JPH09139331A - 処理レシピのテンプレート機能を有する基板処理装置 - Google Patents
処理レシピのテンプレート機能を有する基板処理装置Info
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- JPH09139331A JPH09139331A JP32212395A JP32212395A JPH09139331A JP H09139331 A JPH09139331 A JP H09139331A JP 32212395 A JP32212395 A JP 32212395A JP 32212395 A JP32212395 A JP 32212395A JP H09139331 A JPH09139331 A JP H09139331A
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Abstract
板処理装置を提供する。 【解決手段】 基板を複数の処理ユニットに搬送する順
序と、各処理ユニットにおける処理条件とを含む処理レ
シピを編集する際に、各処理ユニットにおける適切な処
理条件として予め格納されているテンプレートデータを
読出し、処理レシピの処理条件として設定する。
Description
って基板を処理する基板処理装置に関する。
(以下、基板とする)を複数の処理ユニットで処理する
基板処理装置においては、各処理ユニットに基板を搬送
する順序と、各処理ユニットにおける処理条件とを規定
する処理レシピを設定する必要がある。従来は、ユーザ
がキーボードを用いて処理レシピをすべて手作業で入力
していた。
正確に入力するには、各処理ユニットの特性や、入力方
法、入力する内容等を十分に理解しなければならず、か
なりの熟練と時間とを要する作業であった。
を解決するためになされたものであり、処理レシピを容
易に設定することのできる基板処理装置を提供すること
を目的とする。
述の課題の少なくとも一部を解決するため、第1の発明
では、基板処理装置であって、基板を処理するための複
数の処理ユニットと、基板を前記複数の処理ユニットに
搬送する順序と、各処理ユニットにおける処理条件とを
含む処理レシピを記憶するための第1の記憶手段と、前
記処理レシピを編集して前記第1の記憶手段に格納する
レシピ編集手段と、各処理ユニットにおける適切な処理
条件をテンプレートデータとして記憶する第2の記憶手
段と、前記第1の記憶手段に記憶された処理レシピに従
って前記複数の処理ユニットに基板の処理を実行させる
レシピ実行手段と、を備え、前記レシピ編集手段は、前
記第2の記憶手段から前記テンプレートデータを読み出
して処理レシピの処理条件として設定するテンプレート
設定手段を備える。
適切な処理条件をテンプレートデータとして予め第2の
記憶手段に記憶しておき、必要に応じてこのテンプレー
トデータを読出して処理レシピに設定するので、適切な
処理レシピを容易に設定することができる。
として設定されたテンプレートデータの少なくとも一部
を編集不可と設定する手段を備えることが好ましい。
定されている処理条件の中で、特に重要なものを編集不
可として設定することができるので、使用者が誤って重
要な処理条件を変更してしまうことを防止できる。
として設定されたテンプレートデータに、テンプレート
データであることを示すフラグを設定する手段を備える
ことが好ましい。
テンプレートデータかを容易に識別することができる。
記憶手段に記憶された処理レシピに前記フラグが設定さ
れている場合には、前記処理レシピによる基板の処理を
一定量実行した時点で処理の実行を中止する手段を備え
ることが好ましい。
理レシピに従って過度に多量の処理を実行することを防
止でき、また、その処理結果を確認することができる。
例に基づき説明する。図1は、この発明の第1実施例で
ある基板処理装置100の外観斜視図であり、図2はそ
の概念的平面配置図である。なお、図1と図2には、方
向を明確にするためにXYZ直角座標系の座標軸が示さ
れている。
枚の基板1(図2)を収容したカセット10を載置する
ためのインデクサIDが設けられている。インデクサI
Dの上にカセット10が載置されると、インデクサID
はカセット10から基板1を1枚ずつ取出して搬送ロボ
ットTHに受け渡す。そして、搬送ロボットTH、TC
が第1と第2の処理ユニット群110,120の各処理
ユニットに基板1を順次搬送すると、予め設定された処
理レシピに従って各処理ユニットが基板1の処理を実行
する。
0は、ほぼ並行な2列に配置されている。インデクサI
Dと反対側の端部には、搬送の途中で基板1をステッパ
等の外部装置と受け渡しするためのインタフェイス部
(基板載置台)IFBが設けられている。
を行なうための複数のホットプレートHP1,HP2
と、冷却処理を行なうための複数のクールプレートCP
1,CP2を含む複数の処理ユニットを有している。ま
た、第2の処理ユニット群120は、スピンコータ(回
転式レジスト塗布装置)SCと、2つのスピンデベロッ
パ(回転式現像装置)SD1,SD2とを有している。
0の間で基板1を受け渡しするために受け渡しユニット
列140(図1)が第1の処理ユニット群110の下段
に敷設されている。2台の搬送ロボットTC,THは、
第1の処理ユニット群110の両側に配置されており、
処理レシピに登録された搬送順序に従って、第1と第2
の処理ユニット群110,120の各処理ユニットに基
板1を順次搬送する。
を示すブロック図である。この装置には、装置全体の制
御を行なう主制御部51と、操作部52と、表示部53
と、外部記憶装置54と、各種のセンサ類55と、搬送
制御部56と、処理ユニット制御部57と、薬液制御部
58とを備えている。
に記憶されたソフトウェアプログラムを実行することに
よって、レシピ編集手段70と、テンプレート設定手段
72と、レシピ実行手段74としての機能を実現する。
これらの各手段の機能については後述する。これらの各
手段の機能を実現するソフトウェアプログラム(アプリ
ケーションプログラム)は、フロッピディスクやCD−
ROM等の携帯型記憶媒体(可搬型記憶媒体)に格納さ
れ、携帯型記憶媒体から基板処理装置100のメインメ
モリまたは外部記憶装置54に転送され、実行時にはメ
インメモリに記憶される。
御部51に指令情報などを与える入力手段(設定手段)
としての機能を有し、表示部53は、プロセスの進行状
況や異常の発生などを表示して使用者に伝達する機能を
有する。操作部52および表示部53は、図1に示すよ
うにインデクサIDの正面に設けられている。
タ60と、ユニット処理データ62と、テンプレートデ
ータ64とが格納されている。これらのデータの内容に
ついては後述する。
の処理状況を検知して主制御部51にその情報を与え
る。主制御部51は、センサ類55からの情報とフロー
レシピデータ60とに従って他の制御部56,57,5
8に指令を伝達し、各制御部56,57,58はその指
令に応じてそれぞれの制御を実行する。すなわち、搬送
制御部56は、主制御部51からの指令に基づいて搬送
ロボットTH,TCの駆動制御を行なう。処理ユニット
制御部57は、主制御部51からの指令に基づいて各処
理ユニットにおける駆動制御を行なう。また、薬液制御
部58は、薬液供給部(図示せず)からスピンコータS
Cへの薬液の供給制御を行なう。
手順を示すフローチャートである。ステップS1では、
使用者が操作部52を操作することによってレシピ編集
モードを選択する。以下ではまず、フローレシピデータ
60等の構成について説明する。
るフローレシピデータ60と、ユニット処理データ62
と、テンプレートデータ64の構成を示す説明図であ
る。図5(A)に示すように、フローレシピデータ60
は、テンプレートデータの有無を示すフラグと、フロー
番号と、レシピデータとを含んでいる。この実施例で
は、フローレシピデータ60に50種類の異なる処理フ
ローのフローレシピデータを登録することができる。
番号2のレシピデータの内容を示している。各レシピデ
ータは、基板を各処理ユニットに搬送する搬送順序と、
各処理ユニットにおけるユニット処理データ番号とを含
んでいる。図5(B)に示す搬送順序において、「I
D」はインデクサIDを、「SC」はスピンコータSC
を、「SD」はスピンデベロッパSDを、「HP」はホ
ットプレートHPをそれぞれ意味している。なお、イン
デクサIDは処理を行なわず、単に基板を保持しておく
だけなので、ユニット処理データ番号は登録されない。
処理データ62は、本発明における処理レシピに相当す
る。
ニット処理データ62を示している。図5(C)からも
理解できるように、各処理ユニットの処理データは、搬
送順序とは無関係に登録でき、各処理ユニット毎に99
種類の処理データを登録することができる。スピンコー
タSCの処理データは、例えば、スピン回転数、処理時
間、薬液の吐出時間等を含んでいる。スピンデベロッパ
SDの処理データは、スピン回転数、処理時間等を含ん
でいる。また、ホットプレートHPやクールプレートC
Pの処理データは、プレートの温度、処理時間等を含ん
でいる。すなわち、この実施例における「処理データ」
とは、各処理ユニットを制御するためのデータであり、
「(ユニット)処理条件」、「(ユニット)制御デー
タ」、「(ユニット)制御条件」等と呼ぶこともでき
る。同様に、以下で説明するテンプレートデータは、
「標準処理データ」「標準処理条件」、「標準制御デー
タ」、「標準制御条件」等と呼ぶことができる。
ンプレートデータ64を示している。テンプレートデー
タ64にも、ユニット処理データ62と同様に、搬送順
序とは関係無く、各処理ユニット毎に99種類の処理デ
ータ(以下、「テンプレート処理データ」とも呼ぶ)を
登録することができる。テンプレート処理データは、処
理結果に対する要求条件(薬液粘度、膜厚等)を各処理
ユニットで実現するために適切と考えられる標準的な処
理データである。このような処理結果の要求条件を実現
するための処理データは装置毎に異なるので、通常は、
適切な処理データを使用者が設定するのは困難である。
そこで、いくつか(図5(D)では50種類)の代表的
な要求条件に対しては、その適切な処理データをテンプ
レートデータ64に登録しておき、これをユニット処理
データ62にコピーすることによって、要求条件を満足
するための適切な処理データを容易に設定することが可
能となる。
64からユニット処理データ62にコピーされた処理デ
ータには、処理データ番号の前に文字「T」が付されて
いる。実際には、コピーされた処理データに、編集時に
制限がある場合、フラグが立てられる。
対象とするレシピのフロー番号を指定する。図5(A)
に示すように、この実施例では50種類のレシピを設定
することができるので、使用者がこの中の1つを選択す
る。
順序(図5(B))を設定する。なお、各フロー番号に
おける搬送順序を使用者が設定せずに、予め設定した搬
送順序を利用することも可能である。
トにおける処理データ番号(図5(B))を指定する。
この際、図5(C)に示すユニット処理データ62の内
容や図5(D)に示すテンプレートデータ64の内容を
表示部53に表示し、その処理データ番号を選択するよ
うにすることができる。
の要求条件を使用者が入力し、テンプレート設定手段7
4がその要求条件を達成するための適切な処理データが
テンプレートデータ64に登録されているか否かを検索
して、適切な処理データが存在する場合にはそれをユニ
ット処理データ62にコピーするようにしてもよい。こ
うすれば、使用者は要求条件を入力するだけで、適切な
処理データを容易に設定することが可能である。
ータにおいては、スピンコータSCに対して処理データ
番号1の処理データが設定され、スピンデベロッパSD
に対しては処理番号4の処理データが設定されている。
また、フロー番号2のレシピデータにおいては、スピン
コータSCに対して処理データ番号T2のテンプレート
処理データが設定され、スピンデベロッパSDに対して
は処理データ番号T3のテンプレート処理データが、ま
た、ホットプレートHPに対しては処理データ番号1の
処理データが設定されている。このように、1つのレシ
ピデータには、テンプレート処理データと通常の処理デ
ータとを混在させることができる。図5(A)に示すよ
うに、あるフロー番号のレシピデータに少なくとも1つ
のテンプレート処理データが含まれている場合には、そ
のレシピデータに対してテンプレートデータ有りのフラ
グ「T」が立てられる。
ニット処理データ62内の処理データを変更することも
可能である。また、コピーされたテンプレート処理デー
タに関しては、使用者が所望の属性(編集不可能、一部
編集可能、編集可能)を設定することができる。また、
コピーされたテンプレート処理データの中で特に重要な
データに対しては、必ず編集不可能となるようにテンプ
レート設定手段72が設定することも可能である。こう
すれば、スピンコータSCのスピン回転数や薬液の吐出
時間などのように、処理結果に特に重要な影響のある処
理データを変更できないようにすることによって、使用
者による設定ミスを防止することができる。なお、テン
プレートデータ64自体は、使用者が特定のパスワード
を入力しないと編集できない編集不可の属性に予め設定
されている。
と、ステップS5において、そのレシピデータにテンプ
レート処理データが含まれているか否かが判断される。
テンプレート処理データが含まれていない場合には、使
用者が設定した使用方法により実処理を行なう。一方、
レシピデータにテンプレート処理データが含まれている
場合には、レシピ実行手段74(図1)が、ステップS
6における試験的処理を実行する。この試験的処理は、
そのレシピデータによって、所望の要求条件を達成でき
るか否かを確認するための処理である。そこで、所定量
(例えば1カセット分)の基板について試験的処理を実
行すると、主制御部51はその処理を自動的に停止す
る。使用者は、処理後の基板を検査し、ステップS7に
おいて試験的処理に使用したレシピデータを修正するか
否かを指定する。
を修正する必要がある場合には、ステップS8で編集可
能なユニット処理データにコピーし、ステップS9でレ
シピデータを修正する。一方、レシピデータを修正する
必要がないと判断すると、ステップS10で編集可能な
ユニット処理データにコピーし、ステップS11におい
て、そのレシピデータを実処理用のデータとして決定す
る。そして、ステップS12では、レシピ実行手段74
が、この実処理用レシピデータを使用して基板の連続的
な処理を行なう。
タとして、処理結果の要求条件を達成するための適切な
データとして予め設定されているテンプレートデータ6
4を複写することによって処理レシピを作成しているの
で、使用者が処理データを手入力する際に発生する入力
ミスを防止することができる。また、各処理データの意
味や、処理結果と処理データとの関係を使用者が理解し
ていなくても、適切な処理データを容易に設定すること
ができる。さらに、要求条件を変更した場合にも、その
要求条件を達成するための処理データをテンプレートデ
ータ64から複写することによって、適切な処理データ
を容易に再設定することができる。
に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々の態様において実施することが可能である。
0の外観斜視図。
ク図。
ローチャート。
ピデータ60と、ユニット処理データ62と、テンプレ
ートデータ64の構成を示す説明図。
Claims (4)
- 【請求項1】 基板処理装置であって、 基板を処理するための複数の処理ユニットと、 基板を前記複数の処理ユニットに搬送する順序と、各処
理ユニットにおける処理条件とを含む処理レシピを記憶
するための第1の記憶手段と、 前記処理レシピを編集して前記第1の記憶手段に格納す
るレシピ編集手段と、 各処理ユニットにおける適切な処理条件をテンプレート
データとして記憶する第2の記憶手段と、 前記第1の記憶手段に記憶された処理レシピに従って前
記複数の処理ユニットに基板の処理を実行させるレシピ
実行手段と、を備え、 前記レシピ編集手段は、 前記第2の記憶手段から前記テンプレートデータを読み
出して処理レシピの処理条件として設定するテンプレー
ト設定手段を備える、基板処理装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の基板処理装置であって、 前記レシピ編集手段は、 処理レシピとして設定されたテンプレートデータの少な
くとも一部を編集不可と設定する手段を備える、基板処
理装置。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の基板処理装置で
あって、 前記レシピ編集手段は、 処理レシピとして設定されたテンプレートデータに、テ
ンプレートデータであることを示すフラグを設定する手
段を備える、基板処理装置。 - 【請求項4】 請求項3記載の基板処理装置であって、 前記レシピ実行手段は、 前記第1の記憶手段に記憶された処理レシピに前記フラ
グが設定されている場合には、前記処理レシピによる基
板の処理を一定量実行した時点で処理の実行を中止する
手段を備える、基板処理装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP32212395A JP3683957B2 (ja) | 1995-11-15 | 1995-11-15 | 処理レシピのテンプレート機能を有する基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|
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ID=18140188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32212395A Expired - Lifetime JP3683957B2 (ja) | 1995-11-15 | 1995-11-15 | 処理レシピのテンプレート機能を有する基板処理装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1995
- 1995-11-15 JP JP32212395A patent/JP3683957B2/ja not_active Expired - Lifetime
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