JPH03156375A - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

Info

Publication number
JPH03156375A
JPH03156375A JP1294871A JP29487189A JPH03156375A JP H03156375 A JPH03156375 A JP H03156375A JP 1294871 A JP1294871 A JP 1294871A JP 29487189 A JP29487189 A JP 29487189A JP H03156375 A JPH03156375 A JP H03156375A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bimorphs
piezoelectric
fixing
acceleration sensor
fixing column
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1294871A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2732413B2 (ja
Inventor
Norio Kitamasu
北升 法男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP1294871A priority Critical patent/JP2732413B2/ja
Publication of JPH03156375A publication Critical patent/JPH03156375A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2732413B2 publication Critical patent/JP2732413B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、振動検知、加速度測定等に使用される加速度
センサに関するものである。
(従来の技術) 従来のこの種の加速度センサについて、第2図により説
明する。
同図は、従来の加速度センサの分解斜視図で、2枚の圧
電セラミック1aおよび1bの間に金属箔1cを接着剤
で貼り合わせた圧電バイモルフ1を。
はぼ中央に矩形窓2aと、その片側に電極となる配線パ
ターン2bおよび2cとをそれぞれ形成した基板2の配
線パターン2C上に接着剤で固定し、さらに、上記の配
線パターン2bと圧電バイモルフ1の圧電セラミック1
aとにリード線3をはんだ付けして接続した本体と1本
体に固着して、上記の圧電バイモルフ1を保護する方形
のケース4とから構成されている。
このように構成された加速度センサの動作について説明
する。
まず、測定しようとする振動体に、上記のケース4をね
じ止めして、加速度センサを取り付ける。
振動体の振動は、ケース4を介して基板2に伝わり、圧
電バイモルフ1を振動させる結果、振動に応じて発生す
る電圧がリード線3および配線パターン2bおよび2c
を通し取り出せ仝−2゜(発明が解決しようとする課題
) しかしながら、上記の構成では、圧電バイモルフ1が1
枚のため、これに直交する振動方向にしか検出できず、
従って複数の振動を検知するには複数の加速度センサを
設置する必要があるという問題があった。
本発明は、上記の問題を解決するもので、複数の振動検
知ができる組立が容易な加速度センサを提供するもので
ある。
(課題を解決するための手段) 上記の課題を解決するため、本発明は、2個の圧電バイ
モルフを使用し、スリットを同軸上に90°ずらせて設
けた固定柱に固定するものである。
(作 用) 上記の構成により、1個の加速度センサの中に。
互いに直交する2個の圧電バイモルフが収納されるので
、1個の加速度センサで2軸方向の振動が測定できる。
(実施例) 本発明の一実施例について第1図の分解斜視図により説
明する。
同図において、2個の圧電バイモルフ5および6は、そ
れぞれ2枚の圧電セラミック5aと5b。
および6aと6bの間に金属箔5cおよび6cを直列に
固着したものである。
上記の圧電バイモルフ5および6を固定する固定柱7は
、相対向する2個面に水平方向の一軸上に、互いに直交
するスリット8を形成し、これに絶縁板9およびlOに
よって、上記のそれぞれの圧電バイモルフ5および6と
、金属箔5cおよび6cが、それぞれ上記の固定柱7と
絶縁された状態で嵌め込まれて、固定されている。
配線基板11は1両端にそれぞれ出力端子部12a。
13aおよび14aを設けた3本の配線パターン12.
13および14が形成されており、その中央の配線パタ
ーン13には、さらに上記の固定柱7を装着する固定部
13bが形成されている。なお、上記の固定柱7と絶縁
された圧電セラミック5aおよび6aと、上記の配線基
板11の両側の配線パターン12および14とは、それ
ぞれ両端ではんだ付けされたリード線16および15で
電気的に接続する。
キャップ17は、底面が開放された方形の箱で。
配線基板11に固着し、圧電バイモルフ5および6を保
護するものである。
次に1本実施例の組立て順序について説明する。
まず、2枚の圧電バイモルフ5および6の片面の圧電セ
ラミック5aおよび6aの端部がらその端面に掛けて、
絶縁板9および10をそれぞれ貼り付ける1次に、固定
柱7の両側面のスリット8に。
上記の圧電バイモルフ5および6を、貼付した絶縁板9
および10とともに挿入し、接着剤で固定した後、配線
基板11に形成された配線パターン13の固定部13b
にはんだ付けする0次に、それぞれの圧電セラミック5
aおよび6aと、配線基板11の両側の配線パターン1
4および12とに、2本のリード線15および16のそ
れぞれの両端をはんだ付けして接続する。
最後に、キャップ17を配線基板11に接着固定すると
、加速度センサが完成する。
このように構成された加速度センサは、配線基板11を
物体の振動部に取り付け、出力端子部12a。
13aおよび14aと測定装置(図示せず)を接続する
この実施例において物体の振動は、配線基板11および
固定柱7を介して圧電バイモルフ5および6に伝わり、
圧電バイモルフ5および6がそれぞれたわむ結果、圧電
バイモルフ5および6に発生した電圧がリード線15お
よび16および配線基板11の配線パターン12.13
および14を介して、出力端子部12a、 13aおよ
び14aから取り出される。
又、2枚の圧電バイモルフ5および6が90@ずらせて
直交するように配置されているので2方向の振動モード
が測定できる。
(発明の効果) 以上説明したように1本発明によれば2軸の振動が1個
の加速度センサで測定できる。
また、スリットを設けた金属製の固定柱を採用している
ので、2方向の振動モードに拘らず2本のリード線のみ
となり組立てが容易な加速度センサが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)、(c)は本発明による加速度セ
ンサの分解斜視図、第2図は従来の加速度センサの分解
斜視図である。 1.5.6・・・圧電バイモルフ、 la。 lb、 5a、 5b、 6a、 6b・=圧電セラミ
ック、  1c15c、6c・・・金属箔、2・・・基
板、2a−矩形窓、  2b、 2c、 12.13.
14−・配線パターン、  3.15.16・・・リー
ド線、4・・・ケース、 7・・・固定柱、 8・・・
スリット、 9 、10−・・絶縁板、 12a、 1
3a。 14a・・・出力端子部、 13b・・・固定部、17
・・・キャップ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)2枚の矩形状圧電セラミックの間に金属箔を直列
    に接着した2個の圧電バイモルフを、上記の圧電バイモ
    ルフと同じ幅を有する固定柱の両側面にそれぞれ直交す
    るように同軸上に設けたスリットに固定した加速度セン
    サ。
  2. (2)固定柱を電気の良導体で構成したことを特徴とす
    る請求項(1)記載の加速度センサ。
JP1294871A 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ Expired - Lifetime JP2732413B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1294871A JP2732413B2 (ja) 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1294871A JP2732413B2 (ja) 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03156375A true JPH03156375A (ja) 1991-07-04
JP2732413B2 JP2732413B2 (ja) 1998-03-30

Family

ID=17813328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1294871A Expired - Lifetime JP2732413B2 (ja) 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2732413B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009123022A1 (ja) 2008-03-31 2009-10-08 旭硝子株式会社 加速度センサ装置及びセンサネットワークシステム
US8129869B2 (en) 2008-09-19 2012-03-06 Asahi Glass Company, Limited Electret and electrostatic induction conversion device
US8212433B2 (en) 2008-03-27 2012-07-03 Asahi Glass Company, Limited Electret and electrostatic induction conversion device
US8277927B2 (en) 2008-04-17 2012-10-02 Asahi Glass Company, Limited Electret and electrostatic induction conversion device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5066271B2 (ja) * 2011-03-04 2012-11-07 Necトーキン株式会社 圧電式加速度センサ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8212433B2 (en) 2008-03-27 2012-07-03 Asahi Glass Company, Limited Electret and electrostatic induction conversion device
WO2009123022A1 (ja) 2008-03-31 2009-10-08 旭硝子株式会社 加速度センサ装置及びセンサネットワークシステム
US8763461B2 (en) 2008-03-31 2014-07-01 Asahi Glass Company, Limited Acceleration sensor device and sensor network system
US8277927B2 (en) 2008-04-17 2012-10-02 Asahi Glass Company, Limited Electret and electrostatic induction conversion device
US8129869B2 (en) 2008-09-19 2012-03-06 Asahi Glass Company, Limited Electret and electrostatic induction conversion device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2732413B2 (ja) 1998-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4836023A (en) Vibrational angular rate sensor
KR20080015500A (ko) 각속도 센서
WO2018021166A1 (ja) 角速度センサ、センサ素子および多軸角速度センサ
US5631421A (en) Piezoelectric acceleration transducer
JPH04216409A (ja) 角速度センサ
JP2975907B2 (ja) 力・加速度・磁気の検出装置
KR960024379A (ko) 가속도 검출소자의 실장 구조
JP6450060B2 (ja) センサ素子、角速度センサおよび多軸角速度センサ
JPH03156375A (ja) 加速度センサ
JPH0815302A (ja) 加速度センサー
JPH1078449A (ja) 加速度センサ
US20090120186A1 (en) Tuning fork gyro sensor
JPH0823568B2 (ja) 電位センサ
US20210254976A1 (en) Sensor element and angular velocity sensor
WO2015075899A1 (ja) 角速度センサ素子および角速度センサ
US20210247187A1 (en) Sensor element and angular velocity sensor
JP5076657B2 (ja) 応力感応型センサ用の双音叉型振動素子及び加速度検知ユニット
JP2000283765A (ja) 三脚音叉振動子および角速度センサ
JP2007315898A (ja) 圧電型加速度センサ
JPH10332387A (ja) 角速度センサ
JPH08170917A (ja) 角速度センサ
JPS5840718Y2 (ja) 圧電発音体
JPH085653A (ja) 圧電型加速度ピックアップ
JPH1030928A (ja) 振動子の支持装置
JP2015141185A (ja) 多軸角速度センサ及びセンサ素子