JPH0874072A - エッチング方法、エッチング装置及び剥膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小さい設置空間で素材の主面に形成された被
膜を短時間で剥離できるようにする。 【構成】 エッチング装置は、所定のパターンを有する
被膜が形成された素材１０の主面にエッチング液を供給
するエッチング液供給手段１３と、エッチング液が供給
された素材１０の主面に剥膜液として水を高圧で吹き付
ける剥膜液吹付手段（剥膜装置）１５と、剥膜処理後に
素材１０に純水を吹き付ける純水吹付手段１６とを備え
ている。剥膜装置１５では、エッチング装液供給手段１
３でエッチング液が供給された素材１０に５０〜２００
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧力で高圧噴射ノズルから水を素材１
０の表裏面に噴射する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、所定のパターンを有す
る被膜が形成された素材をエッチング液によりエッチン
グした後、主面に形成された被膜を剥離するエッチング
方法、エッチング装置及び素材の主面に形成された所定
のパターンを有する被膜を剥離する剥膜装置に関し、特
にカラーブラウン管に用いられるシャドウマスク、トリ
ニトロン管（登録商標）に用いられるアパーチャグリ
ル、半導体素子に用いられるリードフレーム等を製造す
る際に用いられる、エッチング方法、エッチング装置及
び剥膜装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にシャドウマスクやアパーチャグリ
ルは、長尺の素材をその長手方向に搬送しつつ、以下の
工程を経ることによって形成される。まず、ニッケルを
３６％含有するインバー材や低炭素アルミキルド鋼等の
素材を脱脂し、水洗して整面した後、素材の両主面に水
溶性のレジストを塗布し、厚みが数μｍレジスト膜を形
成する。次に、素材の両主面に形成されたレジスト膜の
表面に、形成しようとする電子ビーム通過用の透孔に対
応した所定の画像を有するマスク材を、素材の両主面で
画像位置に一致させてそれぞれ密着させ露光を行う。続
いて、露光後のレジスト膜に温水等を供給することによ
り現像を行う。その後、素材を無水クロム酸の溶液中に
浸漬させた後に加熱処理を施し、レジスト膜を乾燥させ
て強化させるバーニング処理を行う。そして、バーニン
グ処理された素材は、いったん、ロール状に巻き取ら
れ、エッチングラインに搬送される。エッチングライン
では、エッチング液である塩化第２鉄溶液を素材に吹き
付けて多数の透孔を形成するエッチング液供給工程と、
エッチング液供給工程の後に両主面にレジスト膜が形成
された素材を剥膜液に浸漬させる剥膜液浸漬工程とを行
う。

【０００３】また、高精密なアパーチャグリルまたはシ
ャドウマスクを製造する場合には、エッチング液供給工
程を２つの工程に分けて行う。第１のエッチング液供給
工程では、素材の主面にエッチング液を吹き付け、素材
を貫通しない程度の凹部を多数形成する。この後、凹部
を有する主面に樹脂等を塗布することにより、耐エッチ
ング性被膜を形成する。そして、耐エッチング性被膜が
形成されていない主面にエッチング液を吹き付ける第２
のエッチング液供給工程を行い、素材を貫通した多数の
透孔を形成する。透孔を形成した後、両主面にレジスト
膜または耐エッチング性被膜等がそれぞれ形成された素
材を剥膜液に浸漬させる剥膜液浸漬工程を行う。

【０００４】上述の剥膜液浸漬工程では、長尺帯状の素
材をその長手方向に搬送しつつ、複数の剥膜槽（たとえ
ば４つの剥膜槽）に貯留された剥膜液に順次浸漬させる
ことにより、素材の主面に形成された被膜を主面から剥
離する剥膜方法が用いられる。この剥膜液は、たとえば
濃度が５〜３０％程度の水酸化ナトリウム溶液等のアル
カリ溶液に添加剤を混合して調整したものである。

【０００５】一般にエッチング液供給工程において用い
られるエッチング液供給装置の素材の搬送方向における
装置寸法は、短時間で透孔を形成するために、素材にエ
ッチグ液を吹き付けるエッチングチャンバーを素材の搬
送方向に複数（たとえば８つ）設けているので比較的長
くなる。しかしながら、剥膜液浸漬工程において用いら
れる剥膜液浸漬装置の装置寸法は、エッチングラインに
用いられる装置の全体の装置寸法を短くするために、エ
ッチング液供給装置よりも短くなっている。このため、
長尺の素材をその長手方向に搬送しつつエッチング液供
給工程と剥膜液浸漬工程とを連続して行う場合、剥膜液
浸漬工程に必要な処理時間がエッチング液供給工程に必
要な処理時間より長くなる。前述のような事情により、
エッチングラインにおける素材の搬送速度は、剥膜浸漬
工程の処理時間によって決定される。したがって、エッ
チング液供給工程において、素材の搬送速度を上げる能
力があっても、剥膜液浸漬工程のためにエッチングライ
ンでの素材の搬送速度を上げられず、製品の生産量を増
やすことができない。

【０００６】また、剥膜液浸漬装置は、充分に被膜を剥
離するために剥膜液を貯溜する剥膜槽を複数（たとえば
４つ）設け、素材をその長手方向に搬送させつつそれぞ
れの剥膜僧に貯溜された剥膜液に浸漬させるように構成
されているので、剥膜装置の設置空間が大きくなる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述のような点に鑑
み、本発明の目的は、素材の主面に形成された被膜を短
時間で剥離することにより、製品の生産量を増やすこと
が可能なエッチング方法を提供することにある。本発明
の別の目的は、上述のエッチング方法を容易に実現する
ことが可能なエッチング装置を提供することにある。

【０００８】本発明のさらに別の目的は、素材の主面に
形成された被膜を小さい設置空間で充分に剥離すること
が可能な剥膜装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のエッチン
グ方法は、所定のパターンを有する被膜が形成された素
材の主面にエッチング液を供給するエッチング液供給工
程と、エッチング液が供給された素材の主面に剥膜液を
高圧で吹き付ける剥膜液吹付工程とを有することを特徴
とする。

【００１０】請求項２記載のエッチング方法は、請求項
１記載のエッチング方法において、エッチング液供給工
程と剥膜液吹付工程との間に、素材にアルカリ液を供給
するアルカリ液供給工程をさらに含むことを特徴とす
る。請求項３記載のエッチング方法は、請求項１または
請求項２記載のエッチング方法において、剥膜液吹付工
程後に素材に純水を吹き付ける純水吹付工程をさらに含
むことを特徴とする。

【００１１】請求項４記載のエッチング装置は、所定の
パターンを有する被膜が形成された素材の主面にエッチ
ング液を供給するエッチング液供給手段と、エッチング
液が供給された素材の主面に剥膜液を高圧で吹き付ける
剥膜液吹付手段とを有することを特徴とする。請求項５
記載のエッチング装置は、請求項４記載のエッチング装
置において、剥膜液を吹き付けられるべき素材の主面に
アルカリ液を供給するアルカリ液供給手段をさらに備え
ていることを特徴とする。

【００１２】請求項６記載のエッチング装置は、請求項
４または請求項５記載のエッチング装置において、剥膜
液が吹き付けられた素材の主面に純水を吹き付ける純水
吹付手段をさらに備えていることを特徴とする。請求項
７記載の剥膜装置は、長尺の素材をその長手方向に搬送
させつつ、素材の両主面に形成された所定のパターンを
有する被膜を剥離する剥膜装置において、素材の一方の
主面である第１主面に接して素材を支持する第１支持手
段と、素材の他方の主面である第２主面に接して素材を
支持する第２支持手段と、第１支持手段に支持された素
材の第２主面に向けて高圧で剥膜液を噴射する第１噴射
手段と、第２支持手段に支持された素材の第１主面に向
けて高圧で剥膜液を噴射する第２噴射手段とを有するこ
とを特徴とする。

【００１３】請求項８記載の剥膜装置は、請求項７記載
の剥膜装置において、第１支持手段及び第２支持手段は
それぞれ回転自在な第１ローラ及び第２ローラからな
り、第１ローラ及び第２ローラが長尺の素材をＳ字状に
折り曲げるようそれぞれ配置されていることを特徴とす
る。請求項９記載の剥膜装置は、請求項８記載の剥膜装
置において、第１ローラ及び第２ローラがそれぞれ素材
に素材の搬送方向と直交する方向に張力を付与するよう
に湾曲した湾曲ローラであることを特徴とする。

【００１４】請求項１０記載の剥膜装置は、請求項７か
ら請求項９のいずれかに記載の剥膜装置において、第１
支持手段及び第２支持手段の周囲に設けられ、第１噴射
手段及び第２噴射手段より噴射された剥膜液の飛散を防
止する飛散防止カバーをさらに備えていることを特徴と
する。

【００１５】

【作用】請求項１記載のエッチング方法では、主面に被
膜が形成された素材は、エッチング液が供給されて凹部
や穴が形成される。次に素材の主面に形成された被膜
は、剥膜液が高圧で吹き付けられることにより素材の主
面から剥離される。請求項２記載のエッチング方法で
は、素材の主面に形成された被膜は、エッチング液供給
工程と剥膜液吹付工程との間でアルカリ液を供給される
ことにより膨潤させられる。

【００１６】請求項３記載のエッチング方法では、素材
の主面は、剥膜工程後に純水を吹き付けられることによ
り洗浄される。請求項４記載のエッチング装置では、主
面に被膜が形成された素材は、エッチング液供給手段に
よりエッチング液が供給されて凹部や穴が形成される。
次に素材の主面に形成された被膜は、剥膜液吹付手段に
より剥膜液が高圧で吹き付けられて素材の主面から剥離
させられる。

【００１７】請求項５記載のエッチング装置では、エッ
チング液が供給された後の被膜は、アルカリ液供給手段
によりアルカリ液を供給されて膨潤させられる。請求項
６記載のエッチング装置では、被膜を剥離された素材の
主面は、純水吹付手段により純水を吹き付けられて洗浄
される。請求項７記載の剥膜装置では、第２支持手段に
支持された素材の一方の主面である第１主面に形成され
た被膜は、第１噴射手段から高圧で第１主面に向けて噴
射された剥膜液により剥離されるとともに、第１支持手
段に支持された素材の他方の主面である第２主面に形成
された被膜は、第２噴射手段から高圧で第２主面に向け
て噴射された剥膜液により剥離される。

【００１８】請求項８記載の剥膜装置では、素材は、回
転自在な第１ローラ及び第２ローラにより、Ｓ字状に折
り曲げられるように搬送される。請求項９記載の剥膜装
置では、素材は、湾曲ローラにより、素材の搬送方向と
直交する方向に張力を付与される。請求項１０記載の剥
膜装置では、第１噴射手段及び第２噴射手段より噴射さ
れた剥膜液は、第１支持手段及び第２支持手段の周囲に
設けられた飛散防止カバーにより、飛散することを防止
される。

【００１９】

【実施例】図１は、本発明のシャドウマスクやアパーチ
ャグリルを製造する際に用いられるエッチング装置の一
実施例を示す模式図である。図１において、エッチング
液供給手段１３は、インバー材よりなる板厚０．１〜
０．３ｍｍの長尺の素材１０にスプレーノズル１２によ
りエッチング液である塩化第２鉄溶液１１を吹き付けて
透孔を形成するものである。エッチング液除去手段１４
は、素材１０の主面に吹付手段（図示せず）により水を
吹き付けて、素材１０の主面に付着したエッチング液を
除去する。アルカリ液供給手段３０は、素材１０の両主
面にそれぞれ形成されたレジスト膜または耐エッチング
性被膜等の被膜（図示せず）にアルカリ液を供給するも
のである。剥膜液吹付手段（剥膜装置）１５は、主面に
被膜が形成された素材１０に高圧で剥膜液を吹き付けて
被膜を剥離させるものである。純水吹付手段１６は、剥
膜後の素材１０の主面に純水を吹き付けて、剥離された
後再び主面に付着した被膜等を除去して主面を洗浄する
ものである。

【００２０】次に、図２を用いて上述のアルカリ液供給
手段、剥膜液吹付手段（剥膜装置）及び純水吹付手段の
構成について説明する。図２は、本実施例のアルカリ液
供給手段、剥膜液吹付手段（剥膜装置）及び純水吹付手
段を示す断面模式図である。図２において、アルカリ液
供給手段は、液槽３２とステンレスローラ３３，３４，
３５により構成されている。液槽３２は、水酸化ナトリ
ウム水溶液に添加剤を加えたアルカリ液１６を貯溜する
ものである。ステンレスローラ３３，３４，３５は、素
材１０をアルカリ液１６の内部に正確に導くために、液
槽３２内及び液槽３２の上方に側面視Ｖ字状に設けられ
ている。

【００２１】第１主面剥膜部３６は、素材１０の一方の
主面である第１主面Ｆに形成された被膜を剥離するもの
である。第２主面剥膜部３７は、素材１０の他方の主面
である第２主面Ｓに形成された被膜を剥離するものであ
る。湾曲ローラ４０は、素材１０の第２主面Ｓに接して
素材１０を支持するものである。湾曲ローラ４３は、素
材１０の第１主面Ｆに接して素材１０を支持するもので
ある。また、湾曲ローラ４０，４３は、ゴム製であり、
長尺の素材１０をＳ字状に折り曲げるようにそれぞれ配
置されている。湾曲ローラ４０，４３は、図３に示すよ
うにそれぞれ素材１０に素材１０の搬送方向と直交する
方向に張力を付与するために、素材１０の中央部が膨ら
むように湾曲していて、湾曲ローラ４０，４３と同等に
湾曲して軸固定手段（図示せず）にそれぞれ固定された
ローラ軸６０，６３に対して回転自在に取り付けられて
いる。湾曲ローラ４０，４３は、素材１０が搬送されて
いるときに常に所定の湾曲状態を保ちつつ、素材１０の
搬送にしたがって従動するものである。

【００２２】第１噴射手段７１は、素材１０の幅方向に
並設され、素材１０の第１主面Ｆに向けて高圧で剥膜液
を噴射する複数の高圧噴射ノズル４１により構成されて
いる。第２噴射手段７４は、素材１０の幅方向に並設さ
れ、素材１０の第２主面Ｓに向けて高圧で剥膜液を噴射
する複数の高圧噴射ノズル４４により構成されている。

【００２３】飛散防止カバー４２，４５は、それぞれ湾
曲ローラ４０，４３の周囲に配置され、高圧噴射ノズル
４１，４４から噴射された剥離液や素材から跳ね返った
剥離液、素材の主面より剥離されて吹き飛ばされた被膜
が周囲に飛散するのを防止するものである。高圧噴射ノ
ズル４１，４４は、たとえば、ノズル径が０．７ｍｍ程
度であり、噴射角が６５°程度の扇状に剥膜液を吐出す
るスプレーノズルである。高圧噴射ノズル４１，４４
は、高圧ポンプ４６にそれぞれ接続されている。高圧ポ
ンプ４６は、たとえば、流量１〜１２リットル／ｍｉ
ｎ、圧力５０〜２５０ｋｇｆ／ｃｍ² 、好ましくは、流
量８〜１０リットル／ｍｉｎ、圧力１５０〜２００ｋｇ
ｆ／ｃｍ² 程度を発生するプランジャポンプであり、フ
ィルタ（図示せず）を介して工業用水が供給されてい
る。

【００２４】純水吹付手段１６は、側面視Ｖ字状に配置
された３本のステンレスローラ５０，５１，５２と純水
を素材１０の両主面に向けて噴射する純水噴射ノズル５
３と、純水を貯溜する純水貯溜槽５４とを有している。
純水噴射ノズル５３は、５ｋｇｆ／ｃｍ² 程度の圧力で
純水を噴射するノズルである。次に上述の実施例の動作
について説明する。

【００２５】長尺の素材１０は、その長手方向に搬送手
段（図示せず）により搬送されつつ、エッチング液供給
手段１３、エッチング液除去手段１４、アルカリ液供給
手段３０、剥膜液吹付手段（剥膜装置）１５、純水吹付
手段１６によりそれぞれ連続して処理される。主面に被
膜が形成された素材１０は、その主面にエッチング液供
給手段１３が有するスプレーノズル１２によりエッチン
グ液である塩化第２鉄溶液１１を吹き付けられて多数の
透孔が形成される。

【００２６】多数の透孔が形成された素材１０は、エッ
チング液除去手段１４によりその主面に水が吹き付けら
れて、主面に付着したエッチング液が除去される。エッ
チング液が除去された後の素材１０の主面に形成された
被膜は、アルカリ液供給手段３０によりアルカリ液１６
中に浸漬されることにより膨潤させられる。

【００２７】膨潤した被膜が形成された素材１０は、剥
膜液吹付手段（剥膜装置）１５が有する湾曲ローラ４
０，４３によりＳ字状に折り曲げられつつ、素材１０の
搬送方向に直交する方向に張力を付与されながら搬送さ
れる。そして、素材１０の第１主面Ｆ及び第２主面Ｓに
被着して膨潤した被膜は、それぞれ高圧噴射ノズル４
１，４４により高圧で剥膜液である水が吹き付けられて
剥離される。

【００２８】被膜が剥離された素材１０の第１主面Ｆ及
び第２主面Ｓは、純水吹付手段１６が有する純水噴射ノ
ズル５３により純水が吹き付けられて洗浄される。図４
に示すようなアパーチャグリル８０の多数の細長テープ
８１により画されて多数の細長透孔８２が形成された素
材を搬送する場合において、図５に示すように弛みがあ
る細長テープ８１に高圧で剥膜液を吹き付けると細長テ
ープ８１が破損してしまうという問題が発生する。しか
しながら、湾曲ローラ４０，４３を用いることにより、
素材１０は、素材１０の搬送方向に直交する方向に張力
を付与されるので、図６に示すように細長テープ８１に
弛みを生じることなく搬送できる。したがって、細長テ
ープ８１に高圧で剥膜液を吹き付けても、細長テープ８
１が破損することなく主面に形成された被膜を剥離する
ことが可能となる。

【００２９】次に、本発明のその他の実施例について説
明する。本実施例は、図１においてアルカリ液供給手段
を用いずに、主面からエッチング液が除去された素材を
直接、剥膜液吹付手段（剥膜装置）に搬送して被膜を剥
離する構成のものである。図７は、本実施例における剥
膜液吹付手段（剥膜装置）３１と純水吹付手段１６とを
示す断面模式図である。図７に示される符号と前述の実
施例に示される符号と同一の機能を有するものである。

【００３０】ただし、本実施例において、高圧噴射ノズ
ル４１，４４は、たとえば、ノズル径が０．２ｍｍ程度
であり、噴射角が６５°程度の扇状に剥膜液を吐出する
スプレーノズルである。高圧ポンプ４６は、たとえば、
流量０．３〜２．５リットル／ｍｉｎ、圧力１０００〜
２０００ｋｇｆ／ｃｍ² 、好ましくは、流量０．５〜
１．０リットル／ｍｉｎ、圧力１３００〜１７００ｋｇ
ｆ／ｃｍ² 程度を発生するプランジャポンプである。

【００３１】また、本発明において、以下のような変形
例が考えられる。 （ａ） 高圧噴射ノズル４１，４３より噴射する剥膜液
として、アルカリ液等の薬液を用いてもよい。 （ｂ） 高圧噴射ノズル４１，４３の噴射角度、ノズル
径や剥膜液を吐出する吐出圧は、素材１０に形成された
被膜により適宜選択してもよい。 （ｃ） 高圧噴射ノズル４１，４３を回転させたり素材
の幅方向に直線移動させてもよい。 （ｄ） 素材の一方の主面に形成された被膜は高圧で剥
離液を吹き付けて剥離して、素材の他方の主面に形成さ
れた被膜はアルカリ溶液に浸漬させて剥離してもよい。

【００３２】

【発明の効果】請求項１記載のエッチング方法による
と、エッチング液が供給された素材に高圧で剥膜液を吹
き付けて被膜を短時間で剥離することが可能となる。請
求項２記載のエッチング方法によると、エッチング液が
供給された素材の主面に形成された被膜にアルカリ液を
供給して被膜を膨潤させた後、高圧で剥膜液を被膜に吹
き付けることにより、さらに短時間で被膜を剥離するこ
とが可能となる。

【００３３】請求項３記載のエッチング方法によると、
被膜が剥離された素材の主面に純水を吹き付けることに
より、素材の主面から剥離された後再び素材の主面に付
着した被膜等を除去して主面を洗浄することが可能とな
る。請求項４記載のエッチング装置によると、エッチン
グ液が供給された素材に剥膜液供給手段により高圧で剥
膜液を吹き付けて被膜を剥離することが可能となる。

【００３４】請求項５記載のエッチング装置によると、
アルカリ液供給手段により、エッチング液が供給された
素材の主面に形成された被膜にアルカリ液を供給して被
膜を膨潤させた後、膨潤した被膜に剥膜液吹付手段によ
り高圧で剥膜液を吹き付けてさらに短時間で被膜を剥離
することが可能となる。請求項６記載のエッチング装置
によると、被膜が剥離された素材の主面に純水吹付手段
により純水を吹き付けて、素材の主面から剥離された後
再び素材の主面に付着した被膜等を除去して主面を洗浄
することが可能となる。

【００３５】請求項７記載の剥膜装置によると、第１支
持手段に支持された素材の第２主面に形成された被膜
は、第１噴射手段により高圧で剥膜液を吹き付けられ、
また第２支持手段に支持された素材の第１主面に形成さ
れた被膜は、第２噴射手段により高圧で剥膜液を吹き付
けられるので、剥膜液が素材の主面に衝突する際に発生
する素材のばたつきや振動を防止して短時間で充分に第
１主面及び第２主面に形成された被膜をそれぞれ剥離す
ることが可能となる。

【００３６】請求項８記載の剥膜装置によると、第１支
持手段及び第２支持手段がそれぞれ回転自在な第１ロー
ラ及び第２ローラからなり、長尺の素材をＳ字状に折り
曲げるように配置されているので、剥膜装置の素材の搬
送方向における装置寸法を短くすることが可能となる。
請求項９記載の剥膜装置によると、第１ローラ及び第２
ローラがそれぞれ素材に素材の搬送方向と直交する方向
に張力を付与するように湾曲して湾曲ローラなので、素
材に発生する弛みを防止することができ、剥膜液が素材
に衝突する際に素材に形成されたアパーチャグリルの細
長テープ等を破損することなく主面に形成された被膜を
剥離することが可能となる。

【００３７】請求項１０記載の剥膜装置によると、第１
支持手段及び第２支持手段の周囲に設けられた飛散防止
カバーにより、第１噴射手段及び第２噴射手段より噴射
された剥膜液や素材から跳ね返った剥膜液、剥離され吹
き飛ばされた被膜等が飛散するのを防止することが可能
となる。したがって、本発明のエッチング方法及び装置
によると、容易に素材の主面に形成された被膜を短時間
で剥離して、製品の生産量を増やすことが可能となる。

【００３８】また、本発明の剥膜装置によれば、素材の
主面に形成された被膜を小さい設置空間で充分に剥離す
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるエッチング装置の模式
図。

【図２】剥膜装置の断面模式図。

【図３】湾曲ローラの斜視図。

【図４】アパーチャグリルの平面図。

【図５】平坦ローラによる支持状態を示す斜視図。

【図６】湾曲ローラによる支持状態を示す斜視図。

【図７】他の実施例の剥膜装置の断面模式図。

【符号の説明】

１０ 素材 １３ エッチング液供給手段 １５ 剥膜液吹付手段（剥膜装置） １６ 純水吹付手段 ３０ アルカリ液供給手段 ３１ 剥膜液吹付手段（剥膜装置） ４０，４３ 湾曲ローラ ４１，４４ 高圧噴射ノズル ４２，４５ 飛散防止カバー ４６ 高圧ポンプ ７１ 第１噴射手段 ７２ 第２噴射手段

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定のパターンを有する被膜が形成された
   素材の主面にエッチング液を供給するエッチング液供給
   工程と、 エッチング液が供給された素材の主面に剥膜液を高圧で
   吹き付ける剥膜液吹付工程と、を有することを特徴とす
   るエッチング方法。
2. 【請求項２】前記エッチング液供給工程と前記剥膜液吹
   付工程との間に、前記素材にアルカリ液を供給するアル
   カリ液供給工程をさらに含むことを特徴とする請求項１
   記載のエッチング方法。
3. 【請求項３】前記剥膜液吹付工程後に前記素材に純水を
   吹き付ける純水吹付工程をさらに含むことを特徴とする
   請求項１または請求項２に記載のエッチング方法。
4. 【請求項４】所定のパターンを有する被膜が形成された
   素材の主面にエッチング液を供給するエッチング液供給
   手段と、 エッチング液が供給された素材の主面に剥膜液を高圧で
   吹き付ける剥膜液吹付手段と、を有することを特徴とす
   るエッチング装置。
5. 【請求項５】前記剥膜液吹付手段により剥膜液を吹き付
   けられるべき素材の主面にアルカリ液を供給するアルカ
   リ液供給手段をさらに備えていることを特徴とする請求
   項４記載のエッチング装置。
6. 【請求項６】前記剥膜液吹付手段により剥膜液を吹き付
   けられた素材の主面に純水を吹き付ける純水吹付手段を
   さらに備えていることを特徴とする請求項４または請求
   項５記載のエッチング装置。
7. 【請求項７】長尺の素材をその長手方向に搬送させつ
   つ、素材の両主面に形成された所定のパターンを有する
   被膜を剥離する剥膜装置において、 前記素材の一方の主面である第１主面に接して素材を支
   持する第１支持手段と、 前記素材の他方の主面である第２主面に接して素材を支
   持する第２支持手段と、 前記第１支持手段に支持された素材の前記第２主面に向
   けて高圧で剥膜液を噴射する第１噴射手段と、 前記第２支持手段に支持された素材の前記第１主面に向
   けて高圧で剥膜液を噴射する第２噴射手段と、を有する
   ことを特徴とする剥膜装置。
8. 【請求項８】前記第１支持手段及び第２支持手段はそれ
   ぞれ回転自在な第１ローラ及び第２ローラからなり、前
   記第１ローラ及び第２ローラが長尺の前記素材をＳ字状
   に折り曲げるようそれぞれ配置されていることを特徴と
   する請求項７記載の剥膜装置。
9. 【請求項９】前記第１ローラ及び第２ローラがそれぞれ
   前記素材に素材の搬送方向と直交する方向に張力を付与
   するように湾曲した湾曲ローラであることを特徴とする
   請求項８記載の剥膜装置。
10. 【請求項１０】前記第１支持手段及び第２支持手段の周
    囲に設けられ、前記第１噴射手段及び第２噴射手段より
    噴射された剥膜液の飛散を防止する飛散防止カバーをさ
    らに備えていることを特徴とする請求項７から請求項９
    のいずれかに記載の剥膜装置。