JPH0894467A - 圧電ピックアップ、圧電センサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造で、量産性の高い圧電ピックアッ
プ及び圧電センサを提供する。 【構成】 圧電素子１は、板状であり、厚み方向の両面
に電極１１、１２を有している。支持部材３１、３２
は、圧電素子１の両面側に間隔を隔てて積層されてい
る。スペーサ２１〜２４は、圧電素子１及び支持部材３
１、３２の間に配置され、圧電素子１と支持部材３１、
３２との間に間隔を形成している。圧電素子１及び支持
部材３１、３２は、積層方向Ｈに平行となる４つの側端
面を有し、側端面のそれぞれが外部に表われて同一の平
面Ａ１〜Ａ４を構成している。電極１１、１２は、平面
Ａ１〜Ａ４の少なくとも一つに露出している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電ピックアップ、圧
電センサ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の圧電センサは、例えばハードデ
ィスクドライブ装置、エアバックシステム、電子制御サ
スペンションシステム等において、加速度や衝撃を検知
するために使用される。先行技術文献として、特開平２
ー２４８０８４号公報、特開平４ー２８９４５９号公報
が知られている。

【０００３】特開平２ー２４８０８４号公報に開示され
た振動加速度センサは、内面に凹部を設けた一対の固定
部材を用い、固定部材間で屈曲振動モード振動子の周囲
の圧電素子の上下を挟持する構造となっている。このた
め、固定部材に対して複雑な凹部加工を施す必要があ
り、量産性に欠け、コスト高になるという問題点があ
る。しかも、この振動加速度センサは面実装タイプとし
て用いることができない。

【０００４】特開平４ー２８９４５９号公報に開示され
た圧電加速度センサは、先端が二股状となった支持部材
によって圧電素子を支持し、それをケース内に収容する
構造である。このため、部品点数が多く、構造が複雑
で、組立作業工数が増え、コスト高になる。また、面実
装タイプとして用いることができない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、簡単
な構造で、量産性の高い圧電ピックアップ及び圧電セン
サを提供することである。

【０００６】本発明のもう一つの課題は、面実装タイプ
の圧電ピックアップ及び圧電センサを提供することであ
る。

【０００７】本発明のもう一つの課題は、量産性の高い
圧電ピックアップの製造方法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係る圧電ピックアップは、少なくとも一つ
の圧電素子と、少なくとも一対の支持部材と、スペーサ
とを含む。前記圧電素子は、板状であり、厚み方向の両
面に電極を有している。前記支持部材のそれぞれは、前
記圧電素子の前記両面側に間隔を隔てて積層されてい
る。前記スペーサは、前記圧電素子及び前記支持部材の
間に配置され、前記間隔を形成している。前記圧電素子
及び前記支持部材は、積層方向に平行となる４つの側端
面を有し、前記側端面のそれぞれが外部に表われて同一
の平面を構成している。前記電極は、前記平面の少なく
とも一つに露出している。

【０００９】本発明に係る圧電センサは、圧電ピックア
ップと、ベース部材と、蓋を含む。前記圧電ピックアッ
プは、上記記載のいずれかのものでなる。前記ベース部
材は、前記圧電ピックアップを搭載するものである。前
記蓋は、前記ベース部材と共に前記圧電ピックアップを
封止するものである。

【００１０】本発明に係る圧電ピックアップの製造方法
は、積層工程と、切断工程とを含む。前記積層工程は、
少なくとも一面に間隔を隔てて複数のスペーサを併設し
た支持部材と、間隔を隔てて形成された複数の圧電素子
を有する圧電セラミック基板とを、前記スペーサが両者
間に介在するようにして、交互に積層し接着する。前記
切断工程は、前記積層工程を終了した後、前記積層体の
積層方向を厚み方向、積層方向に直交する方向を幅方向
及び長さ方向としたとき、前記積層体の幅方向、長さ方
向及び厚み方向の少なくとも一方に沿い間隔をおいて切
断する工程を含む。

【００１１】

【作用】圧電素子は板状であり、支持部材のそれぞれは
圧電素子の両面側に間隔を隔てて積層され、スペーサ
は、圧電素子及び支持部材の間に配置され、間隔を形成
しているているから、圧電素子の厚み方向の両面側に、
加速度または衝撃を受けたときに圧電素子が動作するの
に必要な振動空間が形成される。

【００１２】支持部材のそれぞれが、圧電素子の両面側
に積層されているから、支持部材が圧電素子に対する保
護もしくは補強部材となり、信頼性が増す。

【００１３】圧電素子及び支持部材は、積層方向に平行
となる４つの側端面を有し、側端面のそれぞれが同一平
面を構成し、圧電素子の電極が同一平面の少なくとも一
つに露出しているから、ベース部材の端子導体を介して
回路基板またはその他の外部装置等に面実装したとき、
電極を回路基板上の導体パターン等に半田付け固定ある
いは導電接着固定することができる。圧電素子及び支持
部材は、積層方向に平行となる４つの側端面のそれぞれ
が外部に表われて同一の平面を構成しているから、ベー
ス部材上に面実装した場合に、圧電素子及び支持部材の
側端面の表われている平面によって、支持面積の大きい
安定した面実装取付構造を実現することができる。

【００１４】圧電素子及び支持部材は、積層方向に平行
となる側端面のそれぞれが同一の平面を構成しているか
ら、その一例として、発明に係る製造方法によって示さ
れる如く、積層工程及び切断工程の二つの工程を経るだ
けで容易に量産できる。

【００１５】本発明に係る圧電センサは、上述した圧電
ピックアップを、ベース部材上に実装するものであるか
ら、本発明に係る圧電ピックアップの有する上記利点の
全てを包含する。

【００１６】本発明に係る製造方法に含まれる積層工程
において、少なくとも一面に間隔を隔てて複数のスペー
サを併設した支持部材と、間隔を隔てて形成された複数
の圧電素子を有する圧電セラミック基板とを、スペーサ
が両者間に介在するようにして、交互に積層し接着する
から、圧電素子を支持部材によって補強し、製造工程に
おける圧電素子のワレ、カケ、クラックの発生を防止で
きる。

【００１７】切断工程は、積層工程を終了した後、積層
体の積層方向を厚み方向、積層方向に直交する方向を幅
方向及び長さ方向としたとき、積層体の幅方向、長さ方
向及び厚み方向の少なくとも一方に間隔をおいて切断す
る工程を含むので、本発明に係る圧電ピックアップまた
は圧電センサを容易に量産できる。また、切断工程にお
いて、圧電素子を両面に備えられた支持部材によって両
面側から保護及び補強し、切断工程において、セラミッ
ク基板にワレ、カケ、クラック等が発生するのを防止す
ることができる。

【００１８】

【実施例】図１は本発明に係る圧電ピックアップの斜視
図である。本発明に係る圧電ピックアップＰは、少なく
とも一つの圧電素子１と、少なくとも一対の支持部材３
１、３２と、スペーサ２１〜２４を含んでいる。参照符
号Ｈは積層方向、Ｗは幅方向、Ｌは長さ方向を示す。

【００１９】圧電素子１は、板状である。圧電素子１
は、通常は、板厚方向ｔに分極され、板厚方向ｔの両面
に電極１１、１２を有している。一般的な構造として、
圧電素子１は板厚方向に分極され、板厚方向に加わる加
速度及び衝撃を感知する。

【００２０】支持部材３１、３２は、圧電素子１の両面
上に間隔を隔てて対向するように積層されている。

【００２１】スペーサ２１、２２は、圧電素子１と支持
部材３１との間に配置され、圧電素子１と支持部材３１
との間隔を形成する。同様に、スペーサ２３、２４は、
圧電素子１と支持部材３２との間に配置され、圧電素子
１と支持部材３２との間隔を形成する。スペーサ２１〜
２４は、導電性材料、絶縁性材料の何れで形成してもよ
い。

【００２２】支持部材３１、３２は、電気絶縁性セラミ
ックまたはプラスチック等によって形成される。用い得
るセラミック材料としては、アルミナ、フォルステライ
ト、ステアタイト等がある。プラスチック材料を用いる
場合は、高耐熱性のものを用いることが望ましい。支持
部材３１、３２の熱膨張係数は、圧電素子１の熱膨張係
数に近いことが望ましい。圧電素子１及び支持部材３
１、３２は、積層方向Ｈに平行となる４つの側端面のそ
れぞれが外部に表われ、同一の平面Ａ１、Ａ２、Ａ３、
Ａ４を構成している。電極１１、１２は、平面Ａ１、Ａ
２、Ａ３、Ａ４の少なくとも一つに露出している。実施
例は、電極１１が同一平面Ａ１、Ａ２、Ａ３に露出し、
電極１２が同一平面Ａ１、Ａ２、Ａ４に露出している。

【００２３】上述したように、圧電素子１は板状であ
り、支持部材３１、３２のそれぞれは圧電素子１の両面
側に間隔を隔てて積層されているから、圧電素子１の厚
み方向の両面側に、加速度または衝撃を受たときに圧電
素子１が動作するのに必要な振動空間が形成される。

【００２４】また、支持部材３１、３２のそれぞれが、
圧電素子１の両面側に積層されているから、支持部材３
１、３２が圧電素子１に対する保護もしくは補強部材と
なり、信頼性が増す。

【００２５】更に、圧電素子１の電極１１、１２が平面
Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４の少なくとも一つに露出してい
るから、電極１１、１２をベース部材上の導体パターン
等に半田付け固定あるいは導電接着固定することができ
る。

【００２６】圧電素子１及び支持部材３１、３２は、積
層方向Ｈに平行となる側端面が外部に表われて同一の平
面Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４を構成しているから、ベース
部材上に面実装した場合に、圧電素子１及び支持部材３
１、３２の側端面の表われている平面Ａ１、Ａ２、Ａ
３、Ａ４によって、支持面積の大きい安定した面実装取
付構造を実現することができる。

【００２７】更に、圧電素子１及び支持部材３１、３２
は積層方向Ｈに平行となる側端面が外部に表われて同一
の平面Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４を構成しているから、そ
の一例として、発明に係る製造方法によって示される如
く、積層工程及び切断工程の二つの工程を経るだけで容
易に量産できる。

【００２８】圧電ピックアップは、ｎ個の圧電素子１を
積層することができる。実施例の圧電素子１はバイモル
フ構造であり、２つの圧電素子の分極方向Ｐ１、Ｐ２が
逆直列となっている。電極１３は電極１１、１２と共通
に対向する共通電極である。図１に示す実施例は両端支
持タイプであり、電極１１が一端側から他端側に向かっ
て途中まで形成され、電極１２が他端側から一端側に向
かって途中まで形成され、電極１３が電極１１及び電極
１２と共通に対向する位置に形成されている。この構造
によれば焦電効果に起因するノイズをキャンセルでき
る。

【００２９】スペーサ２１〜２４は、支持部材３１、３
２の一端側、両端側または中央部のいずれかに、互いに
間隔を隔てて条状に設けられている。実施例では、両端
側に設けられており、両持ち梁構造の圧電ピックアップ
が得られる。中央部または一端側に設けられた場合は片
持ち梁構造の圧電ピックアップが得られる。

【００３０】実施例のスペーサ２１〜２４は導電性材料
でなり、スペーサ２２が電極１１と導通し、スペーサ２
３が電極１２と導通している。スペーサ２１〜２４は、
導体パターン、導電性接着剤で構成できる。この構成で
は、スペーサ２２、２３を接続端子として利用でき、ベ
ース部材への実装が更に容易になる。

【００３１】図２〜図４は本発明に係る圧電ピックアッ
プの別の例を示す斜視図である。図において、図１と同
一参照符号は同一性ある構成部分を示している。図２に
示す圧電ピックアップは、圧電素子１の厚み方向の両面
が平面Ａ１、Ａ２に対して傾斜して設けられている。こ
のため、平面Ａ１、Ａ２に対して垂直方向及び水平方向
に作用する加速度もしくは衝撃を検出することができ
る。

【００３２】図３に示す圧電ピックアップは、スペーサ
２２、２４が支持部材３１、３２の中央部分に設けら
れ、中央支持タイプの圧電ピックアップを構成してい
る。電極１１、１２は、圧電素子１の厚み方向の両面の
全面に設けられている。スペーサ２２、２４は、導電性
材料で構成されている。

【００３３】図４に示す圧電ピックアップは、スペーサ
２２、２４が支持部材３１、３２の一端側に設けられ、
片端支持タイプの圧電ピックアップを構成している。電
極１１、１２は、圧電素子１の厚み方向の両面の全面に
設けられている。スペーサ２２、２４は、導電性材料で
構成されている。

【００３４】図５〜図８は本発明に係る圧電センサの分
解斜視図である。本発明に係る圧電センサは、圧電ピッ
クアップＰと、ベース部材４とを含む。参照符号５は蓋
である。ベース部材４は、圧電ピックアップＰを搭載す
る。圧電ピックアップＰは上述した本発明に係るもので
なる。このため、圧電ピックアップＰに関して、上述し
た全ての利点を有する圧電センサが得られる。

【００３５】図５〜図８を通して、ベース部材４は、少
なくとも２つの端子導体４１、４２を有している。端子
導体４１、４２は、ベース部材４の一面に間隔を隔てて
設けられ、リード導体４１１、４２１がベース部材４の
両側面に導かれている。

【００３６】図５及び図６の圧電ピックアップＰは、平
面Ａ１がベース部材４の上に載るように設けられ、平面
Ａ１と平面Ａ３の一部において、電極１１が端子導体４
１と導電性接着剤４３により導通接続され、平面Ａ１と
平面Ａ４の一部において電極１２が端子導体４２と導電
性接着剤４４により導通接続されている。

【００３７】図７の圧電ピックアップは、平面Ａ１がベ
ース部材４の上になるように設けられ、平面Ａ１におい
て、電極１１、１２が端子導体４１、４２と導電性接着
剤によりそれぞれ導通接続されている。

【００３８】図８の圧電ピックアップは、平面Ａ３がベ
ース部材４の上になるように設けられ、平面Ａ１、Ａ３
または平面Ａ２、Ａ３において、電極１１、１２が端子
導体４１、４２と導電性接着剤４３、４４によりそれぞ
れ導通接続されている。これにより、面実装タイプの圧
電センサが得られる。また、圧電ピックアップは、図６
または図７に示すように、ベース部材４の上に寝かせて
設けてもよい。

【００３９】蓋５は、図３〜図８の各実施例を通して、
電気絶縁性セラミックまたはプラスチック等によって形
成される。用い得るセラミック材料としては、アルミ
ナ、フォルステライト、ステアタイト等がある。プラス
チック材料を用いる場合は、高耐熱性のものが望まし
い。蓋５は、ベース部材４の一面側に圧電ピックアップ
を包囲するように配置され、その接触端面が樹脂接着、
ガラス封着、その他の手段によって、ベース部材４に接
合される。また、電磁シールド効果を得るためには、金
属メッキを施した蓋を使用しても良いし、金属製の蓋を
使用しても良い。これにより、熱、温度の影響を受けに
くく、信頼性の高い圧電センサが得られる。

【００４０】図９〜図１２は図１に示した本発明に係る
圧電ピックアップの製造方法を説明する図である。図９
は積層工程を示し、図１０〜図１２は切断工程を示して
いる。

【００４１】積層工程は、一面に間隔を隔てて複数のス
ペーサ６２１〜６２３を設けた支持部材６の上に、圧電
素子７１、７２を一体形成したセラミック基板７、及
び、少なくとも一面に間隔を隔てて複数のスペーサ８２
１〜８２６を設けた支持部材８を順次に積層接着する工
程を、必要数だけ繰返して積層体Ｑを得る。積層中間に
位置する支持部材８は、積層方向の両面にスペーサ８２
１〜８２６を有する。最上部のセラミック基板７の上に
積層される支持部材９は、積層面に間隔を隔てて複数の
スペーサ９２１〜９２３を有する。これにより積層体Ｑ
が形成される。

【００４２】スペーサ６２１〜６２３は導電性または非
導電性材料の何れであってもよい。これらのスペーサ６
２１〜６２３は、所定のパターンとなるように、導電性
または非導電性ペーストを印刷し、これを硬化させた後
にセラミック基板６と積層してもよいし、接着性ペース
トを支持部材６に印刷などの手段によって塗布し、その
接着力を利用してセラミック基板７及び支持部材６を接
着してもよい。スペーサ８２１〜８２６、９２１〜９２
３も同様である。電極７１１は、積層時にスペーサ６２
１、８２４と接触しない。電極７１２は、スペーサ８２
２、９２２と接触しない。電極７１３は、電極７１１と
電極７１２とのオーバラップ部分となるように設けられ
ている。同様に、電極７１４は、スペーサ６２２、８２
５と接触しない。電極７１５は、スペーサ８２３、９２
３と接触しない。電極７１６は、電極７１４と電極７１
５とのオーバラップ部分となるように設けられている。

【００４３】切断工程は、積層工程を終了した後に、積
層方向Ｈを厚み方向とし、積層方向に直交する方向を幅
方向Ｗ及び長さ方向Ｌとしたとき、積層体Ｑの幅方向
Ｗ、長さ方向Ｌ及び厚み方向Ｈの少なくとも一方向に一
定の間隔をおいて切断する。

【００４４】これにより、圧電ピックアップを量産性よ
く製造できる。また、支持部材６、支持部材８及び支持
部材９は、圧電素子１の補強材として作用し、製造工程
における圧電素子１のワレ、カケ、クラックの発生を防
止する。更に、積層工程と、切断工程の２工程で済むの
で、自動組み立ても容易になる。

【００４５】実施例において、切断工程は、第１の切断
工程〜第３の切断工程を含む。第１の切断工程では、積
層工程を終了した後に、図１０に示すように、積層体Ｑ
の幅方向Ｗに一定の間隔Ｗ１をおいて切断線Ｃ１上で切
断する。

【００４６】第２の切断工程では、第１の切断工程を終
了した後に、図１１に示すように、積層体Ｑの長さ方向
Ｌに一定の間隔Ｌ１をおいて切断線Ｃ２上で切断する。

【００４７】第３の切断工程では、第２の切断工程を終
了した後に、図１２に示すように、積層体Ｑの厚み方向
Ｈに沿い、一定の間隔Ｈ１をおいて切断線Ｃ３上で切断
する。これにより、図１に示した圧電ピックアップが得
られる。

【００４８】更に、図１２に示した集合体を集合型圧電
ピックアップとして用いることもできる。集合型圧電ピ
ックアップを得る場合、含まれる圧電ピックアップの個
数は任意に選定できる。また、圧電ピックアップの回路
結線等も任意である。圧電ピックアップのそれぞれを個
別に用いてもよいし、並列接続またはブリッジ接続等、
要求に応じた回路結線を用いることができる。

【００４９】図１３及び図１４は図２に示した本発明に
係る別の圧電ピックアップの製造方法における第２の切
断工程及び第３の切断工程を示す図である。図におい
て、図１１及び図１２と同一参照符号は同一性ある構成
部分を示している。

【００５０】積層工程及び第１の切断工程は、上述の圧
電ピックアップの製造方法と同様である（図９、図１０
参照）。第２の切断工程は、図１３に示すように、第１
の切断工程を終了した後に、積層体Ｑの長さ方向Ｌに一
定の角度θ１及び一定の間隔Ｌ２をおいて切断線Ｃ４上
で切断するものである。本例では、角度θ１は約４５度
となっている。第３の切断工程は、第２の切断工程を終
了した後に、図１４に示すように、積層体Ｑの厚み方向
Ｈに一定の角度θ２及び一定の間隔Ｈ２をおいて切断線
Ｃ５上でブロックの底面に垂直に切断するものである。
角度θ２は、自動的に約４５度となり、角度θ１と等し
くなっている。このため、圧電素子１の厚み方向が平面
Ａ１に対して約４５度傾斜（図２参照）するので、水平
方向及び垂直方向の二方向の加速度または衝撃を検出す
る圧電ピックアップが得られる。

【００５１】本発明に係る圧電ピックアップの製造方法
によれば、第２の切断工程における切断角度θ１を調整
することにより、圧電素子が任意の傾斜角を有するよう
になる。このため、ベース部材の形状または圧電ピック
アップの取付け形状を変えることなく、様々な方向の加
速度を検出できる圧電ピックアップが得られる。

【００５２】更に、第３の切断工程は、第２の切断工程
でできたブロックの底面に垂直に切断するものであるた
め、略直方体となる圧電ピックアップが得られる。この
ため、種々の傾斜角を有する圧電ピックアップの外形形
状が統一化され、圧電センサの自動組立が容易になる。

【００５３】図１５は図３に示した中心支持タイプまた
は図４に示した片端支持タイプの圧電ピックアップの製
造方法における第１の切断工程を示す図である。図１０
と同一参照符号は同一性ある構成部分を示している。電
極７１１、７１２はセラミック基板７の両面の全面に形
成されている。第１の切断工程では、積層体Ｑを切断線
Ｃ１１で切断する。この後、前述した第２及び第３の切
断工程を経ることにより、図３に示した中心支持タイプ
の圧電ピックアップが得られる。図４に示した片端支持
タイプの圧電ピックアップは、更に切断線Ｃ１２により
切断することによって得られる。

【００５４】以上述べたように、本発明に係る圧電ピッ
クアップの製造方法によれば、第１の切断工程の切断位
置を調整することによって、両端支持、中心支持、片端
支持タイプの何れかの圧電ピックアップを得ることがで
きる。

【００５５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、以
下のような効果が得られる。 （ａ）簡単な構造で、量産性の高い圧電ピックアップ及
び圧電センサを提供することができる。 （ｂ）面実装タイプの圧電ピックアップ及び圧電センサ
を提供することができる。 （ｃ）量産性の高い圧電ピックアップの製造方法を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧電ピックアップの斜視図であ
る。

【図２】本発明に係る圧電ピックアップの別の例を示す
斜視図である。

【図３】本発明に係る圧電ピックアップの別の例を示す
斜視図である。

【図４】本発明に係る圧電ピックアップの別の例を示す
斜視図である。

【図５】図１に示した圧電ピックアップを用いた圧電セ
ンサの分解斜視図である。

【図６】図２に示した圧電ピックアップを用いた圧電セ
ンサの分解斜視図である。

【図７】図３に示した圧電ピックアップを用いた圧電セ
ンサの分解斜視図である。

【図８】図４に示した圧電ピックアップを用いた圧電セ
ンサの分解斜視図である。

【図９】図１に示した本発明に係る圧電ピックアップの
製造方法に含まれる工程を説明する図である。

【図１０】図９に示した工程の後に実行される工程を説
明する図である。

【図１１】図１０に示した工程の後に実行される工程を
説明する図である。

【図１２】図１１の工程を経て得られた圧電ピックアッ
プの集合体を示す斜視図並びに図１１に示した工程の後
に実行される工程を説明する図である。

【図１３】図２に示した本発明に係る圧電ピックアップ
の製造方法に含まれる工程を説明する図である。

【図１４】図１３の工程を経て得られた圧電ピックアッ
プの集合体を示す斜視図並びに図１３に示した工程の後
に実行される工程を説明する図である。

【図１５】図３または図４に示した本発明に係る別の圧
電ピックアップの製造方法を説明する図である。

【符号の説明】

Ｐ 圧電ピックアップ １ 圧電素子 １１、１２ 電極 ２１〜２４ スペーサ ３１、３２ 支持部材 ４ ベース部材 ４１、４２ 端子導体 ５ 蓋

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一つの圧電素子と、少なくと
   も一対の支持部材と、スペーサとを含む圧電ピックアッ
   プであって、 前記圧電素子は、板状であり、厚み方向の両面に電極を
   有しており、 前記支持部材のそれぞれは、前記圧電素子の前記両面側
   に間隔を隔てて積層されており、 前記スペーサは、前記圧電素子及び前記支持部材の間に
   配置され、前記間隔を形成しており、 前記圧電素子及び前記支持部材は、積層方向に平行とな
   る４つの側端面を有し、前記側端面のそれぞれが外部に
   表われて同一の平面を構成しており、 前記電極は、前記平面の少なくとも一つに露出している
   圧電ピックアップ。
2. 【請求項２】 前記スペーサは、前記支持部材の一端
   側、両端側または中央部のいずれかに設けられている請
   求項１に記載の圧電ピックアップ。
3. 【請求項３】 前記スペーサは、導電性材料でなり、前
   記電極と導通している請求項１または２に記載の圧電ピ
   ックアップ。
4. 【請求項４】 前記圧電素子は、前記両面が相対向する
   一組の前記平面に対して傾斜して設けられている請求項
   １に記載の圧電ピックアップ。
5. 【請求項５】 圧電ピックアップと、ベース部材と、蓋
   とを含む圧電センサであって、 前記圧電ピックアップは、請求項１〜４に記載のいずれ
   かのものでなり、 前記ベース部材は、前記圧電ピックアップを搭載するも
   のであり、 前記蓋は、前記ベース部材と共に前記圧電ピックアップ
   を封止するものである圧電センサ。
6. 【請求項６】 圧電ピックアップを製造する方法であっ
   て、積層工程と、切断工程とを含んでおり、 前記積層工程は、少なくとも一面に間隔を隔てて複数の
   スペーサを併設した支持部材と、間隔を隔てて形成され
   た複数の圧電素子を有する圧電セラミック基板とを、前
   記スペーサが両者間に介在するようにして、交互に積層
   し接着する工程であり、 前記切断工程は、前記積層工程を終了した後、前記積層
   体の積層方向を厚み方向、積層方向に直交する方向を幅
   方向及び長さ方向としたとき、前記積層体の幅方向、長
   さ方向及び厚み方向の少なくとも一方に沿い間隔をおい
   て切断する工程を含む圧電ピックアップの製造方法。
7. 【請求項７】 前記切断工程は、第１の切断工程と、第
   ２の切断工程と、第３の切断工程とを含み、 前記第１の切断工程は、前記積層体の幅方向に間隔をお
   いて、前記積層体を切断する工程であり、 前記第２の切断工程は、前記第１の切断工程を終了した
   後に、前記積層体の長さ方向に間隔をおいて、前記積層
   体を切断する工程であり、 前記第３の切断工程は、前記第２の切断工程を終了した
   後に、前記積層体の厚み方向に間隔をおいて、前記積層
   体を切断する工程である請求項６に記載の圧電ピックア
   ップの製造方法。
8. 【請求項８】 前記第２の切断工程は、角度を付して斜
   めに切断する工程である請求項７に記載の圧電ピックア
   ップの製造方法。