JPH0885752A - エポキシ樹脂組成物及び樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

エポキシ樹脂組成物及び樹脂封止型半導体装置

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JPH0885752A
JPH0885752A JP7169792A JP16979295A JPH0885752A JP H0885752 A JPH0885752 A JP H0885752A JP 7169792 A JP7169792 A JP 7169792A JP 16979295 A JP16979295 A JP 16979295A JP H0885752 A JPH0885752 A JP H0885752A
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JP
Japan
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epoxy resin
pulp
resin composition
epoxy
component
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Application number
JP7169792A
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English (en)
Inventor
Noriyuki Arai
規之 新井
Hiroshi Shiomi
浩 塩見
Hiroshi Nakamura
宏 中村
Noriaki Saito
憲明 斉藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】熱時の衝撃強度と熱時の曲げ強度等のバランス
が取れ、耐ハンダクラック性に優れた硬化物を与えるエ
ポキシ樹脂組成物及びそれを用いて封止した半導体装置
を提供すること。 【解決手段】(a)分子中に2個以上のエポキシ基を有
するエポキシ樹脂、(b)エポキシ樹脂硬化剤、(c)
硬化促進剤、(d)パルプ、及び(e)無機充填材を必
須成分とし、(e)成分の無機充填材の含有量が75〜94
重量%であることを特徴とするエポキシ樹脂組成物、な
らびにそれを用いて半導体を封止してなる樹脂封止型半
導体装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に、電子部品の
封止用として有用なエポキシ樹脂組成物及びそれを用い
た樹脂封止型半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、LSI、IC、トランジスタ等、
半導体の封止には、経済的に有用なエポキシ樹脂による
トランスファー成形が行われている。特に、最近では、
LSIの表面実装が行われており、ハンダ浴中に直接浸
漬される場合が増えてきている。その際、封止材は、20
0 ℃以上の高温にさらされるため、封止材中に吸湿して
いた水分が気化、膨張し、クラックが入ったり、ダイパ
ッドとの界面に剥離を生ずる問題が発生する。現状で
は、エポキシ樹脂としてはo−クレゾールノボラックの
グリシジルエーテル、また、硬化剤としてはフェノール
ノボラックを用いた封止材が主流であるが、上記の問題
があるため、実用上は防湿梱包をして使用されている。
このため、樹脂封止材には耐ハンダクラック性が強く要
求されている。一般に、耐クラック性の改良には、耐衝
撃性の改良を目的として、ブタジエン−アクリロニトリ
ル共重合ゴム、シリコーンゴム等によるゴム変性が行わ
れている。しかし、ゴム変性では耐衝撃性は改良される
ものの、強度および弾性率が低下し、本発明の目的であ
る耐ハンダクラック性の改良には好ましい方法では無
い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、熱時
の衝撃強度と熱時の曲げ強度等のバランスが取れ、耐ハ
ンダクラック性に優れた硬化物を与えるエポキシ樹脂組
成物及びそれを用いて封止した半導体装置を提供するこ
とである。
【0004】
【課題を解決するための手段】このような事情に鑑み本
発明者らは、耐ハンダクラック性等に優れたエポキシ樹
脂組成物について鋭意検討した結果、パルプを含有し、
かつ、無機充填材が高充填されたエポキシ樹脂組成物が
上記目的に合うことを見出し、本発明を完成するに至っ
た。
【0005】すなわち、本発明は、(a)分子中に2個
以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、(b)エポキ
シ樹脂硬化剤、(c)硬化促進剤、(d)パルプ、及び
(e)無機充填材を必須成分とし、(e)成分の無機充
填材の含有量が75〜94重量%であることを特徴とするエ
ポキシ樹脂組成物、ならびにそれを用いて半導体を封止
してなる樹脂封止型半導体装置に関する。
【0006】以下に本発明を詳細に説明する。本発明の
エポキシ樹脂組成物に用いられる(a)成分であるエポ
キシ樹脂としては、公知の物を使用することができる
が、これらについて例示すると、ハイドロキノン、レゾ
ルシン、ビスフェノールA、テトラブロムビスフェノー
ルA、ビスフェノールF、テトラメチルビフェノール、
4、4'−ジヒドロキシベンゾフェノン、ビス(4−ヒドロ
キシフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシ−3、
5−ジメチルフェニル)チオエーテル、ジヒドロキシナ
フタレン等の二価フェノール類及びフロログリシン、ピ
ロガロール等の三価以上のフェノール類から誘導される
グリシジルエーテル、フェノール、クレゾール、キシレ
ノール、ブチルフェノール、メチルブチルフェノール、
オクチルフェノール、ナフトール等(各異性体を含む)
のフェノール類とホルムアルデヒド、アセトアルデヒ
ド、グリオキザール、アクロレイン、ベンズアルデヒ
ド、ヒドロキシベンズアルデヒド等のアルデヒド類また
はシクロヘキサノン、アセトフェノン、ヒドロキシアセ
トフェノン等のケトン類との重縮合物のグリシジルエー
テル、上記フェノール類とジシクロペンタジエン、ジペ
ンテン、p−キシリレンジクロライド、ビス(メトキシ
メチル)ベンゼン等とのフリーデルクラフツ型反応生成
物のグリシジルエーテル、アニリン、アミノフェノー
ル、アミノメタクレゾール、ジアミノジフェニルメタ
ン、ジアミノジフェニルエーテル、ビス(アミノフェノ
キシ)ベンゼン、ビス(アミノフェノキシフェニル)プ
ロパン、フェニレンジアミン、トルエンジアミン、キシ
リレンジアミン、ビス(アミノメチル)シクロヘキサン
等(各種異性体を含む)から誘導されるアミン系エポキ
シ樹脂、
【0007】p−オキシ安息香酸、m−オキシ安息香
酸、テレフタル酸、イソフタル酸等の芳香族カルボン酸
から誘導されるグリシジルエステル系化合物、5,5 −ジ
メチルヒダントイン等から誘導されるヒダントイン系エ
ポキシ化合物、2,2 −ビス(3,4−エポキシシクロヘキ
シル)プロパン、2,2 −ビス〔4 −(2,3 −エポキシプ
ロポキシ)シクロヘキシル〕プロパン、ビニルシクロヘ
キセンジオキサイド、3,4−エポキシシクロヘキシルメ
チル−3,4 −エポキシシクロヘキサンカルボキシレート
等の脂環式エポキシ樹脂等があり、これらのエポキシ樹
脂の一種または二種以上が使用される。中でも、封止材
料用途には、グリシジルエーテル類が好ましいが、特
に、硬化性及び耐湿性の面からo−クレゾールノボラッ
ク系エポキシ樹脂及びメチルブチルフェノールとヒドロ
キシベンズアルデヒドとの縮合反応により得られる多価
フェノール類のグリシジルエーテルあるいはテトラメチ
ルビフェノールまたはビス(4−ヒドロキシ−3、5−
ジメチルフェニル)チオエーテルから誘導される二価の
グリシジルエーテル類が好ましい。
【0008】また、本発明で用いられる(b)成分であ
るエポキシ樹脂硬化剤については公知のエポキシ硬化剤
が使用できるが、これらについて例示すると、ビスフェ
ノールA、テトラブロモビスフェノールA、ビスフェノ
ールF、ビスフェノールS、ビス(4 −ヒドロキシフェ
ニル)シクロヘキサン、ビス(4 −ヒドロキシフェニ
ル)エタン、1,3,3 −トリメチル−1 −m−ヒドロキシ
フェニルインダン−5 または7 −オール、1,3,3 −トリ
メチル−1 −p−ヒドロキシフェニルインダン−6 −オ
ール、レゾルシン、ハイドロキノン、カテコール、ジヒ
ドロキシナフタレン及び上記フェノール類と上記アルデ
ヒドまたは上記ケトン類の重縮合物、あるいは上記フェ
ノール類とジシクロペンタジエン、ジペンテン、p−キ
シリレンジクロライド、ビス(メトキシメチル)ベンゼ
ン等とのフリーデルクラフツ型反応生成物等の多価フェ
ノール類、マレイン酸、フタル酸、ナジク酸、メチル−
テトラヒドロフタル酸、メチルナジク酸等のポリカルボ
ン酸およびその無水物、ジアミノジフェニルメタン、ジ
アミノジフェニルスルホン、ジアミノジフェニルエーテ
ル、フェニレンジアミン、ジアミノジシクロヘキシルメ
タン、キシリレンジアミン、トルエンジアミン、ジアミ
ノジシクロヘキサン、ジクロロ−ジアミノジフェニルメ
タン(それぞれ異性体を含む)、エチレンジアミン、ヘ
キサメチレンジアミン等のポリアミン化合物、さらには
ジシアンジアミド、テトラメチルグアニジン等、エポキ
シ基と反応可能な活性水素含有化合物が例示でき、これ
らの1種または2種以上を用いることができる。好まし
くは、多価フェノール類であり、さらに好ましくは、フ
ェノールノボラック、フェノール類とジシクロペンタジ
エン、p−キシリレンジクロライド、またはビス(メト
キシメチル)ベンゼンとの反応生成物である。
【0009】(a)成分のエポキシ樹脂と(b)成分の
硬化剤の配合割合について述べると、硬化剤の使用量
は、エポキシ基に対して0.7 〜1.2 当量が好ましい。エ
ポキシ基に対して0.7 当量に満たない場合、もしくは、
1.2 当量を超える場合、いずれも硬化が不完全になり、
耐熱性に問題を生ずる可能性がある。
【0010】本発明の(c)成分である硬化促進剤につ
いては、公知の硬化促進剤を用いることができる。この
ような硬化促進剤について例示すると、トリフェニルホ
スフィン、トリ−4−メチルフェニルホスフィン、トリ
−4−メトキシフェニルホスフィン、トリブチルホスフ
ィン、トリオクチルホスフィン、トリ−2−シアノエチ
ルホスフィンなどの有機ホスフィン化合物、トリブチル
アミン、トリエチルアミン、1,8−ジアザビシクロ
(5,4,0)ウンデセン−7、トリアミルアミン等の
三級アミン、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、水
酸化ベンジルトリメチルアンモニウム、トリエチルアン
モニウムテトラフェニルボレート等の4級アンモニウム
塩、イミダゾール類等が例示されるが、これらに限定さ
れるものではない。これらの中でも、有機ホスフィン化
合物、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセ
ン−7、トリエチルアンモニウムテトラフェニルボレー
トが耐湿性及び硬化性の点から好ましく、中でもトリフ
ェニルホスフィンが特に好ましい。
【0011】本発明で用いられる(d)成分であるパル
プとは、通常の天然または合成パルプである。パルプと
は、繊維状物を機械的あるいは化学的に高度にフィブリ
ル化させたものの総称である。本発明で用いられるパル
プとしては、BET法で測定したその比表面積の値が、
好ましくは3〜20m2 /gを示すものであり、JIS
P−8121「パルプの濾水度試験方法」の、カナダ
標準型法で測定した濾水度の値が、好ましくは100〜
700mlのもの、更に好ましくは150〜700ml
のものである。本発明で用いられるパルプの繊維長は
0.01〜5mmであるのが好ましい。パルプの原料樹脂
としては、天然または合成の結晶性高分子が用いられ
る。これらパルプの原料樹脂を例示すると、芳香族ポリ
アミド樹脂、脂肪族ポリアミド樹脂、脂肪族または芳香
族ポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリ
エチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリビニルアルコ
ール樹脂等が挙げられる。これらの中でも、芳香族ポリ
アミド樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂及び芳香族ポリ
エステル樹脂が耐熱性の点から好ましく、中でも芳香族
ポリアミド樹脂が特に好ましい。
【0012】パルプの配合割合は組成物中の〔パルプ〕
/〔パルプ+(a)成分+(b)成分〕×100が0.
5〜15(重量%)になるように配合することが好まし
く、更に好ましくは1〜10重量%である。配合割合が
上述の範囲を超えると組成物の流れ性及び吸湿性の低下
を招き、上述の範囲より少ない添加では充分な強靭化の
効果は得られない。
【0013】また、これらのパルプは組成物中の樹脂成
分との接着性を改良する目的でエポキシ樹脂等で表面処
理を行って用いることもできる。本発明のパルプの表面
処理について説明する。ここでいう表面処理とは、本発
明のパルプを含有した樹脂組成物及び/またはその硬化
物の種々の性能の向上のためにパルプ表面を化学的ある
いは物理的に処理する操作の全てを指称する。なかで
も、本発明の樹脂組成物の硬化物が所期の性能を発現す
るため、即ち、該樹脂組成物を用いて製造された樹脂封
止型半導体装置に優れた性能を発現させるために、パル
プとマトリックス樹脂であるエポキシ樹脂との接着性を
改良することに好ましいものである。この目的のために
は、エポキシ樹脂を必須成分とする表面処理剤を用いた
表面処理が好適である。次にエポキシ樹脂によるアラミ
ドパルプの表面処理について説明する。
【0014】表面処理用エポキシ樹脂については公知の
エポキシ樹脂が用いられ、これらについて例示すると、
ビスフェノールA等の二価フェノール類から誘導される
ジグリシジルエーテル化合物、フェノール類とアルデヒ
ド類の重縮合物のグリシジルエーテル化合物、アミノフ
ェノール、アミノクレゾール、 ジアミノジフェニルメタ
ン等から誘導されるアミン系エポキシ樹脂、オキシ安息
香酸、テレフタル酸、イソフタル酸等の芳香族カルボン
酸から誘導されるグリシジルエステル系化合物、5,5 −
ジメチルヒダントイン等から誘導されるヒダントイン系
エポキシ化合物、2,2 −ビス(3,4 −エポキシシクロヘ
キシル)プロパン、2,2 −ビス〔4 −(2,3 −エポキシ
プロピル)シクロヘキシル〕プロパン、ビニルシクロヘ
キセンジオキサイド、3,4 −エポキシシクロヘキシルメ
チル−3,4 −エポキシシクロヘキサンカルボキシレート
等の脂環式エポキシ樹脂等があり、中でもグリシジルア
ミン系エポキシ樹脂が接着性を向上させる点で好まし
く、特に4,4'−ジアミノジフェニルメタンを原料とする
ような、テトラグリシジルアミン型エポキシ樹脂が好ま
しい。更に、これらのエポキシ樹脂のエポキシ当量の値
は1000g/eq以下であることが好ましく、100
0g/eqをこえる場合は、充分な接着性が得られな
い。
【0015】表面処理の方法については、公知の方法を
用いることができる。例えば特開昭62−218425
号公報に開示されているように、アラミド(芳香族ポリ
アミド樹脂)パルプの表面にエポキシ樹脂を付与するに
際し、有機溶媒に溶解させたエポキシ樹脂溶液に浸漬す
る、あるいはスプレー塗布する、及びその際に加熱処理
を施す方法がある。更に、特開昭62−225539号
公報に開示されている、アラミド材料の表面にエポキシ
樹脂を付与するに際し、アンモニアガスの存在下で加熱
処理を施すことにより、エポキシ樹脂との接着性を改良
する方法がある。また、エポキシ樹脂を用いた水系のエ
マルジョンにてアラミド材料を処理し、加熱脱水するこ
とにより表面処理アラミド材料を得る方法が挙げられ
る。これらの方法の中でも水系のエマルジョンを用いる
方法が特に好ましく、一般的に用いられている方法がそ
のまま適用できる。すなわち、例えば、ポリオキシエチ
レンと高級脂肪酸アルコールのエーテル化合物等の、ノ
ニオン系界面活性剤の存在下でエポキシ樹脂を水中に高
速撹拌により分散させて水系エポキシ樹脂エマルジョン
を得、これを用いてパルプを処理することができる。こ
のときのエポキシ樹脂と界面活性剤の組成比(重量比)
はエポキシ樹脂、界面活性剤の種類によっても変わる
が、エマルジョンの安定性、接着性等の点から、97/
3〜70/30の範囲で選ぶことが望ましい。また、エ
ポキシの乳化物である、ANS-1001、ANS1006(商品名、
竹本油脂(株)製)等の市販のエポキシエマルジョンを
使用することも可能である。処理の均一性の観点から、
エマルジョン粒子の大きさは、好ましくは直径15μm
以下、さらに好ましくは5μm以下である。処理液中の
エポキシ樹脂のパルプへの吸着量を増加させるために
は、エポキシ樹脂エマルジョンのエポキシ樹脂のエポキ
シ基の一部を加水分解させてグリコール基とした物を用
いれば、特にその他の手段を用いなくともエポキシ樹脂
がアラミドパルプにほぼ100%吸着されるので特に好
ましい。エポキシ基の一部を加水分解させてグリコール
基としたエポキシ樹脂エマルジョンを得る方法として
は、エポキシ樹脂を一般的に知られている方法で加水分
解させたものを原料としてエマルジョン分散液を作る方
法と、先に常法によりエマルジョンを調整しておいてか
ら、加水分解させる方法がある。後者の方法によれば、
均一で安定なエマルジョンを容易に得ることができる。
エマルジョンを加水分解させるにはエマルジョンの種類
により様々な方法があるが、そのまま加熱処理を施すの
が最も簡単な方法であり好ましい。加水分解の結果、エ
ポキシ樹脂中のエポキシ基の一部は開環してグリコール
基となる。加水分解の反応率は、好ましくは当初存在す
るエポキシ基の10%以上、より好ましくは20%以上
90%未満である。
【0016】本発明で用いられる(e)成分である無機
充填材としては、シリカ、アルミナ、チタンホワイト、
水酸化アルミニウム、タルク、クレー、ガラス繊維等が
挙げられ、特にシリカ(溶融シリカまたは合成シリカ)
及びアルミナが好ましい。無機充填材の配合割合は、樹
脂組成物全量中の75〜94重量%であることが必要であ
り、好ましくは80〜92重量%である。充填材量が少ない
場合、硬化物の熱時強度が低く、また、吸水量も多くな
り、耐ハンダクラック性に劣る。また、充填材量が多い
場合は成形性、特に流れ性に問題を生ずる。本発明で用
いる無機充填材としては、球状あるいは破砕状等各種形
状のものが使用可能であり、また、大きさの異なる数種
の充填材を混合して使用することもできる。特に、本発
明のように無機充填材の高充填化を達成するためには、
破砕状充填材だけでは流動性に劣るため、少なくとも一
種の球状充填材を用いることが望ましい。この場合、球
状充填材の使用量は、1重量%以上100重量%以下で
あり、好ましくは10重量%以上95重量%以下であ
る。ただし、球状充填材だけを使用した場合には、表面
積が、小さくなるためバリが多くなる等の成形性に問題
が出るため、球状充填材と破砕状充填材の併用が好まし
い。
【0017】本発明のエポキシ樹脂組成物に、その他必
要に応じて天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸及
びその金属塩類、若しくはパラフィン等の離型剤あるい
はカーボンブラックのような着色剤、さらに、シランカ
ップリング剤等の表面処理剤等を添加してもよい。ま
た、三酸化アンチモン、リン化合物、ブロム化エポキシ
樹脂等の難燃剤を加えてもよい。難燃効果を出すために
は、ブロム化エポキシ樹脂が特に好ましい。また、例え
ば、本発明のエポキシ樹脂組成物を低応力化するため
に、本発明の効果を損なわない範囲で、各種エラストマ
ーを添加またはあらかじめ反応して用いてもよい。具体
的には、ポリブタジエン、ブタジエン−アクリロニトリ
ル共重合体、シリコーンゴム、シリコーンオイル等の添
加型あるいは反応型のエラストマーが挙げられる。本発
明によるエポキシ樹脂組成物を用いて半導体等、電子部
品を封止するには、トランスファーモールド、コンプレ
ッションモールド、インジェクションモールド等の従来
から公知の成形法により硬化成形すればよい。
【0018】
【発明の効果】本発明のエポキシ樹脂組成物は、特に電
子部品の封止用材料として、硬化物の熱時の衝撃強度と
熱時の曲げ強度等のバランスがとれており、この組成物
を用いて封止してなる電子部品は耐ハンダクラック性に
優れる。
【0019】
【実施例】以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこ
れに限定されるものではない。例中、エポキシ当量と
は、エポキシ基1個あたりのエポキシ樹脂の分子量で定
義される。混練物及び硬化成形物の評価は、以下のとお
りである。
【0020】・ガラス転移温度:熱機械的分析装置(SH
IMADZU DT-30 )を用いて測定した。 ・バーコール硬度:ASTM D-648 に従い、935 型にて17
5 ℃/2分の条件で測定した。
【0021】・熱時曲げ強度、熱時曲げ弾性率:JIS
K-6911に従い、インストロン万能材料試験機(SHIMADZU
IS-10T)で測定した。測定温度は240℃である。 ・吸水率:恒温恒湿槽(TABAI PR-2)を用い、85℃/
85%RH の条件で重量変化を測定した。
【0022】・スパイラルフロー:EMMI−1−66
に準じて175 ℃/70kg/cm2 の条件で測定をおこなった。 ・熱時衝撃強度:シャルピー衝撃試験器(Ueshima U-F
IMPACT TESTER )で測定した。測定温度は240℃であ
る。
【0023】・ハンダクラック性:模擬IC(52ピンQ
FPパッケージ:パッケージ厚さ2.05mm)を85℃/85%RH
/72 時間の条件にて吸湿させた後、直ちに240 ℃のハン
ダ浴に30秒浸漬した後のクラックの発生したICの個体
数。試験個体数16個。 ・絶縁抵抗値:直径50mm、厚み2mmの円盤を作成し、121
℃の条件にてプレッシャークッカーテストを行い0時間
から1000時間における絶縁抵抗値を絶縁抵抗測定装置
(東洋精機製作所製)を用いて測定し、評価した。
【0024】参考例:芳香族アラミドパルプの表面処理 0.95kgのトワロン1099〔商品名、日本アラミ
ド(有)ポリフェニレンテレフタルアミドパルプ(BE
T法による比表面積11.4m2 /g、JIS P−8
121による濾水度は350ml)〕を200リットル
の反応槽中でイオン交換水100リットルに分散させ
た。この分散液を撹拌しながら、65℃で130時間加
熱処理しエポキシ当量を270g/eqにしたポリグリ
シジル型エポキシエマルジョン分散液(竹本油脂(株)
製、商品名:ANS−1006)313gを2分間で滴
下し、30分間室温で撹拌を続けた。ついで濾別した
後、含水率が約50重量%になるまで脱水して、グリシ
ジル基の一部を加水分解したエポキシ樹脂により表面処
理された含水アラミドパルプを得た。次にパルプを50
℃で含水率が6%になるまで乾燥させ、ユニバーサルミ
キサーEM25B型(月島機械(株)製)により予備開
繊を行った後、シングルトラックジェットミルSTJ−
200型(セイシン企業(株)製)で本開繊を行い、含
水率が5%の表面処理パルプ−Aを得た。該パルプのB
ET法による比表面積は10.4m2/g、JIS P
−8121による濾水度は350mlであった。さら
に、トワロン1099のかわりにトワロン1097〔商
品名、日本アラミド(有)ポリフェニレンテレフタルア
ミドパルプ(BET法による比表面積6.5m2 /g、
JIS P−8121による濾水度は550ml)〕を
用いて同様の処理を行い、表面処理パルプ−Bを得た。
該パルプのBET法による比表面積は6.0m2 /g、
JIS P−8121による濾水度は550mlであっ
た。
【0025】実施例1〜11、比較例1〜6 エポキシ樹脂としてo−クレゾールノボラックのグリシ
ジルエーテル(商品名スミエポキシESCN-195、住友化学
工業(株)製、エポキシ当量195g/eq、加水分解性塩
素含量330 ppm )及び硬化剤としてフェノールノボラッ
ク(商品名 PSM-4261 、群栄化学(株)製、OH当量10
6g/eq)、硬化促進剤としてトリフェニルフォスフィ
ン、パルプとして参考例で得られた表面処理パルプ、無
機充填材として破砕状溶融シリカ(商品名FS-891、電気
化学工業(株)製)、球状溶融シリカ(商品名FB-74 、
電気化学工業(株)製)、離型剤としてカルナバワック
ス、カップリング剤(商品名SH-6040 、東レダウコーニ
ングシリコーン製)を表1及び表2に示した量(g )で
配合し、ロールで加熱混練し、トランスファー成形を行
った。さらに、180 ℃オーブン中で、5 時間ポストキュ
アーを行い、硬化成形物を得た。混練物、硬化成形物の
物性を表1及び表2に示す。
【0026】
【表1】
【0027】
【表2】 表に示した様に、エポキシ樹脂組成物において、パルプ
の使用と無機充填材の高充填を併用することにより、パ
ルプの使用だけ、あるいは、無機充填材の高充填だけの
場合に比べて、耐ハンダクラック性の大幅な改良が達成
された。また、硬化物の熱時の衝撃強度と曲げ強度等の
バランスがよい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C08K 3/00 NKT H01L 23/29 23/31 (72)発明者 斉藤 憲明 茨城県つくば市北原6 住友化学工業株式 会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(a)分子中に2個以上のエポキシ基を有
    するエポキシ樹脂、(b)エポキシ樹脂硬化剤、(c)
    硬化促進剤、(d)パルプ、及び(e)無機充填材を必
    須成分とし、(e)成分の無機充填材の含有量が75〜94
    重量%であることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
  2. 【請求項2】(d)成分のパルプが芳香族ポリアミドパ
    ルプである請求項1記載のエポキシ樹脂組成物。
  3. 【請求項3】(d)成分のパルプのBET法で測定した
    その比表面積の値が3〜20m2 /gであり、かつ同パ
    ルプのJIS P−8121「パルプの濾水度試験方
    法」のカナダ標準型法で測定した濾水度の値が100〜
    700mlである請求項1または2記載のエポキシ樹脂
    組成物。
  4. 【請求項4】(d)成分のパルプが予めエポキシ樹脂を
    必須成分としてなる表面処理剤で表面処理されているこ
    とを特徴とする請求項1、2または3記載のエポキシ樹
    脂組成物。
  5. 【請求項5】請求項1、2、3または4記載のエポキシ
    樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特
    徴とする樹脂封止型半導体装置。
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