、目標パルス波形Ｆｔの幅に対応した時間差データΔＴ（ｋ）を算出する。次に、Ｓ６０３において、レーザ制御部１８は、目標パルス波形Ｆｔの強度分布に対応した充電電圧Ｖ（ｋ）を算出する。
　次に、Ｓ６０４において、レーザ制御部１８は、算出した時間差データΔＴ（ｋ）を、同期制御部６０ａ内の遅延時間算出部６１に送信する。次に、Ｓ６０５において、レーザ制御部１８は、算出した充電電圧Ｖ（ｋ）のデータを、ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２に送信する。
　次に、Ｓ６０６において、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から、目標パルス波形Ｆｔの変更信号を受信したか否かを判定する。変更信号を受信していない場合（Ｓ６０６；ＮＯ）、レーザ制御部１８は、変更信号を受信するまで待機する。レーザ制御部１８は、変更信号を受信した場合（Ｓ６０６；ＹＥＳ）、処理をＳ６０１に戻す。以上の処理が繰り返し実行される。
　なお、第３の実施形態では、パルスエネルギ計測部１６によって計測されたパルスエネルギＥを、目標パルスエネルギＥｔに近づけるために、充電電圧Ｖ（ｋ）の設定値を変更せずに、図示しないアッテネータを制御する。すなわち、第３の実施形態では、図７に示されるフローチャートのうち、Ｓ１０６及びＳ１０７に代えて、図示しないアッテネータの制御が行われる。
　　　４．２．２　トリガ補正部の処理
　第３の実施形態では、各ＴＣＳ（ｋ）は、図１５のフローチャートに示される処理と同様の処理を行う。なお、第３の実施形態では、ＴＣＳ（ｋ）ごとに異なる充電電圧Ｖ（ｋ）が入力されるので、前述の式２に代えて、下式２’を用いることのみが異なる。
　　　ΔＴＶ（ｋ）＝Ｆ（Ｖ0）－Ｆ［Ｖ（ｋ）］　　・・・（２’）
　　　４．２．３　ガスレーザ装置の全体動作
　次に、第３の実施形態に係るガスレーザ装置２ｃの全体動作を説明する。まず、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から目標パルス波形Ｆｔのデータを受信すると、パルスレーザ光ＰＬのパルス波形が目標パルス波形Ｆｔに近づくような時間差データΔＴ（ｋ）及び充電電圧Ｖ（ｋ）の設定値を計算し、同期制御部６０ａに送信する。
　同期制御部６０ａ内において、各ＴＣＳ（ｋ）の処理部５２は、充電電圧Ｖ（ｋ）及び基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）に基づいて、遅延時間Ｔｄ（ｋ）を計算し、遅延回路５３に遅延時間Ｔｄ（ｋ）のデータを送信する。また、同期制御部６０ａ内において、各ＴＣＳ（ｋ）の遅延時間算出部６１は、前述の式９に基づいて、遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）を算出し、内部トリガ信号生成部６２に入力する。
　内部トリガ信号生成部６２は、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、前述の式１０に基づいて内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成し、ＴＣＳ（ｋ）の遅延回路５３及びタイマ５４に入力する。各ＴＣＳ（ｋ）のタイマ５４は、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）が入力されると、リセットされ、計時を開始する。各遅延回路５３に入力された内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）は、遅延時間Ｔｄ（ｋ）だけ遅延され、スイッチ信号Ｓ（ｋ）として、ＰＰＭ（ｋ）のスイッチ１２ａに入力される。
　スイッチ信号Ｓ（１）～Ｓ（ｎ）は、時間差を持ってＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各スイッチ１２ａに入力される。ＰＰＭ（１）～ＰＰＭ（ｎ）の各スイッチ１２ａは、順にＯＮとなる。各ＰＰＭ（ｋ）からは、パルス圧縮された電流パルスが出力パルスとして、Ｃｐ（ｋ）に出力される。この結果、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）は、順に充電される。
　各ＰＰＭ（ｋ）からの出力パルスは、出力パルスセンサＡ（ｋ）によって検出され、検出信号Ｄ１（ｋ）が、ＴＣＳ（ｋ）のタイマ５４に送信される。タイマ５４は、検出信号Ｄ１（ｋ）が入力されると計時を停止し、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）の入力から検出信号Ｄ１（ｋ）の入力までの計測時間Ｔｄｍ（ｋ）を、処理部５２に入力する。処理部５２は、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）が入力されると、計測時間Ｔｄｍ（ｋ）の平均値と目標値Ｔｄｔとの差ΔＴｄ（ｋ）を算出し、基準遅延時間Ｔｄ０（ｋ）を補正する。
　電流パルスでＣｐ（ｋ）が充電されることにより、第１の放電電極２０ａkに高電圧が印加され、第１の放電電極２０ａkと第２の放電電極２０ｂkとの間の放電空間においてパルス放電が生じる。第１の放電電極２０ａkに印加される電圧は、充電電圧Ｖ（ｋ）に応じて異なる。
　各パルス放電によって、レーザ発振が生じ、出力結合ミラー１５からパルスレーザ光ＰＬが出力される。パルスレーザ光ＰＬは、時間差データΔＴ（ｋ）に応じた放電タイミングと、充電電圧Ｖ（ｋ）に応じた励起強度とで生成された複数のレーザ光が重畳されたものであるので、パルス波形が、ほぼ目標パルス波形Ｆｔとなる。
　出力結合ミラー１５から出力されたパルスレーザ光ＰＬは、パルスエネルギ計測部１６によってパルスエネルギＥが計測される。レーザ制御部１８は、パルスエネルギ計測部１６によって計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥを読み込み、目標パルスエネルギＥｔに近づくように、図示しないアッテネータを制御する。以上のステップが繰り返される。
　　４．３　効果
　第３の実施形態では、内部トリガ信号ＴＲ（１）～ＴＲ（ｎ）のタイミング及び充電電圧Ｖ（１）～Ｖ（ｎ）を制御することにより、Ｃｐ（１）～Ｃｐ（ｎ）の充電タイミング及び励起強度を高精度に制御することができる。したがって、第３の実施形態では、パルスレーザ光ＰＬのパルス波形を、目標パルス波形Ｆｔに近づけるように、高精度に制御することができる。
　また、第３の実施形態では、パルスエネルギ計測部１６を、光センサ１６ｃに代えて、ＰＩＮフォトダイオードや、紫外の光電管、例えばバイプラナー管を用いてもよい。この場合、パルスエネルギ計測部１６は、パルスレーザ光ＰＬのパルスエネルギに加えて、パルス波形を計測することができる。レーザ制御部１８は、パルスエネルギ計測部１６により計測されたパルス波形と目標パルス波形Ｆｔとの差を求め、差が小さくなるように時間差データΔＴ（ｋ）及び充電電圧Ｖ（ｋ）を補正してもよい。
　５．第４の実施形態
　第１の実施形態では、ピーキングコンデンサが充電されるタイミングを検出しているが、ピーキングコンデンサが充電されてから、放電空間において実際に放電が生じるまでの時間が変動する可能性がある。これは、例えば、レーザガスのガス圧の変動等に起因する。第４の実施形態に係るガスレーザ装置は、外部トリガ信号の入力から実際に放電が生じるまでの時間の変動を抑制することを可能とする。以下では、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａの構成要素と同じ部分については、同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
　　５．１　構成
　図２５は、第４の実施形態に係るガスレーザ装置２ｄの構成を概略的に示す。第４の実施形態では、リアミラー１４のレーザチャンバ１０とは反対側に、放電センサ８０が設けられている。放電センサ８０は、集光光学系８０ａと、光センサ８０ｂとを含む。光センサ８０ｂは、可視光に感度を有するセンサであり、フォトダイオードまたは光電管により構成されている。
　リアミラー１４は、可視光を高透過させ、かつパルスレーザ光を高反射させる多層膜がコートされたものである。放電空間において生じる放電光には、紫外のレーザ光及び可視光が含まれる。集光光学系８０ａは、レーザチャンバ１０内からウィンドウ２１ｂを介して出射され、リアミラー１４を透過した可視光を、光センサ８０ｂの集光面に集光する。光センサ８０ｂは、可視光を検出した際に、検出信号Ｄ２を同期制御部６０ｂに送信する。
　図２６は、第４の実施形態に係る同期制御部６０ｂの構成を示す。同期制御部６０ｂは、第１の実施形態に係る同期制御部６０の構成に加えて、遅延時間補正部８１とタイマ８２とを含む。タイマ８２には、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲが入力される。また、タイマ８２には、光センサ８０ｂから検出信号Ｄ２が入力される。
　タイマ８２は、外部トリガ信号ＴＲの入力によって計時を開始し、検出信号Ｄ２の入力によって計時を停止するように構成されている。すなわち、タイマ８２は、図２７に示すように、外部トリガ信号ＴＲの入力から検出信号Ｄ２の入力までに要される時間Ｔｒｄｍを計測する。タイマ８２は、計測時間Ｔｒｄｍのデータを、遅延時間補正部８１に入力する。
　遅延時間補正部８１は、タイマ８２から入力される計測時間Ｔｒｄｍのデータに基づいて、遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）を算出する。遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）は、内部トリガ信号生成部６２が外部トリガ信号ＴＲを受信してから内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を出力するまでの時間、すなわち、外部トリガ信号ＴＲに対する内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）の遅延時間を表す。
　第４の実施形態に係るガスレーザ装置２ｄのその他の構成は、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａと同一である。
　　５．２　動作
　　　５．２．１　外部信号に対する内部トリガ信号の遅延時間の補正処理
　図２８は、遅延時間補正部８１による遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）の補正処理を示すフローチャートである。遅延時間補正部８１は、以下の処理により、遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）を補正する。
　まず、Ｓ７０１において、遅延時間補正部８１は、以下のように、変数のリセットを行う。
　　　Ｉ＝０
　　　Ｔｒｄｍｓｕｍ＝０
　ここで、Ｉは、発振パルス数を数えるためのカウンタである。Ｔｒｄｍｓｕｍは、タイマ８２による計測時間Ｔｒｄｍの平均値を算出するための合計値である。
　次に、Ｓ７０２において、遅延時間補正部８１は、遅延時間Ｔｒｄ（１）～Ｔｒｄ（ｎ）を全て基準遅延時間Ｔｒｄ０に設定する。次に、Ｓ７０３において、遅延時間補正部８１は、内部トリガ信号生成部６２に、遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）のデータを送信する。
　次に、Ｓ７０４において、遅延時間補正部８１は、ガスレーザ装置２ｄがレーザ発振したか否かを判定する。ガスレーザ装置２ｄがレーザ発振したか否かは、タイマ８２が光センサ８０ｂから検出信号Ｄ２を受信したか否かによって判定される。ガスレーザ装置２ｄがレーザ発振した場合（Ｓ７０４；ＹＥＳ）、遅延時間補正部８１は、処理をＳ７０５に進める。ガスレーザ装置２ｄがレーザ発振していない場合（Ｓ７０４；ＮＯ）、遅延時間補正部８１は、ガスレーザ装置２ｄがレーザ発振するまで待機する。
　Ｓ７０５において、遅延時間補正部８１は、現在のカウンタＩの値に１を加算して、Ｉの値を更新する。次に、Ｓ７０６において、遅延時間補正部８１は、タイマ８２から計測時間Ｔｒｄｍのデータを受信する。次に、Ｓ７０７において、遅延時間補正部８１は、現在の合計値Ｔｒｄｍｓｕｍに計測時間Ｔｒｄｍを加算することにより、合計値Ｔｒｄｍｓｕｍを更新する。
　次に、Ｓ７０８において、遅延時間補正部８１は、カウンタＩの値が所定のサンプル数Ｉｍａｘに達したか否かを判定する。カウンタＩの値が所定のサンプル数Ｉｍａｘに達していない場合（Ｓ７０８；ＮＯ）、遅延時間補正部８１は、処理をＳ７０４に戻す。カウンタＩの値が所定のサンプル数Ｉｍａｘに達した場合（Ｓ７０８；ＹＥＳ）、遅延時間補正部８１は、処理をＳ７０９に進める。
　Ｓ７０９において、遅延時間補正部８１は、計測時間Ｔｒｄｍの平均値と、目標値Ｔｒｄｔとの差ΔＴｒｄを算出する。差ΔＴｒｄは、下式１１により算出される。
　　　ΔＴｒｄ＝Ｔｒｄｍｓｕｍ／Ｉｍａｘ－Ｔｒｄｔ　　・・・（１１）
　次に、Ｓ７１０において、遅延時間補正部８１は、基準遅延時間Ｔｒｄ０から差ΔＴｒｄを減算した値を、新たな基準遅延時間Ｔｒｄ０とする。このように、遅延時間補正部８１は、基準遅延時間Ｔｒｄ０を補正した後、処理をＳ７０１に戻す。以上の処理が繰り返し行われる。
　内部トリガ信号生成部６２は、レーザ制御部１８から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、外部トリガ信号ＴＲを遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）だけ遅延させることにより、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成し、ＴＣＳ（ｋ）に入力する。
　以上のように、Ｓ７０４～Ｓ７０９では、光センサ８０ｂの検出結果に基づいてスイッチ信号Ｓ（ｋ）のタイミングを補正する第３の補正処理（ドリフト補正処理）が行われる。
　サンプル数Ｉｍａｘは、前述のサンプル数Ｊｍａｘよりも大きいことが好ましく、特に、２０００回～１０００００回の範囲内であることが好ましい。すなわち、第３の補正処理の頻度は、第２の補正処理の頻度より小さいことが好ましい。
　　　５．２．２　ガスレーザ装置の全体動作
　次に、第４の実施形態に係るガスレーザ装置２ｄの全体動作を説明する。まず、レーザ制御部１８は、外部装置制御部３から外部トリガ信号ＴＲを受信すると、これをタイマ８２及び内部トリガ信号生成部６２に入力する。タイマ８２は、外部トリガ信号ＴＲが入力されると、リセットされ、計時を開始する。
　内部トリガ信号生成部６２は、外部トリガ信号ＴＲを受信すると、遅延時間補正部８１から入力されている遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）だけ外部トリガ信号ＴＲを遅延させることにより、内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）を生成し、ＴＣＳ（ｋ）に入力する。この後、第１の実施形態と同様の動作が行われ、レーザチャンバ１０内の放電空間においてパルス放電が生じる。このとき、紫外のレーザ光が出力されるとともに、可視光が出力される。この可視光の一部は、リアミラー１４を透過し、光センサ８０ｂにより検出される。
　光センサ８０ｂは、可視光を検出すると、検出信号Ｄ２をタイマ８２に送信する。タイマ８２は、検出信号Ｄ２を受信すると計時を停止し、外部トリガ信号ＴＲの入力から検出信号Ｄ２の入力までの計測時間Ｔｒｄｍを、遅延時間補正部８１に入力する。遅延時間補正部８１は、計測時間Ｔｒｄｍが入力されると、前述した処理を実行し、計測時間Ｔｒｄｍの平均値と目標値Ｔｒｄｔとの差ΔＴｒｄを算出して、基準遅延時間Ｔｒｄ０を補正する。
　第４の実施形態に係るガスレーザ装置２ｄのその他の動作は、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａの動作と同様である。
　　５．３　効果
　第４の実施形態では、外部トリガ信号ＴＲに対する内部トリガ信号ＴＲ（ｋ）の基準遅延時間Ｔｒｄ０が、計測時間Ｔｒｄｍの平均値と目標値Ｔｒｄｔとの差ΔＴｒｄに基づいて補正されることにより、次のサイクルで算出される遅延時間Ｔｒｄ（ｋ）が差ΔＴｒｄだけ補正される。これに伴って、スイッチ信号Ｓ（ｋ）のタイミングが補正され、計測時間Ｔｒｄｍが目標値Ｔｒｄｔに近づく。
　このように、同期制御部６０ｂにより、光センサ８０ｂによる放電タイミングの検出結果に基づいてスイッチ信号Ｓ（ｋ）のタイミングを補正する第３の補正処理が行われる。この結果、ガスレーザ装置２ｄに外部トリガ信号ＴＲが入力されてから実際に放電が生じるまでの時間の変動が抑制される。
　第４の実施形態のように、リアミラー１４と出力結合ミラー１５とからなるフリーラン発振の光共振器の場合は、ロスが小さいため、放電と、出力結合ミラー１５から出力されるパルスレーザ光ＰＬとのタイミングはほぼ同期する。このように、第４の実施形態では、外部トリガ信号ＴＲと、パルスレーザ光ＰＬとの同期精度が向上するので、ガスレーザ装置２ｄを加工用レーザ装置に適用した場合の部分加工の精度や、ガスレーザ装置２ｄをレーザアニール装置に適用した場合のレーザ照射精度が向上する。
　なお、第４の実施形態は、放電センサ８０、遅延時間補正部８１、及びタイマ８２を、第１の実施形態に係るガスレーザ装置２ａに付加したものである。これらを第２の実施形態に係るガスレーザ装置２ｂ、または第３の実施形態に係るガスレーザ装置２ｃに付加して、第４の実施形態と同様に基準遅延時間Ｔｒｄ０を補正してもよい。
　また、第４の実施形態では、リアミラー１４の背面側に配置した放電センサ８０により放電タイミングを検出しているが、パルスエネルギ計測部１６に含まれる光センサ１６ｃにより放電タイミングを検出してもよい。
　６．出力パルスセンサの具体例
　次に、ピーキングコンデンサ２７の充電タイミングを検出するための出力パルスセンサ４０の具体例について説明する。出力パルスセンサ４０には、電流検出方式と電圧検出方式との２種類がある。
　　６．１　電流検出方式の出力パルスセンサ
　図２９は、電流検出方式の出力パルスセンサの具体例を示す。図２９において、出力パルスセンサ４０ａは、磁気コア９１と、コイル９２と、電圧計９３と、を含んで構成された電流センサである。磁気コア９１の中空部には、磁気スイッチＭＳ2とピーキングコンデンサ２７とを接続する配線が挿通されている。コイル９２は、磁気コア９１の一部に巻かれており、両端部が電圧計９３に接続されている。電圧計９３は、上記配線に電流パルスが流れることにより磁気コア９１に生じる誘導電圧を検出する。この誘導電圧の検出電圧が、前述の検出信号Ｄ１（ｋ）として、タイマ５４に送信される。
　なお、出力パルスセンサは、ロゴスキーコイルを含む電流センサであってもよい。また、出力パルスセンサは、磁気コア内の空隙部にホール素子を配置したホール素子型電流センサであってもよい。
　図３０は、ピーキングコンデンサ２７に流れる電流の波形に基づいて充電タイミングを検出する出力パルスセンサの具体例を示す。図３０において、出力パルスセンサ４０ｂは、電流センサ９４と、増幅器９５と、コンパレータ９６とを含む。電流センサ９４は、磁気スイッチＭＳ2とピーキングコンデンサ２７との間に配置されており、ピーキングコンデンサ２７に流れる電流を検出して増幅器９５に出力する。増幅器９５は、電流センサ９４から入力された電流を電圧Ｖｃｐｌｍに変換して、コンパレータ９６に出力する。
　図３１に示すように、コンパレータ９６は、増幅器９５から入力された電圧Ｖｃｐｌｍを、基準電圧Ｖｃｐｌｓと比較し、電圧Ｖｃｐｌｍが基準電圧Ｖｃｐｌｓより低い場合に一定の電圧Ｖｃｐｌｐを出力する。この電圧Ｖｃｐｌｐは、パルス状であり、前述の検出信号Ｄ１（ｋ）として、タイマ５４に送信される。
　基準電圧Ｖｃｐｌｓは、電圧Ｖｃｐｌｍの立ち上がり及び立ち下がりのタイミングを検出するように、０に近い負の値に設定されている。また、タイマ５４を、電圧Ｖｃｐｌｐの立ち上がりタイミングを検出するように構成することが好ましい。この場合、ピーキングコンデンサ２７の充電開始タイミングを検出することができる。
　なお、タイマ５４を、電圧Ｖｃｐｌｐの立ち下がりタイミングを検出するように構成してもよい。この場合、ピーキングコンデンサ２７の充電終了タイミングを検出することができる。充電終了タイミングは、放電空間における放電タイミングに近いので、充電終了タイミングを検出することにより、放電タイミングを精度よく検出することができる。
　　６．２　電圧検出方式の出力パルスセンサ
　図３２は、電圧検出方式の出力パルスセンサの具体例を示す。図３２において、出力パルスセンサ４０ｃは、ピーキングコンデンサ２７に並列に接続された電圧計１００により構成されている。電圧計１００は、ＰＰＭ１２からピーキングコンデンサ２７に印加される電圧を検出する。この検出電圧が、前述の検出信号Ｄ１（ｋ）として、タイマ５４に送信される。
　図３３は、ピーキングコンデンサ２７に印加される電圧の波形に基づいて充電タイミングを検出する出力パルスセンサの具体例を示す。図３３において、出力パルスセンサ４０ｄは、増幅器１０１と、コンパレータ１０２とを含む。増幅器１０１は、磁気スイッチＭＳ2とピーキングコンデンサ２７との間の配線に接続されている。増幅器１０１には、ピーキングコンデンサ２７への印加電圧が入力される。増幅器１０１は、ピーキングコンデンサ２７への印加電圧を電圧Ｖｃｐｍに変換して、コンパレータ１０２に出力する。
　図３４に示すように、コンパレータ１０２は、増幅器１０１から入力された電圧Ｖｃｐｍを、基準電圧Ｖｃｐｓと比較し、電圧Ｖｃｐｍが基準電圧Ｖｃｐｓより低い場合に一定の電圧Ｖｃｐｐを出力する。この電圧Ｖｃｐｐは、パルス状であり、前述の検出信号Ｄ１（ｋ）として、タイマ５４に送信される。
　基準電圧Ｖｃｐｓは、電圧Ｖｃｐｍの立ち上がり及び立ち下がりのタイミングを検出するように、０に近い負の値に設定されている。また、タイマ５４は、電圧Ｖｃｐｐの立ち上がりタイミング、または、電圧Ｖｃｐｐの立ち下がりタイミングを検出するように構成されている。
　７．放電センサの具体例
　図３５は、放電センサ８０に含まれる光センサ８０ｂの具体例を示す。光センサ８０ｂは、フォトダイオード１１０と、増幅器１１１と、コンパレータ１１２とを含む。フォトダイオード１１０は、可視光に感度を有し、受光した可視光の光強度に応じた電流を増幅器１１１に出力する。増幅器１１１は、フォトダイオード１１０から入力された電流を電圧Ｖｐｍに変換して、コンパレータ１１２に出力する。
　図３６に示すように、コンパレータ１１２は、増幅器１１１から入力された電圧Ｖｐｍを、基準電圧Ｖｐｓと比較し、電圧Ｖｐｍが基準電圧Ｖｃｐｓより高い場合に一定の電圧Ｖｐｐを出力する。この電圧Ｖｐｐは、パルス状となり、前述の検出信号Ｄ２として、タイマ８２に送信される。
　基準電圧Ｖｐｓは、電圧Ｖｐｍの立ち上がりタイミングを検出するように、０に近い正の値に設定されている。また、タイマ８２を、電圧Ｖｐｐの立ち上がりタイミングを検出するように構成することが好ましい。この場合、放電空間における放電タイミングを精度よく検出することができる。
　上記各実施形態及び具体例は、矛盾が生じない限り、組み合わせ可能である。また、上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の各実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
　本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。

Claims (19)

  1. 　放電励起式のガスレーザ装置は、以下を備える：
    　Ａ．対向配置された第１及び第２の放電電極；
    　Ｂ．前記第１の放電電極に接続された複数のピーキングコンデンサ；
    　Ｃ．充電器；
    　Ｄ．複数のパルスパワーモジュールであって、１つのパルスパワーモジュールは、以下のＤ１～Ｄ３を含む：
    　　Ｄ１．前記充電器から充電電圧が印加される充電コンデンサ；
    　　Ｄ２．前記充電コンデンサに保持された電気エネルギをパルス圧縮し、出力パルスとして、前記複数のピーキングコンデンサのうち対応する前記ピーキングコンデンサに出力するパルス圧縮回路；及び
    　　Ｄ３．前記充電コンデンサと前記パルス圧縮回路との間に配置されたスイッチ；
    　Ｅ．複数の出力パルスセンサであって、１つの出力パルスセンサは、１つの前記パルスパワーモジュールが出力する前記出力パルスを検出する；及び
    　Ｆ．前記各出力パルスセンサの検出結果に基づいて、前記各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングを制御する制御部。
  2. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記制御部は、前記充電電圧に基づいて前記スイッチ信号のタイミングを補正する第１の補正処理と、前記各出力パルスセンサの検出結果に基づいて前記スイッチ信号のタイミングを補正する第２の補正処理とを行う。
  3. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記第１の放電電極は、１つの前記パルスパワーモジュールに対して１つずつ設けられている。
  4. 　請求項３に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記制御部は、前記各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングを異ならせることにより、前記第１及び第２の放電電極の間の放電空間で生成されるパルスレーザ光のパルス幅を制御する。
  5. 　請求項４に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記制御部は、外部から入力される目標パルス幅に基づいて、前記各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングを決定する。
  6. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記充電器は、１つであって、前記複数の複数のパルスパワーモジュールに一定の充電電圧を供給する。
  7. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記充電器は、前記各パルスパワーモジュールに対して１つずつ設けられており、
    　前記各充電器は、対応する前記パルスパワーモジュールに充電電圧を印加する。
  8. 　請求項７に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記制御部は、前記各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングを異ならせ、かつ前記各充電器が出力する充電電圧を異ならせることにより、前記第１及び第２の放電電極の間の放電空間から出力されるパルスレーザ光のパルス波形を制御する。
  9. 　請求項８に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記制御部は、外部から入力される目標パルス波形に基づいて、前記各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングと、前記各充電器が出力する充電電圧とを決定する。
  10. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記出力パルスセンサは、前記ピーキングコンデンサに流れる電流を検出する。
  11. 　請求項１０に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記出力パルスセンサは、前記ピーキングコンデンサに流れる電流の立ち上がりタイミングまたは立ち下がりタイミングを検出する。
  12. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記出力パルスセンサは、前記ピーキングコンデンサに印加される電圧を検出する。
  13. 　請求項１２に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記出力パルスセンサは、前記ピーキングコンデンサに印加される電圧の立ち上がりタイミングまたは立ち下がりタイミングを検出する。
  14. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記パルス圧縮回路は、少なくとも１つの磁気スイッチを含み、
    　前記出力パルスセンサは、前記磁気スイッチと前記ピーキングコンデンサとの間に接続されている。
  15. 　請求項２に記載のガスレーザ装置であって、以下をさらに備える：
    　Ｇ．前記第１及び第２の放電電極の間の放電空間で生成される光を検出する光センサ；
    　ここで、前記制御部は、前記光センサの検出結果に基づき、前記各スイッチに入力するスイッチ信号のタイミングを補正する第３の補正処理をさらに行う。
  16. 　請求項１５に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記第３の補正処理の頻度は、前記第２の補正処理の頻度より小さく、
    　前記第２の補正処理の頻度は、前記第１の補正処理の頻度より小さい。
  17. 　請求項１５に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記光センサは、前記放電空間で生じる放電光またはパルスレーザ光を受光することにより放電タイミングを検出する。
  18. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記制御部は、外部から入力される外部トリガ信号に基づいて、前記各スイッチに入力するスイッチ信号を生成する。
  19. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、以下をさらに備える：
    　Ｈ．前記第１及び第２の放電電極の間の放電空間から出力されるパルスレーザ光のエネルギを計測するパルスエネルギ計測部；
    　ここで、前記制御部は、外部から入力される目標パルスエネルギと、前記パルスエネルギ計測部により計測されたパルスエネルギとの差に基づいて、前記充電電圧を変更する。
PCT/JP2016/073081 2016-08-05 2016-08-05 ガスレーザ装置 WO2018025394A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018531706A JPWO2018025394A1 (ja) 2016-08-05 2016-08-05 ガスレーザ装置
PCT/JP2016/073081 WO2018025394A1 (ja) 2016-08-05 2016-08-05 ガスレーザ装置
CN201680087553.2A CN109478757B (zh) 2016-08-05 2016-08-05 气体激光装置
US16/232,637 US20190148905A1 (en) 2016-08-05 2018-12-26 Gas laser device
US17/153,513 US20210167568A1 (en) 2016-08-05 2021-01-20 Gas laser device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2016/073081 WO2018025394A1 (ja) 2016-08-05 2016-08-05 ガスレーザ装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US16/232,637 Continuation US20190148905A1 (en) 2016-08-05 2018-12-26 Gas laser device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018025394A1 true WO2018025394A1 (ja) 2018-02-08

Family

ID=61074068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/073081 WO2018025394A1 (ja) 2016-08-05 2016-08-05 ガスレーザ装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US20190148905A1 (ja)
JP (1) JPWO2018025394A1 (ja)
CN (1) CN109478757B (ja)
WO (1) WO2018025394A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113439371A (zh) * 2019-03-26 2021-09-24 国立大学法人长冈技术科学大学 高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113383468B (zh) * 2019-03-26 2024-04-09 国立大学法人长冈技术科学大学 高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法
DE102020202224A1 (de) * 2020-02-20 2021-08-26 Aktiebolaget Skf Vorrichtung zum Messen von zwei physikalischen Größen

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5567181A (en) * 1978-11-15 1980-05-21 Nec Corp Gas laser device
JPH02126691A (ja) * 1988-11-07 1990-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置
JP2012104846A (ja) * 2011-12-26 2012-05-31 Komatsu Ltd 狭帯域化レーザ装置
JP2013533642A (ja) * 2010-08-09 2013-08-22 コヒーレント ゲーエムベーハー パルス状ガス放電レーザの高精度同期
WO2015186224A1 (ja) * 2014-06-05 2015-12-10 ギガフォトン株式会社 レーザチャンバ
WO2015190012A1 (ja) * 2014-06-09 2015-12-17 ギガフォトン株式会社 レーザシステム

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1012950A (ja) * 1996-06-25 1998-01-16 Toshiba Corp パルスガスレーザ発振装置、レーザアニール装置、半導体装置の製造方法、及び半導体装置
JP4205916B2 (ja) * 2002-09-03 2009-01-07 パナソニック株式会社 消光比補償レーザ駆動回路及び光通信装置
JP2009099727A (ja) * 2007-10-16 2009-05-07 Gigaphoton Inc 注入同期式放電励起レーザ装置及び注入同期式放電励起レーザ装置における同期制御方法
US9001857B2 (en) * 2011-08-23 2015-04-07 Raytheon Company High-efficiency, dual current sink laser diode driver
JP6275737B2 (ja) * 2013-11-05 2018-02-07 ギガフォトン株式会社 レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体
WO2015198457A1 (ja) * 2014-06-26 2015-12-30 ギガフォトン株式会社 ガスレーザ装置及びコンデンサ
WO2016151796A1 (ja) * 2015-03-25 2016-09-29 国立大学法人長岡技術科学大学 高電圧パルス発生装置及びガスレーザ装置
CN107735914B (zh) * 2015-07-14 2020-06-26 极光先进雷射株式会社 准分子激光装置
WO2018100638A1 (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 ギガフォトン株式会社 レーザ加工システム及びレーザ加工方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5567181A (en) * 1978-11-15 1980-05-21 Nec Corp Gas laser device
JPH02126691A (ja) * 1988-11-07 1990-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置
JP2013533642A (ja) * 2010-08-09 2013-08-22 コヒーレント ゲーエムベーハー パルス状ガス放電レーザの高精度同期
JP2012104846A (ja) * 2011-12-26 2012-05-31 Komatsu Ltd 狭帯域化レーザ装置
WO2015186224A1 (ja) * 2014-06-05 2015-12-10 ギガフォトン株式会社 レーザチャンバ
WO2015190012A1 (ja) * 2014-06-09 2015-12-17 ギガフォトン株式会社 レーザシステム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113439371A (zh) * 2019-03-26 2021-09-24 国立大学法人长冈技术科学大学 高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法
CN113439371B (zh) * 2019-03-26 2023-12-08 国立大学法人长冈技术科学大学 高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109478757A (zh) 2019-03-15
JPWO2018025394A1 (ja) 2019-05-23
CN109478757B (zh) 2021-04-16
US20210167568A1 (en) 2021-06-03
US20190148905A1 (en) 2019-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210167568A1 (en) Gas laser device
US7095773B2 (en) Injection locking type or MOPA type of laser device
JP6310390B2 (ja) レーザ装置の制御方法及びレーザ装置
US9991665B2 (en) Laser system
US7308013B2 (en) Excimer or molecular fluorine laser system with precision timing
JPH11289119A (ja) パルスレーザの発光タイミング制御装置
US10290992B2 (en) Laser system
US9601893B2 (en) Laser apparatus
JP6845255B2 (ja) レーザ装置
US6987790B2 (en) Excimer or molecular fluorine laser with several discharge chambers
US9722385B2 (en) Laser chamber
US6993052B2 (en) System and method for delay compensation for a pulsed laser
JP5253830B2 (ja) レーザ装置の故障診断システム
JP5513653B2 (ja) レーザ装置の故障診断システム

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16911653

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018531706

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16911653

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1