JPH0914267A - 磁気軸受センサ及び磁気軸受制御装置 - Google Patents
磁気軸受センサ及び磁気軸受制御装置Info
- Publication number
- JPH0914267A JPH0914267A JP16761595A JP16761595A JPH0914267A JP H0914267 A JPH0914267 A JP H0914267A JP 16761595 A JP16761595 A JP 16761595A JP 16761595 A JP16761595 A JP 16761595A JP H0914267 A JPH0914267 A JP H0914267A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic bearing
- control device
- case
- coaxial cable
- coaxial
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 組立の作業効率を改善できる磁気軸受センサ
及び磁気軸受制御装置を提供することを目的とする。 【構成】 変位センサ４が回転軸１からの距離Ｘを検出
すると、その検出信号は、同軸コネクタ１０に接続され
た同軸ケーブル５を介して外部に設けられた制御回路に
供給される。この際、同軸ケーブル５は、同軸コネクタ
１０に隣接して形成された貫通孔１２を介してケース１
１の外部に引き出される。このため、同軸ケーブル５
は、ケース１１の内部で引き回されない。したがって、
磁気軸受制御装置の組立の作業効率が向上し、また、組
立の際に同軸ケーブル５が損傷することもない。また、
同軸コネクタ１０から引き抜くだけで同軸ケーブル５の
交換を行うこともできる。
及び磁気軸受制御装置を提供することを目的とする。 【構成】 変位センサ４が回転軸１からの距離Ｘを検出
すると、その検出信号は、同軸コネクタ１０に接続され
た同軸ケーブル５を介して外部に設けられた制御回路に
供給される。この際、同軸ケーブル５は、同軸コネクタ
１０に隣接して形成された貫通孔１２を介してケース１
１の外部に引き出される。このため、同軸ケーブル５
は、ケース１１の内部で引き回されない。したがって、
磁気軸受制御装置の組立の作業効率が向上し、また、組
立の際に同軸ケーブル５が損傷することもない。また、
同軸コネクタ１０から引き抜くだけで同軸ケーブル５の
交換を行うこともできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、組立の作業効率を改
善するのに好適な磁気軸受センサ及び磁気軸受制御装置
に関する。
善するのに好適な磁気軸受センサ及び磁気軸受制御装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、超高速回転する回転軸の軸受
には、低振動、低摩擦、低騒音等に優れる磁気軸受が用
いられている。この磁気軸受にあっては、回転軸のぶれ
を防止するため、回転軸とのギャップ長が検出され、こ
れを一定に保つように制御が行われている。
には、低振動、低摩擦、低騒音等に優れる磁気軸受が用
いられている。この磁気軸受にあっては、回転軸のぶれ
を防止するため、回転軸とのギャップ長が検出され、こ
れを一定に保つように制御が行われている。
【０００３】このため、従来より磁気軸受制御装置が提
供されている。図５は従来の磁気軸受制御装置の主要部
の断面図、図６はその平面図であり、図７はその正面図
である。図５において、１は回転軸であり、その端部に
設けられた磁気軸受（図示せず）によって非接触状態で
支持されている。２はローターあり、回転軸１と同心の
円柱状に形成されている。
供されている。図５は従来の磁気軸受制御装置の主要部
の断面図、図６はその平面図であり、図７はその正面図
である。図５において、１は回転軸であり、その端部に
設けられた磁気軸受（図示せず）によって非接触状態で
支持されている。２はローターあり、回転軸１と同心の
円柱状に形成されている。
【０００４】３は円筒状のケースであり、この内部に磁
気軸受制御装置の主要部が収納される。４は円柱状の変
位センサであり、渦電流を検出する検出器等によって構
成され、回転軸１との距離Ｘを検出する。５はその一端
が変位センサ４の内部に組み込まれている同軸ケーブル
であり、ケース３の内周面に形成された溝（図示せず）
に沿って配設され、変位センサ４からの検出信号をケー
ス３の外部にある制御回路（図示せず）に供給する。
気軸受制御装置の主要部が収納される。４は円柱状の変
位センサであり、渦電流を検出する検出器等によって構
成され、回転軸１との距離Ｘを検出する。５はその一端
が変位センサ４の内部に組み込まれている同軸ケーブル
であり、ケース３の内周面に形成された溝（図示せず）
に沿って配設され、変位センサ４からの検出信号をケー
ス３の外部にある制御回路（図示せず）に供給する。
【０００５】６は貫通孔であり、ケース３の側壁に沿っ
て形成され、ここから同軸ケーブル５がケース３の外部
に引き出される。７はローター２と同心で弓形をした電
磁石であり、ローター２と空隙を介し近接して配設さ
れ、電磁石７の電磁力によって、ローター２は変位され
る。また、８は円環平板状の取付部材であり（図６参
照）、その内周側面四等分位置には、円柱状の凹部８ａ
が半径方向に向かって形成されている。そして、この凹
部８ａに変位センサ４が組み込まれる。なお、図５，６
中の９は位置決めピンであり、磁気軸受制御装置を取り
付ける際の位置決めに用いられる。
て形成され、ここから同軸ケーブル５がケース３の外部
に引き出される。７はローター２と同心で弓形をした電
磁石であり、ローター２と空隙を介し近接して配設さ
れ、電磁石７の電磁力によって、ローター２は変位され
る。また、８は円環平板状の取付部材であり（図６参
照）、その内周側面四等分位置には、円柱状の凹部８ａ
が半径方向に向かって形成されている。そして、この凹
部８ａに変位センサ４が組み込まれる。なお、図５，６
中の９は位置決めピンであり、磁気軸受制御装置を取り
付ける際の位置決めに用いられる。
【０００６】この磁気軸受制御装置において、変位セン
サ４の検出信号が、貫通孔６をから引き出された同軸ケ
ーブル５を介して制御回路に供給されると、制御回路
は、変位センサ４で検出された回転軸１との距離Ｘ（図
５参照）を一定とするように、電磁石７の電磁力を制御
し、ローター２を変位させて、回転軸１のラジアル方向
の変位を補正する。
サ４の検出信号が、貫通孔６をから引き出された同軸ケ
ーブル５を介して制御回路に供給されると、制御回路
は、変位センサ４で検出された回転軸１との距離Ｘ（図
５参照）を一定とするように、電磁石７の電磁力を制御
し、ローター２を変位させて、回転軸１のラジアル方向
の変位を補正する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うに変位センサ４と同軸ケーブル５とは一体として形成
されていたため、磁気軸受制御装置の組立は、変位セン
サ４が組み込まれた取付部材８をケース３の所定位置に
組み込み、同軸ケーブル５をケース３の内周面に形成さ
れた溝に沿ってはわせ、その後、同軸ケーブル５をケー
ス３の内側から貫通孔６を通して引き出す必要があっ
た。
うに変位センサ４と同軸ケーブル５とは一体として形成
されていたため、磁気軸受制御装置の組立は、変位セン
サ４が組み込まれた取付部材８をケース３の所定位置に
組み込み、同軸ケーブル５をケース３の内周面に形成さ
れた溝に沿ってはわせ、その後、同軸ケーブル５をケー
ス３の内側から貫通孔６を通して引き出す必要があっ
た。
【０００８】このため、組立の作業効率が悪く、また、
組立の際に同軸ケーブル５を傷つける虞があった。ま
た、傷等によって、同軸ケーブル５に不良が発生した場
合には、同軸ケーブル５を変位センサ４とともに交換す
る必要があるため、ケース３を開けてローター２を外
し、その後に同軸ケーブル５と変位センサ４とを同時に
交換しなければならなかった。本発明は、上述した事情
に鑑みてなされたものであり、組立の作業効率を改善
し、同軸ケーブル５の損傷を防止し、さらに、同軸ケー
ブル５の交換が容易な磁気軸受センサ及び磁気軸受制御
装置を提供することを目的とする。
組立の際に同軸ケーブル５を傷つける虞があった。ま
た、傷等によって、同軸ケーブル５に不良が発生した場
合には、同軸ケーブル５を変位センサ４とともに交換す
る必要があるため、ケース３を開けてローター２を外
し、その後に同軸ケーブル５と変位センサ４とを同時に
交換しなければならなかった。本発明は、上述した事情
に鑑みてなされたものであり、組立の作業効率を改善
し、同軸ケーブル５の損傷を防止し、さらに、同軸ケー
ブル５の交換が容易な磁気軸受センサ及び磁気軸受制御
装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の構成にあっては、磁気軸受によって支
持された回転軸の変位を検出する磁気軸受センサにおい
て、この回転軸の変位を検出して検出信号を生成するセ
ンサ部と、この検出信号を外部に出力するコネクタ部と
を具備することを特徴とする。
請求項１に記載の構成にあっては、磁気軸受によって支
持された回転軸の変位を検出する磁気軸受センサにおい
て、この回転軸の変位を検出して検出信号を生成するセ
ンサ部と、この検出信号を外部に出力するコネクタ部と
を具備することを特徴とする。
【００１０】また、請求項２に記載の構成にあっては、
磁気軸受センサが所定位置に配設されるケースを有し、
前記回転軸の変位を制御する磁気軸受制御装置であっ
て、前記磁気軸受センサの所定位置に対応し、前記ケー
スを貫通する貫通孔を具備することを特徴とする。
磁気軸受センサが所定位置に配設されるケースを有し、
前記回転軸の変位を制御する磁気軸受制御装置であっ
て、前記磁気軸受センサの所定位置に対応し、前記ケー
スを貫通する貫通孔を具備することを特徴とする。
【００１１】
【作用】請求項１に記載の構成にあっては、磁気軸受セ
ンサは、磁気軸受によって支持された回転軸の変位を検
出する。そして、センサ部が、この回転軸の変位を検出
して検出信号を生成すると、コネクタ部は、この検出信
号を外部に出力する。したがって、検出信号を伝送する
ケーブルは、磁気軸受センサと分離して取り扱われる。
ンサは、磁気軸受によって支持された回転軸の変位を検
出する。そして、センサ部が、この回転軸の変位を検出
して検出信号を生成すると、コネクタ部は、この検出信
号を外部に出力する。したがって、検出信号を伝送する
ケーブルは、磁気軸受センサと分離して取り扱われる。
【００１２】また、請求項２に記載の構成にあっては、
磁気軸受センサは、ケース中の所定位置に配設される。
また磁気軸受制御装置は、この磁気軸受センサの所定位
置に対応し、前記ケースを貫通する貫通孔を具備するか
ら、検出信号を伝送するケーブルは、ケース内部を引き
回されることがない。このため、磁気軸受制御装置の組
立の作業効率が向上し、また、組立時にケーブルを損傷
することもなく、さらに、ケーブルの交換も容易にな
る。
磁気軸受センサは、ケース中の所定位置に配設される。
また磁気軸受制御装置は、この磁気軸受センサの所定位
置に対応し、前記ケースを貫通する貫通孔を具備するか
ら、検出信号を伝送するケーブルは、ケース内部を引き
回されることがない。このため、磁気軸受制御装置の組
立の作業効率が向上し、また、組立時にケーブルを損傷
することもなく、さらに、ケーブルの交換も容易にな
る。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例に
ついて説明する。図１は本発明の一実施例である磁気軸
受制御装置の主要部の断面図、図２はその斜視図、図３
はその平面図であり、また、図４はその正面図である。
なお、図１〜４において図５〜７の各部に対応する部分
には同一の符号を付け、その説明を省略する。
ついて説明する。図１は本発明の一実施例である磁気軸
受制御装置の主要部の断面図、図２はその斜視図、図３
はその平面図であり、また、図４はその正面図である。
なお、図１〜４において図５〜７の各部に対応する部分
には同一の符号を付け、その説明を省略する。
【００１４】図１において、１０，…１０は複数の変位
センサ４に各々接続される複数の同軸コネクタであり、
円筒状のケース１１の内周面よりも内側に取り付けられ
ている。また、ケース１１は、同軸コネクタ１０，…１
０を露出させるように形成された貫通孔１２，…１２を
有する点で、従来のケース３と相違する。また、１３は
円環平板状の取付部材であり、その外周側面には円筒状
の凹部１３ｂがその周回の四等分位置に４個形成されて
おり、また、その内周側面にも円筒状の凹部１３ａがそ
の周回の四等分位置に４個形成されている。そして、凹
部１３ｂには同軸コネクタ１０，…１０が組み込まれ、
一方、凹部１３ａには変位センサ４が組み込まれる。
センサ４に各々接続される複数の同軸コネクタであり、
円筒状のケース１１の内周面よりも内側に取り付けられ
ている。また、ケース１１は、同軸コネクタ１０，…１
０を露出させるように形成された貫通孔１２，…１２を
有する点で、従来のケース３と相違する。また、１３は
円環平板状の取付部材であり、その外周側面には円筒状
の凹部１３ｂがその周回の四等分位置に４個形成されて
おり、また、その内周側面にも円筒状の凹部１３ａがそ
の周回の四等分位置に４個形成されている。そして、凹
部１３ｂには同軸コネクタ１０，…１０が組み込まれ、
一方、凹部１３ａには変位センサ４が組み込まれる。
【００１５】ここで、取付部材１３は、図２に示すよう
に、その凹部１３ｂが貫通孔１２と対応するようにケー
ス１１に組み込まれる。このため、凹部１３ｂに組み込
まれる同軸コネクタ１０，…１０に、貫通孔１２，…１
２を通して同軸ケーブル５を装着することができる。そ
して、変位センサ４からの検出信号は、同軸コネクタ１
０，…１０に接続された同軸ケーブル５を介して制御回
路（図示せず）に供給される。この際、同軸ケーブル５
は、ケース１１の内部から貫通孔１２，…１２を介して
外部に直接引き出されるから、同軸ケーブル５は、ケー
ス１１の内部で引き回されることはない。
に、その凹部１３ｂが貫通孔１２と対応するようにケー
ス１１に組み込まれる。このため、凹部１３ｂに組み込
まれる同軸コネクタ１０，…１０に、貫通孔１２，…１
２を通して同軸ケーブル５を装着することができる。そ
して、変位センサ４からの検出信号は、同軸コネクタ１
０，…１０に接続された同軸ケーブル５を介して制御回
路（図示せず）に供給される。この際、同軸ケーブル５
は、ケース１１の内部から貫通孔１２，…１２を介して
外部に直接引き出されるから、同軸ケーブル５は、ケー
ス１１の内部で引き回されることはない。
【００１６】したがって、磁気軸受制御装置の組立に際
し、同軸ケーブル５をケース１１の内周面に沿ってはわ
せる必要がなくなるので、その作業効率が向上する。ま
た、この組立の際に同軸ケーブル５が損傷することがな
いから、磁気軸受制御装置の信頼性が向上する。また、
同軸ケーブル５に不良が発生した場合に、同軸ケーブル
５を同軸コネクタ１０から引き抜くだけで同軸ケーブル
５の交換を行うことができるから、ケーブル交換の作業
性が向上するとともに、変位センサ４を無駄にすること
もない。また、変位センサ４の感度のバラツキを補正し
て制御に用いる場合にあっては、同軸ケーブル５ととも
に変位センサ４を交換すると、感度の補正を再度行う必
要があったが、このような作業も不要にできる。
し、同軸ケーブル５をケース１１の内周面に沿ってはわ
せる必要がなくなるので、その作業効率が向上する。ま
た、この組立の際に同軸ケーブル５が損傷することがな
いから、磁気軸受制御装置の信頼性が向上する。また、
同軸ケーブル５に不良が発生した場合に、同軸ケーブル
５を同軸コネクタ１０から引き抜くだけで同軸ケーブル
５の交換を行うことができるから、ケーブル交換の作業
性が向上するとともに、変位センサ４を無駄にすること
もない。また、変位センサ４の感度のバラツキを補正し
て制御に用いる場合にあっては、同軸ケーブル５ととも
に変位センサ４を交換すると、感度の補正を再度行う必
要があったが、このような作業も不要にできる。
【００１７】さらに、ケース１１の内面に同軸ケーブル
５をはわせるための溝を設ける必要がないので、ケース
１１自体を簡易にできる。また、ケース１１の内部を引
き回さないので、モータの回転に伴う雑音が同軸ケーブ
ル５に混入することを防止できる。
５をはわせるための溝を設ける必要がないので、ケース
１１自体を簡易にできる。また、ケース１１の内部を引
き回さないので、モータの回転に伴う雑音が同軸ケーブ
ル５に混入することを防止できる。
【００１８】なお、上述した実施例において、同軸コネ
クタ１０と変位センサ４とを予め一体として形成し、こ
れを貫通孔１２に対応するケース１１内の所定位置に組
み込むようにしてもよい。また、上述した実施例におい
て、変位センサ４は渦電流に基づいて、回転軸１との距
離を検出したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、周知の距離センサを用いてもよい。
クタ１０と変位センサ４とを予め一体として形成し、こ
れを貫通孔１２に対応するケース１１内の所定位置に組
み込むようにしてもよい。また、上述した実施例におい
て、変位センサ４は渦電流に基づいて、回転軸１との距
離を検出したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、周知の距離センサを用いてもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の構成に
よれば、磁気軸受制御装置の組立に際し、ケーブルをケ
ースの内面の溝に沿ってはわせる必要がなくなるので、
その作業効率が向上する。また、この組立の際にケーブ
ルが損傷することがないから、磁気軸受制御装置の信頼
性が向上する。また、ケーブルに不良が発生した場合
に、ケーブルをコネクタ部から引き抜くだけでケーブル
の交換を行うことができるから、交換の作業性を向上で
きるとともに、センサ部を無駄にするこもない。
よれば、磁気軸受制御装置の組立に際し、ケーブルをケ
ースの内面の溝に沿ってはわせる必要がなくなるので、
その作業効率が向上する。また、この組立の際にケーブ
ルが損傷することがないから、磁気軸受制御装置の信頼
性が向上する。また、ケーブルに不良が発生した場合
に、ケーブルをコネクタ部から引き抜くだけでケーブル
の交換を行うことができるから、交換の作業性を向上で
きるとともに、センサ部を無駄にするこもない。
【図１】 本発明の一実施例である磁気軸受制御装置の
主要部の断面図である。
主要部の断面図である。
【図２】 同磁気軸受制御装置の斜視図である。
【図３】 同磁気軸受制御装置の平面図である。
【図４】 同磁気軸受制御装置の正面図である。
【図５】 従来の磁気軸受制御装置の主要部の断面図で
ある。
ある。
【図６】 同磁気軸受制御装置の平面図である。
【図７】 同磁気軸受制御装置の正面図である。
１ 回転軸 ４ 変位センサ（センサ部） １０ 同軸コネクタ（コネクタ部） １１ ケース １２ 貫通孔
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気軸受によって支持された回転軸の変
位を検出する磁気軸受センサにおいて、 この回転軸の変位を検出して検出信号を生成するセンサ
部と、 この検出信号を外部に出力するコネクタ部とを具備する
ことを特徴とする磁気軸受センサ。 - 【請求項２】 請求項１に記載した磁気軸受センサが所
定位置に配設されるケースを有し、前記回転軸の変位を
制御する磁気軸受制御装置であって、 前記磁気軸受センサの所定位置に対応し、前記ケースを
貫通する貫通孔を具備することを特徴とする磁気軸受制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16761595A JPH0914267A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | 磁気軸受センサ及び磁気軸受制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16761595A JPH0914267A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | 磁気軸受センサ及び磁気軸受制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0914267A true JPH0914267A (ja) | 1997-01-14 |
Family
ID=15853074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16761595A Pending JPH0914267A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | 磁気軸受センサ及び磁気軸受制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0914267A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011128048A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Keyence Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド及びそのセンサヘッドを備える光学式変位センサ |
| JP2012140957A (ja) * | 2010-12-30 | 2012-07-26 | Nuovo Pignone Spa | ターボ機械用コンジット及びその方法 |
| CN103673946A (zh) * | 2013-12-03 | 2014-03-26 | 芜湖普威技研有限公司 | 一种后轴的检测装置 |
| JP2019168446A (ja) * | 2018-03-23 | 2019-10-03 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | ロータに対するガスタービンケーシングの偏心を測定するためのシステムおよび方法 |
-
1995
- 1995-07-03 JP JP16761595A patent/JPH0914267A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011128048A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Keyence Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド及びそのセンサヘッドを備える光学式変位センサ |
| JP2012140957A (ja) * | 2010-12-30 | 2012-07-26 | Nuovo Pignone Spa | ターボ機械用コンジット及びその方法 |
| CN103673946A (zh) * | 2013-12-03 | 2014-03-26 | 芜湖普威技研有限公司 | 一种后轴的检测装置 |
| JP2019168446A (ja) * | 2018-03-23 | 2019-10-03 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | ロータに対するガスタービンケーシングの偏心を測定するためのシステムおよび方法 |
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