JPH0894889A - 半導体レーザモジュール - Google Patents

半導体レーザモジュール

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JPH0894889A
JPH0894889A JP6233176A JP23317694A JPH0894889A JP H0894889 A JPH0894889 A JP H0894889A JP 6233176 A JP6233176 A JP 6233176A JP 23317694 A JP23317694 A JP 23317694A JP H0894889 A JPH0894889 A JP H0894889A
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尚之 峯尾
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量三 古川
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レンズの位置調整等が容易にできるように
し、結合効率の組立てによる劣化を低減させ、位置決め
部分の半田による固定を不要にする。 【構成】 少なくとも外周面の一部が凸曲部となるレン
ズホルダ47に集光用レンズ35を固定する。一対のテ
ーパ状傾斜面を有するコの字金具49を備える。ベース
41との間に間隙を有した状態でレンズホルダ47を配
置し、凸曲部と傾斜面との接触点及びコの字金具49と
ベース41とを固定して、レンズホルダ47を固定す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザモジュー
ルに関し、詳しくは、それに用いられるレンズの固定構
造に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体レーザモジュールには、Laser Di
ode (LDチップ)の放射光を収束ビームに変換するた
めのレンズが備えられる。この種の半導体レーザモジュ
ールの一例として、例えば、技術文献“A Lens Adjusta
ble Laser Diode Package,”Tetuo Kumazawa et al., P
roc. of ECTC'90,pp.214-217,1990 に開示されたものを
図11、図12に基づき説明する。
【0003】図11は従来の半導体レーザモジュールの
平面図である。この半導体レーザモジュール1の構造で
は、LDチップ3が、モニタ用ホトダイオード5ととも
に、ホルダ7に固定された第1レンズ9の付いた電子冷
却素子11上にハイブリッド実装されている。LDチッ
プ3の放射光は、第1レンズ9により穏やかな収束ビー
ムに変換され、パッケージ側壁に固定された光アイソレ
ータ13を経由して、ケース15の外部に導かれる。そ
して、第2レンズ17により集光され、ファイバ19に
レーザ光を入射させる。
【0004】図12は従来の半導体レーザモジュールに
おける第1レンズの固定手順を表す説明図である。ホル
ダ7への第1レンズ9の固定には、薄肉のパイプ21が
用いられる。第1レンズ9を固定するには、先ず、この
パイプ21の両端に電気放電を用いてそれぞれ4箇所の
切り目23を形成する(図12b)。次に、第1レンズ
9の出射側の切り目23部をプレスにより外側に折り曲
げる(図12c)。もう一端は、第1レンズ9を挿入し
たときに、このパイプ21がバネとなるように僅かに曲
げておく。そして、このパイプ21を穴25の開いたホ
ルダ7に挿入し、所定の位置でYAG溶接を用いて固定
する(図12d)。最後に、このパイプ21に第1レン
ズ9を挿入し、所定の位置で半田固定して固定作業を終
了する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の半導体レーザモジュールでは、第1レンズ9の
位置調整及び固定に関して、次のような問題点があっ
た。即ち、パイプ21をホルダ7に対して垂直に固定し
てしまうため、第1レンズ9の角度調整ができなくなる
問題があった。また、パイプ21の固定後に第1レンズ
9を固定するので、第1レンズ9の位置がこれによって
一義的に決定されてしまい、パイプ21の固定ズレに対
する補正が不可能となり、結合効率の劣化(パイプ固定
ズレにより生じる不十分な結合状態)を招く問題があっ
た。また、第1レンズ9を半田固定しているため、信頼
性に欠ける問題があった。更に、第1レンズ9をパイプ
21に挿入した状態で、LDチップ3と第1レンズ9と
の間の距離を位置調整しなければならないため、調整作
業が困難であった。本発明は上記状況に鑑みてなされた
もので、第1レンズの位置調整及び角度調整が容易にで
きるとともに、結合効率の組立てによる劣化が低減で
き、しかも、位置決め部分の半田による固定がなくなる
半導体レーザモジュールを提供し、調整の容易化、歩留
り及び信頼性の向上を図ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る半導体レーザモジュールは、半導体レー
ザからの出力光軸上に位置決めされた集光用レンズがベ
ースに固定される半導体レーザモジュールにおいて、少
なくとも外周面の一部が凸曲部となるレンズホルダに集
光用レンズが固定され、一対のテーパ状傾斜面を有する
コの字金具が備えられ、ベースとの間に間隙を有した状
態でレンズホルダが配置され、凸曲部と傾斜面との接触
点及びコの字金具とベースとを固定してレンズホルダが
固定されたことを特徴とするものである。
【0007】
【作用】集光レンズが位置決め調節される際、集光レン
ズを固定したレンズホルダが他の部材とは接触せず、任
意の方向への位置調整が可能となる。これによって正確
に位置決めされたレンズホルダの凸面部に対し、テーパ
状の傾斜面が当接されることで、コの字金具が最適の固
定位置に配置され、レンズホルダの任意の位置決め完了
位置に対して、安定した接触状態が確保され、この接触
部が固定されることにより、高い結合効率が得られる。
【0008】
【実施例】以下、本発明に係る半導体レーザモジュール
の好適な実施例を図面を参照して説明する。図1は本発
明による半導体レーザモジュールの断面図、図2は第1
レンズ近傍の詳細を表した平面図、図3は図2のA−A
断面図である。この半導体レーザモジュール31は、半
導体レーザ33と集光用レンズである第1レンズ35等
をパッケージ37内に備えている。半導体レーザ33を
サブキャリア39、ベース41を介してスペーサ43に
固定し、このスペーサ43をパッケージ37、この実施
例では、パッケージ37の底部45に固定している。こ
の場合、サブキャリア39とベース41とは、半田など
を用いて固定するのが信頼性の観点から適当である。
【0009】ベース41にはレンズ系として第1レンズ
35を設けてある。この第1レンズ35は、ろう付けま
たは圧入などによりレンズホルダ47に固定し、レンズ
ホルダ47を位置及び角度調整して半導体レーザ33の
出力光が平行ビームになるように位置合わせを行い、後
に詳述するコの字金具49を用いてベース41に固定し
ている。このときの固定方法としては、YAG溶接など
を用いる。
【0010】第1レンズ35から出射された光ビーム
は、パッケージ37の側面にある窓ガラス51を通して
外部に導かれる。この光ビームは、スリーブ53に挿入
された第2レンズ55により集光され、フェルール57
に固定された光ファイバ59に入射される。このフェル
ール57は、スリーブ53に挿入されている。位置調整
は、このスリーブ53を光軸Oに垂直な方向(X軸及び
Y軸)に移動し、スリーブ53内でフェルール57を滑
動させ第2レンズ55と光ファイバ59間距離を調整す
る。このときの固定方法としては、YAG溶接などを用
いて行う。
【0011】レンズホルダ47は、図2に示すように、
上面視で出射側が円弧状の凸面部47aに加工されてお
り、ベース41との間に間隙s1(図3参照)を有して
配設される。コの字金具49は、図2に示すように、テ
ーパ状の一対の傾斜面49aを有している。傾斜面49
aの角度は、レンズホルダ47の凸面部47aにこの傾
斜面49aが接するように設定する。また、このコの字
金具49の厚みt1は、ベース41とレンズホルダ47
の下面間との間隙s1以上とする。
【0012】次に、半導体レーザモジュール31におけ
る第1レンズ35の調整及び固定について説明する。レ
ンズホルダ47を適当な治具に取り付け、この状態で微
動ステージ及び回転ステージに載せて位置及び角度調整
を行う。このとき、スリーブ53に固定した第2レンズ
55及び光ファイバ59も別の治具に載せ、パッケージ
37の側壁にスリーブ53を接するようにして位置調整
を行う。調整は、半導体レーザ33を発光させて光ファ
イバ59の光出力を光パワーメータを用いて測定しなが
ら、光出力パワーが最大になるように角度及び位置調整
を行う。
【0013】先ず、光路上から第1レンズ35を外し、
そしてコの字金具49を取り除いた状態で、スリーブ5
3を移動して最大パワーの得られる位置を見つける。次
に、第1レンズ35を光路上に移動し、角度及び位置調
整を行い最大パワー位置を捜す。以上の調整を繰り返し
行い、最終的な最大光パワー位置とする。
【0014】この状態で、コの字金具49をその傾斜面
49aが、レンズホルダ47の凸面部47aに接するよ
うに配置する(図2参照)。そして、コの字金具49と
ベース41及びコの字金具49とレンズホルダ47の接
触点をYAG溶接などを用いて固定する。次に、スリー
ブ53を再度調整し最大パワーが得られるようにし、Y
AG溶接などを用いてスリーブ53及びフェルール57
をパッケージ37に固定する。なお、図1、図2では、
それぞれを固定するYAG溶接箇所p1を代表的な箇所
で示すが、実際には周囲を数カ所溶接するのが望まし
い。
【0015】この実施例による半導体レーザモジュール
31によれば、第1レンズ35の調節の際に、レンズホ
ルダ47がベース41に接触していないので、X、Y、
Z軸方向の3次元の位置調整及び角度調整が容易にでき
る。また、第1レンズ35の固定の際に、レンズホルダ
47の凸面部47aがコの字金具49の傾斜面49aに
安定した状態で接触しているので、YAG溶接時にこの
接触点を溶接することにより、位置ズレの少ない溶接が
可能となり、結合効率の組立てによる劣化を低減でき、
歩留りを向上させることができる。更に、位置調整に関
わる固定箇所を、すべてYAG溶接により行うことがで
きるので、信頼性を向上させることができる。
【0016】次に、本発明に係る半導体レーザモジュー
ルの他の実施例を説明する。図4は本発明による半導体
レーザモジュールの他の実施例の断面図、図5は第1レ
ンズ近傍の詳細を表した他の実施例の平面図、図6は図
5のB−B断面図である。なお、図1に示した部材と同
一の部材には同一の符号を付し、重複する説明は省略す
ることとする。この実施例による半導体レーザモジュー
ル61では、第1レンズ35を固定するレンズホルダ6
3と、このレンズホルダ63をベース41に固定するた
めのリング65とが上述の実施例と異なるものとなって
いる。
【0017】レンズホルダ63は、図6に示すように、
円柱でその側面に光路用の貫通穴67が穿設されてお
り、そこに第1レンズ35が固定されている。このレン
ズホルダ63は、光軸調整を完了させた時にベース41
とこのレンズホルダ63下面との間に間隙s2を有する
長さを有する。一方、リング65は、レンズホルダ63
の外径と同一の内径の貫通穴69を有する。このリング
65の厚みt2は、ベース41とレンズホルダ63の下
面間との間隙s2以上とする。
【0018】次に、半導体レーザモジュール61におけ
る第1レンズ35の調整及び固定について説明する。レ
ンズホルダ63を適当な治具に取り付け、この状態で微
動ステージ及び回転ステージに載せて位置及び角度調整
を行う。このとき、スリーブ53に固定した第2レンズ
55及び光ファイバ59も別の治具に載せ、パッケージ
37の側壁にスリーブ53を接するようにして位置調整
を行う。調整は、半導体レーザ33を発光させて光ファ
イバ59の光出力を光パワーメータを用いて測定しなが
ら、光出力パワーが最大になるように角度及び位置調整
を行う。
【0019】先ず、光路上から第1レンズ35を外し、
そしてリング65を取り除いた状態で、スリーブ53を
移動して最大パワーの得られる位置を見つける。次に、
第1レンズ35を光路上に移動し、角度及び位置調整を
行い最大パワー位置を捜す。このとき、ベース41上に
配置したリング65にレンズホルダ63を挿入し、レン
ズホルダ63とリング65を一体状態で、リング65を
ベース41上で滑動させ位置調整を行う。以上の調整を
繰り返し行い、最終的な最大光パワー位置とする。
【0020】次に、リング65とベース41及びリング
65とレンズホルダ63の接触点をYAG溶接などを用
いて固定する。その後、スリーブ53を再度調整し最大
パワーが得られるようにし、YAG溶接などを用いてス
リーブ53及びフェルール57をパッケージ37に固定
する。なお、図4、図5では、それぞれを固定するYA
G溶接箇所p2を代表的な箇所で示すが、実際には周囲
を数カ所溶接するのが望ましい。
【0021】図7はリングに代えてコの字金具を用いた
場合の第1レンズ近傍の平面図、図8は図7のC−C断
面図、図9は図7の側面図である。上述の実施例では、
レンズホルダ63がリング65を介して固定されている
が、図7〜図9に示すように、リング65の代わりに、
アーチ状のコの字金具71上面71aにレンズホルダ6
3の外径と同一の貫通穴73を形成したものを用いても
よい。
【0022】図10は一部が円柱部となったレンズホル
ダの側面図である。また、この実施例では、レンズホル
ダ63全体が円柱形状である場合を例に説明したが、レ
ンズホルダは、レンズ固定部分75を任意形状(図示の
例では直方体)とし、リング65又はコの字金具71に
挿入される部分のみを円柱部77に形成したレンズホル
ダ79としてもよい。
【0023】この実施例による半導体レーザモジュール
61によれば、第1レンズ35の調節の際に、レンズホ
ルダ63がベース41に接触していないので、上述の実
施例と同様、X、Y、Z軸方向の3次元の位置調整及び
角度調整が容易にできる。また、第1レンズ35の固定
の際に、レンズホルダ63がリング65内に挿入され、
それぞれの間で隙間が生じないので、YAG溶接時にこ
の接触点を溶接することにより、位置ズレの少ない溶接
が可能となり、結合効率の組立てによる劣化を低減で
き、歩留りを向上させることができる。更に、上述の実
施例と同様、位置調整に関わる固定箇所を、すべてYA
G溶接により行うことができるので、信頼性を向上させ
ることができる。
【0024】なお、上述した二つの実施例では、半導体
レーザモジュールを例に説明したが、本発明は、他の光
デバイス、例えば半導体変調器、誘電体変調器、ホトダ
イオードなどを用いた光モジュールのレンズ固定構造
や、1レンズ系光モジュールのレンズ固定構造にも適用
可能なものである。また、レンズ系としては球レンズ、
非球面レンズ、及びGRINレンズなどの種々のレンズ
系についても適用可能である。
【0025】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る半導体レーザモジュールによれば、凸曲部を有するレ
ンズホルダに集光用レンズが固定され、テーパ状傾斜面
を有するコの字金具が備えられ、凸曲部と前記傾斜面と
の接触点及びコの字金具とベースとを固定してレンズホ
ルダが固定されるので、集光レンズの調節の際に、レン
ズホルダがベースに接触せず、3次元の位置調整及び角
度調整を容易に行うことができる。また、集光レンズの
固定の際に、レンズホルダがコの字金具に安定した状態
で接触するので、位置ズレの少ない溶接が可能となり、
歩留りを向上させることができる。更に、位置調整に関
わる固定箇所を、すべてYAG溶接により行うことがで
きるので、信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体レーザモジュールの断面図
である。
【図2】第1レンズ近傍の詳細を表した平面図である。
【図3】図2のA−A断面図である。
【図4】本発明による半導体レーザモジュールの他の実
施例の断面図である。
【図5】第1レンズ近傍の詳細を表した他の実施例の平
面図である。
【図6】図5のB−B断面図である。
【図7】リングに代えてコの字金具を用いた場合の第1
レンズ近傍の平面図である。
【図8】図7のC−C断面図である。
【図9】図7の側面図である。
【図10】一部が円柱部となったレンズホルダの側面図
である。
【図11】従来の半導体レーザモジュールの平面図であ
る。
【図12】従来の半導体レーザモジュールにおける第1
レンズの固定手順を表す説明図である。
【符号の説明】
31、61 半導体レーザモジュール 33 半導体レーザ 35 第1レンズ(集光用レンズ) 41 ベース 47、63 レンズホルダ 47a 凸曲部 49 コの字金具 49a テーパ状傾斜面 65 リング 69 貫通穴 77 円柱部 O 光軸 s1、s2 間隙

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体レーザからの出力光軸上に位置決
    めされた集光用レンズがベースに固定される半導体レー
    ザモジュールにおいて、 少なくとも外周面の一部が凸曲部となるレンズホルダに
    前記集光用レンズが固定され、一対のテーパ状傾斜面を
    有するコの字金具が備えられ、前記ベースとの間に間隙
    を有した状態で前記レンズホルダが配置され、前記凸曲
    部と前記傾斜面との接触点及び前記コの字金具と前記ベ
    ースとを固定して前記レンズホルダが固定されたことを
    特徴とする半導体レーザモジュール。
  2. 【請求項2】 前記集光用レンズの出射側となる前記レ
    ンズホルダの外周部が凸曲部で形成されたことを特徴と
    する請求項1記載の半導体レーザモジュール。
  3. 【請求項3】 前記レンズホルダと前記傾斜面の接触
    点、及び前記ベースとコの字金具が溶接により固定され
    たことを特徴とする請求項1記載又は2記載の半導体レ
    ーザモジュール。
  4. 【請求項4】 半導体レーザからの出力光軸上に位置決
    めされた集光用レンズがベースに固定される半導体レー
    ザモジュールにおいて、 少なくとも一部を円柱形状とするレンズホルダに前記集
    光用レンズが固定され、該円柱部の外径と同一内径の貫
    通穴を有するリングが備えられ、前記ベースとの間に間
    隙を有した状態で前記レンズホルダが配置され、前記レ
    ンズホルダと前記貫通穴及び前記リングと前記ベースを
    固定して前記レンズホルダが固定されたことを特徴とす
    る半導体レーザモジュール。
  5. 【請求項5】 前記レンズホルダと前記貫通穴の接触
    点、及び前記ベースとリングが溶接により固定されたこ
    とを特徴とする請求項4記載の半導体レーザモジュー
    ル。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008300591A (ja) * 2007-05-31 2008-12-11 Brother Ind Ltd 光源装置、露光装置および画像形成装置
JP4514367B2 (ja) * 2001-06-15 2010-07-28 古河電気工業株式会社 半導体レーザモジュール及びその製造方法
WO2013146749A1 (ja) * 2012-03-28 2013-10-03 アルプス電気株式会社 レーザモジュール及びその製造方法
JP2015225969A (ja) * 2014-05-28 2015-12-14 船井電機株式会社 光源ユニット、プロジェクタ及び光源ユニットの製造方法

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