JPH09142807A - オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 - Google Patents
オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法Info
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- JPH09142807A JPH09142807A JP7295272A JP29527295A JPH09142807A JP H09142807 A JPH09142807 A JP H09142807A JP 7295272 A JP7295272 A JP 7295272A JP 29527295 A JP29527295 A JP 29527295A JP H09142807 A JPH09142807 A JP H09142807A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オゾンガスの濃度と流量の両方を制御できる
オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法を提供する。 【解決手段】 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生
器１０と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン
吸着器１２と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して
脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排
出装置１４と、を備え、脱着量制御装置１９により反応
器で必要なオゾン量をオゾン吸着器の温度と圧力を制御
して脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオ
ゾンタンク２０に貯蔵し、希釈制御装置２４によりオゾ
ンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御
する。
オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法を提供する。 【解決手段】 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生
器１０と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン
吸着器１２と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して
脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排
出装置１４と、を備え、脱着量制御装置１９により反応
器で必要なオゾン量をオゾン吸着器の温度と圧力を制御
して脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオ
ゾンタンク２０に貯蔵し、希釈制御装置２４によりオゾ
ンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン濃縮貯蔵装
置に係わり、更に詳しくは、オゾン濃縮貯蔵装置とその
制御方法に関する。
置に係わり、更に詳しくは、オゾン濃縮貯蔵装置とその
制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】パルプの漂白、水処理における殺菌や脱
臭、下水処理における有機物の分解等に、従来の塩素等
に代えて安全性の高いオゾンの利用が進められている。
図３（Ａ）は、従来の間欠オゾン供給装置の一例を示す
構成図であり、オゾン発生機１により酸素供給源２から
供給された酸素によりオゾンを発生させ、余剰酸素を循
環ブロア３でオゾン発生機１へ再循環させて、脱吸着塔
４にオゾンを吸着させ、次いで、切換弁８を切り換え
て、加熱源６により脱吸着塔４からオゾンを脱着させて
水流エゼクタ７等に供給し水処理等を行うようになって
いる。なお、この図において、５は冷却源、６は加熱
源、であり、吸着時には冷却源５により脱吸着塔４を冷
却し、脱着時には加熱源６により加熱するようになって
いる。また、脱吸着塔４には吸着剤として一般にシリカ
ゲルが用いられる。
臭、下水処理における有機物の分解等に、従来の塩素等
に代えて安全性の高いオゾンの利用が進められている。
図３（Ａ）は、従来の間欠オゾン供給装置の一例を示す
構成図であり、オゾン発生機１により酸素供給源２から
供給された酸素によりオゾンを発生させ、余剰酸素を循
環ブロア３でオゾン発生機１へ再循環させて、脱吸着塔
４にオゾンを吸着させ、次いで、切換弁８を切り換え
て、加熱源６により脱吸着塔４からオゾンを脱着させて
水流エゼクタ７等に供給し水処理等を行うようになって
いる。なお、この図において、５は冷却源、６は加熱
源、であり、吸着時には冷却源５により脱吸着塔４を冷
却し、脱着時には加熱源６により加熱するようになって
いる。また、脱吸着塔４には吸着剤として一般にシリカ
ゲルが用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のオゾン
供給装置では、図３（Ｂ）に模式的に示すように、脱着
の初期には高濃度のオゾンが脱着されるが、時間の経過
と共に漸次減少するため、安定した処理ができない問題
点があり、この問題を解決するために、特公昭６３−５
６１６３号，特公平２−２８４号等の間欠オゾン供給装
置が提案されている。
供給装置では、図３（Ｂ）に模式的に示すように、脱着
の初期には高濃度のオゾンが脱着されるが、時間の経過
と共に漸次減少するため、安定した処理ができない問題
点があり、この問題を解決するために、特公昭６３−５
６１６３号，特公平２−２８４号等の間欠オゾン供給装
置が提案されている。
【０００４】特公昭６３−５６１６３号の間欠オゾン供
給装置は、図４（Ａ）に示すように、脱着管路に脱着量
を制御する流量調節弁９ａを設けたものであり、特公平
２−２８４号の間欠オゾン供給装置は、図４（Ｂ）に示
すように、脱着管路に、主管路の切換弁８ａと並列に、
流路抵抗９ｂと切換弁８ｂを備えたバイパス回路を設
け、初期の脱着動作時にバイパス回路を開き、次に時間
遅れを持たせて主回路を開くものである。
給装置は、図４（Ａ）に示すように、脱着管路に脱着量
を制御する流量調節弁９ａを設けたものであり、特公平
２−２８４号の間欠オゾン供給装置は、図４（Ｂ）に示
すように、脱着管路に、主管路の切換弁８ａと並列に、
流路抵抗９ｂと切換弁８ｂを備えたバイパス回路を設
け、初期の脱着動作時にバイパス回路を開き、次に時間
遅れを持たせて主回路を開くものである。
【０００５】しかし、これらのオゾン供給装置では、脱
着管路を流れる流量の調節によりオゾン濃度を調節する
ため、流量変化でオゾン濃度を調節するものであった。
すなわち、上水処理やパルプ漂白等のオゾンの利用分野
では、オゾンガスの濃度と流量の両方を一定にしたり、
一方（流量）を一定にし、他方（オゾン濃度）を変化さ
せて運転することが要望される。
着管路を流れる流量の調節によりオゾン濃度を調節する
ため、流量変化でオゾン濃度を調節するものであった。
すなわち、上水処理やパルプ漂白等のオゾンの利用分野
では、オゾンガスの濃度と流量の両方を一定にしたり、
一方（流量）を一定にし、他方（オゾン濃度）を変化さ
せて運転することが要望される。
【０００６】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、オゾ
ンガスの濃度と流量の両方を制御できるオゾン濃縮貯蔵
装置とその制御方法を提供することにある。
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、オゾ
ンガスの濃度と流量の両方を制御できるオゾン濃縮貯蔵
装置とその制御方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、酸素か
らオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾン
を吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器に
キャリアガスを供給して脱着したオゾンを排出するオゾ
ン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置におい
て、反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着
させる脱着量制御装置と、脱着したオゾンをキャリアガ
スと共に貯蔵するオゾンタンクと、オゾンタンクに希釈
ガスを供給する希釈ガスラインと、希釈ガスラインの流
量を制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希
釈制御装置と、を備えた、ことを特徴とするオゾン濃縮
貯蔵装置が提供される。
らオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾン
を吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器に
キャリアガスを供給して脱着したオゾンを排出するオゾ
ン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置におい
て、反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着
させる脱着量制御装置と、脱着したオゾンをキャリアガ
スと共に貯蔵するオゾンタンクと、オゾンタンクに希釈
ガスを供給する希釈ガスラインと、希釈ガスラインの流
量を制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希
釈制御装置と、を備えた、ことを特徴とするオゾン濃縮
貯蔵装置が提供される。
【０００８】この構成によれば、脱着量制御装置により
必要とするオゾン量を脱着させ、キャリアガスと共にオ
ゾンを高濃度でオゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタン
クに希釈ガスを供給して必要な濃度に希釈することによ
り、必要な濃度と流量のオゾンガスを反応器に供給する
ことができる。
必要とするオゾン量を脱着させ、キャリアガスと共にオ
ゾンを高濃度でオゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタン
クに希釈ガスを供給して必要な濃度に希釈することによ
り、必要な濃度と流量のオゾンガスを反応器に供給する
ことができる。
【０００９】本発明の好ましい実施形態によれば、更
に、反応器にオゾンガスを供給するオゾン供給ラインの
流量を制御する流量調節弁を備える。この流量調節弁を
備えることにより、オゾン吸着器で脱着されたオゾン量
や希釈ガスの流量に変動があっても、常に安定して所望
の流量を反応器に供給することができる。
に、反応器にオゾンガスを供給するオゾン供給ラインの
流量を制御する流量調節弁を備える。この流量調節弁を
備えることにより、オゾン吸着器で脱着されたオゾン量
や希釈ガスの流量に変動があっても、常に安定して所望
の流量を反応器に供給することができる。
【００１０】また、本発明によれば、酸素からオゾンを
発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に
吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガ
スを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出
するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置
の制御方法において、反応器で必要とするオゾン量をオ
ゾン吸着器で脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガス
と共にオゾンタンクに貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガス
を供給して所望のオゾン濃度に制御する、ことを特徴と
するオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法が提供される。
発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に
吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガ
スを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出
するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置
の制御方法において、反応器で必要とするオゾン量をオ
ゾン吸着器で脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガス
と共にオゾンタンクに貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガス
を供給して所望のオゾン濃度に制御する、ことを特徴と
するオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法が提供される。
【００１１】この方法によれば、反応器で必要とするオ
ゾン量をオゾン吸着器で脱着させるので、余分なオゾン
量の脱着がなく、吸着したオゾンを有効に利用すること
ができる。また、脱着したオゾンをキャリアガスと共に
オゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタンクに希釈ガスを
供給して必要な濃度に希釈するので、オゾンタンク内に
所望のオゾン濃度のオゾンガスを貯蔵し、所望の流量で
外部の反応器に供給することができる。
ゾン量をオゾン吸着器で脱着させるので、余分なオゾン
量の脱着がなく、吸着したオゾンを有効に利用すること
ができる。また、脱着したオゾンをキャリアガスと共に
オゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタンクに希釈ガスを
供給して必要な濃度に希釈するので、オゾンタンク内に
所望のオゾン濃度のオゾンガスを貯蔵し、所望の流量で
外部の反応器に供給することができる。
【００１２】また、本発明の好ましい実施形態によれ
ば、前記脱着量制御装置は、所望のオゾン濃度と流量か
ら必要とするオゾン量を算出し、該オゾン量を脱着する
ようにオゾン吸着器の温度と圧力を制御する。この方法
により、必要とするオゾン量だけを正確に脱着させるこ
とができ、安定した濃度と流量のオゾンガスを供給する
ことができる。
ば、前記脱着量制御装置は、所望のオゾン濃度と流量か
ら必要とするオゾン量を算出し、該オゾン量を脱着する
ようにオゾン吸着器の温度と圧力を制御する。この方法
により、必要とするオゾン量だけを正確に脱着させるこ
とができ、安定した濃度と流量のオゾンガスを供給する
ことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付して使用する。図１は、本発
明によるオゾン濃縮貯蔵装置の構成図である。この図に
おいて、本発明によるオゾン濃縮貯蔵装置は、酸素から
オゾンを発生させるオゾン発生器１０と、発生したオゾ
ンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器１２と、オゾン吸
着器１２にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキ
ャリアガスと共に排出するオゾン排出ライン１４と、を
備えている。また、オゾン発生器１０の出口とオゾン吸
着器１２の入口を結ぶ吸着ライン１１ａには、ポンプ１
３と切換弁１５ａが設けられ、オゾン吸着器１２の出口
とオゾン発生器１１の入口を結ぶ再循環ライン１１ｂに
は切換弁１５ｂが設けられている。
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付して使用する。図１は、本発
明によるオゾン濃縮貯蔵装置の構成図である。この図に
おいて、本発明によるオゾン濃縮貯蔵装置は、酸素から
オゾンを発生させるオゾン発生器１０と、発生したオゾ
ンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器１２と、オゾン吸
着器１２にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキ
ャリアガスと共に排出するオゾン排出ライン１４と、を
備えている。また、オゾン発生器１０の出口とオゾン吸
着器１２の入口を結ぶ吸着ライン１１ａには、ポンプ１
３と切換弁１５ａが設けられ、オゾン吸着器１２の出口
とオゾン発生器１１の入口を結ぶ再循環ライン１１ｂに
は切換弁１５ｂが設けられている。
【００１４】オゾン排出ライン１４は、オゾン吸着器１
２にキャリアガスを供給するキャリアガスライン１４ａ
と、オゾン吸着器１２から後述するオゾンタンク２０に
オゾンガスを供給するオゾンガスライン１４ｂとからな
る。キャリアガスライン１４ａには、切換弁１６ａ、流
量調節弁１７ａ、及び流量制御器１８ａが設けられ、流
量制御器１８ａによりキャリアガスライン１３ａの流量
を検出し流量調節弁１７ａを制御するようになってい
る。
２にキャリアガスを供給するキャリアガスライン１４ａ
と、オゾン吸着器１２から後述するオゾンタンク２０に
オゾンガスを供給するオゾンガスライン１４ｂとからな
る。キャリアガスライン１４ａには、切換弁１６ａ、流
量調節弁１７ａ、及び流量制御器１８ａが設けられ、流
量制御器１８ａによりキャリアガスライン１３ａの流量
を検出し流量調節弁１７ａを制御するようになってい
る。
【００１５】オゾンガスライン１４ｂには、切換弁１６
ｂ、オゾン吸着器１２の温度を調節する温度調節器１７
ｂ、オゾン吸着器１２の温度を検出して温度調節器１７
ｂを制御する温度制御器１８ｂ、オゾン吸着器１２の圧
力を調節する圧力調節器１７ｃ、オゾン吸着器１２の圧
力を検出し圧力調節器１７ｃを制御する圧力制御器１８
ｃ、及びオゾン吸着器１２を出たオゾンガスの濃度を検
出する濃度検出器１８ｄ、が設けられている。
ｂ、オゾン吸着器１２の温度を調節する温度調節器１７
ｂ、オゾン吸着器１２の温度を検出して温度調節器１７
ｂを制御する温度制御器１８ｂ、オゾン吸着器１２の圧
力を調節する圧力調節器１７ｃ、オゾン吸着器１２の圧
力を検出し圧力調節器１７ｃを制御する圧力制御器１８
ｃ、及びオゾン吸着器１２を出たオゾンガスの濃度を検
出する濃度検出器１８ｄ、が設けられている。
【００１６】上述した構成により、吸着工程において、
切換弁１６ａ，１６ｂを閉じ、切換弁１５ａ，１５ｂを
開いて、酸素供給源（図示せず）から供給された酸素に
よりオゾン発生器１０でオゾンを発生させ、余剰酸素を
オゾン発生器１０へ再循環させながら、オゾン吸着器１
２内の吸着剤にオゾンを吸着させることができる。
切換弁１６ａ，１６ｂを閉じ、切換弁１５ａ，１５ｂを
開いて、酸素供給源（図示せず）から供給された酸素に
よりオゾン発生器１０でオゾンを発生させ、余剰酸素を
オゾン発生器１０へ再循環させながら、オゾン吸着器１
２内の吸着剤にオゾンを吸着させることができる。
【００１７】図１のオゾン濃縮貯蔵装置は更に、オゾン
を消費する外部の反応器で必要とするオゾン量をオゾン
吸着器１２で脱着させる脱着量制御装置１９と、脱着し
たオゾンをキャリアガスと共に貯蔵するオゾンタンク２
０と、オゾンタンク２０に希釈ガスを供給する希釈ガス
ライン２２と、希釈ガスライン２２の流量を制御してオ
ゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制御装置２４
と、を備えている。
を消費する外部の反応器で必要とするオゾン量をオゾン
吸着器１２で脱着させる脱着量制御装置１９と、脱着し
たオゾンをキャリアガスと共に貯蔵するオゾンタンク２
０と、オゾンタンク２０に希釈ガスを供給する希釈ガス
ライン２２と、希釈ガスライン２２の流量を制御してオ
ゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制御装置２４
と、を備えている。
【００１８】希釈ガスライン２２には、切換弁１６ｃ、
流量調節弁１７ｅ、及び流量制御器１８ｅが設けられ、
流量制御器１８ｅにより希釈ガスライン２２の流量を検
出し流量調節弁１７ｅを制御するようになっている。更
に、オゾンタンク２０から反応器にオゾンガスを供給す
るオゾン供給ライン２３に流量を制御する流量調節弁１
７ｆと、流量制御器１８ｆが設けられている。また、オ
ゾンタンク２０内のオゾン濃度を検出する濃度検出器１
８ｇが設けられている。
流量調節弁１７ｅ、及び流量制御器１８ｅが設けられ、
流量制御器１８ｅにより希釈ガスライン２２の流量を検
出し流量調節弁１７ｅを制御するようになっている。更
に、オゾンタンク２０から反応器にオゾンガスを供給す
るオゾン供給ライン２３に流量を制御する流量調節弁１
７ｆと、流量制御器１８ｆが設けられている。また、オ
ゾンタンク２０内のオゾン濃度を検出する濃度検出器１
８ｇが設けられている。
【００１９】脱着量制御装置１９は、反応器が要求する
所望のオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出
し、このオゾン量を脱着するように温度制御器１８ｂに
よりオゾン吸着器１２の温度を調節し、圧力制御器１８
ｃにより圧力を制御するようになっている。また、この
脱着量制御装置１９は、発生したオゾンをオゾン吸着器
１２から排出してオゾンタンク２０に導入するために必
要なキャリアガスの流量を算出し、流量制御器１８ａに
よりこれを調節する。このキャリアガスの流量は後述す
る希釈ガスによる濃度調節のためにできるだけ少なく設
定するのがよい。この構成により、脱着量制御装置１９
により、反応器２０が要求する必要なオゾン量を脱着さ
せることができる。なお、脱着したオゾンガスの濃度
は、濃度検出器１８ｄにより検出され、希釈制御装置２
４による制御に用いられる。
所望のオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出
し、このオゾン量を脱着するように温度制御器１８ｂに
よりオゾン吸着器１２の温度を調節し、圧力制御器１８
ｃにより圧力を制御するようになっている。また、この
脱着量制御装置１９は、発生したオゾンをオゾン吸着器
１２から排出してオゾンタンク２０に導入するために必
要なキャリアガスの流量を算出し、流量制御器１８ａに
よりこれを調節する。このキャリアガスの流量は後述す
る希釈ガスによる濃度調節のためにできるだけ少なく設
定するのがよい。この構成により、脱着量制御装置１９
により、反応器２０が要求する必要なオゾン量を脱着さ
せることができる。なお、脱着したオゾンガスの濃度
は、濃度検出器１８ｄにより検出され、希釈制御装置２
４による制御に用いられる。
【００２０】次に上述したオゾン濃縮貯蔵装置の制御方
法を説明する。まず、脱着量制御装置１９により、反応
器で必要なオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を
算出し、このオゾン量を脱着するように温度制御器１８
ｂと圧力制御器１８ｃによりオゾン吸着器１２の温度と
圧力を制御する。オゾン吸着器１２にはシリカゲル（好
ましくは高純度シリカゲル）が充填されており、オゾン
吸着器１２の圧力を上げ、温度を下げることによりオゾ
ンを吸着させ、逆に圧力を下げ、温度を上げることによ
りオゾンを脱着させることができる。また、この圧力と
温度の調節によりオゾンの脱着量を制御することができ
る。
法を説明する。まず、脱着量制御装置１９により、反応
器で必要なオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を
算出し、このオゾン量を脱着するように温度制御器１８
ｂと圧力制御器１８ｃによりオゾン吸着器１２の温度と
圧力を制御する。オゾン吸着器１２にはシリカゲル（好
ましくは高純度シリカゲル）が充填されており、オゾン
吸着器１２の圧力を上げ、温度を下げることによりオゾ
ンを吸着させ、逆に圧力を下げ、温度を上げることによ
りオゾンを脱着させることができる。また、この圧力と
温度の調節によりオゾンの脱着量を制御することができ
る。
【００２１】次いで、流量制御器１８ａによりキャリア
ガスライン１４ａから少量のキャリアガス（この図では
窒素ガス）を供給して、脱着したオゾンをキャリアガス
と共にオゾンタンクに貯蔵する。同時に、濃度検出器１
８ｇによりオゾンタンク２０内のオゾン濃度を検出し、
かつオゾンタンク２０に希釈ガス（この図では窒素ガ
ス）を供給して所望のオゾン濃度に制御する。
ガスライン１４ａから少量のキャリアガス（この図では
窒素ガス）を供給して、脱着したオゾンをキャリアガス
と共にオゾンタンクに貯蔵する。同時に、濃度検出器１
８ｇによりオゾンタンク２０内のオゾン濃度を検出し、
かつオゾンタンク２０に希釈ガス（この図では窒素ガ
ス）を供給して所望のオゾン濃度に制御する。
【００２２】希釈ガスの流量は、定常状態では、反応器
で必要な流量から、オゾンの脱着量とキャリアガスを引
いた量であるが、負荷に変動がある場合には、濃度検出
器１８ｇによりオゾンタンク２０内のオゾン濃度を検出
し、これを所望の濃度になるように希釈ガスの流量を増
減させて制御するのがよい。また、上述した制御によ
り、反応器に供給されるオゾンガスの流量は、オゾンの
脱着量とキャリアガス及び希釈ガスの総和として一義的
に決まるが、負荷に変動がある場合には、オゾンの濃度
を制御するのがよい。
で必要な流量から、オゾンの脱着量とキャリアガスを引
いた量であるが、負荷に変動がある場合には、濃度検出
器１８ｇによりオゾンタンク２０内のオゾン濃度を検出
し、これを所望の濃度になるように希釈ガスの流量を増
減させて制御するのがよい。また、上述した制御によ
り、反応器に供給されるオゾンガスの流量は、オゾンの
脱着量とキャリアガス及び希釈ガスの総和として一義的
に決まるが、負荷に変動がある場合には、オゾンの濃度
を制御するのがよい。
【００２３】
【実施例】図２は、吸着剤としてシリカゲルを用いた場
合の吸着・脱着試験結果の一例である。図２（Ａ）は、
吸着工程におけるオゾン吸着器の出口におけるオゾン濃
度の時間変化を示しており、この図から、温度が低いほ
ど、オゾン吸着器の出口でオゾンが検出されるまでの時
間が長く、大量にオゾンを吸着することができることが
わかる。例えば、吸着容量は、２５℃では約６〜７ｋｇ
／ｍ3 であるが、−１０℃では１２ｋｇ／ｍ3 以上とな
り、低温ほど大量のオゾンを吸着できることがわかる。
合の吸着・脱着試験結果の一例である。図２（Ａ）は、
吸着工程におけるオゾン吸着器の出口におけるオゾン濃
度の時間変化を示しており、この図から、温度が低いほ
ど、オゾン吸着器の出口でオゾンが検出されるまでの時
間が長く、大量にオゾンを吸着することができることが
わかる。例えば、吸着容量は、２５℃では約６〜７ｋｇ
／ｍ3 であるが、−１０℃では１２ｋｇ／ｍ3 以上とな
り、低温ほど大量のオゾンを吸着できることがわかる。
【００２４】図２（Ｂ）は、脱着工程におけるオゾン濃
度の時間変化を示しており、この図から、キャリアガス
の流量が少ないほど高濃度のオゾンを長時間持続できる
ことがわかる。
度の時間変化を示しており、この図から、キャリアガス
の流量が少ないほど高濃度のオゾンを長時間持続できる
ことがわかる。
【００２５】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。例えば、上述した実施形態では、オ
ゾン吸着器は１台であり、オゾンの吸着／脱着が間欠的
に行われるが、本発明はこれに限定されず、２台以上の
オゾン吸着器を用いて、実質的に連続運転してもよい。
また、キャリアガスと希釈ガスに、窒素ガスを用いてい
るが、酸素、乾燥空気、等を用いてもよい。
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。例えば、上述した実施形態では、オ
ゾン吸着器は１台であり、オゾンの吸着／脱着が間欠的
に行われるが、本発明はこれに限定されず、２台以上の
オゾン吸着器を用いて、実質的に連続運転してもよい。
また、キャリアガスと希釈ガスに、窒素ガスを用いてい
るが、酸素、乾燥空気、等を用いてもよい。
【００２６】
【発明の効果】上述した本発明のオゾン濃縮貯蔵装置と
その制御方法により、脱着量制御装置により必要とする
オゾン量を脱着させ、キャリアガスと共にオゾンを高濃
度でオゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタンクに希釈ガ
スを供給して必要な濃度に希釈することにより、必要な
濃度と流量のオゾンガスを外部の反応器に供給すること
ができる。また、流量調節弁を備えることにより、オゾ
ン吸着器で脱着されるオゾン量や希釈ガスの流量に変動
がある場合でも、常に安定して所望の流量を反応器に供
給することができる。更に、反応器で必要とするオゾン
量だけをオゾン吸着器で脱着させるので、余分なオゾン
量の脱着がなく、吸着したオゾンを有効に利用すること
ができ、安定した濃度と流量のオゾンガスを供給するこ
とができる。
その制御方法により、脱着量制御装置により必要とする
オゾン量を脱着させ、キャリアガスと共にオゾンを高濃
度でオゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタンクに希釈ガ
スを供給して必要な濃度に希釈することにより、必要な
濃度と流量のオゾンガスを外部の反応器に供給すること
ができる。また、流量調節弁を備えることにより、オゾ
ン吸着器で脱着されるオゾン量や希釈ガスの流量に変動
がある場合でも、常に安定して所望の流量を反応器に供
給することができる。更に、反応器で必要とするオゾン
量だけをオゾン吸着器で脱着させるので、余分なオゾン
量の脱着がなく、吸着したオゾンを有効に利用すること
ができ、安定した濃度と流量のオゾンガスを供給するこ
とができる。
【００２７】従って、本発明のオゾン濃縮貯蔵装置とそ
の制御方法は、オゾンガスの濃度と流量の両方を制御で
きる優れた効果を有する。
の制御方法は、オゾンガスの濃度と流量の両方を制御で
きる優れた効果を有する。
【図１】本発明によるオゾン濃縮貯蔵装置の構成図であ
る。
る。
【図２】吸着剤としてシリカゲルを用いた場合の吸着・
脱着試験結果の一例である。
脱着試験結果の一例である。
【図３】従来のオゾン濃縮貯蔵装置の構成図とその特性
図である。
図である。
【図４】従来のオゾン濃縮貯蔵装置の別の構成図であ
る。
る。
１０ オゾン発生器 １２ オゾン吸着器 １４ オゾン排出ライン １９ 脱着量制御装置 ２０ オゾンタンク ２２ 希釈ガスライン ２４ 希釈制御装置
Claims (4)
- 【請求項１】 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生
器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着
器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着した
オゾンを排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン
濃縮貯蔵装置において、 反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させ
る脱着量制御装置と、脱着したオゾンをキャリアガスと
共に貯蔵するオゾンタンクと、オゾンタンクに希釈ガス
を供給する希釈ガスラインと、希釈ガスラインの流量を
制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制
御装置と、を備えた、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵
装置。 - 【請求項２】 更に、反応器にオゾンガスを供給するオ
ゾン供給ラインの流量を制御する流量調節弁を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のオゾン濃縮貯蔵装
置。 - 【請求項３】 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生
器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着
器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着した
オゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ライン
と、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法において、 反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着さ
せ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンク
に貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガスを供給して所望のオ
ゾン濃度に制御する、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵
装置の制御方法。 - 【請求項４】 所望のオゾン濃度と流量から必要とする
オゾン量を算出し、該オゾン量を脱着するようにオゾン
吸着器の温度と圧力を制御する、ことを特徴とする請求
項３に記載のオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29527295A JP3769741B2 (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29527295A JP3769741B2 (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09142807A true JPH09142807A (ja) | 1997-06-03 |
| JP3769741B2 JP3769741B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=17818454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29527295A Expired - Fee Related JP3769741B2 (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3769741B2 (ja) |
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- 1995-11-14 JP JP29527295A patent/JP3769741B2/ja not_active Expired - Fee Related
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