JPH0898563A

JPH0898563A - 多相交流駆動型静電アクチュエータ

Info

Publication number: JPH0898563A
Application number: JP23524294A
Authority: JP
Inventors: Toshiro Higuchi; 俊郎樋口; Toshiki Shinno; 俊樹新野
Original assignee: Kanagawa Academy of Science and Technology
Current assignee: Kanagawa Academy of Science and Technology
Priority date: 1994-09-29
Filing date: 1994-09-29
Publication date: 1996-04-12

Abstract

(57)【要約】【目的】第１部材及び第２部材の電極に４相交流電圧
を印加し、トルクリプルを減少させ、しかも電源回路構
成も簡略化することができる多相交流駆動型静電アクチ
ュエータを提供する。【構成】絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピッチで埋
め込まれている第１部材と、この第１部材に対向配置さ
れ、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで埋め込ま
れている第２部材とを有し、前記第１群の帯状電極と第
２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加し、前記
第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力により前記
第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移動させる多
相交流駆動型静電アクチュエータであって、一端が接地
され互いに橋絡されている４個の単相電源を有する４相
交流電圧発生装置２１を備え、この４相交流電圧発生装
置２１から出力される４相交流電圧を前記第１群の帯状
電極２_a1〜２_d3及び第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2に
順次接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多相交流駆動型静電ア
クチュエータに係り、特に、４相交流電圧により駆動す
る４相交流駆動型静電アクチュエータに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、このような、多相交流駆動型静電
アクチュエータが開発されてきており、特に、３相交流
駆動型静電アクチュエータが、本願発明者等によって、
特開平６−７８５６６号公報として提案されている。そ
のような３相交流駆動型静電アクチュエータは、従来の
固定子と可動子間に空隙を有する静電アクチュエータに
比べて、（１）駆動力が強い。（２）３相交流電源で済み、特に、商用電源を利用でき
る。（３）インバータ駆動を行う際のスイッチング素子の数
も最小で済む。といった利点を有している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の３相交流駆動型静電アクチュエータは、トルク
リプルが大きい。また、相の数が少ないため、移動子・
固定子上に正弦的な電位の分布を発生させるのに難があ
る。更に、高電圧が必要となり、変圧器の利用が考案さ
れてきている。

【０００４】また、インバータで駆動する場合の制御則
が複雑となり、３本の電線に供給する電流を、干渉しな
いように制御しなければならない。といった問題があっ
た。本発明は、このような問題点を除去し、第１部材及
び第２部材に４相交流電圧を印加し、トルクリプルを減
少させ、しかも電源回路構成も簡略化することができる
多相交流駆動型静電アクチュエータを提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、多相交流駆動型静電アクチュエータにお
いて、（Ａ）絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピッチで埋め込
まれている第１部材と、この第１部材に対向配置され、
絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで埋め込まれて
いる第２部材とを有し、前記第１群の帯状電極と第２群
の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加し、前記第１
部材と第２部材間の静電気のクーロン力により前記第１
部材と第２部材の一方もしくは両方を移動させる多相交
流駆動型静電アクチュエータであって、（ａ）一端が接
地され互いに橋絡されている４個の単相電源を有する４
相交流電圧発生装置を備え、（ｂ）該４相交流電圧発生
装置から出力される４相交流電圧を前記第１群の帯状電
極及び第２群の帯状電極に順次接続するようにしたもの
である。

【０００６】（ｉ）前記４相交流電圧発生装置を２個設
け、それぞれの４相交流発生装置から出力される４相交
流電圧をそれぞれ前記第１群の帯状電極と第２群の帯状
電極に個別に接続するようにしたものである。（ii）前記第１群の帯状電極には正相の４相交流電圧
を、前記第２群の帯状電極には逆相の４相交流電圧を順
次印加するようにしたものである。

【０００７】（Ｂ）絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピ
ッチで埋め込まれている第１部材と、この第１部材に対
向配置され、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで
埋め込まれている第２部材とを有し、前記第１群の帯状
電極と第２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加
し、前記第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力に
より、前記第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移
動させる多相交流駆動型静電アクチュエータであって、
（ａ）単相出力の第１のインバータ回路と、（ｂ）この
第１のインバータ回路に接続される第１の変圧器と、
（ｃ）単相出力の第２のインバータ回路と、（ｄ）この
第２のインバータ回路に接続される第２の変圧器と、
（ｅ）前記第１の変圧器の出力側コイルに第１の中性点
を有し、この第１の中性点と出力側コイルの一端間に第
１相交流電圧を、前記第１の中性点と出力側コイルの他
端間に第３相交流電圧を、前記第２の変圧器の出力側コ
イルに第２の中性点を有し、この第２の中性点と出力側
コイルの一端間に第２相交流電圧を、前記第２の中性点
と出力側コイルの他端間に第４相交流電圧を発生させ、
前記第１の中性点と第２の中性点とが接地され互いに橋
絡されている４相交流電圧発生装置を備え、（ｆ）この
４相交流電圧発生装置から出力される４相交流電圧を前
記第１群の帯状電極及び第２群の帯状電極に順次接続す
るようにしたものである。

【０００８】（ｉ）前記４相交流電圧発生装置を２個設
け、それぞれの４相交流電圧発生装置から出力される４
相交流電圧をそれぞれ前記第１群の帯状電極と第２群の
帯状電極に個別に接続するようにしたものである。（ii）前記第１群の帯状電極には正相の４相交流電圧
を、前記第２群の帯状電極には逆相の４相交流電圧を順
次印加するようにしたものである。

【０００９】（Ｃ）絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピ
ッチで埋め込まれている第１部材と、この第１部材に対
向配置され、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで
埋め込まれている第２部材とを有し、前記第１群の帯状
電極と第２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加
し、前記第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力に
より前記第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移動
させる多相交流駆動型静電アクチュエータであって、
（ａ）３相出力のインバータ回路と、（ｂ）この３相出
力のインバータ回路に接続される第１及び第２の変圧器
と、（ｃ）この第１の変圧器の出力側コイルに第１の中
性点を有し、この第１の中性点と出力側コイルの一端間
に第１相交流電圧を、前記第１の中性点と出力側コイル
の他端間に第３相交流電圧を、前記第２の変圧器の出力
側コイルに第２の中性点を有し、この第２の中性点と出
力側コイルの一端間に第２相交流電圧を、前記第２の中
性点と出力側コイルの他端間に第４相交流電圧を発生さ
せ、前記第１の中性点と第２の中性点とが接地され互い
に橋絡されている４相交流電圧発生装置とを備え、
（ｄ）この４相交流電圧発生装置から出力される４相交
流電圧を前記第１群の帯状電極及び第２群の帯状電極に
順次接続するようにしたものである。

【００１０】（ｉ）前記４相交流電圧発生装置を２個設
け、それぞれの４相交流電圧発生装置から出力される４
相交流電圧をそれぞれ前記第１群の帯状電極と第２群の
帯状電極に個別に接続するようにしたものである。（ii）前記第１群の帯状電極には正相の４相交流電圧
を、前記第２群の帯状電極には逆相の４相交流電圧を順
次印加するようにしたものである。

【００１１】（Ｄ）絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピ
ッチで埋め込まれている第１部材と、この第１部材に対
向配置され、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで
埋め込まれている第２部材とを有し、前記第１群の帯状
電極と第２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加
し、前記第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力に
より前記第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移動
させる多相交流駆動型静電アクチュエータであって、
（ａ）一端が接地され互いに橋絡されている２個の２相
交流電源を有する４相交流電圧発生装置を備え、（ｂ）
この４相交流電圧発生装置から出力される４相交流電圧
を前記第１群の帯状電極及び第２群の帯状電極に順次接
続するようにしたものである。

【００１２】（Ｅ）上記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）又は
（Ｄ）の多相交流駆動型静電アクチュエータにおいて、
前記第１群の帯状電極及び第２群の帯状電極は、前記第
１部材及び第２部材に互いに対向する所定間隔を有する
平行な表面側配線と裏面側配線を２本配置し、前記裏面
側配線からはスルーホールを介して表面側に導出され、
それぞれの配線方向と直交する方向へ延び、表面側配線
はその面上でそれぞれの配線方向と直交する方向へ延
び、互いに噛み合った櫛歯状に配置するようにしたもの
である。

【００１３】（Ｆ）前記第１部材と第２部材とは順次積
層状に配置する。（Ｇ）前記第１部材と第２部材の少なくとも一方が回転
体からなる。（Ｈ）前記第１部材と第２部材の少なくとも一方が回転
体からなる積層状に配置してなる。

【００１４】

【作用】本発明によれば、上記したように、第１部材の
第１群の帯状電極と第２部材の第２群の帯状電極に各種
の変圧器を有する４相交流電圧発生装置から出力される
４相交流電圧を印加するようにしたので、トルクリプル
を減少させ、しかも電源回路構成も簡略化することがで
きる。

【００１５】また、２個の４相交流電圧発生装置を配置
し、第１部材の第１群の帯状電極と第２部材の第２群の
帯状電極に個別に接続することにより、第１部材の第１
群の帯状電極と第２部材の第２群の帯状電極を個別の４
相交流電圧発生装置で独立に制御することが可能とな
り、インバータの制御則を簡単化するとともに、各種の
制御モードを容易に設定することができる。

【００１６】更に、第１部材の第１群の帯状電極と第２
部材の第２群の帯状電極のそれぞれには表面側配線と裏
面側配線にそれぞれ２本の配線をバランスよく配置し、
裏面側配線からはスルーホールを介して配線することに
より、適切な配線を施すことができる。また、単純な対
になった２相交流電源を用いて、簡便に４相交流電圧を
得ることができ、より電源回路構成の簡略化を図ること
ができる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。図１は本発明の第１実施例を示す多相交
流駆動型静電アクチュエータの構成図である。この図に
示すように、絶縁体からなる第１部材１内には第１群の
帯状電極２_a1〜２_d3が所定ピッチで埋め込まれている。
この第１部材１に絶縁体からなる第２部材１１が対向配
置され、この第２部材１１内には第２群の帯状電極１２
_a1〜１２_d2が所定ピッチで埋め込まれている。

【００１８】一方、一端が接地され互いに橋絡されてい
る４個の単相電源から出力される４相交流電圧発生装置
１３（単相電源が順次９０°の位相差を有する）が備え
られており、この４相交流電圧発生装置１３から出力さ
れる４相交流電圧を第１群の帯状電極２_a1〜２_d3及び第
２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2に順次接続する。ここで
は、第１の交流電圧出力（位相０°）を第１群の帯状電
極２_a1，２_a2，２_a3及び第２群の帯状電極１２_d1，１２
_d2に接続し、第２の交流電圧出力（位相９０°）を第１
群の帯状電極２_b1，２_b2，２_b3及び第２群の帯状電極１
２_c1，１２_c2に接続し、第３の交流電圧出力（位相１８
０°）を第１群の帯状電極２_c1，２_c2，２_c3及び第２群
の帯状電極１２_b1，１２_b2に接続し、第４の交流電圧出
力（位相２７０°）を第１群の帯状電極２_d1，２_d2，２
_d3及び第２群の帯状電極１２_a1，１２_a2に接続するよう
にしている。

【００１９】なお、ここでは、第１群の帯状電極２_a1〜
２_d3には正相の４相交流電圧を、第２群の帯状電極１２
_a1〜１２_d2には逆相の４相交流電圧を順次印加するよう
にしている。図２は本発明の実施例を示す第１部材にお
ける４相電極の配置を示す平面図であり、点線は裏面側
配線を示している。

【００２０】この図に示すように、第１部材１には第１
群の帯状電極２_a1〜２_d2が有効電極部８として配置され
ており、帯状電極２_a1，２_a2は表面側配線３から直角方
向に延びている。帯状電極２_b1，２_b2は裏面側配線４か
らスルーホール７を介して表面側に導出され直角方向に
延びている。帯状電極２_c1，２_c2は表面側配線５から直
角方向に延びている。帯状電極２_d1，２_d2は裏面側配線
６からスルーホール７を介して表面側に導出され直角方
向に延びている。

【００２１】このように、対向する表面側配線３，５及
び対向する裏面側配線４，６からそれぞれの帯状電極へ
接続され、有効電極部８を構成している。したがって、
第１部材１の第１群の帯状電極２_a1〜２_d3と第２部材１
１の第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2のそれぞれには表
面側配線と裏面側配線にそれぞれ２本の配線をバランス
よく配置し、裏面側配線からはスルーホールを介して配
線することにより、適切な配線を施すことができる。

【００２２】また、第２部材１１においても同様に配線
された４相電極構成となっている。このように構成され
た電極に４相交流電圧を印加することにより、第１部材
１と第２部材１１間の静電気のクーロン力により第１部
材１と第２部材１１の一方もしくは両方を移動させるこ
とができる。図３は本発明の第２実施例を示す多相交流
駆動型静電アクチュエータの構成図である。

【００２３】この実施例では、２個の４相交流電圧発生
装置１４，１５（第１実施例と同様に４個の単相電源が
順次９０°の位相差を有する）を設け、４相交流電圧発
生装置１４を第１部材１内の第１群の帯状電極２_a1〜２
_d3に接続し、４相交流電圧発生装置１５を第２部材１１
内の第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2に接続する。つま
り、それぞれ第１群の帯状電極と第２群の帯状電極に４
相交流電圧発生装置１４と１５から個別に電圧を供給す
るように構成している。

【００２４】ここでも、第１群の帯状電極２_a1〜２_d3に
は正相の４相交流電圧を、第２群の帯状電極１２_a1〜１
２_d2には逆相の４相交流電圧を順次印加するようにして
いる。このように構成することにより、第１実施例に比
して、第１部材１と第２部材１１とに印加される電圧を
それぞれ変化させることにより、各種の駆動モードを設
定することができる。

【００２５】図４は本発明の第３実施例を示す多相交流
駆動型静電アクチュエータの構成図である。この実施例
においては、単相出力の第１のインバータ回路２２と、
この第１のインバータ回路２２に接続される第１の変圧
器２３と、単相出力の第２のインバータ回路２６と、こ
の第２のインバータ回路２６に接続される第２の変圧器
２７とを設け、第１のインバータ回路２２と第２のイン
バータ回路とは９０°位相を異ならせる。前記第１の変
圧器２３の出力側コイル２４には第１の中性点２５を有
し、この第１の中性点２５と出力側コイル２４の一端間
には第１相交流電圧（位相０°）を、前記第１の中性点
２５と出力側コイル２４の他端間には第３相交流電圧
（位相１８０°）を、前記第２の変圧器２７の出力側コ
イル２８には第２の中性点２９を有し、この第２の中性
点２９と出力側コイル２８の一端間には第２相交流電圧
（位相９０°）を、前記第２の中性点２９と出力側コイ
ル２８の他端間には第４相交流電圧（位相２７０°）を
発生させ、前記第１の中性点２５と第２の中性点２９と
が接地され互いに橋絡される４相交流電圧発生装置２１
を備えている。

【００２６】そこで、４相交流電圧発生装置２１から出
力される４相交流電圧を、上記した第１実施例と同様
に、前記第１群の帯状電極２_a1〜２_d3及び第２群の帯状
電極１２_a1〜１２_d2に順次接続するようにしている。こ
こでも、第１群の帯状電極２_a1〜２_d3には正相の４相交
流電圧を、第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2には逆相の
４相交流電圧を順次印加するようにしている。

【００２７】図５は本発明の実施例における単相出力の
インバータ回路の構成例を示す図である。この図に示す
ように、直流電源Ｅ₁にはスイッチＳＷ₁（例えば、Ｆ
ＥＴ₁）とスイッチＳＷ₂（例えば、ＦＥＴ₂）が直列
に接続され、スイッチＳＷ₁とスイッチＳＷ₂との接続
点から第１の出力端子Ｏ₁が導出されている。また、直
流電源Ｅ₁にはスイッチＳＷ₃（例えば、ＦＥＴ₃）と
スイッチＳＷ₄（例えば、ＦＥＴ₄）が直列に接続さ
れ、スイッチＳＷ₃とスイッチＳＷ₄との接続点から第
２の出力端子Ｏ₂が導出されている。また、スイッチＳ
Ｗ₁はゲートＧ₁、スイッチＳＷ₂はゲートＧ₂、スイ
ッチＳＷ₃はゲートＧ₃、スイッチＳＷ₄はゲートＧ₄
を有しており、それぞれのゲートに入力されるパルスに
より、各スイッチＳＷがスイッチングされる。なお、各
ゲートへの入力パルスは出力端子へ所望の出力電圧を得
ることができるように、制御装置（図示なし）によって
制御することができる。なお、Ｃ₁はスイッチＳＷのオ
ンオフ時に生じるサージ吸収用コンデンサである。

【００２８】図６は本発明の実施例における他の２相出
力のインバータ回路の構成例を示す図である。この図に
示すように、スイッチＳＷ₅（例えば、ＦＥＴ₅）とス
イッチＳＷ₆（例えば、ＦＥＴ₆）が直列に接続され、
そのスイッチＳＷ₅とスイッチＳＷ₆との接続点に直流
電源Ｅ₂の一端が接続され、また、スイッチＳＷ₇（例
えば、ＦＥＴ₇）とスイッチＳＷ₈（例えば、ＦＥ
Ｔ₈）が直列に接続され、そのスイッチＳＷ₇とスイッ
チＳＷ₈との接続点に直流電源Ｅ₂の他端が接続されて
いる。更に、インダクタンスＬ₁を介して図５に示した
と同様のスイッチング回路が構成されている。つまり、
スイッチＳＷ₉（例えば、ＦＥＴ₉）とスイッチＳＷ ₁₀
（例えば、ＦＥＴ₁₀）が直列に接続され、そのスイッチ
ＳＷ₉とスイッチＳＷ ₁₀との接続点から第１の出力端子
Ｏ₃が導出されている。また、スイッチＳＷ₁₁（例え
ば、ＦＥＴ₁₁）とスイッチＳＷ₁₂（例えば、ＦＥＴ₁₂）
が直列に接続され、スイッチＳＷ₁₁とスイッチＳＷ₁₂と
の接続点から第２の出力端子Ｏ₄が導出されている。ま
た、スイッチＳＷ₅はゲートＧ₅、スイッチＳＷ₆はゲ
ートＧ₆、スイッチＳＷ₇はゲートＧ₇、スイッチＳＷ
₈はゲートＧ₈、スイッチＳＷ₉はゲートＧ₉、スイッ
チＳＷ₁₀はゲートＧ₁₀、スイッチＳＷ₁₁はゲートＧ₁₁、
スイッチＳＷ₁₂はゲートＧ₁₂を有しており、それぞれの
ゲートに入力されるパルスにより、各スイッチＳＷがス
イッチングされる。ここでは、ゲートＧ₅〜Ｇ₈の制御
によって、直流電源Ｅ₂の極性が切り換え可能であり、
その出力直流電圧がインダクタンスＬ₁を介してスイッ
チング回路のゲートＧ₉〜Ｇ₁₂の制御によって、第１の
出力端子Ｏ₃、第２の出力端子Ｏ₄へ所望の出力電圧を
得ることができる。

【００２９】図７は本発明の第４実施例を示す多相交流
駆動型静電アクチュエータの構成図である。この実施例
では、２個の単相出力のインバータ回路を有する４相交
流電圧発生装置３１，３２を設け、４相交流電圧発生装
置３１を第１部材１内の第１群の帯状電極２_a1〜２_d3に
接続し、４相交流電圧発生装置３２を第２部材１１内の
第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2に接続する。つまり、
それぞれ第１群の帯状電極と第２群の帯状電極に４相交
流電圧発生装置３１と３２から個別に４相交流電圧を供
給するように構成している。

【００３０】ここでも、第１群の帯状電極２_a1〜２_d3に
は正相の４相交流電圧を、第２群の帯状電極１２_a1〜１
２_d2には逆相の４相交流電圧を順次印加するようにして
いる。このように構成することにより、第３実施例に比
して、第１部材１の第１群の帯状電極２_a1〜２_d3と第２
部材１１の第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2とに印加さ
れる電圧をそれぞれ変化させることにより、各種の駆動
モードを設定することができる。

【００３１】図８は本発明の第５実施例を示す多相交流
駆動型静電アクチュエータの構成図である。この実施例
においては、４相交流電圧発生装置４１として、３相出
力のインバータ回路４２を設け、この３相出力のインバ
ータ回路４２に第１の変圧器４３と第２の変圧器４４と
を接続する。その第１の変圧器４３の出力側コイル４５
に第１の中性点４６を有し、この第１の中性点４６と出
力側コイル４５の一端間には第１相交流電圧（位相０
°）を、前記第１の中性点４６と出力側コイル４５の他
端間には第３相交流電圧（位相１８０°）を、前記第２
の変圧器４４の出力側コイル４７には第２の中性点４８
を有し、この第２の中性点４８と出力側コイル４７の一
端間には第２相交流電圧（位相９０°）を、前記第２の
中性点４８と出力側コイル４７の他端間には第４相交流
電圧（位相２７０°）を発生させ、前記第１の中性点４
６と第２の中性点４８とが接地され互いに橋絡されてい
る。

【００３２】この４相交流電圧発生装置４１から出力さ
れる４相交流電圧を前記第１群の帯状電極２_a1〜２_d3及
び第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2に順次接続するよう
にしたものである。ここでも、第１群の帯状電極２_a1〜
２_d3には正相の４相交流電圧を、第２群の帯状電極１２
_a1〜１２_d2には逆相の４相交流電圧を順次印加するよう
にしている。

【００３３】図９は本発明の実施例における３相出力の
インバータ回路の構成例を示す図である。この図に示す
ように、直流電源Ｅ₃にはスイッチＳＷ₂₁（例えば、Ｆ
ＥＴ₂₁）とスイッチＳＷ₂₂（例えば、ＦＥＴ₂₂）が直列
に接続され、スイッチＳＷ₂₁とスイッチＳＷ₂₂との接続
点から第１の出力端子Ｏ₁₁が導出されている。また、直
流電源Ｅ₃にはスイッチＳＷ₂₃（例えば、ＦＥＴ₂₃）と
スイッチＳＷ₂₄（例えば、ＦＥＴ₂₄）が直列に接続さ
れ、スイッチＳＷ₂₃とスイッチＳＷ₂₄との接続点から第
２の出力端子Ｏ₁₂が導出されている。また、直流電源Ｅ
₃にはスイッチＳＷ₂₅（例えば、ＦＥＴ₂₅）とスイッチ
ＳＷ₂₆（例えば、ＦＥＴ₂₆）が直列に接続され、スイッ
チＳＷ₂₅とスイッチＳＷ₂₆との接続点から第３の出力端
子Ｏ₁₃が導出されている。更に、スイッチＳＷ₂₁はゲー
トＧ₂₁、スイッチＳＷ₂₂はゲートＧ₂₂、スイッチＳＷ₂₃
はゲートＧ₂₃、スイッチＳＷ₂₄はゲートＧ₂₄、スイッチ
ＳＷ₂₅はゲートＧ₂₅、スイッチＳＷ₂₆はゲートＧ₂₆を有
しており、それぞれのゲートに入力されるパルスによ
り、各スイッチＳＷがスイッチングされる。なお、各ゲ
ートへの入力パルスは出力端子へ所望の出力電圧を得る
ことができるように、制御装置（図示なし）によって制
御することができる。なお、Ｃ₂はスイッチＳＷのオン
オフ時に生じるサージ吸収用コンデンサである。

【００３４】図１０は本発明の実施例における他の３相
出力のインバータ回路の構成例を示す図である。この図
に示すように、スイッチＳＷ₃₁（例えば、ＦＥＴ₃₁）と
スイッチＳＷ₃₂（例えば、ＦＥＴ₃₂）が直列に接続さ
れ、そのスイッチＳＷ₃₁とスイッチＳＷ₃₂との接続点に
直流電源Ｅ₄の一端が接続され、また、スイッチＳＷ₃₃
（例えば、ＦＥＴ₃₃）とスイッチＳＷ₃₄（例えば、ＦＥ
Ｔ₃₄）が直列に接続され、そのスイッチＳＷ₃₃とスイッ
チＳＷ₃₄との接続点に直流電源Ｅ₄の他端が接続されて
いる。更に、インダクタンスＬ₂を介して図９に示した
と同様のスイッチング回路が構成されている。つまり、
スイッチＳＷ₃₅（例えば、ＦＥＴ₃₅）とスイッチＳＷ ₃₆
（例えば、ＦＥＴ₃₆）が直列に接続され、そのスイッチ
ＳＷ₃₅とスイッチＳＷ ₃₆との接続点から第１の出力端子
Ｏ₂₁が導出されている。また、スイッチＳＷ₃₇（例え
ば、ＦＥＴ₃₇）とスイッチＳＷ₃₈（例えば、ＦＥＴ₃₈）
が直列に接続され、スイッチＳＷ₃₇とスイッチＳＷ₃₈と
の接続点から第２の出力端子Ｏ₂₂が導出されている。ま
た、スイッチＳＷ₃₉（例えば、ＦＥＴ₃₉）とスイッチＳ
Ｗ₄₀（例えば、ＦＥＴ₄₀）が直列に接続され、スイッチ
ＳＷ₃₉とスイッチＳＷ₄₀との接続点から第３の出力端子
Ｏ₂₃が導出されている。また、スイッチＳＷ₃₁はゲート
Ｇ₃₁、スイッチＳＷ₃₂はゲートＧ₃₂、スイッチＳＷ₃₃は
ゲートＧ₃₃、スイッチＳＷ₃₄はゲートＧ₃₄、スイッチＳ
Ｗ₃₅はゲートＧ₃₅、スイッチＳＷ₃₆はゲートＧ₃₆、スイ
ッチＳＷ₃₇はゲートＧ₃₇、スイッチＳＷ₃₈はゲート
Ｇ₃₈、スイッチＳＷ₃₉はゲートＧ₃₉、スイッチＳＷ₄₀は
ゲートＧ₄₀を有しており、それぞれのゲートに入力され
るパルスにより、各スイッチＳＷがスイッチングされ
る。ここでは、ゲートＧ₃₃〜Ｇ₃₄の制御によって、直流
電源Ｅ₄の極性が切り換え可能であり、その出力直流電
圧がインダクタンスＬ₂を介してスイッチング回路のゲ
ートＧ₃₅〜Ｇ₄₀の制御によって、第１の出力端子Ｏ₂₁、
第２の出力端子Ｏ₂₂、第３の出力端子Ｏ ₂₃へ所望の出力
電圧を得ることができる。

【００３５】図１１は本発明の第６実施例を示す多相交
流駆動型静電アクチュエータの構成図である。この実施
例では、３相出力のインバータ回路を有する４相交流電
圧発生装置５２，５３を設け、その４相交流電圧発生装
置５２を第１部材１内の第１群の帯状電極２_a1〜２_d3に
接続し、４相交流電圧発生装置５３を第２部材１１内の
第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2に接続する。つまり、
それぞれ第１群の帯状電極と第２群の帯状電極に４相交
流電圧発生装置５２と５３から個別に４相交流電圧を供
給するように構成している。

【００３６】ここでも、第１群の帯状電極２_a1〜２_d3に
は正相の４相交流電圧を、第２群の帯状電極１２_a1〜１
２_d2には逆相の４相交流電圧を順次印加するようにして
いる。図１２は本発明の第７の実施例を示す多相交流駆
動型静電アクチュエータの構成図である。

【００３７】この実施例では、２相交流電源６１と６５
を対になるように設置し、２相交流電源６１に変圧器６
２を接続する。その変圧器６２の出力側コイル６３には
中性点６４を設け、この中性点６４と出力側コイル６３
の一端間に第１相交流電圧（位相０°）を、前記中性点
６４と出力側コイル６３の他端間に第３相交流電圧（位
相１８０°）を発生させる。また、２相交流電源６５に
変圧器６６を接続する。その変圧器６６の出力側コイル
６７には中性点６８を設け、この中性点６８と出力側コ
イル６７の一端間に第２相交流電圧（位相９０°）を、
前記中性点６８と出力側コイル６７の他端間に第４相交
流電圧（位相２７０°）を発生させる。

【００３８】そして、前記中性点６４と６８とは接地さ
れ互いに橋絡されている。そこで、この４相交流電圧発
生装置から出力される４相交流電圧を前記第１群の帯状
電極２_a1〜２_d3及び第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2に
順次接続するようにしたものである。ここでも、第１群
の帯状電極２_a1〜２_d3には正相の４相交流電圧を、第２
群の帯状電極１２_a1〜１２_d2には逆相の４相交流電圧を
順次印加するようにしている。

【００３９】図１３は本発明の第７実施例を示す多相交
流駆動型静電アクチュエータの構成図である。この実施
例においては、第６実施例と同様に、２相交流電源６１
と６５を対になるように設置し、各々中性点６４，６８
を有する変圧器６２と６６を設けて、４相交流電圧を出
力し、その４相交流電圧発生装置からの出力を前記第１
群の帯状電極２_a1〜２_d3に順次接続する。

【００４０】一方、これと同様の構成を有する別に配置
される４相交流電圧発生装置を設ける。すなわち、２相
交流電源７１と７５を対になるように設置し、２相交流
電源７１に変圧器７２を接続する。その変圧器７２の出
力側コイル７３には中性点７４を設け、この中性点７４
と出力側コイル７３の一端間に第１相交流電圧（位相０
°）を、前記中性点７４と出力側コイル７３の他端間に
第３相交流電圧（位相１８０°）を発生させる。また、
２相交流電源７５に変圧器７６を接続する。その変圧器
７６の出力側コイル７７には中性点７８を設け、この中
性点７８と出力側コイル７７の一端間に第２相交流電圧
（位相９０°）を、前記中性点７８と出力側コイル７７
の他端間に第４相交流電圧（位相２７０°）を発生させ
る。

【００４１】そして、前記中性点７４と７８とは接地さ
れ互いに橋絡されている。前記２相交流電源６１と６５
を有する４相交流電圧発生装置から出力される４相交流
電圧を前記第１群の帯状電極２_a1〜２_d3に順次接続し、
一方、前記２相交流電源７１と７５を有する４相交流電
圧発生装置から出力される４相交流電圧を前記第２群の
帯状電極１２_a1〜１２_d2に順次接続するようにしたもの
である。

【００４２】ここでも、第１群の帯状電極２_a1〜２_d3に
は正相の４相交流電圧を、第２群の帯状電極１２_a1〜１
２_d2には逆相の４相交流電圧を順次印加するようにして
いる。このように構成することにより、第６実施例に比
して、第１部材１の第１群の帯状電極２_a1〜２_d3と第２
部材１１の第２群の帯状電極１２_a1〜１２_d2とに印加さ
れる電圧をそれぞれ個別の４相交流電圧発生装置により
変化させることにより、各種の駆動モードを設定するこ
とができる。

【００４３】上記した多相交流駆動型静電アクチュエー
タは、一般には、第１部材１を矩形の平板となし、第２
部材１１をこれと対向するような矩形の平板として構成
することが多いが、以下のような各種の変形が可能であ
る。図１４は本発明の第８実施例を示す多相交流駆動型
静電アクチュエータの外観斜視図であり、上記実施例に
おけるアクチュエータの出力を増大するために、アクチ
ュエータを積層して構成したものである。

【００４４】この実施例において、８０は固定子であ
り、複数段の第１部材８１からなり、それらの第１部材
８１は連結体８２により一体化される。第１部材８１に
は上記実施例で示した帯状電極（図示なし）が形成さ
れ、その帯状電極には上記実施例で示した４相交流電圧
が印加される。例えば、連結体８２の後面に容器８３を
設けて、上記実施例で示した４相交流電圧発生装置（図
示なし）を内蔵させるようにしてもよい。

【００４５】一方、８５は移動子であり、複数段の第２
部材８６からなり、それらの第２部材８６は連結体８７
により一体化され、その第２部材８６は第１部材８１間
にそれぞれ挿入される。第２部材８６には上記実施例で
示した４相交流電圧発生装置（図示なし）が接続され、
４相交流電圧が印加される。例えば、連結体８７の後面
に容器８８を設けて、その４相交流電圧発生装置を内蔵
させるようにしてもよい。

【００４６】図１５は本発明の第９実施例を示す静電ア
クチュエータの一部表破断面図である。また、９１は第
１部材としての円板状の固定子であり、その第１部材９
１は絶縁体９２に埋め込まれた放射状に配置された帯状
電極９３が形成されている。これに対して、第２部材と
しての円板状の移動子９５が中心軸を同じくして設けら
れる。この移動子９５には、図示しないが、放射状に配
置された帯状電極９３に対向して、円板状の絶縁体９６
に放射状に配置さた帯状電極（図示なし）が形成されて
いる。

【００４７】そこで、第１部材９１の放射状に配置され
た帯状電極９３には本発明の４相交流電圧発生装置９８
からの４相交流電圧を、第２部材としての第２部材９５
の放射状に配置さた帯状電極（図示なし）には同様の４
相交流電圧発生装置９９を接続する。このように、各放
射状に配置された帯状電極に４相交流電圧を印加するこ
とにより、第２部材としての円板状の移動子９５を回転
駆動することができる。

【００４８】図１６は本発明の第１０実施例を示す静電
アクチュエータの一部破断斜視図である。この実施例に
おいて、第１部材としての円板状の固定子１０１の中心
部に軸１０４を植設し、この軸１０４を中心にして、第
２部材としての円板状の移動子１０５を設け、円板状の
固定子１０１と円板状の移動子１０５を多層に形成する
ように構成する。

【００４９】上記と同様に円板状の固定子１０１及び円
板状の移動子１０５に対向するように円板状の絶縁体１
０６に放射状に配置された帯状電極１０７が形成され、
それらの電極にはそれぞれ上記した実施例に示す４相交
流電圧発生装置１０８と４相交流電圧発生装置１０９か
ら多相交流電圧が印加される。このように構成すること
により、アクチュエータの出力を増大することができ
る。

【００５０】図１７は本発明の第１１実施例を示す静電
アクチュエータの斜視図である。この図に示すように、
この実施例では、第１部材としての円柱状の固定子１１
０には、互いに絶縁され、所定の方向で且つ所定の間隔
を設けて複数の巻回状電極１１１が形成される。この固
定子１１０に第２部材としての管状の移動子１１５が装
着され、この移動子１１５には前記したものと同様の巻
回状電極（詳細には図示しないが、上記実施例と同様の
構成を有する）が形成される。そして、固定子１１０の
巻回状電極１１１及び移動子１１５の巻回状電極（詳細
には図示しないが、上記実施例と同様の構成を有する）
には、それぞれ、前記したものと同様の４相交流電圧発
生装置（図示なし）１１２及び１１７が接続され、それ
ぞれ４相交流電圧が印加される。

【００５１】そこで、固定子１１０と移動子１１５間に
は静電気のクーロン力が生じ、前記したように移動子１
１５は、固定子１１０の軸方向、つまり矢印方向に摺動
駆動される。図１８は本発明の第１２実施例を示す静電
アクチュエータの斜視図である。この図に示すように、
この実施例では、第１部材としての円柱状の固定子１２
０には、互いに絶縁され、所定の方向で且つ所定の間隔
を有する軸方向に延びる複数の帯状電極１２１が形成さ
れる。この円柱状の固定子１２０に第２部材としての管
状の移動子１２５が被着され、この管状の移動子１２５
には前記したものと同様の巻回状電極（図示なし）が形
成される。そして、固定子１２０の帯状電極１２１及び
移動子１２５の巻回状電極（図示なし）には、それぞ
れ、４相交流電圧発生装置１２２及び１２７が接続さ
れ、それぞれ多相交流電圧が印加される。

【００５２】そこで、円柱状の固定子１２０と管状の移
動子１２５間には静電気のクーロン力が生じ、管状の移
動子１２５は矢印のように回転駆動される。なお、本発
明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣
旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明
の範囲から排除するものではない。

【００５３】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。本発明
によれば、上記したように、第１部材の第１群の帯状電
極と第２部材の第２群の帯状電極に変圧器を有する４相
交流電圧発生装置から出力される４相交流電圧を印加す
るようにしたので、トルクリプルを減少させ、しかも電
源回路構成も簡略化することができる。

【００５４】また、２個の４相交流電圧発生装置を配置
し、第１部材の第１群の帯状電極と第２部材の第２群の
帯状電極に個別に接続することにより、第１部材の第１
群の帯状電極と第２部材の第２群の帯状電極を個別の４
相交流電圧発生装置で独立に制御することが可能とな
り、インバータの制御則を簡単化するとともに、各種の
制御モードを容易に設定することができる。

【００５５】更に、第１部材の第１群の帯状電極と第２
部材の第２群の帯状電極のそれぞれには表面側配線と裏
面側配線にそれぞれ２本の配線をバランスよく配置し、
裏面側配線からはスルーホールを介して配線することに
より、適切な配線を施すことができる。また、単純な対
になった２相交流電源を用いて、簡便に４相交流電圧を
得ることができ、電源回路構成のより簡略化を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す多相交流駆動型静電
アクチュエータの構成図である。

【図２】本発明の実施例を示す第１部材における４相電
極の配置を示す平面図である。

【図３】本発明の第２の実施例を示す多相交流駆動型静
電アクチュエータの構成図である。

【図４】本発明の第３の実施例を示す多相交流駆動型静
電アクチュエータの構成図である。

【図５】本発明の実施例における単相出力のインバータ
回路の構成例を示す図である。

【図６】本発明の実施例における他の単相出力のインバ
ータ回路の構成例を示す図である。

【図７】本発明の第４の実施例を示す多相交流駆動型静
電アクチュエータの構成図である。

【図８】本発明の第５の実施例を示す多相交流駆動型静
電アクチュエータの構成図である。

【図９】本発明の実施例における３相出力のインバータ
回路の構成例を示す図である。

【図１０】本発明の実施例における他の３相出力のイン
バータ回路の構成例を示す図である。

【図１１】本発明の第６の実施例を示す多相交流駆動型
静電アクチュエータの構成図である。

【図１２】本発明の第７の実施例を示す多相交流駆動型
静電アクチュエータの構成図である。

【図１３】本発明の第７実施例を示す多相交流駆動型静
電アクチュエータの構成図である。

【図１４】本発明の第８実施例を示す多相交流駆動型静
電アクチュエータの外観斜視図である。

【図１５】本発明の第９実施例を示す静電アクチュエー
タの一部表破断面図である。

【図１６】本発明の第１０実施例を示す静電アクチュエ
ータの一部破断斜視図である。

【図１７】本発明の第１１実施例を示す静電アクチュエ
ータの斜視図である。

【図１８】本発明の第１２実施例を示す静電アクチュエ
ータの斜視図である。

【符号の説明】

１第１部材２_a1〜２_d3 第１群の帯状電極３，５表面側配線４，６裏面側配線７スルーホール８有効電極部１１第２部材１２_a1〜１２_d2 第２群の帯状電極１３，１４，１５，２１，２２，３１，３２，４１，９
９，１０８，１０９，１１２，１１７，１２２，１２７
４相交流電圧発生装置２３，４３第１の変圧器２４，２８，４５，４７出力側コイル２５，４６第１の中性点２６第２のインバータ回路２７，４４第２の変圧器２９，４８第２の中性点４２，４４，６２第２の出力端子４２，５１，５２３相出力のインバータ回路６１，６５，７１，７５２相交流電源６３，６７，７３，７７出力側コイル６４，６８，７４，７８中性点６６，７２，７６変圧器８０固定子８１複数段の第１部材８２，８７連結体８３，８８容器８５移動子８６複数段の第２部材９１，１０１第１部材（円板状の固定子）９２絶縁体９３，１０７，１２１帯状電極９５，１０５第２部材（円板状の移動子）９６，１０６円板状の絶縁体１０４軸１１０，１２０第１部材（円柱状の固定子）１１１複数の巻回状電極１１５，１２５管状の移動子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピッチ
で埋め込まれている第１部材と、この第１部材に対向配
置され、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで埋め
込まれている第２部材とを有し、前記第１群の帯状電極
と第２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加し、
前記第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力により
前記第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移動させ
る多相交流駆動型静電アクチュエータであって、（ａ）
一端が接地され互いに橋絡されている４個の単相電源を
有する４相交流電圧発生装置を備え、（ｂ）該４相交流
電圧発生装置から出力される４相交流電圧を前記第１群
の帯状電極及び第２群の帯状電極に順次接続することを
特徴とする多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項２】前記４相交流電圧発生装置を２個設け、
それぞれの４相交流電圧発生装置から出力される４相交
流電圧をそれぞれ前記第１群の帯状電極と第２群の帯状
電極に個別に接続することを特徴とする請求項１記載の
多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項３】前記第１群の帯状電極には正相の４相交
流電圧を、前記第２群の帯状電極には逆相の４相交流電
圧を順次印加してなる請求項１又は２記載の多相交流駆
動型静電アクチュエータ。
【請求項４】絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピッチ
で埋め込まれている第１部材と、この第１部材に対向配
置され、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで埋め
込まれている第２部材とを有し、前記第１群の帯状電極
と第２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加し、
前記第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力により
前記第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移動させ
る多相交流駆動型静電アクチュエータであって、（ａ）
単相出力の第１のインバータ回路と、（ｂ）該第１のイ
ンバータ回路に接続される第１の変圧器と、（ｃ）単相
出力の第２のインバータ回路と、（ｄ）該第２のインバ
ータ回路に接続される第２の変圧器と、（ｅ）前記第１
の変圧器の出力側コイルに第１の中性点を有し、該第１
の中性点と出力側コイルの一端間に第１相交流電圧を、
前記第１の中性点と出力側コイルの他端間に第３相交流
電圧を、前記第２の変圧器の出力側コイルに第２の中性
点を有し、該第２の中性点と出力側コイルの一端間に第
２相交流電圧を、前記第２の中性点と出力側コイルの他
端間に第４相交流電圧を発生させ、前記第１の中性点と
第２の中性点とが接地され互いに橋絡されている４相交
流電圧発生装置を備え、（ｆ）該４相交流電圧発生装置
から出力される４相交流電圧を前記第１群の帯状電極及
び第２群の帯状電極に順次接続することを特徴とする多
相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項５】前記４相交流電圧発生装置を２個設け、
それぞれの４相交流電圧発生装置から出力される４相交
流電圧をそれぞれ前記第１群の帯状電極と第２群の帯状
電極に個別に接続することを特徴とする請求項４記載の
多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項６】前記第１群の帯状電極には正相の４相交
流電圧を、前記第２群の帯状電極には逆相の４相交流電
圧を順次印加してなる請求項４又は５記載の多相交流駆
動型静電アクチュエータ。
【請求項７】絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピッチ
で埋め込まれている第１部材と、この第１部材に対向配
置され、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで埋め
込まれている第２部材とを有し、前記第１群の帯状電極
と第２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加し、
前記第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力により
前記第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移動させ
る多相交流駆動型静電アクチュエータであって、（ａ）
３相出力のインバータ回路と、（ｂ）該３相出力のイン
バータ回路に接続される第１及び第２の変圧器と、
（ｃ）該第１の変圧器の出力側コイルに第１の中性点を
有し、該第１の中性点と出力側コイルの一端間に第１相
交流電圧を、前記第１の中性点と出力側コイルの他端間
に第３相交流電圧を、前記第２の変圧器の出力側コイル
に第２の中性点を有し、該第２の中性点と出力側コイル
の一端間に第２相交流電圧を、前記第２の中性点と出力
側コイルの他端間に第４相交流電圧を発生させ、前記第
１の中性点と第２の中性点とが接地され互いに橋絡され
ている４相交流電圧発生装置とを備え、（ｄ）該４相交
流電圧発生装置から出力される４相交流電圧を前記第１
群の帯状電極及び第２群の帯状電極に順次接続すること
を特徴とする多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項８】前記４相交流電圧発生装置を２個設け、
それぞれの４相交流電圧発生装置から出力される４相交
流電圧をそれぞれ前記第１群の帯状電極と第２群の帯状
電極に個別に接続することを特徴とする請求項７記載の
多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項９】前記第１群の帯状電極には正相の４相交
流電圧を、前記第２群の帯状電極には逆相の４相交流電
圧を順次印加してなる請求項７又は８記載の多相交流駆
動型静電アクチュエータ。
【請求項１０】絶縁体に第１群の帯状電極が所定ピッ
チで埋め込まれている第１部材と、この第１部材に対向
配置され、絶縁体に第２群の帯状電極が所定ピッチで埋
め込まれている第２部材とを有し、前記第１群の帯状電
極と第２群の帯状電極にそれぞれ多相交流電圧を印加
し、前記第１部材と第２部材間の静電気のクーロン力に
より前記第１部材と第２部材の一方もしくは両方を移動
させる多相交流駆動型静電アクチュエータであって、
（ａ）一端が接地され互いに橋絡されている２個の２相
交流電源を有する４相交流電圧発生装置を備え、（ｂ）
該４相交流電圧発生装置から出力される４相交流電圧を
前記第１群の帯状電極及び第２群の帯状電極に順次接続
することを特徴とする多相交流駆動型静電アクチュエー
タ。
【請求項１１】前記４相交流電圧発生装置を２個設
け、それぞれの４相交流電圧発生装置から出力される４
相交流電圧をそれぞれ前記第１群の帯状電極と第２群の
帯状電極に個別に接続することを特徴とする請求項１０
記載の多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項１２】前記第１群の帯状電極には正相の４相
交流電圧を、前記第２群の帯状電極には逆相の４相交流
電圧を順次印加してなる請求項１０又は１１記載の多相
交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項１３】前記第１群の帯状電極及び第２群の帯
状電極は、前記第１部材及び第２部材に互いに対向する
所定間隔を有する平行な表面側配線と裏面側配線を２本
配置し、前記裏面側配線からはスルーホールを介して表
面側に導出され、それぞれの配線方向と直交する方向へ
延び、表面側配線はその面上でそれぞれの配線方向と直
交する方向へ延び、互いに噛み合った櫛歯状に配置され
ることを特徴とする請求項１、４、７又は１０記載の多
相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項１４】前記第１部材と第２部材とを順次積層
状に配置してなる請求項１〜１３のうち何れか１項記載
の多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項１５】前記第１部材と第２部材の少なくとも
一方が回転体からなる請求項１〜１３のうち何れか１項
記載の多相交流駆動型静電アクチュエータ。
【請求項１６】前記第１部材と第２部材の少なくとも
一方が回転体からなる積層状に配置してなる請求項１〜
１３のうち何れか１項記載の多相交流駆動型静電アクチ
ュエータ。