JPS6172602A - オゾンを製造する方法 - Google Patents
オゾンを製造する方法Info
- Publication number
- JPS6172602A JPS6172602A JP60204585A JP20458585A JPS6172602A JP S6172602 A JPS6172602 A JP S6172602A JP 60204585 A JP60204585 A JP 60204585A JP 20458585 A JP20458585 A JP 20458585A JP S6172602 A JPS6172602 A JP S6172602A
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- JP
- Japan
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- ozone
- pressure
- container
- oxygen
- adsorption device
- Prior art date
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野:
本発明はオゾンを酸素からオゾン発生器内で製造する、
物質を処理するオゾンの製法に関する。
物質を処理するオゾンの製法に関する。
オゾンは多数の有機および無機化合物の有利な酸化剤で
ある。オゾンによりたとえば水の不所望の含有物質を脱
色し、無害化しまたは生物学的に分解可能かつフレーク
化可能にするように処理することができる。オゾンの酸
化作用は化学工業でたとえば酸を製造するため使用され
、る。オゾンによυパルプが漂白される。プラスチック
の表面をオゾン処理によって変化することができる。ガ
スもオゾンと反応させ、たとえば1酸化チツ素をオゾン
によって酸化することができる。
ある。オゾンによりたとえば水の不所望の含有物質を脱
色し、無害化しまたは生物学的に分解可能かつフレーク
化可能にするように処理することができる。オゾンの酸
化作用は化学工業でたとえば酸を製造するため使用され
、る。オゾンによυパルプが漂白される。プラスチック
の表面をオゾン処理によって変化することができる。ガ
スもオゾンと反応させ、たとえば1酸化チツ素をオゾン
によって酸化することができる。
従来の技術:
大工業的使用のためオゾンはオゾン発生器内で静電放電
により空気または純酸素から製造される。オゾン発生器
に供給する酸素の7部しかオゾンに変換しないので、経
済的理由により純酸素からオゾンを製造する際未変換の
酸素をオゾンと分離し、オゾン発生器に戻さなければな
らない。この酸素分離は圧力変化吸着装置によって実施
することができる。この装置内で我着期の間圧力を少し
高くしてオゾンはシリカゲルによって吸着される。次に
脱着期にオゾンは少し低い圧力で脱着する。脱着のため
洗浄ガスが使用され、これはもちろん脱着したオゾンが
稀釈される欠点を有する。
により空気または純酸素から製造される。オゾン発生器
に供給する酸素の7部しかオゾンに変換しないので、経
済的理由により純酸素からオゾンを製造する際未変換の
酸素をオゾンと分離し、オゾン発生器に戻さなければな
らない。この酸素分離は圧力変化吸着装置によって実施
することができる。この装置内で我着期の間圧力を少し
高くしてオゾンはシリカゲルによって吸着される。次に
脱着期にオゾンは少し低い圧力で脱着する。脱着のため
洗浄ガスが使用され、これはもちろん脱着したオゾンが
稀釈される欠点を有する。
′ 西独公開特許公報第3230922号から
脱着を大気圧より低い圧力で実施する方法が公知である
。減圧はたとえば噴射水−がス圧縮器によって得られる
。オゾンは稀釈されずに圧力変化吸着装置から取出され
、噴射水−ガス圧縮器の水と混合される。場合によりオ
ゾンはこの水の中ですでに所望の反応を実施することが
できる。
脱着を大気圧より低い圧力で実施する方法が公知である
。減圧はたとえば噴射水−がス圧縮器によって得られる
。オゾンは稀釈されずに圧力変化吸着装置から取出され
、噴射水−ガス圧縮器の水と混合される。場合によりオ
ゾンはこの水の中ですでに所望の反応を実施することが
できる。
西独公開特許公報第3230922号の方法を実施する
際、脱着ガス中のオゾン濃度が脱着過程の間一定でない
ことが明らかになった。脱着過程の初期に著しいlJf
最大が現れ、脱着中にオ・グン潰度は連続的に低下する
。さらに脱着期の初めに脱着導管内の著しい圧力上昇が
、とくに印加する減圧が低く、かつ脱着導管の容、債が
小さい場合に発生する。
際、脱着ガス中のオゾン濃度が脱着過程の間一定でない
ことが明らかになった。脱着過程の初期に著しいlJf
最大が現れ、脱着中にオ・グン潰度は連続的に低下する
。さらに脱着期の初めに脱着導管内の著しい圧力上昇が
、とくに印加する減圧が低く、かつ脱着導管の容、債が
小さい場合に発生する。
濃度変動は脱着期の間にシリカケ8ルのオゾン負荷が減
少することに起因する。吸着過程でンリカケゞル上なら
びにシリカゲル吸着器容器の自由空間および孔空間に固
定された残留酸素も同派脱着ガス中に含まれるので、濃
度に影響する。
少することに起因する。吸着過程でンリカケゞル上なら
びにシリカゲル吸着器容器の自由空間および孔空間に固
定された残留酸素も同派脱着ガス中に含まれるので、濃
度に影響する。
多くの使用目的にこのような濃度および圧力変動は問題
にならない。しかしこの変動は反応および滞留時間が短
い場合オゾンとの所望の反応に不利に作用する。
にならない。しかしこの変動は反応および滞留時間が短
い場合オゾンとの所望の反応に不利に作用する。
発明が解決しようとする問題点;
それゆえ本発明の目的は大気圧より低い圧力で脱着した
オゾンを一定圧力および一定濃度で減圧発生装置に供給
しうるように、西独公開特許公報から公知の方法を改善
することである。
オゾンを一定圧力および一定濃度で減圧発生装置に供給
しうるように、西独公開特許公報から公知の方法を改善
することである。
間i+@点を解決するための手段:
この目的は本発明により特許請求の範囲第1項の上位概
念に記載の方法から出発して特許請求の範囲第1項の特
徴部に記載の特徴によって解決される。
念に記載の方法から出発して特許請求の範囲第1項の特
徴部に記載の特徴によって解決される。
本発明の有利な実施態様は特許請求の範囲第2〜4項に
記載さ五る。
記載さ五る。
作用:
本発明の方法は脱着ガスの圧力および濃度ピークを下げ
、平滑比しうる利点を有する。圧力および濃度を危険な
限界値より低く保持することが低い費用で達成される。
、平滑比しうる利点を有する。圧力および濃度を危険な
限界値より低く保持することが低い費用で達成される。
さらに均一なオゾン濃度によりオゾン反応の際反応成分
の短い共通の滞留時間が可能になる。守るべき限界値は
0.6バールの絶対圧力およびオゾン160 g/ m
”(作業状態のガス)の濃度である。
の短い共通の滞留時間が可能になる。守るべき限界値は
0.6バールの絶対圧力およびオゾン160 g/ m
”(作業状態のガス)の濃度である。
実施例:
図面にはオゾンを脱着するため噴射水−がス圧縮器によ
って大気圧より低い圧力を発生する実施夕11が示され
る。
って大気圧より低い圧力を発生する実施夕11が示され
る。
オゾン製造に使用する酸素は液体の形で縦形タンク1か
ら取出され、気化器2で気化され、減圧器3で0.5〜
2バールの絶対圧力に減圧してオゾン発生器4に供給さ
れる。オゾン発生器4内に形成したオ・tノ酸素混合物
は循環ブロア5により圧力変化吸着装置6に入る。圧力
変化吸着装置6はシリカケ8ルを充てんした少なくとも
2つの容器からなり、この容器は0.5〜5分の周期で
交互に切替えられる。その際1つの容器内でオ・アンが
吸着され、酸素は容器を貫流して導管7を通ってオゾン
発生器4へ汚れなしに清浄に戻される。
ら取出され、気化器2で気化され、減圧器3で0.5〜
2バールの絶対圧力に減圧してオゾン発生器4に供給さ
れる。オゾン発生器4内に形成したオ・tノ酸素混合物
は循環ブロア5により圧力変化吸着装置6に入る。圧力
変化吸着装置6はシリカケ8ルを充てんした少なくとも
2つの容器からなり、この容器は0.5〜5分の周期で
交互に切替えられる。その際1つの容器内でオ・アンが
吸着され、酸素は容器を貫流して導管7を通ってオゾン
発生器4へ汚れなしに清浄に戻される。
その間に他の容器から減圧下にオゾンが脱着される。減
圧は噴射水−ガス圧縮器8で発生させる。この圧縮器に
より吸込側に圧力変化吸着装置6まで0.2パール(絶
対)より低い減圧が発生する。流動媒体として役立つ噴
射水はポンプ9によって、噴射水−がス圧縮器8が所要
の吸引能力に達するような、高い圧力にもたらされるう
流れ方向は矢印10によって示される。
圧は噴射水−ガス圧縮器8で発生させる。この圧縮器に
より吸込側に圧力変化吸着装置6まで0.2パール(絶
対)より低い減圧が発生する。流動媒体として役立つ噴
射水はポンプ9によって、噴射水−がス圧縮器8が所要
の吸引能力に達するような、高い圧力にもたらされるう
流れ方向は矢印10によって示される。
本発明により圧力変化吸着装置6から取出したオゾンお
よび残留酸素からなる脱着ガスは減圧下に平滑化容器1
1を通り、次に噴射水〜ガス圧縮器8内で流動媒体とし
ての水と混合する。
よび残留酸素からなる脱着ガスは減圧下に平滑化容器1
1を通り、次に噴射水〜ガス圧縮器8内で流動媒体とし
ての水と混合する。
この平滑化容器11は圧力変化吸着装置6の容器の6倍
の8@を有し、1/3までシリカケ9ル12が充てんさ
れる。シリカゲル12は平滑化容器11の出口側に配置
される。
の8@を有し、1/3までシリカケ9ル12が充てんさ
れる。シリカゲル12は平滑化容器11の出口側に配置
される。
平滑比容器11は脱着期開始の際の圧力上昇の減少およ
び反応媒体へ導入する前の脱着ガス、1 中のオソゞ
ン濃度の均一化に作用する。オゾン発生器4内に発生し
たオゾンはそれゆえ圧力変化吸着装置6内のシリカゲル
への吸着によってほとんど酸素と分離される。次にオゾ
ンは減圧の印加によって脱着される。第6過程でオゾン
は平滑化容器11のシリカゲル12によつで再び捕集お
よび蓄積される。第4の最終段階でオゾンは輸送まだは
反応媒体としての流動媒体へ減圧下に均一に放出される
。
び反応媒体へ導入する前の脱着ガス、1 中のオソゞ
ン濃度の均一化に作用する。オゾン発生器4内に発生し
たオゾンはそれゆえ圧力変化吸着装置6内のシリカゲル
への吸着によってほとんど酸素と分離される。次にオゾ
ンは減圧の印加によって脱着される。第6過程でオゾン
は平滑化容器11のシリカゲル12によつで再び捕集お
よび蓄積される。第4の最終段階でオゾンは輸送まだは
反応媒体としての流動媒体へ減圧下に均一に放出される
。
もちろん本発明の方法は減圧発生のための噴射水−ガス
圧縮器に限定されない。減圧はたとえばインゼクタおよ
び流動媒体としてのガス状媒体によって発生させること
もできる。減圧はポンプによって発生させ、流動媒体は
単にオゾンの輸送媒体として使用することもできる。
圧縮器に限定されない。減圧はたとえばインゼクタおよ
び流動媒体としてのガス状媒体によって発生させること
もできる。減圧はポンプによって発生させ、流動媒体は
単にオゾンの輸送媒体として使用することもできる。
平滑化容器11の容積はとくに印加する減圧により異な
る。一般にこの容器は圧力変化吸着装置6の容器の2〜
4倍の容積を有する。平滑化容器11は1/3よシ多く
シリカケ9ルで充てんすることもできる。全体として一
般に0.2バール(絶対)より小さい減圧、平滑化容器
11の空間容積およびシリカゲル12の容積の組合せに
よって、脱着期の初期すなわち吸着から脱着へ切替える
際および圧力変化吸着装置6のそれぞれの容器内に含ま
れるガスの減圧の際、脱着ガスの圧力ピークが0.6バ
ール(絶対)を超えず、オゾン濃度が作業状態のガスに
対しオゾン160、F/U3を超えないことが達成され
る。この限界値を維持すればさらてオ・戸ンを平滑化容
器11の後方で非常に均一なJu!で放出することが達
成される。
る。一般にこの容器は圧力変化吸着装置6の容器の2〜
4倍の容積を有する。平滑化容器11は1/3よシ多く
シリカケ9ルで充てんすることもできる。全体として一
般に0.2バール(絶対)より小さい減圧、平滑化容器
11の空間容積およびシリカゲル12の容積の組合せに
よって、脱着期の初期すなわち吸着から脱着へ切替える
際および圧力変化吸着装置6のそれぞれの容器内に含ま
れるガスの減圧の際、脱着ガスの圧力ピークが0.6バ
ール(絶対)を超えず、オゾン濃度が作業状態のガスに
対しオゾン160、F/U3を超えないことが達成され
る。この限界値を維持すればさらてオ・戸ンを平滑化容
器11の後方で非常に均一なJu!で放出することが達
成される。
図面は本発明の方1去を実施する装置の原理図である。
1・・・酸素夕/り、2・・気化器、3・・・減圧器、
4・・オゾン発生器、6・・・吸着装置、8・・噴射水
−ガス圧縮器、11 ・平滑化容器、12・・シリカケ
8ル
4・・オゾン発生器、6・・・吸着装置、8・・噴射水
−ガス圧縮器、11 ・平滑化容器、12・・シリカケ
8ル
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、オゾンを酸素からオゾン発生器(4)内で発生させ
、圧力変化吸着装置(6)内の吸着期の間高圧および周
囲温度でオゾンに変換されなかつた酸素を分離し、変換
しなかつた酸素をオゾン発生器へ還流させ、次に脱着期
に減圧発生装置および流動媒体の協力作用下に大気圧よ
り低い圧力で吸着したオゾンを圧力変化吸着装置から取
出し、流動媒体と混合し、物質処理に供給する、物質を
処理するためのオゾンを製造する方法において、圧力変
化吸着装置から取出したオゾンを流動媒体と混合する前
に、少なくとも一部シリカゲル(12)を充てんした平
滑化容器(11)を貫流させることを特徴とするオゾン
を製造する方法。 2、平滑化容器の容積を圧力変化吸着装置の吸着容器の
容積の2〜4倍にする特許請求の範囲第1項記載の方法
。 3、平滑化容器の容積の少なくとも1/3をシリカゲル
で充てんする特許請求の範囲第1項または第2項記載の
方法。 4、シリカゲルを平滑化容器の出口側に配置する特許請
求の範囲第3項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843434169 DE3434169A1 (de) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | Verfahren zur gewinnung von ozon |
DE3434169.2 | 1984-09-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6172602A true JPS6172602A (ja) | 1986-04-14 |
Family
ID=6245655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60204585A Pending JPS6172602A (ja) | 1984-09-18 | 1985-09-18 | オゾンを製造する方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4604279A (ja) |
EP (1) | EP0178415A3 (ja) |
JP (1) | JPS6172602A (ja) |
DE (1) | DE3434169A1 (ja) |
NO (1) | NO853316L (ja) |
ZA (1) | ZA857148B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09142807A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-06-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
JPH09142808A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-06-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン発生装置の制御方法 |
WO2008062534A1 (fr) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Iwatani Corporation | Procédé de concentration d'ozone gazeux et appareil pour la mise en œuvre de ce procédé |
WO2010010610A1 (ja) * | 2008-07-23 | 2010-01-28 | 岩谷産業株式会社 | オゾンガス濃縮方法及びその装置 |
JP2013056810A (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-28 | Iwatani Internatl Corp | オゾンガスの濃縮方法及びその装置 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3603900A1 (de) * | 1985-02-13 | 1986-08-21 | Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo | Trinkwasserreinigungseinrichtung |
FR2580271B1 (fr) * | 1985-04-16 | 1994-07-08 | Air Liquide | Procede de production d'ozone |
DE3632937A1 (de) * | 1986-09-27 | 1988-03-31 | Bbc Brown Boveri & Cie | Verfahren zur erzeugung von ozon |
AT392256B (de) * | 1989-06-26 | 1991-02-25 | Voest Alpine Ind Anlagen | Verfahren zur herstellung von sauerstoff und/oder ozon |
FR2728554B1 (fr) * | 1994-12-27 | 1997-06-20 | Air Liquide | Procede et dispositif de traitement d'un melange gazeux comprenant de l'ozone |
JP3980091B2 (ja) * | 1996-03-01 | 2007-09-19 | 三菱電機株式会社 | オゾン貯蔵装置 |
GB9712165D0 (en) * | 1997-06-11 | 1997-08-13 | Air Prod & Chem | Processes and apparatus for producing a gaseous product |
JP2001248794A (ja) | 2000-03-02 | 2001-09-14 | Kansai Electric Power Co Inc:The | オゾン貯蔵方法および装置 |
US6916359B2 (en) * | 2002-04-25 | 2005-07-12 | The Boc Group, Inc. | Ozone production processes |
US7392657B2 (en) * | 2004-06-09 | 2008-07-01 | American Air Liquide, Inc. | Methods of dissolving ozone in a cryogen |
US7588749B2 (en) * | 2007-03-29 | 2009-09-15 | Minimus Spine, Inc. | Apparatus, method and system for delivering oxygen-ozone |
US7588750B2 (en) * | 2007-07-03 | 2009-09-15 | Amarante Technologies, Inc. | Systems and methods for generating and storing ozone |
US8029603B2 (en) * | 2009-01-23 | 2011-10-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Pressure swing adsorption cycle for ozone production |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3921002A (en) * | 1974-04-22 | 1975-11-18 | Martin Marietta Corp | Ozone generator |
DE2854060A1 (de) * | 1978-12-14 | 1980-07-03 | Linde Ag | Verfahren zum bereitstellen eines einsatzgases fuer eine chemische reaktion und zum abtrennen eines gasfoermigen reaktionsproduktes |
JPS5681119A (en) * | 1979-12-07 | 1981-07-02 | Toray Ind Inc | Separation of mixed gas |
US4528000A (en) * | 1982-01-05 | 1985-07-09 | Mcgill Incorporated | Fuel conditioning process |
DE3230922A1 (de) * | 1982-08-20 | 1984-02-23 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zur behandlung von stoffen mit ozon |
US4468237A (en) * | 1982-10-19 | 1984-08-28 | Union Carbide Corporation | Pressure swing adsorption with direct and indirect pressure equalizations |
US4482361A (en) * | 1983-01-14 | 1984-11-13 | Union Carbide Corporation | Pressure swing adsorption process |
-
1984
- 1984-09-18 DE DE19843434169 patent/DE3434169A1/de active Granted
-
1985
- 1985-08-16 EP EP85110259A patent/EP0178415A3/de not_active Ceased
- 1985-08-22 NO NO853316A patent/NO853316L/no unknown
- 1985-09-06 US US06/773,030 patent/US4604279A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-09-18 JP JP60204585A patent/JPS6172602A/ja active Pending
- 1985-09-18 ZA ZA857148A patent/ZA857148B/xx unknown
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09142807A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-06-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
JPH09142808A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-06-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン発生装置の制御方法 |
WO2008062534A1 (fr) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Iwatani Corporation | Procédé de concentration d'ozone gazeux et appareil pour la mise en œuvre de ce procédé |
US8012241B2 (en) | 2006-11-24 | 2011-09-06 | Iwatani Corporation | Method and apparatus for condensing ozone gas |
JP5427412B2 (ja) * | 2006-11-24 | 2014-02-26 | 岩谷産業株式会社 | オゾンガス濃縮方法及びその装置 |
WO2010010610A1 (ja) * | 2008-07-23 | 2010-01-28 | 岩谷産業株式会社 | オゾンガス濃縮方法及びその装置 |
JP5584887B2 (ja) * | 2008-07-23 | 2014-09-10 | 岩谷産業株式会社 | オゾンガス濃縮方法及びその装置 |
JP2013056810A (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-28 | Iwatani Internatl Corp | オゾンガスの濃縮方法及びその装置 |
US8945278B2 (en) | 2011-09-09 | 2015-02-03 | Iwatani Corporation | Method and apparatus for concentrating ozone gas |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0178415A3 (de) | 1986-12-30 |
NO853316L (no) | 1986-03-19 |
DE3434169A1 (de) | 1986-04-24 |
US4604279A (en) | 1986-08-05 |
DE3434169C2 (ja) | 1987-01-02 |
EP0178415A2 (de) | 1986-04-23 |
ZA857148B (en) | 1986-05-28 |
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