JPH09271174A - 電力供給装置および振動波アクチュエータの制御装置 - Google Patents

電力供給装置および振動波アクチュエータの制御装置

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JPH09271174A
JPH09271174A JP8076231A JP7623196A JPH09271174A JP H09271174 A JPH09271174 A JP H09271174A JP 8076231 A JP8076231 A JP 8076231A JP 7623196 A JP7623196 A JP 7623196A JP H09271174 A JPH09271174 A JP H09271174A
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pulse
power
vibration wave
circuit
pulse signal
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JP8076231A
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Tei Hayashi
禎 林
Kenichi Kataoka
健一 片岡
Shinji Yamamoto
新治 山本
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Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大きな電力が電力増幅回路に入力されると効
率が悪くなり、許容電力の大きな電力増幅回路や大きな
放熱器を用いる必要がある。 【解決手段】 電力増幅手段6,18と、パルス信号に
応じたスイッチング動作により電力増幅手段に電力の周
期的な供給を行う電力供給手段1とを有し、電力増幅手
段から供給された電力により振動して駆動力を発生する
振動波アクチュエータ7,19の制御装置において、電
力増幅手段への供給電流の大きさに応じてパルス信号の
制御を行うパルス制御手段4,16,5,17,8, 2
0を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリンタやカメラ
等の機器に設けられる電力供給装置に関し、さらに詳し
くは上記機器に取り付けられる振動波アクチュエータの
制御装置として用いられる電力供給装置に関する。
【0002】
【従来の技術】振動波アクチュエータは、金属等によっ
て円環状に形成された弾性体の片平面に分極処理が施さ
れた圧電素子(電気機械変換素子)を取り付けたものを
振動子として有し、圧電素子に一定の位相差を有する交
流電界を印加することによって、弾性体の他平面に進行
波を励起するように構成されている。そして、進行波が
形成される他平面(駆動面)に円環又は円板状に形成さ
れた接触部材を接触させ、両者間の摩擦によってこれら
の間に相対的な駆動力を発生させる。
【0003】このような振動波アクチュエータを駆動す
るためには、通常、交流高電圧が必要であるため、振動
波の周波数を出力する発振器の出力を適当な電力増幅手
段で増幅している。
【0004】ところで通常、振動波アクチュエータは、
駆動効率をよくするために振動子の共振周波数よりも上
の周波数で駆動される。また、振動波アクチュエータに
は、図2に示すような周波数−速度特性があるため、周
波数を変化させることにより、振動波アクチュエータの
速度が制御される。さらに、電力増幅回路として図3、
4に示すようなトランス又はコイル等の誘導性素子を用
いて昇圧を行う場合、効率を良くするため振動波アクチ
ュエータの圧電素子の持つ静電容量cと誘導性素子のイ
ンダクタンスLとを整合させる必要がある。
【0005】すなわち主として駆動する周波数をfmと
すると、fm=1/{2π√(LC)}となるように
L,Cを設定する。ここで、振動波アクチュエータに用
いられる圧電素子の容量は正の温度係数を持っているた
め、高温になったときにCが大きくなり、fmと1/
{2π√(LC)}とが一致しなくなる。従って、高温
となった時に整合がとれるように、主として駆動される
周波数よりも高い周波数fhでLとCとが整合されるこ
とが望ましい。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに周波数fhにおいてLとCとが整合しても、振動波
アクチュエータを極低速で駆動しようとしたとき、すな
わち前述の周波数fhよりも数kHz高い周波数で駆動
しようとしたときに整合がとれていないため、アクチュ
エータに有効な電力として入力されずに反射されて回路
素子で消費される電力(無効電力)が増加して、誘導性
素子やスイッチング素子にかかる負担が大きくなるとい
う問題がある。このため、低速での駆動を可能にするに
は許容電力の大きなトランスやスイッチング素子を用い
たり大きな放熱器を用いたりする必要が生じ、コストア
ップの要因となっていた。
【0007】また、駆動周波数を下げていくと、図16
に示すようにアクチュエータと誘電性素子からなる回路
のアドミタンスが上昇する一方、アクチュエータに固有
の共振周波数を越えたあたりから印加電圧が急激に増加
する。このため、共振点から外れた周波数でアクチュエ
ータが大振幅で駆動され、大きな電力が電力増幅回路に
入力され効率が悪くなる。そして、これに対応するた
め、上記と同様に許容電力の大きなトランスやスイッチ
ング素子、大きな放熱器を用いる必要があった。そこ
で、本願発明の第1目的は、振動波アクチュエータを駆
動する電力増幅回路の損失を低減し、回路に適当な電力
を入力する制御装置を提供することにある。
【0008】また、本発明の第2目的は振動波アクチュ
エータの駆動速度を一定に維持しつつ、電力増幅回路の
損失を低減し、回路に適当な電力を入力する装置を提供
することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本願第1の発明では、パルス信号に応じたスイッ
チング動作により電力の周期的な供給を行う電力供給装
置において、供給電流の大きさに応じてパルス信号の制
御を行うパルス制御手段を設けている。
【0010】すなわち、上記供給電流が所定値以上にな
ったときにパルス信号を強制的に立ち下げたり、目標パ
ルス幅を小さい幅に切り換えたりすることにより、スイ
ッチング素子がオン状態となっている時間を短くし、そ
れ以上供給電流が増加してトランスやコイル等の電力増
幅手段に過度の負担がかかるのを防止している。
【0011】そして、本願第2の発明では、このような
電力供給装置を振動波アクチュエータの制御装置として
用いることにより、電力増幅手段での損失が少なく、常
に適正な電力を用いて振動波アクチュエータを駆動する
制御装置を実現している。
【0012】なお、パルス制御手段によるパルス信号の
パルス幅制御を行うと同時にパルス信号の周波数制御
(例えば、周波数を低くする制御)を行うようにして、
振動波アクチュエータの駆動速度を一定に維持するのが
望ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)図1、図5および図15は本発明の第
1実施形態である振動波アクチュエータの制御装置を示
す。図1において、1は直流電源回路、12は基準周波
数発振器、15はマイコンなどで構成される速度制御回
路、13は一定の位相差を持った2相のパルスを成形す
るパルス成形回路、8,20はAND回路、5,17は
電流検出回路、6,18は昇圧用トランス、11,23
はスイッチング用のnチャンネルMOSFET、3,1
4はトランス6,18をリセットするためのダイオー
ド、7,19は振動波アクチュエータの圧電素子であ
る。
【0014】また、図5は電流検出回路5,17の具体
的構成例であり、この図において、25は電流検出用抵
抗、26は差動増幅器、28はコンパレータ、27は基
準電圧回路である。さらに、図15は状態保持回路4,
16の具体的構成例を示しており、この図における15
6はリセット端子付きのDフリップフロップである。図
1の回路では、パルス成形回路13が速度制御回路15
からの周波数、パルス幅指令に応じて基準発振器12の
周波信号を適当に分周することにより所定の位相差を持
った2相のパルス信号を成形する。これらパルス信号
は、AND回路8,20および状態保持回路4,16に
入力される。
【0015】状態保持回路4,16は最初リセット端子
(RST)がLowとなっていてリセットされているの
で、入力端子b,fはHighレベルとなり、パルス信
号がそのままスイッチング素子11,23のゲートに加
わる。こうしてトランス6,18が駆動されて昇圧され
た電圧が圧電素子7,19に印加され、振動波アクチュ
エータが駆動される。
【0016】このようにして駆動される振動波アクチュ
エータの速度は、エンコーダ等の速度検出手段24によ
って検出され、速度制御回路15にフィードバックされ
た検出速度に基づいて振動波アクチュエータの速度制御
が行われる。
【0017】次に、電源回路1から所定より大きい電流
が流れる場合を図6を併せ用いて説明する。なお、図6
で点線で示してあるのは電流制限が行われない場合であ
る。図5に示した基準電圧回路27では、規定以上の電
流が抵抗25に流れたときコンパレータ28の出力をH
ighレベルさせるように基準電圧が設定されている。
【0018】図6(a),(e)に示すようにパルス成
形回路13からのパルス信号がAND回路8,20を介
してスイッチング素子11,23に入力され、図6
(b)に示すように規定の電流を越えた電流がトランス
6,18に流入すると、状態保持回路4,16のクロッ
ク端子(CLK)にパルス信号が入力されて反転出力端
子QにLowレベルがセットされ、図6(d)に示すよ
うにAND回路8,20の入力端子b,fにLowが出
力される。このため、図6(e)に示すようにAND回
路8,20の出力がLowレベルとなって、スイッチン
グ素子11,23がoffし、図6(b)に示すよう
に、それ以上の電源回路1からのトランス6,18への
電流の流入が遮断される。
【0019】この状態は、パルス成形回路13からのパ
ルス信号がLowとなってフリップフロップ156がリ
セットされるまで保持される。その後フリップフロップ
156がリセットされると、図6(d)に示すようにA
ND回路8,20の入力端子b,fにHighレベルが
出力され、次のパルスを受け付ける状態となる。
【0020】パルス成形回路13から次のパルス信号が
入力すると、AND回路8,20の出力がHighレベ
ルとなって、スイッチング素子がonし、規定の電流に
達するまで電流が流れる。以下、この繰り返しによって
適正な電力がトランス6,18に入力される。
【0021】こうしてトランス6,18に供給される電
流が制御されることによって、圧電素子7,19に入力
される電圧が低くなり、振動波アクチュエータの速度が
遅くなるおそれがあるが、速度制御回路15によってパ
ルス信号の周波数を低くする方向(すなわち、振動波ア
クチュエータの速度を速める方向)に制御すれば、振動
波アクチュエータの速度を一定に保つことができる。
【0022】なお、電流検出回路5,17における基準
電圧は必ずしも一定値に固定される必要はなく、例えば
駆動デューティが低く、高出力が必要なときや、アクチ
ュエータを起動するときには電流の制限値をあげるため
に基準電圧を上げられるようにしても良い。
【0023】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、基準値を超える電流が流れるのを阻止できるため、
大きな容量のトランス、スイッチング素子や大きな放熱
器を用いることなく、トランスの効率の悪化を防止する
ことができる。
【0024】ところで、振動波アクチュエータは共振周
波数frに近いほど駆動効率が良くなるため、入力電力
が増えなくても駆動周波数が共振に近づくと振動波アク
チュエータ速度が伸びる。これら駆動周波数と速度およ
び入力電力との関係を図7に示す。
【0025】この図に示すように、従来の回路での最高
速度が途中で伸びないのは、振動波アクチュエータの振
動子の振幅が大きくなると、これに圧接されている移動
体が追従できなくなるためである。しかも、従来の回路
では、このとき異音の発生やトルクの低下が起こり、さ
らには回路およびアクチュエータの異常な発熱が生じる
ため、これを回避するための特殊な制御が必要であっ
た。しかし、本実施形態の回路によればこのような状態
に陥ることを未然に回避することができる。
【0026】なお、本実施形態では電流検出手段として
抵抗を用いているが、ホール素子やカレントトランスな
どの磁気センサを用いることも可能である。
【0027】(第2実施形態)図8は、本発明の第2実
施形態を示している。この図において、38,51はp
チャンネルmosFET、43,57はnチャンネルm
osFET、44,52はチョークコイルで、振動波ア
クチュエータの圧電素子45,53の容量とそれぞれ共
振するようになっている。振動波アクチュエータには、
速度検出手段58が取り付けられ、この出力に基づいて
速度制御回路39によって駆動パルスの周波数およびパ
ルス幅が決定される。
【0028】図8の回路では、速度制御回路39からの
周波数、パルス幅指令によってパルス成形回路33が基
準発振器32の周波信号を適当に分周することによって
所定の位相差を持った2相のパルスが形成される。この
パルス信号がAND回路35,47および状態保持回路
34,46に入力される。これにより、状態保持回路3
4,46がリセットされ、入力端子b,fがHighレ
ベルとなるので、そのままパルスおよび180度位相が
シフトしたパルスがそれぞれスイッチング素子38,5
1とゲート43,57とに加わる。
【0029】こうしてコイル44,52と圧電素子4
5,53の容量からなる共振回路が駆動されて昇圧され
た電圧は、振動波アクチュエータの圧電素子45,53
に印加され、振動波アクチュエータが駆動される。こう
して駆動される振動波アクチュエータの速度は、エンコ
ーダ等の速度検出手段24によって検出され、速度制御
回路15にフィードバックされた検出速度に基づいて振
動波アクチュエータの速度制御が行われる。
【0030】ここで、電流検出手段31,48の構成
は、第1実施形態と同様に例えば図5に示す回路が考え
られる。そして、本実施形態では、規定の電流を越えた
電流がコイル44,52に流入したとき、状態保持回路
34,46の出力にLowレベルがセットされ、AND
回路35,47からのパルスの出力が遮断される。この
ため、スイッチング素子38,51がoffして、それ
以上電源回路29からコイル44,52への電流の流入
が遮断される。
【0031】この状態はパルス成形回路13からのパル
ス信号がLowとなって状態保持回路34,46がリセ
ットされるまで保持される。その後、状態保持回路3
4,46がリセットされると、状態保持回路34,46
はHighレベルを出力するので、次のパルス信号を受
け付ける状態となる。このときパルス成形回路33から
次のパルス信号が入力すると、AND回路35,47の
出力がHighレベルとなり、スイッチング素子38,
51がonして規定の電流に達するまで電流が流れる。
以下この繰り返しによって適正な電流で共振回路を駆動
することができる。
【0032】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、大きな放熱器やコイル、スイッチング素子を用いる
ことなく振動波アクチュエータを駆動する共振回路の効
率の悪化を防止することができ、共振回路に適当な電力
を入力することができる。
【0033】(第3実施形態)図9は、本発明の第3実
施形態を示している。この図において、67,81は昇
圧用トランスであり、66,72,80,86はスイッ
チング用のnチャンネルMOSFETである。この回路
では、FET66,72およびFET80,86がそれ
ぞれのペア内で交互にONしてプッシュプル動作をし、
圧電素子68,82に印加される電圧の位相差を常に所
定の値に保つため、効率の良い駆動が可能となる。
【0034】電流検出手段の構成は、第1実施形態と同
様に、例えば図5に示す回路が考えられる。そして、本
実施形態では、規定の電流を越えた電流がトランス6
7,81に流入したとき、状態保持回路61,75の出
力にLowレベルがセットされ、AND回路62,76
からのパルスの出力が遮断される。このためスイッチン
グ素子66,72がoffして、それ以上電源回路59
からコイル67,81への電流の流入が遮断される。
【0035】この状態はパルス成形回路74からのパル
ス信号がLowとなって状態保持回路61,75がリセ
ットされるまで保持される。その後、状態保持回路6
1,75がリセットされると、状態保持回路61,75
はHighレベルを出力するので、次のパルス信号を受
け付ける状態となる。この状態でパルス成形回路74か
ら次のパルス信号が入力すると、AND回路62,76
の出力がHighレベルとなって、スイッチング素子6
6,72,80,86がonして規定の電流に達するま
で電流が流れる。以下この繰り返しによって適正な電流
で昇温用トランス67,81を駆動することができる。
【0036】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、大きな放熱器やトランスやスイッチング素子を用い
ることなく振動波アクチュエータを駆動するトランス6
7,81の効率の悪化を防止することができ、トランス
67,81に適当な電力を入力することができる。
【0037】(第4実施形態)図10は、本発明の第4
実施形態を示している。この図において、90は電流検
出手段であり、例えば図11に示すように構成されてい
る。また、95は記憶素子、選択回路および出力回路で
構成されるパルス幅決定手段であり、例えば、図12に
示すように構成されている。
【0038】図11において、109は電流検出用抵
抗、110は差動増幅器であり、電力増幅回路であるト
ランス93,102に流入する電流に比例した電圧を出
力する。この出力は、積分回路112,113により平
滑化されたあとAD変換器111によってディジタル値
に変換され、パルス幅決定手段95に出力される。
【0039】図12において、112は電流検出手段9
0の出力と記憶手段113に記憶されている情報とに基
づいてパルス幅を決定する選択回路である。記憶手段1
13には電流値に応じた少なくとも2つのパルス幅の値
が記憶されており、この値は実験または学習を行うこと
によってトランス93,102の発熱が一定値(例えば
60℃)以下になるように決定される。
【0040】選択回路112および記憶手段113によ
ってパルス幅を決定した後、パルス幅指令出力回路11
4が駆動され、パルス幅指令信号がパルス成形回路10
0に出力される。このときエンコーダ等の速度検出手段
108からのフィードバック信号によってパルス信号の
周波数を変化させ振動波アクチュエータの速度制御を行
う。このようにして、不必要な電流がトランス93,1
02に入力されるのが制限されるので、トランス93,
102の過熱を防ぎながら振動波アクチュエータと一定
速度で駆動することができる。
【0041】なお、本実施形態では、電流検出回路にA
D変換器111を用いてディジタル出力を行うように構
成したが、AD変換器に代えて、図13に示すように、
1個のコンパレータ122と、電流値の最大値を規定し
ている基準電圧回路121により、電流値が規定値に達
したときhighレベルを出力してパルス幅を切り替え
る構成を用いてもよい。
【0042】また、パルス成形回路100を図14に示
すように三角波発振器133とコンパレータ135,1
36とで構成することもでき、この場合は、差動増幅器
124のアナログ出力を平滑した電圧とパルス幅指令信
号に応じてDA変換器127から出力される電圧との和
をコンパレータ135,136における比較電圧として
用いても良い。
【0043】この構成では、トランス93,102に流
入する電流が増加すると、加算器131の出力が増加し
てコンパレータ135,136のマイナス端子に入力さ
れる比較電圧が大きくなるため、コンパレータ135,
136から出力されるパルス信号のパルス幅が小さくな
る。従って、電流が増加すると自動的にパルス幅が狭く
なり、許容電力の大きな回路素子を用いることなく振動
波アクチュエータを駆動するトランス93,102の効
率の悪化を防止し、これらに適切な電力を入力すること
ができる。
【0044】なお、パルス信号の周波数は、速度検出手
段108からのフィードバック信号に基づいて三角波発
振器133の周波数をコントロールすることによって制
御する。
【0045】(発明と実施の形態との関係)上記実施形
態において、スイッチング素子11,23,38,4
3,51,57,66,72,80,86,98,10
7が本発明にいうパルス信号に応じてスイッチング動作
を行う手段に、電流検出手段5,17,31,48,6
3,77と状態保持回路4,16,34,46,61,
75とAND回路8,20,35,47,62,76お
よび電流検出手段90とパルス幅決定手段95が本発明
にいうパルス制御手段に、トランス6,18,67,8
1,93,102およびコイル44,52が本発明にい
う電力増幅手段にそれぞれ相当する。
【0046】なお、以上が本発明の各構成と実施形態の
各構成との対応関係であるが、本発明はこれら実施形態
の構成に限られるものではなく、請求項に示した機構ま
たは実施形態の構成が持つ機能が達成できる構成であれ
ばどのようなものであってもよい。
【0047】また、本発明は、以上の実施形態および変
形例、またはそれら技術要素を必要に応じて組み合わせ
て用いてもよい。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように、本願第1の発明で
は、パルス信号の立ち上がり時にオンになるスイッチン
グ素子の動作によって電力増幅器等に電流供給を行う電
力供給装置において、供給電流が所定値以上になったと
きに、パルス信号を強制的に立ち下げたり目標パルス幅
を小さいものに切り換えたりする制御を行うようにして
いる。このため、本発明を用いれば、供給電流が増加し
過ぎて電力増幅手段等に過度の負担がかかったり効率が
悪化したりするのを防止することができる。したがっ
て、電力供給装置において、大きな容量の電力増幅手段
や大きな放熱器を使用する必要をなくし、装置の小型化
および低コスト化を図ることができる。
【0049】そして、本願第2の発明では、このような
電力供給装置を振動波アクチュエータの制御装置として
用いている。このため、本発明を用いれば、振動波アク
チュエータを駆動する電力増幅手段での損失を少なくし
て、常に適正な電力により振動波アクチュエータを駆動
する制御装置を実現することができる。
【0050】なお、パルス制御手段によるパルス信号の
パルス幅制御を行うと同時にパルス信号の周波数制御を
行うようにすれば、電力増幅手段に入力される電流を適
正に維持しつつ振動波アクチュエータの駆動速度を一定
に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における第1実施形態である振動波アク
チュエータの駆動回路を示す電気回路図である。
【図2】上記振動波アクチュエータの周波数−速度特性
を示すグラフ図である。
【図3】上記電気回路におけるトランスとスイッチング
素子を用いた電力増幅回路の回路図である。
【図4】上記電気回路におけるコイルとスイッチング素
子を用いた電力増幅回路の回路図である。
【図5】上記駆動回路に設けられた電流検出手段の回路
図である。
【図6】上記実施形態においてパルス幅を制限する回路
の動作説明図である。
【図7】振動波アクチュエータにおける周波数−速度お
よび周波数−入力電力の関係を示すグラフ図である。
【図8】本発明の第2実施形態である振動波アクチュエ
ータの駆動回路を示す電気回路図である。
【図9】本発明の第3実施形態である振動波アクチュエ
ータの駆動回路を示す電気回路図である。
【図10】本発明の第4実施形態である振動波アクチュ
エータの駆動回路を示す電気回路図である。
【図11】上記第4実施形態の電流検出手段の回路図で
ある。
【図12】上記第4実施形態のパルス幅決定手段の回路
図である。
【図13】上記第4実施形態の電流検出手段の他の回路
例を示す回路図である。
【図14】上記第4実施形態の電流検出手段およびパル
ス成形回路の他の回路例を示す回路図である。
【図15】上記各実施形態にて用いられる状態保持回路
の回路図である。
【図16】従来の電気回路の特性図である。
【符号の説明】
1,29,59…直流電源 2,13,30,60,91,113,120,126
…電解コンデンサ 3,14,92,101,141…ダイオード 4,16,34,46,63,75…状態保持回路 5,17,31,48,63,77,90…過電流検出
手段 6,18,67,81,93,102,143…トラン
ス 7,19,45,53,68,82,94,103…振
動波アクチュエータの圧電素子 8,20,35,47,62,76…AND回路 12,32,73,99…水晶発振器 11,23,43,57,66,72,80,86,9
8,107,146,155…nチャンネルMOSFE
T 13,33,74,100…パルス成形回路 15,39,88,104…速度制御回路 24,58,87,104…速度検出手段 138,140,149…トランジスタ 38,51,150…nチャンネルMOSFET 42,52,151…コイル 40,54,69,83,134,152…フェーズシ
フタ 25,109,117,123…電流検出抵抗 26,110,118,124…差動増幅器 27,121…基準電圧回路 28,122,135,136…コンパレータ 111…AD変換器 114…パルス幅選択回路 115…記憶手段 116…パルス幅指令出力回路 127…DA変換器 131…加算器 133…三角波発振器 156…リセット端子付きDフリップフロップ

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パルス信号に応じたスイッチング動作に
    より電力の周期的な供給を行う電力供給装置において、 供給電流の大きさに応じて前記パルス信号の制御を行う
    パルス制御手段を有することを特徴とする電力供給装
    置。
  2. 【請求項2】 前記パルス制御手段は、前記供給電流が
    所定値以上となったときに、前記パルス信号を立ち下げ
    ることを特徴とする請求項1に記載の電力供給装置。
  3. 【請求項3】 前記パルス制御手段は、前記供給電流が
    大きいほど前記パルス信号のパルス幅を小さく設定する
    ことを特徴とする請求項1に記載の電力供給装置。
  4. 【請求項4】 前記パルス制御手段は、前記供給電流が
    所定値以上となったときに、複数のパルス幅の中から小
    さいパルス幅を選択することを特徴とする請求項3に記
    載の電力供給装置。
  5. 【請求項5】 前記電力を電力増幅手段に供給すること
    を特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の電力供
    給装置。
  6. 【請求項6】 電力増幅手段と、パルス信号に応じたス
    イッチング動作により前記電力増幅手段に電力の周期的
    な供給を行う電力供給手段とを有し、前記電力増幅手段
    から供給された電力により振動して駆動力を発生する振
    動波アクチュエータの制御装置において、 前記電力増幅手段への供給電流の大きさに応じて前記パ
    ルス信号の制御を行うパルス制御手段を有することを特
    徴とする振動波アクチュエータの制御装置。
  7. 【請求項7】 前記パルス制御手段は、前記供給電流が
    所定値以上となったときに、前記パルス信号を立ち下げ
    ることを特徴とする請求項6に記載の振動波アクチュエ
    ータの制御装置。
  8. 【請求項8】 前記パルス制御手段は、前記供給電流が
    大きいほど前記パルス信号のパルス幅を小さく設定する
    ことを特徴とする請求項6に記載の振動波アクチュエー
    タの制御装置。
  9. 【請求項9】 前記パルス制御手段は、前記供給電流が
    所定値以上となったときに、複数のパルス幅の中から小
    さいパルス幅を選択することを特徴とする請求項8に記
    載の振動波アクチュエータの制御装置。
  10. 【請求項10】 前記パルス制御手段による前記パルス
    信号の制御を行ったときに、前記パルス信号の周波数制
    御を行う周波数制御手段を有することを特徴とする請求
    項6から9のいずれかに記載の振動波アクチュエータの
    制御装置。
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