JPH09121578A - リニアステッピングモータの位置検出方法及び装置 - Google Patents

リニアステッピングモータの位置検出方法及び装置

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JPH09121578A
JPH09121578A JP8263678A JP26367896A JPH09121578A JP H09121578 A JPH09121578 A JP H09121578A JP 8263678 A JP8263678 A JP 8263678A JP 26367896 A JP26367896 A JP 26367896A JP H09121578 A JPH09121578 A JP H09121578A
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pulse
signal
cos
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度なリニアステッピングモータ位置検
出方法及び装置を提供する。 【解決手段】 基準クロックを生成する過程と、基準
クロックを計数器により計数する過程と、サイン、コサ
イン関数表を内蔵したROMを用いて計数器出力に応じ
sinωt、cosωtのディジタル値を生成する過程
と、生成されたディジタル値をアナログ信号に変換する
過程と、sinωt、cosωtアナログ信号とリニア
スケールからのsinθ、cosθ信号とからsinω
t・cosθとcosωt・sinθを生成する過程
と、これらの信号から変調信号sin(ωt+θ)を生
成する過程と、信号sin(ωt+θ)を矩形波信号に
整形する過程と、矩形波信号と正弦波信号sinωtと
の位相差を検出してリニアステッピングモータの位置を
検出する過程とを含むリニアステッピングモータの位置
検出方法方法を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はリニアステッピング
モータに係り、特にリニアスケールの情報を内挿するこ
とによりリニアステッピングモータの位置を精密に検出
することのできるリニアステッピングモータの位置検出
方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にリニアモータは直線運動する電動
機であって、その基本原理は誘導電動機と類似してい
る。誘導電動機では、固定子巻線に交流電流を流すこと
によって生成される回転磁界と、回転磁界により回転子
巻線に生成される誘導電流とによってフレミングの左手
の法則による力が発生し、回転子が回転する。リニアモ
ータでは、回転磁界の代わりに移動磁界を生成し、回転
運動ではなく直線運動を生じさせる。
【0003】リニアステッピングモータはリニアモータ
の変形であって、ステッピング動作するというステッピ
ングモータの特徴を併せ持っている。リニアステッピン
グモータは、典型的には、多相巻線を備えた固定子と、
固定子コアと若干ピッチがずれた突出極を有する可動子
(または移動子)とからなり、固定子の多相巻線を順次
励磁して、可動子の突出極を引き込んで可動子を移動さ
せるという原理を応用したものである。通常、可動子
は、電気的パルスに応答して一定距離ずつ移動するよう
になっている。
【0004】このようなリニアステッピングモータの可
動子の位置検出において、従来、リニアスケールの1ピ
ッチを1周期とし、1ピッチ内の位置情報をキャリア信
号の位相情報と比べて内挿して求めることにより精度を
高めるという方法が用いられている。即ち、センサから
得られる可動子の位置情報信号sinθ,cosθを次
のように角周波数ωのキャリア信号sinωt、cos
ωtと合成して位相の変調された信号Vsenを生成す
る。
【0005】Vref =sinωt
【0006】 Vsen =sinωt・cosθ+cosωt・sinθ =sin(ωt+θ)
【0007】ここで、基準キャリア信号Vrefと合成信
号Vsenとの位相差θはリニアステッピングモータの移
動変位量を示し、この位相差を処理して可動子の位置情
報を求めることができる。従来技術において、20μm
ピッチのスケールから得られる信号を100逓倍し、
0.2μmの分解能でリニアステッピングモータの変位
量を検出するといったことが行われている。これについ
て、図1A及び図1Bを参照してさらに詳しく説明す
る。
【0008】このような従来の技術では、1周期に10
0個のクロックパルスを挿入して、リニアステッピング
モータの変位量θを計数する。ここで、20μmピッチ
ごとに得られるスケールの信号は別の計数器を用いて計
数し、20μm未満の信号について、図1Aに示すよう
に、100ωの角周波数を有するクロックのパルスを計
数器により計数する。クロックパルスの計数において
は、パルスAに応じて計数器のリセットがなされ、パル
スBに応答してラッチ部による計数器出力のラッチがな
される。この方法では、ラッチされた値は20μm未満
のリニアステッピングモータの変位量θを表し、CPU
により、このラッチされた値を20μmごとに計数する
別の計数器の値と合算することによって総変位量が計算
される。
【0009】従来の方法では、図1Bに示されているよ
うに、sinωtの立上がりエッジとsin(ωt+
θ)の立上がりエッジを比べるのみであるため、位置検
出があまり精密でなく、また、パルスBで計数器をラッ
チするまではリニアステッピングモータの変位量を検出
することができないため、高速移動時の変位は検出でき
ないという短所がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
問題点を解決するべく案出されたものであり、本発明の
目的は、リニアステッピングモータの変位量を検出する
ために用いられるクロックをキャリア信号の1周期ごと
に読み取ることにより高速移動に対応することができ、
各信号について立上がりエッジのみならず立下がりエッ
ジも比べることにより、精度を一段と向上させることの
できるリニアステッピングモータの位置検出方法及び装
置を提供することである。
【0011】
【課題を達成するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明によるリニアステッピングモータの位置検出
方法は、発振器を用いてリニアステッピングモータの位
置検出のための基準クロックを発生させ、その基準クロ
ックを計数器により計数させる過程と、前記計数器の出
力をサイン、コサイン関数を内蔵しているROMに入力
してキャリア正弦波sinωt、cosωtのディジタ
ル値を発生する過程と、前記sinωt、cosωtの
ディジタル値をディジタル/アナログ変換器を用いてs
inωt、cosωtのアナログ正弦波信号にそれぞれ
変換して出力する過程と、前記sinωt、cosωt
のアナログ正弦波信号とリニアスケールからのsin
θ、cosθ正弦波信号をそれぞれ乗算器により乗算し
てsinωt・cosθ、cosωt・sinθの信号
を生成する過程と、前記sinωt・cosθとcos
ωt・sinθを加算器により加算して変調信号sin
(ωt+θ)を生成する過程と、前記変調信号sin
(ωt+θ)を前記計数器に同期するように比較器によ
り所定の矩形波信号に変換する過程と、前記比較器から
の矩形波信号と正弦波信号sinωtとの位相差を検出
してリニアステッピングモータの位置を検出する過程と
を含むことを特徴とする。
【0012】また、前記目的を達成するため、本発明に
よるリニアステッピングモータの位置検出装置は、リニ
アステッピングモータの位置検出のための所定の基準ク
ロックを発生する発振器と、前記基準クロックを計数す
る計数器と、前記計数器を通して出力される基準クロッ
クをキャリア正弦波sinωt、cosωtのディジタ
ル値にそれぞれ変換して出力する複数のROMと、前記
ROMからのキャリア正弦波sinωt、cosωtの
ディジタル値をsinωt、cosωtのアナログ正弦
波信号にそれぞれ変換して出力するディジタル/アナロ
グ変換器と、前記sinωt、cosωtのアナログ正
弦波信号とリニアスケールからのsinθ、cosθ正
弦波信号を乗算して、それぞれsinωt・cosθ、
cosωt・sinθの信号を出力する複数の乗算器
と、前記乗算器からの信号sinωt・cosθとco
sωt・sinθを加算してsin(ωt+θ)の信号
を出力する加算器と、前記信号sin(ωt+θ)を所
定の矩形波信号に変換して出力する比較器と、前記比較
器からの矩形波信号と正弦波sinωtとの位相差を検
出してリニアステッピングモータの位置を検出する位置
検出回路とを備えてなることを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の実施の形態を詳しく説明する。
【0014】例として、20μmピッチのスケールから
得られる信号に基づきリニアステッピングモータの位置
(変位量)を検出する場合について説明する。位置検出
は、スケールから得られる信号を128逓倍することに
より、0.15625μmの分解能でなされるものとす
る。
【0015】図2は、本発明に基づくリニアステッピン
グモータの位置検出装置の位相変調部を表すブロック図
である。リニアステッピングモータの位置検出のため、
まず発振器21により所定の周波数(例えば、16MH
z)の基準クロックが生成される。この基準クロックは
7ビットの計数器22により計数される。計数器22の
出力(C0..C6)に応じて、サイン関数表を内蔵し
た第1ROM23aからsinωtのディジタル値が発
生される。発生されたディジタル信号は第1ディジタル
/アナログ変換器(D/A)24aでsinωtのアナ
ログ信号に変換され、乗算器25aに入力される。同様
に、計数器22の出力に応じて第2ROM23bからc
osωtのディジタル値が発生され、発生されたディジ
タル信号は第2ディジタル/アナログ変換器24bでc
osωtのアナログ信号に変換され、乗算器25bに入
力される。
【0016】一方、リニアスケールからcosθ信号
が、他のル−トを通して第1乗算器25aに入力され、
前記sinωtアナログ信号と乗算され、sinωt・
cosθ信号が生成される。同様に、リニアスケールか
らsinθ信号が第2乗算器25bに入力され前記co
sωtアナログ信号と乗算され、cosωt・sinθ
信号が生成される。sinωt・cosθ信号とcos
ωt・sinθ信号は加算器26に入力されて加算さ
れ、sin(ωt+θ)信号が合成される。その後、合
成された信号sin(ωt+θ)は比較器27を通して
所定の形態の矩形波信号B1(図4参照)として出力さ
れる。ここで得られた矩形波信号B1に基づいて、以下
の処理がなされる。
【0017】図3及び図4を参照されたい。図3は、本
発明によるリニアステッピングモータの位置検出装置の
位置検出部の模式的なブロック図であり、図4は図3に
示した位置検出部に関連するいくつかの主要な信号に対
するタイミング図である。
【0018】基準正弦波sinωtのゼロクロシングポ
イント(零交差点)を検出してなるパルスA1と図2の
位相変調部で得られた矩形波信号B1のエッジを検出し
てなるパルスA2は、第1R−Sフリップフロップ31
に入力される。パルスA1は第1R−Sフリップフロッ
プ31の出力A3を“1”にセットし、パルスA2は
“0”にリセットする。第1R−Sフリップフロップ3
1の出力信号A3は、図2に示した発振器21から出力
される基準クロックCLKとともに第1Dフリップフロ
ップ32に入力される。この第1Dフリップフロップ3
2は基準クロックCLKに同期して、信号A3より1パ
ルス遅れた信号A4を出力する。パルスA1と信号A4
は基準クロックCLKとともに第1ANDゲート33に
入力され、ここで論理積によりパルス信号A5が出力さ
れる。パルス信号A5の1パルスはリニアステッピング
モータの10μmの移動変位量に相当する。
【0019】出力信号A4はNOTゲート(インバー
タ)36にも入力され、反転された信号A6として出力
される。パルスA2と信号A6は第2ANDゲート37
に入力され、論理積がとられ、パルスA7が出力され
る。パルスA7とパルスA1は、第2R−Sフリップフ
ロップ38に入力される。パルスA7は第2R−Sフリ
ップフロップ38の出力A8を“1”にセットし、パル
スA1は“0”にリセットする。第2R−Sフリップフ
ロップ38の出力A8は、基準クロックCLKとともに
第2Dフリップフロップ39に入力される。第2Dフリ
ップフロップ39は、基準クロックCLKに同期して、
信号A8より1パルス分遅れた信号A9を出力する。パ
ルスA1と信号A9は基準クロックCLKとともに第3
ANDゲート40に入力され、論理積がとられ、パルス
A10が出力される。パルス信号A10の1パルスはリ
ニアステッピングモータの−10μmの移動変位量に相
当する。ここで、“−”は反対方向の移動を意味する。
即ち、第1ANDゲート33、第3ANDゲート40
は、基準正弦波sinωtと矩形波信号B1との位相差
が180°以上になるとパルス信号を発生するようにな
っている。パルスA5とパルスA10は、アップ/ダウ
ン計数器34に入力され、計数器34のアップ/ダウン
に使用される。。
【0020】10μm未満の移動量はパルスA2発生時
の計数器22(図2参照)の出力(例えば、図4におけ
るV1、V2、V3、V4、V5、V6、V7)により
表される。これらの値を、パルスA5とパルスA10を
計数するアップ/ダウン計数器34の値と合算した結果
がそのときのリニアステッピングモータの移動変位量と
なる。
【0021】アップ/ダウン計数器34の出力信号と、
図2に示した計数器22の出力信号(C0..C6:0
から6まで計数し、計数器22に同期されてなる基準正
弦波sinωt周波数の2倍となる)は、ラッチ部35
にラッチされた後、システムを制御するCPUに伝送さ
れる。
【0022】以上のような一連の過程において、図2の
位相変調部から得られた矩形波信号B1の半周期内に基
準正弦波sinωtのエッジが2つある場合には、基準
正弦波sinωtと矩形波信号B1との位相差が180
°以上であり、そのときにパルス信号A5が発生され
る。スケールから20μmごとに一周期の正弦波信号が
得られるので、180°の位相差は10μmに相当す
る。一方、基準正弦波sinωtの半周期内に矩形波信
号B1のエッジが2つある場合には、基準正弦波sin
ωtと矩形波信号B1との位相差が−180°以上であ
り、そのときにパルス信号A10が発生される。−18
0°の位相差は−10μmに相当する。従って、パルス
A5とパルスA10をアップ/ダウン計数器34に入力
してパルス数を計数し、アップ/ダウン計数器34の出
力を図2の計数器22の出力値(C0..C6)と合算
することにより、リニアステッピングモータの移動変位
量を速度によらず基準正弦波sinωtの周期ごとに正
確に検出することができる。
【0023】また、計数器へ入力されるクロックの周波
数fと、計数器のビット数nと、基準正弦波sinωt
の周波数Fの関係は、次のとおりである。
【0024】f=2×F×2n
【0025】例えば、6ビット計数器を用い、基準正弦
波sinωtの周波数Fを125KHzとすれば、計数
器の入力クロック周波数fは16MHzとなる。
【0026】
【発明の効果】上述したように、従来の方法では基準正
弦波と矩形波信号を1周期当たり1回比べてリニアステ
ッピングモータの移動変位量を検出していたのに対し、
本発明の方法は1周期当たり2回比べることにより、検
出精度を一段と向上させることができる。更に、本発明
の方法によれば、基準正弦波sinωtに同期してリア
ルタイムにリニアステッピングモータの移動変位量を検
出することができ、高速移動にも対応できる。
【0027】当業者であれば、前記位置検出方法が一般
の回転型モータにも応用可能なのは明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】A及びBからなり、図1Aは従来のリニアステ
ッピングモータの位置検出方式を示す概略図であり、図
1Bは図1Aのシステムにおける主要な信号のタイミン
グ図である。
【図2】本発明によるリニアステッピングモータの位置
検出装置の位相変調部の概略ブロック図である。
【図3】本発明によるリニアステッピングモータの位置
検出装置の位置検出部の模式的なブロック図である。
【図4】図3の位置検出部に関連する主要な信号に対す
るタイミング図である。
【符号の説明】
21 発振器 22 計数器 23a 第1ROM 23b 第2ROM 24a 第1ディジタル/アナログ変換器(D/A) 24b 第2ディジタル/アナログ変換器 25a 乗算器 25b 乗算器 26 加算器 27 比較器 31 第1R−Sフリップフロップ 32 第1Dフリップフロップ 33 第1ANDゲート 34 アップ/ダウン計数器 35 ラッチ部 36 インバータ 37 第2ANDゲート 38 第2R−Sフリップフロップ 39 第2Dフリップフロップ 40 第3ANDゲート

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発振器を用いてリニアステッピングモ
    ータの位置検出のための基準クロックを発生させ、その
    基準クロックを計数器により計数する過程と、 前記計数器の出力をサイン、コサイン関数を内蔵してい
    るROMに入力してキャリア正弦波sinωt、cos
    ωtのディジタル値を発生させる過程と、 前記sinωt、cosωtのディジタル値をディジタ
    ル/アナログ変換器を用いてsinωt、cosωtの
    アナログ正弦波信号にそれぞれ変換して出力する過程
    と、 前記sinωt、cosωtのアナログ正弦波信号とリ
    ニアスケールからのsinθ、cosθ正弦波信号をそ
    れぞれ乗算器により乗算してsinωt・cosθ、c
    osωt・sinθの信号を生成する過程と、 前記sinωt・cosθとcosωt・sinθを加
    算器により加算して変調信号sin(ωt+θ)を生成
    する過程と、 前記変調信号sin(ωt+θ)を前記計数器に同期す
    るように比較器により所定の矩形波信号に変換する過程
    と、 前記比較器からの矩形波信号と正弦波信号sinωtと
    の位相差を検出してリニアステッピングモータの位置を
    検出する過程とを含むことを特徴とするリニアステッピ
    ングモータの位置検出方法。
  2. 【請求項2】 前記位相差検出過程で、前記正弦波s
    inωtと前記変換された矩形波信号の各エッジごとに
    計数器の値を読み取るようになっていることを特徴とす
    る請求項1に記載のリニアステッピングモータの位置検
    出方法。
  3. 【請求項3】 リニアステッピングモータの位置検出
    のための所定の基準クロックを発生する発振器と、 前記基準クロックを計数する計数器と、 前記計数器を通して出力される基準クロックをキャリア
    正弦波sinωt、cosωtのディジタル値にそれぞ
    れ変換して出力する複数のROMと、 前記ROMからのキャリア正弦波sinωt、cosω
    tのディジタル値をsinωt、cosωtのアナログ
    正弦波信号にそれぞれ変換して出力するディジタル/ア
    ナログ変換器と、 前記sinωt、cosωtのアナログ正弦波信号とリ
    ニアスケールからのsinθ、cosθ正弦波信号を乗
    算して、それぞれsinωt・cosθ、cosωt・
    sinθの信号を出力する複数の乗算器と、 前記乗算器からの信号sinωt・cosθとcosω
    t・sinθを加算してsin(ωt+θ)の信号を出
    力する加算器と、 前記信号sin(ωt+θ)を所定の矩形波信号に変換
    して出力する比較器と、 前記比較器からの矩形波信号と正弦波sinωtとの位
    相差を検出してリニアステッピングモータの位置を検出
    する位置検出回路とを備えてなることを特徴とするリニ
    アステッピングモータの位置検出装置。
  4. 【請求項4】 前記位置検出回路が、第1パルスと第
    2パルスを受信して第3パルスを出力する第1R−Sフ
    リップフロップと、前記第3パルスとクロック信号を受
    信して第4パルスを出力する第1Dフリップフロップ
    と、前記クロツク信号、第1パルス及び第4パルスを受
    信して第5パルスを出力する第1ANDゲートと、前記
    第4パルスを受信して第6パルスを出力するインバータ
    と、前記第6パルスと第2パルスを受信して第7パルス
    を出力する第2ANDゲートと、前記第7パルスと第1
    パルスを受信して第8パルスを出力する第2R−Sフリ
    ップフロップと、前記第8パルスとクロック信号を受信
    して第9パルスを出力する第2Dフリップフロップと、
    前記第9パルス、第1パルス及びクロック信号を受信し
    て第10パルスを出力する第3ANDゲートと、前記第
    10パルスと第5パルスを受信してそのパルス数を計数
    するアップ/ダウン計数器と、該アップ/ダウン計数器
    からの出力信号と前記計数器からの出力信号を記憶して
    CPUに伝送するラッチ部とを含むことを特徴とする請
    求項3に記載のリニアステッピングモータの位置検出装
    置。
  5. 【請求項5】 前記第1、第3ANDゲートは、正弦
    波sinωtと矩形波信号との位相差が180°以上に
    なると、所定のパルス信号を発生させるようになってい
    ることを特徴とする請求項4に記載のリニアステッピン
    グモータの位置検出装置。
JP26367896A 1995-09-12 1996-09-11 リニアステッピングモータの位置検出方法及び装置 Expired - Fee Related JP3667465B2 (ja)

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