JP2002040042A - 圧電センサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】小型で、耐衝撃性に優れ、信頼性が高く、量産
性の高い２軸方向加速度検出用圧電センサを提供する。 【解決手段】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂは、平板状であって、それぞれの厚み方向に現れる面
の間に交差角度θが生じるように配置されている。支持
部材１は、第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂ
を支持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、加速度センサに用
いられる圧電センサ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の圧電センサは、例えばハードデ
ィスクドライブ装置、エアバックシステム、電子制御サ
スペンションシステム等において、加速度や衝撃を検知
するために使用されるものであり、高度の信頼性と共
に、部品点数が少なく、小型であることが極めて重要に
なる。先行技術文献としては、特開平３ー１５６３７５
号公報が知られている。この先行技術文献に記載された
発明は、２枚の矩形状圧電セラミックの間に金属箔を直
列に接着した２個の圧電バイモルフを、上記圧電バイモ
ルフと同じ幅を有する固定柱の両面にそれぞれ直交する
ように配置し、直交２方向の加速度を検出できるように
したものである。

【０００３】別の先行技術文献としては、特開２０００
ー８１４４８号公報を挙げることができる。この先行技
術文献に記載された発明では、第１の圧電センサ及び第
２の圧電センサを備える。第１の圧電センサ及び第２の
圧電センサは、それぞれのトーションバーが鉛直方向に
沿い、かつ、トーションバーと直交する方向において、
各センサの中心を通る仮想線が互いに直交するように配
設されたもので、加速度、加速度及び角加速度の方向、
大きさを知ることができるとされている。

【０００４】この種の圧電センサは、上述したような用
途で用いられるため、小型で、耐衝撃性に優れ、信頼性
が高いことが極めて重要になる。また、量産性に優れて
いることも重要である。ところが、従来の圧電センサ
は、複雑な組立構造を有し、部品点数も多く、上述した
要求を必ずしも満たすものではなかった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、２軸
方向の加速度を感知し得る圧電センサを提供することで
ある。

【０００６】本発明のもう一つの課題は、小型で、耐衝
撃性に優れた高信頼度の圧電センサを提供することであ
る。

【０００７】本発明の更にもう一つの課題は、量産性に
優れた圧電センサを提供することである。

【０００８】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
圧電センサを製造するのに適した製造方法を提供するこ
とである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る圧電センサは、第１の圧電素子と、
第２の圧電素子と、支持部材とを含む。前記第１の圧電
素子及び前記第２の圧電素子は、平板状であって、それ
ぞれの厚み方向に現れる面の間に交差角度が生じるよう
に配置されている。前記支持部材は、前記第１の圧電素
子及び前記第２の圧電素子を支持する。

【００１０】本発明に係る圧電センサにおいて、第１の
圧電素子及び第２の圧電素子は、平板状であって、それ
ぞれの厚み方向に現れる面の間に交差角度が生じるよう
に配置されているから、鉛直方向Ｚに対して直交する２
軸、即ち、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の加速度を感知し得
る。

【００１１】本発明に係る圧電センサは、基本要素とし
て、第１及び第２の圧電素子と、それを挟持する支持部
材とを有すればよいから、簡単な構造で、加速度または
衝撃を確実に検知し得る。また、部品点数が少なく、構
造が簡単であるから、小型で、耐衝撃性に優れた信頼性
の高い圧電センサが得られる。

【００１２】しかも、支持部材に対して、第１及び第２
の圧電素子を組み合わせる構造であるので、量産性が高
くなる。また、第１及び第２の圧電素子が支持部材によ
って挟持されているので、支持安定性が高くなり、安定
した検出動作が可能になる。

【００１３】本発明に係る圧電センサの製造方法では、
複数の支持基板を、圧電基板を介して積層して積層体を
製造する。この場合、前記積層体は、前記支持基板のそ
れぞれと、前記圧電基板との積層面に複数の空洞部を有
する。前記空洞部のそれぞれは、前記支持基板の幅方向
に延びていて、前記支持基板の長さ方向に間隔を隔てて
併設され、前記圧電基板を介して隣接する２つの支持基
板では、互いに向き合い、空洞部の組を構成する。

【００１４】次に、隣接する２つの支持基板において、
前記空洞部の組が含まれるように、前記積層体を、前記
幅方向に沿い、前記長さ方向に対して斜めに切断する。

【００１５】次に、得られた切断片の２つを、前記圧電
基板の面が交差するように組み合わせ、その後、前記空
洞部の組を含む圧電センサ単品を切り出す。

【００１６】かかる工程を含むことにより、本発明に係
る圧電センサを、量産性よく製造できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る圧電センサの
分解斜視図、図２は図１に示された圧電センサにおい
て、センサ部分を拡大して示す平面図である。図示され
た圧電センサは、支持部材１と、第１の圧電素子２Ａ
と、第２の圧電素子２Ｂとを含む。支持部材１の厚み方
向の両面には、第１の蓋体３１、及び、第２の蓋体３２
が積層される。

【００１８】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂは、平板状であって、それぞれの厚み方向に現れる面
の間に交差角度θが生じるように配置されている。図示
実施例において、交差角度θは、ほぼ直角である。但
し、交差角度θは、直角に限定されるものではない。第
１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂは、更に、厚
み方向に現れる面が、同一平面に対してほぼ垂直となる
ように配置されている。

【００１９】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂは、圧電セラミックスで構成されている。第１の圧電
素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂの好ましい例は、バイ
モルフ圧電素子である。図はバイモルフ圧電素子を示
し、一対の圧電素子２０、２０を有している。一対の圧
電素子２０、２０は、圧電素体の両面に電極２１、２２
を有しており、一方の圧電素子２０の電極２２と他方の
圧電素子２０の電極２２とが互いに面接触するようにし
て、重ね合わされ接合されている。一対の圧電素子２
０、２０は、温度変動によるノイズをキャンセルするた
め、分極方向Ｐ１、Ｐ２が互いに逆向きとなるように重
ね合わされる。別の例では、一対の圧電素子２０、２０
は分極方向が同一となるように重ねて結合されることも
ある。この場合には、共通に接続された電極が例えばア
ースに接続される。共通に接続される電極間に、導電性
を有する金属弾性板で構成される振動板を介在させ、こ
の振動板をアースに接続する構成もよくとられる。バイ
モルフ圧電素子を用いた圧電センサは特開昭６４ー７２
０１２号公報、特開平２ー９３３７０号公報で公知であ
る。

【００２０】支持部材１は、第１の圧電素子２Ａ及び第
２の圧電素子２Ｂを支持する。支持部材１は電気絶縁性
セラミックまたはプラスチック等によって形成される。
用い得るセラミック材料としては、アルミナ、フォルス
テライト、ステアタイト等がある。プラスチック材料を
用いる場合は、高耐熱性のものを用いることが望まし
い。

【００２１】支持部材１は、第１の空洞部３Ａと、第２
の空洞部３Ｂとを含む。第１の圧電素子２Ａは、電極対
向によって構成される検知部が第１の空洞部３Ａ内に配
置されている。第２の圧電素子２Ｂは、検知部が第２の
空洞部３Ｂ内に配置されている。

【００２２】更に詳しくは、支持部材１は、第１の支持
部材１Ａと、第２の支持部材１Ｂとを含む。第１の支持
部材１Ａは、第１の圧電素子２Ａを支持する。第２の支
持部材１Ｂは、第２の圧電素子２Ｂを支持する。第１の
支持部材１Ａ及び第２の支持部材１Ｂは、互いに結合さ
れている。

【００２３】第１の支持部材１Ａは、第１の支持片１１
と、第２の支持部片１２とを含む。第１の支持片１１及
び第２の支持部片１２は、第１の圧電素子２Ａの厚み方
向の両側に配置され、第１の圧電素子２Ａを、厚み方向
の両面側から挟持する。第１の支持片１１は、第１の圧
電素子２Ａを挟持する端面に第１の凹部１１１を有す
る。第２の支持片１２は、第１の圧電素子２Ａを挟持す
る端面に第２の凹部１２１を有する。第１の空洞部３Ａ
は、第１の凹部１１１及び第２の凹部１２１によって構
成される。

【００２４】第１の圧電素子２Ａは、検知部を、第１の
凹部１１１及び第２の凹部１２１によって構成される第
１の空洞部３Ａ内に位置させた状態で、長さ方向の両端
を、第１の支持片１１及び第２の支持片１２の間に挟み
込み、接着剤によって固定されている。

【００２５】第２の支持部材１Ｂは、第３の支持片１３
と、第４の支持片１４とを含む。第３の支持片１３及び
第４の支持片１４は、第２の圧電素子２Ｂの厚み方向の
両側に配置され、第２の圧電素子２Ｂを、厚み方向の両
面側から挟持する。

【００２６】第３の支持片１３は、第２の圧電素子２Ｂ
を挟持する端面に第３の凹部１３１を有する。第４の支
持片１４は、第２の圧電素子２Ｂを挟持する端面に第４
の凹部１４１を有する。第２の空洞部３Ｂは、第３の凹
部１３１及び第４の凹部１４１によって構成される。

【００２７】第２の圧電素子２Ｂは、検知部を、第３の
凹部１３１及び第４の凹部１４１によって構成される第
２の空洞部３Ｂ内に位置させた状態で、長さ方向の両端
を、第３の支持片１３及び第４の支持片１４の間に挟み
込み、接着剤によって固定されている。

【００２８】第１の支持部材１Ａ及び第２の支持部材１
Ｂは、ほぼ同形であり、第２の支持片１２及び第４の支
持片１４の側面を突き合わせ、かつ、接着することによ
り、互いに結合されている。

【００２９】支持部材１は、第１の端子導体４Ａ、第２
の端子導体４Ｂ及び第３の端子導体４Ｃを有している。
第１の端子導体４Ａは、第２の支持片１２の側面に付着
されている。第１の端子導体４Ａには、第１の圧電素子
２Ａの電極２１の一端が電気的に接続されている（図２
参照）。

【００３０】第２の端子導体４Ｂは第４の支持片１４の
側面に付着されている。第２の端子導体４Ｂには、第２
の圧電素子２Ｂの電極２１の一端が電気的に接続されて
いる（図２参照）。

【００３１】第３の端子導体４Ｃは、第１の端子導体４
Ａ及び第２の端子導体４Ｂを設けた側面とは反対側の側
面であって、第１の支持部材１Ａ及び第２の支持部材１
Ｂの接合面を中心にして、その両側に延びるように形成
されている。第３の端子導体４Ｃには、第１の圧電素子
２Ａの電極２１、及び、第２の圧電素子２Ｂの電極２１
の一端が電気的に接続されている（図２参照）。

【００３２】第１の蓋体３１及び第２の蓋体３２は、第
１の支持部材１Ａ及び第２の支持部材１Ｂの厚み方向の
両面に、接着等の手段によって積層され、第１の支持部
材１Ａ及び第２の支持部材１Ｂに含まれる第１の空洞部
３Ａ及び第２の空洞部３Ｂを気密に封止する。第１の蓋
体３１及び第２の蓋体３２は電気絶縁性セラミックまた
はプラスチック等によって形成することができる。用い
得るセラミック材料としては、アルミナ、フォルステラ
イト、ステアタイト等がある。プラスチック材料を用い
る場合は、高耐熱性のもを用いることが望ましい。

【００３３】第１の蓋体３１及び第２の蓋体３２には、
第１の支持部材１Ａ及び第２の支持部材１Ｂに設けられ
た第１の端子導体４Ａ〜第３の端子導体４Ｃと電気的、
機械的に連続する第１の端子導体４Ａ〜第３の端子導体
４Ｃが備えられている。第１の端子導体４Ａ〜第３の端
子導体４Ｃは、第１の蓋体３１及び第２の蓋体３２にお
いて、側面から、表面または裏面に達するように形成さ
れている。第１の端子導体４Ａ〜第３の端子導体４Ｃ
は、印刷、スパッタ、蒸着またはこれらとメッキとの組
み合わせ等によって形成される。

【００３４】上述したように、第１の圧電素子２Ａ及び
第２の圧電素子２Ｂは、平板状であって、それぞれの厚
み方向に現れる面の間に交差角度θが生じるように配置
されているから、鉛直方向Ｚに対して直交する２軸、即
ち、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の加速度を感知し得る。

【００３５】また、基本要素として、第１及び第２の圧
電素子２Ａ、２Ｂと、それを挟持する支持部材１とを有
すればよいから、簡単な構造で、加速度または衝撃を確
実に検知し得る。また、部品点数が少なく、構造が簡単
であるから、小型で、耐衝撃性に優れた信頼性の高い圧
電センサが得られる。

【００３６】しかも、支持部材１に対して、第１及び第
２の圧電素子２Ａ、２Ｂを組み合わせる構造であるの
で、量産性が高くなる。また、第１及び第２の圧電素子
２Ａ、２Ｂが支持部材１によって挟持されているので、
支持安定性が高くなり、安定した検出動作が可能にな
る。

【００３７】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂは、圧電セラミックスで構成されている。圧電セラミ
ックスで構成された第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電
素子２Ｂを、検知素子として用いることの利点は、耐衝
撃性に優れた堅牢な構造を容易に実現できることであ
る。

【００３８】また、第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電
素子２Ｂをバイモルフ圧電素子で構成してあるので、温
度変動によるノイズをキャンセルすることができる。こ
のため、温度変動に起因する測定誤差を回避することが
できる。

【００３９】第１の圧電素子２Ａは、検知部が第１の空
洞部３Ａ内に配置されており、第２の圧電素子２Ｂは、
検知部が第２の空洞部３Ｂ内に配置されているから、第
１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂは、加速度を
受けたとき、第１の空洞部３Ａ及び第２の空洞部３Ｂ内
で自由に変位し、所定の検知動作を行うことができる。

【００４０】支持部材１は、第１の支持部材１Ａと、第
２の支持部材１Ｂとを含んでおり、第１の支持部材１Ａ
は、第１の圧電素子２Ａを支持し、第２の支持部材１Ｂ
は、第２の圧電素子２Ｂを支持し、第１の支持部材１Ａ
及び第２の支持部材１Ｂは、互いに結合されているか
ら、図示したように、第１の圧電素子２Ａを挟持した第
１の支持部材１Ａ、及び、第２の圧電素子２Ｂを挟持し
た第２の支持部材１Ｂを、同じような形状とし、接着等
の手段によって結合するだけでよい。このため、製造組
立が容易になり、量産性が向上する。

【００４１】しかも、第１の支持部材１Ａは、第１の支
持片１１と、第２の支持片１２とを含み、第１の支持片
１１及び第２の支持片１２は、第１の圧電素子２Ａの厚
み方向の両側に配置され、第１の圧電素子２Ａを、厚み
方向の両面側から挟持するから、第１の圧電素子２Ａ及
び第１の支持部材１Ａの組立において、部品点数が少な
くなり、構造が簡単になる。また、支持安定性が高くな
り、耐衝撃性に優れ、安定した検出動作を行う信頼性の
高い圧電センサが得られる。

【００４２】同様に、第２の支持部材１Ｂは、第３の支
持片１３と、第４の支持片１４とを含み、第３の支持片
１３及び第４の支持片１４は、第２の圧電素子２Ｂの厚
み方向の両側に配置され、第２の圧電素子２Ｂを、厚み
方向の両面側から挟持するから、第２の圧電素子２Ｂ及
び第２の支持部材１Ｂの組立において、部品点数が少な
くなり、構造が簡単になる。

【００４３】第１の支持片１１は、第１の圧電素子２Ａ
を挟持する端面に第１の凹部１１１を有しており、第２
の支持片１２は、第１の圧電素子２Ａを挟持する端面に
第２の凹部１２１を有しており、第１の空洞部３Ａは、
第１の凹部１１１及び第２の凹部１２１によって構成さ
れるから、第１の空洞部３Ａを形成するに当って、第１
の圧電素子２Ａの両側に第１の支持片１１及び第２の支
持片１２を、例えば、接着等の手段によって結合するだ
けでよい。

【００４４】同様に、第３の支持片１３は、第２の圧電
素子２Ｂを挟持する端面に第３の凹部１３１を有してお
り、第４の支持片１４は第２の圧電素子２Ｂを挟持する
端面に第４の凹部１４１を有しており、第２の空洞部３
Ｂは、第３の凹部１３１及び第４の凹部１４１によって
構成されるから、第２の空洞部３Ｂを形成するに当っ
て、第２の圧電素子２Ｂの両側に第３の支持片１３及び
第４の支持片１４を、例えば、接着等の手段によって結
合するだけでよい。

【００４５】このため、支持安定性が高くなり、耐衝撃
性に優れ、安定した検出動作を行う信頼性の高い圧電セ
ンサが得られる。

【００４６】第１の蓋体３１、第２の蓋体３２には、第
１の支持部材１Ａ及び第２の支持部材１Ｂに設けられた
第１の端子導体４Ａ〜第３の端子導体４Ｃと電気的、機
械的に連続する第１の端子導体４Ａ〜第３の端子導体４
Ｃが備えられている。

【００４７】このような構造であると、回路基板または
その他の外部装置への実装に当たり第１の端子導体４Ａ
〜第３の端子導体４Ｃを用いて、面実装し、強固で安定
した取り付け構造を実現できる。

【００４８】図３は本発明に係る圧電センサにおいて、
支持部材と圧電センサとの組立構造の別の例を示す平面
図である。図において、図１及び図２に現れた構成部分
と同一の構成部分については、同一の参照符号を付して
ある。この実施例の特徴は、第１の支持部材１Ａにおい
て、第１の接着剤層５Ａと、第２の接着剤層５Ｂとを含
むことである。第１の接着剤層５Ａは、第１の支持片１
１と第１の圧電素子２Ａとの間に配置され、両者を接着
する。第２の接着剤層５Ｂは、第２の支持片１２と第１
の圧電素子２Ａとの間に配置され、両者を接着してい
る。

【００４９】第１の空洞部３Ａは、第１の接着剤層５Ａ
の層厚、及び、第２の接着剤層５Ｂの層厚に応じて、第
１の圧電素子２Ａと、第１の支持片１１及び第２の支持
片１２との間に生じる間隔で構成される。

【００５０】実施例では、更に、第２の支持部材１Ｂの
側において、第３の接着剤層６Ａと、第４の接着剤層６
Ｂとを含んでいる。第３の接着剤層６Ａは、第３の支持
片１３と第２の圧電素子２Ｂとの間に配置され、両者を
接着している。第４の接着剤層６Ｂは、第４の支持片１
４と第２の圧電素子２Ｂとの間に配置され、両者を接着
している。第２の空洞部３Ｂは、第３の接着剤層６Ａの
層厚、及び、第４の接着剤層６Ｂの層厚に応じて、第２
の圧電素子２Ｂと、第３の支持片１３及び第４の支持片
１４との間に生じる間隔で構成される。

【００５１】この実施例によれば、図１及び図２に示す
実施例において必要とされた第１の凹部１１１〜第４の
凹部１４１が不要になるので、第１の支持片１１〜第４
の支持片１４の製造加工が容易になる。

【００５２】第１の接着剤層５Ａ〜第４の接着剤層６Ｂ
としては、適当な厚みを有する接着フィルムを用いるの
が好ましい。そのような接着フィルムは市販されている
ので、容易に入手できる。

【００５３】図４は本発明に係る圧電センサにおいて、
支持部材と圧電センサとの組立構造の別の例を示す斜視
図である。図において、図１及び図２に現れた構成部分
と同一の構成部分については、同一の参照符号を付して
ある。この実施例の特徴は、第３の圧電素子２Ｃを有す
ることである。第３の圧電素子２Ｃは、第１の圧電素子
２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂの検知面となるＸＹ平面に
対して、直交するＺ方向の加速度を検知する。第３の圧
電素子２Ｃは、第２の支持片１２及び第４の支持片１４
に跨がって形成された受け孔８内に配置されている。第
３の圧電素子２Ｃは、第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧
電素子２Ｂと、同じ構造のバイモルフ圧電素子によって
構成することができる。

【００５４】図５は本発明に係る圧電センサにおいて、
支持部材と圧電センサとの組立構造の別の例を示す斜視
図である。図において、図１及び図２に現れた構成部分
と同一の構成部分については、同一の参照符号を付して
ある。この実施例の特徴は、第１の圧電素子２Ａ及び第
２の圧電素子２Ｂを、第１の空洞部３Ａ及び第２の空洞
部３Ｂの内部に配置し、その中間部を、突片（１１２、
１２２）及び（１３２、１４４）で支持したことであ
る。図示はされていないが、図４に示したような第３の
圧電素子を追加することもできる。

【００５５】図６は本発明に係る圧電センサにおいて、
支持部材と圧電センサとの組立構造の別の例を示す斜視
図である。図において、図１及び図２に現れた構成部分
と同一の構成部分については、同一の参照符号を付して
ある。この実施例の特徴は、第１の圧電素子２Ａ及び第
２の圧電素子２Ｂの片端を支持したことである。図示は
されていないが、図４に示したような第３の圧電素子を
追加することもできる。

【００５６】次に、図７〜図９を参照して本発明に係る
圧電センサの製造方法について説明する。この製造方法
は、図１及び図２に図示された圧電センサの製造に適用
されるものであるが、若干の変更を伴うだけで、図３〜
図６に図示された構造を有する圧電センサの製造にも適
用できる。

【００５７】図７に示すように、複数の支持基板１００
を、圧電基板２００を介して積層して積層体を製造す
る。積層界面には接着剤を塗布しておいて、支持基板１
００と圧電基板２００とを接着する。支持基板１００及
び圧電基板２００は、図１〜図６に示す実施例において
支持部材及び圧電素子を構成する。積層体は、支持基板
１００のそれぞれと、圧電基板２００との積層面に複数
の空洞部３００を有する。空洞部３００のそれぞれは、
支持基板１００の幅方向Ｗに延びていて、支持基板１０
０の長さ方向Ｌに間隔を隔てて併設され、圧電基板２０
０を介して隣接する２つの支持基板１００では、互いに
向き合い、空洞部３００、３００の組を構成する。

【００５８】図８は、上述の積層工程によって得られた
積層体の斜視図である。図８に示すように、隣接する２
つの支持基板１００、１００において、空洞部３００、
３００の組が含まれるように、積層体を、幅方向Ｗに沿
い、長さ方向Ｌに対して斜めに、切断線Ｃ１に沿って切
断する。切断線Ｃ１の角度は、例えば、４５度である。

【００５９】次に、図９に示すように、得られた切断片
のうち、２つの切断片４００、５００を、圧電基板２０
０の面が交差するように組み合わせる。具体的には、２
つの切断片４００、５００の切断面を、圧電基板２００
の面が交差するように組み合わせ、接着剤等によって接
合する。図８における切断工程において、４５度の角度
で切断された場合は、切断片４００に含まれる圧電基板
２００と、切断片５００に含まれる圧電基板２００は、
その面が約９０度の角度で交差する方向となる。

【００６０】そして、その後、切断片４００、及び、切
断片５００の接合面に対してほぼ直交する切断線Ｃ２に
沿って切断し、更に、切断線Ｃ２に対して直交するよう
に、切断線Ｃ３に沿って切断する。これにより、２つの
空洞部３００を含む圧電センサ単品を切り出せる。この
後、第１の蓋体及び第２の蓋体を装着することにより、
圧電センサの完成品が得られる。この製造方法によれ
ば、本発明に係る圧電センサを、容易に量産することが
できる。

【００６１】以上、好ましい実施例を参照して本発明を
説明したが、基本的思想及び範囲に従い、本発明が種々
変形され得ることは、当業者に自明である。例えば、説
明されていないけれども、複数示された実施例の組み合
わせが可能である。

【００６２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）２軸方向の加速度を感知し得る圧電センサを提供
することができる。 （ｂ）小型で、耐衝撃性に優れた高信頼度の圧電センサ
を提供することができる。 （ｃ）量産性に優れた圧電センサをを提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧電センサの分解斜視図である。

【図２】図１に示された圧電センサにおいてセンサ部分
を拡大して示す平面図である。

【図３】本発明に係る圧電センサにおいて、支持部材と
圧電センサとの組立構造の別の例を示す平面図である。

【図４】本発明に係る圧電センサにおいて、支持部材と
圧電センサとの組立構造の別の例を示す斜視図である。

【図５】本発明に係る圧電センサにおいて、支持部材と
圧電センサとの組立構造の別の例を示す斜視図である。

【図６】本発明に係る圧電センサにおいて、支持部材と
圧電センサとの組立構造の別の例を示す斜視図である。

【図７】本発明に係る圧電センサの製造方法について説
明する図である。

【図８】図７に示した工程の後の工程を示す図である。

【図９】図８に示した工程の後の工程を示す図である。

【符号の説明】

１ 支持部材 ２Ａ 第１の圧電素子 ２Ｂ 第２の圧電素子

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の圧電素子と、第２の圧電素子と、
   支持部材とを含む圧電センサであって、 前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子は、平板状
   であって、それぞれの厚み方向に現れる面の間に交差角
   度が生じるように配置されており、 前記支持部材は、前記第１の圧電素子及び前記第２の圧
   電素子を支持する圧電センサ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された圧電センサであっ
   て、 前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子は、前記厚
   み方向に現れる面が、同一平面に対してほぼ垂直となる
   ように配置されている圧電センサ。
3. 【請求項３】 請求項１または２の何れかに記載された
   圧電センサであって、 前記交差角度は、ほぼ直角である圧電センサ。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３の何れかに記載された圧
   電センサであって、 前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子は、バイモ
   ルフ圧電素子である圧電センサ。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４の何れかに記載された圧
   電センサであって、 前記支持部材は、第１の空洞部と、第２の空洞部とを含
   み、 前記第１の圧電素子は、検知部が前記第１の空洞部内に
   配置されており、 前記第２の圧電素子は、検知部が前記第２の空洞部内に
   配置されている圧電センサ。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５の何れかに記載された圧
   電センサであって、 前記支持部材は、第１の支持部材と、第２の支持部材と
   を含み、 前記第１の支持部材は、前記第１の圧電素子を支持し、 前記第２の支持部材は、前記第２の圧電素子を支持し、 前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材は、互いに
   結合されている圧電センサ。
7. 【請求項７】 請求項６に記載された圧電センサであっ
   て、 前記第１の支持部材は、第１の支持片と、第２の支持部
   片とを含み、 前記第１の支持片及び前記第２の支持部片は、前記第１
   の圧電素子の厚み方向の両側に配置され、前記第１の圧
   電素子を、厚み方向の両面側から挟持し、 前記第２の支持部材は、第３の支持片と、第４の支持部
   片とを含み、 前記第３の支持片及び前記第４の支持部片は、前記第２
   の圧電素子の厚み方向の両側に配置され、前記第２の圧
   電素子を、厚み方向の両面側から挟持する圧電センサ。
8. 【請求項８】 請求項７に記載された圧電センサであっ
   て、 前記第１の支持片は、前記第１の圧電素子を挟持する端
   面に第１の凹部を有しており、 前記第２の支持片は、前記第１の圧電素子を挟持する端
   面に第２の凹部を有しており、 前記第１の空洞部は、前記第１の凹部及び第２の凹部に
   よって構成され、 前記第３の支持片は、前記第２の圧電素子を挟持する端
   面に第３の凹部を有しており、 前記第２の支持片は、前記第２の圧電素子を挟持する端
   面に第４の凹部を有しており、 前記第２の空洞部は、前記第３の凹部及び第４の凹部に
   よって構成される圧電センサ。
9. 【請求項９】 請求項１乃至８の何れかに記載された圧
   電センサを製造する方法であって、 複数の支持基板を、圧電基板を介して積層して積層体を
   製造し、 前記積層体は、前記支持基板のそれぞれと、前記圧電基
   板との積層面に複数の空洞部を有しており、 前記空洞部のそれぞれは、前記支持基板の幅方向に延び
   ていて、前記支持基板の長さ方向に間隔を隔てて併設さ
   れ、前記圧電基板を介して隣接する２つの支持基板で
   は、互いに向き合い、空洞部の組を構成し、 隣接する２つの支持基板において、前記空洞部の組が含
   まれるように、前記積層体を、前記幅方向に沿い、前記
   長さ方向に対して斜めに切断し、 得られた切断片の２つを、前記圧電基板の面が交差する
   ように組み合わせ、その後、前記空洞部の組を含む圧電
   センサ単品を切り出す工程を含む圧電センサの製造方
   法。