JP2002176788A - 4相駆動振動型アクチュエータの駆動回路 - Google Patents
4相駆動振動型アクチュエータの駆動回路Info
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Abstract
回路によって4相駆動振動型アクチュエータを駆動する
駆動回路を提供する。 【解決手段】駆動相の4相の電極(A+,B+,A-,B-)を設
けた振動型アクチュエータに対して、2つのセンタータ
ップ付のトランス10、11を用意し、トランス10,11の二
次側の両端に圧電素子のA+電極とA-電極、B+電極とB-電
極を接続し、駆動周波数に応じてパルス発生回路で発生
したパルスにより各トランス毎に設けた各スイッチング
回路(FET2〜5、FET6〜9)をオン・オフ制御してトラン
ス11とトランス12に交流電圧を発生させ、その際両方の
スイッチング回路へのパルスに90°の位相差を持たせ
る。
Description
部等に用いられる振動型アクチュエータの駆動回路に関
するものである。
少ない金属等の弾性体に電気−機械エネルギー変換素子
としての圧電素子を接着して形成された振動体、あるい
は弾性体間に圧電素子を挟持して形成された振動体を基
本的構成として有している。そして、前記圧電素子に駆
動回路から周波信号としての駆動信号を印加し、前記振
動体の共振周波数付近での駆動により、前記振動体に加
圧接触する接触体と、前記振動体とを相対駆動する。
プの振動体としては、例えばリング状または円盤状の弾
性体の片面側に、通常圧電素子を複数配し、何組かの圧
電素子を適当に組み合わせ(これを相と呼ぶ)、この相
を複数設け、これらの複数の相に時間的な位相をずらし
て駆動信号を印加して夫々定在波を形成し、これらの複
数の定在波の合成により、振動体に進行波を起こし、前
記圧電素子の接着面とは反対面に加圧接触している接触
体、例えば移動体を駆動している。
は、特開平8-33364号公報の図4、7、8、9、10、11や、
特開平9-271174号公報の図1、および特開平11-178364
号公報の図3に示されるように、スイッチング回路、ト
ランス、パルス発生回路、直流電源から構成され、いず
れの回路もスイッチング回路によって直流電源からトラ
ンスに流す電流を駆動周波数でON/OFFすることによっ
て、トランスの二次側に比較的大きな交流駆動信号を発
生させる回路である。
グ回路、トランス、パルス発生回路が必要である。例え
ば、2相駆動振動型アクチュエータの駆動回路は図17
に示すような回路であるが、4相駆動型の振動型アクチ
ュエータの駆動回路は図18のようになり、かなり大規
模になってしまう。
ンスを示し、550〜573はMOSFET、510〜515は振動型アク
チュエータの駆動相、530、531は電源を示す。また、図
17、18ではパルス発生回路は省略している。実際に
はMOSFETのゲートはすべてパルス発生回路に接続され、
トランスの一次側のコイルに流れる電流の方向が駆動周
波数で切り替わるように駆動信号が入るようになってい
る。
タの駆動回路において、振動型アクチュエータの振動体
を例えばリング状の弾性体の片面に圧電素子を接合した
タイプとし、両相に波長λの定在波を複数波数形成する
場合、前記リング状の圧電素子に対して1/2λ(半波
長)の間隔で分極方向を異極とする領域を複数形成し、
これを一方の相510とし、この一方の相510に対して例え
ば1/4λの間隔を有して同様に半波長の間隔で分極方向
を異極とする領域を複数形成したものを他方の相511と
すると、一方の相510と他方の相511とに時間的に位相の
ずれを有する交番信号である交流電圧を印加する。な
お、各相を構成する半波長ごとの異極の分極領域を形成
する隣り合う電極には互いに同位相の交流電圧が印加さ
れる。
相510用のスイッチング回路を構成し、またMOSFET554〜
557により前記他方の相511用のスイッチング回路を構成
しており、不図示のパルス発生回路から前記両方のスイ
ッチング回路における各MOSFETにそれぞれ駆動周波数に
応じた所定タイミングのパルス波形のパルス信号が出力
され、トランス501、502により昇圧されて波形整形され
た交流電圧がそれぞれ各相510、511に印加される。
ュエータの駆動回路においては、振動型アクチュエータ
の振動体を例えばリング状の弾性体の片面に圧電素子を
接合したタイプとし、両相に波長λの定在波を複数波数
形成する場合、前記リング状の圧電素子に対して1/4λ
の間隔で分極方向を同極とする領域を全周にわたり電極
により形成し、前記電極のうち、一つおきの電極(半波
長の間隔を有する)を一方の相とし、他の一つおきの電
極(半波長の間隔を有し、結果として前記一方の相とは
1/4λの間隔を有する)を他方の相とし、さらに前記一
方の相を構成する隣接する電極については位相の反転し
た交流電圧を印加するようにしており、これを+側の相
512と、−側の相513とする。同様に、他方の相において
も各領域を形成する隣接する電極については位相の反転
した交流電圧を印加するようにしており、これを+側の
相514と、−側の相515としている。
5、MOSFET566〜569、MOSFET570〜573により夫々スイッ
チング回路を構成し、不図示のパルス発生回路から前記
4つのスイッチング回路における各MOSFETにそれぞれ駆
動周波数に応じた所定タイミングのパルス波形のパルス
信号が出力され、トランス503、504、505、506により昇
圧されて波形整形された交流電圧がそれぞれ各相512、5
13、514、515に印加される。
では、パルス発生回路と、各相それぞれにトランス、ス
イッチング回路が必要であり、特に4相駆動振動型アク
チュエータのような多相のアクチュエータではコストお
よびスペース的に不利である。
各素子のばらつきにより出力電圧がばらついて、アクチ
ュエータの特性や寿命に影響を及ぼすおそれがある。
増やすことなく安価で省スペースな回路によって4相駆
動振動型アクチュエータを駆動する回路を提供し、また
特別な調整をすることなく相間の出力電圧のばらつきの
少ない駆動回路を提供することを目的とする。
電気-機械エネルギー変換素子に共振振動の波長の4分
の一波長おきに設けた4相の駆動相に、互いに時間的位
相差を有する4相の交流信号を印加することにより、共
振振動の波長に対して半波長の位置的関係にある一方の
2相の駆動相で形成される定在波と、他方の2相の駆動
相で形成される定在波との合成により進行波を形成する
4相駆動振動型アクチュエータの駆動回路において、駆
動周波数に応じたパルスを発生するパルス発生手段と、
前記パルス発生手段からのパルスによりスイッチング素
子がオン・オフ制御されて第1のトランスに交流電圧を
出力させる第1のスイッチング回路と、前記パルス発生
手段からのパルスによりスイッチング素子がオン・オフ
制御されて第2のトランスに交流電圧を出力させる第2
のスイッチング回路とを有し、前記第1のトランスの二
次側両端に前記一方の2相の駆動相を夫々接続し、前記
第2のトランスの二次側両端に前記他方の2相の駆動相
を夫々接続し、前記パルス発生手段から前記第1のスイ
ッチング回路と前記第2のスイッチング回路へのパルス
を90°の位相差を持って出力させたことを特徴とす
る。
動の波長の4分の一波長おきに配置されたA+、B+、A-、
B-の4相の圧電素子に対して、時間的な位相がそれぞれ
0°、90°、180°、270°または0°、-90°、180°、-2
70°の交流信号を印加して駆動する4相駆動振動型アク
チュエータを駆動する駆動回路において、2組のトラン
ス、スイッチング回路、パルス発生回路および直流電源
からなり、各トランス、スイッチング回路、およびパル
ス回路の組でそれぞれ180°ずれた2相分を駆動す
る。
1および第2のトランスの各一次側は夫々前記第1およ
び前記第2のスイッチング回路に接続され、前記第1お
よび第2のトランスの各二次側には接地されたセンター
タップが設けられていることを特徴とする。
で、前記第1および第2のスイッチング回路は、複数の
スイッチング素子でブリッジ回路に構成され、前記第1
および第2のトランスの一次側のコイルに電流を流す方
向を駆動周波数で交互に切り替えることによって前記第
1および第のトランスに夫々2相分の交流信号を発生さ
せることを特徴とする。
で、前記第1および第2のトランスは、夫々一次側の巻
き線に直流電源に接続されたセンタータップが設けら
れ、前記第1および第2のトランスの一次側の両端に夫
々前記スイッチング素子を接続した第1および第2のス
イッチング回路を構成し、前記第1および第のスイッチ
ング回路における一対の前記スイッチング素子に互いに
時間的に180°ずれたパルスを供給することによっ
て、前記第1および第2のトランスにそれぞれ2相分の
交流信号を発生させることを特徴とする。
で、前記第1および第2のトランスは、夫々一次側の巻
き線に直流電源に接続されたセンタータップが設けら
れ、前記第1および第2のトランスの一次側の片端に前
記スイッチング素子を接続すると共に他端にダイオード
を接続して夫々第1および第2のスイッチング回路を構
成し、前記第1および第2のスイッチング回路の前記各
スイッチング素子を夫々駆動することによって、前記第
1および前記第2のトランスに夫々2相分の交流信号を
発生させることを特徴とする。
で、前記第1および第2のトランスの一次側の巻き線の
片端を直流電源に接続すると共に他端を前記スイッチン
グ素子に接続して夫々前記第1および第2のスイッチン
グ回路を構成し、前記第1および第2のスイッチング回
路の前記各スイッチング素子を駆動することによって、
前記第1および前記第2のトランスに夫々2相分の交流
信号を発生させることを特徴とする。
かの発明で、前記第1および第2のトランスは、二次側
の巻き線でセンタータップから両端の端子までのコイル
と一次側の結合係数およびトランスの二次側の巻き線で
センタータップから両端の端子までのコイルのインダク
タンス値がほぼ等しい値となるように調整されているこ
とを特徴とする。
1および前記第2のトランスは、二次側巻き線が壁部で
仕切られた同じスペースに積層状に巻かれていて、イン
ダクタンス値を調整するために内側のコイルと外側のコ
イルの巻き線数が異なることを特徴とする。
1および第のトランスは、バイファイラ巻きによって巻
かれてセンタータップがつけられていることを特徴とす
る。
第1および第2のトランスの各一次側は夫々前記第1お
よび前記第2のスイッチング回路に接続され、前記第1
のトランスの二次側には前記一方の2相の駆動相の片方
の電極が接続され、前記第2のトランスの二次側には前
記他方の2相の駆動相の片方の電極が接続され、前記一
方及び他方の駆動相の他方の各電極を互いに接続したこ
とを特徴とする。
駆動振動型アクチュエータについて説明する。本実施の
形態における振動体は、図13に示すように、円環形状
に形成された金属製の弾性体101に、曲げ振動によって
生じる周方向の変位を拡大する目的で、放射方向に延び
る変位拡大用の溝104が周方向に沿って等間隔に複数形
成されている。弾性体101の前記溝104が形成されている
面と反対側の面には、円環状の圧電素子102が接着剤、
ろう付けなどの接合方法により固着されている。
極、および分極パターンを示す。図14(a)はパター
ン電極面、図14(b)は裏面の共通電極面を示す。共
通電極面が弾性体101に固着され、共通電極103-2が、弾
性体101と電気的に導通している。
分極パターンについて説明する。本実施の形態の振動体
は、圧電素子の周方向の伸縮によって、定在波の波長を
λとすると、1周に7つの曲げ変形を起こす振動モード
(7λ)を用いるもので、分極処理方向(分極パター
ン)を全て同極として1つの電極をλ/4の間隔で形成
している。
動電極と、節の位置を示す。図15(b)はB相定在波
駆動時のB相駆動電極と、節の位置を示す。
−)の記号で示した領域がA相駆動電極であって、(A
+)電極と、(A−)電極には、互いに逆位相の交番電
圧が印加される。なお、破線は、A相の定在波駆動時の
節の位置を示す。
励起するために、振動振幅が極大となる腹の位置に、各
半波長(λ/2)あたりに1つずつ14個所において均
等に配置されている。
相と位置的位相が4分の1波長(λ/4)ずれた位置で
7次の振動モードを励起させるため、A相パターンとλ
/4ずれた位置で、λ/2のピッチで均等に配置され
る。
に配置するため、A相、B相の各パターン電極は、λ/
4の角度長を持つ、扇形の形状としている。
の記号で示すように、すべてが厚み方向に同じ極性に分
極されている。
給電方法を示す。電圧印加のためのフレキシブルプリン
ト基板107を圧電素子102に接着剤などで貼りつけてい
る。フレキシブルプリント基板107の給電電極は、それ
ぞれ(A+)、(A−)、(B+)、(B−)の4つの
電極に分けられ、波長λのピッチで設けられた電極露出
部であるランド107−1が、圧電素子のパターン電極
を波長λのピッチでそれぞれ短絡している。
と(A−)電極間、および、(B+)と(B−)電極間
に互いに時間的位相が90°ずれた交番電圧を印加す
る。
で(A+)と(A−)の圧電素子が直列に接続されるた
め、素子上で同極性に分極された分極領域が電気的には
逆に接続され、(A+)と(A−)に接続された各分極
領域は、互いに逆位相の伸縮力を発生することとなる。
的位相差λ/4、および時間的位相差90°をもって励
起され、両定在波の合成により進行性の振動波が励起さ
れることになる。
方向が均一で振動体を構成する環状の弾性体の全周に圧
電素子を均等に配置しているため、合成振動振幅の分布
は共に全周に渡って均一にすることができるという特徴
を有する。
の駆動回路の本発明の一実施の形態の構成を示したのが
図1である。
0、11はトランス、12〜15は振動型アクチュエータの駆
動相を示している。
により第1のスイッチング回路を構成し、またMOSFET6
〜9を図示のごとく接続することにより第2のスイッチ
ング回路を構成している。そして、前記第1のスイッチ
ング回路は第1のトランス10の一次側に接続され、ま
た前記第2のスイッチング回路は第2のトランス11の
一次側に接続されている。
し、駆動相13は図15に示す電極(B+)に相当し、駆動
相14は図15に示す電極(A-)に相当し、駆動相15は図
15に示す電極(B-)に相当する。
型アクチュエータの環状の弾性体上に順に0°、90°、1
80°、270°の位相差で配置される。
ランス11の二次側には、インダクタンス上の中点(セ
ンタータップと呼ぶ)が設けられており、このセンター
タップを接地している。そして、第1のトランス10お
よび第2のトランス11のインダクタンスは駆動相の静
電容量とインピーダンスマッチングするように調整され
ている。
スの中点であり、必ずしも巻き線の中点でない。
には(A+)電極に相当する0°位置の駆動相12と(A
-)電極に相当する180°位置の駆動相14が接続さ
れ、また第2のトランス11の二次側の両端には、(B
+)電極に相当する90°位置の駆動相13と(B-)電
極に相当270°位置の駆動相15とが接続されてい
る。
11の二次側の両端には、夫々空間的に180°ずれた
駆動相12,14と、駆動相13,15が接続されている。
番信号の波形は、180°の反転した波形が出力され、
センタータップ付トランスとすることで該二次側両端の
波形のずれを少なくすることができる。
成された第1、第2のスイッチング回路のフルブリッジ
に接続されており、MOSFET2〜5で構成される第1のスイ
ッチング回路と、MOSFET6〜9によって構成される第2の
スイッチング回路とは不図示の90°位相器によって互
いに90°の位相差を有して駆動される。
SFETを示したが、バイポーラトランジスタなどの他の半
導体素子や制御可能な機械接点を用いても同様の構成が
可能である。
である。AからHまでは不図示のパルス発生回路の発生す
る駆動パルスである。FET2、3、6、7はPチャンネルであ
るのでロジックレベルがローのときにFETが導通する。
またFET4、5、8、9はNチャンネルなのでロジックレベル
がハイのときにFETが導通する。パルスA〜DとE〜Hは相
互の位相差が90°に調整されている。
すると、図1に示す第1のトランス10の一次側に上から
下に電流が流れる。また、パルスC、BによってFET3、
4がONすると、第1のトランス10の一次側に下から上に
電流が流れる。この動作を振動体の駆動周波数で繰り返
すことによって、第1のトランス10の二次側に駆動信
号を発生させている。
タンスと圧電素子の静電容量がインピーダンスマッチン
グされているため、第1のトランス10の二次側の両端
の端子に昇圧された正弦波状の電圧が発生する。
インダクタンスの中点にセンタータップが設けてあり接
地されているので、トランスの二次側の両端にはグラン
ドに対して対称な図2のI、Jの波形の電圧が発生する。
のスイッチング回路と第2のトランス11からなる回路
に、パルスE〜Hを加えることによって、第2のトランス
11の二次側の両端にグランドに対して対称な昇圧された
2相の電圧K、Lを発生させることが出来る。
の位相差が90°に調整されているため、結果として図
1の回路において、例えば第1のトランス10の二次側
から0°と180°、第2のトランス11の二次側から90°
と270°の駆動信号を発生させることが出来る。
タの(A+)、(A−)電極12と14、第2のトラン
ス11の両端は(B+)、(B−)電極13と15に接続
され、前述したような進行波を振動体上に励振する。こ
のとき、振動体に圧接された移動体が進行波の方向と逆
方向に駆動される。
は、パルスA〜DとE〜Hの相互の位相差を-90°とすれ
ばよい。この構成によれば従来の図17の回路と比較し
てFETを8個、トランスを2個削減することができ、ロー
コスト化、省スペース化が可能となる。
を示す断面図で、16は一次側コイル、17、18は二
次側のコイルである。発生する電圧が高電圧の場合、相
間の分離をしなければならない。
成とすると、一次側のコイル16と二次側の内側のコイル
17の結合係数とコイル16と18の結合係数が大きく異なる
ため電圧にアンバランスが生じてしまう。こうなるとモ
ータの性能に悪影響を及ぼすばかりでなく、異常な磨耗
の原因になるおそれがある。
で仕切られたスペース内に、コイル18の外周にコイル
17が積層巻きの構成では、一次側のコイル16に対し
て二次側のコイル17と18は略対称であるので、その
ようなアンバランスは非常に小さい。ただし、内側のコ
イル17と外側のコイル18では同じ巻き線数にすると
インダクタンス値が異なった値になってしまうため、イ
ンダクタンス値を揃えるために巻き数を内と外で変え
る。
き線の真中ではなく、インダクタンス値の中点となる。
なお、巻き線の耐圧等が問題にならない場合には、図4
のように2本まとめて巻くバイファイラ巻きによって二
次側の2つのコイル17、18およびセンタータップを作る
のも良い方法である。
め、2つの相の間の電圧は良く揃ったものとなり、前述
したようなアンバランスによる不具合を防ぐことができ
る。
コーダー24からのパルスを速度カウンタ25で検出し
て速度を検出する速度検出手段からの速度情報を制御回
路20に出力し、速度指令発生装置19からの速度指令
と、前記速度情報とを比較して前記速度指令の値となる
ように適当な制御ゲインを掛けて、パルス発生回路21
に対して駆動パルスの周波数、パルス幅などにフィード
バックし、図1に示す回路にパルスを通電して第1、第
2のトランスから0°,180°,90°,270°の
位相ずれを有した交流電圧を4相駆動振動型アクチュエ
ータ23の各相に印加する構成も可能である。
ロコンピュータなどのシステムを制御している装置で、
制御対象の目的に応じた速度指令を発生する。また図で
は速度を示したが、位置、トルク、出力等をフィードバ
ックする構成も同様にして構成可能である。
る第2の実施の形態を示す回路図である。また、図7は
図6の回路に対応する従来の回路である。ここで、26、
43はDC電源、27〜34、44〜47はNチャンネルのMOSFET、
35〜38、48、49はトランスであり、39、40、41、42およ
び50、51、52、53はそれぞれ4相駆動振動型アクチュエ
ータのA+相、B+相、A-相、B-相を示す。
て不図示とした。この型の回路はMOSFETがすべてNチャ
ンネルで構成されるため、図1に示すブリッジ型のスイ
ッチング回路と比較してプリドライバが簡単で、またス
イッチング素子の数が少なくて済むという特徴を有す
る。
ランス48及び第2のトランス49は一次側、二次側に
それぞれセンタータップを持ち、各センタータップは一
次側は直流電源、二次側はグランドに接続されている。
なお、このセンタータップはインダクタンスの中点であ
り、必ずしも巻きの中心でなくとも良い。
アクチュエータのA+相およびA-相に、第2のトランス49
の二次側の両端は振動型アクチュエータのB+相およびB-
相に接続されている。また、図8は図6の回路の動作を
示す図である。
SFET44〜47をパルスM〜Pによって上下のコイルに電流を
流すプッシュプル駆動される。
49の二次側の両端には昇圧された交流電圧が生じる。
このとき、二次側のセンタータップが接地されているた
め、二次側の両端にはグランドに対して対称な交流電
圧、すなわち180°の位相差を持った電圧が発生する。
°の位相差を持たせてあるため、第1、第2のトランス
48、49の両端に発生する電圧の位相差も90°となり、そ
の結果グランドに対して図6の回路で0°、90°、180
°、270°の4相の駆動電圧を発生させることができ
る。
態と同様にしてセンタータップを作るためにトランスを
積層巻きまたはバイファイラ巻きとするのが望ましい。
また、図5のように速度信号や位置信号をフィードバッ
クする構成も可能である。図7の従来の回路の詳しい動
作説明は省略するが、4つのトランスおよびスイッチン
グ回路で4相の電圧を発生している。これと比較して図
6の回路によればFETおよびトランスの個数を半分にす
ることができる。
る第3の実施の形態を示す回路図である。この回路は図
6の回路のうちMOSFET2つをダイオードに置き換えたも
のである。他の構成は図6と同じである。
スU、VによってNチャンネルのMOSFET56、58をON、OFF
する。MOSFETをOFFすると、トランスのインダクタンス
成分によってFETのドレインに誘導電圧が発生する。こ
れをリセットするのがダイオードおよびトランスのダイ
オード側の巻き線である。ダイオード側の巻き線はバイ
ファイラ巻き等によってFET側の巻き線と高い結合係数
を持つように巻かれている。
すると、それと対称なダイオードのカソードには逆極性
の起電力が発生し、ダイオードがONしてトランスの一次
側巻き線を介してエネルギーを電源コンデンサ65に回生
する。この結果FETに掛かる誘導電圧が抑えられる。
接地されているため、第1、第2の実施の形態と同様
に、180°位相差の2相の交流電圧となる。このためトラ
ンス1個で2相分を駆動することが可能である。この回
路では第2の実施の形態の回路と比較してスイッチング
素子の数がさらに半分にできるため、ローコスト省スペ
ースが可能である。
る第4の実施の形態を示す図である。また、図12は図1
1に示す第4の実施の形態をよりシンプルにした回路図
で、図12の回路では少し波形が歪んで効率は劣るけれ
ども、上記した第1〜第3の各実施の形態と比較して最
もローコスト、省スペースなのがこの回路である。
第1〜第3の実施の形態と同様である。トランスの一次
側は片側が直流電源につながり、他方はスイッチング素
子(MOSFET)に接続される。
スで駆動されトランスの二次側には図11、12で上から順
に0°、180°、90°、270°の昇圧された駆動電圧が発
生する。ここで、図11で抵抗67、コンデンサ68、ダイオ
ード69および抵抗71、コンデンサ72、ダイオード73から
なる回路はスナバ回路と呼ばれる回路である。MOSFETの
OFF動作によってドレインに誘導起電力による誘導電圧
が発生するが、この回路によって誘導エネルギーを吸収
し、抵抗で消費することによって高圧が発生するのを防
いでいる。なおFETの耐圧が十分にあるときは、このス
ナバ回路を省略して図12のようによりシンプルな回路を
構成することも可能である。
る第5の実施の形態を示す図である。MOSFETからなるス
イッチング素子602〜609の駆動パルスは図1の回路と同
様である。トランス610、611は1次側、2次側ともセンタ
ータップがないものを用いており、トランス610、611の
二次側両端に空間的に180°の位相差にあるアクチュエ
ータの片方の駆動電極(相)612、613、614、615が接続
されている。
極は、互いに接続されている。この回路の駆動波形は図
2と同様になる。但し、この回路の場合アクチュエータ
に印加される電圧はグランド基準でなく、電極間電圧で
ある。なお、アクチュエータの共通電極を接地または適
当な電位に保つようにしても駆動可能である。この回路
の利点として駆動に必要な信号線を1本減らすことがで
きる。またトランスもタップを省略できるので小型化、
ローコスト化が可能となる。なおスイッチング回路、ト
ランス1次側の構成として図6、図7、図9、図11、図12と
同様の形態を取ることも可能である。
ータの4相の駆動相に対して2つのトランスで駆動用の
交流電圧を生成することができ、部品点数を増やすこと
なく安価で省スペースな回路によって4相駆動振動型ア
クチュエータを駆動する回路を提供できる。
けているので、特別な調整することなく相間の出力電圧
のばらつきの少ない駆動回路を提供できる。
構造図、(b)は不適なトランスの構造図
図
路図
路図
エータの振動体の斜視図
示す図、(b)は反対面の全面電極を示す図
図13の圧電素子のB相を示す図
回路
タに適用した回路図
1、612 トランス 2〜9、27〜34、44〜47、56、58、70、74、82、83、602
〜610 MOSFET 12〜15、39〜42、50〜53、61〜64、77〜80、86〜89、61
3〜616 振動型アクチュエータの駆動相 16、17、18 トランス巻き線(コイル) 55、57、69、73 ダイオード 65、68、72 コンデンサ 67、71 抵抗 101 弾性体 104 溝 102 圧電素子 103 電極 107 フレキシブルプリント基板
Claims (10)
- 【請求項1】 振動体の電気-機械エネルギー変換素子
に共振振動の波長の4分の一波長おきに設けた4相の駆
動相に、互いに時間的位相差を有する4相の交流信号を
印加することにより、共振振動の波長に対して半波長の
位置的関係にある一方の2相の駆動相で形成される定在
波と、他方の2相の駆動相で形成される定在波との合成
により進行波を形成する4相駆動振動型アクチュエータ
の駆動回路において、 駆動周波数に応じたパルスを発生するパルス発生手段
と、前記パルス発生手段からのパルスによりスイッチン
グ素子がオン・オフ制御されて第1のトランスに交流電
圧を出力させる第1のスイッチング回路と、前記パルス
発生手段からのパルスによりスイッチング素子がオン・
オフ制御されて第2のトランスに交流電圧を出力させる
第2のスイッチング回路とを有し、前記第1のトランス
の二次側両端に前記一方の2相の駆動相を夫々接続し、
前記第2のトランスの二次側両端に前記他方の2相の駆
動相を夫々接続し、前記パルス発生手段から前記第1の
スイッチング回路と前記第2のスイッチング回路へのパ
ルスを90°の位相差を持って出力させたことを特徴と
する4相駆動振動型アクチュエータの駆動回路。 - 【請求項2】 前記第1および第2のトランスの各一次
側は夫々前記第1および前記第2のスイッチング回路に
接続され、前記第1および第2のトランスの各二次側に
は接地されたセンタータップが設けられていることを特
徴とする請求項1に記載の4相駆動振動型アクチュエー
タ駆動回路。 - 【請求項3】 前記第1および第2のスイッチング回路
は、複数のスイッチング素子でブリッジ回路に構成さ
れ、前記第1および第2のトランスの一次側のコイルに
電流を流す方向を駆動周波数で交互に切り替えることに
よって前記第1および第のトランスに夫々2相分の交流
信号を発生させることを特徴とする請求項1または2に
記載の4相駆動振動型アクチュエータ駆動回路。 - 【請求項4】 前記第1および第2のトランスは、夫々
一次側の巻き線に直流電源に接続されたセンタータップ
が設けられ、前記第1および第2のトランスの一次側の
両端に夫々前記スイッチング素子を接続した第1および
第2のスイッチング回路を構成し、前記第1および第の
スイッチング回路における一対の前記スイッチング素子
に互いに時間的に180°ずれたパルスを供給すること
によって、前記第1および第2のトランスにそれぞれ2
相分の交流信号を発生させることを特徴とする請求項1
または2に記載の4相駆動振動型アクチュエータ駆動回
路。 - 【請求項5】 前記第1および第2のトランスは、夫々
一次側の巻き線に直流電源に接続されたセンタータップ
が設けられ、前記第1および第2のトランスの一次側の
片端に前記スイッチング素子を接続すると共に他端にダ
イオードを接続して夫々第1および第2のスイッチング
回路を構成し、前記第1および第2のスイッチング回路
の前記各スイッチング素子を夫々駆動することによっ
て、前記第1および前記第2のトランスに夫々2相分の
交流信号を発生させることを特徴とする請求項1または
2に記載の4相駆動振動型アクチュエータ駆動回路。 - 【請求項6】 前記第1および第2のトランスの一次側
の巻き線の片端を直流電源に接続すると共に他端を前記
スイッチング素子に接続して夫々前記第1および第2の
スイッチング回路を構成し、前記第1および第2のスイ
ッチング回路の前記各スイッチング素子を駆動すること
によって、前記第1および前記第2のトランスに夫々2
相分の交流信号を発生させることを特徴とする請求項1
または2に記載の4相駆動振動型アクチュエータ駆動回
路。 - 【請求項7】 前記第1および第2のトランスは、二次
側の巻き線でセンタータップから両端の端子までのコイ
ルと一次側の結合係数およびトランスの二次側の巻き線
でセンタータップから両端の端子までのコイルのインダ
クタンス値がほぼ等しい値となるように調整されている
ことを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載の4
相駆動振動型アクチュエータ駆動回路。 - 【請求項8】 前記第1および前記第2のトランスは、
二次側巻き線が壁部で仕切られた同じスペースに積層状
に巻かれていて、インダクタンス値を調整するために内
側のコイルと外側のコイルの巻き線数が異なることを特
徴とする請求項7に記載の4相駆動振動型アクチュエー
タ駆動回路。 - 【請求項9】 前記第1および第のトランスは、バイフ
ァイラ巻きによって巻かれてセンタータップがつけられ
ていることを特徴とする請求項7に記載の4相駆動振動
型アクチュエータ駆動回路。 - 【請求項10】 前記第1および第2のトランスの各一
次側は夫々前記第1および前記第2のスイッチング回路
に接続され、前記第1のトランスの二次側には前記一方
の2相の駆動相の片方の電極が接続され、前記第2のト
ランスの二次側には前記他方の2相の駆動相の片方の電
極が接続され、前記一方及び他方の駆動相の他方の各電
極を互いに接続したことを特徴とする請求項1に記載の
4相駆動振動型アクチュエータ駆動回路。
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