JPH091168A - オゾン処理における制御装置 - Google Patents
オゾン処理における制御装置Info
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- JPH091168A JPH091168A JP15281895A JP15281895A JPH091168A JP H091168 A JPH091168 A JP H091168A JP 15281895 A JP15281895 A JP 15281895A JP 15281895 A JP15281895 A JP 15281895A JP H091168 A JPH091168 A JP H091168A
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- ozone
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- concentration meter
- ozone concentration
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 特性の異なるプロセス値を複数用いた制御出
力によりオゾン発生機の駆動を制御して、適正なオゾン
注入率によってオゾン処理の運転を実施し、且制御性を
高めたオゾン処理における制御装置を提供することを目
的とする。 【構成】 オゾン発生機１に発生オゾン濃度計６と「無
駄時間＋遅れ時間」演算器９を配備するとともに、オゾ
ン接触槽１に排オゾン濃度計７と吸収効率演算器１０を
配備し、発生オゾン濃度計６の検知した値を「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９を介してから吸収効率演算器１０
に入力するとともに、排オゾン濃度計７の検知した値を
該吸収効率演算器１０に入力してオゾンの吸収効率を演
算し、ＰＩＤ演算器１１の出力信号に基づいてオゾン発
生機１の駆動制御を実施するようにしたオゾン処理にお
ける制御装置を提供する。
力によりオゾン発生機の駆動を制御して、適正なオゾン
注入率によってオゾン処理の運転を実施し、且制御性を
高めたオゾン処理における制御装置を提供することを目
的とする。 【構成】 オゾン発生機１に発生オゾン濃度計６と「無
駄時間＋遅れ時間」演算器９を配備するとともに、オゾ
ン接触槽１に排オゾン濃度計７と吸収効率演算器１０を
配備し、発生オゾン濃度計６の検知した値を「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９を介してから吸収効率演算器１０
に入力するとともに、排オゾン濃度計７の検知した値を
該吸収効率演算器１０に入力してオゾンの吸収効率を演
算し、ＰＩＤ演算器１１の出力信号に基づいてオゾン発
生機１の駆動制御を実施するようにしたオゾン処理にお
ける制御装置を提供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は上水の高度浄水処理等に
用いられるオゾン処理における制御装置に関するもので
ある。
用いられるオゾン処理における制御装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般に河川とか湖沼などから取水した原
水を浄化するには、凝集沈殿池で原水中に凝集剤を注入
混合し、撹拌及び滞留処理により原水中の懸濁物質
（砂，粘土，藻類等の有機物等）を凝集して沈澱，分離
する。このプロセスでは殺藻処理や鉄，マンガンなどの
色度成分の除去を目的とした塩素処理が組み込まれてい
る。
水を浄化するには、凝集沈殿池で原水中に凝集剤を注入
混合し、撹拌及び滞留処理により原水中の懸濁物質
（砂，粘土，藻類等の有機物等）を凝集して沈澱，分離
する。このプロセスでは殺藻処理や鉄，マンガンなどの
色度成分の除去を目的とした塩素処理が組み込まれてい
る。
【０００３】特に大都市近郊においては河川の汚濁が著
しいため、アンモニアや、発ガン性物質のＴＨＭ（トリ
ハロメタン）の前駆物質であるフミン質を含む色度成分
の含有率が高く、塩素処理により塩素とアンモニアが反
応してクロラミンを生成し、必要以上の塩素を消費して
しまう結果、塩素注入率が高くなってＴＨＭが増大す
る。
しいため、アンモニアや、発ガン性物質のＴＨＭ（トリ
ハロメタン）の前駆物質であるフミン質を含む色度成分
の含有率が高く、塩素処理により塩素とアンモニアが反
応してクロラミンを生成し、必要以上の塩素を消費して
しまう結果、塩素注入率が高くなってＴＨＭが増大す
る。
【０００４】このような背景から、近年上述した物質の
除去を目的として高度浄水処理システムを浄水プロセス
に組み込む方式が行われるようになってきた。この高度
浄水処理方法には、オゾン処理や生物活性炭処理があ
り、例えば塩素処理の代替としてオゾン処理塔によりオ
ゾン処理を行い、更に活性炭処理塔もしくは生物濾過塔
により色度成分などを除去し、砂濾過池等で濾過した後
に塩素処理を行い、浄水池に送水する。特に生物活性炭
処理の前にオゾン処理を行うことにより、負荷変動に対
する許容度や活性炭の寿命の向上をはかることができ
る。
除去を目的として高度浄水処理システムを浄水プロセス
に組み込む方式が行われるようになってきた。この高度
浄水処理方法には、オゾン処理や生物活性炭処理があ
り、例えば塩素処理の代替としてオゾン処理塔によりオ
ゾン処理を行い、更に活性炭処理塔もしくは生物濾過塔
により色度成分などを除去し、砂濾過池等で濾過した後
に塩素処理を行い、浄水池に送水する。特に生物活性炭
処理の前にオゾン処理を行うことにより、負荷変動に対
する許容度や活性炭の寿命の向上をはかることができ
る。
【０００５】このような高度浄水処理としてのオゾン処
理において、過剰なオゾンの注入は排オゾン濃度とか溶
存オゾン濃度の上昇を招来してしまう外、高価なオゾン
ガスの無駄が生じる結果となるため、適正なオゾン注入
率によりオゾン処理を実施して、オゾンガスの有効利用
をはかる必要がある。
理において、過剰なオゾンの注入は排オゾン濃度とか溶
存オゾン濃度の上昇を招来してしまう外、高価なオゾン
ガスの無駄が生じる結果となるため、適正なオゾン注入
率によりオゾン処理を実施して、オゾンガスの有効利用
をはかる必要がある。
【０００６】通常オゾン注入量の制御には、オゾンガス
の放散量を処理水量に比例させた制御とか、注入オゾン
濃度を一定にする制御もしくは排オゾン濃度を一定にす
る制御等のシンプルな制御方法が採られている。通常は
オゾン処理で余剰になる排オゾン濃度又は溶存オゾン濃
度を測定し、その変化から間接的に水質変動をモニター
して、上記排オゾン濃度又は溶存オゾン濃度が一定にな
るようにオゾン注入量を調節しているのが通例である。
従って処理水質に基づいた制御は実施されていないのが
実情である。
の放散量を処理水量に比例させた制御とか、注入オゾン
濃度を一定にする制御もしくは排オゾン濃度を一定にす
る制御等のシンプルな制御方法が採られている。通常は
オゾン処理で余剰になる排オゾン濃度又は溶存オゾン濃
度を測定し、その変化から間接的に水質変動をモニター
して、上記排オゾン濃度又は溶存オゾン濃度が一定にな
るようにオゾン注入量を調節しているのが通例である。
従って処理水質に基づいた制御は実施されていないのが
実情である。
【０００７】他のオゾン注入量の制御として、オゾンガ
スの流量を一定にしてオゾンガスの濃度を変化させる制
御と、オゾンガスの流量を変化させる制御とがあるが、
一般にはシステムの簡便性からオゾンガスの濃度を変化
させる方法が多く採用されている。この場合にはオゾン
発生機への入力信号（通常は４〜２０ｍＡ）が操作量と
なり、この操作量変化により発生するオゾンガスの濃度
を変化させ、オゾン注入量が調節されている。
スの流量を一定にしてオゾンガスの濃度を変化させる制
御と、オゾンガスの流量を変化させる制御とがあるが、
一般にはシステムの簡便性からオゾンガスの濃度を変化
させる方法が多く採用されている。この場合にはオゾン
発生機への入力信号（通常は４〜２０ｍＡ）が操作量と
なり、この操作量変化により発生するオゾンガスの濃度
を変化させ、オゾン注入量が調節されている。
【０００８】排オゾン濃度一定制御とか溶存オゾン濃度
一定制御において、操作量を注入オゾン濃度とした場
合、排オゾン濃度や溶存オゾン濃度が一定であっても注
入オゾン濃度が高ければ処理水の色度とか吸光度（Ｅ２
６０）が高くなるという結果が得られている（本出願人
の前出願である特願平６−１５１３９９号参照）。これ
に代わる制御として、吸収効率及び飽和度を制御因子と
する提案がある（同特願平６−２７１６８号参照）。
一定制御において、操作量を注入オゾン濃度とした場
合、排オゾン濃度や溶存オゾン濃度が一定であっても注
入オゾン濃度が高ければ処理水の色度とか吸光度（Ｅ２
６０）が高くなるという結果が得られている（本出願人
の前出願である特願平６−１５１３９９号参照）。これ
に代わる制御として、吸収効率及び飽和度を制御因子と
する提案がある（同特願平６−２７１６８号参照）。
【０００９】これらの制御は制御量である吸収効率ある
いは飽和度が排オゾン濃度と注入オゾン濃度、もしくは
溶存オゾン濃度と注入オゾン濃度のプロセス値から計算
によって求めることができる。
いは飽和度が排オゾン濃度と注入オゾン濃度、もしくは
溶存オゾン濃度と注入オゾン濃度のプロセス値から計算
によって求めることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら排オゾン
濃度一定制御とか溶存オゾン濃度一定制御の運転では、
排オゾン濃度あるいは溶存オゾン濃度を一定に保っても
処理水の水質が一定になるかどうかは必ずしも保証され
ていない。実際には排オゾン濃度とか溶存オゾン濃度の
設定値と処理水質との関係を調べて、処理水質が最大に
悪化した場合でも目標水質が達成されるような安全率を
見込んで排オゾン濃度とか溶存オゾン濃度の設定値を決
定しなければならない。
濃度一定制御とか溶存オゾン濃度一定制御の運転では、
排オゾン濃度あるいは溶存オゾン濃度を一定に保っても
処理水の水質が一定になるかどうかは必ずしも保証され
ていない。実際には排オゾン濃度とか溶存オゾン濃度の
設定値と処理水質との関係を調べて、処理水質が最大に
悪化した場合でも目標水質が達成されるような安全率を
見込んで排オゾン濃度とか溶存オゾン濃度の設定値を決
定しなければならない。
【００１１】又、前記の吸収効率制御とか飽和度制御等
の注入オゾン濃度、排オゾン濃度、溶存オゾン濃度など
の複数のプロセス値を用いて制御系を構築する場合に
は、それぞれの動特性の相違が問題となる。オゾン注入
量制御の制御信号はオゾン発生器への操作信号であり、
ガス流量一定条件下では操作信号に応じてオゾンガス濃
度を変化させる方法が一般的である。この操作信号から
注入オゾン濃度、排オゾン濃度、溶存オゾン濃度への応
答特性がそれぞれ異なっている。
の注入オゾン濃度、排オゾン濃度、溶存オゾン濃度など
の複数のプロセス値を用いて制御系を構築する場合に
は、それぞれの動特性の相違が問題となる。オゾン注入
量制御の制御信号はオゾン発生器への操作信号であり、
ガス流量一定条件下では操作信号に応じてオゾンガス濃
度を変化させる方法が一般的である。この操作信号から
注入オゾン濃度、排オゾン濃度、溶存オゾン濃度への応
答特性がそれぞれ異なっている。
【００１２】特に排オゾン濃度及び溶存オゾン濃度一定
制御はフィードバック制御であるため、無駄な時間とか
操作上の時間的な遅れによって制御の応答性が悪化する
懸念がある。無駄な時間とは例えばオゾン発生機からオ
ゾン接触槽までのガス配管とか該オゾン接触槽から排オ
ゾン測定器までのガス配管での流通に起因する時間であ
り、操作上の時間的な遅れとはオゾン発生機内で電力の
上昇に応じてオゾン発生量が増大するまでの応答時間と
か、オゾン接触槽での滞留時間である。
制御はフィードバック制御であるため、無駄な時間とか
操作上の時間的な遅れによって制御の応答性が悪化する
懸念がある。無駄な時間とは例えばオゾン発生機からオ
ゾン接触槽までのガス配管とか該オゾン接触槽から排オ
ゾン測定器までのガス配管での流通に起因する時間であ
り、操作上の時間的な遅れとはオゾン発生機内で電力の
上昇に応じてオゾン発生量が増大するまでの応答時間と
か、オゾン接触槽での滞留時間である。
【００１３】一般に発生オゾン濃度、溶存オゾン濃度、
排オゾン濃度の順で無駄時間及び遅れ時定数が大きくな
る。この応答特性の相違のために、複数のプロセス値を
用いて演算を行うと、制御系が不安定になる可能性があ
る。そのような場合には制御系の安定化をはかる必要が
ある。
排オゾン濃度の順で無駄時間及び遅れ時定数が大きくな
る。この応答特性の相違のために、複数のプロセス値を
用いて演算を行うと、制御系が不安定になる可能性があ
る。そのような場合には制御系の安定化をはかる必要が
ある。
【００１４】本発明は上記の問題点に鑑み、特に特性の
異なるプロセス値を複数用いて演算処理して得られた制
御出力によりオゾン発生機の駆動を制御することによ
り、適正なオゾン注入率によってオゾン処理の運転を実
施することができるとともに余剰なオゾンガスの発生を
抑制して制御性を高めたオゾン処理における制御装置を
提供することを目的とするものである。
異なるプロセス値を複数用いて演算処理して得られた制
御出力によりオゾン発生機の駆動を制御することによ
り、適正なオゾン注入率によってオゾン処理の運転を実
施することができるとともに余剰なオゾンガスの発生を
抑制して制御性を高めたオゾン処理における制御装置を
提供することを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、対向流式に構成された複数段の接触槽に
区分され、オゾン発生機から得られるオゾンガスを各接
触槽内の底壁近傍に配置された散気管から放散して所望
のオゾン処理を行うようにした多段式のオゾン接触槽に
おいて、先ず請求項１により、上記オゾン発生機に発生
オゾン濃度計と「無駄時間＋遅れ時間」演算器を配備す
るとともに、オゾン接触槽に排オゾン濃度計と吸収効率
演算器を配備し、発生オゾン濃度計の検知した値を「無
駄時間＋遅れ時間」演算器を介してから吸収効率演算器
に入力するとともに、排オゾン濃度計の検知した値を該
吸収効率演算器に入力してオゾンの吸収効率を演算し、
ＰＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾン発生機の駆動制
御を実施するようにしたオゾン処理における制御装置を
提供する。
成するために、対向流式に構成された複数段の接触槽に
区分され、オゾン発生機から得られるオゾンガスを各接
触槽内の底壁近傍に配置された散気管から放散して所望
のオゾン処理を行うようにした多段式のオゾン接触槽に
おいて、先ず請求項１により、上記オゾン発生機に発生
オゾン濃度計と「無駄時間＋遅れ時間」演算器を配備す
るとともに、オゾン接触槽に排オゾン濃度計と吸収効率
演算器を配備し、発生オゾン濃度計の検知した値を「無
駄時間＋遅れ時間」演算器を介してから吸収効率演算器
に入力するとともに、排オゾン濃度計の検知した値を該
吸収効率演算器に入力してオゾンの吸収効率を演算し、
ＰＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾン発生機の駆動制
御を実施するようにしたオゾン処理における制御装置を
提供する。
【００１６】又、請求項２により、上記オゾン発生機に
発生オゾン濃度計と「無駄時間＋遅れ時間」演算器を配
備するとともに、オゾン接触槽に溶存オゾン濃度計と飽
和度演算器を配備し、発生オゾン濃度計の検知した値を
「無駄時間＋遅れ時間」演算器を介してから飽和度演算
器に入力するとともに、排オゾン濃度計の検知した値を
該飽和度演算器に入力してオゾンの飽和度を演算し、Ｐ
ＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾン発生機の駆動制御
を実施する制御装置にしてあり、請求項３により、上記
オゾン発生機に発生オゾン濃度計と第１の「無駄時間＋
遅れ時間」演算器を配備するとともに、オゾン接触槽に
溶存オゾン濃度計と第２の「無駄時間＋遅れ時間」演算
器、及び排オゾン濃度計と消費オゾン量検知器を配備
し、発生オゾン濃度計の検知した値を第１の「無駄時間
＋遅れ時間」演算器を介してから消費オゾン量検知器に
入力するとともに、溶存オゾン濃度計の検知した値を第
２の「無駄時間＋遅れ時間」演算器を介してから消費オ
ゾン量検知器に入力し、排オゾン濃度計の検知した値と
ともに消費オゾン量検知器により消費オゾン量を演算
し、ＰＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾン発生機の駆
動制御を実施するようにしたオゾン処理における制御装
置を提供する。
発生オゾン濃度計と「無駄時間＋遅れ時間」演算器を配
備するとともに、オゾン接触槽に溶存オゾン濃度計と飽
和度演算器を配備し、発生オゾン濃度計の検知した値を
「無駄時間＋遅れ時間」演算器を介してから飽和度演算
器に入力するとともに、排オゾン濃度計の検知した値を
該飽和度演算器に入力してオゾンの飽和度を演算し、Ｐ
ＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾン発生機の駆動制御
を実施する制御装置にしてあり、請求項３により、上記
オゾン発生機に発生オゾン濃度計と第１の「無駄時間＋
遅れ時間」演算器を配備するとともに、オゾン接触槽に
溶存オゾン濃度計と第２の「無駄時間＋遅れ時間」演算
器、及び排オゾン濃度計と消費オゾン量検知器を配備
し、発生オゾン濃度計の検知した値を第１の「無駄時間
＋遅れ時間」演算器を介してから消費オゾン量検知器に
入力するとともに、溶存オゾン濃度計の検知した値を第
２の「無駄時間＋遅れ時間」演算器を介してから消費オ
ゾン量検知器に入力し、排オゾン濃度計の検知した値と
ともに消費オゾン量検知器により消費オゾン量を演算
し、ＰＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾン発生機の駆
動制御を実施するようにしたオゾン処理における制御装
置を提供する。
【００１７】更に請求項４により、オゾン発生機の制御
量が複数の測定量から演算される量であって、少なくと
も演算項の１つがオゾン発生機の操作量である制御にお
いて、上記制御量の演算に使用する操作量に、その演算
に関係する他の測定量の伝達関数に相当する関数を乗じ
て制御量を演算し、制御目標値と比較してオゾン発生機
の駆動制御を実施するようにしたオゾン処理における制
御装置を提供する。
量が複数の測定量から演算される量であって、少なくと
も演算項の１つがオゾン発生機の操作量である制御にお
いて、上記制御量の演算に使用する操作量に、その演算
に関係する他の測定量の伝達関数に相当する関数を乗じ
て制御量を演算し、制御目標値と比較してオゾン発生機
の駆動制御を実施するようにしたオゾン処理における制
御装置を提供する。
【００１８】
【作用】かかる請求項１記載の制御装置によれば、発生
オゾン濃度計によって測定された発生オゾン濃度のプロ
セス値が「無駄時間＋遅れ時間」演算器で演算処理され
てから排オゾン濃度計によって測定された排オゾン濃度
とともに吸収効率演算器に入力されて吸収効率が演算さ
れ、得られた吸収効率と目標とする吸収効率との差が０
となるような操作信号がＰＩＤ演算により演算されてオ
ゾン発生機に入力されて、該オゾン発生機からオゾン接
触槽に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
オゾン濃度計によって測定された発生オゾン濃度のプロ
セス値が「無駄時間＋遅れ時間」演算器で演算処理され
てから排オゾン濃度計によって測定された排オゾン濃度
とともに吸収効率演算器に入力されて吸収効率が演算さ
れ、得られた吸収効率と目標とする吸収効率との差が０
となるような操作信号がＰＩＤ演算により演算されてオ
ゾン発生機に入力されて、該オゾン発生機からオゾン接
触槽に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
【００１９】請求項２記載の制御装置によれば、発生オ
ゾン濃度計によって測定された発生オゾン濃度のプロセ
ス値が「無駄時間＋遅れ時間」演算器で演算処理されて
から溶存オゾン濃度計によって測定された溶存オゾン濃
度とともに飽和度演算器に入力されて飽和度が演算さ
れ、得られた飽和度と目標とする飽和度との差が０とな
るような操作信号がＰＩＤ演算によって演算されてから
オゾン発生機に入力されて、該オゾン発生機からオゾン
接触槽に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
ゾン濃度計によって測定された発生オゾン濃度のプロセ
ス値が「無駄時間＋遅れ時間」演算器で演算処理されて
から溶存オゾン濃度計によって測定された溶存オゾン濃
度とともに飽和度演算器に入力されて飽和度が演算さ
れ、得られた飽和度と目標とする飽和度との差が０とな
るような操作信号がＰＩＤ演算によって演算されてから
オゾン発生機に入力されて、該オゾン発生機からオゾン
接触槽に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
【００２０】請求項３記載の制御装置によれば、発生オ
ゾン濃度計によって測定された発生オゾン濃度と、溶存
オゾン濃度計によって測定された溶存オゾン濃度の各プ
ロセス値が第１，第２の「無駄時間＋遅れ時間」演算器
で演算処理されてから、排オゾン濃度計によって測定さ
れた排オゾン濃度とともに消費オゾン量検知器に入力さ
れて、消費オゾン量が演算され、得られた消費オゾン量
と目標とする消費オゾン量との差が０となるような操作
信号がＰＩＤ演算によって演算されてからオゾン発生機
に入力されて、該オゾン発生機からオゾン接触槽に対す
るオゾンガスの濃度が最適に制御される。
ゾン濃度計によって測定された発生オゾン濃度と、溶存
オゾン濃度計によって測定された溶存オゾン濃度の各プ
ロセス値が第１，第２の「無駄時間＋遅れ時間」演算器
で演算処理されてから、排オゾン濃度計によって測定さ
れた排オゾン濃度とともに消費オゾン量検知器に入力さ
れて、消費オゾン量が演算され、得られた消費オゾン量
と目標とする消費オゾン量との差が０となるような操作
信号がＰＩＤ演算によって演算されてからオゾン発生機
に入力されて、該オゾン発生機からオゾン接触槽に対す
るオゾンガスの濃度が最適に制御される。
【００２１】
【実施例】以下、本発明にかかるオゾン処理における制
御装置の具体的な実施例を説明する。図１は本発明の第
１実施例を示す概要図であって、図中の１はオゾン接触
槽であり、このオゾン接触槽１の内部は対向流式に構成
された複数の接触槽１ａ，１ｂと滞留槽１ｃに区分され
ている。２はオゾン発生機、３ａ，３ｂは各接触槽１
ａ，１ｂ内の底壁近傍に配置された散気管であり、オゾ
ン発生機２で得られたオゾンガスが散気管３ａ，３ｂに
供給されている。４はオゾン接触槽１への原水の流入
口、５は同処理水の流出口である。
御装置の具体的な実施例を説明する。図１は本発明の第
１実施例を示す概要図であって、図中の１はオゾン接触
槽であり、このオゾン接触槽１の内部は対向流式に構成
された複数の接触槽１ａ，１ｂと滞留槽１ｃに区分され
ている。２はオゾン発生機、３ａ，３ｂは各接触槽１
ａ，１ｂ内の底壁近傍に配置された散気管であり、オゾ
ン発生機２で得られたオゾンガスが散気管３ａ，３ｂに
供給されている。４はオゾン接触槽１への原水の流入
口、５は同処理水の流出口である。
【００２２】オゾン発生機２の出口近傍には発生オゾン
濃度計６が配備されており、接触槽１ａの上方には排オ
ゾン濃度計７が配備されている。８は排オゾン処理施設
であり、各接触槽１ａ，１ｂ内を通過した排オゾンガス
が排オゾン処理施設８に集積されて無害化処理されてか
ら放出される。
濃度計６が配備されており、接触槽１ａの上方には排オ
ゾン濃度計７が配備されている。８は排オゾン処理施設
であり、各接触槽１ａ，１ｂ内を通過した排オゾンガス
が排オゾン処理施設８に集積されて無害化処理されてか
ら放出される。
【００２３】一方、９は「無駄時間＋遅れ時間」演算
器、１０は吸収効率演算器、１１はＰＩＤ演算器であ
り、前記発生オゾン濃度計６の検知した値が「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９に入力され、排オゾン濃度計７の
検知した値が吸収効率演算器１０に入力されている。吸
収効率演算器１０は「無駄時間＋遅れ時間」演算器９と
排オゾン濃度計７からの入力信号を受けて吸収効率を演
算し、ＰＩＤ演算器１１に入力する。このＰＩＤ演算器
１１の出力信号に基づいてオゾン発生機２の駆動状態が
制御される。
器、１０は吸収効率演算器、１１はＰＩＤ演算器であ
り、前記発生オゾン濃度計６の検知した値が「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９に入力され、排オゾン濃度計７の
検知した値が吸収効率演算器１０に入力されている。吸
収効率演算器１０は「無駄時間＋遅れ時間」演算器９と
排オゾン濃度計７からの入力信号を受けて吸収効率を演
算し、ＰＩＤ演算器１１に入力する。このＰＩＤ演算器
１１の出力信号に基づいてオゾン発生機２の駆動状態が
制御される。
【００２４】かかる第１実施例の基本的な動作態様は以
下の通りである。先ず通常の砂濾過等の処理を実施した
２次処理水が原水１２として流入口４からオゾン接触槽
１内に流入され、対向流式に構成された複数の接触槽１
ａ，１ｂと滞留槽１ｃ内を流れる間に、オゾン発生機２
で得られたオゾンガスが接触槽１ａ，１ｂに供給されて
散気管３ａ，３ｂから水中に放散されて、オゾンガスの
持つ強い酸化力と殺菌力によって原水１２の殺菌、脱臭
及び脱色が行われ、滞留槽１ｃを通過した後に流出口５
からオゾン処理水１３として流出する。
下の通りである。先ず通常の砂濾過等の処理を実施した
２次処理水が原水１２として流入口４からオゾン接触槽
１内に流入され、対向流式に構成された複数の接触槽１
ａ，１ｂと滞留槽１ｃ内を流れる間に、オゾン発生機２
で得られたオゾンガスが接触槽１ａ，１ｂに供給されて
散気管３ａ，３ｂから水中に放散されて、オゾンガスの
持つ強い酸化力と殺菌力によって原水１２の殺菌、脱臭
及び脱色が行われ、滞留槽１ｃを通過した後に流出口５
からオゾン処理水１３として流出する。
【００２５】上記の動作に際して、前記したように発生
オゾン濃度計６によって測定された発生オゾン濃度Ｏin
と排オゾン濃度計７によって測定された排オゾン濃度Ｏ
outが吸収効率演算器１０に入力されて、吸収効率ηが
次式で演算される。
オゾン濃度計６によって測定された発生オゾン濃度Ｏin
と排オゾン濃度計７によって測定された排オゾン濃度Ｏ
outが吸収効率演算器１０に入力されて、吸収効率ηが
次式で演算される。
【００２６】 η＝１−Ｏout／Ｏin ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１） 上記の演算で用いる発生オゾン濃度Ｏinは、発生オゾン
濃度のプロセス値を「無駄時間＋遅れ時間」演算器９に
入力して演算処理した値を用いる。そして得られた吸収
効率ηと目標とする吸収効率との差がＰＩＤ演算器１１
で演算され、その差が０となるような操作信号がオゾン
発生機２に入力されて、該オゾン発生機２からオゾン接
触槽１に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
濃度のプロセス値を「無駄時間＋遅れ時間」演算器９に
入力して演算処理した値を用いる。そして得られた吸収
効率ηと目標とする吸収効率との差がＰＩＤ演算器１１
で演算され、その差が０となるような操作信号がオゾン
発生機２に入力されて、該オゾン発生機２からオゾン接
触槽１に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
【００２７】前記した「無駄時間＋遅れ時間」演算器９
による演算は、下記の伝達関数で表わすことができる。
による演算は、下記の伝達関数で表わすことができる。
【００２８】 （１・ｅ-L1s）／（１＋Ｔ1s）・・・・・・・・・・（２） ここでＬ1：無駄時間，Ｔ1：遅れ時定数 無駄時間Ｌ1と遅れ時定数Ｔ1は、発生オゾン濃度から排
オゾン濃度の伝達関数を予め求めておき、その伝達関数
から決定することができる。
オゾン濃度の伝達関数を予め求めておき、その伝達関数
から決定することができる。
【００２９】発生オゾン濃度から排オゾン濃度の伝達関
数が （Ｋ0・ｅ-L0s）／（１＋Ｔ0s）・・・・・・・・・（３） ここでＬ0：無駄時間，Ｔ0：遅れ時定数，Ｋ0：ゲイン で与えられたとすると、前記Ｌ1，Ｔ1は Ｌ1＝Ｌ0 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（４） Ｔ1＝Ｔ0 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（５） となる。つまり発生機オゾン濃度から排オゾン濃度の伝
達関数でゲインを１としたものが（２）式の伝達関数で
ある。この伝達関数を発生オゾン濃度に乗じることによ
り、発生オゾン濃度の動特性を排オゾン濃度の動特性と
等しくすることができる。
数が （Ｋ0・ｅ-L0s）／（１＋Ｔ0s）・・・・・・・・・（３） ここでＬ0：無駄時間，Ｔ0：遅れ時定数，Ｋ0：ゲイン で与えられたとすると、前記Ｌ1，Ｔ1は Ｌ1＝Ｌ0 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（４） Ｔ1＝Ｔ0 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（５） となる。つまり発生機オゾン濃度から排オゾン濃度の伝
達関数でゲインを１としたものが（２）式の伝達関数で
ある。この伝達関数を発生オゾン濃度に乗じることによ
り、発生オゾン濃度の動特性を排オゾン濃度の動特性と
等しくすることができる。
【００３０】等価変換のための伝達関数の遅れ時定数は
２次以上に拡張が可能であり、（３）式で発生オゾン濃
度から排オゾン濃度の伝達関数の遅れ要素が２次以上の
場合でも、遅れ要素のゲインが１となるような伝達関数
を用いれば（２）式と（３）式で動特性を等しくするこ
とができる。
２次以上に拡張が可能であり、（３）式で発生オゾン濃
度から排オゾン濃度の伝達関数の遅れ要素が２次以上の
場合でも、遅れ要素のゲインが１となるような伝達関数
を用いれば（２）式と（３）式で動特性を等しくするこ
とができる。
【００３１】図２は「無駄時間＋遅れ時間」演算器９に
よる演算を組み入れた場合（Ｔ1＝Ｔ0，Ｌ1＝Ｌ0）の目
標値（ＳＶ）への追従性を示すグラフであり、図３は上
記演算器９による演算を組み入れない場合の同様な追従
性を示すグラフである。尚、両者のＰＩＤパラメータは
等しくしてある。
よる演算を組み入れた場合（Ｔ1＝Ｔ0，Ｌ1＝Ｌ0）の目
標値（ＳＶ）への追従性を示すグラフであり、図３は上
記演算器９による演算を組み入れない場合の同様な追従
性を示すグラフである。尚、両者のＰＩＤパラメータは
等しくしてある。
【００３２】図２，図３によれば、本実施例で開示した
ように発生オゾン濃度に「無駄時間＋遅れ時間」演算要
素を組み入れることによって目標値への追従性が高めら
れ、制御系が安定していることが分かる。
ように発生オゾン濃度に「無駄時間＋遅れ時間」演算要
素を組み入れることによって目標値への追従性が高めら
れ、制御系が安定していることが分かる。
【００３３】図４は本発明の第２実施例を示す概要図で
あり、前記第１実施例と同一の構成部分に同一の符号を
付して表示してある。この第２実施例では第１実施例に
おける排オゾン濃度計７に代えて溶存オゾン濃度計１４
が用いられ、更に前記吸収効率演算器１０に代えて、飽
和度演算器１５を用いたことが特徴となっている。他の
構成要素は第１実施例と同一である。
あり、前記第１実施例と同一の構成部分に同一の符号を
付して表示してある。この第２実施例では第１実施例に
おける排オゾン濃度計７に代えて溶存オゾン濃度計１４
が用いられ、更に前記吸収効率演算器１０に代えて、飽
和度演算器１５を用いたことが特徴となっている。他の
構成要素は第１実施例と同一である。
【００３４】この第２実施例では、発生オゾン濃度計６
によって測定された発生オゾン濃度Ｏinと溶存オゾン濃
度計１４によって測定された溶存オゾン濃度ＣLが飽和
度演算器１５に入力されて、飽和度ＸLが次式で演算さ
れる。
によって測定された発生オゾン濃度Ｏinと溶存オゾン濃
度計１４によって測定された溶存オゾン濃度ＣLが飽和
度演算器１５に入力されて、飽和度ＸLが次式で演算さ
れる。
【００３５】 ＸL＝ＣL／Ｏin ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（６） 上記の演算で用いる発生オゾン濃度Ｏinは、発生オゾン
濃度のプロセス値を「無駄時間＋遅れ時間」演算器９に
入力して演算処理した値を用いる。そして得られた飽和
度ＸLと目標とする飽和度との差がＰＩＤ演算器１１で
演算され、その差が０となるような操作信号がオゾン発
生機２に入力されて、該オゾン発生機２からオゾン接触
槽１に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
濃度のプロセス値を「無駄時間＋遅れ時間」演算器９に
入力して演算処理した値を用いる。そして得られた飽和
度ＸLと目標とする飽和度との差がＰＩＤ演算器１１で
演算され、その差が０となるような操作信号がオゾン発
生機２に入力されて、該オゾン発生機２からオゾン接触
槽１に対するオゾンガスの濃度が最適に制御される。
【００３６】第２実施例における「無駄時間＋遅れ時
間」演算器９による演算は、下記の伝達関数で表わすこ
とができる。
間」演算器９による演算は、下記の伝達関数で表わすこ
とができる。
【００３７】 （１・ｅ-L2s）／（１＋Ｔ2s）・・・・・・・・・・（７） ここでＬ2：無駄時間，Ｔ2：遅れ時定数 無駄時間Ｌ2と遅れ時定数Ｔ2は、発生オゾン濃度から溶
存オゾン濃度の伝達関数を予め求めておき、その伝達関
数から決定することができる。
存オゾン濃度の伝達関数を予め求めておき、その伝達関
数から決定することができる。
【００３８】発生オゾン濃度から溶存オゾン濃度の伝達
関数が （Ｋ3・ｅ-L3s）／（１＋Ｔ3s）・・・・・・・・・（８） ここでＬ3：無駄時間，Ｔ3：遅れ時定数，Ｋ3：ゲイン で与えられたとすると、前記Ｌ2，Ｔ2は Ｌ2＝Ｌ3 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（９） Ｔ2＝Ｔ3 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１０） となる。
関数が （Ｋ3・ｅ-L3s）／（１＋Ｔ3s）・・・・・・・・・（８） ここでＬ3：無駄時間，Ｔ3：遅れ時定数，Ｋ3：ゲイン で与えられたとすると、前記Ｌ2，Ｔ2は Ｌ2＝Ｌ3 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（９） Ｔ2＝Ｔ3 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１０） となる。
【００３９】図５は本発明の第３実施例を示す概要図で
あり、この実施例では第１実施例における吸収効率演算
器１０に代えて消費オゾン量検知器１６を配備するとと
もにオゾン接触槽１に排オゾン濃度計７と溶存オゾン濃
度計１４が配置されており、更に第１，第２の「無駄時
間＋遅れ時間」演算器９ａ，９ｂが配備してある。
あり、この実施例では第１実施例における吸収効率演算
器１０に代えて消費オゾン量検知器１６を配備するとと
もにオゾン接触槽１に排オゾン濃度計７と溶存オゾン濃
度計１４が配置されており、更に第１，第２の「無駄時
間＋遅れ時間」演算器９ａ，９ｂが配備してある。
【００４０】そして発生オゾン濃度計６の検知した値が
第１の「無駄時間＋遅れ時間」演算器９ａに入力され、
溶存オゾン濃度計１４の検知した値が第２の「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９ｂに入力されており、排オゾン濃
度計７の検知した値とともに消費オゾン量検知器１６に
入力されている。消費オゾン量検知器１６は「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９ａ，９ｂと排オゾン濃度計７から
の入力信号を受けて消費オゾン量を演算し、ＰＩＤ演算
器１１に入力する。
第１の「無駄時間＋遅れ時間」演算器９ａに入力され、
溶存オゾン濃度計１４の検知した値が第２の「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９ｂに入力されており、排オゾン濃
度計７の検知した値とともに消費オゾン量検知器１６に
入力されている。消費オゾン量検知器１６は「無駄時間
＋遅れ時間」演算器９ａ，９ｂと排オゾン濃度計７から
の入力信号を受けて消費オゾン量を演算し、ＰＩＤ演算
器１１に入力する。
【００４１】この第３実施例では、発生オゾン濃度計６
によって測定された発生オゾン濃度Ｏinと、溶存オゾン
濃度計１４によって測定された溶存オゾン濃度ＣLと、
排オゾン濃度計７によって測定された排オゾン濃度Ｏ
outが消費オゾン量検知器１６に入力されて、消費オゾ
ン量Ｙが次式で演算される。 Ｙ＝（Ｏin−Ｏout）×ＱG／ＱL−ＣL・・・・・・・・（１１） ここでＱG：オゾンガス流量 ＱL：処理水流量 上記の演算で用いる発生オゾン濃度Ｏin及び溶存オゾン
濃度ＣLは、プロセス値を各「無駄時間＋遅れ時間」演
算器９ａ，９ｂに入力して演算処理した値を用いる。そ
して得られた消費オゾン量Ｙと目標とする消費オゾン量
との差がＰＩＤ演算器１１で演算され、その差が０とな
るような操作信号がオゾン発生機２に入力されて、該オ
ゾン発生機２からオゾン接触槽１に対するオゾンガスの
濃度が最適に制御される。
によって測定された発生オゾン濃度Ｏinと、溶存オゾン
濃度計１４によって測定された溶存オゾン濃度ＣLと、
排オゾン濃度計７によって測定された排オゾン濃度Ｏ
outが消費オゾン量検知器１６に入力されて、消費オゾ
ン量Ｙが次式で演算される。 Ｙ＝（Ｏin−Ｏout）×ＱG／ＱL−ＣL・・・・・・・・（１１） ここでＱG：オゾンガス流量 ＱL：処理水流量 上記の演算で用いる発生オゾン濃度Ｏin及び溶存オゾン
濃度ＣLは、プロセス値を各「無駄時間＋遅れ時間」演
算器９ａ，９ｂに入力して演算処理した値を用いる。そ
して得られた消費オゾン量Ｙと目標とする消費オゾン量
との差がＰＩＤ演算器１１で演算され、その差が０とな
るような操作信号がオゾン発生機２に入力されて、該オ
ゾン発生機２からオゾン接触槽１に対するオゾンガスの
濃度が最適に制御される。
【００４２】第３実施例における「無駄時間＋遅れ時
間」演算器９ａ，９ｂによる演算は、下記の伝達関数で
表わすことができる。先ず第１の「無駄時間＋遅れ時
間」演算器９ａの場合は （１・ｅ-L4s）／（１＋Ｔ4s）・・・・・・・・・・（１２） 第２の「無駄時間＋遅れ時間」演算器９ｂの場合は （１・ｅ-L5s）／（１＋Ｔ5s）・・・・・・・・・・（１３） ここでＬ4，Ｌ5：無駄時間，Ｔ4，Ｔ5：遅れ時定数 無駄時間Ｌ4，Ｌ5と遅れ時定数Ｔ4，Ｔ5は、発生オゾン
濃度から排オゾン濃度及び排オゾン濃度から溶存オゾン
濃度の伝達関数を予め求めておき、その伝達関数から決
定することができる。
間」演算器９ａ，９ｂによる演算は、下記の伝達関数で
表わすことができる。先ず第１の「無駄時間＋遅れ時
間」演算器９ａの場合は （１・ｅ-L4s）／（１＋Ｔ4s）・・・・・・・・・・（１２） 第２の「無駄時間＋遅れ時間」演算器９ｂの場合は （１・ｅ-L5s）／（１＋Ｔ5s）・・・・・・・・・・（１３） ここでＬ4，Ｌ5：無駄時間，Ｔ4，Ｔ5：遅れ時定数 無駄時間Ｌ4，Ｌ5と遅れ時定数Ｔ4，Ｔ5は、発生オゾン
濃度から排オゾン濃度及び排オゾン濃度から溶存オゾン
濃度の伝達関数を予め求めておき、その伝達関数から決
定することができる。
【００４３】発生オゾン濃度から排オゾン濃度及び排オ
ゾン濃度から溶存オゾン濃度の伝達関数がそれぞれ （Ｋ6・ｅ-L6s）／（１＋Ｔ6s）・・・・・・・・・（１４） （Ｋ7・ｅ-L7s）／（１＋Ｔ7s）・・・・・・・・・（１５） ここでＬ6，Ｌ7：無駄時間，Ｔ6，Ｔ7：遅れ時定数，Ｋ
6，Ｋ7：ゲイン で与えられたとすると、前記Ｌ4，Ｌ5、Ｔ4，Ｔ5は Ｌ4＝Ｌ5 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１６） Ｔ4＝Ｔ5 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１７） Ｌ5＝Ｌ6 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１８） Ｔ5＝Ｔ6 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１９） となる。
ゾン濃度から溶存オゾン濃度の伝達関数がそれぞれ （Ｋ6・ｅ-L6s）／（１＋Ｔ6s）・・・・・・・・・（１４） （Ｋ7・ｅ-L7s）／（１＋Ｔ7s）・・・・・・・・・（１５） ここでＬ6，Ｌ7：無駄時間，Ｔ6，Ｔ7：遅れ時定数，Ｋ
6，Ｋ7：ゲイン で与えられたとすると、前記Ｌ4，Ｌ5、Ｔ4，Ｔ5は Ｌ4＝Ｌ5 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１６） Ｔ4＝Ｔ5 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１７） Ｌ5＝Ｌ6 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１８） Ｔ5＝Ｔ6 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１９） となる。
【００４４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば発生オゾン濃度計とか溶存オゾン濃度計によって測
定されたプロセス値が「無駄時間＋遅れ時間」演算器で
演算処理されてから、排オゾン濃度の因子とともに吸収
効率演算器とか飽和度演算器もしくは消費オゾン量検知
器に入力されて、ＰＩＤ演算によって目標とする操作量
との差が０となるような信号が演算されてからオゾン発
生機に入力されるので、オゾン発生機からオゾン接触槽
に対するオゾンガスの濃度が最適に制御可能となり、オ
ゾン接触槽に供給するオゾンガスの注入率が最適化され
て過剰なオゾンの注入による排オゾン，溶存オゾンの上
昇を防止し、逆にオゾンガスの量が不足に伴う殺菌効果
の低下現象を来す惧れをなくして再利用水の安全性を高
め、、しかも高価なオゾンガスの無駄を省くことができ
てコストの面からも有効である。
れば発生オゾン濃度計とか溶存オゾン濃度計によって測
定されたプロセス値が「無駄時間＋遅れ時間」演算器で
演算処理されてから、排オゾン濃度の因子とともに吸収
効率演算器とか飽和度演算器もしくは消費オゾン量検知
器に入力されて、ＰＩＤ演算によって目標とする操作量
との差が０となるような信号が演算されてからオゾン発
生機に入力されるので、オゾン発生機からオゾン接触槽
に対するオゾンガスの濃度が最適に制御可能となり、オ
ゾン接触槽に供給するオゾンガスの注入率が最適化され
て過剰なオゾンの注入による排オゾン，溶存オゾンの上
昇を防止し、逆にオゾンガスの量が不足に伴う殺菌効果
の低下現象を来す惧れをなくして再利用水の安全性を高
め、、しかも高価なオゾンガスの無駄を省くことができ
てコストの面からも有効である。
【００４５】本発明の場合には、特に特性の異なるプロ
セス値を複数用いて演算処理して得られた制御出力によ
りオゾン発生機の駆動を制御することによって、適正な
オゾン注入率を得るとともに制御性を高められるという
効果が得られる。
セス値を複数用いて演算処理して得られた制御出力によ
りオゾン発生機の駆動を制御することによって、適正な
オゾン注入率を得るとともに制御性を高められるという
効果が得られる。
【００４６】更に従来の排オゾン濃度及び溶存オゾン濃
度一定制御等のフィードバック制御に起因する無駄な時
間とか操作上の時間的な遅れがなくなり、制御の応答性
が高められるとともに処理水質の変動とか流量変動等の
外乱にも素早く対応することが可能となる。
度一定制御等のフィードバック制御に起因する無駄な時
間とか操作上の時間的な遅れがなくなり、制御の応答性
が高められるとともに処理水質の変動とか流量変動等の
外乱にも素早く対応することが可能となる。
【００４７】従って本発明によれば、上水とか下水に限
らず、各種工場排水とかプール用水にも適用可能であ
り、オゾン処理時の無駄な時間及び遅れ時間をなくして
効率的に処理を可能とし、従来の単に処理水量比例制御
とかオゾンの放散量を処理水量に比例させた制御、注入
オゾン濃度もしくは排オゾン濃度を一定にする制御等に
比較して制御の精度が高められ、原水をオゾン処理する
際の目標とする水質が確保され、下水再利用時における
水の安全性を向上させることができる。
らず、各種工場排水とかプール用水にも適用可能であ
り、オゾン処理時の無駄な時間及び遅れ時間をなくして
効率的に処理を可能とし、従来の単に処理水量比例制御
とかオゾンの放散量を処理水量に比例させた制御、注入
オゾン濃度もしくは排オゾン濃度を一定にする制御等に
比較して制御の精度が高められ、原水をオゾン処理する
際の目標とする水質が確保され、下水再利用時における
水の安全性を向上させることができる。
【図１】本発明の第１実施例にかかる制御装置の概要
図。
図。
【図２】第１実施例における「無駄時間＋遅れ時間」演
算器による演算を組み入れた場合の目標値への追従性を
示すグラフ。
算器による演算を組み入れた場合の目標値への追従性を
示すグラフ。
【図３】第１実施例における「無駄時間＋遅れ時間」演
算器による演算を組み入れない場合の目標値への追従性
を示すグラフ。
算器による演算を組み入れない場合の目標値への追従性
を示すグラフ。
【図４】本発明の第２実施例にかかる制御装置の概要
図。
図。
【図５】本発明の第３実施例にかかる制御装置の概要
図。
図。
１…オゾン接触槽 ２…オゾン発生機 ３ａ，３ｂ…散気管 ４…流入口 ５…流出口 ６…発生オゾン濃度計 ７…排オゾン濃度計 ８…排オゾン処理施設 ９，９ａ，９ｂ…「無駄時間＋遅れ時間」演算器 １０…吸収効率演算器 １１…ＰＩＤ演算器 １２…原水 １３…オゾン処理水 １５…飽和度演算器 １６…消費オゾン量検知器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松井 理恵 東京都品川区大崎２丁目１番17号 株式会 社明電舎内
Claims (4)
- 【請求項１】 対向流式に構成された複数段の接触槽に
区分され、オゾン発生機から得られるオゾンガスを各接
触槽内の底壁近傍に配置された散気管から放散して所望
のオゾン処理を行うようにした多段式のオゾン接触槽に
おいて、 上記オゾン発生機に発生オゾン濃度計と「無駄時間＋遅
れ時間」演算器を配備するとともに、オゾン接触槽に排
オゾン濃度計と吸収効率演算器を配備し、発生オゾン濃
度計の検知した値を「無駄時間＋遅れ時間」演算器を介
してから吸収効率演算器に入力するとともに、排オゾン
濃度計の検知した値を該吸収効率演算器に入力してオゾ
ンの吸収効率を演算し、ＰＩＤ演算の出力信号に基づい
てオゾン発生機の駆動制御を実施することを特徴とする
オゾン処理における制御装置。 - 【請求項２】 対向流式に構成された複数段の接触槽に
区分され、オゾン発生機から得られるオゾンガスを各接
触槽内の底壁近傍に配置された散気管から放散して所望
のオゾン処理を行うようにした多段式のオゾン接触槽に
おいて、 上記オゾン発生機に発生オゾン濃度計と「無駄時間＋遅
れ時間」演算器を配備するとともに、オゾン接触槽に溶
存オゾン濃度計と飽和度演算器を配備し、発生オゾン濃
度計の検知した値を「無駄時間＋遅れ時間」演算器を介
してから飽和度演算器に入力するとともに、排オゾン濃
度計の検知した値を該飽和度演算器に入力してオゾンの
飽和度を演算し、ＰＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾ
ン発生機の駆動制御を実施することを特徴とするオゾン
処理における制御装置。 - 【請求項３】 対向流式に構成された複数段の接触槽に
区分され、オゾン発生機から得られるオゾンガスを各接
触槽内の底壁近傍に配置された散気管から放散して所望
のオゾン処理を行うようにした多段式のオゾン接触槽に
おいて、 上記オゾン発生機に発生オゾン濃度計と第１の「無駄時
間＋遅れ時間」演算器を配備するとともに、オゾン接触
槽に溶存オゾン濃度計と第２の「無駄時間＋遅れ時間」
演算器、及び排オゾン濃度計と消費オゾン量検知器を配
備し、発生オゾン濃度計の検知した値を第１の「無駄時
間＋遅れ時間」演算器を介してから消費オゾン量検知器
に入力するとともに、溶存オゾン濃度計の検知した値を
第２の「無駄時間＋遅れ時間」演算器を介してから消費
オゾン量検知器に入力し、排オゾン濃度計の検知した値
とともに消費オゾン量検知器により消費オゾン量を演算
し、ＰＩＤ演算の出力信号に基づいてオゾン発生機の駆
動制御を実施することを特徴とするオゾン処理における
制御装置。 - 【請求項４】 オゾン発生機の制御量が複数の測定量か
ら演算される量であって、少なくとも演算項の１つがオ
ゾン発生機の操作量である制御において、 上記制御量の演算に使用する操作量に、その演算に関係
する他の測定量の伝達関数に相当する関数を乗じて制御
量を演算し、制御目標値と比較してオゾン発生機の駆動
制御を実施するようにした請求項１，２，３記載のオゾ
ン処理における制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15281895A JPH091168A (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | オゾン処理における制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15281895A JPH091168A (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | オゾン処理における制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH091168A true JPH091168A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15548834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15281895A Pending JPH091168A (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | オゾン処理における制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH091168A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009500855A (ja) * | 2005-07-07 | 2009-01-08 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | マルチ・チャンバ・ツールのためのオゾン・システム |
-
1995
- 1995-06-20 JP JP15281895A patent/JPH091168A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009500855A (ja) * | 2005-07-07 | 2009-01-08 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | マルチ・チャンバ・ツールのためのオゾン・システム |
| JP2012146987A (ja) * | 2005-07-07 | 2012-08-02 | Mks Instruments Inc | マルチ・チャンバ・ツールのためのオゾン・システム |
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