JPH087241A - 磁気ヘッドチップ接着装置 - Google Patents

磁気ヘッドチップ接着装置

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JPH087241A
JPH087241A JP6139991A JP13999194A JPH087241A JP H087241 A JPH087241 A JP H087241A JP 6139991 A JP6139991 A JP 6139991A JP 13999194 A JP13999194 A JP 13999194A JP H087241 A JPH087241 A JP H087241A
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JP
Japan
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magnetic head
head chip
base
chip
positioning
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JP6139991A
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English (en)
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Keiichi Shibata
啓一 柴田
Michihiro Mori
三千宏 守
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の磁気ヘッドチップをベースに接着して
複合型磁気ヘッドを作製する磁気ヘッドチップ接着装置
において、習熟を要すること無く、正確な位置決めを行
った上で接着することができるようにする。 【構成】 ベースに押さえつけるように磁気ヘッドチッ
プに圧力を加える磁気ヘッドチップ押さえ機構と、磁気
ヘッドチップを保持する磁気ヘッドチップ保持機構と、
磁気ヘッドチップ位置を検出する磁気ヘッドチップ位置
検出機構と、磁気ヘッドチップ位置検出機構からの出力
に応じて、磁気ヘッドチップ及び磁気ヘッドチップ保持
機構を移動する磁気ヘッドチップ移動機構とを備える磁
気ヘッドチップ接着装置である。なお、磁気ヘッドチッ
プ押さえ機構による磁気ヘッドチップへの圧力は可変で
あることが好ましく、磁気ヘッドチップ保持機構は磁気
ヘッドチップを挟み込む一対の支持部材からなることが
好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の磁気ヘッドチッ
プをベースに接着する磁気ヘッドチップ接着装置に関
し、特に各磁気ヘッドチップの位置決め調整に関する。
【０００２】
【従来の技術】複数の磁気ヘッドチップから成る複合型
磁気ヘッドは、図１１及び図１２に示すように、消去用
磁気ヘッドチップ、再生用磁気ヘッドチップ、記録用磁
気ヘッドチップ等の複数の磁気ヘッドチップＴ１が、同
一のベースＢ１上に接着剤６０によって固定されて構成
される。
【０００３】このように複数の磁気ヘッドチップをベー
ス上に固定するにあたっては、各磁気ヘッドチップにつ
いて、ギャップ間の距離や平行度、各トラックの位置等
を高精度に位置決め調整する必要がある。
【０００４】この位置決め調整としては、図１３及び図
１４に示すように、以下のような調整が成される。
【０００５】（１）図１３に示すように、磁気ヘッドチ
ップＴ１の磁気ギャップｇ１とベースＢ１側面との間の
距離Ｘを調整する。（以下、この調整方向をＸ軸方向と
いう。）このとき、図１４に示すように、各磁気ヘッド
チップＴ１の磁気ギャップｇ１間の距離ｃを調整する。
【０００６】（２）図１３に示すように、磁気ヘッドチ
ップＴ１の磁気ギャップｇ１とベースＢ１後面との間の
距離Ｙを調整する。（以下、この調整方向をＹ軸方向と
いう。）このとき、図１３に示すように、各磁気ヘッド
チップＴ１のＹ軸方向の突き出しずれ量ｅを調整し、各
磁気ヘッドチップＴ１の突き出しを一致させる。
【０００７】（３）図１４に示すように、磁気ヘッドチ
ップＴ１のトラックエッジＥとベースＢ１上面との間の
距離Ｚを調整する。（以下、この調整方向をＺ軸方向と
いい、この調整を段差調整という。）このとき、図１４
に示すように、各磁気ヘッドチップＴ１のトラックエッ
ジＥのＺ軸方向の位置ずれ量ｄを調整し、各磁気ヘッド
チップＴ１のトラックエッジＥを一致させる。
【０００８】（４）図１４に示すように、磁気ヘッドチ
ップＴ１のギャップｇ１の傾斜量ｇを調整する。（以
下、この調整をアジマス調整という。）
【０００９】（５）図１３に示すように、ベースＢ１上
面における磁気ヘッドチップＴ１のＺ軸方向を回転軸と
した回転θを調整する。（以下、この回転方向をθ軸方
向という。）
【００１０】このような調整を行って複数の磁気ヘッド
チップをベースに接着する際、従来は、以下のような方
法によって行われている。
【００１１】第１の方法は、図１５に示すように、磁気
ヘッドチップＴ１の位置決めに電磁コレット等の保持具
６１を使用し、磁気ヘッドチップＴ１をベースＢ１に接
触させずに浮かせた状態で接着する方法であり、以下の
ように行う。
【００１２】まず、ベースＢ１上の磁気ヘッドチップＴ
１を接着すべき所定の場所に、紫外線硬化系の接着剤６
２を塗布する。そして、磁気ヘッドチップＴ１の上面を
電磁コレット等の保持具６１に接触させ、磁力によって
保持する。そして、保持具６１をＸ軸方向，Ｙ軸方向，
Ｚ軸方向，及びθ軸方向に移動させて、磁気ヘッドチッ
プＴ１をベースＢ１上の所定の場所へ移動させる。この
とき、磁気ヘッドチップＴ１は接着剤６２を介してベー
スＢ１上に配されており、図１６に示すように、磁気ヘ
ッドチップＴ１とベースＢ１は接触していない。この状
態で、紫外線を照射して接着剤６２を硬化させる。そし
て、接着剤６２が硬化した後、保持具６１を磁気ヘッド
チップＴ１から離して磁気ヘッドチップＴ１の接着が完
了する。
【００１３】しかし、この方法では、保持具６１と磁気
ヘッドチップＴ１との接触面積が小さいため、磁気ヘッ
ドチップＴ１とベースＢ１を平行に支持することが困難
で、十分なアジマス調整が行えず、アジマス不良が生じ
るという問題がある。また、接着剤６２を均一に塗布す
るのは困難であり、厚みに差が生じてしまうため、接着
剤６２が硬化する際に接着剤６２の収縮量のばらつきが
生じる。したがって、段差調整にずれが生じて、トラッ
ク高さ不良になるという問題もある。さらには、接着剤
６２がある程度硬化するまで、保持具６１を固定させる
必要があるため、生産性を高めることができない。
【００１４】第２の方法は、図１７に示すように、磁性
合金で作製された保持具６３に磁気ヘッドチップＴ１の
側面を接触させて保持具６３の磁力によって磁気ヘッド
チップＴ１を支持して位置決めを行った後、磁気ヘッド
チップＴ１を磁気ヘッドチップ押さえ機構６４で押さえ
てベースＢ１上に仮押さえした上で、ベースＢ１に磁気
ヘッドチップＴ１を接着させる方法であり、以下のよう
に行う。
【００１５】まず、磁性合金で作製された保持具６３に
磁気ヘッドチップＴ１の側面を接触させて、保持具６３
の磁力によって磁気ヘッドチップＴ１を支持する。そし
て、保持具６３をＸ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，及び
θ軸方向に移動させて、磁気ヘッドチップＴ１をベース
Ｂ１上の所定の場所へ移動させる。そして、位置決めが
完了したら、磁気ヘッドチップ押さえ機構６４により磁
気ヘッドチップＴ１上面に圧力を加え、磁気ヘッドチッ
プＴ１とベースＢ１を接触させる。そして、磁気ヘッド
チップ押さえ機構６４によりベースＢ１上に磁気ヘッド
チップＴ１が仮押さえされた状態で保持具６３を磁気ヘ
ッドチップＴ１から離す。そして、磁気ヘッドチップＴ
１の周囲に瞬間接着剤を塗布して磁気ヘッドチップＴ１
を固定する。そして、瞬間接着剤が硬化した後、磁気ヘ
ッドチップ押さえ機構６４を磁気ヘッドチップＴ１から
離して磁気ヘッドチップＴ１の接着が完了する。
【００１６】しかし、この方法では、保持具６３と磁気
ヘッドチップＴ１は磁力だけで接触しているため、磁気
ヘッドチップＴ１の姿勢が不安定で、位置決めを正確に
行うのが困難である。また、位置決めが終了して保持具
６３を磁気ヘッドチップＴ１から離すとき、磁気ヘッド
チップＴ１は磁気ヘッドチップ押さえ機構６４で押さえ
られているだけである。したがって、保持具６３を磁気
ヘッドチップＴ１から離すときに磁気ヘッドチップＴ１
が移動してしまうことがある。さらに、位置決め終了後
に、磁気ヘッドチップ押さえ機構６４が磁気ヘッドチッ
プＴ１に接触するため、この磁気ヘッドチップ押さえ機
構６４の接触時に磁気ヘッドチップＴ１の位置がずれて
しまうことがある。
【００１７】第３の方法は、図１８に示すように、ベー
スＢ１上に乗せた磁気ヘッドチップＴ１を磁気ヘッドチ
ップ押さえ機構６５で仮押さえして、この磁気ヘッドチ
ップＴ１の位置を人の手によって微調整した上で接着す
るものであり、以下のように行う。
【００１８】まず、ピンセット等で磁気ヘッドチップＴ
１をベースＢ１に乗せて、磁気ヘッドチップ押さえ機構
６５により、磁気ヘッドチップＴ１上面に圧力を加え
て、仮押さえする。そして、両手に先端の細い金属製の
棒６６を持ち、これによって磁気ヘッドチップＴ１の両
側を挟んで、所定の位置に磁気ヘッドチップＴ１を移動
する。そして、位置決めが終了したら、磁気ヘッドチッ
プＴ１の周囲に瞬間接着剤を塗布して、磁気ヘッドチッ
プＴ１を固定する。そして、瞬間接着剤が硬化した後、
磁気ヘッドチップ押さえ機構６５を磁気ヘッドチップＴ
１から離して、磁気ヘッドチップＴ１の接着が完了す
る。
【００１９】しかし、この方法では、人の手で磁気ヘッ
ドチップＴ１を数μｍのオーダーで移動させる必要があ
り、習熟を要する。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の磁
気ヘッドチップの接着においては、正確な位置決め調整
が困難であり、トラック高さ不良やアジマス不良の原因
となっていた。また、方法によっては、習熟を要する場
合もあった。
【００２１】そこで本発明は、このような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、習熟を要すること無く、
正確な位置決めを行った上で各磁気ヘッドチップを接着
できる磁気ヘッドチップ接着装置を提供することを目的
とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明の磁気ヘッドチップ接着装置は、ベースに押
さえつけるように磁気ヘッドチップに圧力を加える磁気
ヘッドチップ押さえ機構と、磁気ヘッドチップを保持す
る磁気ヘッドチップ保持機構と、磁気ヘッドチップ位置
を検出する磁気ヘッドチップ位置検出機構と、磁気ヘッ
ドチップ位置検出機構からの出力に応じて、磁気ヘッド
チップ及び磁気ヘッドチップ保持機構を移動する磁気ヘ
ッドチップ移動機構とを備えることを特徴とするもので
ある。
【００２３】上記磁気ヘッドチップ接着装置において、
磁気ヘッドチップ押さえ機構による磁気ヘッドチップへ
の加圧力は可変とされていることが好ましい。
【００２４】また、上記磁気ヘッドチップ接着装置にお
いて、磁気ヘッドチップ保持機構は磁気ヘッドチップを
挟み込む一対の支持部材からなることが好ましい。
【００２５】また、上記磁気ヘッドチップ接着装置にお
いて、磁気ヘッドチップ移動機構による磁気ヘッドチッ
プ及び磁気ヘッドチップ保持機構の移動は、互いに垂直
な３軸方向への移動と、前記３軸から選ばれる１つの軸
を中心とした回転であることが好ましい。
【００２６】
【作用】磁気ヘッドチップ押さえ機構により、磁気ヘッ
ドチップをベースに押さえつけるので、磁気ヘッドチッ
プとベースが完全に密着し、アジマス不良が防止され
る。また、磁気ヘッドチップ位置検出機構からの出力に
応じて磁気ヘッドチップ及び磁気ヘッドチップ保持機構
を移動する磁気ヘッドチップ移動機構とを備えることに
より、磁気ヘッドチップの位置決めを習熟を要すること
無く行うことができる。
【００２７】また、磁気ヘッドチップ押さえ機構による
磁気ヘッドチップへ加える圧力を可変とすることによ
り、磁気ヘッドチップを仮押さえしたり、固定したりす
ることができる。したがって、位置決めを行う際に、磁
気ヘッドチップを低い圧力で押さえることにより、磁気
ヘッドチップの仮押さえした上で、位置決め操作ができ
る。そして、位置決め終了後には、磁気ヘッドチップを
高い圧力で押さえることにより、磁気ヘッドチップを固
定でき、位置決め終了後の磁気ヘッドチップの移動を防
止できる。
【００２８】また、磁気ヘッドチップ保持機構を磁気ヘ
ッドチップを挟み込む２つの支持部材から構成すること
により、磁気ヘッドチップを安定して支持することがで
きる。
【００２９】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本実施
例では、ベース上に２つの磁気ヘッドチップを接着する
磁気ヘッドチップ接着装置について説明するが、これに
限られるものではなく、３つ以上の磁気ヘッドチップを
接着するものであってもよい。
【００３０】本実施例の磁気ヘッドチップ接着装置は、
ベース及び磁気ヘッドチップの供給を行う供給機構と、
供給機構により供給されたベースと磁気ヘッドチップを
接着する接着機構から成る。
【００３１】上記供給機構は、図１に示すように、ベー
スＢを順次供給するベース供給機構１と、磁気ヘッドチ
ップ接着時にベースＢを支持するベース支持機構２と、
第１の磁気ヘッドチップＴを供給する磁気ヘッドチップ
供給機構３と、第２の磁気ヘッドチップＴを供給する磁
気ヘッドチップ供給機構４から成る。
【００３２】上記ベース供給機構１は、ベースＢが収納
されるベース収納用マガジン１１と、磁気ヘッドチップ
接着前のベースＢが収納されたベース収納用マガジン１
１がセットされるベース供給ストッカー１２と、磁気ヘ
ッドチップ接着後のベースＢが収納されたベース収納用
マガジン１１が送られる完成品ストッカー１３と、磁気
ヘッドチップ接着前のベースＢをベース供給ストッカー
１２からベース収納用マガジン単位で後述するベース出
入機構へ送るとともに、磁気ヘッドチップ接着後のベー
スＢを後述するベース出入機構からベース収納用マガジ
ン単位で完成品ストッカー１３へ送るマガジン搬送機構
１４と、マガジン搬送機構１４で送られてきたベース収
納用マガジン１１から磁気ヘッドチップ接着前のベース
Ｂを一つづつ取り出して後述するベース支持機構へ送る
とともに、後述するベース支持機構から送られてきた磁
気ヘッドチップ接着後のベースＢを一つづづベース収納
用マガジン１１に収納するベース出入機構１５と、ベー
ス出入機構１５で取り出された磁気ヘッドチップ接着前
のベースを真空吸引によりベース支持機構２へ送るとと
もに、磁気ヘッドチップ接着後のベースＢをベース支持
機構２からベース出入機構１５へ送るベース搬送機構１
６から成る。なお、磁気ヘッドチップ接着前のベースＢ
はベース出入機構１５にて磁気ヘッドチップ接着面が上
面となるようされた上で、ベース支持機構２へ送られ
る。
【００３３】上記ベース支持機構２は、ベース搬送機構
１６にて送られてきたベースＢが配される回転テーブル
機構と、回転テーブル機構上に配されたベースＢを固定
するベース固定機構から成る。
【００３４】上記ベース固定機構は、ベースＢの後面及
びベースＢの一方の側面に対応する位置に配される３つ
のピン２２ａと、ベースＢをこれらのピン２２ａに押し
つけるように図中矢印Ｐ１方向へ動くアクチュエーター
２２ｂと、ベース後端部の上面に対応する位置に配され
るベース上面支持部材２２ｃと、ベース下面に対応する
位置に配されるベース下面支持部材２２ｄから成る。な
お、このベース下面支持部材２２ｄには、上下方向に動
くアクチュエーターが配される。そして、ベース固定機
構でベースＢを固定する際は、ベースＢをアクチュエー
ター２２ｂでピン２２ａに押しつけてベースＢを所定の
位置とした上で、ベース下面支持部材２２ｄをベースＢ
とともにアクチュエーターで上方へ突き上げて、ベース
Ｂをベース下面支持部材２２ｄとベース上面支持部材２
２ｃで挟み込んで固定する。
【００３５】上記回転テーブル機構は、回転可能なテー
ブル２１で構成され、このテーブル２１の上に上記ベー
ス固定機構が配される。そして、ベース搬送機構１６に
よってベース支持機構２へ送られてきた磁気ヘッドチッ
プ接着前のベースＢは、このテーブル２１上のベース固
定機構に固定された後、テーブル２１の回転によって接
着機構の所定の位置、すなわち磁気ヘッドチップ接着場
所Ａへ移動して、接着機構にて磁気ヘッドチップＴの接
着が成される。そして、接着機構で磁気ヘッドチップＴ
が接着されたベースＢは、再びテーブル２１の回転によ
ってベース搬送機構１６に対応する位置へ移動する。そ
して、ベース搬送機構１６によってベース支持機構２か
ら搬出される。なお、生産性を高めるために、ベース固
定機構をテーブル２１上に２つ設けて、一方のベース固
定機構において磁気ヘッドチップＴの接着を行い、同時
に他方のベース固定機構ではベース搬送機構１６による
ベースＢの供排動作を行うようにしてもよい。
【００３６】上記第１の磁気ヘッドチップ供給機構３
は、磁気ヘッドチップＴが収納される磁気ヘッドチップ
収納用トレイ３１と、磁気ヘッドチップＴが収納された
磁気ヘッドチップ収納用トレイ３１がセットされる磁気
ヘッドチップ供給ストッカー３２と、磁気ヘッドチップ
供給ストッカー３２から真空吸引により一つづつ磁気ヘ
ッドチップＴを後述する仮位置決め機構へ送る磁気ヘッ
ドチップ搬送機構３３と、磁気ヘッドチップ搬送機構３
３で送られた磁気ヘッドチップＴの位置決めが成される
仮位置決め機構３４と、仮位置決め機構３４上の磁気ヘ
ッドチップＴを後述する接着機構の所定の位置へ移動さ
せる磁気ヘッドチップ移動機構３５から成る。なお、仮
位置決め機構３４によって位置決めを行った上で磁気ヘ
ッドチップ移動機構３５で磁気ヘッドチップＴを接着機
構の所定の位置へ移動させるのは、後述の磁気ヘッドチ
ップ保持機構による磁気ヘッドチップＴの支持が確実に
行われるようにするためである。
【００３７】そして、上記第２の磁気ヘッドチップ供給
機構４も、上記第１の磁気ヘッドチップ供給機構３と同
様に、磁気ヘッドチップ収納用トレイ４１と、磁気ヘッ
ドチップ供給ストッカー４２と、磁気ヘッドチップ搬送
機構４３と、仮位置決め機構４４と、磁気ヘッドチップ
移動機構４５から成り、磁気ヘッドチップＴの供給を行
う。
【００３８】一方、上記接着機構５は、図１に示すよう
に、磁気ヘッドチップ接着場所Ａの近傍に配され、図２
及び図３に示すように磁気ヘッドチップＴをベースＢに
押さえつける磁気ヘッドチップ押さえ機構５１と、図２
及び図４に示すように磁気ヘッドチップを保持する磁気
ヘッドチップ保持機構５２と、図５に示すように磁気ヘ
ッドチップＴの位置を検出し表示する磁気ヘッドチップ
位置検出機構５３と、図６に示すように磁気ヘッドチッ
プ位置検出機構５３からの出力に応じて磁気ヘッドチッ
プＴ及び磁気ヘッドチップ保持機構５２を移動する磁気
ヘッドチップ移動機構５４と、図１に示すように磁気ヘ
ッドチップ接着場所Ａの近傍に配され、接着剤を供給す
る接着剤供給機構５５から成る。
【００３９】上記磁気ヘッドチップ押さえ機構５１は、
図３に示すように、磁気ヘッドチップＴを押さえる磁気
ヘッドチップ押さえ部材５１ａと、磁気ヘッドチップ押
さえ部材５１ａを上下に動かすための磁気ヘッドチップ
押さえ部材駆動機構と、磁気ヘッドチップ押さえ部材５
１ａによる磁気ヘッドチップＴへの圧力を変えるための
圧力制御機構５１ｃと、これらを支持する磁気ヘッドチ
ップ押さえ機構支持台５１ｄから成る。そして、この磁
気ヘッドチップ押さえ機構５１は、磁気ヘッドチップ接
着場所Ａの近傍に、図２に示すように、接着する２つの
磁気ヘッドチップＴに対応するように２つ配される。
【００４０】上記磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａ
は、先端部５１ｅが磁気ヘッドチップＴ上に位置するよ
うに配され、後端部５１ｆが回動可能となるように磁気
ヘッドチップ押さえ機構支持台５１ｄに取り付けられ
る。そして、先端部５１ｅは、磁気ヘッドチップＴに向
かってＬ字状に屈曲するとともに、磁気ヘッドチップＴ
を適切に押さえられるように細くなっている。
【００４１】上記磁気ヘッドチップ押さえ部材駆動機構
は、偏心回転する円盤５１ｇから成り、この円盤５１ｇ
の側面が磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａの下部５１
ｈに接するように配される。そして、円盤５１ｇの偏心
回転に伴い、磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａは上下
に移動する。すなわち、磁気ヘッドチップＴから磁気ヘ
ッドチップ押さえ部材５１ａを離すときは、磁気ヘッド
チップ押さえ部材５１ａを持ち上げるために、円盤５１
ｇと磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａの下部５１ｈと
の接点と、円盤５１ｇの回転中心との距離が大きくなる
ように、円盤５１ｇを回転させる。そして、磁気ヘッド
チップＴを磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａで押さえ
るときは、磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａを下げる
ために、円盤５１ｇと磁気ヘッドチップ押さえ部材５１
ａの下部５１ｈの接点と、円盤５１ｇの回転中心との距
離が小さくなるように円盤５１ｇを回転させる。
【００４２】上記圧力制御機構５１ｃは、磁気ヘッドチ
ップ押さえ部材５１ａの上下にバネ等の弾性体５１ｉが
配されて構成され、この弾性体５１ｉの伸縮によって、
磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａによる磁気ヘッドチ
ップＴへの圧力を制御する。なお、この弾性体５１ｉが
ない場合は、磁気ヘッドチップ押さえ部材５１ａによる
磁気ヘッドチップＴへの圧力は、磁気ヘッドチップ押さ
え部材５１ａの重さによるものである。そして、圧力を
強くする場合は弾性体５１ｉを下方向へ引っ張ればよ
く、圧力を弱くする場合は弾性体５１ｉの下方向への引
っ張りを弱めればよく、更に弱くする場合は上方向へ引
っ張ればよい。
【００４３】上記磁気ヘッドチップ保持機構５２は、図
４に示すように、磁気ヘッドチップＴを挟み込む２つの
磁気ヘッドチップ支持部材５２ａ，５２ｂと、この磁気
ヘッドチップ支持部材５２ａ，５２ｂの開閉を行う磁気
ヘッドチップ支持部材駆動機構と、これらを支持する磁
気ヘッドチップ保持機構支持台５２ｄから成る。
【００４４】上記２つの磁気ヘッドチップ支持部材５２
ａ，５２ｂは、それぞれの先端部が、磁気ヘッドチップ
Ｔに向かってＬ字状に屈曲するとともに、磁気ヘッドチ
ップＴを適切に支持できるように細くなっており、突き
合わさるように配されている。そして、この突き合わさ
るように配された先端部が開閉することにより、磁気ヘ
ッドチップＴを支持したり離したりする。
【００４５】上記２つの磁気ヘッドチップ支持部材のう
ち、第１の磁気ヘッドチップ支持部材５２ａは磁気ヘッ
ドチップ保持機構支持台５２ｄに固定される。そして、
この第１の磁気ヘッドチップ支持部材５２ａと先端部が
対向するように配され、磁気ヘッドチップ支持部材駆動
機構を備える第２の磁気ヘッドチップ支持部材５２ｂ
は、後端部にベアリング５２ｅが取り付けられ、中程に
磁気ヘッドチップ保持機構支持台５２ｄへの取り付け部
５２ｆが配される。そして、第２の磁気ヘッドチップ支
持部材５２ｂは、この取り付け部５２ｆにおいて磁気ヘ
ッドチップ保持機構支持台５２ｄに回動可能となるよう
に取り付けられている。
【００４６】上記磁気ヘッドチップ支持部材駆動機構
は、磁気ヘッドチップ保持機構支持台５２ｄに配され、
アクチュエーター５２ｇにより回転運動するカム５２ｈ
と、アクチュエーター５２ｉにより引っ張り状態を変え
ることができるバネ等の弾性体５２ｊから成る。そし
て、前記カム５２ｈは、第２の磁気ヘッドチップ支持部
材５２ｂのベアリング５２ｅに接しており、このカム５
２ｈの回転により、第２の磁気ヘッドチップ支持部材５
２ｂが前記取り付け部５２ｆを中心に回動し、２つの磁
気ヘッドチップ支持部材５２ａ，５２ｂの先端部が開閉
する。また、前記弾性体５２ｊは、２つの磁気ヘッドチ
ップ支持部材５２ａ，５２ｂの先端部が閉じるように、
第２の磁気ヘッドチップ支持部材５２ｂを引っ張るよう
に取り付けられる。したがって、この弾性体５２ｂの引
っ張り状態をアクチュエーター５２ｉで変えることによ
り、２つの磁気ヘッドチップ支持部材５２ａ，５２ｂが
閉じる強さを変えることができる。
【００４７】上記磁気ヘッドチップ位置検出機構５３
は、図５に示すように、ベースＢと磁気ヘッドチップＴ
の位置決めをする際に、ベースＢ及び磁気ヘッドチップ
Ｔを顕微鏡で拡大したデータを表示するモニター５３
ａ，５３ｂから成る。そして、このモニターは、ベース
Ｂ及び磁気ヘッドチップＴの記録媒体摺動面側を表示す
るモニター５３ａと、ベースＢ及び磁気ヘッドチップＴ
の上面側を表示するモニター５３ｂから成る。
【００４８】上記磁気ヘッドチップ移動機構５４は、磁
気ヘッドチップＴの位置決めを行う際に磁気ヘッドチッ
プを微小に移動させるためのものであり、図６に示すよ
うに、磁気ヘッドチップ保持機構５２を、Ｘ軸方向に移
動させるＸ軸ステージ５４ａと、Ｙ軸方向に移動させる
Ｙ軸ステージ５４ｂと、Ｚ軸方向に移動させるＺ軸ステ
ージ５４ｃと、θ軸方向に回転させるθ軸ステージ５４
ｄから成る。なお、θ軸方向の回転は、θ軸の回転によ
るＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を少なくするために、磁
気ヘッドチップＴの先端部が回転中心とされる。
【００４９】そして、磁気ヘッドチップＴの微小な位置
決めを行うために、図５に示すように、磁気ヘッドチッ
プ位置検出機構５３のモニター５３ａ，５３ｂの近傍
に、Ｘ軸ステージ５４ａ、Ｙ軸ステージ５４ｂ、及びθ
軸ステージ５４ｄに対応して、各ステージを微小に移動
又は回転させることができるハンドル５４ｅ，５４ｆ，
５４ｇが配される。したがって、例えば、Ｘ軸ステージ
５４ａに対応したハンドル５４ｅを回転させれば、その
回転量及び回転方向に応じてパルス信号がＸ軸ステージ
５４ａに送られ、Ｘ軸ステージ５４ａの微小な移動が成
される。なお、Ｚ軸ステージ５４ｃに対応したハンドル
がないのは、磁気ヘッドチップＴのＺ軸方向の微小な位
置決めは、磁気ヘッドチップ押さえ機構５１によって磁
気ヘッドチップを押さえることによって成されるためで
ある。
【００５０】上記接着剤供給機構５５は、磁気ヘッドチ
ップＴの位置決め終了後に、磁気ヘッドチップＴとベー
スＢとの接点に、接着剤を供給するものであり、図１に
示すように、磁気ヘッドチップ接着場所Ａの近傍に配さ
れる。なお、接着剤は、磁気ヘッドチップＴとベースＢ
との接点のなかでも、主に磁気ヘッドチップＴの後端部
近傍に供給される。
【００５１】このような磁気ヘッドチップ接着装置を用
いた、磁気ヘッドチップのベースへの接着の工程につい
て、図７〜図１０に示す処理フローを参照しながら説明
する。
【００５２】始めに、図７に示すように、ベースの供給
を行う（ベース供給工程１００）。ベース供給工程１０
０では、まず、ベース収納用マガジンをベース供給スト
ッカーから取り出してマガジン搬送機構でベース出入機
構へ送る（マガジン搬送工程１０１）。そして、ベース
出入機構にて、ベース収納用マガジンからベースを一つ
取り出し（ベース取り出し工程１０２）、磁気ヘッドチ
ップ接着面が上面となるようにベースを反転させた上で
（ベース反転工程１０３）、ベース搬送機構にてベース
を回転テーブル機構上のベース固定機構に送る（ベース
搬送工程１０４）。そして、ベースをベース固定機構に
より所定の位置に固定する（ベース固定工程１０５）。
そして、回転テーブル機構のテーブルを回転させてベー
スを磁気ヘッドチップ接着場所へ移動する（テーブル反
転工程１０６）。なお、テーブル反転工程１０６が完了
したら、磁気ヘッドチップ押さえ部材を持ち上げ、後述
するチップ搬送工程で磁気ヘッドチップ及び磁気ヘッド
チップ支持部材と磁気ヘッドチップ押さえ部材が接触し
ないようにする（チップ押さえ部材上昇工程１０７）。
【００５３】そして、上記ベース供給工程と平行して、
図７に示すように、第１の磁気ヘッドチップの供給を行
う（第１のチップ供給工程２００）。第１のチップ供給
工程２００では、まず、磁気ヘッドチップ供給ストッカ
ーの磁気ヘッドチップ収納用トレイから磁気ヘッドチッ
プを取り出し、磁気ヘッドチップ搬送機構で仮位置決め
機構へ送り（チップ搬送工程２０１）、仮位置決め機構
の磁気ヘッドチップ支持台上で磁気ヘッドチップの位置
を仮調整する（チップ仮位置決め工程２０２）。そし
て、仮位置決めされた磁気ヘッドチップを仮位置決め機
構の磁気ヘッドチップ支持台ごと、磁気ヘッドチップ支
持機構へ送る（チップ搬送工程２０３）。そして、磁気
ヘッドチップ保持機構の磁気ヘッドチップ支持部材によ
りを磁気ヘッドチップを支持する（チップ強圧支持工程
２０４）。このとき、磁気ヘッドチップを確実に支持す
るために、磁気ヘッドチップ支持部材駆動機構により磁
気ヘッドチップ支持部材を強い圧力で閉じる。そして、
磁気ヘッドチップ保持機構によって支持された磁気ヘッ
ドチップを、ベース上の磁気ヘッドチップ接着場所へと
移動させる（チップ移動工程２０５）。
【００５４】次に、図８に示すように、第１の磁気ヘッ
ドチップをベースに接着する（第１のチップ接着工程３
００）。
【００５５】第１のチップ接着工程３００では、まず、
上述のチップ移動工程２０５により移動された磁気ヘッ
ドチップをベース上に仮置きする（チップ仮置き工程３
０１）。そして、磁気ヘッドチップをベースに仮押さえ
するために、磁気ヘッドチップ押さえ機構の磁気ヘッド
チップ押さえ部材を下げて、ベースに押さえつけるよう
に磁気ヘッドチップに弱い圧力を加える（チップ仮押さ
え工程３０２）。そして、磁気ヘッドチップがベース上
に磁気ヘッドチップ押さえ機構により仮押さえされて支
持されたら、磁気ヘッドチップ支持部材による磁気ヘッ
ドチップの支持の圧力を弱める（チップ弱圧支持工程３
０３）。
【００５６】そして、磁気ヘッドチップ位置検出機構の
モニターを見ながら、Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、θ
軸ステージを、各ステージに対応したハンドルを動かし
て操作して、磁気ヘッドチップの位置決めを行う（チッ
プ位置決め工程３０４）。位置決めが終了したら、磁気
ヘッドチップがこれ以上動かないようにするために、磁
気ヘッドチップ押さえ機構による磁気ヘッドチップに対
する圧力を強める（チップ押さえ工程３０５）。そし
て、磁気ヘッドチップ支持機構の磁気ヘッドチップ支持
部材を開き磁気ヘッドチップを離して（チップ支持部開
放工程３０６）、磁気ヘッドチップ支持部材を上方へ移
動させる（チップ支持部材上昇工程３０７）。そして、
磁気ヘッドチップ位置検出機構のモニターで、磁気ヘッ
ドチップの位置を確認する（位置確認工程３０８）。こ
の際、位置決めが不十分ならば、再び磁気ヘッドチップ
支持機構で磁気ヘッドチップを支持して磁気ヘッドチッ
プの位置決めをやり直す。
【００５７】十分な位置決めができたら、接着剤供給機
構により磁気ヘッドチップとベースの接点に瞬間接着剤
を塗布する（接着剤塗布工程３０９）。そして、磁気ヘ
ッドチップ位置検出機構のモニターで接着剤の塗布状態
を確認する（接着確認工程３１０）。この際、接着剤の
塗布が不十分で磁気ヘッドチップがベースに確実に接着
されていない場合は、再び接着剤塗布を行う。そして、
磁気ヘッドチップがベースに確実に接着されたのを確認
したら、後工程において第２の磁気ヘッドチップを接着
する際に、磁気ヘッドチップ及び磁気ヘッドチップ支持
部材と磁気ヘッドチップ押さえ部材が接触しないように
するために、磁気ヘッドチップ押さえ部材を持ち上げる
（チップ押さえ部材上昇工程３１１）。以上の工程によ
り、第１の磁気ヘッドチップの接着が完了する。
【００５８】そして、第１の磁気ヘッドチップのベース
への接着と平行して、図８に示すように、第２の磁気ヘ
ッドチップの供給を、第１の磁気ヘッドチップの供給と
同様に行う（第２のチップ供給工程４００）。この第２
のチップ供給工程４００は、第１の磁気ヘッドチップの
位置決めの終了後（位置確認工程３０８の終了後）に開
始され、第１に磁気ヘッドチップの接着の終了後（チッ
プ押さえ部材上昇工程３１１の終了後）に、ベース上に
第２の磁気ヘッドチップが供給されるように行われる。
【００５９】次に、図９に示すように、第２の磁気ヘッ
ドチップを、第１の磁気ヘッドチップのベースへの接着
と同様に行う（第２のチップ接着工程５００）。ただ
し、第２の磁気ヘッドチップ接着工程が完了した段階で
は、第２の磁気ヘッドチップを押さえる磁気ヘッドチッ
プ押さえ部材は、磁気ヘッドチップを押さえつけたまま
の状態とする（すなわち、チップ押さえ部材上昇工程を
行わない。）。
【００６０】そして、２つの磁気ヘッドチップの接着が
完了したら、図１０に示すように、２つの磁気ヘッドチ
ップが接着されたベースを排出する（ベース排出工程６
００）。ベース排出工程６００では、まず、第１の磁気
ヘッドチップを押さえる磁気ヘッドチップ押さえ部材を
下降させて、第１の磁気ヘッドチップを押さえつける
（チップ押さえ部材下降工程６０１）。そして、２つの
磁気ヘッドチップ押さえ部材により各磁気ヘッドチップ
が押さえられた状態で、回転テーブル機構のテーブルを
回転させて、ベースをベース出入機構へ移動させる（テ
ーブル反転工程６０２）。そして、磁気ヘッドチップ押
さえ部材による磁気ヘッドチップの押さえつけとベース
支持機構によるベースの支持を開放する（ベース開放工
程６０３）。そして、ベース搬送機構にてベースをベー
ス出入機構に送る（ベース搬送工程６０４）。そして、
ベース出入機構でベースを、収納に適した方向となるよ
うに反転させた上で（ベース反転工程６０５）、ベース
収納用マガジンに収納する（ベース収納工程６０６）。
【００６１】以上の工程により、磁気ヘッドチップのベ
ースへの接着が完了する。そして、これらの工程によ
り、一つのベース収納用マガジン内の全てのベースに対
して磁気ヘッドチップの接着が完了したら、ベース収納
用マガジンをベース出入機構から完成品ストッカーへ送
り、ベースをベース収納用マガジンとともに完成品スト
ッカーに収納する（マガジン収納工程６０７）。
【００６２】なお、本実施例の磁気ヘッドチップ接着装
置は、チップ位置決め工程を磁気ヘッドチップ移動機構
のハンドルを用いたマニュアル操作によって行い、それ
以外の工程を自動的に行う半自動型の装置である。しか
し、本発明はこれに限られるものではなく、例えば、チ
ップ位置決め工程を磁気ヘッドチップ位置検出機構から
の情報に基づいて自動的に行うようにして、全自動型の
装置としてもよい。
【００６３】また、本実施例の磁気ヘッドチップ支持機
構は、磁気ヘッドチップの両側面を挟む構造としたが、
磁気ヘッドチップの上下面を挟む構造としてもよい。ま
た、本実施例の磁気ヘッドチップ位置検出機構では、磁
気ヘッドチップの観察に通常の対物レンズを取り付けた
顕微鏡を用いたが、２光束干渉用対物レンズを用いても
よい。
【００６４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、磁気ヘッドチップを接着する際の位置決め調整
を、習熟を要すること無く容易に行える。
【００６５】また、磁気ヘッドチップ押さえ機構でベー
ス上に磁気ヘッドチップを押さえる際の圧力、あるいは
磁気ヘッドチップ保持機構で磁気ヘッドチップを支持す
る際の圧力を自由に変えられるので、磁気ヘッドチップ
が意に反して動いてしまうことがない。具体的には、例
えば、磁気ヘッドチップ支持部材を開放して磁気ヘッド
チップを離すときに、強く挟んでいた状態から急に離す
と磁気ヘッドチップが微妙に動いてしまうが、本発明で
はゆっくりと離すことができるので磁気ヘッドチップが
動いてしまうことがない。あるいは、上記実施例で説明
したように、磁気ヘッドチップ押さえ機構で磁気ヘッド
チップを押さえる際に、仮押さえと完全な押さえとを分
けることによって、位置決め終了後の磁気ヘッドチップ
を確実に支持固定できるため、位置決め終了後に磁気ヘ
ッドチップが意に反して動いてしまうことがない。
【００６６】このように、本発明によれば容易に、且つ
正確に磁気ヘッドチップの接着が行える。したがって、
磁気ヘッドチップの接着に要する時間が減少するととも
に、トラック高さ不良やアジマス不良が防止されて歩止
まりが向上する。したがって、生産性が大幅に向上し、
磁気ヘッドの製造コストの減少を招来できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置の
一構成例を示す模式図である。
【図２】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置の
磁気ヘッドチップ押さえ機構及び磁気ヘッドチップ保持
機構の一例を示す要部概略斜視図である。
【図３】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置の
磁気ヘッドチップ押さえ機構の一例を示す側面図であ
る。
【図４】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置の
磁気ヘッドチップ保持機構の一例を示す側面図である。
【図５】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置の
磁気ヘッドチップ位置検出機構の一例を模式的に示す斜
視図である。
【図６】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置の
磁気ヘッドチップ移動機構の一例を示す側面図である。
【図７】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置に
よる磁気ヘッドチップの接着工程を示す処理フローであ
る。
【図８】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置に
よる磁気ヘッドチップの接着工程を示す処理フローであ
る。
【図９】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置に
よる磁気ヘッドチップの接着工程を示す処理フローであ
る。
【図１０】本発明を適用した磁気ヘッドチップ接着装置
による磁気ヘッドチップの接着工程を示す処理フローで
ある。
【図１１】ベースに２つの磁気ヘッドチップを接着する
様子を示す斜視図である。
【図１２】ベースに２つの磁気ヘッドチップを接着した
状態を示す斜視図である。
【図１３】ベースに磁気ヘッドチップを接着する際に必
要な位置決め調整を示す、ベース及び磁気ヘッドチップ
の上面図である。
【図１４】ベースに磁気ヘッドチップを接着する際に必
要な位置決め調整を示す、ベース及び磁気ヘッドチップ
を磁気記録媒体摺動面側から見た要部拡大平面図であ
る。
【図１５】従来の磁気ヘッドチップ接着装置による磁気
ヘッドチップの位置決めの様子の一例を示す要部拡大斜
視図である。
【図１６】図１５に示す方法によって接着された磁気ヘ
ッドチップ及びベースの一例を示す側面図である。
【図１７】従来の磁気ヘッドチップ接着装置による磁気
ヘッドチップの位置決めの様子の他の例を示す要部拡大
斜視図である。
【図１８】従来の人の手による磁気ヘッドチップの位置
決めの様子の例を示す要部拡大斜視図である。
【符号の説明】
Ｔ 磁気ヘッドチップ Ｂ ベース １ ベース供給機構 １１ ベース収納用マガジン １２ ベース供給ストッカー １３ 完成品ストッカー １４ マガジン搬送機構 １５ ベース出入機構 １６ ベース搬送機構 ２ ベース支持機構 ２２ ベース固定機構 ２１ テーブル ３ 第１の磁気ヘッドチップ供給機構 ３１ 磁気ヘッドチップ収納用トレイ ３２ 磁気ヘッドチップ供給ストッカー ３３ 磁気ヘッドチップ搬送機構 ３４ 仮位置決め機構 ３５ 磁気ヘッドチップ移動機構 ４ 第２の磁気ヘッドチップ供給機構 ４１ 磁気ヘッドチップ収納用トレイ ４２ 磁気ヘッドチップ供給ストッカー ４３ 磁気ヘッドチップ搬送機構 ４４ 仮位置決め機構 ４５ 磁気ヘッドチップ移動機構 ５１ 磁気ヘッドチップ押さえ機構 ５ 接着機構 ５１ａ 磁気ヘッドチップ押さえ部材 ５１ｃ 圧力制御機構 ５１ｄ 磁気ヘッドチップ押さえ機構支持台 ５２ 磁気ヘッドチップ保持機構 ５２ａ 第１の磁気ヘッドチップ支持部材 ５２ｂ 第２の磁気ヘッドチップ支持部材 ５２ｄ 磁気ヘッドチップ保持機構支持台 ５３ 磁気ヘッドチップ位置検出機構 ５３ａ，５３ｂ モニター ５４ 磁気ヘッドチップ移動機構 ５４ａ Ｘ軸ステージ ５４ｂ Ｙ軸ステージ ５４ｃ Ｚ軸ステージ ５５ｄ θ軸ステージ ５４ｅ，５４ｆ，５４ｇ ハンドル ５５ 接着剤供給機構

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ベースに押さえつけるように磁気ヘッド
    チップに圧力を加える磁気ヘッドチップ押さえ機構と、
    磁気ヘッドチップを保持する磁気ヘッドチップ保持機構
    と、磁気ヘッドチップ位置を検出する磁気ヘッドチップ
    位置検出機構と、磁気ヘッドチップ位置検出機構からの
    出力に応じて、磁気ヘッドチップ及び磁気ヘッドチップ
    保持機構を移動する磁気ヘッドチップ移動機構とを備え
    ることを特徴とする磁気ヘッドチップ接着装置。
  2. 【請求項２】 磁気ヘッドチップ押さえ機構による磁気
    ヘッドチップへの加圧力が可変とされていることを特徴
    とする請求項１記載の磁気ヘッドチップ接着装置。
  3. 【請求項３】 磁気ヘッドチップ保持機構が磁気ヘッド
    チップを挟み込む一対の支持部材からなることを特徴と
    する請求項１又は２に記載の磁気ヘッドチップ接着装
    置。
  4. 【請求項４】 磁気ヘッドチップ移動機構による磁気ヘ
    ッドチップ及び磁気ヘッドチップ保持機構の移動が、互
    いに垂直な３軸方向への移動と、前記３軸から選ばれる
    １つの軸を中心とした回転であることを特徴とする請求
    項１乃至３に記載の磁気ヘッドチップ接着装置。
JP6139991A 1994-06-22 1994-06-22 磁気ヘッドチップ接着装置 Pending JPH087241A (ja)

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SG1995000683A SG42757A1 (en) 1994-06-22 1995-06-20 Magnetic head chip bonding device
GB9512624A GB2290654B (en) 1994-06-22 1995-06-21 Magnetic head chip bonding device
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