JPH03100506A - 光結合装置及び光部品 - Google Patents

光結合装置及び光部品

Info

Publication number
JPH03100506A
JPH03100506A JP1235671A JP23567189A JPH03100506A JP H03100506 A JPH03100506 A JP H03100506A JP 1235671 A JP1235671 A JP 1235671A JP 23567189 A JP23567189 A JP 23567189A JP H03100506 A JPH03100506 A JP H03100506A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
lens
isolator
fixed
semiconductor laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1235671A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Shimaoka
誠 嶋岡
Tetsuo Kumazawa
熊沢 鉄雄
Yasutoshi Yagyu
柳生 泰利
Atsushi Sasayama
佐々山 厚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1235671A priority Critical patent/JPH03100506A/ja
Priority to KR1019900006452A priority patent/KR920010947B1/ko
Priority to US07/525,675 priority patent/US5195155A/en
Publication of JPH03100506A publication Critical patent/JPH03100506A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光通信、光計測などに使用される光結合装置に
係り、特に半導体レーザ、アイソレータ、光ファイバを
容易でしかも安定的に光結合できるに好結合方法として
、レンズを組み合せた複数レンズ結合系が多く用いられ
ている。この光結合装置で高い光結合効率を確保するた
めには、レンズ系の収差の低減ならびに半導体レーザ、
レンズ、ファイバなど各部品の調整固定方法がポイント
となる。
このような光結合装置の例としては、三菱電機技報、V
 o l 62、N010.19884.−おイテ論じ
られている。第11図は、この光結合装置の断面構造を
示す。
半導体レーザ(LD)25は、チップキャリア22上に
固定されており、前方には第ルンズ(球レンズ)26が
配置固定されている。このレンズはy2方向に対して位
置調整できるがX方向に対しては熱電子素子21、チッ
プキャリア22の厚さによって決まり、調整はできない
構造となっている。LD25からの光は第ルンズ26を
通って集光され、光アイソレータ27の中心軸を経て第
2レンズ28でさらに集光され、シングルモードファイ
バ29に導びかれる。
しかしながら、光アイソレータ27、第2レンズ28は
それぞれ円筒状パイプ内に固定されており、xyX方向
対する調整はできない、したがって光結合装置の結合効
率は各光部品の機械加工精度によってほぼ決定される構
造である。たとえば、ロッドレンズ2個を使って半導体
レーザと光ファイバ(シングルモードファイバ)との光
結合を行う場合、レンズとファイバとのx、X方向での
結合損失は1dB低下に対して上2゜5μmの相対位置
ずれ量となる。
したがって、光結合装置内に微調整可能な構造が不可欠
である。
また、上記光結合装置の第ルンズ26の固定方法は開示
されていないが、チップキャリア22上に半田あるいは
他の金属ろう材を使って固定されていると推定される。
しかしながら、レンズの光軸を調整後これら金属ろう材
を使って固定すると固定時の凝固収縮あるいはエージン
グ工程時残留応力によって微小な位置ずれを起こすこし
があり、光結合装置の光結合を得る上で十分でないと推
定される。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、半導体レーザ、レンズ、アイソレータ
、ファイバの微少な光軸調整の方法について配慮されて
おらず、各光部品の機械加工精度のみでの組み立てでは
十分な光結合を得られない問題があった。また、光部品
の1つであるレンズをチップキャリアに光軸調整後ろう
材を介して固定したとしても、ろう材の凝固収縮等によ
る光軸ずれに対しては、レンズ固定された部分艷容易に
変えることはできず、したがって、光軸を再調整するこ
とはできない。
本発明は、半導体レーザ、レンズ、アイソレータ、ファ
イバが内蔵された光結合装置において、わずかな結合ず
れを調整できる構造を提供することを目的としており、
さらに光軸調整の自動化を容易にすることを目的として
いる。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、あらかじめパイプの一端を
4分割にして直角に折り曲げておく、この分割部をアイ
ソレータ入射光部分にYAG溶接固定あるいは抵抗溶接
で固定する。パイプ固定時の位置はパイプ中実軸とアイ
ソレータの光軸とがほぼ一致するように位置決め固定す
る。パイプの他端からレンズをそう人後、半田ろう材あ
るいは低融点ガラスを使ってレンズ固定するかあるいは
パイプをカシぬることによりレンズ固定する。このよう
にレンズ固定した場合、アイソレータとレンズとの光軸
には多少の軸ずれを起すことが考えられるが、パイプ部
に外力を加え、アイソレータとパイプとの固定近傍に塑
性変形を与えることにより軸調整を行う。
本発明の光結合装置は、半導体レーザから出射した光が
上記第ルンズ付アイソレータ内を通り、第2レンズで集
光した光を光フアイバ内へ導くように組み立てる1組み
立ての順序は、第ルンズ付アイソレータの光軸中心に来
るように半導体レーザを調整固定する。つぎに、半導体
レーザを発振させながらアイソレータから出る光が軸中
心になるように第ルンズの位置合せを行う。この光を第
2レンズで集光し、光ファイバへの結合が最大になるよ
うにX。
y、z方向に光フアイバ端面を位置合せし固定する。
半導体レーザは光出力1発振波長の安定化を図るために
熱電子素子上に実装されていることが好ましく、第ルン
ズ付アイソレータはケース側壁にYAG溶接、Agロー
付けされている。したがって、第ルンズパイプ外周を治
具を使って保持し、自動軸合せを行ってもアイソレータ
とパイプとの固定近傍のみ塑性変形し他の固定部は安定
している。
本願第1番目の発明の光結合装置は、熱電冷却素子(例
えばペルチェ素子)上にチップキャリアを介して固定さ
れた半導体レーザ素子と、光アイソレータ(偏光子、フ
ァラデー回転子、検光子が光軸上に順次配列されてなる
)と、フェルール内に固定された光ファイバと、レンズ
(1つ或いは2つ使用が通例。この内少なくとも一つは
半導体レーザ素子、光アイソレータ及び光ファイバを順
次光結合するものである。光、各レンズ自体は単品でも
組合わせレンズでも良い、)とを備えてなり、半導体レ
ーザ素子からの出射光を集光するためのレンズを上記光
アイソレータの半導体レーザ素子側光結合端に固定し、
熱電冷却素子搭載部からレンズを離して半導体レーザ素
子と光アイソレータとを光結合させたことを特徴とする
本願第2番目の光結合装置は、ケースの側面から光アイ
ソレータがケース内に挿入され、一方このケース側面と
は異なるケース内面にも光アイソレータの取付部とは独
立して直接或いは間接に熱電冷却素子を搭載し、この熱
電冷却素子上に半導体レーザ素子を搭載し、半導体レー
ザ素子の出射面と光アイソレータの光結合端面とを結ぶ
光軸上にレンズを配してなり、レンズを光アイソレータ
に固定したことを特徴とする。
本願第3番目の光部品は、偏光子、ファラデー回転子、
検光子を光軸上に順次配列してなる光アイソレータの少
なくとも一光結合端面(つまり偏光子が検光子)に、前
記光軸上に焦点が位置するようにレンズを固定したこと
を特徴とする。この場合、レンズは球レンズか集束性の
ロッドレンズが好ましい。
最も望ましい態様は光アイソレータの光結合端面の少な
くとも一方にロッドレンズを固着させたものである。
この低光部品やその製法において望ましい態様は次の通
りである。
(1)レンズをパイプ内或いは板に設けた貫通孔部分に
挿入、固定し、パイプ或いは板の他の一端を光アイソレ
ータの一光結合端面近傍に固定し、パイプ或いは板の一
部を変形させて光軸調整する。
(2)レンズをパイプ或いは板の貫通孔に固定するに際
し、半田或いはAu−8nなどの金属ろう或いは低融点
ガラスを使用する。
(3)パイプ或いは板の一部を光アイソレータの一光結
合端面近傍に固定するに際し、抵抗溶接、YAG溶接を
使用する。
(4)光アイソレータを円筒状ケース内に収納し、一方
の光結合端面に球レンズ或いは集束性ロッドレンズを気
密固定し、他方の光結合端面にも同様にレンズを気密固
定する。
(5)光アイソレータの一方の光結合端近傍に半導体レ
ーザ素子を設け、他方の光結合端近傍にファイバを設け
て光結合する。
(6)レンズ、光アイソレータを同一バイブ内に調整固
定し、パイプの一部を変形させて半導体レーザ素子やフ
ァイバとの光軸調整を行う。
〔作用〕
レンズとファイバとの光結合ずれには、x、y。
2の3方向があるaXHy方向は、光軸に対して直角な
方向であり、Z方向は光軸方向を示す。−カキ導体レー
ザから発振する光は光軸と直角な方向に対し306〜4
0”の放射角で発振し、ガウシャンビームの広がりを持
っている。すなわち、光強度は光軸中心に集中した分布
を持っている。Xp y方向の位置ずれ許容量は1デシ
ベルの結合効率低下に対して上2゜5μmであり2方向
は120μmの許容量がある。したがって、高い光結合
効率を確保するためには−XmV方向に対して微調整す
ることが可能な構造とすることが必要である。
第ルンズを固定した部分は、パイプの端部を4分割して
アイソレータに固定されている。このパイプ部分を支持
しながら外力を加えて行くと4分割部分と弾性変形から
塑性変形が起こり、外力を除くとレンズの位置がわずか
に移動する。この手法を繰り返すと光結合効率が最大な
位置にレンズを調整することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。
なお、同図の横断面図を第2図に示す。
半導体レーザ素子25は素子端面から両方向に光を発振
する。そこで一方の光をモニタフォトダイオード24で
受け、他方の光出力安定化を図っている。
半導体レーザは温度に対して敏感で光出力、光波長、し
きい電流値が変動する。たとえば1.3μm帯半導体レ
ーザの温度が10℃上昇する間に波長は1゜301μか
ら1.305μmへ移動する。これを防止するために半
導体レーザ素子25とケース2との間に熱電子素子21
を挿入する。
半導体レーザ素子25の横にはサーミスタ1を固定して
おき、常にサーミスタ抵抗が一定になるように熱電子素
子21の電流を抑制し半導体レーザの温度を一定にする
熱電子素子21で取り除いた熱はできるだけすみやかに
ケース2の外部へ放熱することが好ましく。
熱電子素子21の下面には熱伝導性が良好なCu−W材
或いはクラツド材(Cu材の間にインバー等の材料を積
層し、高熱伝導でしかも線膨張係数が熱電子素子21に
近いもの)3を使用する。半導体レーザ素子25は同一
基板上にモニタフォトダイオード24とサーミスタ1を
固定させるためにチップキャリア22を設けている。こ
のキャリア材としては熱電子素子21との線膨張率を合
せるためにコバール材が適している。
半導体レーザ素子25から発振した光は水平方向に対し
30°、垂直方向に対し40°の拡がりをもっている。
この光を光アイソレータ27或いはシングルモードファ
イバ29内に効率よく入射させるためには集光用レンズ
が必要である。特に光アイソレータ27が戻り光を遮断
できる有効領域は光軸部1腫濡径、長さ6層重であリレ
ーザ光をこの領域を通す必要があり、球レンズ或いはロ
ッドレンズ26からなる第ルンズ26′を使用する。ロ
ッドレンズは、アイソレータ27の有効領域にレーザ光
を透過させるように微調構造を設けている。
第3図はアイソレータ27の光入射部と第ルンズ26′
としてロッドレンズ26を固定した状況を示す。ロッド
レンズ26’は鉄或いは鉄−50ニツケルからなるレン
ズガイド4に半田或いはA u −Snろう材を使って
固定する。
一方レンズガイドの一端は4分割されており、光アイソ
レータ27の端面に抵抗溶接5あるいはYAG溶接によ
って固定されている。この状態でレンズガイドの円筒側
面をX方向に押すとレンズガイドの溶接部近傍が塑性変
形し、たて方向での調整位置合せが可能である。同様に
X方向でよこ方向の合せを行う。
レンズガイド4を自動調整する方法としては、たとえば
、第4図の方法がある。レンズガイド4の外周に接する
ようにコ字形をした調整治具30を装着する。その後治
具開口部はボルト31で固定する。
レンズガイド4に荷重を加えると、レンズガイドは弾性
変形を生じ、レンズ位置がかわる。さらに荷重を増加さ
せると、弾性変形から塑性変形に移りながらレンズ位置
は変化する。この状態で荷重を除くとレンズは元の位置
にもどらず、レンズガイドに変形が残る。すなわち、レ
ンズガイドに塑性変形を起す荷重を与えることにより、
レンズ位置の調整を行うのである。
実際のレンズパイプでのX方向調整は、まず、レンズガ
イドを変形させて最高の光出力が得られる位置を求める
。この変形荷重より少し多い荷重を負荷した後、荷重を
取り除く、この状態で光出力を調べ、最高の出力との対
比を行う、出力が最高に敗らない場合は、さらに荷重を
加え、上記の操作を繰り出す。
X方向で調整の後同様にX方向の調整を行い結合の効率
化を図る。レンズガイド4の自動調整法としては、上記
調整治具31の他にレンズガイド4の周方向に穴、ガイ
ド、突起4″ (第5図参照)を設ける方法がある。こ
の突起4′を支持するこにとより。
レンズガイド4に外部から変形を与え、光軸調整するこ
とが可能である。
レンズガイド4は上記金属パイプ内にレンズを挿入固定
する他に、第6図、第7図、第8図、第9図に示す方法
が考えられる。第6図はレンズとして球レンズ26′を
レンズパイプ4に固定したものであり、第7図はレンズ
パイプにロッドレンズを固定後。
光アイソレータ27内へレンズパイプ4が一部入った状
態で固定したものである。第8図はレンズパイプに換え
て平板を使用し、平板40の一部に穴加工を行い、この
穴にレンズを固定するものであり、第9図はパイプ41
(レンズガイド)と棒42を組み合せたものである。第
8図或いは第9図では、板或いは棒を塑性変形させるこ
とにより光軸調整を行う。
光アイソレータ27を透過した光は、第2レンズ28で
集光されてシングルモードファイバ29の端面に入射さ
れる。ケース2内の気密を保つために。
アイソレータ27の入射前面にはガラス板6を低融点ガ
ラスを使って固定する。ガラス板は反射を防止するため
に両面反射防止膜を付ける。光アイソレータ27及び第
2レンズを固定する第2レンズガイド9は円筒状パイプ
7の中に挿入後、YAG溶接により8の4ケ所以上を固
定する0円筒状パイプはアイソレータ27と第2レンズ
ガイド9より少し長くなっており、この段差部8で溶接
固定する。第2レンズ28で集光した光は出きるだけ効
率よくシングルモードファイバ29に結合できるように
ファイバガイド10を設ける。すなわち、ファイバガイ
ド10の中にシングルモードファイバを挿入して2方向
の位置調整を行い接合部11の全周あるいは14点以上
をYAG溶接或いはろう付は固定する。つぎに、円筒状
パイプ7の端面とファイバガイド10の端面をすり合せ
なからx、X方向に調整しYAG溶接或いはろう付は固
定する。
本実施例によれば、たとえ半導体レーザ25と第ルンズ
26間のxyX方向組立て時あるいはエージング時に光
結合ずれがあり第2レンズ28への結合効率が低下した
としても、レンズガイド4を変形調整することにより容
易に効率を向上させる効果がある。
第10図は、本発明の他の実施例を示す、第ルンズ26
1を挿入、固定するレンズガイド4は段付きのパイプと
なっており、細い径の部分に第ルンズ26′であるロッ
ドレンズが挿入され、半田或いは低融点ガラスなどを使
って固定される。一方、太い径の部分には、アイソレー
タ27及び第2レンズガイドに保持された第2レンズ2
8が挿入されている。レンズガイド4の端部は少なくと
も4分割されており、この部分はケース2の側壁に抵抗
溶接あるいはYAG溶接により固定されている0段付き
パイプであるレンズガイド4にレンズあるいはアイソレ
ータを挿入固定する順序は、まずレンズを所定の所に固
定後アイソレータ続いて第2レンズをレンズガイド4の
中に挿入する。つぎに第2レンズ端部とレンズガイド端
部とをYAG溶接により固定する。半導体レーザ25と
レンズアイソレータ等が固定されているレンズガイド部
とは、レーザを発振させながらレンズガイド先端部を支
持し、レンズガイド4の端部で側壁に固定されている部
分に塑性変形を与えることにより、光軸調整を行う。第
2レンズ28からの光はさらにシングルモードファイバ
に効率よく結合できるようにファイバガイド10を調整
する。
本実施例によれば、たとえ半導体レーザ25とファイバ
との光軸が組み立て時にずれたとしても第ルンズ等を挿
入したレンズガイドを調整することにより、結合効率を
回復できる効率がある。
〔発明の効果〕
本発明によれば、半導体レーザからの発振光を第ルンズ
で集光して光アイソレータの光軸に入射させる場合にお
いて、アイソレータ光軸と入射光が一致しない場合でも
第2レンズガイドを微調変形させ光軸を一致させること
ができ光結合効率を向上させる効率がある。また、第ル
ンズを光アイソレータ部に固定することにより、レンズ
ガイド部の微調変形作業が容易に出き、またこの作業自
動化も容易となる効率がある。更には、チップキャリア
上に第ルンズを登載する必要がないためチップキャリア
の小型化及び熱電子素子の容量を小型にできる効果があ
る。さらに、光結合装置として組み立てた後、装置のエ
ージング等によって各光部品の固定部に微小な変形が起
り光結合効率が低下した場合、第2レンズガイド部の微
調変形を行うと効率を回復できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係る光結合装置の縦断面図
、第2図は第1図の実施例装置の横断面図、第3図は第
1図装置内部の部分拡大斜視図、第4図は第3図の例示
装置におけるレンズガイドの自動調整を示す斜視図、第
5図、第6図、第7図、第8図第9図はいずれも第3図
の実施例の代案を示す斜視1・・・サーミスタ、2・・
・ケース、3・・・クラツド材、4・・・レンズガイド
、5・・・抵抗溶接、6・・・ガラス板、7・・・円筒
状パイプ、8・・・YAG溶接、9・・・第2レンズガ
イド、10・・・ファイバガイド、11・・・接合部、
21・・・熱電子素子、22・・・チップキャリア、2
4・・・モニタフォトダイオード、25・・・半導体レ
ーザ素子、26・・・ロッドレンズ、26′・・・第ル
ンズ、27・・・光アイソレータ、29・・・シングル
モードファイバ。 第 Z 図 冨 3 図 茶 図 慕 図 第6 図 ■ 3 図 葛 /θ 図 洒 図 9 シン2゛ノL七−)々イバ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、熱電冷却素子上にチップキャリアを介して固定され
    た半導体レーザ素子と、偏光子、ファラデー回転子、検
    光子が光軸上に順次配列されてなる光アイソレータと、
    フェルールに内に固定された光ファイバと、前記半導体
    レーザ素子、前記光アイソレータ及び前記光ファイバを
    順次光結合させるレンズとを備えてなる光結合装置にお
    いて、前記半導体レーザ素子からの出射光を集光するた
    めの前記レンズを前記光アイソレータの前記半導体レー
    ザ素子例光結合端に固定し、前記熱電冷却素子搭載部か
    ら該レンズを離して前記半導体レーザ素子と前記光アイ
    ソレータとを光結合させたことを特徴とする光結合装置
    。 2、ケースの側面から光アイソレータがケース内に挿入
    され、一方該ケース側面とは異なるケース内面に前記光
    アイソレータの取付部とは独立して直接或いは間接に熱
    電冷却素子を搭載し、該熱電冷却素子上に半導体レーザ
    素子を搭載し、該半導体レーザ素子出射面と前記光アイ
    ソレータの光結合端面とを結ぶ光軸上にレンズを配して
    なる光結合装置において、前記レンズを前記光アイソレ
    ータに固定したことを特徴とする光結合装置。 3、偏光子、ファラデー回転子、検光子を光軸上に順次
    配列してなる光アイソレータの少なくとも一光結合端面
    に前記光軸上に焦点が位置するようにレンズを固定した
    ことを特徴とする光部品。 4、請求項3において、前記レンズが球レンズ或いは集
    束性ロッドレンズであることを特徴とする光部品。 5、光アイソレータの光結合端面の少なくとも一方にロ
    ッドレンズを固着させたことを特徴とする光部品。 6、請求項3乃至5のいずれかにおいて、前記レンズを
    パイプ内或いは板に設けた貫通孔部分に挿入固定し、パ
    イプ或いは板の他の一端を前記アイソレータの一光結合
    端面近傍に固定し、パイプ或いは板の一部を変形させ光
    軸調整できるようにしたことを特徴とする光部品。 7、請求項3乃至6のいずれかにおいて、前記レンズを
    パイプ或いは板の貫通孔に固定する方法として、半田或
    いは金属ろう或いは低融点ガラスを使用することを特徴
    とする光部品の製法。 8、請求項3乃至6のいずれかにおいて、前記パイプ或
    いは板の一部を前記光アイソレータの一光結合端面近傍
    に固定するに際し、抵抗溶接、YAG溶接を使用するこ
    とを特徴とする光部品の製法。 9、請求項3乃至6のいずれかにおいて、前記光アイソ
    レータを円筒状ケース内に収納し、一方の光結合端面に
    前記球レンズ或いは集束性ロッドレンズを気密固定し、
    他方の光結合端面にも同様に前記レンズを気密固定する
    ことを特徴とする光部品。 10、請求項3乃至9いずれかにおける、前記光アイソ
    レータの一方の光結合端近傍に半導体レーザ素子を設け
    、他方の光結合端近傍にファイバを設け光結合したこと
    を特徴とする光結合装置。 11、請求項3乃至10いずれかにおいて、前記レンズ
    、前記光アイソレータを同一パイプ内に調整固定し、該
    パイプの一部を変形させて前記半導体レーザ素子やファ
    イバとの光軸調整を行うようにしたことを特徴とする光
    結合装置。
JP1235671A 1989-05-24 1989-09-13 光結合装置及び光部品 Pending JPH03100506A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1235671A JPH03100506A (ja) 1989-09-13 1989-09-13 光結合装置及び光部品
KR1019900006452A KR920010947B1 (ko) 1989-05-24 1990-05-08 광결합장치와 그 제조방법, 발광장치와 그 조립방법 및 렌즈홀더
US07/525,675 US5195155A (en) 1989-05-24 1990-05-21 Optical coupling apparatus and manufacturing method of the same, and lens holder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1235671A JPH03100506A (ja) 1989-09-13 1989-09-13 光結合装置及び光部品

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03100506A true JPH03100506A (ja) 1991-04-25

Family

ID=16989476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1235671A Pending JPH03100506A (ja) 1989-05-24 1989-09-13 光結合装置及び光部品

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03100506A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09251120A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Nec Corp 半導体レーザモジュール
JPH09269439A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Nec Corp 半導体レーザモジュール
EP1204183A1 (en) * 2000-09-21 2002-05-08 Axsun Technologies, Inc. Optical component plastic deformation control process
US6941631B2 (en) 2000-09-21 2005-09-13 Axsun Technologies, Inc. Optical component plastic deformation control process

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09251120A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Nec Corp 半導体レーザモジュール
US5974065A (en) * 1996-03-15 1999-10-26 Nec Corporation Semiconductor laser module
JPH09269439A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Nec Corp 半導体レーザモジュール
EP1204183A1 (en) * 2000-09-21 2002-05-08 Axsun Technologies, Inc. Optical component plastic deformation control process
US6941631B2 (en) 2000-09-21 2005-09-13 Axsun Technologies, Inc. Optical component plastic deformation control process

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR920010947B1 (ko) 광결합장치와 그 제조방법, 발광장치와 그 조립방법 및 렌즈홀더
US6709169B2 (en) Thermally and mechanically stable low-cost high thermal conductivity structure for single-mode fiber coupling to laser diode
US5068865A (en) Semiconductor laser module
US6757308B1 (en) Hermetically sealed transmitter optical subassembly
JP2002267891A (ja) 半導体レーザモジュールおよびその半導体レーザモジュールの調心方法
US6178188B1 (en) Laser assembly platform with silicon base
JP2002014257A (ja) 半導体レーザモジュール
JP2000277843A (ja) 半導体レーザモジュールとその製造方法
US7226218B2 (en) Method and apparatus for coupling a laser to a fiber in a two-lens laser system
US7909518B2 (en) Optical assembly connecting a laser with optical fibre
JPH03100506A (ja) 光結合装置及び光部品
JPH085876A (ja) 光伝送用モジュール及びそれに用いられるレンズホルダ部材
JP2002111112A (ja) 光モジュールの製造方法及び光モジュール
US5028111A (en) Method of fixing cylindrical optical part and electric part
JP3907051B2 (ja) 光モジュール及びその製造方法
JPH08122578A (ja) 光学モジュールおよびその組立て方法
JPH04359207A (ja) レーザダイオード結合装置及びその組立方法
JP2804238B2 (ja) 光半導体モジュールの製造方法
JPH0429387A (ja) 光結合装置
JP3160159B2 (ja) 半導体レーザモジュール
JPH05323158A (ja) レ−ザダイオ−ド結合装置及びその組立方法
JP3027649B2 (ja) 光半導体素子モジュール
JPS6365411A (ja) レンズ固定方法
JP2975813B2 (ja) 光素子モジュール及びそれの組立方法
US20060056778A1 (en) Laser module with improved lens housing and associated methods