JPH0949855A - 圧電センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】小型で、耐衝撃性に優れ、信頼性が高く、量産
性の高い２方向加速度検出用圧電センサを提供する。 【解決手段】ベース部材１は、第１の凹部１１Ａ及び素
子取り付け部１２Ａの組み合わせと、第２の凹部１１Ｂ
及び素子取り付け部１２Ｂの組み合わせとを有してい
る。第１、第２の圧電素子２Ａ、１２Ｂは中間部が第
１、第２の素子取り付け部１２Ａ、１２Ｂに固定され、
第１、第２の凹部１１Ａ、１１Ｂ上に配置され、第１、
第２の凹部１１Ａ、１１Ｂの底面111との間に間隔ｇを
有している。第１、第２の圧電素子２Ａ、２Ｂは、両主
面のある厚み方向Ｘ、Ｙが互いにほぼ直交する関係で配
置されている。第１の圧電素子２Ａが水平方向Ｘの加速
度または衝撃を感知し、第２の圧電素子２Ｂが垂直方向
Ｙの加速度または衝撃を感知する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電センサに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の圧電センサは、例えばハードデ
ィスクドライブ装置、エアバックシステム、電子制御サ
スペンションシステム等において、加速度や衝撃を検知
するために使用されるものであり、高度の信頼性と共
に、部品点数が少なく、小型であることが極めて重要に
なる。先行技術文献としては、特開平３ー１５６３７５
号公報が知られている。この先行技術文献に記載された
発明は、２枚のく形状圧電セラミックの間に金属箔を直
列に接着した２個の圧電バイモルフを、上記圧電バイモ
ルフと同じ幅を有する固定柱の両面にそれぞれ直交する
ように配置し、直交２方向の加速度を検出できるように
したものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この種の圧電センサ
は、上述したような用途で用いられるため、小型で、耐
衝撃性に優れ、信頼性が高いことが極めて重要になる。
また、量産性に優れている子のも重要である。ところ
が、従来の圧電センサは、複雑な組立構造を有し、部品
点数も多く、上述した要求を必ずしも満たすものではな
かった。

【０００４】本発明の課題は、小型で、耐衝撃性に優
れ、信頼性の高い圧電センサを提供することである。

【０００５】本発明のもう一つの課題は、量産性に優れ
た圧電センサを提供することである。

【０００６】本発明のもう一つの課題は、垂直加速度及
び水平加速度の両者を、確実に感知し得る圧電センサを
提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係る圧電センサは、 ベース部材と、第１
の圧電素子と、第２の圧電素子とを含む。前記ベース部
材は、第１の凹部及び第１の素子取付部の組み合わせ
と、第２の凹部及び第２の素子取付部の組み合わせとを
有する。前記第１の凹部及び第２の凹部は、前記ベース
部材の一面上に設けられている。前記第１の素子取付部
及び第２の素子取付部は、前記第１の凹部及び前記第２
の凹部のほぼ中間部に設けられている。前記第１の圧電
素子は、中間部が前記第１の素子取付部に固定され、前
記第１の凹部上に配置され、前記第１の凹部の底面との
間に間隔を有している。前記第２の圧電素子は、中間部
が前記第２の素子取付部に固定され、前記第２の凹部上
に配置され、前記第２の凹部の底面との間に間隔を有し
ている。前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子
は、厚み方向において相対向する両主面に電極を有し、
前記両主面のある厚み方向が互いにほぼ直交する関係で
配置されている。

【０００８】本発明に係る圧電センサにおいて、ベース
部材は、第１の凹部及び第１の素子取付部の組み合わせ
と、第２の凹部及び第２の素子取付部の組み合わせとを
有しており、第１の及び第２の素子取付部は、第１の及
び第２の凹部のほぼ中間部に設けられている。第１の圧
電素子は第１の素子取付部に固定され第１の凹部上に配
置され、第１の凹部の底面との間に間隔を有している。
第２の圧電素子は第２の素子取付部に固定され、第２の
凹部上に配置され、第２の凹部の底面との間に間隔を有
している。この構造によれば、加速度または衝撃を受け
たとき、第１の及び第２の圧電素子は、ベース部材から
なんらの干渉を受けることなく、第１の及び第２の凹部
上で応答動作をし、それによって加わった加速度または
衝撃が検知される。

【０００９】本発明に係る圧電センサは、基本要素とし
て、第１の及び第２の圧電素子と、それを支持するベー
ス部材とを有すればよいから、簡単な構造で、加速度ま
たは衝撃を確実に検知し得る。また、部品点数が少な
く、構造が簡単であるから、小型で、耐衝撃性に優れた
信頼性の高い圧電センサが得られる。

【００１０】しかも、第１の凹部及び第１の素子取付部
の組み合わせと、第２の凹部及び第２の素子取付部の組
み合わせとを有するベース部材に対して、第１及び第２
の圧電素子を組み合わせる構造であるので、量産性が高
くなる。

【００１１】また、第１の及び第２の圧電素子が中間部
で支持されているため、端部で支持しているものより、
支持安定性が高くなり、安定した加速度及び振動の検出
動作が可能になる。

【００１２】更に、第１の圧電素子及び第２の圧電素子
は、厚み方向において相対向する両主面に電極を有し、
両主面のある厚み方向が互いにほぼ直交する関係で配置
されているから、垂直加速度及び水平加速度の両者を、
確実に感知し得る圧電センサが得られる。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る圧電センサの
外観斜視図、図２は図１に示された圧電センサにおいて
蓋を取り外した状態の分解斜視図、図３は図１に示され
た圧電センサにおいて蓋を取り外した状態の斜視図、図
４は図３の平面図、図５は図４のＡ５ーＡ５線上断面
図、図６は図４のＡ６−Ａ６線上における断面図、図７
は図３のＡ７−Ａ７線上における断面図である。本発明
に係る圧電センサは、ベース部材１と、第１の圧電素子
２Ａと、第２の圧電素子２Ｂとを含んでいる。蓋３はベ
ース部材１に対して、その内部に気密空間が形成される
ように、接合される。

【００１４】ベース部材１は、第１の凹部１１Ａ及び素
子取付部１２Ａの組み合わせと、第２の凹部１１Ｂ及び
素子取付部１２Ｂの組み合わせとを有している。第１の
凹部１１Ａ及び第２の凹部１１Ｂはベース部材１の一面
上に設けられている。第１の素子取付部１２Ａは、第１
の凹部１１Ａの中間部に設けられている。第２の素子取
付部１２Ｂは、第２の凹部１１Ｂの中間部に設けられて
いる。

【００１５】第１の圧電素子２Ａは、長さ方向の中間部
が第１の素子取付部１２Ａに固定され、第１の凹部１１
Ａ上に配置され、第１の凹部１１Ａの底面111との間に
間隔ｇ（図５及び図６参照）を有している。第２の圧電
素子２Ｂは、長さ方向の中間部が第２の素子取付部１２
Ｂに固定され、第２の凹部１１Ｂ上に配置され、第２の
凹部１１Ｂの底面111との間に間隔ｇ（図５及び図６参
照）を有している。第１の及び第２の素子取付部１２
Ａ、１２Ｂの位置する中間部は、必ずしもベース部材１
の長さ方向の中心部を意味しない。第１の及び第２の圧
電素子２Ａ、２Ｂの中間部も同様である。

【００１６】加速度または衝撃を受けたとき、第１の圧
電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂがベース部材１から
なんらの干渉も受けることなく第１の及び第２の凹部１
１Ａ、１１Ｂ上で応答動作をし、それによって加わった
加速度または衝撃が検知される。このように、基本要素
として、第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂと
それを支持するベース部材１とを有すればよいから、簡
単な構造で、加速度または衝撃を確実に検知し得る圧電
センサが得られる。また、部品点数が少なく、構造が簡
単であるから、小型で、耐衝撃性に優れ、信頼性の高い
圧電センサが得られる。

【００１７】しかも、第１の凹部１１Ａ及び第１の素子
取付部１２Ａの組み合わせと、第２の凹部１１Ｂ及び第
２の素子取付部１２Ｂの組み合わせとを有するベース部
材１に対して、第１及び第２の圧電素子２Ａ、２Ｂを組
み合わせる構造であるので、組立工程が簡素化され、量
産性が高くなる。

【００１８】また、第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電
素子２Ｂが中間部で支持されているため、端部で支持さ
れている片持支持と較べて、支持安定性が高くなり、安
定した加速度及び振動の検出動作が可能になるととも
に、同じ静電容量でも高い自己共振周波数を持つ圧電セ
ンサが得られる。

【００１９】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂは、厚み方向Ｘ、Ｙにおいて相対向する両主面に電極
２１、２２を有し、両主面のある厚み方向Ｘ、Ｙが互い
にほぼ直交する関係で配置されている。実施例におい
て、ベース部材１の一面に対し、第１の圧電素子２Ａの
両主面の方向Ｘが、略平行で、第２の圧電素子２Ｂの両
主面の方向Ｙが略垂直となる関係で配置されている。第
２の圧電素子２Ｂの厚み方向Ｙを基準にして考えた場
合、第１の圧電素子２Ａの厚み方向Ｘは、厚み方向Ｙの
まわりの全周Ｓ（図２及び図３参照）にとることができ
る。この構造によれば、ベース部材１の一面に対して垂
直に作用する加速度及び水平に作用する加速度の両者を
感知し得る圧電センサが得られる。実施例の場合、第１
の圧電素子２Ａが水平方向Ｘの加速度または衝撃を感知
し、第２の圧電素子２Ｂが垂直方向Ｙの加速度または衝
撃を感知する。

【００２０】ベース部材１は少なくとも２対の端子導体
（１３Ａ、１４Ａ）、（１３Ｂ、１４Ｂ）を有してい
る。第１の端子導体１３Ａ、１３Ｂはベース部材１の一
端側に設けられ、第２の端子導体１４Ａ、１４Ｂは他端
側に設けられている。第１の圧電素子２Ａは第１の端子
導体１３Ａ及び第２の１４Ａに導通し、第２の圧電素子
２Ｂは第１の端子端子導体１３Ｂ及び第２の端子導体１
４Ｂに導通している。このような構造であると、回路基
板またはその他の外部装置への実装に当たり、両端にあ
る第１の端子導体１３Ａ、１３Ｂ及び第２の端子導体１
４Ａ、１４Ｂを用いて、面実装し、強固で安定した取り
付け構造を実現できる。

【００２１】第１の端子導体１３Ａ、１３Ｂは、リード
導体131が素子取付部１２の一側部に導かれており、第
２の端子導体１４Ａ、１４Ｂはリード導体１４１が素子
取付部１２の他側部に導かれている。第１の圧電素子２
Ａ及び第２の圧電素子２Ｂはその電極２１、２１がリー
ド導体131、141のそれぞれに接続固定されている。この
ような構造であると、圧電素子２を、両側に配置された
リード導体131、141を介してベース部材１に確実に接続
固定できる。このため、耐衝撃性が向上する。

【００２２】第１の圧電素子２Ａに導通する第１の端子
導体１３Ａ及び第２の１４Ａと、第２の圧電素子２Ｂに
導通する第１の端子端子導体１３Ｂ及び第２の端子導体
１４Ｂは互いに独立している。このような構造である
と、第１の圧電素子２Ａの感知信号及び第２の圧電素子
２Ｂの感知信号を、互いに独立に取り出すことができ
る。

【００２３】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂを検知素子として用いることの利点は、耐衝撃性に優
れた堅牢な構造を容易に実現できることである。第１の
圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂの好ましい例は、
バイモルフ圧電素子である。図はバイモルフ圧電素子を
示し、一対の圧電素子２０、２０を有している。一対の
圧電素子２０、２０は、圧電素体の両面に電極２１、２
２を有しており、一方の圧電素子２０の電極２２と他方
の圧電素子２０の電極２２とが互いに面接触するように
して、重ね合わされ接合されている。一対の圧電素子２
０、２０は、温度変動によるノイズをキャンセルするた
め、分極方向が互いに逆向きとなるように重ね合わされ
る。別の例では、一対の圧電素子２０、２０は分極方向
が同一となるように重ねて結合されることもある。この
場合には、共通に接続された電極が例えばアースに接続
される。共通に接続される電極間に、導電性を有する金
属弾性板で構成される振動板を介在させ、この振動板を
アースに接続する構成もよくとられる。バイモルフ圧電
素子を用いた圧電センサは特開昭64ー72012号公報、特開
平2ー93370号公報で公知である。

【００２４】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂを取り付ける第１の及び第２の素子取付部１２Ａ、１
２Ｂは、好ましくは、凹溝で構成する。凹溝でなる第１
の及び第２の素子取付部１２Ａ、１２Ｂは、その底面が
凹部１１Ａ、１１Ｂの底面111よりも少し高く、かつ、
ベース部材１の一面よりも低くなるように、オフセット
を付する。第１の及び第２の素子取付部１２Ａ、１２Ｂ
の幅は、第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂの
幅に対応した寸法に定める。上記構造により、第１の圧
電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂを第１の及び第２の
素子取付部１２Ａ、１２Ｂに配置するだけで、第１の及
び第２の素子取付部１２Ａ、１２Ｂの底面と凹部１１
Ａ、１１Ｂの底面１１との間の段差を利用して、第１の
圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂと凹部１１Ａ、１
１Ｂの底面111との間に必要な間隔ｇを確保すると共
に、第１の及び第２の素子取付部１２Ａ、１２Ｂの底面
とベース部材１の一面との間の段差を利用して第１の圧
電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂを位置決めないしは
固定できる。このため、ベース部材１に対する第１の圧
電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂの取り付け、位置決
め及び固定を簡単、かつ、確実に実行できる。

【００２５】第１の圧電素子２Ａは、第１の素子取付部
１２Ａに挿入されたとき、両側に現れる電極２１、２１
が導電性接着剤４１Ａ、４２Ａによって、リード導体13
1及び141のそれぞれに接続されている。第１の圧電素子
２Ａと第１の素子取付部１２Ａとの間は、例えば、絶縁
性接着剤５を用いて接合することが望ましい。こうする
ことにより、耐衝撃性を一層向上させることができる。

【００２６】第２の圧電素子２Ｂは、第２の素子取付部
１２Ｂに挿入された状態で、上側に現れる電極２１が導
電性接着剤４２Ｂによって、リード導体141に接続され
ている。第２の圧電素子２Ｂの下側に現れる電極２１
は、例えば、図８に拡大して示すように、第１の端子導
体１３Ｂのリード導体131を第２の凹部１２Ｂの内部に
延長させて形成された延長部分132に、導電性接着剤４
１Ｂを用いて接続される。

【００２７】ベース部材１は電気絶縁性セラミックまた
はプラスチック等によって形成される。用い得るセラミ
ック材料としては、アルミナ、フォルステライト、ステ
アタイト等がある。プラスチック材料を用いる場合は、
高耐熱性のものを用いることが望ましい。

【００２８】第１の端子導体１３Ａ、１３Ｂ及び第２の
端子導体１４Ａ、１４Ｂは、印刷、スパッタ、蒸着また
はこれらとメッキとの組み合わせ等によって形成され
る。第１の端子導体１３Ａ、１３Ｂ及び第２の端子導体
１４Ａ、１４Ｂは、ベース部材１の一面側から、側面を
通り、更に他面（裏面）に達するように形成されてい
る。

【００２９】蓋３は電気絶縁性セラミックまたはプラス
チック等によって形成される。用い得るセラミック材料
としては、アルミナ、フォルステライト、ステアタイト
等がある。プラスチック材料を用いる場合は、高耐熱性
のもを用いることが望ましい。蓋３はベース部材１の一
面側に第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂを包
囲するように配置され、接触端面が接着その他の手段に
よって、ベース部材１に接合される。接合面の周囲は樹
脂封止することが望ましい。

【００３０】図９は本発明に係る圧電センサにおいてベ
ース部材１に対する第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電
素子２Ｂの組み合わせ構造の別の実施例を示す平面図で
ある。第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂは第
１の及び第２の素子取付部１２Ａ、１２Ｂから見た両側
の長さＬ１、Ｌ２が異なるように配置されている。より
具体的には、第１の素子取付部１２Ａの両側における第
１の圧電素子２Ａの長さＬ１、Ｌ２を異ならせる。第２
の素子取付部１２Ｂについても同様である。この構造の
場合は、第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２Ｂの
自己共振のＱを低く抑え、ノイズによる影響を受けにく
くした圧電センサが得られる。

【００３１】図１０は本発明に係る圧電センサにおいて
ベース部材１に対する第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧
電素子２Ｂの組み合わせ構造の更に別の実施例を示す斜
視図である。この実施例の特徴は、第１の端子導体１３
Ａと第２の端子導体１４Ａとの間、及び、第１の端子導
体１３Ｂと第２の端子導体１４Ｂとの間に、それぞれ、
抵抗体６０、６１を設けたことである。この種の圧電セ
ンサは、不要な低周波数領域のノイズを遮断するため、
通常、センサと抵抗体が電気的に、並列接続されて使用
される。従来は、抵抗体は、圧電センサとは独立して備
えられ、プリント基板上において、圧電センサと抵抗体
とを電気的に接続していた。図１０に示す実施例の場
合、従来は、外部において接続していた抵抗体６０、６
１が、ベース部材上に形成されているため、センサを使
用する際に、外部に別途抵抗体を設置する必要がない。
しかも、抵抗体６０、６１は、凹部１１Ａ、１１Ｂの周
りのベース部材１の一面上に設けられている。この構造
によれば、第１の端子導体１３Ａ、１３Ｂ及び第２の端
子導体１４Ａ、１４Ｂとともに、抵抗体６０、６１を印
刷等の手段によって容易に形成することができる。

【００３２】図１１は本発明に係る圧電センサの別の実
施例を示す平面図である。この実施例では、第１の圧電
素子１２Ａ及び第２の圧電素子１２Ｂは、長さ方向が互
いに略９０度異なる位置に配置されている。このような
構造は、ベース部材１の上に、第１の圧電素子１２Ａ及
び第２の圧電素子１２Ｂの検知信号を処理する回路素子
７を配置する場合に有効である。第１の圧電素子１２Ａ
及び第２の圧電素子１２Ｂの長さ方向の交差角度は、任
意でよい。

【００３３】図１２は本発明に係る圧電センサの更に別
の実施例を示す断面図である。この実施例では、蓋３の
外周にシールド膜８を有する。シールド膜８は金属膜で
ある。蓋３は、シールド膜８が第１の端子導体１３Ａ、
１３Ｂ及び第２の端子導体１４７Ａ、１４Ｂ端子導体１
３、１４に電気的に接触しないように絶縁層９を介して
ベース部材１の上に取り付けられる。第１の端子導体１
３Ａ、１３Ｂ及び第２の端子導体１４Ａ、１４Ｂの何れ
か一方と、シールド膜８は導電性接着剤１０によって電
気的に接続する。

【００３４】第１の圧電素子２Ａ及び第２の圧電素子２
Ｂは絶縁抵抗が非常に高い。このため、圧電センサが、
周囲の信号線あるいは空電界等により雑音重畳を受け易
い。この実施例によれば、このような雑音の重畳を防止
できる。

【００３５】以上、好ましい実施例を参照して本発明を
説明したが、基本的思想及び範囲に従い、本発明が種々
変形され得ることは、当業者に自明である。例えば、説
明されていないけれども、複数示された実施例の組み合
わせが可能である。

【００３６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）小型で、耐衝撃性に優れ、信頼性の高い圧電セン
サを提供することができる。 （ｂ）量産性に優れた圧電センサを提供することができ
る。 （ｃ）垂直加速度及び水平加速度の両者を、確実に感知
し得る圧電センサを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧電センサの外観斜視図である。

【図２】図１に示された圧電センサにおいて蓋を除いた
分解斜視図である。

【図３】図１に示された圧電センサにおいて蓋を取り外
した斜視図である。

【図４】図１に示された圧電センサにおいて蓋を取り外
した平面図である。

【図５】図４のＡ５−Ａ５線上における断面図である。

【図６】図４のＡ６−Ａ６線上における断面図である。

【図７】図４のＡ７−Ａ７線上における断面図である。

【図８】本発明に係る圧電センサにおいてベース部材に
対する第２の圧電素子の組み合わせ構造を拡大して示す
断面図である。

【図９】本発明に係る圧電センサの更に別の実施例を示
す平面図である

【図１０】本発明に係る圧電センサの更に別の実施例を
示す斜視図である。

【図１１】本発明に係る圧電センサの更に別の実施例を
示す平面図である。

【図１２】本発明に係る圧電センサの更に別の実施例を
示す断面図である。

【符号の説明】

１ ベース部材 ２Ａ 第１の圧電素子 ２Ｂ 第２の圧電素子 １１Ａ 第１の凹部 １１Ｂ 第２の凹部 １２Ａ 第１の素子取付部 １２Ｂ 第２の素子取付部 １３Ａ 第１の端子導体 １３Ｂ 第１の端子導体 １４Ａ 第２の端子導体 １４Ｂ 第２の端子導体 131 リード導体 141 リード導体

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年６月３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この種の圧電センサ
は、上述したような用途で用いられるため、小型で、耐
衝撃性に優れ、信頼性が高いことが極めて重要にある。
また、量産性に優れていることも重要である。ところ
が、従来の圧電センサは、複雑な組立構造を有し、部品
点数も多く、上述した要求を必ずしも満たすものではな
かった。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベース部材と、第１の圧電素子と、第２
   の圧電素子とを含む圧電センサであって、 前記ベース部材は、第１の凹部及び第１の素子取付部の
   組み合わせと、第２の凹部及び第２の素子取付部の組み
   合わせとを有しており、 前記第１の凹部及び第２の凹部は、前記ベース部材の一
   面上に設けられており、 前記第１の素子取付部及び第２の素子取付部は、前記第
   １の凹部及び前記第２の凹部のほぼ中間部に設けられて
   おり、 前記第１の圧電素子は、中間部が前記第１の素子取付部
   に固定され、前記第１の凹部上に配置され、前記第１の
   凹部の底面との間に間隔を有しており、 前記第２の圧電素子は、中間部が前記第２の素子取付部
   に固定され、前記第２の凹部上に配置され、前記第２の
   凹部の底面との間に間隔を有しており、 前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子は、厚み方
   向において相対向する両主面に電極を有し、前記両主面
   のある厚み方向が互いにほぼ直交する関係で配置されて
   いる圧電センサ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された圧電センサであっ
   て、 前記第１の素子取付部及び前記第２の素子取付部は凹溝
   で構成されており、 前記凹溝は前記第１の凹部または前記第２の凹部の底面
   よりも少し高く、かつ、前記ベース部材の前記一面より
   も低い底面を有する圧電センサ。
3. 【請求項３】 請求項１に記載された圧電センサであっ
   て、 前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子は、バイモ
   ルフ圧電素子である圧電センサ。
4. 【請求項４】 請求項１に記載された圧電センサであっ
   て、 前記ベース部材は、少なくとも２対の端子導体を有して
   おり、 前記２対の端子導体の各対は、前記第１の圧電素子及び
   前記第２の圧電素子のそれぞれに接続されている圧電セ
   ンサ。