JPH08931A - 排ガスフィルタおよびそれを使用した排ガス処理装置 - Google Patents

排ガスフィルタおよびそれを使用した排ガス処理装置

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JPH08931A
JPH08931A JP6137713A JP13771394A JPH08931A JP H08931 A JPH08931 A JP H08931A JP 6137713 A JP6137713 A JP 6137713A JP 13771394 A JP13771394 A JP 13771394A JP H08931 A JPH08931 A JP H08931A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 内燃機関から排出される排ガス中の微粒子を
捕集するフィルタであって、再生効率が良く圧力損失の
上昇の少ない排ガスフィルタおよびそれを使用した排ガ
ス処理装置を提供する。 【構成】 表面粗さ計により測定したフィルタ表面の粗
さのデータを解析し、ある面に対してフィルタの凸部の
体積と凹部の体積とが等しくなる面を平均面とする。平
均面でフィルタを切断したと仮定したとき、フィルタの
細孔面積の全表面積に対する割合を Valley Level とす
る。フィルタの気孔率が40%以上55%以下、平均細
孔径が5μm以上50μm以下のとき、 Valley Level
が20%以下とすると微粒子の剥離性が良く再生効率の
良いフィルタが得られる。フィルタを2層構造とすると
Valley Level の制御が容易である。フィルタの再生に
は逆洗エアを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ディーゼルエンジンな
どの内燃機関から排出される排ガス中の微粒子を捕集す
る排ガスフィルタおよびそれを使用した排ガス処理装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】排ガス中には一般に窒素酸化物NOx
一酸化炭素CO、炭化水素HCなどのほかに炭素を主成
分とする微粒子が含まれる。この微粒子はそれ自体が大
気汚染の原因となるばかりでなく、触媒毒としてNO
x 、CO、HCなどを浄化する触媒の活性を低下させ
る。そのため、この微粒子を捕集するための排ガスフィ
ルタが種々提案されている。
【0003】排ガスフィルタに要求される条件には、圧
力損失が低いこと、微粒子捕集効率が高いこと、圧縮強
度が高いこと、耐熱衝撃性が高いことなどがある。ま
た、微粒子の捕集を行うとフィルタ上に微粒子が堆積す
るため間欠的にフィルタを再生する必要があるが、この
ときフィルタ再生効率が良いことも重要である。これ
は、フィルタの再生効率が悪いと長時間の使用によりフ
ィルタの圧力損失が上昇するためである。
【0004】特開平3−47507号公報には、平均細
孔径10〜100μmであって累積気孔分布の75Vol/
% の位置と25Vol/% の位置との気孔径比が1.3以上
であるフィルタ基体にフィルタ層を設け、さらにこのフ
ィルタ層の平均気孔径を0.2〜10μmとしフィルタ
基体表面に開口している気孔を埋めるようにしてフィル
タ層を固着することによって優れたフィルタを得るとい
う技術が公開されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】フィルタを再生する方
法としては、フィルタの温度を上げて捕集した微粒子を
フィルタ上で燃焼させる方法がある。また別の方法とし
て、排ガス流れとは逆方向からフィルタに逆洗エアを吹
きつけて捕集した微粒子をフィルタから吹き落とした
後、微粒子を燃焼させる方法もある。微粒子をフィルタ
上で燃焼させる前者の方法に比べて、逆洗エアにより微
粒子を吹き落とす後者の方法はフィルタの寿命が一般に
長いという利点を有する。
【0006】しかし、従来の技術によると逆洗時のフィ
ルタ再生能力が不十分であり、フィルタの性状によって
は捕集時間の経過とともに圧力損失が増大するという問
題があった。また、フィルタを2層構造にした場合に
は、特開平3−47507号公報に記載の方法によって
もフィルタ層を形成する材料によって圧力損失が上昇す
るという問題があった。
【0007】本発明の目的は、逆洗エアによる再生効率
が良く、長時間の使用によっても圧力損失の上昇が少な
い排ガスフィルタおよびそれを使用した装置を提供する
ことにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明では Valley Level によってフィルタ表面
の状態を評価した。ここで用いられる Valley Level に
ついて説明する。触針式表面粗さ計によりフィルタ表面
の表面粗さを測定し、そのデータを3次元解析して、あ
る面に対してフィルタの凸部の体積と凹部の体積とが等
しくなるような面を求め、これを平均面とする。平均面
でフィルタを切断したとき、平均面における細孔面積の
和の全表面積に対する比率を Valley Level と定義す
る。
【0009】Valley Level の求め方を2次元表示した
ものを図1に示す。平均面は、測定範囲S内で平均面に
対して凸部の体積の和と凹部の体積の和が等しくなるよ
うに設定される。すなわち、次式の条件を満たすように
設定される。 (V11+V12+V13+V14+V15)=(V21+V22+V23+V24)・・・(1) フィルタ表面を平均面で切断した時に現れる細孔はs
1 、s2 、s3 、s4 の部分である。この細孔面積の和
の全表面積に対する比率が Valley Level であり、次式
で表される。
【0010】 Valley Level =(s1 +s2 +s3 +s4 )/S×100 ・・・(2) 本発明において導入された Valley Level で用いられる
細孔表面積に対して、通常の細孔表面積はSEMなどか
らの画像解析によって求められ、その値は図1に示した
ように Valley Level で用いられる細孔表面積に比べて
大きくなる。微粒子捕集時に、微粒子はフィルタの全表
面で捕集可能であるが、特に表面細孔に優先的に捕集さ
れる。これは圧力損失の低い表面細孔部分に微粒子が選
択的に捕集されるためである。この表面細孔部分に捕集
された微粒子は逆洗エアによって完全に取り除くことが
困難なため、フィルタの有効面積の低下が起こり圧力損
失が上昇する。
【0011】このとき微粒子が優先的に捕集される細孔
は、表面粗さ測定による平均面よりも低い部分の表面細
孔である。つまり、表面細孔面積のうち微粒子の捕集、
微粒子剥離に影響を及ぼすのは平均面における細孔面積
であって、SEMなどからの画像解析から算出される細
孔表面積の全部によるものではない。平均面における細
孔面積すなわち Valley Level を小さくすると、微粒子
が優先的に捕集される部分が小さくなるため逆洗時に捕
集微粒子の剥離性が良くなり、フィルタの有効面積の低
下が少なくなる。したがって、 Valley Level を低下さ
せることによりフィルタの再生効率が増加することにな
る。
【0012】本発明は上記の知見に基づいてなされたも
のである。すなわち、本発明の請求項1記載の排ガスフ
ィルタは、内燃機関から発生する排ガス中の微粒子を捕
集するフィルタであって、前記フィルタ表面の Valley
Level が20%以下、前記フィルタの気孔率が40%以
上55%以下、前記フィルタの平均細孔径が5μm以上
50μm以下であることを特徴とする。
【0013】Valley Level を20%以下とすると、フ
ィルタ表面に捕集された微粒子の剥離性が良くなり逆洗
エアによる再生効率が良くなる。圧力損失の上昇をより
少なくするためには Valley Level は10%以下である
ことがより好ましい。 Valley Level が20%を超える
と、逆洗によるフィルタ再生時に捕集微粒子のフィルタ
表面からの剥離性が悪いため圧力損失が上昇する。ま
た、 Valley Level が20%以下でもフィルタの気孔率
が40%未満の場合には、逆洗エアの流れが悪いため捕
集微粒子を十分に剥離することができず圧力損失が上昇
する。一方、気孔率が55%を超えるとフィルタの機械
的強度が低下する。また、 Valley Levelが20%以下
でもフィルタの平均細孔径が5μm未満の場合には、逆
洗エアの流れが悪いため捕集微粒子を十分剥離すること
ができず圧力損失が上昇する。一方、平均細孔径が50
μmを超えると微粒子の捕集効率が低下する。
【0014】また、本発明の請求項2記載の排ガスフィ
ルタは、請求項1記載の排ガスフィルタであって、前記
フィルタの材質がコージェライト、ムライト、アルミナ
より選ばれた結晶を主成分とするセラミックスであるこ
とを特徴とする。また、本発明の請求項3記載の排ガス
フィルタは、請求項1または2記載の排ガスフィルタで
あって、前記フィルタがハニカム構造であることを特徴
とする。
【0015】また、本発明の請求項4記載の排ガスフィ
ルタは、請求項1、2または3記載の排ガスフィルタで
あって、前記フィルタの主結晶がコージェライトであ
り、前記フィルタの40℃〜800℃までの流路方向の
熱膨張係数が1.0×10-6/℃以下であることを特徴
とする。熱膨張係数が1.0×10-6/℃を超えるとフ
ィルタの耐熱衝撃性が低くなり、ディーゼルエンジンの
排ガスフィルタとしての使用に耐えない。耐熱衝撃性を
長期にわたって維持するためには、熱膨張係数を0.8
×10-6/℃以下とすることがより好ましい。
【0016】また、本発明の請求項5記載の排ガスフィ
ルタは、内燃機関から発生する排ガス中の微粒子を捕集
するフィルタであって、フィルタ基体とこのフィルタ基
体の表面に設けられたフィルタ層とからなり、前記フィ
ルタ層表面の Valley Levelが20%以下であり、前記
フィルタ基体の気孔率が45%以上60%以下であっ
て、前記フィルタ基体の平均細孔径が10μm以上80
μm以下であることを特徴とする。
【0017】Valley Level を低下させることにより捕
集微粒子の剥離性を良くし、フィルタの再生効率を上げ
るという本発明の技術は、フィルタ基体とフィルタ層か
らなる2層構造フィルタに特に有効である。これは通常
の1層構造のフィルタでは Valley Level と気孔率、平
均細孔径の制御を同時に行い、さらに熱膨張係数を低く
することは困難なためである。フィルタを2層構造と
し、フィルタ基体は通気性、機械強度、耐熱性などの特
性に着目して作成し、フィルタ層は Valley Level に着
目して作成することにより、フィルタ層表面の Valley
Level を20%以下にすることが容易となる。また、フ
ィルタ層の Valley Level を20%以下にすると同時に
フィルタ基材表面に開口する細孔をフィルタ層が閉塞し
ない形態とすると、捕集効率を低下させることなく圧力
損失を低下させることが可能でありさらに望ましい。
【0018】このような2層構造フィルタによると、一
般にフィルタ層の機械強度はフィルタ基体の機械強度よ
りも高いため、1層構造のフィルタよりもフィルタ基体
の気孔率が若干高くても十分な機械強度が得られる。し
たがって、フィルタ基体の気孔率は45%以上60%以
下の範囲が適当である。また、フィルタ層の通気抵抗が
加わるためフィルタ基体の表面細孔径は1層構造のフィ
ルタに比べて大きめに設定される。しかし80μm以上
とするとフィルタ層を形成する粒子がフィルタ基体中に
侵入し圧力損失が高くなるため好ましくない。
【0019】また、本発明の請求項6記載の排ガスフィ
ルタは、請求項5記載の排ガスフィルタであって、前記
フィルタ層が前記フィルタ基体表面に開口する細孔を実
質的に閉塞しない構造であることを特徴とする。フィル
タ層がフィルタ基体表面に開口する細孔を閉塞すると、
フィルタ層形成後の2層フィルタ全体の気孔率がフィル
タ基体の気孔率よりも低くなり、また、フィルタ層を形
成する粒子がフィルタ基体中に侵入することにより圧力
損失が高くなる。
【0020】また、本発明の請求項7記載の排ガス処理
装置は、請求項1から6のいずれか1項記載のフィルタ
を用いた排ガス処理装置であって、前記フィルタの再生
に逆洗エアを用いることを特徴とする。また、本発明の
請求項8記載の排ガス処理装置は、請求項7記載の排ガ
ス処理装置であって、自動車に搭載するディーゼルエン
ジンに前記排ガス処理装置を使用することを特徴とす
る。
【0021】
【作用および発明の効果】本発明の請求項1記載の排ガ
スフィルタによると、 Valley Level 、気孔率、平均細
孔径を適切に設定したことによりフィルタの再生効率が
良い。また、本発明の請求項2記載の排ガスフィルタに
よると、フィルタの材質をコージェライト、ムライト、
アルミナより選ばれた結晶を主成分とするセラミックス
としたことにより十分な耐熱衝撃性、機械強度が得られ
る。
【0022】さらに、本発明の請求項3記載の排ガスフ
ィルタによると、フィルタがハニカム構造であるため、
体積あたりのフィルタ表面積が大きくなることによりフ
ィルタがコンパクトとなり、また十分な機械強度が得ら
れる。さらにまた、本発明の請求項4記載の排ガスフィ
ルタによると、フィルタの主結晶がコージェライトであ
り、前記フィルタの40℃〜800℃までの流路方向の
熱膨張係数が1.0×10-6/℃以下であることにより
耐熱衝撃性が良い。
【0023】さらにまた、本発明の請求項5記載の排ガ
スフィルタによると、フィルタを2層構造とすることに
より Valley Level 、気孔率、フィルタ基体の平均細孔
径を同時に制御することが容易である。さらにまた、本
発明の請求項6記載の排ガスフィルタによると、フィル
タ層がフィルタ基体表面に開口する細孔を実質的に閉塞
しない構造であるため、圧力損失を低くすることができ
る。
【0024】さらにまた、本発明の請求項7記載の排ガ
ス処理装置によると、 Valley Level を低下させること
により微粒子の剥離性を良くしたフィルタを逆洗エアに
よって再生するため、フィルタの再生効率が良い。さら
にまた、本発明の請求項8記載の排ガス処理装置による
と、大気汚染の原因となりまた触媒活性を低下させる原
因となるディーゼルエンジンから排出される排ガス中の
微粒子をフィルタによって効率よく捕集することができ
る。
【0025】
【実施例】以下、本発明を具体的に説明する。タルク、
カオリン、アルミナ、シリカ、およびその他のコージェ
ライト化原料の割合を変えることにより種々の気孔率、
平均細孔径、 Valley Level をもつフィルタを作製し、
以下の方法で評価を行った。物性評価 (1) 気孔率 JIS R−2206に示される煮沸法により測定し
た。 (2) 平均細孔径 水銀圧入法により測定した。 (3) Valley Level 触針式表面粗さ計により、測定視野:0.8mm×0.
8mm、測定ピッチ:1.5μm、触針荷重:85mg
fの条件で、触針半径:2μmのダイヤチップにて測定
し、上記定義に基づいて Valley Level を算出した。測
定は5か所行い、これらの平均値を使用した。 (4) 熱膨張係数 排ガス流路方向:50mm、巾:5mmの試料によって
40℃から800℃までの平均熱膨張係数(表中ではC
TEと略記する)を測定した。特性評価 (a) 圧力損失 排ガス供給源として2000ccディーゼルエンジンを
用い、排ガス温度:400℃、平均微粒子発生量:17
g/hr、排ガス流量:3m3 /分の条件で微粒子捕集
を行いながら、逆洗エア圧:6kg/cm2 、逆洗間
隔:5分、逆洗時間:0.5秒の条件でフィルタを再生
した。この状態で20時間運転を続けたところ圧力損失
はほぼ平行となったため、20時間以後の圧力損失の変
化は微小だと考えられる。このため、試験開始から20
時間後の圧力損失の値を性能評価に使用した。
【0026】圧力損失の実用上望ましい値は1000m
mH2 O以下である。 (b) 捕集効率 圧力損失測定と同じ条件で測定し、試験開始から3時間
後に再捕集部に捕集された微粒子量と排ガス供給源から
発生した微粒子量との比を捕集効率とした。捕集効率の
算出方法は次式で示される。
【0027】 (再捕集部微粒子量/発生微粒子量)×100 ・・・(3) 捕集効率の実用上望ましい値は90%以上である。 (c) A軸圧縮強度 2.5cmφ×2.5cmLの円筒状試料の軸方向をA
軸として圧縮強度を測定し、単位を換算した。
【0028】A軸圧縮強度の実用上望ましい値は100
kg/cm2 以上である。 (d) 耐熱衝撃性 試料を電気炉中に入れ、500℃から50℃ステップア
ップで各30分間保持する。各温度にて室温に取り出
し、打音が濁音になるかあるいは目視にてクラックが発
見されるまでステップアップを繰り返す。クラック発生
前の最高温度を耐熱衝撃性(表中ではESPと略記す
る)の測定値とした。
【0029】ESPの実用上望ましい値は700℃以上
である。 (第1実施例)表1に示す Valley Level 、気孔率、平
均細孔径をもつフィルタを以下の方法で作製した。セラミックフィルタの作製 コージェライト化が十分進行し得る範囲内でタルク、カ
オリン、アルミナ、シリカ、およびその他のコージェラ
イト化原料を調合し、この混合物にメチルセルロース、
界面活性剤等の成形助剤、水、アルコール等の溶媒を加
えて混合混練した。これを隔壁厚さ:430μm、サイ
ズ:118mmφ×152mmL、セル密度:15.5
個/cm2 に押出成形してハニカム構造体とした。この
ハニカム構造体をコージェライト化反応が十分進行し得
る温度で焼成した後、ハニカム構造体の貫通孔の一方端
と他方端とを交互に閉塞するいわゆる千鳥目封じ止めを
し、ウォールフロータイプのセラミックフィルタを作製
した。
【0030】得られたセラミックフィルタの特性を上記
の方法で評価した。その結果を表1に示す。
【0031】
【表1】
【0032】表1から明らかなように、気孔率が40%
以上55%以下(試料1〜3)、平均細孔径が5μm以
上50μm以下(試料4〜6)のとき、 Valley Level
が20%以下であると(試料7〜10)、圧力損失、捕
集効率、A軸圧縮強度の3つの特性を全て満たした優れ
たフィルタが得られた。これに対して、 Valley Level
が20%を超えるものは(試料15)、逆洗時に捕集微
粒子の剥離性が悪いため圧力損失が高くなり実用に適さ
ない。また、気孔率が40%未満の場合は(試料11)
逆洗エアの流れが悪いため、 Valley Level を低くして
微粒子の剥離性をよくしても十分に微粒子を剥離するこ
とができず圧力損失が高くなる。一方、気孔率が55%
を超えると(試料12)、A軸圧縮強度で示される機械
的強度の低下が起こり、自動車などに搭載する場合に必
要な最低強度を保有することができない。
【0033】また、平均細孔径が5μm未満の場合には
(試料13)気孔率が低過ぎる場合と同様に逆洗エアの
流れが悪いため、 Valley Level を低くして微粒子の剥
離性をよくしても十分に微粒子を剥離することができず
圧力損失が高くなる。一方、平均細孔径が50μmを超
えると(試料14)捕集効率が低下し、フィルタとして
の機能が不十分になる。
【0034】(第2実施例)表2に示す Valley Level
、気孔率、平均細孔径をもつフィルタを第1実施例と
同様に作製し、上記の方法で評価した。第1実施例にお
ける評価項目に加え、平均熱膨張係数および耐熱衝撃性
の評価も行った。評価結果を表2に示す。
【0035】
【表2】
【0036】一般にディーゼルエンジンで使用されるフ
ィルタ位置での最高温度は約700℃であり、急冷時の
最大温度差は700℃と考えられるため、フィルタの耐
熱衝撃性として700℃以上が望まれる。表2から明ら
かなように、平均熱膨張係数を1.0×10-6/℃以下
とすることにより(試料16〜18)700℃以上の耐
熱衝撃性が得られた。また、耐熱衝撃性を長期にわたっ
て維持するためには750℃以上の耐熱衝撃性が必要と
考えられる。表2より、平均熱膨張係数を0.8×10
-6/℃以下とすることで(試料17、18)この条件を
満足できることがわかる。
【0037】以上のように、自動車に搭載されるフィル
タとしては Valley Level の他に高い耐熱衝撃性が必要
となるが、このためには平均熱膨張係数を1.0×10
-6/℃以下、好ましくは0.8×10-6/℃以下とする
ことが必要である。 (第3実施例)本発明の第3実施例として、以下の方法
で2層構造のセラミックフィルタを作製した。2層構造のセラミックフィルタの作製 コージェライト化が十分進行し得る範囲内でタルク、カ
オリン、アルミナ、シリカ、およびその他のコージェラ
イト化原料を調合し、この混合物にメチルセルロース、
界面活性剤等の成形助剤、水、アルコール等の溶媒を加
えて混合混練した。これを隔壁厚さ:380μm、サイ
ズ:118mmφ×152mmL、セル密度:15.5
個/cm2 に押出成形してハニカム構造体とした。この
ハニカム構造体をコージェライト化反応が十分進行し得
る温度で焼成した後、ハニカム構造体の貫通孔の一方端
と他方端とを交互に閉塞するいわゆる千鳥目封じ止めを
し、フィルタ基体部を作製した。このフィルタ基体部の
表面にアルミナゾルを使用して平均粒径10μmのシリ
カをコーティングし、50μmの厚さのフィルタ層を形
成した。
【0038】得られた2層フィルタの特性を上記の方法
で評価した。評価結果を表3に示す。
【0039】
【表3】
【0040】表3から明らかなように、フィルタ基体の
気孔率が45%以上60%以下(試料20、21)、フ
ィルタ基体の平均細孔径が10μm以上80μm以下
(試料22、23)のとき、 Valley Level が20%以
下であると(試料24、25)、圧力損失、捕集効率、
A軸圧縮強度の3つの特性を全て満たした優れたフィル
タが得られた。
【0041】これに対して、 Valley Level が20%を
超えるものは(試料33)、逆洗時に捕集微粒子の剥離
性が悪いため圧力損失が高くなり実用に適さない。ま
た、 Valley Level が20%以下であってもフィルタ基
体の気孔率が45%未満の場合には(試料29)、逆洗
エアの流れが悪いため十分に微粒子を剥離することがで
きず圧力損失が高くなる。一方、フィルタ基体の気孔率
が60%を超えると(試料30)機械的強度の低下が起
こり、自動車などに搭載する場合に必要な最低強度を保
有することができない。また、フィルタ基体の平均細孔
径が10μm未満の場合にも(試料31)、逆洗エアの
流れが悪いため十分に微粒子を剥離することができず圧
力損失が高くなる。
【0042】また、フィルタ基体の表面にフィルタ層を
形成する際にフィルタ基体の表面に開口する細孔をフィ
ルタ層によって閉塞しないようにすると、フィルタ層形
成後の2層フィルタ全体の気孔率がフィルタ基体のみの
気孔率よりも一般に低くなる(試料26、27)。この
ような場合には、フィルタ基体の表面に開口する細孔が
フィルタ層によって閉塞された場合(試料28)に比べ
て圧力損失が低くなることがわかる。
【0043】(第4実施例)ディーゼルエンジンを搭載
した自動車に本発明の第1〜第3実施例の排ガスフィル
タを用いた排ガス処理装置を使用した場合の一例を図2
に示す。図2に示す排ガス処理装置10において、通常
の排ガス捕集(以下「通常の排ガス捕集」を捕集モード
という)時、排ガス管11から各排ガスフィルタ12に
排ガスが流入する。捕集モード時、各排気バルブ13は
開放状態にあるので、各排ガスフィルタ12に流入した
排ガスは、排ガス中に含まれる炭素を主成分とする微粒
子を各排ガスフィルタ12で捕集され、排ガス処理装置
10から排出される。
【0044】逆洗再生(以下「逆洗再生」を逆洗エア流
通モードという)時、図2の下側の排気バルブ13のよ
うに再生される側の排気バルブ13を閉じ、再生される
側の排ガスフィルタ12に排ガスが流れないようにし、
電磁弁14を開放し逆洗エアを噴出させることにより排
ガスフィルタ12の再生を行う。排出された微粒子は捕
集タンク15に搬送される。搬送された微粒子は、図示
しない電気ヒータ、バーナー等による燃焼処理や、捕集
された微粒子を捕集タンク15を外して回収する方法等
によって処理される。
【0045】本発明の第4実施例によれば、排ガスフィ
ルタ12の Valley Level 、気孔率、平均細孔径を制御
して捕集微粒子のフィルタ表面からの剥離性を良くした
排ガスフィルタを逆洗エアにより再生するため、フィル
タの再生効率が良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における Valley Level の定義を示す説
明図である。
【図2】本発明による排ガスフィルタを使用した排ガス
処理装置を示す模式図である。
【図3】図2のIII 方向矢視図である。
【符号の説明】
10 排ガス処理装置 12 排ガスフィルタ 15 捕集タンク

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内燃機関から排出される排ガス中の微粒
    子を捕集するフィルタであって、前記フィルタ表面の V
    alley Level が20%以下、前記フィルタの気孔率が4
    0%以上55%以下、前記フィルタの平均細孔径が5μ
    m以上50μm以下であることを特徴とする排ガスフィ
    ルタ。
  2. 【請求項2】 前記フィルタの材質がコージェライト、
    ムライト、アルミナより選ばれた結晶を主成分とするセ
    ラミックスであることを特徴とする請求項1記載の排ガ
    スフィルタ。
  3. 【請求項3】 前記フィルタがハニカム構造であること
    を特徴とする請求項1または2記載の排ガスフィルタ。
  4. 【請求項4】 前記フィルタの主結晶がコージェライト
    であり、前記フィルタの40℃〜800℃までの流路方
    向の熱膨張係数が1.0×10-6/℃以下であることを
    特徴とする請求項1、2または3記載の排ガスフィル
    タ。
  5. 【請求項5】 内燃機関から排出される排ガス中の微粒
    子を捕集するフィルタであって、フィルタ基体とこのフ
    ィルタ基体の表面に設けられたフィルタ層とからなり、
    前記フィルタ層表面の Valley Level が20%以下であ
    り、前記フィルタ基体の気孔率が45%以上60%以下
    であって、前記フィルタ基体の平均細孔径が10μm以
    上80μm以下であることを特徴とする排ガスフィル
    タ。
  6. 【請求項6】 前記フィルタ層が前記フィルタ基体表面
    に開口する細孔を実質的に閉塞しない構造であることを
    特徴とする請求項5記載の排ガスフィルタ。
  7. 【請求項7】 請求項1から6のいずれか1項記載のフ
    ィルタを用いた排ガス処理装置であって、前記フィルタ
    の再生に逆洗エアを用いることを特徴とする排ガス処理
    装置。
  8. 【請求項8】 自動車に搭載するディーゼルエンジンに
    前記排ガス処理装置を使用することを特徴とする請求項
    7記載の排ガス処理装置。
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