JPH0876848A - 電子部品の位置決め方法、およびその装置 - Google Patents

電子部品の位置決め方法、およびその装置

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JPH0876848A
JPH0876848A JP20877694A JP20877694A JPH0876848A JP H0876848 A JPH0876848 A JP H0876848A JP 20877694 A JP20877694 A JP 20877694A JP 20877694 A JP20877694 A JP 20877694A JP H0876848 A JPH0876848 A JP H0876848A
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camera
electrode
electronic component
liquid crystal
crystal panel
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Seiichi Matsukuma
清一 松隈
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Rohm Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】電子部品に位置決め専用の認識用マークを設け
ることなく、電子部品の正確な位置決めが行えるように
し、もって電子部品の製造に際しての作業工程の簡素
化、電子部品の小型化が図れるようにする。 【構成】電子部品1を所定箇所に設けられたカメラ4の
撮像領域内に配置させた後に、そのカメラ4によって少
なくとも上記電子部品1の電極形成領域の一端部側の領
域を撮像し、次いでこの撮像された電子部品1の電極形
成領域の画像データに基づいて上記複数の電極11のう
ち最端部に位置する第1電極11aの位置を求めること
により、この第1電極11aの位置とカメラ4の撮像中
心との位置ずれ寸法量を算出し、その後その算出された
寸法量の位置ずれを解消すべくその位置ずれ寸法量に対
応する寸法量だけ上記電子部品1と上記カメラ4との何
れか一方を他方に相対させて移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本願発明は、たとえば液晶パネル
などの電子部品が正常に駆動するか否かなどの検査を行
うような場合において、その電子部品を所定の位置へ正
確に位置決めするのに用いられる電子部品の位置決め方
法、およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば液晶パネルなどにおいては、そ
の製造工程が終了した段階において、測定プローブを用
いるなどして、その液晶パネルが正常に駆動するか否か
を検査することが望まれる。この場合、液晶パネルに設
けられている小ピッチ間隔の多数本の電極に対して、測
定プローブの端子を正確に接触させる必要がある。
【0003】そこで、従来では、測定プローブと液晶パ
ネルとの正確な位置合わせを行う方法として、たとえば
図8に示すように、液晶パネル1eに酸化インジウム膜
(ITO膜)によって多数本の電極11を形成する際
に、同時に認識用マークMKを液晶パネル1eの一端部
に設けていた。そして、従来では、この認識用マークM
Kを所定箇所に設置されたカメラまたは光学センサCに
よって検知させることにより、液晶パネル1eを所定箇
所に位置決めし、測定プローブとの接触を行わせるよう
にしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、認識用マークMKを液晶パネル1eに設
ける必要があるために、このマークMKを設ける作業工
程分だけ液晶パネル1eの製造工程が煩雑化するという
難点があった。
【0005】また、認識用マークMKを設けるためのス
ペースを液晶パネル1eに確保する必要があるために、
液晶パネル1eがそれだけ大型化するという難点も生じ
ていた。とくに、認識用マークMKを電極11と同一の
ITO膜で形成するような場合においては、液晶パネル
1eが静電気による悪影響を受けることを回避するため
に認識用マークMKをできる限り電極11から遠ざける
必要があり、認識用マークMKと電極11との距離Sを
大きくする必要がある。したがって、液晶パネル1eの
大型化が一層顕著となっていた。
【0006】さらに、上記認識用マークMKは、液晶パ
ネル1eの大型化をできる限り抑制することを目的とし
て、ガラス基板13の端部に設けられているのが通例で
ある。ところが、これではガラス基板13の端部に割れ
や欠けなどが発生した場合には、もはやその認識用マー
クMKを認識することすら不可能となり、正確な位置合
わせ作業が行えなくなるという難点も生じていた。
【0007】本願発明は、このような事情のもとで考え
出されたものであって、電子部品に位置決め専用の認識
用マークを設けることなく、電子部品の正確な位置決め
が行えるようにし、もって電子部品の製造に際しての作
業工程の簡素化、電子部品の小型化が図れるようにする
ことをその課題としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願発明は、電子部品に
設けられている電極に着目し、電極形成領域のうち最端
部に位置する電極を位置決めの基準として利用すること
により、認識用マークを用いることなく、電子部品の位
置決めを行わせるという従来には見られない新規な発想
の下に発明されたものである。すなわち、上記の課題を
解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じて
いる。
【0009】本願の請求項1に記載の発明は、電子部品
を所定箇所に設けられたカメラの撮像領域内へ配置させ
た後に、そのカメラによって少なくとも上記電子部品の
電極形成領域の一端部側の領域を撮像し、次いでこの撮
像された画像データに基づいて上記電子部品の電極形成
領域のうち最端部に位置する第1電極の位置を求めるこ
とにより、この第1電極の位置とカメラの撮像中心との
位置ずれ寸法量を算出し、その後その算出された寸法量
の位置ずれを解消すべくその位置ずれ寸法量に対応する
寸法量だけ上記電子部品と上記カメラとの何れか一方を
他方に相対させて移動させることを特徴としている。
【0010】本願の請求項2に記載の発明は、上記請求
項1に記載の電子部品の位置決め方法において、上記電
子部品の検査を行うための測定プローブが、上記カメラ
を支持する移動テーブルに取付けられており、上記カメ
ラの撮像中心と上記電子部品の第1電極との位置ずれを
解消させた後には、上記測定プローブの最端部の端子を
上記第1電極に位置合わせすべく上記移動テーブルを所
定寸法量だけ移動させることを特徴としている。
【0011】本願の請求項3に記載の発明は、上記請求
項1に記載の電子部品の位置決め方法を実施するための
電子部品の位置決め装置であって、電子部品をカメラの
撮像領域内へ移送して配置する移送手段と、少なくとも
この移送手段と同一方向に沿って往復動自在に設けら
れ、かつ上記カメラを支持する移動テーブルと、上記カ
メラによって撮像された電子部品の電極形成領域の画像
データに基づいてその電極形成領域の最端部に位置する
第1電極の位置を求めるとともに、この第1電極の位置
とカメラの撮像中心との位置ずれ寸法量を算出する画像
データ処理手段とを備えていることを特徴としている。
【0012】
【発明の作用および効果】上記請求項1に記載の発明に
おいては、電子部品の電極形成領域をカメラによって撮
像し、その画像データに基づいて電子部品の最端部に位
置する第1電極の位置とカメラの撮像中心との位置ずれ
寸法量を算出し、その後その算出された寸法量の位置ず
れを解消すべくその位置ずれ寸法量に対応する寸法量だ
け上記電子部品と上記カメラとのいずれか一方を他方に
相対させて移動させるために、カメラの撮像位置を基準
として、電子部品の第1電極の位置を正確に位置決めで
きることとなる。
【0013】すなわち、上記一連の方法によれば、従来
とは異なり、認識用マークを電子部品に設けることな
く、電子部品とカメラとの相対的な位置決めが行える結
果、電子部品を所望の位置へ正確に位置決めすることが
できることとなる。したがって、電子部品の製造過程に
おいて認識用マークを設ける作業工程を行う必要がなく
なり、電子部品の製造作業が簡素化でき、また電子部品
に認識用マークを設けるスペースを確保する必要もなく
なるため、電子部品の小型化も図れるという格別な効果
が得られる。
【0014】さらに、電子部品に形成された第1電極を
位置決めの基準としているために、従来の認識用マーク
とは異なり、電子部品の一端部に割れや欠けなどが多少
発生した場合であっても、これらに原因して第1電極の
認識が直ちに不可能となるようなことはない。したがっ
て、従来とは異なり、電子部品の僅かな損傷に原因して
電子部品の位置決めが困難になるといったことも極力防
止できるという効果も得られる。
【0015】請求項2に記載の発明においては、カメラ
の撮像中心と電子部品の第1電極との位置ずれを解消さ
せた後に、カメラを支持する移動テーブルを移動させる
ことにより、この移動テーブルに別途取付けられている
測定プローブの最端部の端子を上記電子部品の第1電極
に位置合わせすることができる。したがって、測定プロ
ーブを用いての電子部品の検査を適切に行うことができ
るという効果が得られる。
【0016】請求項3に記載の発明においては、所定の
電子部品を移送手段によってカメラの撮像領域内へ移送
し、停止させた後に、このカメラによってその電子部品
の電極形成領域の画像を撮像することができる。また、
画像データ処理手段では、上記撮像によって得られた画
像データに基づき、電子部品の第1電極の位置を求めて
から、この第1電極の位置とカメラの撮像中心との位置
ずれ寸法量を算出させることができる。そして、この位
置ずれは、たとえば電子部品を停止させた状態におい
て、上記カメラを支持する移動テーブルを、上記画像デ
ータ処理部によって算出された位置ずれ寸法量だけ所定
方向へ移動させることにより解消することができ、これ
によって電子部品とカメラとの相対的な位置決めが図れ
ることとなる。したがって、上記請求項1に記載の電子
部品の位置決め方法を適切に実施できることとなる。
【0017】
【実施例の説明】以下、本願発明の好ましい実施例を、
図面を参照しつつ具体的に説明する。
【0018】図1は本願発明に係る電子部品の位置決め
装置全体の概略構成を示す平面図、図2はその要部斜視
図、図3はその回路構成の一例を示すブロック図であ
る。
【0019】図1に示す位置決め装置は、電子部品の一
例としての液晶パネル1を矢印aの一定方向に沿って移
送させるための移送コンベア2、この移送コンベア2の
左右両側に設けられた一対の移動テーブル3,3a、こ
れら一対の移動テーブル3,3aのうち一方の移動テー
ブル3に取付けられたカメラ4、および液晶パネル1の
一端面12を検知するための端面検知センサ5などを具
備して構成されている。また、上記一対の移動テーブル
3,3aの双方には測定プローブ6,6aも取付けられ
ている。さらに、図2に示すように、上記カメラ4には
画像データ処理部7が接続されている他、この画像デー
タ処理部7にはこの位置決め装置の各部の動作制御を行
うためのコントローラ8も接続されている。
【0020】図1において、上記移送コンベア2は、液
晶パネル1の左右両側面部10a,10bをその両側か
ら挟み付ける2条のベルト20a,20bと、これら各
ベルト20a,20bを循環駆動させるための複数のプ
ーリー21とから構成されている。このうち、一方のベ
ルト20bや移動テーブル3aが設けられている基台2
2bは、一点鎖線に示すように矢印b方向に沿って移動
調整自在であり、この基台22bを固定側の他方の基台
22a側に対して移動させることにより、2条のベルト
20a,20b間の幅Wを幅W1に拡大させることがで
きる。したがって、上記移送コンベア2では、液晶パネ
ル1のサイズに対応させて、そのベルト20a,20b
間の幅を任意に増減変更自在である。
【0021】上記一対の移動テーブル3,3aは、いず
れも上記液晶パネル1の移送方向と同方向に沿うX方向
と、これに直交するY方向に沿って移動自在である。す
なわち、図2に示すように、一方の移動テーブル3は、
X方向とY方向との各方向に移動ガイドを行うためのス
ライドテーブル30a,30b上に載設されており、
X,Yの両方向へ往復動自在である。また、他方の移動
テーブル3aについてもこれと同様な構成である。
【0022】上記カメラ4は、移動テーブル3に取付け
られた支持杆31および支持アーム32によって支持さ
れ、液晶パネル1の移送経路の直上に位置するように配
置されている。このカメラ4としては、たとえばCCD
カメラが適用され、その下方には、同軸落射照明部40
や光学レンズ41が取付けられている。同軸落射照明部
40では、その光源から液晶パネル1に対して光の照射
を行うと、その反射光が入射光と同軸となるように反射
し、これが光学レンズ41によって集光されてカメラ4
に入射するようになっている。また、このカメラ4の下
方には、液晶パネル1の電極11を拡大して撮像するた
めの顕微鏡(図示略)も具備されている。
【0023】上記画像データ処理部7は、図3に示すよ
うに、上記カメラ4から出力されるアナログの画信号
(階調信号)をデジタル信号に変換するA/Dコンバー
タ70や、このデジタル信号に変換された各画素(ドッ
ト)の信号を白または黒のいずれかの画像データ信号と
して2値化処理する2値化回路71を具備している。ま
た、この画像データ処理部7は、それら以外として、パ
ターンマッチング回路72や、位置ずれ量算出部73な
ども具備している。
【0024】上記パターンマッチング回路72は、カメ
ラ4によって撮像された液晶パネル1の画像データのう
ち、液晶パネル1の最端部に位置する第1電極11aの
中心座標を求めるための回路である。これを具体的に説
明すると、まず液晶パネル1に形成されている複数の電
極11のうち、たとえば最右端(移送方向に対しては最
前端)に位置する第1電極11aとその隣りに位置する
2番目の電極11bがカメラ4によって撮像されると、
図4(a)に示すような画像データが得られる。この場
合、電極11a,11bは白色の画像領域W1,W2と
なり、それ以外のガラス板の領域は黒色となる(ただ
し、図4では便宜上、白色領域をクロスハッチングで示
している)。
【0025】一方、各電極11のサイズは予め判明して
おり、このパターンマッチング回路72には、図4
(b)に示すような、1つの電極11の画像に相当する
画像データG1が予めそのメモリに格納されており、こ
の画像データG1を図4(a)で示した画像データにマ
ッチングさせる処理を行う。すなわち、このパターンマ
ッチング回路72では、上記画像データG1の中心O
を、図4(c)に示すように、座標O1,O2,O3〜
Onの順序で順次変化させてゆく。そして、図4(b)
で示した画像データG1の白黒データの配置が、図4
(a)で示す画像領域W1と一致すれば、その位置が第
1電極11aの画像領域であると判断する。
【0026】上記位置ずれ量算出部73は、上記パター
ンマッチング回路72によるパターンマッチングの結果
から、図4(a)に示すように、第1電極11aの画像
W1の中心座標Obがカメラ4の撮像中心Oaに対して
位置ずれしている寸法量L(実際の寸法量)を算出する
ものである。
【0027】なお、上記したパターンマッチング処理
は、液晶パネル1の第1電極11aをカメラ4によって
適切に撮像できている場合には、1回のパターンマッチ
ング処理で十分であるが、電極11の相互間のピッチは
微小であるため、必ずしも上記第1電極11aをカメラ
4によって常に適切に撮像できるとは限らない。すなわ
ち、たとえば図5(a)に示すように、第1電極11a
の画像W1が、撮像領域Fよりも右側にはみ出しを生じ
るような場合がある。この場合には、2番目の電極11
bの画像W2を第1電極11aの画像として誤認する虞
れがある。
【0028】したがって、パターンマッチング回路72
によって1通りのパターンマッチングが終了した後に
は、カメラ4を右側へ一定寸法だけ移動させ、再度パタ
ーンマッチング処理を行うことが望まれる。カメラ4の
移動により、たとえば図5(b)に示すように、第1電
極11aの画像W1を撮像領域F内に配置させることが
でき、撮像中心Oaに対する第1電極1aの画像W1の
中心Obの位置ずれ量Lを正確に求めることが可能とな
る。
【0029】上記コントローラ8は、マイクロコンピュ
ータなどで構成されたものであり、上記位置ずれ量算出
部73で算出された位置ずれ量Lのデータや、端面検知
センサ5からの入力信号などに基づき、この位置決め装
置の各部の動作制御を実行するものである。
【0030】具体的には、まずこのコントローラ8は、
移送コンベア2によって移送される液晶パネル1の第1
電極11aをカメラ4の撮像領域内に配置させるように
移送コンベア2の動作制御を行う。すなわち、カメラ4
よりも移送コンベア2の上流側に配置された端面検知セ
ンサ5によって液晶パネル1の一端面12が検知される
と、その検知信号の受信後に液晶パネル1を一定の距離
だけ移送させてから移送コンベア2を停止させる制御を
行う。この制御は、移送コンベア2の駆動制御を行う移
送コンベア駆動制御部23に制御信号を送出することに
よって行われる。端面検知センサ5とカメラ4との相互
間の寸法は固定され、また液晶パネル1の一端面12か
ら第1電極11aまでの距離も予め判明しているため
に、上記した制御によって、カメラ4の撮像領域内へほ
ぼ正確に第1電極11aを配置させることが可能であ
る。ただし、液晶パネル1の一端面12に割れや欠けな
どが存在する場合があるために、必ずしも第1電極11
aの中心をカメラ4の撮像中心に正確に一致させること
はできない。
【0031】次いで、上記コントローラ8は、カメラ4
や画像データ処理部7を作動させることにより、カメラ
4で撮像された画像データに基づき、液晶パネル1の第
1電極11aの中心Obと撮像中心Oaとの位置ずれ寸
法量Lを算出させる。そして、この位置ずれ寸法量Lの
データを位置ずれ量算出部73から受信すると、その後
移動テーブル3を上記位置ずれ寸法量Lと同一寸法量だ
け、上記第1電極11aの位置ずれ方向と同一方向へ移
動させる。この制御は、移動テーブル3をX,Y方向に
移動させるための移動テーブル動作制御部61に制御信
号を送信することにより行われる。
【0032】さらに、上記コントローラ8は、その後測
定プローブ6の最端部の端子60aを液晶パネル1の第
1電極11aの直上へ配置させるように、移動テーブル
3をなおも一定寸法だけX方向に沿って移動させる制御
を行う。この場合の移動テーブル3の移動寸法量は、カ
メラ4の撮像中心位置から測定プローブ6の最端部に位
置する端子60aの中心位置までの距離である。次い
で、コントローラ8は、その後測定プローブ6の昇降動
作を行わせるための測定プローブ動作制御部63に制御
信号を送信する。これにより、図2に示すように、測定
プローブ6を支持する支持杆62が下降し、測定プロー
ブ6の先端部の下面側に設けられている各端子60を液
晶パネル1の各電極11に対して導通接触させることが
できる。
【0033】なお、上記説明では、一対の移動テーブル
3,3aのうち、他方の移動テーブル3aについての説
明は省略しているが、この他方側の移動テーブル3a
は、たとえば図6に示すように、ガラス基板13Aの左
右両側縁に、電極11,11Aを各々一連に形成したタ
イプの液晶パネル1Aを位置決め対象とする場合に用い
られるものである。すなわち、図1に示すように、移動
テーブル3aには、上記電極11Aに接触させるための
端子60Aを備えた測定プローブ6aが設けられてお
り、この測定プローブ6aを用いて液晶パネル1Aの検
査を行うときにのみ用いられる。上記液晶パネル1Aで
は、一対の電極11,11Aは同時に印刷形成され、電
極11,11Aの相互間に位置ずれがないのが一般的で
あるから、この他方の移動テーブル3aの位置決め制御
については、一方の移動テーブル3と同一動作を行わせ
ればよい。
【0034】次に、上記した電子部品の位置決め装置を
用いた場合についての本願発明に係る電子部品の位置決
め方法の一例について説明する。
【0035】まず、図1において、移送コンベア2に液
晶パネル1を供給し、矢印a方向に移送させる。する
と、この液晶パネル1の前面側の一端面12が端面検知
センサ5によって検知され、その後移送コンベア2は一
定寸法だけ液晶パネル1を移送してからコントローラ8
の制御により停止する。これにより、液晶パネル1に形
成された複数の電極11の形成領域うち第1電極11a
を含む一端側の領域をカメラ4の撮像領域内に配置させ
ることができる。
【0036】次いで、上記移送コンベア2を停止させた
状態において、カメラ4で上記液晶パネル1の第1電極
11aの周辺部を撮像させ、これによって得られた画像
データを画像データ処理部7で処理させる。この画像デ
ータ処理部7では、上記図4で説明したパターンマッチ
ング処理によって第1電極11aの画像W1の中心Ob
が求められ、さらにこの中心Obと撮像中心Oaとの位
置ずれ寸法量Lも算出される。この位置ずれ寸法量L
は、カメラ4の中心に対する第1電極11aの偏心量で
ある。
【0037】なお、第1電極11aの位置ずれについて
は、X方向のみならず、Y方向への位置ずれも考えられ
るが、液晶パネル1はその左右両側面10a,10bが
2条のベルト20a,20bによって挟まれ、Y方向へ
の位置ずれが極力防止されたかたちで移送されているた
め、実際上はY方向への位置ずれを無視することが可能
である。
【0038】上記のようにして、第1電極11aの位置
ずれ寸法量Lが求められると、コントローラ8は、その
位置ずれ方向と同一方向へその位置ずれ寸法量Lと同一
寸法だけ移動テーブル3を移動させる。これにより、第
1電極11aとカメラ4とはその中心どうしが互いに一
致する。そして、その後コントローラ8は、カメラ4の
中心から測定プローブ6の最端部の端子60aまでの寸
法Laだけ移動テーブル3を矢印X1方向へ移動させ
る。これにより、図7に示すように、測定プローブ6の
最端部の端子60aを液晶パネル1の第1電極11aに
正確に一致させることができ、測定プローブ6の各端子
60を各電極11に対して精度よく位置合わせすること
ができる。
【0039】なお、上記の位置合わせ作業に際しては、
移動テーブル3は停止させたままとし、液晶パネル1側
を移送させることにより位置合わせする方法を適用して
もよい。
【0040】上記の位置合わせが終了した後には、上記
測定プローブ6を下降させ、その端子60を液晶パネル
1の各電極11に導通接触させ、測定プローブ6から液
晶パネル1への電力供給を行わせる。これにより、液晶
パネル1が正常に作動するか否かの確認が行えることと
なる。
【0041】また、上記確認作業が終了した後には、移
動テーブル3を図1に示した元通りの位置へ復帰させ、
上記した一連の作業を繰り返して行えばよい。このよう
に、液晶パネル1に位置決め専用の認識用マークを設け
ていなくても、多数の液晶パネル1の位置決め作業と作
動の確認作業とを正確に、かつ能率よく行うことが可能
である。
【0042】なお、上記実施例では、測定プローブ6を
用いて液晶パネル1の作動の確認作業を行う場合を一例
として説明したが(請求項2に対応)、本願発明はこれ
に限定されない。たとえば液晶パネル1のガラス基板の
測定検査などを行う用途などに本願発明に係る位置決め
方法を採用することも可能である。
【0043】また、上記実施例では、電子部品の一例と
して液晶パネルを具体例として説明したが、やはり本願
発明はこれに限定されない。本願発明においては、たと
えば液晶パネル以外の表示素子や、各種電子回路用の素
子など、カメラによって撮像できる箇所に電極が形成さ
れている電子部品であれば、種々の電子部品の位置決め
用途に適用することが可能である。
【0044】その他、本願発明に係る電子部品の位置決
め方法の各工程は種々に変更自在であり、さらに本願発
明に係る電子部品の位置決め装置の各部の具体的な構成
も種々に設計変更自在である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明に係る電子部品の位置決め装置の全体
構成の一例を示す概略平面図。
【図2】図1に示す電子部品の位置決め装置の要部の構
成を示す斜視図。
【図3】図1に示す電子部品の位置決め装置の回路構成
の一例を示すブロック図。
【図4】(a)〜(c)はカメラで撮像された画像デー
タのパターンマッチング処理の一例を示す説明図。
【図5】(a),(b)はパターンマッチング処理の他
の例を示す説明図。
【図6】液晶パネルの他の例を示す概略斜視図。
【図7】図1に示す電子部品の位置決め装置の動作状態
を示す概略平面図。
【図8】従来の電子部品の位置決め方法の一例を示す斜
視図。
【符号の説明】
1,1A 液晶パネル(電子部品) 2 移送コンベア 3,3a 移動テーブル 4 カメラ 5 端面検知センサ 6,6a 測定プローブ 7 画像データ処理部 8 コントローラ 11 電極 11a 第1電極 60 端子(測定プローブの) 60a 端子(測定プローブの最端部の)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品を所定箇所に設けられたカメラ
    の撮像領域内へ配置させた後に、そのカメラによって少
    なくとも上記電子部品の電極形成領域の一端部側の領域
    を撮像し、 次いでこの撮像された画像データに基づいて上記電子部
    品の電極形成領域のうち最端部に位置する第1電極の位
    置を求めることにより、この第1電極の位置とカメラの
    撮像中心との位置ずれ寸法量を算出し、 その後その算出された寸法量の位置ずれを解消すべくそ
    の位置ずれ寸法量に対応する寸法量だけ上記電子部品と
    上記カメラとの何れか一方を他方に相対させて移動させ
    ることを特徴とする、電子部品の位置決め方法。
  2. 【請求項2】 上記電子部品の検査を行うための測定プ
    ローブが、上記カメラを支持する移動テーブルに取付け
    られており、 上記カメラの撮像中心と上記電子部品の第1電極との位
    置ずれを解消させた後には、上記測定プローブの最端部
    の端子を上記第1電極に位置合わせすべく上記移動テー
    ブルを所定寸法量だけ移動させることを特徴とする、請
    求項1に記載の電子部品の位置決め方法。
  3. 【請求項3】 電子部品をカメラの撮像領域内へ移送し
    て配置する移送手段と、 少なくともこの移送手段と同一方向に沿って往復動自在
    に設けられ、かつ上記カメラを支持する移動テーブル
    と、 上記カメラによって撮像された電子部品の電極形成領域
    の画像データに基づいてその電極形成領域の最端部に位
    置する第1電極の位置を求めるとともに、この第1電極
    の位置とカメラの撮像中心との位置ずれ寸法量を算出す
    る画像データ処理手段とを備えていることを特徴とす
    る、電子部品の位置決め装置。
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