JP2003217192A - 光学記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 例えばＰＣシート及びＰＣ基板を貼り合わせ
る方式による光学記録媒体の製造工程において、ＰＣシ
ート及びＰＣ基板の偏芯量が少なく高い精度で中心位置
合わせして良好な貼り合わせを行う光学記録媒体の製造
装置を提案することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、第１ディスクと第２ディスク
とを接着剤を介して貼り合わせる貼り合わせ方式の光学
記録媒体の製造装置において、この第１ディスクとこの
第２ディスクとの偏芯誤差を補正する偏芯アライメント
手段と、この第１ディスクをこの偏芯アライメント手段
に搬送すると共に貼り合わせ後のディスクを排出する第
１ディスク搬送手段と、この第２ディスクをこの偏芯ア
ライメント手段に搬送する第２ディスク搬送手段と、こ
の第１ディスク及び第２ディスクの貼り合わせを行う真
空室を形成する真空チャンバーと、この真空チャンバー
内で貼り合わせ時の仮押さえ及び加圧を行うパッドとを
備え、この第１ディスク及びこの第２ディスクの偏芯ア
ライメント後、真空雰囲気で貼り合わせを行うようにし
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報を光学的に記
録する光学記録層を複数層積層した多層光学記録媒体の
製造に適用して好適な光学記録媒体の製造装置である。

【０００２】

【従来の技術】光学記録媒体の一つとして従来からある
ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）は厚さ０．６ｍｍの
例えばポリカーボネイト（以下、「ＰＣ」という）より
なるそれぞれ第１及び第２の光学記録層が設けられた２
枚のＰＣ基板をそれぞれ情報記録面側を貼り合わせて作
製される。

【０００３】このＤＶＤは貼り合わせの際の偏芯許容量
が例えば５０μｍ程度であるため、各々のＰＣ基板をス
タンパー等により成形した後それぞれの回転中心を合わ
せて貼り合わせることで充分な品質のものが得られてい
た。

【０００４】一方、次世代高記録密度化大容量の多層光
学記録媒体（以下、「多層光ディスク」という）は、例
えばポリカーボネート等からなる第１の光学記録層が設
けられた例えば厚さ約０．１ｍｍのＰＣシートと第２の
光学記録層が設けられた厚さ約１．１ｍｍのＰＣ基板と
を樹脂等の接着剤により貼りつける方式で作製される。

【０００５】図１０にこの多層光ディスクの一例を示
す。この多層光ディスクは例えばポリカーボネートなど
からなる厚さ１．１ｍｍ程度の基板４０に、下層光学記
録層用の凹凸パターンＧ１が形成されており、その上層
に例えば膜厚１５ｎｍのアルミニウムからなり、この凹
凸パターンＧ１に対応するパターンを有する反射膜であ
る下層光学記録層４１が形成されており、このようにし
て下層基板即ちＰＣ基板３１が構成されている。

【０００６】一方、例えばポリカーボネートなどからな
る厚さ７０μｍ程度の可撓性フィルムである光透過性の
樹脂シート４５に、例えば膜厚８ｎｍのアルミニウムな
どからなり、凹凸パターンが形成された半透明膜の反射
膜である上層光学記録層４３が紫外線硬化樹脂などの接
着剤層４４により接着されており、このようにして上層
基板即ちＰＣシート３２が構成されている。

【０００７】下層光学記録層４１と上層光学記録層４３
が対向する状態で、このＰＣ基板３１とＰＣシート３２
とが感圧性接着剤あるいは紫外線硬化樹脂系接着剤など
の接着剤層４２により貼り合わされている。ここで、下
層光学記録層４１と上層光学記録層４３の間隔（即ち接
着剤層４２の膜厚）は、数１０μｍ程度（例えば２７μ
ｍ）である。

【０００８】この多層光ディスクは、例えば、上層光学
記録層４３及び下層光学記録層４１とが可撓性フィルム
である光透過性の樹脂シート４５側から１００μｍ程度
の深さの範囲内に位置しており、可撓性フィルムである
光透過性の樹脂シート４５側から記録情報を読み取る表
面読みの多層光ディスクとして用いられる。

【０００９】次に、この多層光ディスクの製造方法につ
いて図面を参照して説明する。まず、図１１Ａに示すよ
うに、アクリル樹脂からなり、例えば厚さが１．２ｍｍ
であるアクリル樹脂基板即ち転写基板Ｔの表面に、上層
光学記録層用の凹凸パターンＧ２を形成する。

【００１０】次に、図１１Ｂに示すように、凹凸パター
ンＧ２が形成された転写基板Ｔ上に、例えばスパッタリ
ング法により、例えば８ｎｍの膜厚のアルミニウム、あ
るいは銀またはシリコンなどを堆積させ、この凹凸パタ
ーンＧ２に対応するパターンを有する半透明膜である上
層光学記録層４３を形成する。

【００１１】次に、図１２Ａに示すように、スピンコー
ト法により転写基板Ｔをその中心軸を回転中心軸として
回転した状態で、上層光学記録層４３上に紫外線硬化樹
脂などの感光性の接着剤４４ａを滴下、平坦化し、その
上面に、例えばポリカーボネートなどからなる厚さ７０
μｍ程度の可撓性フィルムよりなる光透過性の樹脂シー
ト４５を重ね合わせる。

【００１２】次に、図１２Ｂに示すように、光透過性の
樹脂シート４５側から紫外線Ｌを照射して、接着剤層４
４を硬化させ、樹脂シート１５と上層光学記録層４３と
を接着する。

【００１３】次に、図１３Ａに示すように、上層光学記
録層４３と転写基板Ｔの界面で剥離する。これにより、
上層光学記録層４３が可撓性フィルムである光透過性の
樹脂シート４５側に転写され、上層光学記録層４３が接
着剤層４４により可撓性フィルムである光透過性の樹脂
シート４５に接着された構成の上層基板即ちＰＣシート
３２となる。

【００１４】アクリル樹脂基板からなる転写基板Ｔ上に
スパッタリング法により形成されたアルミニウム膜であ
る上層光学記録層４３は、この上層光学記録層４３を破
壊することなく、容易に剥離することができる。また、
可撓性フィルムの光透過性の樹脂シート４５が撓むこと
により、さらに剥離が容易となっている。

【００１５】次に、図１３Ｂに示すように、感圧性接着
剤あるいは紫外線硬化樹脂系接着剤などの接着剤層４２
により、予め形成しておいた下層基板即ちＰＣ基板３１
にこのＰＣシート３２を貼り合わせる。ここで、ＰＣ基
板３１は、例えばポリカーボネートなどからなる厚さ
１．１ｍｍ程度の基板４０に、下層光学記録層用の凹凸
パターンＧ１を形成し、その上層に、例えばスパッタリ
ング法により、例えば１５ｎｍの膜厚のアルミニウムな
どを堆積させ、この凹凸パターンＧ１に対応するパター
ンを有する反射膜である下層光学記録層４１を形成する
ことにより、形成する。

【００１６】このＰＣシート３２とＰＣ基板３１を貼り
合わせる工程においては、下層光学記録層４１と上層光
学記録層４３を対向させた状態で例えばそれぞれのセン
ターホールｈの中心を合わせる如くして貼り合わせる。
ここで、下層光学記録層４１と上層光学記録層４３の間
隔（即ち接着剤層４２の膜厚）は、数１０μｍ程度（例
えば２７μｍ）とする。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】昨今、より大記録容量
化の要求に伴ってさらに記録密度が向上し、上記多層光
ディスクの貼りつけ工程の際のＰＣシート３２及びＰＣ
基板３１の偏芯許容量は例えば２５μｍ以下という前述
のＤＶＤよりも厳しい規格が求められる。

【００１８】しかしながら、この多層光ディスクは貼り
合わされる一方のＰＣシート３２が厚さ０．１ｍｍ程の
極薄のシート材で形成されているという構成上撓みや反
りなどが生じ、ＤＶＤのように機械的な位置合わせする
ことが困難であり、また、より厳しい規格の偏芯許容量
を満たす高精度な位置合わせをすることができなかっ
た。

【００１９】本発明は斯かる点に鑑み、例えばＰＣシー
ト及びＰＣ基板を貼り合わせる方式による光学記録媒体
の製造工程において、ＰＣシート及びＰＣ基板の偏芯量
が少なく高い精度で中心位置合わせして良好な貼り合わ
せを行う光学記録媒体の製造装置を提案するものであ
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明光学記録媒体の製
造装置は、第１ディスクと第２ディスクとを接着剤を介
して貼り合わせる貼り合わせ方式の光学記録媒体の製造
装置において、この第１ディスクとこの第２ディスクと
の偏芯誤差を補正する偏芯アライメント手段と、この第
１ディスクをこの偏芯アライメント手段に搬送すると共
に貼り合わせ後のディスクを排出する第１ディスク搬送
手段と、この第２ディスクをこの偏芯アライメント手段
に搬送する第２ディスク搬送手段と、この第１ディスク
及び第２ディスクの貼り合わせを行う真空室を形成する
真空チャンバーと、この真空チャンバー内で貼り合わせ
時の仮押さえ及び加圧を行うパッドとを備え、この第１
ディスク及びこの第２ディスクの偏芯アライメント後、
真空雰囲気で貼り合わせを行うようにするものである。
ここで、この第１ディスクは一の面に情報記録領域が形
成された光学記録層を有する肉厚の基板であり、この第
２ディスクは一の面に情報記録領域が形成された光学記
録層を有する肉薄のシート状基板である。

【００２１】斯かる本発明によれば、第１ディスク及び
第２ディスクの偏芯誤差を補正して中心軸合わせを行っ
た後真空雰囲気中で仮押さえ及び本貼り合わせをするの
で、これら２枚のディスクを良好に貼り合わせすること
ができる。また、第１ディスクを光学記録層を有する肉
厚の基板とし第２ディスクを光学記録層を有する肉薄の
シート状基板とした場合には、光学記録層を複数層積層
した多層光学記録媒体の製造に適用でき良好に貼り合わ
せを行うことができる。

【００２２】また、本発明光学記録媒体の製造装置は、
偏芯アライメント手段は、偏芯アライメントの基準とす
る基準ディスクと、この基準ディスク及び前記第１ディ
スクをクランプするディスククランプ手段と、この第２
ディスクを真空吸着して載置すると共にこの基準ディス
クに基きこのディスククランプ手段の中心軸とこの第２
ディスクの中心軸との偏芯誤差を補正する２軸アライメ
ントステージと、このディスククランプ手段と一体とな
され前記２軸アライメントステージを移動させる２軸ア
ライメントステージ移動用ステージと、９０度間隔に配
置されこの基準ディスク及びこの第２ディスクからの画
像情報を撮り込む３箇所の撮像手段とを有するものであ
る。

【００２３】斯かる本発明によれば、基準ディスク及び
９０度間隔に配置した３箇所の撮像手段により偏芯アラ
イメントを行うようにしたので、簡単な構成で高精度の
中心位置合わせを行うことができる。

【００２４】また、本発明光学記録媒体の製造装置は、
この基準ディスクは中心孔を有する円盤状基板の一の面
にこの中心孔と略同心円のリファレンスラインを形成す
ると共にこのリファレンスラインの内周側に極近接して
このリファレンスライン上の基準位置とする原点マーク
を１点設けるようにするものである。

【００２５】斯かる本発明によれば、偏芯アライメント
の基準とする基準ディスクを簡単な構成の円盤状基板よ
り得、良好に偏芯アライメントを行うことができる。

【００２６】また、本発明光学記録媒体の製造装置は、
この偏芯アライメント手段は、この基準ディスクをこの
ディスククランプ手段にてクランプし、第１撮像手段及
びこのディスククランプ手段と一体のこの２軸アライメ
ントステージ移動用ステージを用いてこの基準ディスク
の原点マーク位置のこのリファレンスラインの線幅の中
央からこの中心孔中心までの距離を測定すると共にこの
第１撮像手段にてこの原点マーク位置のこのリファレン
スラインの線幅の中央の座標を第１座標として取得し、
この第１撮像手段とそれぞれ９０度間隔で配置した第２
及び第３撮像手段をそれぞれこの原点マーク位置のこの
リファレンスラインの線幅の中央が第２及び第３撮像手
段の撮像領域の略中央となる位置に設置すると共に、こ
の第２及び第３撮像手段のそれぞれの座標を第２及び第
３座標として取得し、この第１、第２及び第３座標とこ
の原点マーク位置のリファレンスラインの線幅の中央か
らこの中心孔中心までの距離値とを偏芯アライメントの
基準とするリファレンスデータとして設定するようにす
るものである。

【００２７】斯かる本発明によれば、偏芯アライメント
において補正量の基準となるリファレンスデータを設定
してこれを定期的に更新することにより、温度変化や機
械的な要因等による撮像手段と被偏芯アライメント対象
物を載置するステージとの位置ズレを較正し良好な偏芯
アライメントを行うことができる。

【００２８】そしてまた、本発明光学記録媒体の製造装
置は、この偏芯アライメント手段は、この２軸アライメ
ントステージ上に載置されたこの第２ディスクの情報が
記録された領域の外周部を第１撮像手段により認識し、
この第２ディスクをこの基準ディスクをクランプするこ
のディスククランプ手段と独立して制御移動させてこの
基準ディスクに基くこのリファレンスデータの第１座標
とこの情報記録領域外周部位置とを重ね合わせ、この状
態で、第２及び第３撮像手段によりそれぞれ情報記録領
域外周部位置を認識し、この第２撮像手段によるこの情
報記録領域外周部位置とこのリファレンスデータの第２
座標との差及びこの第３撮像手段によるこの情報記録領
域外周部位置とこのリファレンスデータの第３座標との
差を計算しこれらの差が等しくなるようにこの第２ディ
スクが載置されたステージを制御移動し、さらに、この
第２撮像手段によるこの情報記録領域外周部位置とリフ
ァレンスデータの第２座標との差及び前記第１撮像手段
によるこの情報記録領域外周部位置とこのリファレンス
データの第１座標との差が等しくなるようにこの第１デ
ィスクが載置された２軸アライメントステージを制御移
動して、このディスククランプ装置の中心軸とこの第２
ディスクの円周外周部の中心軸とが一致するようにして
前記第１ディスクとこの第２ディスクとの偏芯アライメ
ントを行うようにするものである。

【００２９】斯かる本発明によれば、３箇所の撮像手段
によって第２ディスクより得られる情報とディスククラ
ンプ装置によりクランプされた基準ディスクに基くリフ
ァレンスデータとをそれぞれ比較し補正するようにして
偏芯アライメントを行っているので、基準ディスク即ち
第１ディスクと第２ディスクとの中心軸の高精度な中心
位置合わせが行える。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明光学
記録媒体の製造装置の実施の形態の例につき説明する。

【００３１】図１は、図１０に示す如き情報を光学的に
記録する光学記録層を複数層積層した多層光学記録媒体
（以下、「多層光ディスク」という）の下層光学記録層
４１を有する例えばポリカーボネート（以下、「ＰＣ」
という）よりなる厚さ約１．１ｍｍのＰＣ基板３１と上
層光学記録層４３を有する例えば厚さ約０．１ｍｍのＰ
Ｃシート３２とを貼り合わせる貼り合わせ工程を行う多
層光ディスクの製造装置の模式的な概略上面図及び側面
図である。これらの製造装置は記載を図示しない外筐に
収納されている。また、図２にはＰＣ基板搬送手段１８
及びＰＣシート搬送手段１９の記載は省略している。

【００３２】この多層光ディスクの製造装置は、ＰＣシ
ート３２が真空吸着によって載置されＰＣ基板３１との
偏芯アライメントを行う偏芯アライメントステージ４等
からなる偏芯アライメント手段、偏芯アライメントステ
ージ４のＰＣシート３２を搬送し所定位置に供給するＰ
Ｃシート搬送手段１９、偏芯アライメントステージ４の
ＰＣ基板３１を搬送し所定位置に供給すると共にＰＣシ
ート３２及びＰＣ基板３１を貼り合わせ後のディスクを
排出するＰＣ基板搬送手段１８、偏芯アライメント手段
による偏芯誤差を補正後貼り合わせが行われる真空チャ
ンバー１６、真空チャンバー１６内で真空雰囲気で貼り
合わせ時の仮押さえ及び本貼り合わせの加圧を行うパッ
ド１７とから構成されている。

【００３３】ＰＣシート搬送手段１９は、上層光学記録
層４３を有する例えば厚さ約０．１ｍｍのＰＣシート３
２を搬送するものであり、このＰＣシート搬送手段１９
はＰＣシート３２を真空吸着により保持する円盤よりな
る搬送部１９ａと先端にこの搬送部１９ａが設けられた
アーム部１９ｂとこのアーム部１９bを回動する回動部
１９ｃとより構成される。

【００３４】ＰＣシート３２は情報記録領域が形成され
ていない面を偏芯アライメントステージ４上面と接して
載置される如くなされる。したがって、この搬送部１９
ａはＰＣシート３２の情報記録領域が形成された光学記
録層４３側よりつかむようになされており、例えば吸着
力を制御する等して非接触方式にて保持することができ
るような真空吸着機構になされている。

【００３５】このＰＣシート搬送手段１９は、ハンド部
１９ａの真空吸着機構、この搬送部１９ａの上下機構及
びこの搬送部１９ａを含むアーム部１９ｂの旋回機構を
有している。この旋回機構によるハンド部１９ａの旋回
位置は偏芯アライメントステージ４の後述する３点クラ
ンプ装置５上及び図示しないＰＣシート投入部である。

【００３６】また、ＰＣ基板搬送手段１８は、下層光学
記録層４１を有する例えば厚さ約０．１ｍｍのＰＣ基板
３１を搬送するものであり、このＰＣ基板搬送手段１８
はＰＣシート３１を真空吸着により保持する如くなされ
た円盤よりなる搬送部１８ａと先端にこの搬送部１８ａ
が設けられたアーム部１８ｂとこのアーム部１８bを回
動する回動部１９ｃとより構成される。

【００３７】このＰＣ基板搬送手段１８は、搬送部１８
ａの真空吸着機構、この搬送部１８ａの上下機構及びこ
の搬送部１８ａを含むアーム部１８ｂの旋回機構を有し
ている。この旋回機構による搬送部１８ａの旋回位置は
偏芯アライメントステージ４の後述する３点クランプ装
置５上、図示しないＰＣ基板投入部及び貼り合わせ後の
完成ディスク排出部である。

【００３８】また図１において、偏芯アライメント手段
は後述する偏芯アライメントの基準とする基準ディスク
２０及びＰＣ基板３１をクランプする３点クランプ装置
５等からなるディスククランプ装置、偏芯誤差を補正す
る偏芯アライメントステージ４、９０度間隔に配置され
基準ディスク２０及びＰＣシート３２からの画像情報を
撮り込む撮像手段としての３箇所のＣＣＤカメラ７，
８，９、之等ＣＣＤカメラに画像情報を撮り込むための
図示しない光源、また取り込まれた画像情報を処理する
ためのパーソナルコンピュータ等の画像処理装置及びこ
の画像を表示するためのモニター等により構成される。

【００３９】この偏芯アライメントステージ４は、図４
に模式的に示すように、Ｘ−Ｙ軸方向に可動する２軸ア
ライメントステージ２及び後述する３点クランプ装置５
と一体となされ２軸アライメントステージ２をＸ軸方向
に長距離移動させる２軸アライメントステージ移動用ス
テージ３により構成されており、この偏芯アライメント
ステージ４は、図１に示すようにスライドステージ６上
を図中左側から順にＰＣシート・ＰＣ基板供給排出位
置、３箇所のＣＣＤカメラよりなる画像処理位置、パッ
ドによる加圧貼り合わせ位置を移動することができる如
くなされている。

【００４０】２軸アライメントステージ２は、ＰＣシー
ト搬送手段１９により供給されたＰＣシート３２を真空
吸着してステージ上に固定するとともに３点クランプ装
置５と一体の２軸アライメントステージ移動用ステージ
３とは独立して可動することができる。

【００４１】本例において、ディスククランプ装置は、
例えば特願２００１−１９５０４３号に開示されている
如き３個のクランプ駒をディスク基板等のセンターホー
ルの内周壁面に押し当ててディスクをクランプするよう
にした３点クランプ装置を用いる。

【００４２】図６にこの３点クランプ装置の一部切り欠
き斜視図を示す。この３点クランプ装置は、例えばディ
スク１４のセンタ−ホールに冶具１２を通して台座部１
１にディスク１４を載置した状態で、カム部材１５をデ
ィスク基板の中心軸を中心として回転させて１２０度間
隔の３個のクランプ駒１３をセンターホールの内周壁面
に同時に押し当てることにより、ディスク１４の高精度
のセンタリング（芯出し）が安定して行えるようになさ
れている。例えばその偏芯量は１μｍ程度と極めて精密
である。また、この３点クランプ装置５は、後述する加
圧貼り合わせ工程のときに３点クランプ装置５を支時す
るセンターピン５ａに沿って２軸アライメントステージ
２の上面以下の高さまで伸縮するようなバネ状機構を有
する。

【００４３】図５は基準ディスクやＰＣシート３２の画
像情報を撮り込むための３台のＣＣＤカメラ７，８，９
の配置を示すものである。偏芯アライメントステージ４
を３台のＣＣＤカメラの下に位置するようにに移動させ
る。そして偏芯アライメントステージ４の略中心即ち３
点クランプ装置５の略中心軸を通るＸ軸上に第１ＣＣＤ
カメラ７を配置し、次に第２ＣＣＤカメラ８及び第３Ｃ
ＣＤカメラ９をこの３点クランプ装置５の略中心軸を通
るＹ軸上の２箇所にそれぞれ配置し、例えば、ＰＣシー
ト３２の情報記録領域外周部がこの３台のＣＣＤカメラ
７，８，９のそれぞれの視野に入るようにする。このよ
うに３台のＣＣＤカメラ７，８，９をそれぞれ９０度間
隔で配置するようにすることで、微調整をする際の移動
量の計算が３台のＣＣＤカメラを１２０度の等間隔で配
置するよりも簡単となり容易に偏芯アライメントができ
る。

【００４４】上述の３台のＣＣＤカメラにより撮り込ま
れた画像情報は、図示しないパーソナルコンピュータ等
よりなる画像処理装置及びモニターに供給される。この
とき、これら３台のＣＣＤカメラで画像情報を撮り込む
際の条件を同一にするため光源は光量調節可能な照度可
変光源（図示せず）を用いる。

【００４５】また、図２において、ＰＣ基板３１及びＰ
Ｃシート３２の貼り合わせを行う真空チャンバー１６
は、偏芯アライメントステージ４に載置されたＰＣシー
ト３２等の径より大きいと共に偏芯アライメントステー
ジ４の２軸アライメントステージ２の1辺より小さく真
空チャンバー１６本体の上面及び側面と偏芯アライメン
トステージ４を下面として密封された真空室を形成す
る。

【００４６】この真空チャンバー１６は、偏芯アライメ
ントステージ４がこの真空チャンバー１６下の加圧貼り
合わせ位置に移動してくると加圧貼り合わせ用の例えば
シリコンよりなるパッド１７と共に偏芯アライメントス
テージ４上に降下し、パッド１７による貼り合わせが終
了すると上昇する支柱１７ａ及び図示しないモータより
なる上下機構と真空引きを行う真空ポンプを有してい
る。

【００４７】次に、貼り合わせ時の中心位置合わせの偏
芯アライメントに使用される基準ディスクについて説明
する。図７において、２０は例えばガラス基板よりなる
基準ディスクを示し、光学記録媒体のセンターホール径
と略同一径の中心孔ｈを有すると共にこの中心孔ｈの中
心と略同一中心位置である光学記録媒体を構成するＰＣ
シート３２またはＰＣ基板３１のそれぞれの光学記録層
に形成された情報記録領域外周径と略同一径のリファレ
ンスライン２２を設ける。このリファレンスライン２２
の中心軸と中心孔ｈの中心軸との偏芯量は極小さく同心
軸円に近いものがより好ましいが、この偏芯量及びリフ
ァレンスライン径寸法の精度は２０〜３０μｍ程度で充
分である。

【００４８】また、図７に拡大して示すように、リファ
レンスライン２２に近接して内周側の任意の場所に原点
マーク２１を設け、この原点マーク２１位置のリファレ
ンスライン２２の線幅の中央Ｃの位置を後述するＣＣＤ
（charge coupled device）カメラ等の撮像装置による
画像撮り込み位置の基準とする。これらリファレンスラ
イン２２及び原点マーク２１は撮像装置により画像情報
としてその他の部分と識別できるようなものであればよ
い。

【００４９】このように、偏芯アライメントのための基
準位置を簡単な構成のガラス基板等より得ることがで
き、後述するＣＣＤカメラ等の撮像装置と組み合わせて
偏芯アライメントを行うことができる。

【００５０】次に、上述の基準ディスク２０を使用して
偏芯アライメントのための３台のＣＣＤカメラ位置キャ
リブレーション及びリファレンスデータ設定について述
べる。

【００５１】まず基準ディスク２０をＰＣ基板搬送手段
１８により偏芯アライメントステージ４を構成する２軸
アライメントステージ移動用ステージ３と一体の３点ク
ランプ装置５にてクランプする。Ｘ軸上に配置された第
１ＣＣＤカメラ７及び２軸アライメントステージ移動用
ステージ３を用いて、図７に示す如く、基準ディスク２
０の原点マーク２１位置のリファレンスライン２２から
中心孔ｈの中心までの距離を正確に測定する。即ち、リ
ファレンスライン２２の線幅の中央Ｃから中心孔ｈ中心
までの距離Ｌを測定する如くする。

【００５２】そして、このときの第１ＣＣＤカメラ７の
座標を第１座標として取得し記憶しておく。同様に、原
点マーク２１位置のリファレンスライン２２の線幅の中
央Ｃがモニターの画面のほぼ真中あたりに見えるよう前
記第１ＣＣＤカメラ７と９０度間隔で配置された第２及
び第３ＣＣＤカメラ８，９を移動すると共にこの第２及
び第３ＣＣＤカメラ８，９の座標、即ち第２及び第３座
標を取得し記憶する。

【００５３】これら第１、第２及び第３座標と原点マー
ク２１位置のリファレンスライン２２の線幅の中央Ｃか
ら中心孔ｈ中心の距離値Ｌとを偏芯アライメントにおい
て補正する際の基準となるリファレンスデータとして、
パーソナルコンピュータ等（図示せず）の画像処理装置
に記憶しておく。以下、図８に示すようにこれらリファ
レンスデータの座標位置をＣｎ（ｎ＝１，２，３）Ｒｅ
ｆと表記する。

【００５４】このように、偏芯アライメントにおいて補
正量の基準となるリファレンスデータを設定して定期的
に更新することで、温度変化や機械的な要因等による撮
像手段と被偏芯アライメント対象物を載置するステージ
との位置ズレを較正することができる。

【００５５】以上のように構成される光学記録媒体の製
造装置の具体的な貼り合わせ手順について説明する。

【００５６】まずＰＣシート投入部より投入される情報
を光学的に記録する光学記録層を有する例えばポリカー
ボネート（ＰＣ）よりなる厚さ約０．１ｍｍのＰＣシー
ト３２を光学記録層４３側を上にしてＰＣシート搬送手
段１９の非接触方式の搬送部１９ａにより保持して、Ｐ
Ｃシート・ＰＣ基板供給排出位置にある偏芯アライメン
トステージ４に搬送、供給する。

【００５７】供給されたＰＣシート３２を偏芯アライメ
ントステージ４の２軸アライメントステージ２上に真空
吸着してＣＣＤカメラ等が設置された画像処理位置へ移
動する。

【００５８】画像処理位置では９０度間隔に配置された
３台のＣＣＤカメラ７，８，９によりこのＰＣシート３
２の情報記録領域外周部の画像を撮り込む。

【００５９】このＰＣシート３２の情報記録領域外周部
より撮り込んだ情報と基準ディスク２０に基くリファレ
ンスデータとを比較して偏芯アライメントを行う。図９
に偏芯アライメント方法のフローチャートを示す。

【００６０】第１ＣＣＤカメラ７によりＰＣシート３２
のＸ軸方向の情報記録領域外周（以下「ＬＯ」という）
位置を認識する（Ｓ１）。このとき認識される位置をＬ
Ｏｎ（ｎ＝１，２，３）と表記し、第１ＣＣＤカメラ７
により認識されたものであればＬＯ１とする。この各Ｃ
ＣＤカメラでの情報記録領域外周位置を認識時、画像処
理条件を同一にするため照度可変光源（図示せず）によ
り照度調整を行う。

【００６１】そして、偏芯アライメントステージ４の２
軸アライメントステージ２をＸ軸方向に移動させて、図
６に示すように、第１ＣＣＤカメラ７で認識した情報記
録領域外周位置ＬＯ１をリファレンスデータＣ１Ｒｅｆ
と重ね合わせる（Ｓ２）。この状態で第２ＣＣＤカメラ
８、第３ＣＣＤカメラ９によりＹ軸方向の情報記録領域
外周位置ＬＯ２、ＬＯ３をそれぞれ認識する（Ｓ３）。

【００６２】第２ＣＣＤカメラ８による情報記録領域外
周位置ＬＯ２及びリファレンスデータＣ２Ｒｅｆの差
（Ｘ２）と、第３ＣＣＤカメラ９による情報記録領域外
周位置ＬＯ３及びリファレンスデータＣ３Ｒｅｆの差
（Ｘ３）とを計算し、これらの差が等しく（Ｘ２＝Ｘ
３）なるように偏芯アライメントステージ４の２軸アラ
イメントステージ２をＹ軸方向に移動させる（Ｓ４）。

【００６３】次に、アライメントステージ４の２軸アラ
イメントステージ２をＸ軸の適切な方向に上述の距離Ｘ
２だけ移動し、第２ＣＣＤカメラ８による情報記録領域
外周位置ＬＯ２及びリファレンスデータＣ２Ｒｅｆの差
（Ｘ２）と、第１ＣＣＤカメラ７による情報記録領域外
周位置ＬＯ１及びリファレンスデータＣ１Ｒｅｆの差
（Ｘ１）が等しく（Ｘ２＝Ｘ１）なるようにする（Ｓ
５）。

【００６４】そして、各ＣＣＤカメラ７，８及び９での
情報記録領域外周位置ＬＯｎとリファレンスデータＣｎ
Ｒｅｆとの差Ｘ１、Ｘ２，Ｘ３が光ディスクの品質が維
持される許容誤差範囲に入っているかどうかを評価する
（Ｓ６）。

【００６５】許容誤差範囲内であれば、偏心アライメン
ト正常終了となる。即ち、図８に示す基準ディスク２０
のリファレンスライン２２の中心軸ＯとＰＣシート３２
の情報記録領域外周の中心軸Ｏ´とが高い精度で一致し
たことになる。

【００６６】また許容誤差範囲を逸脱した場合、偏心ア
ライメントの行われた回数が予め設定した試行回数内で
あるかどうかを判断する（Ｓ７） 偏心アライメントの行われた回数が予め設定した試行回
数内であれば、Ｓ４に戻り偏芯アライメントをやり直
す。しかし、設定した試行回数内で偏心アライメントが
正常終了しなかったときには偏心アライメント失敗とす
る。以上で偏心アライメントアルゴリズムは終了であ
る。

【００６７】このようにして偏芯アライメントステージ
４に載置されたＰＣシート３２の偏心アライメントが行
われ、基準ディスクの中心軸との偏芯量を抑えた高精度
な位置合わせがなされる。この偏芯アライメントに要す
る処理時間は試行回数によるが約４〜６秒で終了するこ
とができる。

【００６８】この偏芯アライメントされた状態でＰＣシ
ート３２が載置されている偏芯アライメントステージ４
をＰＣシート・ＰＣ基板供給排出位置まで戻す。

【００６９】次に、ＰＣ基板投入部より投入される情報
を光学的に記録する光学記録層を有する例えばポリカー
ボネート（ＰＣ）よりなる厚さ約１．１ｍｍのＰＣ基板
３１を光学記録層４１側を下にしてＰＣ基板搬送手段１
８の搬送部１８ａにより真空吸着して保持しＰＣシート
・ＰＣ基板供給排出位置にある偏芯アライメントステー
ジ４の３点クランプ装置５に搬送、供給する。

【００７０】この３点クランプ装置５は、ＰＣ基板３１
を図６に示す３点クランプ装置５の台座部１１に載置し
た状態で、カム部材１５によって１２０度間隔に配置さ
れた３個のクランプ駒１３をセンターホールの内周壁面
に同時に押し当ててクランプする如くしてＰＣ基板３１
の高精度のセンタリング（芯出し）を安定して行う。例
えばクランプ、アンクランプ時の再現性が１μｍ以下の
精度となっている。

【００７１】既にＰＣシート３２は３点クランプ装置５
にクランプした基準ディスク２０との偏芯アライメント
を行っており、即ちＰＣシート３２と３点クランプ装置
５の中心軸との高精度の位置合わせがなされている。こ
の３点クランプ装置５は再現性よくＰＣ基板３１をクラ
ンプするので、したがって、ＰＣシート３２とＰＣ基板
３１を高精度に位置合わせすることができることにな
る。

【００７２】そして、この偏芯アライメントステージ４
の２軸アライメントステージ上面にＰＣシート３２が載
置され、３点クランプ装置５にＰＣ基板３１がクランプ
された状態で、偏芯アライメントステージ４をスライド
ステージ６上をスライドさせ真空チャンバー１６下の加
圧貼り合わせ位置まで移動し、真空チャンバー１６を降
下して偏芯アライメントステージ４を閉じ込めた真空室
を形成する。

【００７３】ここで真空チャンバー１６内の偏芯アライ
メントステージ４の２軸アライメントステージ２上のＰ
Ｃシート３２は真空吸着されているため、このまま真空
チャンバー１６内を真空にすると吸着力がなくなり、貼
り合わせ時にずれてしまう。

【００７４】そこで、真空引きの前に加圧パッド１７を
中間まで降下しＰＣシート３２を接着材４２を介しＰＣ
基板３１の上から仮押さえしてから真空引きを行う。こ
のとき、パッド１７は例えばパッド１７とＰＣ基板３１
のセンタホール近傍のみが接するぐらいの圧力で仮押さ
えするようにする。

【００７５】そして、真空チャンバー１６内が所定の真
空度に達したら、ＰＣ基板３１全面に加圧される位置ま
でパッド１７を降下させ指定時間例えば５秒間だけその
状態を保持して貼り合わせを行う。

【００７６】このように、真空雰囲気にて貼り合わせを
することによりＰＣシート３２とＰＣ基板３１の間に気
泡が入ることを防ぐことができる。

【００７７】貼り合わせ終了後、加圧パッドを待機位置
まで上昇させて、真空バルブを開いて真空チャンバー１
６内を常圧に戻してから真空チャンバー１６を上昇させ
る。

【００７８】そして、完成ディスクを載せた偏芯アライ
メントステージ４をＰＣシート・ＰＣ基板供給排出位置
まで移動させ、ＰＣ基板搬送手段１８の搬送部１８ａに
より真空吸着して保持しこの完成ディスクを完成ディス
ク排出部へ搬送する。

【００７９】以上より明らかなように本例によれば、３
箇所のＣＣＤカメラ７，８，９によってＰＣシート３２
の情報記録領域外周部より得られる情報と基準ディスク
２０に基くリファレンスデータとをそれぞれ比較し補正
するようにしているので、ＰＣシート３２及び基準ディ
スク２０がクランプされた３点クランプ装置５の中心軸
の高精度な中心位置合わせが行うことができる。したが
って、ＰＣシート３２の中心軸及びＰＣ基板３１の中心
軸が高精度に中心位置合わせされた状態で貼り合わせを
行うことができ、その偏芯量を２５μｍ以内に抑えるこ
とができる。

【００８０】また本例によれば、貼り合わせ工程を装置
化することによりＰＣシート３２及びＰＣ基板３１に触
れずに貼り合わせすることができるため、人的な作業ミ
スや有機コンタミネーション等の付着がなくなり、歩留
まりが向上する。

【００８１】また本例によれば、真空雰囲気にて貼り合
わせをすることによりＰＣシート３２とＰＣ基板３１の
間に気泡が入ることを防ぐことができる。

【００８２】そしてまた本例によれば、多層光学記録媒
体を構成するＰＣシートに適用して精密な偏芯アライメ
ントが行えるので、この多層光学記録媒体の貼り合わせ
工程に必要とされるより厳しい規格内の中心位置合わせ
ができるようになる。従って、より多層化された次世代
高記録密度化大容量の光学記録媒体の貼り合わせ工程に
おいても高精度の位置合わせが期待できる。

【００８３】尚、上述した例では多層光学記録媒体を構
成するＰＣシートとＰＣ基板の貼り合わせについて述べ
たがＤＶＤ等の肉厚のディスク同士の貼り合わせに適用
することもでき、上述した例に限られることなく本発明
の要旨を逸脱することなくその他種々の構成が取り得る
ことは勿論である。

【００８４】

【発明の効果】斯かる本発明によれば、第１ディスク及
び第２ディスクの偏芯誤差を補正して中心軸合わせを行
った後真空雰囲気中で仮押さえ及び本貼り合わせをする
ので、これら２枚のディスクを精度よく良好に貼り合わ
せすることができる利益がある。また、第１ディスクを
光学記録層を有する肉厚の基板とし第２ディスクを光学
記録層を有する肉薄のシート状基板とした場合には、光
学記録層を複数層積層した多層光学記録媒体の製造に適
用でき精度よく良好に貼り合わせを行うことができる。

【００８５】また本発明によれば、基準ディスク及び９
０度間隔に配置した３箇所の撮像手段により偏芯アライ
メントを行うようにしたので、簡単な構成で高精度の中
心位置合わせを行うことができる利益がある。

【００８６】また本発明によれば、偏芯アライメントの
基準とする基準ディスクを簡単な構成の円盤状基板より
得、良好に偏芯アライメントを行うことができる利益が
ある。

【００８７】また本発明によれば、偏芯アライメントに
おいて補正量の基準となるリファレンスデータを設定し
てこれを定期的に更新することにより、温度変化や機械
的な要因等による撮像手段と被偏芯アライメント対象物
を載置するステージとの位置ズレを較正し良好な偏芯ア
ライメントを行うことができる利益がある。

【００８８】また本発明によれば、３箇所の撮像手段に
よって第２ディスクより得られる情報とディスククラン
プ装置によりクランプされた基準ディスクに基くリファ
レンスデータとをそれぞれ比較し補正するようにして偏
芯アライメントを行っているので、基準ディスク即ち第
１ディスクと第２ディスクとの中心軸の高精度な中心位
置合わせが行える利益がある。

【００８９】また本発明によれば、貼り合わせ工程を装
置化することにより貼り合わされる第１ディスク及び第
２ディスクに触れずに貼り合わせすることができるた
め、人的な作業ミスや有機コンタミネーション等の付着
がなくなり、歩留まりが向上する利益がある。

【００９０】そしてまた本発明によれば、真空雰囲気に
て貼り合わせをすることにより貼り合わされる第1ディ
スク及び第２ディスクとの間に気泡が入ることを防ぐこ
とができる利益がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明光学記録媒体の製造装置の実施の形態の
例を示す概略上面図である。

【図２】図１の概略側面図である。

【図３】本発明の説明に供する線図である。

【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。

【図５】ディスククランプ装置の一例を示す線図であ
る。

【図６】本発明の説明に供する線図である。

【図７】本発明の説明に供する線図である。

【図８】本発明の説明に供する線図である。

【図９】本発明の説明に供する線図である。

【図１０】光学記録媒体の例を示す断面図である。

【図１１】光学記録媒体の製造方法の例の製造工程を示
す断面図である。

【図１２】光学記録媒体の製造方法の例の製造工程を示
す断面図である。

【図１３】光学記録媒体の製造方法の例の製造工程を示
す断面図である。

【符号の説明】

２・・・・２軸アライメントステージ、３・・・・２軸アライメ
ントステージ移動用ステージ、４・・・・偏芯アライメント
ステージ、５・・・・３点クランプ装置、７，８，９・・・・Ｃ
ＣＤカメラ、１６・・・・真空チャンバー、１７・・・・パッ
ド、１８・・・・ＰＣ基板搬送手段、１９・・・・ＰＣシート搬
送手段、２０・・・・基準ディスク、２１・・・・原点マーク、
２２・・・・リファレンスライン、３１・・・・ＰＣ基板、３２
・・・・ＰＣシート

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１ディスクと第２ディスクとを接着剤
   を介して貼り合わせる貼り合わせ方式の光学記録媒体の
   製造装置において、 前記第１ディスクと前記第２ディスクとの偏芯誤差を補
   正する偏芯アライメント手段と、 前記第１ディスクを前記偏芯アライメント手段に搬送す
   ると共に貼り合わせ後のディスクを排出する第１ディス
   ク搬送手段と、 前記第２ディスクを前記偏芯アライメント手段に搬送す
   る第２ディスク搬送手段と、 前記第１ディスク及び第２ディスクの貼り合わせを行う
   真空室を形成する真空チャンバーと、 前記真空チャンバー内で貼り合わせ時の仮押さえ及び加
   圧を行うパッドとを備え、 前記第１ディスク及び前記第２ディスクの偏芯アライメ
   ント後、真空雰囲気で貼り合わせを行うようにしたこと
   を特徴とする光学記録媒体の製造装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光学記録媒体の製造装
   置において、 前記第１ディスクは一の面に情報記録領域が形成された
   光学記録層を有する肉厚の基板であり、 前記第２ディスクは一の面に情報記録領域が形成された
   光学記録層を有する肉薄のシート状基板であることを特
   徴とする光学記録媒体の製造装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の光学記録媒体の製造装
   置において、 前記偏芯アライメント手段は偏芯アライメントの基準と
   する基準ディスクと、 前記基準ディスク及び前記第１ディスクをクランプする
   ディスククランプ手段と、 前記第２ディスクを真空吸着して載置すると共に前記基
   準ディスクに基き前記ディスククランプ手段の中心軸と
   前記第１ディスクの中心軸との偏芯誤差を補正する２軸
   アライメントステージと、 前記ディスククランプ手段と一体となされ前記２軸アラ
   イメントステージを移動させる２軸アライメントステー
   ジ移動用ステージと、 ９０度間隔に配置され前記基準ディスク及び前記第２デ
   ィスクからの画像情報を撮り込む３箇所の撮像手段とを
   備えることを特徴とする光学記録媒体の製造装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の光学記録媒体の製造装
   置において、 前記基準ディスクは中心孔を有する円盤状基板の一の面
   に前記中心孔と略同心円のリファレンスラインを形成す
   ると共に該リファレンスラインの内周側に極近接して該
   リファレンスライン上の基準位置とする原点マークが１
   点設けられたことを特徴とする光学記録媒体の製造装
   置。
5. 【請求項５】 請求項３に記載の光学記録媒体の製造装
   置において、 前記偏芯アライメント手段は、前記基準ディスクを前記
   ディスククランプ手段にてクランプし、第１撮像手段及
   び前記ディスククランプ手段と一体の前記２軸アライメ
   ントステージ移動用ステージを用いて前記基準ディスク
   の原点マーク位置の前記リファレンスラインの線幅の中
   央から前記中心孔中心までの距離を測定すると共に前記
   第１撮像手段にて前記原点マーク位置の前記リファレン
   スラインの線幅の中央の座標を第１座標として取得し、
   前記第１撮像手段とそれぞれ９０度間隔で配置した第２
   及び第３撮像手段をそれぞれ前記原点マーク位置の前記
   リファレンスラインの線幅の中央が第２及び第３撮像手
   段の撮像領域の略中央となる位置に設置すると共に、前
   記第２及び第３撮像手段のそれぞれの座標を第２及び第
   ３座標として取得し、前記第１、第２及び第３座標と前
   記原点マーク位置のリファレンスラインの線幅の中央か
   ら前記中心孔中心までの距離値とを偏芯アライメントの
   基準とするリファレンスデータとして設定するようにし
   たことを特徴とする光学記録媒体の製造装置。
6. 【請求項６】 請求項３に記載の光学記録媒体の製造装
   置において、 前記偏芯アライメント手段は、前記２軸アライメントス
   テージ上に載置された前記第２ディスクの情報が記録さ
   れた領域の外周部を第１撮像手段により認識し、前記第
   ２ディスクを前記基準ディスクをクランプする前記ディ
   スククランプ手段と独立して制御移動させて前記基準デ
   ィスクに基く前記リファレンスデータの第１座標と前記
   情報記録領域外周部位置とを重ね合わせ、この状態で、
   第２及び第３撮像手段によりそれぞれ情報記録領域外周
   部位置を認識し、前記第２撮像手段による前記情報記録
   領域外周部位置と前記リファレンスデータの第２座標と
   の差及び前記第３撮像手段による前記情報記録領域外周
   部位置と前記リファレンスデータの第３座標との差を計
   算しこれらの差が等しくなるように前記第２ディスクが
   載置されたステージを制御移動し、さらに、前記第２撮
   像手段による前記情報記録領域外周部位置と前記リファ
   レンスデータの第２座標との差及び前記第１撮像手段に
   よる前記情報記録領域外周部位置と前記リファレンスデ
   ータの第１座標との差が等しくなるように前記第１ディ
   スクが載置された２軸アライメントステージを制御移動
   して、前記ディスククランプ装置の中心軸と前記第２デ
   ィスクの円周外周部の中心軸とが一致するようにして前
   記第１ディスクと前記第２ディスクとの偏芯アライメン
   トを行うようにしたことを特徴とする光学記録媒体の製
   造装置。