JPH09100159A - 圧電磁器及びその製造方法 - Google Patents

圧電磁器及びその製造方法

Info

Publication number
JPH09100159A
JPH09100159A JP26022895A JP26022895A JPH09100159A JP H09100159 A JPH09100159 A JP H09100159A JP 26022895 A JP26022895 A JP 26022895A JP 26022895 A JP26022895 A JP 26022895A JP H09100159 A JPH09100159 A JP H09100159A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric ceramic
lead
oxide
manganese
compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP26022895A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3119138B2 (ja
Inventor
Kiyoshi Hase
喜代司 長谷
Hiroshi Takagi
洋 鷹木
Akira Ando
陽 安藤
Akira Nagai
昭 長井
Tamotsu Tokuda
有 徳田
Koichi Hayashi
宏一 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP26022895A priority Critical patent/JP3119138B2/ja
Priority to KR1019960044089A priority patent/KR100200180B1/ko
Priority to EP19960116023 priority patent/EP0767151B1/en
Priority to DE1996613927 priority patent/DE69613927T2/de
Priority to US08/729,733 priority patent/US5766502A/en
Priority to CN961134356A priority patent/CN1064938C/zh
Priority to TW085112224A priority patent/TW365679B/zh
Publication of JPH09100159A publication Critical patent/JPH09100159A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3119138B2 publication Critical patent/JP3119138B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/472Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on lead titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • C04B35/491Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64Burning or sintering processes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的品質係数Qmが小さく、かつ、耐熱性
の優れた圧電磁器、例えば、群遅延時間特性が平坦で位
相歪みが小さく、表面実装に対応可能なフィルタ素子用
の圧電磁器と、これを安定的に生産する方法を提供す
る。 【課題解決手段】 少なくとも鉛、ジルコニウム及びチ
タンの複合酸化物を含む圧電磁器の結晶粒界部分に、マ
ンガンの酸化物と鉛の酸化物が結晶粒内に比べて高濃度
に共存しており、その製造方法は、圧電磁器の表面に、
マンガン化合物と鉛化合物とを付着させた後、熱処理し
て、該付着物を前記圧電磁器の結晶粒界部分に拡散させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に耐熱性の要求
される表面実装型の圧電部品に使用される圧電磁器とそ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】セラミックフィルタ等に用いられる圧電
磁器として、従来より、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb
(Tix Zr1-x )O3 )等を主成分とする圧電磁器が
広く用いられており、その圧電特性を改善するために種
々の微量添加物の添加が試みられている。
【0003】そして、特に、群遅延時間(GDT)特性
が平坦で、しかも位相歪みの小さいという優れた特性の
セラミックフィルタ用の材料としては、機械的品質係数
Qmの値が小さいことが要求され、チタン酸ジルコン酸
鉛に、添加物として酸化ニオブ、酸化アンチモン、酸化
タンタル等を添加したものや、チタン酸ジルコン酸鉛の
Pb原子の一部を希土類元素で置換したもの等が知られ
ている。
【0004】しかしながら、上記のようなQm値が小さ
い圧電磁器は、キュリー温度が高いものであっても、温
度上昇に伴い、圧電磁器の両端に形成した電極間を短絡
させたときはよいが、開放したときには電気機械結合係
数Kが低下し、共振、反共振周波数が大きくずれてしま
うという欠点があった。
【0005】そのため、例えば、これを表面実装型のフ
ィルタ素子として使用した場合、リフローはんだ付けの
際の温度(約250℃)にさらされると、フィルタ特性
が大きく劣化するという問題があった。
【0006】これを解決するために、Qm値の小さい圧
電磁器でキュリー温度が高いものに対して、磁器表面か
らマンガン化合物を熱拡散させて、マンガンの酸化物を
粒界層に偏在させることにより、粒界部分の抵抗率を低
下させ、耐熱性を向上させることができることが報告さ
れている(特開平6−1655〜1657号公報)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の圧電磁器表面からマンガン化合物を熱拡散させる場合
において、熱拡散炉内の温度分布が大きい場合や、PZ
T系圧電磁器中のPb量が製造工程の途中で蒸発等によ
り変動した場合には、特性バラツキが大きくなるという
製造上の問題があり、粒界部分の抵抗率を低下させ、耐
熱性を向上させることも不十分であった。
【0008】そこで、本発明の目的は、上記の問題点を
解決するものであり、機械的品質係数Qmが小さく、か
つ、耐熱性の優れた圧電磁器、例えば、群遅延時間特性
が平坦で位相歪みが小さく、表面実装に対応可能なフィ
ルタ素子用の圧電磁器と、これを安定的に製造する方法
を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、請求項1にお
いて、圧電磁器は、少なくとも鉛、ジルコニウム及びチ
タンの複合酸化物を含む圧電磁器の結晶粒界部分に、マ
ンガンの酸化物と鉛の酸化物が前記圧電磁器の結晶粒内
に比べて高濃度に共存していることを特徴とする。
【0010】また、請求項2において、圧電磁器の製造
方法は、少なくとも鉛、ジルコニウム及びチタンの複合
酸化物を含む圧電磁器の表面に、マンガン化合物と鉛化
合物とを付着させた後、熱処理して、該付着物を前記圧
電磁器の結晶粒界部分に拡散させることを特徴とする。
【0011】このように、圧電磁器の結晶粒界部分に、
マンガンの酸化物と鉛の酸化物が前記圧電磁器の結晶粒
内に比べて高濃度に共存していることにより、圧電磁器
の抵抗率を低下させ、耐熱性を向上させることができ
る。
【0012】また、本発明の製造方法において、圧電磁
器の表面にマンガン化合物と鉛化合物を付着させ、熱処
理すると、拡散温度における圧電磁器の表面では、鉛化
合物が溶融した状態となる(例えば、酸化鉛は融点89
0℃)。このため、圧電磁器の結晶粒界部分へのマンガ
ン化合物の移動が容易になり、広い温度範囲でマンガン
化合物を均一に拡散させることができる。また、圧電磁
器の結晶粒界部分のPb量が少ない場合でも、表面に溶
融した鉛化合物により、マンガン化合物の結晶粒界への
拡散を促進させることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を示して、
より具体的に説明する。
【0014】まず、出発原料として、機械的品質係数Q
mの小さい圧電磁器の構成材料である、PbO、SrC
3 、La2 3 、TiO2 、及びZrO2 の各粉末を
用意した。これらの各粉末を(Pb0.95Sr0.03La
0.02)(Zr0.51Ti0.49)O3 のセラミックが得られ
るように秤量し、これに水を加えボ−ルミルを用いて湿
式混合した。
【0015】これにより得られた混合物を乾燥した後、
800〜900℃で2時間仮焼し、この仮焼済材料をボ
ールミルを用いて湿式粉砕することにより調整粉末を得
た。
【0016】そして、この調整粉末に、水またはポリビ
ニルアルコール等の粘結材を添加し、プレス成形を行っ
た後、1150〜1250℃の温度で2時間焼成を行
い、形状20×30mm、厚さ0.75mmの角板状の
磁器を得た。
【0017】一方、MnCO3 粉末をPbO粉末ととも
にワニスで練ってペーストを作製した。
【0018】次に、作製したペーストを前記磁器の表面
にスクリーン印刷により塗布し、乾燥させた後、これを
850〜1100℃の温度で2時間熱処理し、マンガン
化合物の拡散を行った。その後、この磁器を厚さ0.5
mmに研磨し、両端面に銀電極を塗布し焼き付けした
後、絶縁オイル中(温度:室温〜100℃)で30分
間、2〜3kV/mmの電界で分極処理を行い、圧電磁
器を得た。
【0019】一方、比較例として、PbO粉末を用い
ず、MnCO3 粉末とワニスで作製したペーストを圧電
磁器表面に塗布した場合について、前記MnCO3
末、PbO粉末及びワニスで作製した試料と同形状の圧
電磁器試料を作製した。
【0020】これらの試料をそれぞれ5×5mmの正方
形板にカットし、その比抵抗ρ及び広がり振動における
電気機械結合係数Kを測定した。
【0021】この測定結果につき、図1に拡散温度に対
する比抵抗ρの変化を、また、図2に拡散温度に対する
電気機械結合係数Kの変化をそれぞれ示す。
【0022】図1より、マンガン化合物と鉛化合物を含
むペーストを用いた実施例の場合には、鉛化合物なしで
マンガン化合物単独を含むペーストを用いた比較例の場
合に比べ、拡散温度のより低温側でρの低下が起こって
いることがわかる。
【0023】また、図2より、マンガン化合物と鉛化合
物を含むペーストを用いた実施例の場合には、鉛化合物
なしでマンガン化合物単独を含むペーストを用いた比較
例の場合に比べ、拡散温度範囲内の大半において電気機
械結合係数Kが大きいことがわかる。
【0024】このように、本発明は、少なくとも鉛、ジ
ルコニウム及びチタンの複合酸化物を含む圧電磁器の表
面に、マンガン化合物と鉛化合物とを付着させた後、熱
処理して、該付着物を前記圧電磁器の結晶粒界部分に拡
散させることで、前記結晶粒界部分に、マンガンの酸化
物と鉛の酸化物が結晶粒内部に比べて高濃度に共存して
いる圧電磁器が作られており、したがって、拡散温度範
囲内において、比抵抗ρが低く、かつ、電気機械結合係
数Kが大きい、圧電材料に必要な特性が得られる。
【0025】なお、上記実施例では、磁器表面にペース
トを付着させるために、スクリーン印刷で塗布する方法
を用いたが、これに限られるものではなく、例えば、筆
塗り、吹き付け等の付着方法を用いてもよい。
【0026】また、上記実施例では、圧電磁器として
(Pb0.95Sr0.03La0.02)(Zr0.51Ti0.49)O
3 の組成のものを用いたが、これに限られるものではな
く、例えば、その他の組成の二成分系や三成分系のPZ
T系セラミックス、また、これらの主材料の鉛の一部を
Sr,Ba、Ca、La等で置き換えたものであっても
よい。
【0027】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、圧電磁
器の抵抗率を低下させて、耐熱性を向上させることがで
きるとともに、PZT系圧電磁器中へマンガン化合物を
熱拡散させる場合、拡散炉の温度バラツキや圧電磁器中
のPb量変動に対し、常に安定して拡散を行うことがで
きる。
【0028】したがって、機械的品質係数Qmが小さ
く、抵抗率が低いため耐熱性の優れた圧電磁器、例え
ば、群遅延時間特性が平坦で位相歪みが小さく、表面実
装に対応可能なフィルタ素子用の圧電磁器が得られ、か
つ、これを安定的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】拡散温度に対する比抵抗ρの変化を示すグラフ
である。
【図2】拡散温度に対する電気機械結合係数Kの変化を
示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長井 昭 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 徳田 有 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 林 宏一 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも鉛、ジルコニウム及びチタン
    の複合酸化物を含む圧電磁器の結晶粒界部分に、マンガ
    ンの酸化物と鉛の酸化物が前記圧電磁器の結晶粒内に比
    べて高濃度に共存していることを特徴とする圧電磁器。
  2. 【請求項2】 少なくとも鉛、ジルコニウム及びチタン
    の複合酸化物を含む圧電磁器の表面に、マンガン化合物
    と鉛化合物とを付着させた後、熱処理して、該付着物を
    前記圧電磁器の結晶粒界部分に拡散させることを特徴と
    する圧電磁器の製造方法。
JP26022895A 1995-10-06 1995-10-06 圧電磁器及びその製造方法 Expired - Fee Related JP3119138B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26022895A JP3119138B2 (ja) 1995-10-06 1995-10-06 圧電磁器及びその製造方法
KR1019960044089A KR100200180B1 (ko) 1995-10-06 1996-10-05 압전세라믹 및 그의 제조방법
DE1996613927 DE69613927T2 (de) 1995-10-06 1996-10-07 Piezoelektrische Keramiken und Verfahren zu ihrer Herstellung
US08/729,733 US5766502A (en) 1995-10-06 1996-10-07 Piezoelectric ceramics and manufacturing method thereof
EP19960116023 EP0767151B1 (en) 1995-10-06 1996-10-07 Piezoelectric ceramics and manufacturing method thereof
CN961134356A CN1064938C (zh) 1995-10-06 1996-10-07 压电陶瓷及其制备方法
TW085112224A TW365679B (en) 1995-10-06 1996-10-07 Piezoelectric ceramics and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26022895A JP3119138B2 (ja) 1995-10-06 1995-10-06 圧電磁器及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09100159A true JPH09100159A (ja) 1997-04-15
JP3119138B2 JP3119138B2 (ja) 2000-12-18

Family

ID=17345137

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26022895A Expired - Fee Related JP3119138B2 (ja) 1995-10-06 1995-10-06 圧電磁器及びその製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5766502A (ja)
EP (1) EP0767151B1 (ja)
JP (1) JP3119138B2 (ja)
KR (1) KR100200180B1 (ja)
CN (1) CN1064938C (ja)
DE (1) DE69613927T2 (ja)
TW (1) TW365679B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100426319B1 (ko) * 2000-01-31 2004-04-08 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 압전 세라믹 및 그것의 제조 방법
WO2012086740A1 (ja) * 2010-12-22 2012-06-28 京セラ株式会社 誘電体セラミックスおよびこれを備える誘電体フィルタ

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3827915B2 (ja) * 2000-05-11 2006-09-27 株式会社日本自動車部品総合研究所 圧電材料およびその製造方法
CN100407468C (zh) * 2003-09-25 2008-07-30 松下电器产业株式会社 压电元件及备有该压电元件的喷墨头以及它们的制造方法
DE10345499A1 (de) * 2003-09-30 2005-04-28 Epcos Ag Piezoelektrisches Keramikmaterial, Vielschichtbauelement und Verfahren zur Herstellung des Keramikmaterials
WO2007001063A1 (ja) * 2005-06-29 2007-01-04 Ngk Insulators, Ltd. 圧電/電歪膜型素子
CN101215168B (zh) * 2008-01-16 2010-06-02 武汉理工大学 镁钽酸锆钛酸铅陶瓷的掺杂改性方法
CN102260079B (zh) * 2010-05-31 2013-10-02 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种“收/发”两用型PZT-Pb(Sb2/3Mn1/3)三元系压电陶瓷材料及其制备方法
CN103086715A (zh) * 2013-01-05 2013-05-08 广东工业大学 一种制备钛锆酸铅压电陶瓷粉体的方法
US10105940B2 (en) * 2016-04-18 2018-10-23 The Boeing Company Formation of composite laminates having one or more divergent flanges
JP7078037B2 (ja) * 2017-03-28 2022-05-31 Tdk株式会社 圧電組成物および圧電素子
AT18002U1 (de) 2017-08-30 2023-10-15 Blum Gmbh Julius Schubladenausziehführung

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS601656A (ja) * 1983-06-17 1985-01-07 Fujitsu Ltd 磁気記録再生装置
JPS61657A (ja) * 1984-06-12 1986-01-06 帝人株式会社 乾式不織布用ポリエステルバインダ
US4588630A (en) * 1984-06-13 1986-05-13 Chicopee Apertured fusible fabrics
JPH0624841A (ja) * 1990-09-20 1994-02-01 Mitsubishi Kasei Corp アクチュエータ用圧電セラミック組成物
JP3214055B2 (ja) * 1991-06-26 2001-10-02 三菱化学株式会社 アクチュエータ用圧電セラミック組成物
SG50515A1 (en) * 1992-06-23 1998-07-20 Murata Manufacturing Co Piezoelectric ceramic
JP3221145B2 (ja) * 1993-02-26 2001-10-22 株式会社村田製作所 圧電磁器
JP3384044B2 (ja) * 1993-07-19 2003-03-10 株式会社村田製作所 圧電磁器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100426319B1 (ko) * 2000-01-31 2004-04-08 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 압전 세라믹 및 그것의 제조 방법
WO2012086740A1 (ja) * 2010-12-22 2012-06-28 京セラ株式会社 誘電体セラミックスおよびこれを備える誘電体フィルタ
US9006122B2 (en) 2010-12-22 2015-04-14 Kyocera Corporation Dielectric ceramic and dielectric filter having the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3119138B2 (ja) 2000-12-18
EP0767151B1 (en) 2001-07-18
CN1153756A (zh) 1997-07-09
US5766502A (en) 1998-06-16
TW365679B (en) 1999-08-01
DE69613927D1 (de) 2001-08-23
DE69613927T2 (de) 2002-01-17
EP0767151A1 (en) 1997-04-09
KR100200180B1 (ko) 1999-06-15
KR970021025A (ko) 1997-05-28
CN1064938C (zh) 2001-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3119138B2 (ja) 圧電磁器及びその製造方法
JP3119139B2 (ja) 圧電磁器及びその製造方法
KR0185029B1 (ko) 압전 세라믹
JP3221147B2 (ja) 圧電磁器
JP3384043B2 (ja) 圧電磁器
JP3384044B2 (ja) 圧電磁器
JP3221145B2 (ja) 圧電磁器
JP3309479B2 (ja) 圧電磁器
JP3257047B2 (ja) 圧電磁器
JP3232667B2 (ja) 圧電磁器
JP3257046B2 (ja) 圧電磁器
JP2001130961A (ja) 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子
JP3257129B2 (ja) 圧電磁器
JP2001206767A (ja) 圧電磁器およびその製造方法
JP3221049B2 (ja) 圧電磁器組成物
JP4479089B2 (ja) 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子
JPH07315925A (ja) 耐湿性に優れたセラミックフィルタ素子用圧電磁器組成物
JPH07149562A (ja) 圧電磁器組成物
JP2002145669A (ja) 圧電磁器組成物
JPH06211566A (ja) 圧電磁器組成物
JP2000169225A (ja) 圧電部品およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071013

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081013

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091013

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111013

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees