JPH09145678A - 微小欠陥検出装置 - Google Patents
微小欠陥検出装置Info
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- JPH09145678A JPH09145678A JP30006495A JP30006495A JPH09145678A JP H09145678 A JPH09145678 A JP H09145678A JP 30006495 A JP30006495 A JP 30006495A JP 30006495 A JP30006495 A JP 30006495A JP H09145678 A JPH09145678 A JP H09145678A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リフトオフをあまり小さくすることなく、被
検査体の微小欠陥から生じる微弱で局所的な漏洩磁束
を、高いＳ／Ｎ比で効率よく検出可能とする。 【解決手段】 非磁性ロール８内に電磁石を有する磁化
器７を配置し、非磁性ロール８を介して、その上を走行
する被検査体３を走行方向に磁化する。非磁性ロール８
の上方に、前述のＥ型磁気センサ１を設置する。被検査
体３が走行し、その内部に微小介在物が存在すると、そ
こから微小な漏洩磁束が局部的に発生する。この漏洩磁
束が、Ｅ型磁気センサ１の直下を通過すると、これに対
応した電気信号がＥ型磁気センサ１から出力される。Ｅ
型磁気センサ１からの出力を、増幅器９により電気的に
増幅し、フィルタ１０を介してノイズを抑制してＳ／Ｎ
を改善し、これを整流器１１により整流した後、判定回
路１２で欠陥を判定してその結果を出力する。
検査体の微小欠陥から生じる微弱で局所的な漏洩磁束
を、高いＳ／Ｎ比で効率よく検出可能とする。 【解決手段】 非磁性ロール８内に電磁石を有する磁化
器７を配置し、非磁性ロール８を介して、その上を走行
する被検査体３を走行方向に磁化する。非磁性ロール８
の上方に、前述のＥ型磁気センサ１を設置する。被検査
体３が走行し、その内部に微小介在物が存在すると、そ
こから微小な漏洩磁束が局部的に発生する。この漏洩磁
束が、Ｅ型磁気センサ１の直下を通過すると、これに対
応した電気信号がＥ型磁気センサ１から出力される。Ｅ
型磁気センサ１からの出力を、増幅器９により電気的に
増幅し、フィルタ１０を介してノイズを抑制してＳ／Ｎ
を改善し、これを整流器１１により整流した後、判定回
路１２で欠陥を判定してその結果を出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄鋼帯のような被
検出体中に混入する微小介在物のような微小欠陥を、漏
洩磁束法により検出する微小欠陥検出装置に関し、特に
高感度な磁気センサを使用した微小欠陥検出装置に関す
る。
検出体中に混入する微小介在物のような微小欠陥を、漏
洩磁束法により検出する微小欠陥検出装置に関し、特に
高感度な磁気センサを使用した微小欠陥検出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】鋼帯のような磁性体中の欠陥を検出する
方法として、漏洩磁束法が広く使用されている。図１４
にその原理図を示す。図１４において、２１は磁気セン
サ、２２は磁化器、２３は鋼帯等の被検査体、２４は欠
陥、２５は磁束を示す。磁化器２２により被検査体２２
を磁化する。磁化器２２により発生する磁束の大部分は
磁気抵抗の少ない被検査体２３の中を通過するが、被検
査体中２３中に欠陥２４が存在すると、その欠陥２４に
より磁束の通過が妨げられ、一部の磁束が空中に漏洩す
る。この漏洩した磁束を、磁気センサ２１で検出するこ
とにより欠陥２４の存在を検出する。
方法として、漏洩磁束法が広く使用されている。図１４
にその原理図を示す。図１４において、２１は磁気セン
サ、２２は磁化器、２３は鋼帯等の被検査体、２４は欠
陥、２５は磁束を示す。磁化器２２により被検査体２２
を磁化する。磁化器２２により発生する磁束の大部分は
磁気抵抗の少ない被検査体２３の中を通過するが、被検
査体中２３中に欠陥２４が存在すると、その欠陥２４に
より磁束の通過が妨げられ、一部の磁束が空中に漏洩す
る。この漏洩した磁束を、磁気センサ２１で検出するこ
とにより欠陥２４の存在を検出する。
【０００３】磁気センサ２１としては、ホール素子、磁
気抵抗素子、磁気半導体素子等が使用される他、特開昭
５９ー１６０７５０号公報に開示されているような、円
筒鉄心にコイルを巻いた磁気探傷コイル、特開平２ー１
６２２７６号公報に開示されているような、強磁性体コ
アにコイルを巻き、これに交流電流を供給し、このコイ
ルの両端に発生する電圧の正側電圧と負側電圧との差を
検出するものが使用されている。
気抵抗素子、磁気半導体素子等が使用される他、特開昭
５９ー１６０７５０号公報に開示されているような、円
筒鉄心にコイルを巻いた磁気探傷コイル、特開平２ー１
６２２７６号公報に開示されているような、強磁性体コ
アにコイルを巻き、これに交流電流を供給し、このコイ
ルの両端に発生する電圧の正側電圧と負側電圧との差を
検出するものが使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来要求されていた検
出すべき薄鋼帯中の欠陥は、ガウジと呼ばれるような比
較的大きな欠陥が対象であった。近年、産業分野におけ
る薄鋼帯の適用範囲拡大に伴い、より微小な内部介在物
を検出することが必要となり、例えば、１０-3（mm3 ）
以下の体積の微小な内部介在物が検出対象となってき
た。このような微小欠陥を検出するためには、従来技術
には以下のような問題点がある。
出すべき薄鋼帯中の欠陥は、ガウジと呼ばれるような比
較的大きな欠陥が対象であった。近年、産業分野におけ
る薄鋼帯の適用範囲拡大に伴い、より微小な内部介在物
を検出することが必要となり、例えば、１０-3（mm3 ）
以下の体積の微小な内部介在物が検出対象となってき
た。このような微小欠陥を検出するためには、従来技術
には以下のような問題点がある。
【０００５】(1) いずれの従来技術においても、微小な
欠陥を検出するためには、鋼帯と磁気センサとの距離
（リフトオフ）を小さくする必要がある。この対策とし
て、実開昭６１ー１１９７５９号公報に開示されている
ように、磁気センサをエアフロートさせることによりリ
フトオフを0.1 （mm）程度の微小値に保つ方法が用いら
れている。しかしながら、この方法には、磁気センサと
鋼帯との接触事故が増加するなどの操業上の問題があ
る。
欠陥を検出するためには、鋼帯と磁気センサとの距離
（リフトオフ）を小さくする必要がある。この対策とし
て、実開昭６１ー１１９７５９号公報に開示されている
ように、磁気センサをエアフロートさせることによりリ
フトオフを0.1 （mm）程度の微小値に保つ方法が用いら
れている。しかしながら、この方法には、磁気センサと
鋼帯との接触事故が増加するなどの操業上の問題があ
る。
【０００６】(2) 微小欠陥検出のためにリフトオフを低
下させると、鋼帯の振動などの外乱の影響を受けやすく
なり、また鋼帯の磁気的なむらから生ずる地合ノイズを
拾い易くなるので、十分なＳ／Ｎを得ることが困難であ
る。
下させると、鋼帯の振動などの外乱の影響を受けやすく
なり、また鋼帯の磁気的なむらから生ずる地合ノイズを
拾い易くなるので、十分なＳ／Ｎを得ることが困難であ
る。
【０００７】(3) 欠陥検出信号の周波数成分と地合ノイ
ズの周波数成分とが重なり合う部分が多く、フィルタな
どによるＳ／Ｎ向上が十分に行えない。
ズの周波数成分とが重なり合う部分が多く、フィルタな
どによるＳ／Ｎ向上が十分に行えない。
【０００８】(4) より微小な欠陥検出のためには、鋼帯
をより強く磁化させ、欠陥による漏洩磁束が効率的に発
生するようにする必要がある。しかし、鋼帯近傍に生ず
る浮遊磁束（磁化器の磁極から他の磁極へ空中を通じて
達する磁束）も増加し、磁気センサを飽和させることが
あり、検出感度の低下を引き起こす。
をより強く磁化させ、欠陥による漏洩磁束が効率的に発
生するようにする必要がある。しかし、鋼帯近傍に生ず
る浮遊磁束（磁化器の磁極から他の磁極へ空中を通じて
達する磁束）も増加し、磁気センサを飽和させることが
あり、検出感度の低下を引き起こす。
【０００９】本発明は、これらの問題点を解決するため
になされたもので、リフトオフをあまり小さくすること
なく、被検査体の微小欠陥から生じる微弱で局所的な漏
洩磁束を、高いＳ／Ｎ比で効率よく検出可能な微小欠陥
検出装置を提供することを目的とする。
になされたもので、リフトオフをあまり小さくすること
なく、被検査体の微小欠陥から生じる微弱で局所的な漏
洩磁束を、高いＳ／Ｎ比で効率よく検出可能な微小欠陥
検出装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題は、被検査体を
磁化するための磁化器と、被検査体の欠陥から発生する
漏洩磁束を検出するための磁気センサとを有してなる欠
陥検出装置において、磁気センサとして、強磁性体で作
られたＥ型コアの中央磁極にサーチコイルが設けられた
Ｅ型磁気センサを使用し、このＥ型コアの３個の磁極の
列が被検査体の走行方向に沿うように配置することによ
り解決される。
磁化するための磁化器と、被検査体の欠陥から発生する
漏洩磁束を検出するための磁気センサとを有してなる欠
陥検出装置において、磁気センサとして、強磁性体で作
られたＥ型コアの中央磁極にサーチコイルが設けられた
Ｅ型磁気センサを使用し、このＥ型コアの３個の磁極の
列が被検査体の走行方向に沿うように配置することによ
り解決される。
【００１１】図１にＥ型磁気センサを使用した本発明の
原理図を示す。図１において、１は強磁性体で作られた
Ｅ型コアからなるＥ型磁気センサ、１ａ〜１ｃはその磁
極、２はサーチコイル、３は被検査体、４は欠陥、５は
磁束を示す。Ｅ型磁気センサ１は、図１に示すように３
個の磁極１ａ〜１ｃの列が被検査体の走行方向に沿うよ
うに配置されている。欠陥４が図１(a) で示す位置にあ
るとき、漏洩磁束は磁極１ａから磁極１ｃを通過し、サ
ーチコイル２を下向きに通過する。被検査体３が走行し
て欠陥４が図１(b) で示す位置に来ると、漏洩磁束は磁
極１ｃから磁極１ｂを通過し、サーチコイル２を上向き
に通過する。よって、欠陥４の通過に伴ってサーチコイ
ル２を通過する磁束が変化し、サーチコイル２には磁束
の変化量に比例した電圧が発生する。
原理図を示す。図１において、１は強磁性体で作られた
Ｅ型コアからなるＥ型磁気センサ、１ａ〜１ｃはその磁
極、２はサーチコイル、３は被検査体、４は欠陥、５は
磁束を示す。Ｅ型磁気センサ１は、図１に示すように３
個の磁極１ａ〜１ｃの列が被検査体の走行方向に沿うよ
うに配置されている。欠陥４が図１(a) で示す位置にあ
るとき、漏洩磁束は磁極１ａから磁極１ｃを通過し、サ
ーチコイル２を下向きに通過する。被検査体３が走行し
て欠陥４が図１(b) で示す位置に来ると、漏洩磁束は磁
極１ｃから磁極１ｂを通過し、サーチコイル２を上向き
に通過する。よって、欠陥４の通過に伴ってサーチコイ
ル２を通過する磁束が変化し、サーチコイル２には磁束
の変化量に比例した電圧が発生する。
【００１２】図２(a) は、欠陥４がＥ型磁気センサ１の
下を通過するときのサーチコイル２を通る磁束Φの変化
を、図２(b) はそのときにサーチコイル２に発生する電
圧Ｅを示す。この電圧を検出することにより、欠陥の存
在を検出することができる。
下を通過するときのサーチコイル２を通る磁束Φの変化
を、図２(b) はそのときにサーチコイル２に発生する電
圧Ｅを示す。この電圧を検出することにより、欠陥の存
在を検出することができる。
【００１３】Ｅ型磁気センサを使用した本発明において
は、鋼帯近傍の浮遊磁束、Ｅ型磁気センサの外側から到
来する地合ノイズなどは、磁極１ａから磁極１ｂへ直接
通過するので、サーチコイル２への影響はなく、ノイズ
を低減できる。また、鋼帯の振動、センサの振動に起因
する磁場変化も、磁極１ａと磁極１ｃで構成される磁気
回路と磁極１ｂと磁極１ｃで構成される磁気回路とで打
ち消され、サーチコイル２の信号内にノイズとして混入
することを防ぐことができる。
は、鋼帯近傍の浮遊磁束、Ｅ型磁気センサの外側から到
来する地合ノイズなどは、磁極１ａから磁極１ｂへ直接
通過するので、サーチコイル２への影響はなく、ノイズ
を低減できる。また、鋼帯の振動、センサの振動に起因
する磁場変化も、磁極１ａと磁極１ｃで構成される磁気
回路と磁極１ｂと磁極１ｃで構成される磁気回路とで打
ち消され、サーチコイル２の信号内にノイズとして混入
することを防ぐことができる。
【００１４】よって、リフトオフをそれほど小さくしな
くても、欠陥をＳ／Ｎよく検出することができ、浮遊磁
束により磁気センサ出力が飽和することもない。また、
欠陥信号の周波数成分が地合ノイズの周波数成分に対し
て相対的に高周波になるので、信号とノイズとの分離が
し易くなる。
くても、欠陥をＳ／Ｎよく検出することができ、浮遊磁
束により磁気センサ出力が飽和することもない。また、
欠陥信号の周波数成分が地合ノイズの周波数成分に対し
て相対的に高周波になるので、信号とノイズとの分離が
し易くなる。
【００１５】図３にＥ型磁気センサの外観図を示す。以
下の図においては、図１と同じ部位には同じ符号を付し
てその説明を省略する。Ｅ型磁気センサ１は、左右が対
称の形状をしており、各磁極の厚さは同一である。その
磁極間の間隔をＡとし、各磁極の厚さをＢとし、Ｅ型コ
アの幅をＷとする。また、被検査体３とＥ型磁気センサ
１の間の間隔即ちリフトオフをＬとする。
下の図においては、図１と同じ部位には同じ符号を付し
てその説明を省略する。Ｅ型磁気センサ１は、左右が対
称の形状をしており、各磁極の厚さは同一である。その
磁極間の間隔をＡとし、各磁極の厚さをＢとし、Ｅ型コ
アの幅をＷとする。また、被検査体３とＥ型磁気センサ
１の間の間隔即ちリフトオフをＬとする。
【００１６】図４(a) は、鋼板中に存在する１０-3（mm
3 ）程度の欠陥の検出信号と地合ノイズに及ぼす（Ａ＋
Ｂ）／Ｌの影響を示したものである。地合ノイズは（Ａ
＋Ｂ）／Ｌの増加と共に徐々に増加する。これは、（Ａ
＋Ｂ）／Ｌが増加するとＥ型磁気センサの検出面積が広
くなるので、地合ノイズを拾い易くなるためであると考
えられる。
3 ）程度の欠陥の検出信号と地合ノイズに及ぼす（Ａ＋
Ｂ）／Ｌの影響を示したものである。地合ノイズは（Ａ
＋Ｂ）／Ｌの増加と共に徐々に増加する。これは、（Ａ
＋Ｂ）／Ｌが増加するとＥ型磁気センサの検出面積が広
くなるので、地合ノイズを拾い易くなるためであると考
えられる。
【００１７】一方、検出信号は（Ａ＋Ｂ）／Ｌが４にな
るまでに急激に増加し、その後は徐々に低下する傾向に
ある。これは、（Ａ＋Ｂ）／Ｌが小さすぎると、鋼帯の
欠陥部からの局所的な漏洩磁束が、磁極１ａと磁極１ｃ
で構成される磁気回路と磁極１ｂと磁極１ｃで構成され
る磁気回路の両方の磁気回路に入力され部分的に打ち消
されるため、サーチコイルの検出信号の出力電圧が小さ
くなって検出効率が低下し、一方、（Ａ＋Ｂ）／Ｌが大
きすぎると、鋼帯の欠陥部がＥ型センサ直下を走行する
ときの、サーチコイル内の磁束変化が減少するためであ
ると考えられる。
るまでに急激に増加し、その後は徐々に低下する傾向に
ある。これは、（Ａ＋Ｂ）／Ｌが小さすぎると、鋼帯の
欠陥部からの局所的な漏洩磁束が、磁極１ａと磁極１ｃ
で構成される磁気回路と磁極１ｂと磁極１ｃで構成され
る磁気回路の両方の磁気回路に入力され部分的に打ち消
されるため、サーチコイルの検出信号の出力電圧が小さ
くなって検出効率が低下し、一方、（Ａ＋Ｂ）／Ｌが大
きすぎると、鋼帯の欠陥部がＥ型センサ直下を走行する
ときの、サーチコイル内の磁束変化が減少するためであ
ると考えられる。
【００１８】これらの結果、図４（ｂ）に示したよう
に、（Ａ＋Ｂ）／Ｌを変化させたとき、Ｓ／Ｎが最大と
なる最適な範囲が存在する。実用的には、Ｓ／Ｎの最大
値から約２０％低下した条件内で使用することが効率的
である。よって、Ｅ型磁気センサの寸法は、 １＜（Ａ＋Ｂ）／Ｌ＜４ …… (1) を満足するように選ぶことが好ましい。
に、（Ａ＋Ｂ）／Ｌを変化させたとき、Ｓ／Ｎが最大と
なる最適な範囲が存在する。実用的には、Ｓ／Ｎの最大
値から約２０％低下した条件内で使用することが効率的
である。よって、Ｅ型磁気センサの寸法は、 １＜（Ａ＋Ｂ）／Ｌ＜４ …… (1) を満足するように選ぶことが好ましい。
【００１９】（Ａ＋Ｂ）を一定とし、磁極厚さＢと磁極
間隔Ａとの比Ｂ／Ａを変化させたときの、Ｅ型磁気セン
サの出力電圧の変化を図５に示す。Ｂ／Ａを変化させて
も出力電圧は、ほとんど変化しない。実用的には、磁極
厚さが薄すぎると、加工しにくく、磁気的に飽和しやす
くなるなどの問題があり、磁極厚さが厚すぎて磁極間隔
が狭すぎるとサーチコイルが巻きにくくなるなどの問題
があるので、一般的にはＡとＢの比率は製作しやすい範
囲に取られる。
間隔Ａとの比Ｂ／Ａを変化させたときの、Ｅ型磁気セン
サの出力電圧の変化を図５に示す。Ｂ／Ａを変化させて
も出力電圧は、ほとんど変化しない。実用的には、磁極
厚さが薄すぎると、加工しにくく、磁気的に飽和しやす
くなるなどの問題があり、磁極厚さが厚すぎて磁極間隔
が狭すぎるとサーチコイルが巻きにくくなるなどの問題
があるので、一般的にはＡとＢの比率は製作しやすい範
囲に取られる。
【００２０】図６（ａ）は、鋼板中に存在する１０
-3（mm3 ）程度の欠陥の検出信号、地合ノイズとＷ／Ｌ
の関係を示した図である。Ｅ型磁気センサ幅Ｗが小さす
ぎると、サーチコイルの断面積が減り、検出電圧が減少
し、検出効率が低下する。センサ幅Ｗが大きくなり、あ
る程度の大きさに達すると、微小欠陥部からの局部的な
漏洩磁束分布をほぼ覆うようになり、もうそれ以上Ｗを
大きくしても、出力電圧は大きくならない。一方、Ｗが
大きくなると、Ｅ型磁気センサ直下の検出範囲が大きく
なり、ノイズを拾い易くなって地合ノイズは大きくな
る。従って、図６（ｂ）に示すように、Ｗ／Ｌを変化さ
せたときに、Ｓ／Ｎ比が最大となる最適な範囲が存在す
る。実用的には、Ｓ／Ｎ比が最大値から２０％低下する
までの範囲で使用することが効率的であるので、図６
（ｂ）から、 １＜Ｗ／Ｌ＜１０ …… (2) とすることが好ましい。
-3（mm3 ）程度の欠陥の検出信号、地合ノイズとＷ／Ｌ
の関係を示した図である。Ｅ型磁気センサ幅Ｗが小さす
ぎると、サーチコイルの断面積が減り、検出電圧が減少
し、検出効率が低下する。センサ幅Ｗが大きくなり、あ
る程度の大きさに達すると、微小欠陥部からの局部的な
漏洩磁束分布をほぼ覆うようになり、もうそれ以上Ｗを
大きくしても、出力電圧は大きくならない。一方、Ｗが
大きくなると、Ｅ型磁気センサ直下の検出範囲が大きく
なり、ノイズを拾い易くなって地合ノイズは大きくな
る。従って、図６（ｂ）に示すように、Ｗ／Ｌを変化さ
せたときに、Ｓ／Ｎ比が最大となる最適な範囲が存在す
る。実用的には、Ｓ／Ｎ比が最大値から２０％低下する
までの範囲で使用することが効率的であるので、図６
（ｂ）から、 １＜Ｗ／Ｌ＜１０ …… (2) とすることが好ましい。
【００２１】また、磁化器からの強い浮遊磁場が大きく
なると、磁束が通りやすい形状をしたＥ型磁気センサの
コア（特に磁極１ａと１ｂ）が磁気的に飽和するおそれ
がある。これを防ぎ、更に、外部からの磁気的ノイズを
遮断するため、図７に示すように、このＥ型磁気センサ
１の外側に強磁性体のシールド板６を配置することが好
ましい。
なると、磁束が通りやすい形状をしたＥ型磁気センサの
コア（特に磁極１ａと１ｂ）が磁気的に飽和するおそれ
がある。これを防ぎ、更に、外部からの磁気的ノイズを
遮断するため、図７に示すように、このＥ型磁気センサ
１の外側に強磁性体のシールド板６を配置することが好
ましい。
【００２２】センサを小型化するためには、なるべくシ
ールド板とＥ型コアとの間隙を小さくすることが望まし
いが、あまり両者を近づけすぎると、シールド板に吸収
された浮遊磁場がＥ型コアへ流入し、悪影響を与えてし
まう。そのため、磁気シールド板とＥ型コアの間に必要
最小限の磁気抵抗部分を構成することが有効である。磁
性体の比透磁率は通常１００〜１０００で、空気の比透
磁率は１であるから、磁気シールド中の磁気抵抗の約１
０倍の磁気抵抗を間隙に作ればよい。そのためには、磁
気シールドとＥ型コアとの間隙Ｇｓは、磁気シールド板
の厚さＳの約１／１０以上とすることが必要であり、 Ｓ／１０＜Ｇｓ …… (3) とすることが好ましい。
ールド板とＥ型コアとの間隙を小さくすることが望まし
いが、あまり両者を近づけすぎると、シールド板に吸収
された浮遊磁場がＥ型コアへ流入し、悪影響を与えてし
まう。そのため、磁気シールド板とＥ型コアの間に必要
最小限の磁気抵抗部分を構成することが有効である。磁
性体の比透磁率は通常１００〜１０００で、空気の比透
磁率は１であるから、磁気シールド中の磁気抵抗の約１
０倍の磁気抵抗を間隙に作ればよい。そのためには、磁
気シールドとＥ型コアとの間隙Ｇｓは、磁気シールド板
の厚さＳの約１／１０以上とすることが必要であり、 Ｓ／１０＜Ｇｓ …… (3) とすることが好ましい。
【００２３】１０-3（mm3 ）程度の欠陥に対するＥ型磁
気センサの幅方向の感度は、図８(a) に示すような特性
をしている。図８(a) のように、幅方向の感度が、最大
値の８０％、４０％となる幅をそれぞれＷ80、Ｗ40とす
ると、センサ幅ＷとリフトオフＬの比Ｗ／Ｌに対して、
図８(b) のような特性を示す。
気センサの幅方向の感度は、図８(a) に示すような特性
をしている。図８(a) のように、幅方向の感度が、最大
値の８０％、４０％となる幅をそれぞれＷ80、Ｗ40とす
ると、センサ幅ＷとリフトオフＬの比Ｗ／Ｌに対して、
図８(b) のような特性を示す。
【００２４】図９(a) のように、Ｅ型磁気センサを一列
に並べ、隣り合うＥ型磁気センサの出力を加算して鋼帯
幅方向の探傷をカバーすれば、互いに補償し合うので、
鋼帯幅方向に一定範囲内で一様な感度分布が得られる。
実用的な観点から、Ｅ型磁気センサの数をできるだけ減
らし、鋼帯幅方向の感度分布の落ち込みを２０％まで許
容するとすれば、ひとつのＥ型磁気センサの感度は４０
％まで低下させて使用できる。よって、図８(b) から、
センサとセンサのピッチＰ1 について、 Ｐ1 ＜1.6 Ｗ …… (4) を満足させることが好ましい。
に並べ、隣り合うＥ型磁気センサの出力を加算して鋼帯
幅方向の探傷をカバーすれば、互いに補償し合うので、
鋼帯幅方向に一定範囲内で一様な感度分布が得られる。
実用的な観点から、Ｅ型磁気センサの数をできるだけ減
らし、鋼帯幅方向の感度分布の落ち込みを２０％まで許
容するとすれば、ひとつのＥ型磁気センサの感度は４０
％まで低下させて使用できる。よって、図８(b) から、
センサとセンサのピッチＰ1 について、 Ｐ1 ＜1.6 Ｗ …… (4) を満足させることが好ましい。
【００２５】ここで、隣り合うセンサ同士を加算する
と、センサのカバー範囲は拡大されるものの、ノイズ成
分も加算され、ノイズの振幅は√２倍に増大し、Ｓ／Ｎ
が悪化する。Ｓ／Ｎの劣化を避ける必要がある場合に
は、２つのセンサの出力を逐次比較し大きい方の信号を
使用する演算、すなわちＯＲ演算を行えばよい。しか
し、この場合には、信号の大きさは加算されないので、
センサとセンサの間の感度の落ち込みは改善されない。
そこで、センサとセンサの間隔を詰めて、感度が低下す
る範囲を狭める必要がある。この場合、感度の落ち込み
を最大２０％以内とするためには、図８(b) から、セン
サとセンサとのピッチを、0.9 Ｗ／Ｌにする必要があ
る。これを実現するためには、図９(b) に示すようにセ
ンサとセンサが幅方向に重なるように千鳥配置し、セン
サとセンサのピッチＰ2 について、 Ｐ2 ＜0.9 Ｗ …… (5) とすることが好ましい。
と、センサのカバー範囲は拡大されるものの、ノイズ成
分も加算され、ノイズの振幅は√２倍に増大し、Ｓ／Ｎ
が悪化する。Ｓ／Ｎの劣化を避ける必要がある場合に
は、２つのセンサの出力を逐次比較し大きい方の信号を
使用する演算、すなわちＯＲ演算を行えばよい。しか
し、この場合には、信号の大きさは加算されないので、
センサとセンサの間の感度の落ち込みは改善されない。
そこで、センサとセンサの間隔を詰めて、感度が低下す
る範囲を狭める必要がある。この場合、感度の落ち込み
を最大２０％以内とするためには、図８(b) から、セン
サとセンサとのピッチを、0.9 Ｗ／Ｌにする必要があ
る。これを実現するためには、図９(b) に示すようにセ
ンサとセンサが幅方向に重なるように千鳥配置し、セン
サとセンサのピッチＰ2 について、 Ｐ2 ＜0.9 Ｗ …… (5) とすることが好ましい。
【００２６】すなわち、Ｓ／Ｎの若干の低下が許容され
る場合には、センサを一列アレー状に配置し、隣り合う
センサ出力の加算を行うことが好ましい。一方、できる
だけＳ／Ｎを劣化させずに検出を行うためには、センサ
を千鳥状に配置し、幅方向に重なり合うセンサ出力のＯ
Ｒ演算を実施することが好ましい。
る場合には、センサを一列アレー状に配置し、隣り合う
センサ出力の加算を行うことが好ましい。一方、できる
だけＳ／Ｎを劣化させずに検出を行うためには、センサ
を千鳥状に配置し、幅方向に重なり合うセンサ出力のＯ
Ｒ演算を実施することが好ましい。
【００２７】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。図１０
は、本発明の一実施例の構成を示す図である。図１０に
おいて、７は磁化器、８は非磁性ロール、９は増幅器、
１０はフィルタ、１１は整流器、１２は判定回路であ
る。非磁性ロール８内に電磁石を有する磁化器７を配置
し、非磁性ロール８を介して、その上を走行する被検査
体（薄鋼帯）３を走行方向に磁化する。非磁性ロール８
の上方に、前述のＥ型磁気センサ１を設置する。被検査
体３が走行し、その内部に微小介在物が存在すると、そ
こから微小な漏洩磁束が局部的に発生する。この漏洩磁
束が、Ｅ型磁気センサ１の直下を通過すると、これに対
応した電気信号がＥ型磁気センサ１から出力される。Ｅ
型磁気センサ１からの出力を、増幅器９により電気的に
増幅し、フィルタ１０を介してノイズを抑制してＳ／Ｎ
比を改善し、これを整流器１１により整流した後、判定
回路１２で欠陥を判定してその結果を出力する。
は、本発明の一実施例の構成を示す図である。図１０に
おいて、７は磁化器、８は非磁性ロール、９は増幅器、
１０はフィルタ、１１は整流器、１２は判定回路であ
る。非磁性ロール８内に電磁石を有する磁化器７を配置
し、非磁性ロール８を介して、その上を走行する被検査
体（薄鋼帯）３を走行方向に磁化する。非磁性ロール８
の上方に、前述のＥ型磁気センサ１を設置する。被検査
体３が走行し、その内部に微小介在物が存在すると、そ
こから微小な漏洩磁束が局部的に発生する。この漏洩磁
束が、Ｅ型磁気センサ１の直下を通過すると、これに対
応した電気信号がＥ型磁気センサ１から出力される。Ｅ
型磁気センサ１からの出力を、増幅器９により電気的に
増幅し、フィルタ１０を介してノイズを抑制してＳ／Ｎ
比を改善し、これを整流器１１により整流した後、判定
回路１２で欠陥を判定してその結果を出力する。
【００２８】本実施例では、被検査体３とＥ型磁気セン
サ１との間のリフトオフＬ＝0.5 （mm）、Ｅ型磁気セン
サ１の磁極間隔Ａ＝0.5 （mm）、磁極厚さＢ＝0.4 （m
m）、センサ幅Ｗ＝3.5 （mm）とした。また、Ｅ型磁気
センサ１の外側には、厚さＳ＝２（mm）のパーマロイ製
のシールドをセンサとの間隙Ｇｓ＝0.5 （mm）で設けて
いる。センサヘッドとしては、鋼帯幅１１００（mm）の
全幅の探傷を行えるように、２２０個のＥ型磁気センサ
を鋼帯幅方向に一列に並べ、隣り合うＥ型磁気センサ１
の間隔Ｐ1 を５（mm）とし、隣り合うＥ型磁気センサの
出力同士を加算して検出に用いた。即ち、Ｅ型磁気セン
サ１同士の間隔は3.5 （mm）である。
サ１との間のリフトオフＬ＝0.5 （mm）、Ｅ型磁気セン
サ１の磁極間隔Ａ＝0.5 （mm）、磁極厚さＢ＝0.4 （m
m）、センサ幅Ｗ＝3.5 （mm）とした。また、Ｅ型磁気
センサ１の外側には、厚さＳ＝２（mm）のパーマロイ製
のシールドをセンサとの間隙Ｇｓ＝0.5 （mm）で設けて
いる。センサヘッドとしては、鋼帯幅１１００（mm）の
全幅の探傷を行えるように、２２０個のＥ型磁気センサ
を鋼帯幅方向に一列に並べ、隣り合うＥ型磁気センサ１
の間隔Ｐ1 を５（mm）とし、隣り合うＥ型磁気センサの
出力同士を加算して検出に用いた。即ち、Ｅ型磁気セン
サ１同士の間隔は3.5 （mm）である。
【００２９】Ｅ型磁気センサ１の出力の加算は、増幅器
９の後で行った。加算する場所は、フィルタ１０の後で
もよいが整流器１１の前で行うことが好ましい。この理
由は、信号成分は整流器１１の後でも前でも単純に加算
されるが、ノイズ成分は、整流器の前で加算すると２
1/2 倍になるのに対して、整流器の後で加算すると２倍
になり、その結果後者の方がＳ／Ｎ比が低下するからで
ある。
９の後で行った。加算する場所は、フィルタ１０の後で
もよいが整流器１１の前で行うことが好ましい。この理
由は、信号成分は整流器１１の後でも前でも単純に加算
されるが、ノイズ成分は、整流器の前で加算すると２
1/2 倍になるのに対して、整流器の後で加算すると２倍
になり、その結果後者の方がＳ／Ｎ比が低下するからで
ある。
【００３０】非磁性ロールの材質はステンレス鋼とし、
その中の磁化器の磁化力は３０００ＡＴとした。薄鋼帯
の走行速度は３００（ｍ/ 分）である。また、フィルタ
としては、カットオフ周波数３ｋHzのハイパスフィルタ
を使用した。
その中の磁化器の磁化力は３０００ＡＴとした。薄鋼帯
の走行速度は３００（ｍ/ 分）である。また、フィルタ
としては、カットオフ周波数３ｋHzのハイパスフィルタ
を使用した。
【００３１】図１１に、本発明の実施例の装置により検
出された人工欠陥の波形（整流器１１の出力波形）を示
す。これは、薄鋼板に、孔径0.05、0.1 、0.2 （mm）の
ドリルホールを加工し、この人工欠陥を探傷したときの
検出波形である。図１１によれば、微小欠陥を高いＳ／
Ｎ比で検出できることが分かる。また、図１２は、自然
欠陥を検出したときの波形で、後でこの欠陥部切り出
し、これを研磨しながら顕微鏡で大きさを確認したとこ
ろ、５×１０-4（ mm3）程度の大きさの内部介在物であ
った。
出された人工欠陥の波形（整流器１１の出力波形）を示
す。これは、薄鋼板に、孔径0.05、0.1 、0.2 （mm）の
ドリルホールを加工し、この人工欠陥を探傷したときの
検出波形である。図１１によれば、微小欠陥を高いＳ／
Ｎ比で検出できることが分かる。また、図１２は、自然
欠陥を検出したときの波形で、後でこの欠陥部切り出
し、これを研磨しながら顕微鏡で大きさを確認したとこ
ろ、５×１０-4（ mm3）程度の大きさの内部介在物であ
った。
【００３２】フィルタのカットオフ周波数は３ｋHzが最
適であったが、この値は従来の磁気センサ使用時の最適
値よりも２〜３倍高いものであり、低周波成分を多く含
む地合ノイズと検出信号の分離が容易となり、Ｓ／Ｎが
格段に向上した。
適であったが、この値は従来の磁気センサ使用時の最適
値よりも２〜３倍高いものであり、低周波成分を多く含
む地合ノイズと検出信号の分離が容易となり、Ｓ／Ｎが
格段に向上した。
【００３３】Ｅ型コアの外側の磁気シールドを外したと
ころ、センサが磁気的に飽和し、センサの感度が低下し
た。そのため、磁気センサが飽和しないように、磁化力
を２０００ＡＴに低減して使用したが、そのときには孔
径0.05（mm）のドリルホールによる人工欠陥を検出する
ことはできなかった。
ころ、センサが磁気的に飽和し、センサの感度が低下し
た。そのため、磁気センサが飽和しないように、磁化力
を２０００ＡＴに低減して使用したが、そのときには孔
径0.05（mm）のドリルホールによる人工欠陥を検出する
ことはできなかった。
【００３４】この実施例の装置における鋼帯幅方向の感
度の分布を図１３(a) に示す。横軸は幅方向距離Ｙ（m
m）、縦軸は感度の相対値を示す。Ｅ型磁気センサ間隔
が５（mm）であるので、５（mm）毎に感度は最大になっ
ており、Ｅ型磁気センサの中間で感度が最低になってい
るが、感度の低下は２０％以内に抑えられている。
度の分布を図１３(a) に示す。横軸は幅方向距離Ｙ（m
m）、縦軸は感度の相対値を示す。Ｅ型磁気センサ間隔
が５（mm）であるので、５（mm）毎に感度は最大になっ
ており、Ｅ型磁気センサの中間で感度が最低になってい
るが、感度の低下は２０％以内に抑えられている。
【００３５】さらに、上記センサヘッドと交換可能なセ
ンサヘッドとして、磁極間隔Ａ＝0.5 （mm）、磁極厚さ
Ｂ＝0.4 （mm）、センサ幅Ｗ＝3.5 （mm）、センサ間隔
を2.5 （mm）のＥ型磁気センサ１８３個を１列のセンサ
アレーとしたものを２つ並べて千鳥配置とし、このセン
サ群全体を磁気シールドした。このとき、センサが重な
り合う幅は0.5 （mm）である。また、千鳥配置の場合に
は、重り合うセンサの出力をＯＲ演算して得られた信号
を使用した。この場合の鋼帯幅方向の感度分布は、図１
３(b) に示すようなものであり、最大感度に対する感度
の落ち込みは約２０％に抑えられた。
ンサヘッドとして、磁極間隔Ａ＝0.5 （mm）、磁極厚さ
Ｂ＝0.4 （mm）、センサ幅Ｗ＝3.5 （mm）、センサ間隔
を2.5 （mm）のＥ型磁気センサ１８３個を１列のセンサ
アレーとしたものを２つ並べて千鳥配置とし、このセン
サ群全体を磁気シールドした。このとき、センサが重な
り合う幅は0.5 （mm）である。また、千鳥配置の場合に
は、重り合うセンサの出力をＯＲ演算して得られた信号
を使用した。この場合の鋼帯幅方向の感度分布は、図１
３(b) に示すようなものであり、最大感度に対する感度
の落ち込みは約２０％に抑えられた。
【００３６】また、Ｅ型磁気センサの各磁極の断面形状
は、本実施例では、長方形であるが、角を落とした丸型
でも効果は同様である。
は、本実施例では、長方形であるが、角を落とした丸型
でも効果は同様である。
【００３７】
【発明の効果】本発明はＥ型磁気センサを使用している
ため、浮遊磁場、地合ノイズ、鋼板の振動の影響を低減
でき、リフトオフを比較的大きく設定できるので、鋼帯
の走行速度を落とさないで安定した操業で検査を行うこ
とができる。
ため、浮遊磁場、地合ノイズ、鋼板の振動の影響を低減
でき、リフトオフを比較的大きく設定できるので、鋼帯
の走行速度を落とさないで安定した操業で検査を行うこ
とができる。
【００３８】また、検出信号の周波数成分が高くなるの
で、低周波成分の多い地合ノイズとの分離がハイパスフ
ィルタで容易に行えるようになり、Ｓ／Ｎの向上が実現
できる。
で、低周波成分の多い地合ノイズとの分離がハイパスフ
ィルタで容易に行えるようになり、Ｓ／Ｎの向上が実現
できる。
【００３９】更に、Ｅ型磁気センサの外側に磁気シール
ド板を配置すれば、Ｅ型磁気センサが磁化器からの強い
磁場で飽和しにくくなり、その分、磁化力を増強でき
て、大きな検出信号が得られる。
ド板を配置すれば、Ｅ型磁気センサが磁化器からの強い
磁場で飽和しにくくなり、その分、磁化力を増強でき
て、大きな検出信号が得られる。
【００４０】これらの結果、１０-3(mm3) 以下の微小内
部介在物の検出が可能な実用的な検出装置が実現でき
る。
部介在物の検出が可能な実用的な検出装置が実現でき
る。
【図１】 本発明の原理を示す図である。
【図２】 欠陥がセンサの下を通過するときのサーチコ
イル通る磁束Φとサーチコイルに発生する電圧Ｅの変化
を示す図である。
イル通る磁束Φとサーチコイルに発生する電圧Ｅの変化
を示す図である。
【図３】 Ｅ型磁気センサの外観を示す図である。
【図４】 Ｅ型磁気センサの寸法と、センサの出力電圧
及びＳ／Ｎ比の関係を示す図である。
及びＳ／Ｎ比の関係を示す図である。
【図５】 磁極厚さＢと磁極間隔Ａとの比Ｂ／ＡとＥ型
磁気センサ出力の関係を示す図である。
磁気センサ出力の関係を示す図である。
【図６】 Ｅ型磁気センサの幅とセンサの出力との関係
を示す図である。
を示す図である。
【図７】 シールド板とＥ型磁気センサとの位置関係を
示す図である。
示す図である。
【図８】 Ｅ型磁気センサの幅方向感度分布を示す図で
ある。
ある。
【図９】 Ｅ型磁気センサの配列を示す図である。
【図１０】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図１１】本発明の実施例の装置により検出された人工
欠陥の波形を示す図である。
欠陥の波形を示す図である。
【図１２】本発明の実施例の装置により検出された自然
欠陥の波形を示す図である。
欠陥の波形を示す図である。
【図１３】本発明の実施例において、センサを１列に配
置した場合、センサを千鳥配列した場合の、幅方向の感
度分布を示す図である。
置した場合、センサを千鳥配列した場合の、幅方向の感
度分布を示す図である。
【図１４】漏洩磁束法の原理を示す図である。
１ Ｅ型磁気センサ １ａ、１ｂ、１ｃ 磁極 ２ サーチコイル ３ 被検出体 ４ 欠陥 ５ 磁束 ６ 磁気シールド板 ７ 磁化器 ８ 非磁性ロール ９ 増幅器 １０ フィルタ １１ 整流器 １２ 判定回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前田 孝三 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 岩永 賢一 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査体を磁化するための磁化器と、被
検査体の欠陥から発生する漏洩磁束を検出するための磁
気センサとを有してなる欠陥検出装置において、磁気セ
ンサは、強磁性体で作られたＥ型コアの中央磁極にサー
チコイルが設けられたＥ型磁気センサであり、このＥ型
コアの３個の磁極の列が被検査体の走行方向に沿うよう
に配置されていることを特徴とする微小欠陥検出装置。 - 【請求項２】 Ｅ型コアのリフトオフをＬとするとき、
次の(1) 式を満足する磁極間隔Ａおよび磁極厚さＢで構
成されたＥ型磁気センサを用いることを特徴とする請求
項１に記載の微小欠陥検出装置。 １＜（Ａ＋Ｂ）／Ｌ＜４ …… (1) - 【請求項３】 次の(2) 式を満足するセンサ幅ＷのＥ型
磁気センサを用いることを特徴とする請求項２に記載の
微小欠陥検出装置。 １＜ Ｗ／Ｌ …… (2) - 【請求項４】 Ｅ型コアの外側に強磁性体のシールド板
を配し、磁気シールド板の厚みをＳとするとき、コアと
磁気シールドの間隙Ｇｓを、次の(3) 式を満足するよう
にしたことを特徴とする請求項１から請求項３のうちい
ずれか１項に記載の微小欠陥検出装置。 Ｓ／１０＜Ｇｓ …… (3) - 【請求項５】 Ｅ型磁気センサの幅をＷとするとき、次
の(4) 式を満足するようなピッチＰ1 でＥ型磁気センサ
を鋼帯幅方向に一列に配列し、隣り合うＥ型センサの出
力を加算して欠陥検出に用いることを特徴とする請求項
１から請求項４のうちいずれか１項に記載の微小欠陥検
出装置。 Ｐ1 ＜1.6 Ｗ …… (4) - 【請求項６】 Ｅ型磁気センサの幅をＷとするとき、次
の(5) 式を満足するようなピッチＰ2 でＥ型磁気センサ
を鋼帯幅方向に千鳥配列し、幅方向に重なり合うＥ型磁
気センサの出力のうち大きい出力を欠陥検出に用いるこ
とを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか１
項に記載の微小欠陥検出装置。 Ｐ2 ＜ 0.9 Ｗ …… (5)
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30006495A JP3584452B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 微小欠陥検出装置 |
| US08/860,122 US6057684A (en) | 1995-10-31 | 1996-10-31 | Magnetic flaw detection apparatus using an E-shaped magnetic sensor and high-pass filter |
| DE69615815T DE69615815T2 (de) | 1995-10-31 | 1996-10-31 | Vorrichtung zur magnetischen fehlerdetektion |
| EP96935511A EP0801304B1 (en) | 1995-10-31 | 1996-10-31 | Magnetic flaw detection apparatus |
| PCT/JP1996/003193 WO1997016722A1 (fr) | 1995-10-31 | 1996-10-31 | Capteur magnetique, procede et equipement de detection de defauts magnetiques utilisant ce capteur |
| KR1019970703651A KR100246244B1 (ko) | 1995-10-31 | 1996-10-31 | 자기탐상장치 |
| CNB961913177A CN1146729C (zh) | 1995-10-31 | 1996-10-31 | 磁传感器、使用磁传感器进行磁缺陷检测的方法及装置 |
| TW085113328A TW340905B (en) | 1995-10-31 | 1996-11-01 | Magnetic sensor, and magnetic flaw detection method and apparatus using the magnetic sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30006495A JP3584452B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 微小欠陥検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145678A true JPH09145678A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3584452B2 JP3584452B2 (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=17880271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30006495A Expired - Fee Related JP3584452B2 (ja) | 1995-10-31 | 1995-11-17 | 微小欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3584452B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100352133B1 (ko) * | 1997-12-20 | 2002-11-18 | 주식회사 포스코 | 누설자속법에 의한 박강판 결함의 탐상장치 |
| WO2008093409A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Mitsubishi Electric Corporation | ワイヤロープ探傷装置 |
| JP2010169523A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤロープ探傷装置 |
| WO2010137795A1 (ko) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | (주)노바마그네틱스 | 마이크로 타입의 결함 탐상 장치 및 센서부의 제조 방법 |
| JP2017207293A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | エヌディアール株式会社 | 欠陥検出装置 |
| JP2018087705A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 薄鋼帯の漏洩磁束探傷装置および探傷方法 |
| JP2018091646A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | トヨタ自動車株式会社 | シート状部材検査方法、および、シート状部材搬送装置 |
| JP2019191127A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 三菱ケミカル株式会社 | 異物検査方法、異物検査装置及びスリッター |
-
1995
- 1995-11-17 JP JP30006495A patent/JP3584452B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100352133B1 (ko) * | 1997-12-20 | 2002-11-18 | 주식회사 포스코 | 누설자속법에 의한 박강판 결함의 탐상장치 |
| WO2008093409A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Mitsubishi Electric Corporation | ワイヤロープ探傷装置 |
| JPWO2008093409A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2010-05-20 | 三菱電機株式会社 | ワイヤロープ探傷装置 |
| US8164329B2 (en) | 2007-01-31 | 2012-04-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire rope flaw detector |
| JP2010169523A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤロープ探傷装置 |
| US7982458B2 (en) | 2009-01-22 | 2011-07-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire-rope flaw detector |
| WO2010137795A1 (ko) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | (주)노바마그네틱스 | 마이크로 타입의 결함 탐상 장치 및 센서부의 제조 방법 |
| JP2017207293A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | エヌディアール株式会社 | 欠陥検出装置 |
| JP2018087705A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 薄鋼帯の漏洩磁束探傷装置および探傷方法 |
| JP2018091646A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | トヨタ自動車株式会社 | シート状部材検査方法、および、シート状部材搬送装置 |
| JP2019191127A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 三菱ケミカル株式会社 | 異物検査方法、異物検査装置及びスリッター |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3584452B2 (ja) | 2004-11-04 |
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