JPH09113719A

JPH09113719A - カラーフィルタの製造方法

Info

Publication number: JPH09113719A
Application number: JP27271795A
Authority: JP
Inventors: Munehiro Hatai; 宗宏畠井; Kazuhiko Nakamura; 一彦中村
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 1995-10-20
Filing date: 1995-10-20
Publication date: 1997-05-02

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】各着色画素間の混色を防止し、着色塗膜の膜
厚分布に依存せずに着色画素を形成させ、優れた色調と
高コントラストの着色画素を簡便に形成するカラーフィ
ルタの製造方法を提供する。【解決手段】基板上に第１色目の着色層を形成し、レ
ーザー光を着色画素となる領域以外の部分に照射して、
第１色目の着色層のレーザー光に照射された部分を蒸散
させることにより、第１色目の着色画素を形成する工
程、第１色目の着色画素と混合しない第１透明樹脂層を
第１色目着色画素の上から基板上に形成する工程、第２
色目の着色層を第１透明樹脂層の上に形成し、レーザー
光を第２色目の着色画素となる領域以外の部分に照射す
ると共に、レーザー光の出力を制御して、第１透明樹脂
層の上にある第２色目の着色層を蒸散させることにより
第２色目の着色画素を形成する工程、以下同じ要領によ
り第３色目の着色画素を形成する工程を含むカラーフィ
ルタの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示表
示装置のカラーフィルタを製造する方法に関し、更に詳
しくは、着色画素間の混色が防止され、着色塗膜の膜厚
分布に依存せず着色画素を形成させることができ、優れ
た色調と高コントラストの着色画素を有するカラーフィ
ルタの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示には、透明な基板上に３
色の画素を形成したカラーフィルタが用いられている。
３色としては、通常、赤、青、緑の３原色が使用されて
いる。所望により、第４色目以上の画素を形成してもよ
い。従来、画素の形成には、透明な着色画素を形成し得
る感光性樹脂組成物が用いられ、色相の異なる３色以上
の色に着色された微細な領域を透明基板上に形成してい
る。例えば、特開平６−６７０１０号公報には、透明基
板上に、第１の色相の顔料を分散させた感光性樹脂組成
物の塗膜を形成し、次いで、マスクパターンを介して露
光し、現像することにより、第１のパターン状透明着色
画像（画素）を形成し、更にその上に、同様の工程を繰
り返すことにより、第１及び第３の色相の画素を形成す
る方法が提案されている。

【０００３】しかし、感光性樹脂を用いる従来の方法で
は、各着色画素の光透過率特性に応じて感度及び解像度
に差が生じるため、感光性樹脂やバインダー樹脂の含有
量を調整するなどして、感度及び解像度を調整する必要
がある。ところが、このような調整を行うと、各着色画
素の膜厚が異なってしまい、コントラストの低下などの
不都合を招く原因となる。また、従来の方法では、高価
な感光性樹脂を使用する必要があることに加えて、現像
液の廃液処理や現像液からのダスト等の不純物の混入な
どの問題があった。

【０００４】最近、本発明者らは、基板状に形成した着
色塗膜層を、その画素となる部分を残してレーザー光の
照射により蒸散させて取り去ることにより、カラーフィ
ルタを製造する方法を提案した（特願平７−１６０６８
９号）。この方法では、基板上に第１色目の着色塗膜層
を形成し、第１色目の画素となる領域以外の部分にレー
ザー光を照射して被照射部分のみを蒸散させることによ
り第１色目の着色画素を形成し、次いで、第２色目の着
色塗膜層を第１色目の着色画素の上に形成し、レーザー
光を第２色目の着色画素となる領域以外の部分に照射す
ると共に、レーザー光の出力（照射エネルギー量）を制
御して、第２色目の着色塗膜層の被照射部分のみを蒸散
させることにより第２色目の着色画素を形成し、以下同
様にして第３色目の着色画素を形成している。各着色塗
膜層は、顔料、分散用樹脂、溶媒などを含有する着色組
成物を用いて形成されている。

【０００５】このレーザー光照射法を採用すれば、感光
性樹脂を使用することに伴う前記の如き問題点は解消さ
れ、しかも画素の表面が平坦で膜厚が一定のカラーフィ
ルタを製造することができる。しかし、この方法によれ
ば、第１色目の着色画素の上に第２色目の着色塗膜層を
形成するとき、第１色目着色画素と第２色目着色塗膜が
同一系の溶媒を用いて形成されているため、第１色目着
色画素に硬化等による不溶化処理を施していない場合に
は、第１色目着色画素と第２色目着色塗膜の間において
混色を起こしてしまい、その結果、着色画素の色調が落
ちてしまう。また、スピンコーター等により着色塗膜を
形成させる時に、基板の中央と、端の部分において膜厚
に差を生じることがあり、同じレーザー光の出力で照射
して、同じ膜厚を蒸散させても、着色画素上に他の着色
塗膜層が残ったり、あるいは着色塗膜層の下の他の着色
画素の一部を蒸散させてしまうおそれがあった。このよ
うな欠陥のあるカラーフィルタを液晶ディスプレー装置
に実装すると、コントラストの低下や色調の低下を引き
起こしてしまう。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
先願発明におけるレーザー光照射法において、主として
各着色画素を硬化する工程を省くことにより生じる各着
色画素間の混色を防止することができ、更には、着色塗
膜の膜厚分布に依存せずに着色画素を形成させることが
でき、優れた色調と高コントラストの着色画素を簡便に
形成することが可能なカラーフィルタの製造方法を提供
することにある。本発明者らは、鋭意研究を行った結
果、着色塗膜（着色層）へのレーザー光照射により着色
画素を形成した後、次の異なる着色画素を形成するに先
立って、形成された着色画素の上に該着色画素と混合し
ない透明樹脂層を形成し、その上に異なる色相の着色層
を形成すれば、異なる色相の着色画素間の混色等の問題
を克服し得ることを見出した。本発明は、これらの知見
に基づいて完成するに至ったものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、透明な
基板上に少なくとも３色の画素を形成したカラーフィル
タの製造方法において、（１）基板上に第１色目の着色
層を形成し、レーザー光を着色画素となる領域以外の部
分に照射して、第１色目の着色層のレーザー光に照射さ
れた部分を蒸散させることにより、第１色目の着色画素
を形成する工程、（２）第１色目の着色画素と混合しな
い第１透明樹脂層を第１色目着色画素の上から基板上に
形成する工程、（３）第２色目の着色層を第１透明樹脂
層の上に形成し、レーザー光を第２色目の着色画素とな
る領域以外の部分に照射すると共に、レーザー光の出力
を制御して、第１透明樹脂層の上にある第２色目の着色
層を蒸散させることにより第２色目の着色画素を形成す
る工程、（４）第２色目の着色画素と混合しない第２透
明樹脂層を第２色目着色画素の上から基板上に形成する
工程、及び（５）第３色目の着色層を第２透明樹脂層の
上に形成し、レーザー光を第３色目の着色画素となる領
域以外の部分に照射すると共に、レーザー光の出力を制
御して、第２透明樹脂層の上にある第３色目の着色層を
蒸散させることにより第３色目の着色画素を形成する工
程を含むカラーフィルタの製造方法が提供される。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の製造方法につい
て、図１〜３を用いて説明する。基板１に第１色目の着
色塗膜（着色層）２を形成する。ここで基板は、通常、
透明であり、ガラス、フィルム等の樹脂組成物が使用で
きる。また、基板上にブラックマトリクスが形成されて
いるものも使用できる。ここでブラックマトリクスと
は、各着色画素の隙間を遮光性物質で埋め、あるいは被
覆し、カラーフィルタのコントラストを向上させるもの
である。ブラックマトリックスに使用できる材料として
は、例えば、クロムや酸化クロムの薄膜、カーボンブラ
ック、黒鉛、遮光性物質を混入した樹脂組成物等があ
る。

【０００９】第１色目とは、カラーフィルタに必要な３
原色の１つで、以降第２色目、第３色目は各々残りの色
である。通常は、３原色として赤、緑、青（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）が用いられる。所望により、それら以外の第４色目
の着色画素を設けてもよい。着色塗膜の形成方法として
は、顔料や分散用樹脂、溶媒等を含む着色組成物をスピ
ンコート、ロールコートなどの通常の塗布方法により基
板上に塗布し、着色塗膜を形成する。着色組成物は、こ
れを塗膜にして、カラーフィルタの画素として用いた場
合、充分な色特性を持っているものであり、通常、顔料
を、分散剤を用いて適当な溶媒に分散させたものであ
る。ここでいう分散剤とは、顔料を微細化し、安定に分
散させるものである。

【００１０】本願発明で用いられる顔料としては、有機
顔料としては、アゾレーキ系、不溶性アゾ系、縮合アゾ
系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ジオキサジン
系、イソインドリノン系、アントラキノン系、ペリノン
系、チオインジコ系、ペリレン系、カーボンがあり、無
機顔料としては、鉄黒、酸化チタン、ミロリブルー、酸
化鉄、コバルト紫、マンガン紫、群青、紺青、コバルト
ブルー、セルリアンブルー、ビリジアン、及びこれらの
２種以上の混合物が使われる。また、顔料表面を表面処
理し、顔料の分散性を向上させた修飾顔料も使用するこ
とができる。分散剤としては、界面活性剤が良く使用さ
れる。界面活性剤には、イオン性界面活性剤、ノニオン
性界面活性剤があり、イオン性界面活性剤としては、カ
チオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、両性界面
活性剤がある。

【００１１】カチオン性界面活性剤の例として、脂肪族
アミン類、第４アンモニウム塩類、アルキルピリジウム
塩類などがある。アニオン性界面活性剤の例として、脂
肪酸塩類、硫酸エステル類、スルホン酸塩類、燐酸エス
テル類等がある。両性界面活性剤の例として、アミノ酸
塩類等がある。ノニオン性界面活性剤の例として、ポリ
オキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレ
ンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンア
ルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、ポ
リオキシエチレンソルビタンアルキルエステル類等があ
る。分散剤として、界面活性剤以外に、市販されている
顔料分散用の樹脂を使用することができる。分散用樹脂
の例としては、水溶性の樹脂として、ブチラール樹脂、
ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン；アクリ
ル酸、メタクリル酸、２−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロ
キシプロピルメタクリレートなどの（共）重合体；ポリ
アクリルアミド等がある。溶剤系の樹脂として、アルキ
ド樹脂、アクリル樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、
フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、イソシ
アネート、マレイン樹脂等がある。分散剤として、上記
界面活性剤と顔料分散用の樹脂との併用も可能である。
そして、上記界面活性剤、顔料分散用の樹脂どちらか一
方で分散を行い、残りの一方を顔料分散後に添加するこ
ともできる。着色組成物に用いられる溶媒としては、通
常の塗料に用いられている溶媒が使用できる。具体的に
は、水、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコ
ール、ブタノール、トルエン、キシレン、メチルエチル
ケトン、ジグライム、乳酸エステル、エチルセロソル
ブ、エチルセロソルブアセテート、酢酸エステル等が挙
げられる。着色組成物には、塗膜の耐久性を向上させる
ために、各種のバインダー樹脂を使用することも可能で
ある。バインダー樹脂としては、上記顔料分散用の樹脂
として挙げた樹脂も用いることができる。

【００１２】上記各成分から適当なものを選択し、通常
の分散機により、顔料を溶媒中に分散する。溶媒中に
は、分散剤が予め溶解してある。分散機としては、サン
ドミル、ボールミル、ホモジナイザー等が使用される。
このようにして得られた着色組成物を基板に塗布し、塗
膜２を形成する。塗膜形成方法としては、スピンコー
ト、ロールコート、ディッピング等がある。塗膜の膜厚
は、顔料の濃度により異なるが通常０．５〜２μｍであ
る。このようにして得られた塗膜２に、第１色目の着色
画素５が形成される領域以外の部分にレーザー光３を照
射し、レーザー光が照射された部分を蒸散させることに
より、第１色目の着色画素５を形成する。

【００１３】照射するレーザー光としては、レーザー光
が着色塗膜に照射された場合、被照射部分の塗膜が蒸散
されるように、充分短い波長でなければならない。従っ
て、波長が紫外線領域にあるエキシマレーザーが好適で
ある。使用されるエキシマレーザーとしては、ＸｅＣ
ｌ、ＫｒＦ、ＡｒＦがある。しかしながら、ＣＯ₂、Ｙ
ＡＧレーザーのように波長が赤外光であっても、非線形
光学材料を用い、第２、第３高調波により、その波長を
得ることも可能である。しかし、この場合、レーザー光
が充分なエネルギー密度を持っていなければならない。
レーザー光のエネルギー密度は、通常、０．２〜３Ｊ／
ｃｍ²であり、０．５〜２Ｊ／ｃｍ²の範囲が好適であ
る。エネルギー密度が大きすぎると、塗膜だけでなく、
下にある基板まで蒸散してしまう。また、エネルギー密
度が小さすぎると塗膜が蒸散を起こさない。そして、レ
ーザー光は、第２色目以降の画素の形成のために、レー
ザー光の出力を制御することが必要である。このとき、
レーザー光がパルス光であることが望ましい。パルス光
のショット数により、塗膜の深さ方向の加工制御が可能
となるからである。形成される各色の着色画素の形状
は、通常、矩形、六角形、円形等であり、その大きさ
は、長辺または直径が１００〜３００μｍ程度である。
各着色画素は、規則的に交互に配列されており、各着色
画素の隙間は、通常、１０〜５０μｍ程度である。

【００１４】レーザー光を照射し、蒸散により着色画素
を得るのに２つ方法がある。１つはフォトマスクを介し
た面露光により、ある領域にレーザー光を照射し、一括
で画素を形成し、ＸＹステージ等により、基板を移動
し、更にレーザー光を照射し、画素を形成する。この工
程を繰り返すことにより、基板の全面に所望の着色画素
を形成する。この方法では、照射面積ができる限り大き
い方が加工時間が短くなり有利だが、面積を広げすぎる
と、照射エネルギー密度が小さくなり、蒸散を起こしに
くくなってしまう。最低限蒸散するようなエネルギー密
度で、レーザー光の領域を広げるのが好ましい。この方
法では、１回の照射で画素を形成する領域が広いため
に、全体の加工時間が短くなる。もう１つの方法として
は、レーザー光を小さく絞り込み、走査することにより
着色画素を形成する方法がある。レーザー光のスポット
の大きさは、スポットの縦、横のどちらかを少なくとも
３０μｍ以下にする必要がある。レーザー光を走査する
方法としては、ＸＹステージ等により基板自体を移動す
るか、あるいはレーザー光を光学系により走査する方法
が挙げられる。この方法では、フォトマスクは不要であ
り、微細加工には有利である。

【００１５】このようにして、第１色目の着色画素５を
形成した後、その上から基板上に透明樹脂溶液を塗布
し、第１透明樹脂層６を形成する。ここで用いる透明樹
脂は、２色目以降の着色塗膜の混色を防止できるもので
なければならない。混色を防止するために、着色塗膜の
溶媒と透明樹脂の溶媒を互いに混ざらないように選択す
る。互いに混じらない溶媒の条件としては、互いの溶媒
の溶解パラメーターの差が５以上あることが好ましい。
通常、着色塗膜が水系の場合、透明樹脂溶液は、水に不
溶な有機溶剤を溶媒とする。着色塗膜が有機溶剤を溶媒
としている場合には、透明樹脂として水溶性のものを使
用し、水を溶媒とすることが好ましい。このようにして
溶媒が選択され、この溶媒に溶解する透明樹脂が選択さ
れる。

【００１６】透明樹脂層を形成するために使用される透
明樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂、ポリエステル、ポリカーボネー
ト、アセタール樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、
ポリ塩化ビニル、ビニル樹脂、ポリエーテル、ポリスチ
レン、シリコーン樹脂、ポリサルホン等の透明であっ
て、塗膜形成可能な樹脂が挙げられる。これらの透明樹
脂層は、熱硬化、あるいはモノマー、重合開始剤を添加
して光硬化することが望ましい。透明樹脂層の膜厚は、
膜厚分布を補償するためには、膜厚分布以上の膜厚でな
ければならず、かつ、レーザー光走査法を適用するため
に、レーザー光の１ショット当たりの蒸散深さ以上でな
ければならない。スピンコーターで塗膜を形成する場
合、通常、約１０％の膜厚分布が生じる。例えば、厚み
１μｍの着色塗膜を形成させる場合、透明樹脂層は、
０．１μｍ以上の膜厚でなければならず、そして、透明
樹脂層にレーザー光を照射したとき、１ショット当たり
０．２μｍ蒸散する場合、その膜厚は、０．２μｍ以上
でなければならない。このようにして透明樹脂を選択
し、膜厚を決め、透明樹脂塗膜６を得る。

【００１７】次に、第２図に示すように、第２色目の着
色組成物を透明樹脂塗膜層の上に塗布し、乾燥し、第２
色目の着色塗膜７を形成する。第２色目の着色塗膜７
を、第１色目の着色画素を形成したときと同様にして、
レーザー光を第２色目の着色画素を形成させる領域以外
の部分に照射し、被照射部分を蒸散させて第２色目の着
色画素８を形成する。ここで、第２色目の着色塗膜の下
に第１色目の着色画素がある領域が存在するため、レー
ザー光のパルスのショット数を制御することにより第２
色目の着色塗膜のみを蒸散させる。このとき、第２色目
着色塗膜の下にレーザー光の１ショット当たりの蒸散の
深さのばらつきを補償する透明樹脂層６が存在するた
め、第２色目着色塗膜を完全に蒸散させるだけでなく、
透明樹脂層も幾分か蒸散させてもよい。しかしながら、
透明樹脂層の下にある第１色目着色画素までも蒸散させ
てはならない。このようにして、第２色目の着色画素８
を形成する。

【００１８】次いで、第１色目着色画素５の上から透明
樹脂塗膜６を形成したのと同様にして、第２透明樹脂層
９を第２色目着色画素８の上に形成する。ここで、用い
られる透明樹脂と溶剤は、第１透明樹脂層と同じでもよ
く、あるいは違っていてもよい。しかしながら、第１透
明樹脂層と同様に、第２色目着色画素と第３色目着色塗
膜が混色しないようなものでなければならない。また、
第２透明樹脂層９の膜厚は、第１透明樹脂層６の場合と
同様にして、第１色目着色塗膜と第２色目着色塗膜の膜
厚分布を補償するに足る膜厚でなければならない。この
ようにして、第２層目の透明樹脂層９を形成する。次
に、第３図に示すように、第３色目着色塗膜１０を、第
２透明樹脂層９の上から形成し、前記と同様にして、レ
ーザー光を第３色目の着色画素を形成させる領域以外の
部分に照射し、被照射部分を蒸散させて第３色目の着色
画素１１を形成する。ここで、第３色目の着色塗膜の下
に、第１色目、第２色目の着色画素がある領域が存在す
るため、レーザー光のパルスのショット数を制御するこ
とにより第３色目着色塗膜のみを蒸散させるようにす
る。

【００１９】このとき、第２色目と同様に、第３色目着
色塗膜の下にレーザー光の１ショット当たりの蒸散の深
さのばらつきを補償する透明樹脂層９が存在するため、
第３色目着色塗膜の被照射部分を完全に蒸散させるだけ
でなく、透明樹脂層９も幾分か蒸散させてもよい。しか
しながら、透明樹脂層９の下にある第２色目着色画素８
までも蒸散させてはならない。このようにして、第３色
目着色画素１１を形成する。上記のようにして３色の着
色画素を形成し、カラーフィルタを製造する。所望によ
り、同様の工程で、第４色目以降の着色画素を形成して
もよい。本発明の製造方法によれば、各着色塗膜間に混
色を防止する透明樹脂塗膜を介在させることにより、各
着色画素の硬化工程を省くことができ、容易に、優れた
色調、高コントラストのカラーフィルターを作製するこ
とができる。

【００２０】

【実施例】以下に、本発明について実施例及び比較例を
挙げてより具体的に説明する。

【００２１】［実施例１］（１）着色組成物の作製最初にＲＧＢの着色組成物を作製した。ここでＲＧＢと
は、カラーフィルタの画素における３原色で、Ｒ、Ｇ、
Ｂ、で各々赤、緑、青である。ＲＧＢの着色組成物を作
製するために、赤、緑、青、の３色に加えて、色調整用
として黄色、紫の２色の顔料を分散した。着色組成物の
配合組成は、以下のとおりであった。顔料：１５重量％ポリビニルアルコール（ゴーセノールＫＰ０８、日本
合成化学工業（株）製）：３重量％ノニオン系界面活性剤（ノイゲンＥＡ１７０、第一工
業製薬（株）製）：３重量％水：７９重量％ここで、各色における顔料は、赤：クロモフタールレッド緑：フタロシアニングリーン青：フタロシアニンブルー黄：ジスアゾイエロー紫：ジオキサジンヴァイオレットであり、これをサンドミルにより分散した。色調整とし
て、以下の組成比（重量比）で混合し、ＲＧＢの各着色
組成物を得た。Ｒ＝赤：黄＝８５：１５Ｇ＝緑：黄＝６１：３９Ｂ＝青：紫＝７８：２２

【００２２】（２）カラーフィルタの製造方法１０ｃｍの無アルカリガラス基板に、第１色目としてＲ
の着色組成物をスピンコーターにより塗布し、塗膜を形
成させた。この塗膜の膜厚を接触式膜厚測定器Ｄｅｋｔ
ａｃＩＩＡ（Ｓｌｏａｎ社製）により測定したとこ
ろ、０．８μｍであった。得られたＲの着色塗膜にＫｒ
Ｆレーザー（Ｌ５８３７：浜松ホトニクス（株））を照
射して、Ｒの着色画素を形成した。このときレーザー光
のスポットサイズをレンズ系により１０×１５０μｍに
縮小し、ＸＹステージにより基板を移動させながらレー
ザー光を照射することにより、Ｒの１００×３００μｍ
の画素を形成した。レーザーのエネルギー密度は、１Ｊ
／ｃｍ²であった。

【００２３】次に、予め第１層目の透明樹脂層の膜厚の
条件を決めておく。別の基板にＧの着色組成物を塗布
し、Ｒと同様に乾燥し、Ｇの塗膜を得た。Ｒと同様にＧ
の膜厚を測定したところ、基板の中央は０．９μｍに対
して、端の部分は０．８μｍであった。また、Ｇにレー
ザー光を照射したとき、１ショット当たり０．２μｍ蒸
散した。そこで、透明樹脂層の膜厚は、０．２μｍ以上
とする。実際は、透明樹脂層としてポリメチルメタクリ
レートの５％ジエチルケトン溶液をＲの着色画素の上か
ら塗布し、７０℃のホットプレートの上に３分間置き、
塗膜を乾燥させたところ、形成された透明樹脂層の膜厚
は０．３μｍであった。水の溶解パラメーターは２３．
８であり、ジエチルケトンのそれは１８．０であること
から、これらの溶解パラメーターの差は５．８であり、
互いに混じり合わない。

【００２４】第１透明樹脂層の上からＧの着色組成物を
スピンコーターにより塗布し、塗膜を形成させた。Ｇの
塗膜の膜厚は０．８〜０．９μｍであり、第１透明樹脂
層の膜厚は０．３μｍで、レーザーパルス１ショット当
たり０．２μｍ蒸散させるので、被照射部分のＧの塗膜
を蒸散させるためにはレーザー光のパルスを走査し、５
ショット照射すればよいことが分かった。このようにし
てレーザー光をＲと同様にＧの画素が形成される領域以
外の部分にＸＹステージを移動させながら、各部分５シ
ョットずつ照射した。こうしてＲと同様に１００×３０
０μｍのＧの画素を形成した。最後にＢの画素をＧと同
様にして形成した。このとき、別な基板上でＢの塗膜を
作製したところ、その膜厚は０．８〜０．９μｍであ
り、Ｂの１ショット当たりの蒸散の深さはＧと同様０．
２μｍ／パルスであった。従って、Ｇの上に形成させる
第２層目の透明樹脂層の膜厚は０．２μｍ以上とする。

【００２５】第２層目の透明樹脂層を第１層目の透明樹
脂層と同じ組成により、同じ膜厚の０．３μｍで形成し
た。第２透明樹脂層の上にＢの着色樹脂塗膜を形成させ
たところ、その膜厚は０．８〜０．９μｍであった。そ
の結果、被照射部分のＢの塗膜を蒸散させるために、レ
ーザー光のパルスをＢの画素が形成される領域以外の部
分にＸＹステージを移動しながら、各部分５ショットず
つ照射し、Ｂの画素を形成した。このようにして、Ｂの
画素１００×３００μｍを形成した。このようにして、
基板上にＲＧＢの画素を形成し、カラーフィルタを得
た。

【００２６】［比較例１］（１）着色組成物の作製着色組成物は、上記実施例１と同じものを使用した。（２）カラーフィルタの製造方法実施例１と同様にして、１０ｃｍ角の無アルカリガラス
基板に第１色目としてＲの着色組成物をスピンコーター
により塗布し、得られたＲの着色塗膜をＫｒＦのレーザ
ーにより、実施例１と同じＲの着色画素を形成した。次
に、透明樹脂層を形成させずに、Ｇの着色組成物を、こ
のＲの画素の上から実施例１と同じ膜厚になるように塗
布しようとしたがＲの着色塗膜と混色してしまい、塗膜
表面が波紋上の模様が出て、きれいな塗膜が形成されな
かった。このまま、実施例１と同じ条件でレーザー光
を、画素を形成させる部分以外のところに照射すると、
Ｒの着色画素は現われたが、Ｇと混色を起こしており、
きれいな画素が得られていなかった。

【００２７】

【発明の効果】本発明の製造方法によれば、以下のよう
な顕著な効果を奏することができる。着色画素形成工程がドライプロセスであるので、廃液
処理を必要としない。また、ウェットプロセスにおける
現像液からの不純物の混入もなく画素欠陥を少なくする
ことが可能となる。その結果、カラーフィルタの歩止り
を向上することが可能となる。レーザーにより画素形成を行なうので、廉価な材料に
より着色画素を形成することができ、かつ高精細なカラ
ーフィルタを製造することができる。レーザーを光源に用いているために、レーザーのもつ
コヒーレント性から、マスクを塗膜から離したプロキシ
ミティ露光でも回折が無く、マスク通りのパターン作製
できる。着色塗膜形成時、塗膜を硬化する工程を省くことがで
きる。着色画素間に透明樹脂塗膜が形成されているので、各
着色画素間で混色が起こらない。着色画素間に透明樹脂塗膜が形成されているので、各
着色塗膜の膜厚分布に依存せず、着色画素を形成するこ
とが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法により、第１色目の着色画素
を形成する工程を示す模式図である。

【図２】本発明の製造方法により、第２色目の着色画素
を形成する工程を示す模式図である。

【図３】本発明の製造方法により、第３色目の着色画素
を形成する工程を示す模式図である。

【符号の説明】

１：透明基板２：第１色目の着色塗膜（着色層）３：レーザー光４：フォトマスク５：第１色目の着色画素６：第１透明樹脂塗膜（透明樹脂層）７：第２色目の着色塗膜８：第２色目の着色画素９：第２透明樹脂塗膜１０：第３色目の着色塗膜１１：第３色目の着色画素

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明な基板上に少なくとも３色の画素を
形成したカラーフィルタの製造方法において、（１）基
板上に第１色目の着色層を形成し、レーザー光を着色画
素となる領域以外の部分に照射して、第１色目の着色層
のレーザー光に照射された部分を蒸散させることによ
り、第１色目の着色画素を形成する工程、（２）第１色
目の着色画素と混合しない第１透明樹脂層を第１色目着
色画素の上から基板上に形成する工程、（３）第２色目
の着色層を第１透明樹脂層の上に形成し、レーザー光を
第２色目の着色画素となる領域以外の部分に照射すると
共に、レーザー光の出力を制御して、第１透明樹脂層の
上にある第２色目の着色層を蒸散させることにより第２
色目の着色画素を形成する工程、（４）第２色目の着色
画素と混合しない第２透明樹脂層を第２色目着色画素の
上から基板上に形成する工程、及び（５）第３色目の着
色層を第２透明樹脂層の上に形成し、レーザー光を第３
色目の着色画素となる領域以外の部分に照射すると共
に、レーザー光の出力を制御して、第２透明樹脂層の上
にある第３色目の着色層を蒸散させることにより第３色
目の着色画素を形成する工程を含むカラーフィルタの製
造方法。