JP3317232B2 - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
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- JP3317232B2 JP3317232B2 JP03698698A JP3698698A JP3317232B2 JP 3317232 B2 JP3317232 B2 JP 3317232B2 JP 03698698 A JP03698698 A JP 03698698A JP 3698698 A JP3698698 A JP 3698698A JP 3317232 B2 JP3317232 B2 JP 3317232B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は樹脂の穴開け等に用
いられるパルス状のレーザ光を出力するパルスレーザ発
振装置に関するものである。
いられるパルス状のレーザ光を出力するパルスレーザ発
振装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の我々が使用しているレーザ発振装
置は、図８に示すものであった。本図において２１はガ
ラス等の誘電体で形成される放電管、２２、２３は前記
放電管に設けられた電極。２４は外部からピーク値、出
力時間を設定される電源で、外部からの信号に基づき２
０ＫＨｚの矩形状エネルギを出力する。
置は、図８に示すものであった。本図において２１はガ
ラス等の誘電体で形成される放電管、２２、２３は前記
放電管に設けられた電極。２４は外部からピーク値、出
力時間を設定される電源で、外部からの信号に基づき２
０ＫＨｚの矩形状エネルギを出力する。
【０００３】前記電源２４には、外部からピーク値設定
信号２５、パルス幅信号２６が入力される。
信号２５、パルス幅信号２６が入力される。
【０００４】２７は前記電極２２、２３間に挟まれた放
電管２１内の放電空間でありレーザガスで満たされてい
る。２８は出力鏡、２９は終段鏡であり、この出力鏡２
８、終段鏡２９は前記放電空間２７の両端に配置され、
光共振器を構成している。前記出力鏡２８よりレーザビ
ーム３０が出射される（以下レーザ光の挙動はレーザビ
ーム、レーザ光のエネルギ値に関してレーザエネルギと
説明する）。
電管２１内の放電空間でありレーザガスで満たされてい
る。２８は出力鏡、２９は終段鏡であり、この出力鏡２
８、終段鏡２９は前記放電空間２７の両端に配置され、
光共振器を構成している。前記出力鏡２８よりレーザビ
ーム３０が出射される（以下レーザ光の挙動はレーザビ
ーム、レーザ光のエネルギ値に関してレーザエネルギと
説明する）。
【０００５】以上のように構成されたレーザ発振装置の
動作について説明する。電源２４は外部から設定された
ピーク出力信号２５（設定５Ｋｗ）、パルス幅信号２６
（設定２５０μｓ）に基づき、ピーク５Ｋｗのエネルギ
を２５０μｓの間、２０ＫＨｚで矩形状エネルギを出力
する。また前記外部からのパルス幅信号はほぼ１００Ｈ
ｚ（１０ｍｓｅｃ）毎に繰り返し印加され、同様な動作
を行う。前記電源出力は電極２２、２３間の放電空間２
７にグロー放電を発生させる。放電空間２７のレーザガ
スは前記グロー放電のエネルギを得て励起され、出力鏡
２８，終段鏡２９により形成された光共振器で共振状態
となり、出力鏡２８を透過してレーザビーム３０が出射
される。
動作について説明する。電源２４は外部から設定された
ピーク出力信号２５（設定５Ｋｗ）、パルス幅信号２６
（設定２５０μｓ）に基づき、ピーク５Ｋｗのエネルギ
を２５０μｓの間、２０ＫＨｚで矩形状エネルギを出力
する。また前記外部からのパルス幅信号はほぼ１００Ｈ
ｚ（１０ｍｓｅｃ）毎に繰り返し印加され、同様な動作
を行う。前記電源出力は電極２２、２３間の放電空間２
７にグロー放電を発生させる。放電空間２７のレーザガ
スは前記グロー放電のエネルギを得て励起され、出力鏡
２８，終段鏡２９により形成された光共振器で共振状態
となり、出力鏡２８を透過してレーザビーム３０が出射
される。
【０００６】放電はエネルギが与えられた時のみ発生す
るが、レーザビームは一般に知られているように、レー
ザガスの遷移時間により２０ＫＨｚの鋸波状の時間波形
となり、最初の電源部のエネルギの数発はレーザガスに
吸収された後（レーザ遅れ時間）、レーザ出力は徐々に
上昇（レーザ立ち上がり時間）し、安定した挙動とな
る。
るが、レーザビームは一般に知られているように、レー
ザガスの遷移時間により２０ＫＨｚの鋸波状の時間波形
となり、最初の電源部のエネルギの数発はレーザガスに
吸収された後（レーザ遅れ時間）、レーザ出力は徐々に
上昇（レーザ立ち上がり時間）し、安定した挙動とな
る。
【０００７】パルス幅信号、電源部出力、レーザビーム
の関係を図９に示す。レーザビーム３０はパルス幅信号
２６により一秒間に約１００発出力され、レーザエネル
ギとして樹脂等に一発、又は複数発照射され穴加工を行
う。
の関係を図９に示す。レーザビーム３０はパルス幅信号
２６により一秒間に約１００発出力され、レーザエネル
ギとして樹脂等に一発、又は複数発照射され穴加工を行
う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】パルスレーザ発振装置
では加工性能から、レーザエネルギの安定性、可変性及
び急峻な立ち上がり挙動、レーザエネルギの微調整が強
く要求されるが、上記構造では、下記の課題があった。
では加工性能から、レーザエネルギの安定性、可変性及
び急峻な立ち上がり挙動、レーザエネルギの微調整が強
く要求されるが、上記構造では、下記の課題があった。
【０００９】（１）図１０に示すように、外部から与え
られるパルス幅信号と電源部の２０ＫＨｚ出力との“Ａ
ＮＤ”（合致幅）が電源部より出力されるため、微妙な
設定時間の場合、時間のズレで矩形状エネルギ一発分の
変化が発生し、レーザエネルギは階段状に変化し、微妙
な時間設定、エネルギ調整ができない。
られるパルス幅信号と電源部の２０ＫＨｚ出力との“Ａ
ＮＤ”（合致幅）が電源部より出力されるため、微妙な
設定時間の場合、時間のズレで矩形状エネルギ一発分の
変化が発生し、レーザエネルギは階段状に変化し、微妙
な時間設定、エネルギ調整ができない。
【００１０】（２）加工対象の材料は多種多様であり、
ガラス、樹脂等融点が異なる物性値を持つ材料が混在、
又は積層される場合があり、前記材料を加工する場合は
それぞれに最適なピーク出力、エネルギを照射する必要
があるが、パルス幅設定信号を１００μｓ以下の時間に
設定し、安定、可変することは困難であった。
ガラス、樹脂等融点が異なる物性値を持つ材料が混在、
又は積層される場合があり、前記材料を加工する場合は
それぞれに最適なピーク出力、エネルギを照射する必要
があるが、パルス幅設定信号を１００μｓ以下の時間に
設定し、安定、可変することは困難であった。
【００１１】（３）図１１に電源出力とレーザビームの
関係を示す。電源部からのエネルギをレーザガスが吸収
し、レーザビームは遅れて出力する。かつ遅れ時間は電
源部からのエネルギ供給の停止時間により変化し、停止
時間が変化すれば、レーザビーム毎にレーザエネルギを
安定させることが困難であった。
関係を示す。電源部からのエネルギをレーザガスが吸収
し、レーザビームは遅れて出力する。かつ遅れ時間は電
源部からのエネルギ供給の停止時間により変化し、停止
時間が変化すれば、レーザビーム毎にレーザエネルギを
安定させることが困難であった。
【００１２】（４）図９に示すように、レーザガスの吸
収があり、電源からエネルギを一定に供給するとレーザ
光は徐々に出力が上昇し安定するまでに時間（レーザ立
ち上がり時）が必要で、急峻な立ち上がりを得るのは困
難であった。
収があり、電源からエネルギを一定に供給するとレーザ
光は徐々に出力が上昇し安定するまでに時間（レーザ立
ち上がり時）が必要で、急峻な立ち上がりを得るのは困
難であった。
【００１３】本発明はかかる問題点を解決するためにな
されたもので、簡易な構成でレーザエネルギの安定性、
エネルギの微調整の可能で、急峻な立ち上がり挙動を有
する各種材料加工に最適なレーザビームを出力するパル
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
されたもので、簡易な構成でレーザエネルギの安定性、
エネルギの微調整の可能で、急峻な立ち上がり挙動を有
する各種材料加工に最適なレーザビームを出力するパル
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、矩形状のエネルギを出力する電源部と、前
記電源部の出力を入力してレーザ光を発生する光共振器
を備え、前記電源部の出力を運転／停止する外部運転信
号と、前記外部運転信号の停止時間を検出し、前記外部
運転信号の停止時間に応じて前記電源部からの出力に対
する前記光共振器におけるレーザ光の発生の遅れ時間を
前記外部運転信号の運転時間に加算する調整部を設けた
ものである。
に本発明は、矩形状のエネルギを出力する電源部と、前
記電源部の出力を入力してレーザ光を発生する光共振器
を備え、前記電源部の出力を運転／停止する外部運転信
号と、前記外部運転信号の停止時間を検出し、前記外部
運転信号の停止時間に応じて前記電源部からの出力に対
する前記光共振器におけるレーザ光の発生の遅れ時間を
前記外部運転信号の運転時間に加算する調整部を設けた
ものである。
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【発明の実施の形態】上記手段によれば、電源部の休止
時間を計測し、運転時間を適切に加算し常に同一のレー
ザビームが出力でき、レーザエネルギの安定化が図れる
という作用を有する。
時間を計測し、運転時間を適切に加算し常に同一のレー
ザビームが出力でき、レーザエネルギの安定化が図れる
という作用を有する。
【００１９】
【００２０】
【００２１】
【００２２】（参考例１） 上記本発明の参考例を図１を参照しながら説明する。な
お従来と同一の箇所には同一の記号を付し説明を省略す
る。
お従来と同一の箇所には同一の記号を付し説明を省略す
る。
【００２３】１は矩形状のエネルギを出力するマイクロ
波電源部、２はユニット設定信号、３は複数のユニット
パターンを記憶させてある制御部、４は前記選定された
ユニットパターンを動作させる外部信号である。
波電源部、２はユニット設定信号、３は複数のユニット
パターンを記憶させてある制御部、４は前記選定された
ユニットパターンを動作させる外部信号である。
【００２４】ユニット設定信号２で制御部３からマイク
ロ波電源部１へ出力したいユニットパターンを指示す
る。外部信号４の印加で、マイクロ波電源１は設定され
たユニットパターンの矩形状の出力を発生する。マイク
ロ波電源部１から出力される矩形状のエネルギ数はユニ
ットパターンにより定まり、従来のような設定時間によ
る１発のエネルギ変化が無いため、外部信号４を高速で
繰り返し印加してもレーザエネルギは安定する。また図
２にマイクロ波電源部１の出力波形、レーザビームを示
す、矩形エネルギのそれぞれのピーク値をあらかじめ設
定できるため各種材料に最適なレーザエネルギを設定で
き、かつ外部信号４で高速の繰り返しを実施させること
が可能となる。
ロ波電源部１へ出力したいユニットパターンを指示す
る。外部信号４の印加で、マイクロ波電源１は設定され
たユニットパターンの矩形状の出力を発生する。マイク
ロ波電源部１から出力される矩形状のエネルギ数はユニ
ットパターンにより定まり、従来のような設定時間によ
る１発のエネルギ変化が無いため、外部信号４を高速で
繰り返し印加してもレーザエネルギは安定する。また図
２にマイクロ波電源部１の出力波形、レーザビームを示
す、矩形エネルギのそれぞれのピーク値をあらかじめ設
定できるため各種材料に最適なレーザエネルギを設定で
き、かつ外部信号４で高速の繰り返しを実施させること
が可能となる。
【００２５】（実施の形態） 次に本発明の実施の形態を図３を参照しながら説明す
る。
る。
【００２６】５は矩形状のエネルギを出力するマイクロ
波電源部、６は前記マイクロ波電源部を運転／停止させ
る外部運転信号、７は前記外部運転信号を受け運転停止
時間に応じて運転時間を増加させる信号を発生する調整
部である。
波電源部、６は前記マイクロ波電源部を運転／停止させ
る外部運転信号、７は前記外部運転信号を受け運転停止
時間に応じて運転時間を増加させる信号を発生する調整
部である。
【００２７】外部信号６は調整部７を経由してマイクロ
波電源５に矩形状のエネルギ出力を指示する。調整部７
は外部信号７の停止時間が大きくなると図１０に示すレ
ーザ遅れに相当する時間値を外部信号７に加算した信号
をマイクロ波電源部５に出力する。その結果停止時間に
関わりなくレーザエネルギは同一の値を得ることが可能
となる。
波電源５に矩形状のエネルギ出力を指示する。調整部７
は外部信号７の停止時間が大きくなると図１０に示すレ
ーザ遅れに相当する時間値を外部信号７に加算した信号
をマイクロ波電源部５に出力する。その結果停止時間に
関わりなくレーザエネルギは同一の値を得ることが可能
となる。
【００２８】（参考例２） 次に本発明の参考例２を図４を参照しながら説明する。
【００２９】８はピーク値設定信号２５の先頭の数発分
の設定信号を最低値にするクランプ部である。ピーク設
定信号２５はクランプ部８を経由し、パルス幅信号２６
は直接マイクロ波電源部５に出力を指示する。マイクロ
波電源５は最初の数発は放電できる最小のエネルギを出
力し、以降外部設定に基づくエネルギを出力する。
の設定信号を最低値にするクランプ部である。ピーク設
定信号２５はクランプ部８を経由し、パルス幅信号２６
は直接マイクロ波電源部５に出力を指示する。マイクロ
波電源５は最初の数発は放電できる最小のエネルギを出
力し、以降外部設定に基づくエネルギを出力する。
【００３０】図５にマイクロ波電源の出力とレーザビー
ム出力挙動を示す。マイクロ波電源５より、レーザガス
の吸収分に必要な最低限エネルギを最初に供給し、以降
にレーザ発生に必要なエネルギを供給するためレーザガ
スの吸収分の遅れ無しに急峻なレーザビーム挙動が得る
ことが可能となる。
ム出力挙動を示す。マイクロ波電源５より、レーザガス
の吸収分に必要な最低限エネルギを最初に供給し、以降
にレーザ発生に必要なエネルギを供給するためレーザガ
スの吸収分の遅れ無しに急峻なレーザビーム挙動が得る
ことが可能となる。
【００３１】（参考例３） 次に本発明の参考例３を図６を参照しながら説明する。
【００３２】９はレーザエネルギを微調設定するエネル
ギ微調設定信号、１０は前記微調設定信号９を受けピー
ク値設定信号の最後を低減する微調部である。
ギ微調設定信号、１０は前記微調設定信号９を受けピー
ク値設定信号の最後を低減する微調部である。
【００３３】図１１に示すように電源部出力が矩形状の
ため、レーザエネルギ値は離散的に変化するが、図７に
示すようにマイクロ波電源５の最後の矩形エネルギ値を
変化させることでレーザエネルギのピーク値は一定のま
ま、レーザエネルギ値（合計エネルギ値）を連続的に可
変することが可能となる。
ため、レーザエネルギ値は離散的に変化するが、図７に
示すようにマイクロ波電源５の最後の矩形エネルギ値を
変化させることでレーザエネルギのピーク値は一定のま
ま、レーザエネルギ値（合計エネルギ値）を連続的に可
変することが可能となる。
【００３４】上記各実施の形態では電源としては２０Ｋ
Ｈｚで出力するマイクロ波電源を使用した。マイクロ波
は周波数が高く、放電が集中しやすいことが知られてい
るが、エネルギを矩形状に注入すれば放電集中が発生し
にくく、非常な効果が得られるが、他方式の電源でも同
一の効果がある。
Ｈｚで出力するマイクロ波電源を使用した。マイクロ波
は周波数が高く、放電が集中しやすいことが知られてい
るが、エネルギを矩形状に注入すれば放電集中が発生し
にくく、非常な効果が得られるが、他方式の電源でも同
一の効果がある。
【００３５】また、２０ＫＨｚの周波数で説明を行った
が、１００ＫＨｚまで効果を確認した。周波数を高める
にはコストが必要であるが、周波数をより高めればエネ
ルギ可変性、安定性で更に効果が得られる。
が、１００ＫＨｚまで効果を確認した。周波数を高める
にはコストが必要であるが、周波数をより高めればエネ
ルギ可変性、安定性で更に効果が得られる。
【００３６】
【発明の効果】以上のように本発明のパルスレーザ発振
装置は、停止時間に応じて運転時間を増加させることで
良好な穴加工の可能なレーザエネルギを得ることができ
るという優れた効果を奏するものである。
装置は、停止時間に応じて運転時間を増加させることで
良好な穴加工の可能なレーザエネルギを得ることができ
るという優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明の参考例１におけるパルスレーザ発振装
置の概略構成図
置の概略構成図
【図２】本発明の参考例１における電源部出力パターン
図
図
【図３】本発明の実施の形態におけるパルスレーザ発振
装置の概略構成図
装置の概略構成図
【図４】本発明の参考例２におけるパルスレーザ発振装
置の概略構成図
置の概略構成図
【図５】本発明の参考例２における電源部、レーザビー
ム関連図
ム関連図
【図６】本発明の参考例３におけるパルスレーザ発振装
置の概略構成図
置の概略構成図
【図７】本発明の参考例３における電源部、レーザビー
ム関連図
ム関連図
【図８】従来のパルスレーザ発振装置の概略構成図
【図９】従来のパルスレーザ発振装置のパルス幅信号、
電源部、レーザビームの相関図
電源部、レーザビームの相関図
【図１０】従来のパルスレーザ発振装置の電源部、レー
ザビーム挙動図
ザビーム挙動図
【図１１】従来のパルスレーザ発振装置のレーザビーム
出力挙動図
出力挙動図
２ ユニット設定信号 ３ 制御部 ４ 外部信号 ６ 外部運転信号 ７ 調整部 ８ クランプ部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保 昌彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 杉山 勤 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−208582（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−37376（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−206548（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−126691（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−187583（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−95686（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−117384（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−7883（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−252013（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/00 - 3/30
Claims (1)
- 【請求項１】 矩形状のエネルギを出力する電源部と、
前記電源部の出力を入力してレーザ光を発生する光共振
器を備え、前記電源部の出力を運転／停止する外部運転
信号と、前記外部運転信号の停止時間を検出し、前記外
部運転信号の停止時間に応じて前記電源部からの出力に
対する前記光共振器におけるレーザ光の発生の遅れ時間
を前記外部運転信号の運転時間に加算する調整部を設け
たパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03698698A JP3317232B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03698698A JP3317232B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11238934A JPH11238934A (ja) | 1999-08-31 |
| JP3317232B2 true JP3317232B2 (ja) | 2002-08-26 |
Family
ID=12485084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03698698A Expired - Fee Related JP3317232B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3317232B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5371838B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2013-12-18 | 株式会社フジクラ | ファイバレーザ装置 |
-
1998
- 1998-02-19 JP JP03698698A patent/JP3317232B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11238934A (ja) | 1999-08-31 |
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Legal Events
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