KR960024379A - 가속도 검출소자의 실장 구조 - Google Patents

가속도 검출소자의 실장 구조 Download PDF

Info

Publication number
KR960024379A
KR960024379A KR1019950048888A KR19950048888A KR960024379A KR 960024379 A KR960024379 A KR 960024379A KR 1019950048888 A KR1019950048888 A KR 1019950048888A KR 19950048888 A KR19950048888 A KR 19950048888A KR 960024379 A KR960024379 A KR 960024379A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis
acceleration detection
piezoelectric ceramic
acceleration
ceramic body
Prior art date
Application number
KR1019950048888A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100226161B1 (ko
Inventor
준 다보타
도시히코 우나미
지로 이노우에
Original Assignee
무라따 야스따까
가부시끼가이샤 무라따 세이사꾸쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP7008392A external-priority patent/JP3070424B2/ja
Priority claimed from JP7008393A external-priority patent/JPH08201419A/ja
Application filed by 무라따 야스따까, 가부시끼가이샤 무라따 세이사꾸쇼 filed Critical 무라따 야스따까
Publication of KR960024379A publication Critical patent/KR960024379A/ko
Priority to KR1019990017795A priority Critical patent/KR100268354B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100226161B1 publication Critical patent/KR100226161B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
    • H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0922—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the bending or flexing mode type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/42—Piezoelectric device making
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49005—Acoustic transducer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

본 발명의 목적은 가능한한 적은수의 부품으로, 폭넓은 범위에서 가속도를 검출할 수 있으며, 직교 좌표축 각각의 방향으로 작용하는 가속도에 대해 실질적으로 동일한 검출감도를 갖는 가속도 검출소자의 실장 구조를 제공하는 것이 본 발명의 목적이다. 본 발명을 이루기 위해서, 본 발명에 따른 가속도 검출 소자의 실장구조는, 두개의 가속도 검출소자를 포함하고, 두개의 가속도 검출소자는 직교 좌표축 x, y 및 z의 x-y 평면의 소자 실장면에 배치되고, 두개의 가속도 검출소자의 방향은 소자 실장면에서의 x축과 y축 방향에 일치된다. 그리고, 가속도 검출소자 중 하나의 검출소자의 첫번째 최대 감도 방향은 y축으로부터 z축을 향해 40∼50°경사지게 하고, 가속도 검출소자 중 다른 두번째 최대 감도 방향은 x축으로부터 z축을 향해 40∼50°의 경사지게 하는 것을 특징으로 한다.

Description

가속도 검출소자의 실장 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 첫번째 구현예에 따른 가속도 검출소자의 구조를 보여주는 일부절개 사시도이다, 제4도는 본 발명의 두번째 구현예에 따른 가속도 검출소자의 구조를 보여주는 일부 절개 사시도이다.

Claims (10)

  1. 서로 직교하는 x, y 및 z축에 대해 실장된 두개의 가속도 검출소자를 포함하는 가속도 검출소자의 실장구조(mounting arrangement)에 있어서; 첫번째 가속도 검출소자는 y축으로부터 z축을 향해 40∼50°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며; 두번째 가속도 검출소자는 x축으로부터 z축을 향해 40∼50°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며; 전기한 세개의 좌표축으로 거의 일정한 가속도 검출감도를 제공하는 것을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 실장 구조.
  2. 제1항에 있어서, 전기한 가속도 검출소자는, 양단이 고정된 압전 세라믹 바이모프 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 실장 구조.
  3. 제2항에 있어서, 전기한 소자는 단형 평판형태(rectangular plate shape)의 한쌍의 압전 세라믹체; 전기한 압전 세라믹체의 세로 방향으로 중앙위치와 단부위치에 서로 분리되어, 전기한 압전 세라믹체의 내부에 배치된 내부전극 전기한 압전 세라믹체의 외측 주면상에 배치된 신호출력전극; 및 서로 대향하는 압전 세라믹체의 세로 방향으로의 각각의 중앙부와 단부는 전기한 내부전극을 사용하여 두께 방향으로 서로 반대로 분극처리됨을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 실장 구조.
  4. 두개의 가속도 검출소자를 포함하고, 서로 직교하는 x, y 및 z에 대한 가속도 검출소자의 실장 구조에 있어서; 두개의 가속도 검출소자와, 각각의 가속도 검출소자로부터 출력된 전기신호의 절대값의 합계를 계산하는 연산회로를 포함하고, 첫번째 가속도 검출소자는 y축으로부터 z축을 향해 20∼30°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며; 두번째 가속도 검출소자는 x축으로부터 z축을 향해 20∼30°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며 전기한 세개의 좌표축으로 거의 일정한 가속도 검출감도를 제공하는 것을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 실장 구조.
  5. 제4항에 있어서, 전기한 가속도 검출소자는, 양단이 고정된 압전 세라믹 바이모프 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 실장 구조.
  6. 제5항에 있어서, 전기한 소자는 단형 평판형태(rectangular plate shape)의 한 쌍의 압전 세라믹체; 전기한 압전 세라믹체의 세로 방향으로 중앙위치와 단부위치에 서로 분리되어, 전기한 압전 세라믹체의 내부에 배치된 내부전극; 전기한 압전 세라믹체의 외측 주면상에 배치된 신호출력전극; 및 서로 대향하는 압전 세라믹체의 세로 방향으로의 각각의 중앙부와 단부는 전기한 내부전극을 사용하여 두께 방향으로 서로 반대로 분극처리됨을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 실장 구조.
  7. 가속도 검출소자의 제조 방법에 있어서; 압전성 세라믹으로 제조된 단형 평판형태의 두개의 그린 시트(green sheet)를 준비하는 단계; 전기한 그린 시트들중 첫번째 것의 한쪽면의 세로 방향으로의 각각의 중앙위치와 단부위치에 도전성 페이스트(conductive paste)를 도포하여 각각의 내부전극 패턴을 형성하는 단계; 전기한 내부전극 패턴이 형성된 첫번째 그린 시트의 한쪽면에, 두번째 그린시트의 한쪽면을 적층하는 단계; 전기한 소성처리(baking treatment)에 의해 내부전극과 압전 세라믹체를 동시에 형성하는 단계; 전기한 압전 세라믹체의 다른쪽 주면에 도전성 페이스트를 도포한 후에, 소성 처리하여 신호출력전극을 형성하는 단계; 및 전기한 각각의 신호출력전극과 내부전극을 사용하여 압전 세라믹체의 중앙부와 단부를 분극처리하는 단계;를 포함함을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 제조 방법.
  8. 가속도 검출소자의 제조 방법에 있어서 ; 단형 평판형태의 두개의 압전 세라믹판을 준비하고 소성하는 단계; 전기한 각각의 압전 세라믹판의 한쪽면의 세로 방향으로의 중앙위치와 단부위치에 도전성 페이스트를 도포하여 각각의 내부전극 패턴을 형성하는 단계; 전기한 각각의 압전 세라믹판의 다른쪽면에 도전성 페이스트를 도포하여 신호출력전극을 형성한 후에 소성처리하여 내부전극과 신호출력전극을 형성하는 단계; 전기한 각각의 신호출력전극과 내부전극을 사용하여 압전 세라믹체의 중앙부와 단부를 분극처리하는 단계; 및 전기한 내부전극이 형성된 압전 세라믹판의 다른쪽면들을 접합시켜 압전 셀라믹체를 형성하는 단계;를 포함함을 특징으로 하는 가속도 검출소자의 제조 방법.
  9. 서로 직교하는 x축, y축 및 z축에 대해 실장된 두개의 가속도 검출소자를 포함하는 가속도 센서에 있어서, 첫번째 가속도 검출소자는 y축으로부터 z축을 향해 40°∼50°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며; 두번째 가속도 검출소자는 x축으로부터 z축을 향해 40°∼50°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며; 전기한 세개의 좌표축으로 거의 일정한 가속도 검출감도를 제공하는 것을 특징으로 하는 가속도 센서의 실장 구조.
  10. 서로 직교하는 x축, y축 및 z축에 대해 실장된 두개의 가속도 검출소자를 포함하는 가속도 센서에 있어서, 첫번째 가속도 검출소자는 y축으로부터 z축을 향해 20°∼30°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며; 두번째 가속도 검출소자는 x축으로부터 z축을 향해 20°∼30°로 경사진 최대 감도 방향을 가지며; 전기한 세개의 좌표축으로 거의 일정한 가속도 검출감도를 제공하는 것을 특징으로 하는 가속도 센서의 실장 구조.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950048888A 1994-12-12 1995-12-12 가속도 검출소자의 실장 구조 KR100226161B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990017795A KR100268354B1 (en) 1994-12-12 1999-05-18 Method of making an acceleration detecting element

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06307442A JP3114538B2 (ja) 1994-12-12 1994-12-12 圧電体素子及びその製造方法
JP1994-307442 1994-12-12
JP7008392A JP3070424B2 (ja) 1995-01-23 1995-01-23 加速度センサの取付構造
JP1995-8392 1995-01-23
JP7008393A JPH08201419A (ja) 1995-01-23 1995-01-23 加速度センサの取付構造
JP1995-8393 1995-01-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960024379A true KR960024379A (ko) 1996-07-20
KR100226161B1 KR100226161B1 (ko) 1999-10-15

Family

ID=27278002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950048888A KR100226161B1 (ko) 1994-12-12 1995-12-12 가속도 검출소자의 실장 구조

Country Status (5)

Country Link
US (2) US5763982A (ko)
JP (1) JP3114538B2 (ko)
KR (1) KR100226161B1 (ko)
CN (1) CN1142437C (ko)
SG (2) SG68620A1 (ko)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3183177B2 (ja) * 1996-08-13 2001-07-03 株式会社村田製作所 加速度センサ
US6050144A (en) * 1997-06-04 2000-04-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acceleration sensor
US6031317A (en) * 1997-09-17 2000-02-29 Aeptec Microsystems, Inc. Piezoelecric shock sensor
JP2000332313A (ja) * 1999-05-21 2000-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄膜圧電型バイモルフ素子及びその応用
US6331164B1 (en) * 2000-03-17 2001-12-18 Etymotic Research, Inc. Hearing test apparatus and method having adaptive artifact rejection
US6629462B2 (en) * 2000-07-24 2003-10-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acceleration sensor, an acceleration detection apparatus, and a positioning device
JP3574898B2 (ja) * 2001-01-12 2004-10-06 株式会社村田製作所 加速度センサおよびその製造方法
JP3642026B2 (ja) * 2001-01-12 2005-04-27 株式会社村田製作所 加速度センサおよびその製造方法
ITTO20040436A1 (it) * 2004-06-28 2004-09-28 St Microelectronics Srl Dispositivo di rilevamento di caduta libera per la protezione di apparecchi portatili.
KR100822775B1 (ko) * 2005-06-28 2008-04-17 쿄세라 코포레이션 가속도 센서 및 그것을 이용한 자기 디스크 장치
US7865253B2 (en) * 2007-04-16 2011-01-04 International Business Machines Corporation System and method for detecting shakes and percussive impacts and for protecting portable electronic devices when pre-specified shake patterns and percussive impact levels are detected
KR20090099275A (ko) * 2008-03-17 2009-09-22 삼성전기주식회사 적층형 전자부품용 그린시트 및 이를 이용한 그린칩의제조방법
US8654606B2 (en) * 2010-07-27 2014-02-18 Westerngeco L.L.C. Obtaining a response based on differencing of outputs of sensors
KR20120119167A (ko) * 2011-04-20 2012-10-30 삼성전기주식회사 관성센서의 제조방법
CN104614118B (zh) * 2013-11-05 2019-01-11 精工爱普生株式会社 力检测装置、机器人以及电子部件输送装置
WO2016143183A1 (ja) * 2015-03-12 2016-09-15 株式会社村田製作所 加速度検出装置及びその製造方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2106143A (en) * 1938-01-18 Piezoelectric device and method of
USRE23813E (en) * 1947-12-26 1954-04-20 Piezoelectric transducer and method for producing same
US3739202A (en) * 1970-08-28 1973-06-12 W Cady Instrument for responding to mechanical vibration of acceleration andfor converting the same into electric energy
US3805097A (en) * 1972-08-07 1974-04-16 B Kravtsov Piezoelectric accelerometer
US4068022A (en) * 1974-12-10 1978-01-10 Western Electric Company, Inc. Methods of strengthening bonds
US4333029A (en) * 1979-09-04 1982-06-01 Baker Industries, Inc. Piezoelectric seismic sensor for intrusion detection
US4606871A (en) * 1980-07-23 1986-08-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method of making a film from pyroelectric and isotropic piezoelectric polymer blends
US4676993A (en) * 1984-11-29 1987-06-30 General Electric Company Method and apparatus for selectively fine-tuning a coupled-dual resonator crystal and crystal manufactured thereby
GB8616904D0 (en) * 1986-07-11 1986-08-20 Texas Instruments Ltd Motion sensing device
FR2615682B1 (fr) * 1987-05-19 1989-07-13 Thomson Csf Geophone comportant un element sensible en polymere piezoelectrique
AT389170B (de) * 1987-11-19 1989-10-25 Avl Verbrennungskraft Messtech Piezoelektrisches messelement
DE68926166T2 (de) * 1989-11-14 1996-12-12 Battelle Memorial Institute Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrischen Stapelantriebsvorrichtung
DE69226519T2 (de) * 1991-12-23 1999-02-04 Atochem North America Elf Beschleunigungsmesser mit mehreren schwingungstypen
DE4210900A1 (de) * 1992-04-02 1993-10-14 Hoechst Ag Verfahren zur Herstellung eines haftfesten Verbundes zwischen Kupferschichten und Keramik
US5271955A (en) * 1992-04-06 1993-12-21 Motorola, Inc. Method for making a semiconductor device having an anhydrous ferroelectric thin film
JP3222220B2 (ja) * 1992-10-19 2001-10-22 株式会社村田製作所 チップ型圧電共振子の製造方法
US5539270A (en) * 1993-11-19 1996-07-23 Matsushita Electric Works, Ltd. Acceleration detector
JP3585310B2 (ja) * 1996-02-20 2004-11-04 日本碍子株式会社 マルチダイヤフラム構造体の製造法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100226161B1 (ko) 1999-10-15
US6233801B1 (en) 2001-05-22
US5763982A (en) 1998-06-09
CN1322956A (zh) 2001-11-21
SG68620A1 (en) 1999-11-16
JP3114538B2 (ja) 2000-12-04
CN1142437C (zh) 2004-03-17
SG42805A1 (en) 1997-10-17
JPH08166401A (ja) 1996-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960024379A (ko) 가속도 검출소자의 실장 구조
US5490422A (en) Acceleration sensor
US4649313A (en) Piezoelectric displacement element
US7426863B2 (en) Method of manufacturing a capacitive acceleration sensor, and a capacitive acceleration sensor
WO2003036305A3 (en) Accelerometer
JPH08220130A (ja) 圧電加速度センサ
JP3147786B2 (ja) 加速度センサ
JPH10154920A (ja) ラダー型フィルタ
JP2732413B2 (ja) 加速度センサ
JP3070424B2 (ja) 加速度センサの取付構造
JPH07140167A (ja) 容量型加速度センサ
JP2000275126A (ja) 力センサ回路
JPH05175071A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP4286407B2 (ja) 圧電型三軸加速度センサ
JP4275269B2 (ja) 圧電型三軸加速度センサ
JPH09184774A (ja) 圧電型物理量センサ
JPH02196939A (ja) 圧力センサ並びにその製造方法
JPH0728732Y2 (ja) 発振器
JPH10199703A (ja) チップ抵抗器用基板とチップ抵抗器の製造方法
JPH0263106A (ja) コンデンサ素子
JPH0110610Y2 (ko)
JPH04127537U (ja) 力検出装置
JPH0580010U (ja) チップストリップライン
JP2000221208A (ja) 静電容量式加速度センサ
JPH08201419A (ja) 加速度センサの取付構造

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
A107 Divisional application of patent
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130618

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140707

Year of fee payment: 16

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150630

Year of fee payment: 17

EXPY Expiration of term