JPH0862090A - 積層構造体検査装置 - Google Patents
積層構造体検査装置Info
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- JPH0862090A JPH0862090A JP6216522A JP21652294A JPH0862090A JP H0862090 A JPH0862090 A JP H0862090A JP 6216522 A JP6216522 A JP 6216522A JP 21652294 A JP21652294 A JP 21652294A JP H0862090 A JPH0862090 A JP H0862090A
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- Japan
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- core
- face plate
- laminated structure
- core region
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 各コア領域の振動状態を基にして間接的に接
合部の接合状態を検査することによって、検査対象をコ
ア領域の数量に減少させ、検査時間を短縮させる。 【構成】 コアブロックの集合体と面板とを接合するこ
とによって、面板にコアブロックとの接合部で囲まれる
コア領域が均等に形成されたハニカムパネル４の接合部
を検査するものである。面板を任意の周波数で振動させ
るスピーカ１と、面板の各コア領域の所定位置における
変位速度を所定のスキャン速度で順次測定する速度計５
と、上記変位速度および上記スキャン速度を基にして所
定時刻における各コア領域の振動状態を検出する相関計
６とを有している。
合部の接合状態を検査することによって、検査対象をコ
ア領域の数量に減少させ、検査時間を短縮させる。 【構成】 コアブロックの集合体と面板とを接合するこ
とによって、面板にコアブロックとの接合部で囲まれる
コア領域が均等に形成されたハニカムパネル４の接合部
を検査するものである。面板を任意の周波数で振動させ
るスピーカ１と、面板の各コア領域の所定位置における
変位速度を所定のスキャン速度で順次測定する速度計５
と、上記変位速度および上記スキャン速度を基にして所
定時刻における各コア領域の振動状態を検出する相関計
６とを有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コアブロックの集合体
と面板とを接合して形成した積層構造体の接合部を検査
する積層構造体検査装置に関するものである。
と面板とを接合して形成した積層構造体の接合部を検査
する積層構造体検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】軽量で高剛性であるハニカムパネル等の
積層構造体は、航空機や車両、船舶等の構造体として使
用されるようになっている。この積層構造体は、コアブ
ロックの集合体と面板とを接着やろう付け等の接合処理
により接合したものであり、コアブロックと面板との接
合部を確実に接合させることが品質を向上させる上で望
まれている。従って、従来は、Ｘ線探傷方式や超音波探
傷方式等の積層構造体検査装置を用いて接合部の接合状
態を検査し、接合不良を発見したときに、この不良部分
に対して再度接合処理を施したり、不良原因を特定して
除去するようになっている。
積層構造体は、航空機や車両、船舶等の構造体として使
用されるようになっている。この積層構造体は、コアブ
ロックの集合体と面板とを接着やろう付け等の接合処理
により接合したものであり、コアブロックと面板との接
合部を確実に接合させることが品質を向上させる上で望
まれている。従って、従来は、Ｘ線探傷方式や超音波探
傷方式等の積層構造体検査装置を用いて接合部の接合状
態を検査し、接合不良を発見したときに、この不良部分
に対して再度接合処理を施したり、不良原因を特定して
除去するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の積層構造体検査装置では、接合部の接合状態を直接
的に検査するようになっているため、全ての接合部の検
査結果を得るまでに長時間を要するという問題がある。
来の積層構造体検査装置では、接合部の接合状態を直接
的に検査するようになっているため、全ての接合部の検
査結果を得るまでに長時間を要するという問題がある。
【０００４】さらに、上記の積層構造体検査装置は、Ｘ
線探傷方式の場合、人体に有害なＸ線を用いるため、取
り扱い時に危険性を伴うという問題があり、超音波探傷
方式の場合、超音波の伝達媒体としての水に積層構造体
を浸漬する必要があるため、取り扱いが不便であるとい
う問題がある。
線探傷方式の場合、人体に有害なＸ線を用いるため、取
り扱い時に危険性を伴うという問題があり、超音波探傷
方式の場合、超音波の伝達媒体としての水に積層構造体
を浸漬する必要があるため、取り扱いが不便であるとい
う問題がある。
【０００５】従って、本発明は、短時間で接合部の接合
状態を検査することができる積層構造体検査装置を提供
することを第１の目的とし、さらに、安全且つ容易に取
り扱うことができる積層構造体検査装置を提供すること
を第２の目的としている。
状態を検査することができる積層構造体検査装置を提供
することを第１の目的とし、さらに、安全且つ容易に取
り扱うことができる積層構造体検査装置を提供すること
を第２の目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、コアブロックの集合体と面板との接合によって、該
面板に上記コアブロックとの接合部で囲まれるコア領域
が均等に形成された積層構造体の上記接合部を検査する
ものであり、下記の特徴を有している。
に、コアブロックの集合体と面板との接合によって、該
面板に上記コアブロックとの接合部で囲まれるコア領域
が均等に形成された積層構造体の上記接合部を検査する
ものであり、下記の特徴を有している。
【０００７】即ち、上記面板を任意の周波数で振動させ
る振動印加手段と、上記面板の各コア領域の振動状態を
検出する振動状態検出手段とを有していることを特徴と
している。
る振動印加手段と、上記面板の各コア領域の振動状態を
検出する振動状態検出手段とを有していることを特徴と
している。
【０００８】
【作用】上記の構成によれば、接合部の良好なコア領域
と接合部に欠陥のあるコア領域とが異なる固有振動数を
有しているため、振動印加手段により積層構造体を振動
させることよって、接合部の良好なコア領域のみを一定
の振動状態で励振させることができる。従って、各コア
領域の振動状態を基にして間接的に接合部の接合状態を
検査することができるため、従来のように直接的に全て
の接合部を検査する場合と比較して、検査対象が減少
し、結果として検査時間を短縮することが可能になる。
と接合部に欠陥のあるコア領域とが異なる固有振動数を
有しているため、振動印加手段により積層構造体を振動
させることよって、接合部の良好なコア領域のみを一定
の振動状態で励振させることができる。従って、各コア
領域の振動状態を基にして間接的に接合部の接合状態を
検査することができるため、従来のように直接的に全て
の接合部を検査する場合と比較して、検査対象が減少
し、結果として検査時間を短縮することが可能になる。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図５を用いて
説明する。本実施例に係る積層構造体検査装置は、図１
に示すように、任意の周波数の駆動信号を出力するＦＦ
Ｔ装置３を有している。ＦＦＴ装置３は、増幅器（ＡＭ
Ｐ）２を介してスピーカ１に接続されており、増幅器２
は、ＦＦＴ装置３からの駆動信号を所定の増幅率で増幅
するようになっている。そして、増幅器２に接続された
スピーカ１は、増幅された駆動信号を音波に変換して出
力するようになっている。
説明する。本実施例に係る積層構造体検査装置は、図１
に示すように、任意の周波数の駆動信号を出力するＦＦ
Ｔ装置３を有している。ＦＦＴ装置３は、増幅器（ＡＭ
Ｐ）２を介してスピーカ１に接続されており、増幅器２
は、ＦＦＴ装置３からの駆動信号を所定の増幅率で増幅
するようになっている。そして、増幅器２に接続された
スピーカ１は、増幅された駆動信号を音波に変換して出
力するようになっている。
【００１０】上記のスピーカ１の近傍には、ハニカムパ
ネル４が音波の進行方向に対して平行または交錯するよ
うに懸吊されている。ハニカムパネル４は、図３に示す
ように、コアブロック１０…の頂辺部１０ａ…と面板１
１とを接着やろう付け等の接合処理により接合すること
によって、面板１１・１１間に多数のコアブロック１０
…からなる板状体を介装させたものであり、各コアブロ
ック１０の六角形の頂辺部１０ａに囲まれた面板１１の
コア領域１１ａ…は、各コアブロック１０が一定のピッ
チで形成されているため、均等な形状および面積になっ
ている。
ネル４が音波の進行方向に対して平行または交錯するよ
うに懸吊されている。ハニカムパネル４は、図３に示す
ように、コアブロック１０…の頂辺部１０ａ…と面板１
１とを接着やろう付け等の接合処理により接合すること
によって、面板１１・１１間に多数のコアブロック１０
…からなる板状体を介装させたものであり、各コアブロ
ック１０の六角形の頂辺部１０ａに囲まれた面板１１の
コア領域１１ａ…は、各コアブロック１０が一定のピッ
チで形成されているため、均等な形状および面積になっ
ている。
【００１１】上記のコア領域１１ａ…は、コアブロック
１０の頂辺部１０ａと面板１１との接合によって、六角
形の頂辺部１０ａを固定端として固有の固有振動数を有
しており、上述のスピーカ１から発信される音波の周波
数が所定値となったときに、効率良く励振するようにな
っている。
１０の頂辺部１０ａと面板１１との接合によって、六角
形の頂辺部１０ａを固定端として固有の固有振動数を有
しており、上述のスピーカ１から発信される音波の周波
数が所定値となったときに、効率良く励振するようにな
っている。
【００１２】また、コア領域１１ａ…は、図１に示すよ
うに、励振時の変位速度が速度計５により検出されてい
る。速度計５は、上述のＦＦＴ装置３から測定タイミン
グ信号が入力されるようになっており、測定タイミング
信号に同期させてレーザ光をスキャンし、各コア領域１
１ａの例えば中心部にレーザ光を照射して照射位置にお
ける変位速度を測定するようになっている。そして、速
度計５は、相関計６に接続されており、相関計６は、ス
キャン速度および変位速度を基にして全コア領域１１ａ
…の所定時刻における振動の大きさ状態を色分けして画
面表示するようになっている。
うに、励振時の変位速度が速度計５により検出されてい
る。速度計５は、上述のＦＦＴ装置３から測定タイミン
グ信号が入力されるようになっており、測定タイミング
信号に同期させてレーザ光をスキャンし、各コア領域１
１ａの例えば中心部にレーザ光を照射して照射位置にお
ける変位速度を測定するようになっている。そして、速
度計５は、相関計６に接続されており、相関計６は、ス
キャン速度および変位速度を基にして全コア領域１１ａ
…の所定時刻における振動の大きさ状態を色分けして画
面表示するようになっている。
【００１３】上記の構成において、積層構造体検査装置
の動作について説明する。先ず、ＦＦＴ装置３から駆動
信号が出力されると、この駆動信号は、相関計６に入力
されることになると共に、増幅器２で増幅された後、ス
ピーカ１に入力されることになる。そして、スピーカ１
に入力された駆動信号は、図２に示すように、駆動信号
の周波数に対応した疎密波からなる音波に変換されて発
信することになり、ハニカムパネル４の前方を進行する
ことになる。
の動作について説明する。先ず、ＦＦＴ装置３から駆動
信号が出力されると、この駆動信号は、相関計６に入力
されることになると共に、増幅器２で増幅された後、ス
ピーカ１に入力されることになる。そして、スピーカ１
に入力された駆動信号は、図２に示すように、駆動信号
の周波数に対応した疎密波からなる音波に変換されて発
信することになり、ハニカムパネル４の前方を進行する
ことになる。
【００１４】この際、コアブロック１０の頂辺部１０ａ
と面板１１とが完全に接合されている場合には、各コア
領域１１ａが六角形の頂辺部１０ａを固定端として固有
の固有振動数を有している。従って、コアブロック１０
の２個分を１波長とするように音波の周波数が調整され
ると、音波の疎密波で励振される面板１１の曲げ波の波
長と疎密波の波長とが一致することになり、曲げ波が効
率良く励起されることによって、コアブロック１０のピ
ッチに相当する定常波モードが面板１１に大振幅で発生
することになる。これにより、面板１１には、隣接する
コア領域１１ａ毎に逆方向の速度分布を有する凹状部お
よび凸状部が定期的に発生することになる。
と面板１１とが完全に接合されている場合には、各コア
領域１１ａが六角形の頂辺部１０ａを固定端として固有
の固有振動数を有している。従って、コアブロック１０
の２個分を１波長とするように音波の周波数が調整され
ると、音波の疎密波で励振される面板１１の曲げ波の波
長と疎密波の波長とが一致することになり、曲げ波が効
率良く励起されることによって、コアブロック１０のピ
ッチに相当する定常波モードが面板１１に大振幅で発生
することになる。これにより、面板１１には、隣接する
コア領域１１ａ毎に逆方向の速度分布を有する凹状部お
よび凸状部が定期的に発生することになる。
【００１５】次に、上記のコア領域１１ａの所定位置に
速度計５からレーザ光が照射されることになり、速度計
５は、コア領域１１ａからの反射光を基にして照射位置
の変位速度を測定することになる。そして、速度計５が
所定のスキャン速度で全コア領域１１ａ…の所定位置に
おける測定を完了すると、これらの測定値およびスキャ
ン速度を基にして所定時刻における全コア領域１１ａ…
の振動状態が求められ、隣接するコア領域１１ａ毎に逆
方向の速度分布を示す規則的に色分けされた振動状態の
ハニカムパネル４が画面表示されることになる。
速度計５からレーザ光が照射されることになり、速度計
５は、コア領域１１ａからの反射光を基にして照射位置
の変位速度を測定することになる。そして、速度計５が
所定のスキャン速度で全コア領域１１ａ…の所定位置に
おける測定を完了すると、これらの測定値およびスキャ
ン速度を基にして所定時刻における全コア領域１１ａ…
の振動状態が求められ、隣接するコア領域１１ａ毎に逆
方向の速度分布を示す規則的に色分けされた振動状態の
ハニカムパネル４が画面表示されることになる。
【００１６】ここで、速度計５が各コア領域１１ａを順
に測定し、各コア領域１１ａの測定時刻が異なる場合で
も、所定時刻における全コア領域１１ａ…の振動状態を
画面表示できる理由を説明する。図４に示すように、第
１測定点Ｘと第２測定点Ｙとをそれぞれ時刻ｔ0 および
時刻ｔ0 ＋Δｔにおいて測定したとすると、音波の周波
数ｆが既知であるため、第１測定点Ｘでの信号Ｂ1 およ
び第２測定点Ｙでの信号Ｂ2 は、（１）式および（２）
式でそれぞれ表すことができる。従って、ｗｔ0 φを任
意に設定することによって、時刻ｔ0 における全コア領
域１１ａ…の振動状態を得ることが可能になる。但し、
（１）式および（２）式において、Ａは振動（振動速
度）、ｗは２πｆ、φは位相である。
に測定し、各コア領域１１ａの測定時刻が異なる場合で
も、所定時刻における全コア領域１１ａ…の振動状態を
画面表示できる理由を説明する。図４に示すように、第
１測定点Ｘと第２測定点Ｙとをそれぞれ時刻ｔ0 および
時刻ｔ0 ＋Δｔにおいて測定したとすると、音波の周波
数ｆが既知であるため、第１測定点Ｘでの信号Ｂ1 およ
び第２測定点Ｙでの信号Ｂ2 は、（１）式および（２）
式でそれぞれ表すことができる。従って、ｗｔ0 φを任
意に設定することによって、時刻ｔ0 における全コア領
域１１ａ…の振動状態を得ることが可能になる。但し、
（１）式および（２）式において、Ａは振動（振動速
度）、ｗは２πｆ、φは位相である。
【００１７】
【数１】
【００１８】
【数２】
【００１９】次に、図５に示すように、コアブロック１
０の頂辺部１０ａと面板１１との接合部に欠陥がある場
合には、欠陥部を含む面板１１のコア領域１１ａ・１１
ａ同士が影響しあって、正常なコア領域１１ａとは異な
る固有の固有振動数を欠陥部の存在する欠陥領域に発生
させることになる。従って、コアブロック１０の２個分
を１波長とするように音波の周波数が調整された場合で
も、この音波により欠陥領域が励振されないため、速度
計５による測定結果から得られる画面表示には、隣接す
るコア領域１１ａ毎に規則的に色分けされた正常な領域
を示す部分と、不規則な色分けの欠陥領域を示す部分と
が現れることになる。そして、測定者は、色分けの不完
全な欠陥領域を発見したとき、この欠陥領域にコアブロ
ック１０の配置状態を対応させることによって、接合不
良の程度を確認することになる。さらに、欠陥領域の存
在を明確にするため、欠陥領域が有する固有の固有振動
数となるように、音波の周波数を調整し、欠陥領域のみ
を励振させて画面表示させることになる。
０の頂辺部１０ａと面板１１との接合部に欠陥がある場
合には、欠陥部を含む面板１１のコア領域１１ａ・１１
ａ同士が影響しあって、正常なコア領域１１ａとは異な
る固有の固有振動数を欠陥部の存在する欠陥領域に発生
させることになる。従って、コアブロック１０の２個分
を１波長とするように音波の周波数が調整された場合で
も、この音波により欠陥領域が励振されないため、速度
計５による測定結果から得られる画面表示には、隣接す
るコア領域１１ａ毎に規則的に色分けされた正常な領域
を示す部分と、不規則な色分けの欠陥領域を示す部分と
が現れることになる。そして、測定者は、色分けの不完
全な欠陥領域を発見したとき、この欠陥領域にコアブロ
ック１０の配置状態を対応させることによって、接合不
良の程度を確認することになる。さらに、欠陥領域の存
在を明確にするため、欠陥領域が有する固有の固有振動
数となるように、音波の周波数を調整し、欠陥領域のみ
を励振させて画面表示させることになる。
【００２０】以上のように、本実施例の積層構造体検査
装置は、コアブロック１０の集合体と面板１１とを接合
することによって、面板１１にコアブロック１０との接
合部で囲まれるコア領域１１ａが均等に形成された積層
構造体（ハニカムパネル４）の接合部を検査するもので
あり、面板１１を任意の周波数で振動させる振動印加手
段（スピーカ１）と、面板１１の各コア領域１１ａにお
ける振動状態を検出する振動状態検出手段（速度計５、
相関計６）とを有している構成である。
装置は、コアブロック１０の集合体と面板１１とを接合
することによって、面板１１にコアブロック１０との接
合部で囲まれるコア領域１１ａが均等に形成された積層
構造体（ハニカムパネル４）の接合部を検査するもので
あり、面板１１を任意の周波数で振動させる振動印加手
段（スピーカ１）と、面板１１の各コア領域１１ａにお
ける振動状態を検出する振動状態検出手段（速度計５、
相関計６）とを有している構成である。
【００２１】具体的には、上記の振動状態検出手段は、
面板１１の各コア領域１１ａの所定位置における変位速
度を所定のスキャン速度で順次測定する速度測定手段
（速度計５）と、変位速度およびスキャン速度を基にし
て所定時刻における各コア領域１１ａの振動状態を検出
する振動状態表示手段（相関計６）とを有している構成
である。
面板１１の各コア領域１１ａの所定位置における変位速
度を所定のスキャン速度で順次測定する速度測定手段
（速度計５）と、変位速度およびスキャン速度を基にし
て所定時刻における各コア領域１１ａの振動状態を検出
する振動状態表示手段（相関計６）とを有している構成
である。
【００２２】尚、振動状態検出手段は、コア領域１１ａ
の変位速度を測定して振動状態を検出するようになって
いるが、これに限定されることはなく、変位量を距離計
により測定して振動状態を検出するようになっていても
良い。また、積層構造体は、ハニカムパネル４に限定さ
れることもない。
の変位速度を測定して振動状態を検出するようになって
いるが、これに限定されることはなく、変位量を距離計
により測定して振動状態を検出するようになっていても
良い。また、積層構造体は、ハニカムパネル４に限定さ
れることもない。
【００２３】上記の構成によれば、接合部の良好なコア
領域１１ａと接合部に欠陥のあるコア領域１１ａとは、
接合部による境界条件が相違しているため、異なる固有
振動数を有することになる。従って、振動印加手段によ
り積層構造体の面板１１を振動させることよって、接合
部の良好なコア領域１１ａのみを一定の振動状態で励振
させることが可能であるため、各コア領域１１ａの振動
状態を基にして間接的に接合部の接合状態を検査するこ
とが可能になる。これにより、従来のように直接的に全
ての接合部を検査する場合と比較して、検査対象をコア
領域１１ａの数量に減少させることができるため、検査
時間を短縮させることが可能になっている。
領域１１ａと接合部に欠陥のあるコア領域１１ａとは、
接合部による境界条件が相違しているため、異なる固有
振動数を有することになる。従って、振動印加手段によ
り積層構造体の面板１１を振動させることよって、接合
部の良好なコア領域１１ａのみを一定の振動状態で励振
させることが可能であるため、各コア領域１１ａの振動
状態を基にして間接的に接合部の接合状態を検査するこ
とが可能になる。これにより、従来のように直接的に全
ての接合部を検査する場合と比較して、検査対象をコア
領域１１ａの数量に減少させることができるため、検査
時間を短縮させることが可能になっている。
【００２４】また、上記の積層構造体検査装置における
振動印加手段は、音波を発信するスピーカ１であること
から、積層構造体検査装置を生産現場等においても安全
且つ容易に取り扱うことが可能になっている。
振動印加手段は、音波を発信するスピーカ１であること
から、積層構造体検査装置を生産現場等においても安全
且つ容易に取り扱うことが可能になっている。
【００２５】尚、本実施例においては、振動印加手段と
してスピーカ１を用いているが、これに限定されること
はなく、積層構造体における裏面等の非検査位置に設け
られた加振器であっても良い。
してスピーカ１を用いているが、これに限定されること
はなく、積層構造体における裏面等の非検査位置に設け
られた加振器であっても良い。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、以上のように、コアブロック
の集合体と面板との接合によって、該面板に上記コアブ
ロックとの接合部で囲まれるコア領域が均等に形成され
た積層構造体の上記接合部を検査するものであり、上記
面板を任意の周波数で振動させる振動印加手段と、上記
面板の各コア領域の振動状態を検出する振動状態検出手
段とを有している構成である。
の集合体と面板との接合によって、該面板に上記コアブ
ロックとの接合部で囲まれるコア領域が均等に形成され
た積層構造体の上記接合部を検査するものであり、上記
面板を任意の周波数で振動させる振動印加手段と、上記
面板の各コア領域の振動状態を検出する振動状態検出手
段とを有している構成である。
【００２７】これにより、接合部の良好なコア領域と接
合部に欠陥のあるコア領域とが異なる固有振動数を有し
ているため、振動印加手段により積層構造体の面板を振
動させることよって、接合部の良好なコア領域のみを一
定の振動状態で励振させることができる。よって、各コ
ア領域の振動状態を基にして間接的に接合部の接合状態
を検査することができるため、従来のように直接的に全
ての接合部を検査する場合と比較して、検査対象が減少
し、結果として検査時間を短縮することが可能であると
いう効果を奏する。
合部に欠陥のあるコア領域とが異なる固有振動数を有し
ているため、振動印加手段により積層構造体の面板を振
動させることよって、接合部の良好なコア領域のみを一
定の振動状態で励振させることができる。よって、各コ
ア領域の振動状態を基にして間接的に接合部の接合状態
を検査することができるため、従来のように直接的に全
ての接合部を検査する場合と比較して、検査対象が減少
し、結果として検査時間を短縮することが可能であると
いう効果を奏する。
【図１】積層構造体検査装置の概略構成図である。
【図２】コア領域の振動状態を示す説明図である。
【図３】ハニカムパネルの要部斜視図である。
【図４】コア領域の測定点を示す説明図である。
【図５】コア領域の振動状態を示す説明図である。
１ スピーカ ２ 増幅器 ３ ＦＦＴ装置 ４ ハニカムパネル ５ 速度計 ６ 相関計 １０ コアブロック １０ａ 頂辺部 １１ 面板 １１ａ コア領域
Claims (4)
- 【請求項１】 コアブロックの集合体と面板との接合に
よって、該面板に上記コアブロックとの接合部で囲まれ
るコア領域が均等に形成された積層構造体の上記接合部
を検査する積層構造体検査装置であって、 上記面板を任意の周波数で振動させる振動印加手段と、 上記面板の各コア領域の振動状態を検出する振動状態検
出手段とを有していることを特徴とする積層構造体検査
装置。 - 【請求項２】 上記振動状態検出手段は、 上記面板の各コア領域の所定位置における変位速度を所
定のスキャン速度で順次測定する速度測定手段と、 上記変位速度および上記スキャン速度を基にして所定時
刻における各コア領域の振動状態を検出する振動状態表
示手段とを有していることを特徴とする請求項１記載の
積層構造体検査装置。 - 【請求項３】 上記振動印加手段は、音波を発信するス
ピーカであることを特徴とする請求項１記載の積層構造
体検査装置。 - 【請求項４】 上記振動印加手段は、上記積層構造体の
非検査位置に設けられた加振器であることを特徴とする
請求項１記載の積層構造体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6216522A JPH0862090A (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 積層構造体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6216522A JPH0862090A (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 積層構造体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862090A true JPH0862090A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16689755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6216522A Pending JPH0862090A (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 積層構造体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862090A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106248336A (zh) * | 2016-07-31 | 2016-12-21 | 成都凯天电子股份有限公司 | 黑匣子强冲击试验靶标的制备方法 |
-
1994
- 1994-08-17 JP JP6216522A patent/JPH0862090A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106248336A (zh) * | 2016-07-31 | 2016-12-21 | 成都凯天电子股份有限公司 | 黑匣子强冲击试验靶标的制备方法 |
| CN106248336B (zh) * | 2016-07-31 | 2019-09-20 | 成都凯天电子股份有限公司 | 黑匣子强冲击试验靶标的制备方法 |
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