JP3689439B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 128
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、工作機械の主軸等に用いられる磁気軸受装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、超高速回転する工作機械の主軸には、図3に示す様な構成の磁気軸受装置が用いられていた。同図において軸50は回転軸であり、軸端50aに工具(図示せず)等が取り付けられる。本体51には、軸端50a側から、玉軸受52、軸50の軸方向変位を検出するアキシャル変位センサ53、軸50の径方向変位を検出するラジアル変位センサ54、軸50を径方向に非接触で支持するラジアル磁気軸受55、モータ56、ラジアル磁気軸受55、ラジアル変位センサ54、軸50を軸方向に非接触で支持するアキシャル磁気軸受57、玉軸受52が取り付けられている。
【0003】
通常、ラジアル変位センサとアキシャル変位センサは、軸50の軸方向に互いに距離を離して配置されていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このため、ラジアル変位センサとアキシャル変位センサのための設置空間が、軸方向に長くなり、これに伴って、軸50の軸長が長くなっていた。その結果、軸の固有振動数を高くできないので、超高速回転が不可能であった。
一方、軸長の限られた軸50に対して、磁気軸受の吸引面積を大きくすることができないため、軸受の負荷容量を大きくすることができなかった。このため、主軸の負荷容量を大きくできなかった。
【0005】
そこで、本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、軸受の負荷容量をより大きくでき、より高速回転が可能な磁気軸受装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、請求項1に係る磁気軸受装置は、回転軸の半径方向の変位量を検出するラジアル変位センサの出力に基づきラジアル磁気軸受を制御すると共に、回転軸の軸方向の変位量を検出するアキシャル変位センサの出力に基づきアキシャル磁気軸受を制御し、回転軸を磁力により半径方向及び軸方向に非接触で支持する磁気軸受装置において、前記回転軸の端部には、軸線に垂直な第1の面と軸線を中心とする円周面からなる第2の面とにより構成される段付き部が設けられ、前記ラジアル変位センサは、前記第2の面に対向すると共に、前記アキシャル変位センサは、前記第1の面に対向し、前記ラジアル変位センサと前記アキシャル変位センサとは、互いの少なくとも一部分同士が前記回転軸の軸方向に重なり合うように配置され、且つ前記回転軸の軸線を中心とする同一円周を共有する状態で交互に各4個が円周等配に配置されて、センサベースに取り付けられており、前記4個のアキシャル変位センサは、出力に関して同等の温度依存特性を有し、前記4個のアキシャル変位センサのうちの、軸線を挟んで互いに対向する一対のアキシャル変位センサは、変位の検出を回避した状態で取り付けられた温度補償センサを構成していることを特徴とするものである。
【0007】
また、請求項2に係る磁気軸受装置は、請求項1記載の磁気軸受装置において、前記回転軸は、大径軸と、大径軸の端部から同軸上に延設された小径軸とを含み、これら大径軸と小径軸との間に、前記段付き部が設けられており、前記第1の面は大径軸の端面を含むと共に、前記第2の面は小径軸の外周面を含むことを特徴とするものである。
【0008】
また、請求項3に係る磁気軸受装置は、請求項2記載の磁気軸受装置において、前記センサベースは、小径軸の周囲を取り囲む環状をなし、前記ラジアル変位センサ、前記アキシャル変位センサおよびセンサベースは、磁気軸受装置本体から着脱自在な一体的なユニットを構成することを特徴とするものである。
また、請求項4に係る磁気軸受装置は、請求項2または3に記載の磁気軸受装置において、前記回転軸が停止するときに回転軸の小径軸を受け止めるタッチダウン軸受を備えることを特徴とする。
【0009】
【作用】
上記請求項1に係る発明の構成によれば、ラジアル変位センサとアキシャル変位センサは互いの少なくとも一部分同士が前記回転軸の軸方向に重なり合うように配置されていることにより、軸方向に距離を離して配置される場合に比べて、軸方向に場所を取らない。よって、回転軸の所要長さを短くできる。この結果、回転軸の固有振動数を高くでき、高速回転に対応できる。また、生じた軸方向の寸法の余裕を磁気軸受の吸引面積に用いることにより、軸受の負荷容量を増すことができる。また、アキシャル変位センサをラジアル磁気軸受に近づけることができ、回転軸に撓み及び傾きが生じた場合に、その影響によるアキシャル変位センサの検出信号の誤差を小さくできる。
【0010】
これに加えて、上記の様に軸方向に重なり合ったラジアル変位センサ及びアキシャル変位センサを、同一円周を共有する状態で配置したので、センサの取付けスペースを集約化することができた。この結果、センサの取付けスペースをコンパクトにできる。また、センサ及びセンサの取付け部分を一体的なユニットとして構成することも可能となる。
【0011】
また、一部のアキシャル変位センサを温度補償センサとして構成していることにより、この温度補償センサも上記集約化されたスペースの中に配置されることにより、センサの取付けスペースのコンパクト化に寄与できる。
上記請求項3に係る発明の構成によれば、ユニットを組み込むことにより、センサの取付作業を簡単にすることができる。
【0012】
【実施例】
以下実施例を示す添付図面によって詳細に説明する。
図1は本発明の磁気軸受装置の一実施例の概略構成を示す断面図である。図2は図1におけるA─A線に沿う断面図である。ただし、図1は図2のB─C─D線に沿う断面を示している。図1において、1は本体であり、工作機械の主軸となりその内部を挿通する軸2、モータ7等の構成部品を収容し、単独で又は工作機械のハウジング等の部材と一体に形成されて用いられる機枠である。
【0013】
軸2は回動可能に設けられ、モータ7により回転駆動される。軸2の一方の軸端2aには、加工工具(図示せず)等が取り付けられる。軸2の周囲には軸端2a側より、玉軸受3、センサベース12、ラジアル磁気軸受6、モータ7、ラジアル磁気軸受6、ラジアル変位センサ8、アキシャル磁気軸受9並びに玉軸受3の各機器が配設され、それぞれ本体1に固定される。センサベース12には、ラジアル変位センサ4b、4c(図1には4bのみ示してある)及びアキシャル変位センサ5b、5c(図1には5bのみ示してある)が、軸2の軸線方向に略同位置で取り付けられている。
【0014】
軸2は、大径軸2eの両端部の同軸上にそれぞれ小径軸2c、2dを一体に形成した2段軸からなる。大径軸2eと一方の小径軸2dとの間には、段付き部2deが設けられている。段付き部2deは、上記小径軸2dの円周面と大径軸2eの端面2bとにより構成される。また、大径軸2eと他方の小径軸2cとの境界部分には、円板状のフランジ部2fが形成されている。軸2は、アキシャル磁気軸受9及びラジアル磁気軸受6の磁力により非接触で支持される。
【0015】
図2を参照して、ラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cは、軸2の軸線を中心とする同一円周を共有する状態で、軸2の小径軸2dの周囲に交互に等配に配置されている。センサベース12は、金属等の硬質部材からなる環状の板材であり、その一方の面にラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cが固定されている。センサベース12、ラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cは、1つのユニットとして構成されている。ラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cが、軸2に対して所定の位置関係となるように、センサベース12は本体1に固定される。
【0016】
ラジアル変位センサ4b、4cは、インダクタンス型変位センサからなり、その検出部4aを、上記小径軸2dの円周面に向けて、同一円周上に4個が等配に設置されている。軸2を挟んだ一対のラジアル変位センサ4bは、軸2の径方向(図2の矢印X方向)の変位を、非接触で測定する。同様に一対のラジアル変位センサ4cは、矢印X方向と直交する軸2の径方向(図2の矢印Y方向)の変位を測定する。
【0017】
アキシャル変位センサ5b、5cは、渦電流型フェライトコア変位センサからなる。軸2を挟んだ一対のアキシャル変位センサ5bは、センサの検出部5aが軸2の段付き部2deの端面2bに面して設けられ、軸2の軸方向の変位を非接触で測定する。また、他の一対のアキシャル変位センサ5cは、その検出面をセンサベース12に向けて取り付けられ、軸2の変位は検出しない。アキシャル変位センサ5cは、温度補償センサとして用いられている。すなわち、変位を検出しない一対のアキシャル変位センサ5cは、アキシャル変位センサ5bと同様に温度変化の影響を受ける。よって、一対のアキシャル変位センサ5bの出力信号から一対のアキシャル変位センサ5cの出力信号を減じることにより、一対のアキシャル変位センサ5bの出力信号が温度変化に対して補正される。
【0018】
ラジアル変位センサ8は、ラジアル変位センサ4b、4cと同様に4個が本体に取り付けられ、軸2の径方向の変位を検出する。玉軸受3は、軸2が停止するときに軸2を受け止める、いわゆるタッチダウン軸受である。アキシャル磁気軸受9は、一対の電磁石9a及び9bからなり、軸2に設けられたフランジ部2fを所定の間隔を開けて挟み込む様に一対が配置される。
【0019】
アキシャル変位センサ5b、5c、ラジアル変位センサ4b、4c及びラジアル変位センサ8の出力信号は、制御部(図示せず)で所定の信号処理が行なわれ、軸2の径方向及び軸方向の変位が検出される。このとき、温度変化に対してアキシャル変位センサ5bの出力信号を補正する。その結果に基づき、制御部は、軸2の軸方向及び径方向の位置を所定の状態に保つように、ラジアル磁気軸受6及びアキシャル磁気軸受9を制御、駆動する。
【0020】
上記実施例においては、アキシャル変位センサ5b、5cとラジアル変位センサ4b、4cが、軸2の軸方向に重なり合うように配置されているので、センサの設置スペースが軸方向に場所を取らない。これにより、軸2の軸方向の寸法を短くできた。この結果、軸2の固有振動数を高くでき、より高速回転が可能となる。また、従来と同じ軸長さであっても、短くなった寸法を磁気軸受の吸引面積の増加の為に用いることで、軸受の負荷容量を増すことができる。
【0021】
ところで、軸2に撓みや傾きが生ずると、軸2の各部は、軸方向及び径方向に変位する。アキシャル変位センサ5bによる検出変位には、上記傾き等による変位が含まれており、この部分が誤差となっている。仮に、アキシャル変位センサ5bを、支持点であるラジアル磁気軸受6から遠ざけて配置した場合には、上記傾き等による変位が大きくなるので、上記誤差が大きくなり、測定精度が低下する。
【0022】
これに対して本実施例では、従来と比較してアキシャル変位センサ5bをラジアル磁気軸受6に近づけて配置できたので、軸2の傾き等の影響によるアキシャル変位センサ5bの検出誤差を小さくできる。従って、より高精度な軸方向の制御が可能となる。また、アキシャル変位センサ5bが検出する変位量がそれだけ少なくなり、よりダイナミックレンジの低いセンサの使用が可能となる。
【0023】
また、上記の様に軸方向に重なり合ったラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cを、同一円周を共有する状態で配置したので、センサの取付けスペースを集約化することができた。この結果、センサ及びセンサベース12を、本体1に対して着脱自在な一体的なユニットとして構成することができた。従来は、各センサを個別に本体1内の狭い空間内で作業して、取り付けていたので、取付作業が非常に面倒であった。これに対して本実施例では、予め組み立てた上記ユニットを、本体1内に組み込むことにより、センサの本体1への取付作業を非常に簡単にすることができる。また本体取付け前に、センサをユニットとして予め検査することもできる。
【0024】
また、アキシャル変位センサ5cを温度補償センサとして構成し、この温度補償センサも上記集約化されたスペースの中に配置したので、センサの取付けスペースのコンパクト化により一層寄与できた。またアキシャル変位センサ5b、5c及びラジアル変位センサ4b、4cの各センサ間の間隔を等しくしたので、個々のセンサが他のセンサから受ける影響を等しくできる。よってセンサの出力に所定の簡単な補正を施すこと、例えば、一対の同種のセンサの出力信号の差分を取ることにより、上記影響を排除できる。
【0025】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、種々の変更を施すことができる。例えば、上記の実施例では、アキシャル変位センサ5b、5cを軸2の工具を装着する側の軸端2aにだけ設けたが、軸2の両端にそれぞれ設けても良い。また、軸の工具を装着する側でなく、反対側の軸端のみに設けても良いし、軸の中間でも構わない。両端に設ければ、本発明の効果が倍加するものである。また、取付け位置により本発明の効果が損なわれるものでない。
【0026】
またアキシャル変位センサ5b、アキシャル変位センサ5c、ラジアル変位センサ4b及びラジアル変位センサ4cは、それぞれ2個一対のセンサから構成されていたが、この数はより多くとも、また少なくとも構わない。またラジアル変位センサ8は、4つのセンサから構成されていたが、この数はより多くとも、また少なくとも構わない。より多ければ検出精度を向上でき、より少なければ構造が簡単になり、コストの低減が図れる。
【0027】
また上記の実施例では、アキシャル変位センサ5bが並ぶ方向と、アキシャル変位センサ5cが並ぶ方向とが直交するように、上記の2対のセンサは配置されたが、それには限らない。上記の並ぶ方向が90度以外の角度で交差するように配置されてもよい。アキシャル変位センサ5bと温度補償センサとしてのアキシャル変位センサ5cが接近すれば、温度変化もより近い状態となり、より補償精度が高くできる。
【0028】
また上記の実施例では、ラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cは、同一円周を共有する状態で配置されたが、同一円周を共有しなくとも構わない。
また上記の実施例では、ラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cは、金属等の硬質部材からなるセンサベース12に取り付けられ、センサ及びセンサベース12を一体的なユニットとして本体1に固定された。この他に、ラジアル変位センサ4b、4c及びアキシャル変位センサ5b、5cが所定の位置関係に配置された状態で樹脂により一体にモールドされていてもよい。この場合には、一体モールドされた樹脂がセンサベース12に相当する。この様にすれば、ユニットとして扱いやすくなる。また、振動等による、取り付けたセンサの脱落及び取り付け位置のずれが生じず、磁気軸受装置の信頼性が向上する。
【0029】
また上記の実施例では、センサベース12は環状の板材としたが、扇形の複数の部材に分割されて、それらを本体1に固定するようにしてもよい。この場合には、センサとセンサベース12からなるユニットの本体1への取り付け、取り外しが容易になり、磁気軸受装置としての整備性が向上する。
また上記の実施例では、ラジアル変位センサ4b、4c及び8はインダクタンス型変位センサを、アキシャル変位センサ5b、5cは渦電流型フェライトコア変位センサを用いたが、安価で安定して磁気軸受装置に用いられるからであり、他の方式でも構わない。
【0030】
また上記の実施例では、アキシャル変位センサ5b、5cは同じセンサを用いたが、同様の温度に対する出力特性を持つものであればアキシャル変位センサ5bと5cは他の種類でも構わない。
その他、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【0031】
【発明の効果】
請求項1に係る発明によれば、ラジアル変位センサとアキシャル変位センサは、従来に比べて、軸方向に場所を取らない。よって、回転軸の所要長さを短くできる。この結果、軸の固有振動数を高くでき、高速回転が可能になる。また、生じた軸方向の寸法の余裕を磁気軸受の吸引面積に用いることで、軸受の負荷容量を増すことができる。また、回転軸の撓み及び傾きの影響によるアキシャル変位センサの検出信号の誤差を小さくでき、高精度な軸方向の制御ができる。
【0032】
これに加えて、ラジアル変位センサ及びアキシャル変位センサの取付けスペースを集約化できた。また、センサ及びセンサの取付け部分を一体的なユニットとして構成することも可能となる。また、温度補償センサも上記集約化されたスペースの中に配置でき、センサの取付けスペースのコンパクト化に寄与できる。
請求項3に係る発明によれば、ユニットを組み込むことにより、センサの取付作業を簡単にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る磁気軸受装置の概要を示す断面側面図である。
【図2】図1の断面Aにおける矢視断面図である。
【図3】従来の磁気軸受装置の概要を示す断面側面図である。
【符号の説明】
1 本体
2 軸(回転軸)
4b、4c ラジアル変位センサ
5b アキシャル変位センサ
5c 温度補償センサとして設けたアキシャル変位センサ
6 ラジアル磁気軸受
9 アキシャル磁気軸受
12 センサベース
Claims (4)
- 回転軸の半径方向の変位量を検出するラジアル変位センサの出力に基づきラジアル磁気軸受を制御すると共に、回転軸の軸方向の変位量を検出するアキシャル変位センサの出力に基づきアキシャル磁気軸受を制御し、回転軸を磁力により半径方向及び軸方向に非接触で支持する磁気軸受装置において、
前記回転軸の端部には、軸線に垂直な第1の面と軸線を中心とする円周面からなる第2の面とにより構成される段付き部が設けられ、
前記ラジアル変位センサは、前記第2の面に対向すると共に、前記アキシャル変位センサは、前記第1の面に対向し、
前記ラジアル変位センサと前記アキシャル変位センサとは、互いの少なくとも一部分同士が前記回転軸の軸方向に重なり合うように配置され、且つ前記回転軸の軸線を中心とする同一円周を共有する状態で交互に各4個が円周等配に配置されて、センサベースに取り付けられており、
前記4個のアキシャル変位センサは、出力に関して同等の温度依存特性を有し、前記4個のアキシャル変位センサのうちの、軸線を挟んで互いに対向する一対のアキシャル変位センサは、変位の検出を回避した状態で取り付けられた温度補償センサを構成していることを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1記載の磁気軸受装置において、
前記回転軸は、大径軸と、大径軸の端部から同軸上に延設された小径軸とを含み、これら大径軸と小径軸との間に、前記段付き部が設けられており、
前記第1の面は大径軸の端面を含むと共に、前記第2の面は小径軸の外周面を含むことを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項2記載の磁気軸受装置において、
前記センサベースは、小径軸の周囲を取り囲む環状をなし、
前記ラジアル変位センサ、前記アキシャル変位センサおよびセンサベースは、磁気軸受装置本体から着脱自在な一体的なユニットを構成することを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項2または3に記載の磁気軸受装置において、
前記回転軸が停止するときに回転軸の小径軸を受け止めるタッチダウン軸受を備えることを特徴とする磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18753094A JP3689439B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18753094A JP3689439B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0854020A JPH0854020A (ja) | 1996-02-27 |
JP3689439B2 true JP3689439B2 (ja) | 2005-08-31 |
Family
ID=16207703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18753094A Expired - Fee Related JP3689439B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3689439B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3349679B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2002-11-25 | ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社 | 磁気軸受装置及びこれを備えた真空ポンプ |
JP2003106333A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Ntn Corp | 磁気軸受装置 |
US6957496B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-10-25 | Faro Technologies, Inc. | Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine |
US6973734B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-12-13 | Faro Technologies, Inc. | Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine |
CN103486134B (zh) * | 2013-09-27 | 2015-10-28 | 江苏大学 | 一种交流混合磁轴承解耦控制器的构造方法 |
CN109563876B (zh) * | 2016-08-18 | 2021-10-15 | 大金工业株式会社 | 磁轴承装置及使用了该磁轴承装置的流体机械系统 |
TWM552594U (zh) * | 2017-07-04 | 2017-12-01 | Buffalo Machinery Company Ltd | 軸承監測裝置 |
-
1994
- 1994-08-09 JP JP18753094A patent/JP3689439B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0854020A (ja) | 1996-02-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040804 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050524 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080617 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090617 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100617 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |