JPH0870590A - 超音波振動子の駆動装置 - Google Patents

超音波振動子の駆動装置

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JPH0870590A
JPH0870590A JP6228862A JP22886294A JPH0870590A JP H0870590 A JPH0870590 A JP H0870590A JP 6228862 A JP6228862 A JP 6228862A JP 22886294 A JP22886294 A JP 22886294A JP H0870590 A JPH0870590 A JP H0870590A
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JP
Japan
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voltage
inductor
energy conversion
mechanical energy
conversion element
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Withdrawn
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JP6228862A
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English (en)
Inventor
Toshiharu Tsubata
敏晴 津幡
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 超音波振動子の電気−機械エネルギー変換素
子に印加する電圧を電源電圧によらずに調整するととも
に、電気−機械エネルギー変換素子に突入電流が流れる
のを防ぐ。 【構成】 弾性体と、弾性体に固定された電気−機械エ
ネルギー変換素子とからなる超音波振動子の電気−機械
エネルギー変換素子に交流電圧を印加する超音波振動子
において、途中端子を4cもつインダクタ4を有し、イ
ンダクタ4の途中端子4cともうひとつのいずれかの端
子に駆動電圧印加手段を接続するとともに、電気−機械
エネルギー変換素子をインダクタ4の両端に接続する

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電気−機械エネルギー
変換素子に交流電圧を印加して超音波振動を発生させ、
これをエネルギー源とする装置、例えば超音波モータに
関する。
【0002】
【従来の技術】弾性体に電気−機械エネルギー変換素子
を固定して超音波振動子を構成し、この電気−機械エネ
ルギー変換素子に交流電圧を印加して超音波振動を発生
させる技術として、先に本出願人が出願した特開平6−
105571号公報記載の超音波リニアモータがある。
【0003】これは、図8のように弾性体100に二つ
の圧電素子101、102を固定し圧電素子101、1
02に互いに90度位相の異なる電圧を印加し、弾性体
100に図9に示す縦共振振動と、図10に示す屈曲共
振振動とを同時に発生させ、この二つの定在波が合成さ
れて楕円振動が発生する部分に摺動部材106、107
(図8)を固定し、摺動部材106、107に接する移
動体を移動させるものである。
【0004】このリニアモータを駆動する駆動装置の例
としては、先に本出願人が出願した特願平6−1383
34号の発明がある。この中から超音波振動子の積層圧
電素子の駆動部分(電力供給部分)のみを抜粋すると図
11のようになり、PチャンネルMOS−FET151
と、NチャンネルMOS−FT152が模式的に示した
駆動電圧源156により交互にスイッチングされ、電流
電圧源153から圧電素子155に交流電圧が印加され
る。インダクタンス154はスイッチング時に、キャパ
シタンス成分をもつ圧電素子155に突入電流が流れな
いように、チョークコイルとして挿入されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図11
に示した駆動回路で特開平6−105571号公報記載
の超音波リニアモータの振動子を駆動すると、直流電圧
源153の電圧を最適値に調整する必要があり、駆動電
圧源156をTTL等で構成した場合には、直流電圧源
153とは別にDC5Vの電圧源が必要になる。また直
流電圧源153を電池で置き換える際には、DC−DC
コンバータ等の電圧変換手段が必要であった。
【0006】よって本発明は前記問題点に鑑みてなされ
たものであり、電源電圧によらず、かつ部品点数を増や
さず、超音波振動子の電気−機械エネルギー変換素子に
印加する電圧を調整するとともに、電気−機械エネルギ
ー変換素子に突入電流が流れるのを防ぐことを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は弾性体と、弾性体に固定された電気−機械
エネルギー変換素子とからなる超音波振動子の電気−機
械エネルギー変換素子に交流電圧を印加する超音波振動
子において、途中端子をもつインダクタを有し、該イン
ダクタの途中端子ともうひとつのいずれかの端子に駆動
電圧印加手段を接続するとともに、該電気−機械エネル
ギー変換素子を該インダクタの両端に接続し、または、
途中端子をもつインダクタを有し、該インダクタの両端
子に駆動電圧印加手段を接続するとともに、該電気−機
械エネルギー変換素子を該インダクタの途中端子といず
れかもうひとつの端子に接続したことを特徴とする。な
お、上記駆動電圧印加手段の出力は、スイッチング手段
で構成される。
【0008】
【作用】請求項1に係る超音波振動子の駆動装置では、
超音波振動子の電気−機械エネルギー変換素子に印加す
る交流電圧振幅が適当な値になるように大きくすること
ができる。請求項2に係る超音波振動子の駆動装置で
は、超音波振動子の電気−機械エネルギー変換素子に印
加する交流電圧振幅が適当な値になるように小さくする
ことができる。請求項3に係る超音波振動子の駆動装置
では、電気−機械エネルギー変換素子に突入電流が流れ
ることなく、駆動電圧印加手段の出力素子(パワートラ
ンジスタ等)の発熱によるエネルギー損失を最小にでき
る。
【0009】
【実施例1】図1から図4は本発明の実施例1を示し、
図1は電気−機械エネルギー変換素子として圧電素子を
用いたときの超音波振動子の駆動回路を示す図、図2は
超音波振動子の一例を示す図、図3および図4は図1の
回路にキャパシタを挿入した状態を示す図である。
【0010】PNPトランジスタ1のエミッタは電圧が
Vである直流電圧源3の正極に接続され、コレクタはN
PNトランジスタ2のコレクタに接続され、PNPトラ
ンジスタ2のエミッタは直流電圧源3の負極と同電位
(以下GNDという)に接続される。二つのトランジス
タ1、2のベースは模式的に図示してあり、GNDと所
定の正電位を周期的に発生する駆動電圧源6に接続さ
れ、これにより駆動される。
【0011】抵抗7、8はトランジスタ1、2のベース
に流れる電流を制限するものである。二つのトランジス
タ1、2のコレクタはインダクタ4の途中端子4cに接
続され、インダクタ4の一方の端子4aは圧電素子5の
正端子に、またインダクタ4の他方の端子4bはGND
に接続される。また、圧電素子5の負端子もGNDに接
続される。
【0012】図2は超音波振動子の一例を示したもので
ある、これは、従来の技術で説明したものと同じであ
り、二つの電気−機械エネルギー変換素子として圧電素
子5a,5bが取り付けられている。なお、この振動子
を駆動する場合は、圧電素子が二つあるので、図1の駆
動装置が2組必要になるが、同じ動作になるので、ここ
では省略して1組についてのみ説明する。
【0013】つぎに、この構成の装置の作用について説
明する。駆動電圧源6によりトランジスタ1、2は交互
にスイッチングを行い、これによりインダクタ4の途中
端子の電位は、トランジスタのON抵抗を無視すれば、
直流電圧源3の電圧VとGNDを周期的に繰り返すこと
になる。すると、インダクタ4の端子4aと4bとの間
には駆動電圧源6と同じ周波数の交流電圧が発生し、圧
電素子5が駆動され超音波振動が発生する。
【0014】このとき4aから4cまでの巻き数と4b
から4cまでの巻き数の比をn:mとすると、インダク
タの端子4aの開放時(圧電素子5が接続されていない
時)には、端子4cの電位の(1+n/m)倍の電位が
発生する。また圧電素子5が端子4aに接続されている
と、圧電素子のインピーダンスZ1 と、インダクタの端
子4aからみた出力インピーダンスZs により、圧電素
子5に印加される電圧は端子4aの{(1+n/m)×
1 /(Z1 +Zs )}倍になる。従って、巻き数比
n:mを適当に選べば、圧電素子5の駆動電圧を直流電
圧源の電圧Vによらず調整できる。
【0015】一般に圧電素子はその構造上キャパシタと
しての性質を持つため、交流電圧を加えると電流が電圧
の微分に比例して流れるため、矩形波電圧を印加すると
その立ち上がりと立ち下がりの瞬間に非常に大きな突入
電流が流れる。この電流は圧電素子の変位(超音波振
動)に殆ど寄与せず、熱として損失される。
【0016】しかし、一般にトランジスタは、飽和領域
で使用(スイッチング素子として使用)するときは、線
型領域で使用する場合に比較して、トランジスタ自身の
発熱によるエネルギー損失が少ないことが知られてい
る。そのため、トランジスタをスイッチングさせた方が
有利であるが、波形は矩形波となってしまう。
【0017】これに対して、本実施例においてはインダ
クタ4がチョークコイルとして働き、トランジスタ1、
2のスイッチングで発生する矩形波電圧に起因する突入
電流は制限される。
【0018】本実施例によれば、インダクタ4の巻き数
比を選択することにより電圧を調整することができ、圧
電素子5の駆動電圧として直流電圧源3によらずに決定
でき、駆動電圧源6を構成する回路と同一電源(例えば
駆動電圧源がTTLにより構成されるならばDC5V)
にできる。
【0019】さらに、インダクタのインダクタンスによ
り圧電素子に流れる電流の高周波成分を制限できるの
で、トランジスタをスイッチングしても突入電源をなく
することが可能である。即ち、トランジスタの発熱をお
さえつつ、圧電素子に突入電流が流れることも防げるこ
とになる。
【0020】本実施例を補足すると、図1の回路では、
超音波振動を停止するときには必ずトランジスタ1がO
FFになる状態(駆動電圧源6がHigh)で停止しな
いと直流電圧源3が短絡されてしまうが、図3および図
4のように、キャパシタ11または12を挿入すればこ
の制約をなくすることができる。
【0021】
【実施例2】図5は本発明の実施例2を示し、インダク
タ22の一方の端子22aには直流電圧電源が接続さ
れ、インダクタ22の途中端子22cには圧電素子24
の正端子が接続される。MOS−FET21のゲートは
模式的に示したGNDと所定の正電位を周期的に発生す
る駆動電圧源25に接続され、MOS−FET21のド
レインはインダクタ22の一つの端子22bに、ソース
は直流電圧源23の負極と同電位(以下GNDという)
に接続される。また圧電素子24の負端子もGNDに接
続される。圧電素子24は超音波振動子に超音波を発生
させる駆動源としての電気−機械エネルギー変換素子で
あり、ここで超音波振動子は本発明の作用においては特
に必要としないのでその説明を省略する。
【0022】この構成において、駆動電圧源25により
MOS−FET21はスイッチングされ、インダクタ2
2の電流のON/OFFを行う。MOS−FET21が
ON/OFFすると端子22cには交流電圧が発生す
る。即ち、MOS−FET21をONするとインダクタ
22に電流が流れ、端子22cにはインダクタ22の巻
き数比に応じて低下した電圧が発生する。また、OFF
にすると直流電圧源23の電圧が端子22cに発生す
る。このようにして圧電素子24にインダクタ22の巻
き数により電圧振幅を調整して交流電圧が印加され超音
波振動が発生する。
【0023】本実施例によれば、圧電素子24に印加す
る交流電圧振幅を調整できることに加えて、実施例1と
比較してスイッチング素子を一つ減らすことができる。
【0024】
【実施例3】図6および図7は本発明の実施例3を示
し、PチャンネルMOS−FET31のドレインは直流
電圧源33の正極に接続され、ソースはNチャンネルM
OS−FET32のソースに接続され、NチャンネルM
OS−FET32のドレインは直流電圧源33の負極と
同電位(以下GNDという)に接続される。二つのMO
S−FET31、32のゲートは模式的に図示してあ
り、GNDと所定の正電位を周期的に発生する駆動電圧
源39に接続され、これにより駆動される。
【0025】同様にPチャンネルMOS−FET36の
ドレインは直流電圧源37の正極に接続され、ソースは
NチャンネルMOS−FET37のソースに接続され、
NチャンネルMOS−FET37のドレインはGNDに
接続される。二つのMOS−FET36、37のゲート
は駆動電圧源39をインバータ40で論理を反転して接
続され、これにより駆動される。
【0026】それぞれのMOS−FET対はインダクタ
34、38の途中端子34c,38cに接続され、イン
ダクタ34、38の端子34a,38aは圧電素子35
の電気端子にまたインダクタ34、38のもう一つの端
子34b,38bはGNDに接続される。
【0027】圧電素子35は超音波振動子に超音波を発
生させる駆動源としての電気−機械エネルギー変換素子
であり、ここで超音波振動子は本発明の作用においては
特に必要としないのでその説明を省略する。
【0028】この構成において、駆動電圧源39により
MOS−FET31、32は交互にスイッチングを行
い、これによりインダクタ34の途中端子34cには交
流電圧が加わる。そして、実施例1と同様に圧電素子3
5にはインダクタ34の巻き取り数に応じた交流電圧が
印加される。
【0029】同じく駆動電圧源39がインバータ40で
その論理が反転され、これによりMOS−FET36、
37は交互にスイッチングを行い、これによりインダク
タ38の途中端子には交流電圧が加わる。そして圧電素
子35にはインダクタ38の巻き数に応じた交流電圧が
印加される。
【0030】このとき、MOS−FET31と37が同
時にONし、MOS−FET32と36が同時にONす
る。従って、図7に示すように、インダクタ34の端子
34aとインダクタ38の端子38aに発生する交流電
圧は位相が180度ずれており、圧電素子35にはこの
二つの交流電圧の差が印加されることになるため、電圧
振幅はそれぞれの2倍になる。
【0031】本実施例によれば、スイッチング素子をブ
リッジ構成としたことにより、実施例1と比較して同一
の直流電圧源とインダクタを用いた場合に、圧電素子の
電圧振幅が2倍になるため、圧電素子の変位も2倍にす
ることができる。従って、直流電圧源の電圧が低くても
大きな振動振幅が得やすい。
【0032】
【発明の効果】本発明の超音波振動子の駆動装置によれ
ば、請求項1に係る効果として、超音波振動子の電気−
機械エネルギー変換素子に印加する交流電圧振幅を適当
な値になるように大きくすることができる。請求項2に
係る効果として、超音波振動子の電気−機械エネルギー
変換素子に印加する交流電圧振幅を適当な値になるよう
に小さくすることができる。請求項3に係る効果とし
て、電気−機械エネルギー変換素子に突入電流が流れる
ことなく、駆動電圧印加手段の出力素子(パワートラン
ジスタ等)の発熱によるエネルギー損失を最小にするこ
とができる。以上、本発明は電源電圧によらずに、かつ
部品点数を増やさずに実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1における超音波振動子の駆動
回路を示す図。
【図2】超音波振動子の一例を示す図。
【図3】図1の回路にキャパシタを挿入した状態を示す
図。
【図4】図1の回路にキャパシタを挿入した状態を示す
図。
【図5】本発明の実施例2における超音波振動子の駆動
回路を示す図。
【図6】本発明の実施例3における超音波振動子の駆動
回路を示す図。
【図7】電圧の位相および振幅を示す図。
【図8】従来技術を説明する図。
【図9】従来技術を説明する図。
【図10】従来技術を説明する図。
【図11】従来技術を説明する図。
【符号の説明】
1,2 トランジスタ 3,23,33 直流電圧源 4,22,34,38 インダクタ 5,24,35 圧電素子 6,25,39 駆動電圧源 7 抵抗 11,12 キャパシタ 21,31,36,37 MOS−FET 40 インバータ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 弾性体と、弾性体に固定された電気−機
    械エネルギー変換素子とからなる超音波振動子の電気−
    機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加する超音波振
    動子において、 途中端子をもつインダクタを有し、該インダクタの途中
    端子ともうひとつのいずれかの端子に駆動電圧印加手段
    を接続するとともに、該電気−機械エネルギー変換素子
    を該インダクタの両端に接続したことを特徴とする超音
    波振動子の駆動装置。
  2. 【請求項2】 弾性体と、弾性体に固定された電気−機
    械エネルギー変換素子とからなる超音波振動子の電気−
    機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加する超音波振
    動子において、 途中端子をもつインダクタを有し、該インダクタの両端
    子に駆動電圧印加手段を接続するとともに、該電気−機
    械エネルギー変換素子を該インダクタの途中端子といず
    れかもうひとつの端子に接続したことを特徴とする超音
    波振動子の駆動装置。
  3. 【請求項3】 上記駆動電圧印加手段の出力は、スイッ
    チング手段で構成されることを特徴とする請求項1およ
    び請求項2記載の超音波振動子の駆動装置。
JP6228862A 1994-08-30 1994-08-30 超音波振動子の駆動装置 Withdrawn JPH0870590A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008060879A (ja) * 2006-08-31 2008-03-13 Kaijo Sonic Corp 圧電セラミック素子駆動回路
JP2009542181A (ja) * 2006-07-05 2009-11-26 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 圧電アクチュエータ
JP2019518501A (ja) * 2016-05-03 2019-07-04 スミス アンド ネフュー ピーエルシーSmith & Nephew Public Limited Company 陰圧療法システムにおける陰圧源を駆動するためのシステム及び方法

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Effective date: 20011106