JPH0861979A - 回転エンコーダの偏心誤差補正装置 - Google Patents
回転エンコーダの偏心誤差補正装置Info
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- JPH0861979A JPH0861979A JP19509494A JP19509494A JPH0861979A JP H0861979 A JPH0861979 A JP H0861979A JP 19509494 A JP19509494 A JP 19509494A JP 19509494 A JP19509494 A JP 19509494A JP H0861979 A JPH0861979 A JP H0861979A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】回転パルスエンコーダの円板（中心ｃ）１が取
付けられた軸がｃ′を中心に偏心して回転し、ピックア
ップ３−１，３−２，３−３が夫々円板周縁の突起２
ａ，２ｂ，・・・の通過を検出して出力するパルス２
１，２２，２３にタイミングのずれが生じても、このパ
ルスから正確な回転角を検出する回転エンコード出力を
得る。 【構成】ピックアップ出力パルス２１〜２３の平均のタ
イミングが真のパルス位置を表わす、しかしこのタイミ
ングは既出力のパルスと未出力のパルスから作られるの
で現実には検出できない。そこで偏心誤差補正装置６は
真のタイミングから一定の遅延時間Ｔだけ遅れたタイミ
ングを求めて平均パルス３０を発生させ、真のパルスの
代わりの回転エンコード出力とする。
付けられた軸がｃ′を中心に偏心して回転し、ピックア
ップ３−１，３−２，３−３が夫々円板周縁の突起２
ａ，２ｂ，・・・の通過を検出して出力するパルス２
１，２２，２３にタイミングのずれが生じても、このパ
ルスから正確な回転角を検出する回転エンコード出力を
得る。 【構成】ピックアップ出力パルス２１〜２３の平均のタ
イミングが真のパルス位置を表わす、しかしこのタイミ
ングは既出力のパルスと未出力のパルスから作られるの
で現実には検出できない。そこで偏心誤差補正装置６は
真のタイミングから一定の遅延時間Ｔだけ遅れたタイミ
ングを求めて平均パルス３０を発生させ、真のパルスの
代わりの回転エンコード出力とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発電機の回転子の如き
大型回転体の回転軸に同軸的に取り付けられて該回転体
の回転角度に比例するパルス信号を出力する回転エンコ
ーダ（パルスエンコーダとも略す）に関するものであ
り、更に詳しくは、該回転エンコーダを構成する回転円
板の偏心に起因して、時間位相的に正しい出力信号が得
られないとき、これを補正した出力信号を作成して出力
する回転エンコーダの偏心誤差補正装置に関するもので
ある。
大型回転体の回転軸に同軸的に取り付けられて該回転体
の回転角度に比例するパルス信号を出力する回転エンコ
ーダ（パルスエンコーダとも略す）に関するものであ
り、更に詳しくは、該回転エンコーダを構成する回転円
板の偏心に起因して、時間位相的に正しい出力信号が得
られないとき、これを補正した出力信号を作成して出力
する回転エンコーダの偏心誤差補正装置に関するもので
ある。
【０００２】なお、以下各図において同一の符号は同一
もしくは相当部分を示す。
もしくは相当部分を示す。
【０００３】
【従来の技術】発電機の回転子の如き大型回転体の回転
軸に同軸的にパルスエンコーダを取り付け、該回転体の
回転に応じてパルスエンコーダから出力されるパルス列
から前記回転体の回転数や回転速度を知り、それに従っ
て回転体の回転を制御することが行われている。回転体
が発電機の回転子である場合には、パルスエンコーダの
出力を用いて回転子の回転を制御することになるので、
結局発電機からの出力電圧や出力電流を制御することに
なる。
軸に同軸的にパルスエンコーダを取り付け、該回転体の
回転に応じてパルスエンコーダから出力されるパルス列
から前記回転体の回転数や回転速度を知り、それに従っ
て回転体の回転を制御することが行われている。回転体
が発電機の回転子である場合には、パルスエンコーダの
出力を用いて回転子の回転を制御することになるので、
結局発電機からの出力電圧や出力電流を制御することに
なる。
【０００４】図８は、かかるパルスエンコーダの動作原
理説明のための概念図である。同図において、１は回転
円板、ｃはその回転中心、２ａ〜２ｆはそれぞれ突起、
３ａ，３ｂはそれぞれピックアップ（パルスセンサとも
いう）である。突起２ａと２ｂは、回転中心ｃから見て
相互に角度１８０度だけ離れた位置にある（換言すれ
ば、突起２ａと回転中心ｃと突起２ｂは一直線上に存在
する）。突起２ｃと２ｄの組についても、また突起２ｅ
と２ｆの組についても、全く同様である。ピックアップ
３ａ，３ｂは円板１から離れた或る固定位置にあるわけ
であるが、その相対配置は、やはりピックアップ３ａ，
回転中心ｃ，ピックアップ３ｂが一直線上に揃うように
配置されている。
理説明のための概念図である。同図において、１は回転
円板、ｃはその回転中心、２ａ〜２ｆはそれぞれ突起、
３ａ，３ｂはそれぞれピックアップ（パルスセンサとも
いう）である。突起２ａと２ｂは、回転中心ｃから見て
相互に角度１８０度だけ離れた位置にある（換言すれ
ば、突起２ａと回転中心ｃと突起２ｂは一直線上に存在
する）。突起２ｃと２ｄの組についても、また突起２ｅ
と２ｆの組についても、全く同様である。ピックアップ
３ａ，３ｂは円板１から離れた或る固定位置にあるわけ
であるが、その相対配置は、やはりピックアップ３ａ，
回転中心ｃ，ピックアップ３ｂが一直線上に揃うように
配置されている。
【０００５】円板１が図示せざる回転体と同軸的に取り
付けられ、中心ｃを回転中心として回転すると、突起２
ａ〜２ｆは順次、ピックアップ３ａ，３ｂの近傍を通過
し、ピックアップ３ａ，３ｂはそれを検出する都度、パ
ルスを出力する。ピックアップと突起の関係は、突起が
磁石でピックアップがコイルであってもよく、或いは突
起が光の反射体でありピックアップが光電変換素子であ
って、突起がピックアップに接近したとき、或る光源か
らの光を反射してピックアップに入射するような構成で
あってもよい。
付けられ、中心ｃを回転中心として回転すると、突起２
ａ〜２ｆは順次、ピックアップ３ａ，３ｂの近傍を通過
し、ピックアップ３ａ，３ｂはそれを検出する都度、パ
ルスを出力する。ピックアップと突起の関係は、突起が
磁石でピックアップがコイルであってもよく、或いは突
起が光の反射体でありピックアップが光電変換素子であ
って、突起がピックアップに接近したとき、或る光源か
らの光を反射してピックアップに入射するような構成で
あってもよい。
【０００６】今、突起２ｃと２ｄの組について考える
と、突起２ｃがピックアップ３ａに接近してピックアッ
プ３ａがパルスを出力するとき、その同じタイミングに
おいて、突起２ｄがピックアップ３ｂに接近してピック
アップ３ｂもパルスを出力する。突起２ａと２ｂの組，
突起２ｅと２ｆの組についても全く同様である。このよ
うにして、ピックアップ３ａと３ｂは同じタイミングで
パルスを出力しており、このパルス列から回転体の回転
速度，回転数などを知ることができる。
と、突起２ｃがピックアップ３ａに接近してピックアッ
プ３ａがパルスを出力するとき、その同じタイミングに
おいて、突起２ｄがピックアップ３ｂに接近してピック
アップ３ｂもパルスを出力する。突起２ａと２ｂの組，
突起２ｅと２ｆの組についても全く同様である。このよ
うにして、ピックアップ３ａと３ｂは同じタイミングで
パルスを出力しており、このパルス列から回転体の回転
速度，回転数などを知ることができる。
【０００７】上述の如きパルスエンコーダにおいて、円
板の回転中心が偏心していると問題が生じる。図９はパ
ルスエンコーダにおける回転中心の偏心状況を示す説明
図である。同図に見られるように、円板１の物理的中心
がｃであるにもかかわらず、何らかの理由で偏心が発生
し、実際の回転中心ｃ′が偏心を起こして円板中心ｃか
らずれたとする。このずれた範囲５がふれ回りを起こす
範囲である。
板の回転中心が偏心していると問題が生じる。図９はパ
ルスエンコーダにおける回転中心の偏心状況を示す説明
図である。同図に見られるように、円板１の物理的中心
がｃであるにもかかわらず、何らかの理由で偏心が発生
し、実際の回転中心ｃ′が偏心を起こして円板中心ｃか
らずれたとする。このずれた範囲５がふれ回りを起こす
範囲である。
【０００８】図１０は図９においてピックアップ３ａ，
３ｂが出力するパルスのタイミング図である。円板１が
偏心を起こしておらず、その回転中心ｃ′が物理的中心
ｃと一致しているときには、ピックアップ３ａが出力す
るパルスａのタイミングと、ピックアップ３ｂが出力す
るパルスｂのタイミングは、図１０（イ）に見られるよ
うに全く一致しており問題はない。
３ｂが出力するパルスのタイミング図である。円板１が
偏心を起こしておらず、その回転中心ｃ′が物理的中心
ｃと一致しているときには、ピックアップ３ａが出力す
るパルスａのタイミングと、ピックアップ３ｂが出力す
るパルスｂのタイミングは、図１０（イ）に見られるよ
うに全く一致しており問題はない。
【０００９】ところが偏心により、回転中心ｃ′が物理
的中心ｃよりずれていると、そのずれ具合により、ピッ
クアップ３ｂが出力するパルスｂの方がピックアップ３
ａが出力するパルスａよりも、図１０（ロ）に見られる
ように時間Δｔだけ先行したり、或いは図１０（ハ）に
見られるように時間Δｔだけ遅れたりする。このよう
に、ピックアップ３ａから出力されるパルスとピックア
ップ３ｂから出力されるパルスとは、回転円板に偏心が
なければタイミング的に一致するのに、偏心があるが故
に時間的にずれてしまい、どちらのパルスを採用しても
タイミング的に正確なものとはいえなくなる。すなわ
ち、回転体が一定角速度で回転している場合を考える
と、偏心がなければピックアップ３ａ（又は３ｂ）から
出力されるパルスは一定間隔を置いて常に同じタイミン
グで出力されるのに偏心があると、ピックアップ３ａと
３ｂの何れの出力パルスを見ても遅れ，進みがあり、回
転体が一定角速度で回転している状況を表わすことがで
きない。
的中心ｃよりずれていると、そのずれ具合により、ピッ
クアップ３ｂが出力するパルスｂの方がピックアップ３
ａが出力するパルスａよりも、図１０（ロ）に見られる
ように時間Δｔだけ先行したり、或いは図１０（ハ）に
見られるように時間Δｔだけ遅れたりする。このよう
に、ピックアップ３ａから出力されるパルスとピックア
ップ３ｂから出力されるパルスとは、回転円板に偏心が
なければタイミング的に一致するのに、偏心があるが故
に時間的にずれてしまい、どちらのパルスを採用しても
タイミング的に正確なものとはいえなくなる。すなわ
ち、回転体が一定角速度で回転している場合を考える
と、偏心がなければピックアップ３ａ（又は３ｂ）から
出力されるパルスは一定間隔を置いて常に同じタイミン
グで出力されるのに偏心があると、ピックアップ３ａと
３ｂの何れの出力パルスを見ても遅れ，進みがあり、回
転体が一定角速度で回転している状況を表わすことがで
きない。
【００１０】この問題の解決策としては本出願人の先願
になる特開平１−１１３６１４号において、ピックアッ
プ３ａから出力されるパルスとピックアップ３ｂから出
力されるパルスとの丁度中間に位置するパルスに相当す
るパルスを人為的に作り出し、真に相当するパルスとし
て出力する装置が提案されている。
になる特開平１−１１３６１４号において、ピックアッ
プ３ａから出力されるパルスとピックアップ３ｂから出
力されるパルスとの丁度中間に位置するパルスに相当す
るパルスを人為的に作り出し、真に相当するパルスとし
て出力する装置が提案されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記先願
の装置では、軸の１次回転振動（１サイクル／回転）に
基づく偏心誤差しか補正できず、例えば現代制御理論に
基づく軸の高次の振動も考慮した発電機の高精度の制御
には適用ができないという問題が残っている。そこで本
発明は軸の高次の回転振動（多サイクル／回転）の偏心
誤差も補正でき、軸の高精度の回転角検出ができるよう
な回転エンコーダの偏心誤差補正装置を提供することを
課題とする。
の装置では、軸の１次回転振動（１サイクル／回転）に
基づく偏心誤差しか補正できず、例えば現代制御理論に
基づく軸の高次の振動も考慮した発電機の高精度の制御
には適用ができないという問題が残っている。そこで本
発明は軸の高次の回転振動（多サイクル／回転）の偏心
誤差も補正でき、軸の高精度の回転角検出ができるよう
な回転エンコーダの偏心誤差補正装置を提供することを
課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、請求項１の偏心誤差補正装置は、偏心して回転し
得る回転円板（１など）の回転に伴い前記回転円板の円
周上に等間隔に設けられた位置識別子（突起２ａ，２
ｂ，・・・など）が近傍を通過することを検出して位置
検出信号（ピックアップ出力パルス２０など）を発生す
る３つ以上の（ピックアップ３−１，３−２，３−３な
ど）を、回転円板の周辺近傍の固定位置に、回転円板の
中心から見てほぼ等間隔に、かつ回転円板の偏心が無い
とき各検出器の発生する前記位置検出信号（２１，２
２，２３など）の位相が一致するように配置し、且つ前
記位置識別子の総数を検出器の総数の整数倍とし、前記
の各検出器から、回転円板の偏心に起因し、位相のずれ
（位相差時間ｔ 1 ，ｔ2 ，ｔ3 ）を生じて出力された
位置検出信号から偏心誤差補正後の位置検出信号（平均
パルス出力３０など、以下補正位置検出信号という）を
生成し、回転エンコード出力とする回転エンコーダの偏
心誤差補正装置（６など）であって、前記検出器ごと１
つづつの位置検出信号の発生後の経過時間の平均値
（（Ｔ＋ｔ1 ）／３＋（Ｔ＋ｔ2 ）／３＋（Ｔ＋ｔ3 ）
／３）が１つの検出器から出力される位置検出信号の周
期より小さい所定の遅延時間（Ｔ）に一致した時点（平
均パルス位置３３など）に前記補正位置検出信号を出力
するものとする。
めに、請求項１の偏心誤差補正装置は、偏心して回転し
得る回転円板（１など）の回転に伴い前記回転円板の円
周上に等間隔に設けられた位置識別子（突起２ａ，２
ｂ，・・・など）が近傍を通過することを検出して位置
検出信号（ピックアップ出力パルス２０など）を発生す
る３つ以上の（ピックアップ３−１，３−２，３−３な
ど）を、回転円板の周辺近傍の固定位置に、回転円板の
中心から見てほぼ等間隔に、かつ回転円板の偏心が無い
とき各検出器の発生する前記位置検出信号（２１，２
２，２３など）の位相が一致するように配置し、且つ前
記位置識別子の総数を検出器の総数の整数倍とし、前記
の各検出器から、回転円板の偏心に起因し、位相のずれ
（位相差時間ｔ 1 ，ｔ2 ，ｔ3 ）を生じて出力された
位置検出信号から偏心誤差補正後の位置検出信号（平均
パルス出力３０など、以下補正位置検出信号という）を
生成し、回転エンコード出力とする回転エンコーダの偏
心誤差補正装置（６など）であって、前記検出器ごと１
つづつの位置検出信号の発生後の経過時間の平均値
（（Ｔ＋ｔ1 ）／３＋（Ｔ＋ｔ2 ）／３＋（Ｔ＋ｔ3 ）
／３）が１つの検出器から出力される位置検出信号の周
期より小さい所定の遅延時間（Ｔ）に一致した時点（平
均パルス位置３３など）に前記補正位置検出信号を出力
するものとする。
【００１３】また、請求項２の偏心誤差補正装置では、
請求項１に記載の偏心誤差補正装置は、前記補正位置検
出信号の出力ごとにリセットされ、前記検出器ごと１つ
づつの位置検出信号の発生のつど、この発生数（ピック
アップ出力パルス到来数Ｎ）に計時用の所定の原クロッ
ク周波数（ｆc ）を前記検出器の総数（ｎ）で除してな
るクロック周波数（ｆc ／ｎ）を乗じた周波数（ｆc ×
Ｎ／ｎ）の可変クロック（４３ａなど）を生成する周波
数逓倍手段（ラッチ４１，加算器４２，プログラマブル
カウンタ４３など）と、同じく前記補正位置検出信号の
出力ごとにリセットされ、前記周波数逓倍手段によって
順次周波数が逓倍される前記可変クロックを計数積算
し、この積算値（総クロック数３１など）が前記の原ク
ロック周波数と遅延時間（Ｔ）との積（ｆ c ×Ｔ）に一
致した時点に前記補正位置検出信号を出力する手段（ｆ
c ×Ｔカウンタ４４，モノステーブルＦＦ４５など）と
を備えたものであるようにする。
請求項１に記載の偏心誤差補正装置は、前記補正位置検
出信号の出力ごとにリセットされ、前記検出器ごと１つ
づつの位置検出信号の発生のつど、この発生数（ピック
アップ出力パルス到来数Ｎ）に計時用の所定の原クロッ
ク周波数（ｆc ）を前記検出器の総数（ｎ）で除してな
るクロック周波数（ｆc ／ｎ）を乗じた周波数（ｆc ×
Ｎ／ｎ）の可変クロック（４３ａなど）を生成する周波
数逓倍手段（ラッチ４１，加算器４２，プログラマブル
カウンタ４３など）と、同じく前記補正位置検出信号の
出力ごとにリセットされ、前記周波数逓倍手段によって
順次周波数が逓倍される前記可変クロックを計数積算
し、この積算値（総クロック数３１など）が前記の原ク
ロック周波数と遅延時間（Ｔ）との積（ｆ c ×Ｔ）に一
致した時点に前記補正位置検出信号を出力する手段（ｆ
c ×Ｔカウンタ４４，モノステーブルＦＦ４５など）と
を備えたものであるようにする。
【００１４】また、請求項３の偏心誤差補正装置では、
請求項１に記載の偏心誤差補正装置は、計時用の所定の
原クロック周波数（ｆc ）の各パルスを、所定の順番を
附した前記の全ての検出器に、その順番に１対１に、か
つ検出器の順番の末尾が先頭に続くようにサイクリック
に割当てる手段（１／ｎカウンタ５１，デコーダ５２な
ど）と、前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットさ
れ、前記検出器ごと１つづつの位置検出信号の発生後、
夫々、当該の検出器に割当てられた原クロック周波数の
各パルスを有効とする手段（ラッチ４１，ＡＮＤゲート
６１〜６３など）と、同じく前記補正位置検出信号の出
力ごとにリセットされ、原クロック周波数の前記のよう
に有効とされたパルスのみを計数積算し、この積算値が
前記の原クロック周波数と遅延時間との積（ｆc ×Ｔ）
に一致した時点に前記補正位置検出信号を出力する手段
（ＯＲゲート５３，ｆc ×Ｔカウンタ４４，モノステー
ブルＦＦ４５など）とを備えたものであるようにする。
請求項１に記載の偏心誤差補正装置は、計時用の所定の
原クロック周波数（ｆc ）の各パルスを、所定の順番を
附した前記の全ての検出器に、その順番に１対１に、か
つ検出器の順番の末尾が先頭に続くようにサイクリック
に割当てる手段（１／ｎカウンタ５１，デコーダ５２な
ど）と、前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットさ
れ、前記検出器ごと１つづつの位置検出信号の発生後、
夫々、当該の検出器に割当てられた原クロック周波数の
各パルスを有効とする手段（ラッチ４１，ＡＮＤゲート
６１〜６３など）と、同じく前記補正位置検出信号の出
力ごとにリセットされ、原クロック周波数の前記のよう
に有効とされたパルスのみを計数積算し、この積算値が
前記の原クロック周波数と遅延時間との積（ｆc ×Ｔ）
に一致した時点に前記補正位置検出信号を出力する手段
（ＯＲゲート５３，ｆc ×Ｔカウンタ４４，モノステー
ブルＦＦ４５など）とを備えたものであるようにする。
【００１５】
【作用】円周上に等間隔に３つ以上の突起を持つパルス
エンコーダの回転円板の周縁に対向する固定位置に周縁
に沿いほぼ等間隔に、かつ回転円板に偏心がないときは
各ピックアップの出力パルスの位相が一致するように３
個以上のピックアップを設け、回転円板の偏心に起因し
この各ピックアップから出力される位相のずれたパルス
の平均のタイミングを真のパルスのタイミングとする。
エンコーダの回転円板の周縁に対向する固定位置に周縁
に沿いほぼ等間隔に、かつ回転円板に偏心がないときは
各ピックアップの出力パルスの位相が一致するように３
個以上のピックアップを設け、回転円板の偏心に起因し
この各ピックアップから出力される位相のずれたパルス
の平均のタイミングを真のパルスのタイミングとする。
【００１６】図２はピックアップを３−１，〜３−３の
３個とした場合における、一次振動の偏心軸に取付けら
れた回転エンコーダの円板の回転角θとピックアップの
検出する回転角度誤差Δθの関係の例を示す。このよう
に検出角度誤差Δθは恰も３相交流のようになるが、３
つのピックアップの角度誤差の平均値は０となることが
判る。
３個とした場合における、一次振動の偏心軸に取付けら
れた回転エンコーダの円板の回転角θとピックアップの
検出する回転角度誤差Δθの関係の例を示す。このよう
に検出角度誤差Δθは恰も３相交流のようになるが、３
つのピックアップの角度誤差の平均値は０となることが
判る。
【００１７】しかし真の平均のタイミングは、少なくと
も最も早く検出された既発生のピックアップ出力パルス
と最も遅く検出される未発生のピックアップ出力パルス
との中間にあり、概念上は存在しても現実には検出でき
ない。このため、この真の平均のタイミングから一定の
遅延時間Ｔ（但し１つのピックアップの出力パルスの周
期より充分短い時間とする）だけ遅れ、かつ最も遅く検
出されるピックアップ出力パルスの発生後となる時点に
回転エンコード出力としてのパルスを発生させ、真の平
均タイミングのパルスの代わりとする。
も最も早く検出された既発生のピックアップ出力パルス
と最も遅く検出される未発生のピックアップ出力パルス
との中間にあり、概念上は存在しても現実には検出でき
ない。このため、この真の平均のタイミングから一定の
遅延時間Ｔ（但し１つのピックアップの出力パルスの周
期より充分短い時間とする）だけ遅れ、かつ最も遅く検
出されるピックアップ出力パルスの発生後となる時点に
回転エンコード出力としてのパルスを発生させ、真の平
均タイミングのパルスの代わりとする。
【００１８】
【実施例】図１は本発明の一実施例としての原理的な全
体の構成図である。本発明においては、回転円板１の円
周に沿いほぼ等間隔に３つ以上のピックアップを設けて
パルス平均化の効果を高めるようにする。この例では３
（３−１，３−２，３−３）の３つのピックアップを設
けた例を示す。回転円板１の円周上に設けられた突起２
ａ，２ｂ，・・・は等間隔に配置され、円板中心ｃと回
転中心ｃ′が一致している場合、各ピックアップ３−
１，３−２，３−３からは常に同位相のピックアップ出
力パルス２０（２１，２２，２３）が発生するように構
成されている。偏心誤差補正装置６は、円板中心ｃと回
転中心ｃ′との不一致に起因する位相のずれたピックア
ップ出力パルス２１〜２３の平均タイミング（真のパル
ス位置）から一定の遅延時間Ｔだけ遅れたパルス（平均
パルス出力という）３０を生成し出力する。
体の構成図である。本発明においては、回転円板１の円
周に沿いほぼ等間隔に３つ以上のピックアップを設けて
パルス平均化の効果を高めるようにする。この例では３
（３−１，３−２，３−３）の３つのピックアップを設
けた例を示す。回転円板１の円周上に設けられた突起２
ａ，２ｂ，・・・は等間隔に配置され、円板中心ｃと回
転中心ｃ′が一致している場合、各ピックアップ３−
１，３−２，３−３からは常に同位相のピックアップ出
力パルス２０（２１，２２，２３）が発生するように構
成されている。偏心誤差補正装置６は、円板中心ｃと回
転中心ｃ′との不一致に起因する位相のずれたピックア
ップ出力パルス２１〜２３の平均タイミング（真のパル
ス位置）から一定の遅延時間Ｔだけ遅れたパルス（平均
パルス出力という）３０を生成し出力する。
【００１９】図３は図１の動作説明用のタイムチャート
である。図３において、真のパルス位置３２に対する各
ピックアップ３−１，３−２，３−３の夫々の出力パル
ス２１，２２，２３の時間差（位相差時間という）ｔを
ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 （但しこの例ではｔ1 ，ｔ3 ＞０，ｔ
2 ＜０）とすると、次式（１）の関係にある。
である。図３において、真のパルス位置３２に対する各
ピックアップ３−１，３−２，３−３の夫々の出力パル
ス２１，２２，２３の時間差（位相差時間という）ｔを
ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 （但しこの例ではｔ1 ，ｔ3 ＞０，ｔ
2 ＜０）とすると、次式（１）の関係にある。
【００２０】
【数１】 ｔ1 ＋ｔ2 ＋ｔ3 ＝０ ・・・（１） つまり、常に各ピックアップの出力パルス２１，２２，
２３の到来時間差（位相差時間）の合計が０となる時点
が真のパルス位置３２となる。そして偏心誤差補正装置
６は、真のパルス位置３２から一定の遅延時間Ｔだけ遅
れた位置３３に平均パルス出力３０を発生する。但し、
遅延時間Ｔは１つのピックアップからの出力パルス周期
より充分小さいものとする。
２３の到来時間差（位相差時間）の合計が０となる時点
が真のパルス位置３２となる。そして偏心誤差補正装置
６は、真のパルス位置３２から一定の遅延時間Ｔだけ遅
れた位置３３に平均パルス出力３０を発生する。但し、
遅延時間Ｔは１つのピックアップからの出力パルス周期
より充分小さいものとする。
【００２１】ところで（１）式は次式（２）のように変
形できる。
形できる。
【００２２】
【数２】 ｔ1 ＋ｔ2 ＋ｔ3 ＋３Ｔ＝３Ｔ ∴（Ｔ＋ｔ1 ）／３＋（Ｔ＋ｔ2 ）／３＋（Ｔ＋ｔ3 ）／３＝Ｔ （２） この（２）式は図３の斜線部分の時間長、つまり各パル
ス２１，２２，２３の発生後の経過時間（Ｔ＋ｔ1 ），
（Ｔ＋ｔ2 ），（Ｔ＋ｔ3 ）の平均が遅延時間Ｔである
ような位置が平均パルス位置３３であることを示し、さ
らに換言すればこの２（式）は各ピックアップ３−１，
〜３−３のチャンネルごとに、パルス到来後の経過時間
を１／３の時計進度でカウントしたとき、その計数値の
和が遅延時間Ｔに一致した点が、真のパルス位置３２か
らＴ時間遅れの平均パルス位置３３となることを表わし
ている。
ス２１，２２，２３の発生後の経過時間（Ｔ＋ｔ1 ），
（Ｔ＋ｔ2 ），（Ｔ＋ｔ3 ）の平均が遅延時間Ｔである
ような位置が平均パルス位置３３であることを示し、さ
らに換言すればこの２（式）は各ピックアップ３−１，
〜３−３のチャンネルごとに、パルス到来後の経過時間
を１／３の時計進度でカウントしたとき、その計数値の
和が遅延時間Ｔに一致した点が、真のパルス位置３２か
らＴ時間遅れの平均パルス位置３３となることを表わし
ている。
【００２３】ここで（２）式の両辺に計時用の所定のク
ロック周波数ｆc を乗じ、かつピックアップ３を３個
（３チャンネル）から一般にｎチャンネルとして（２）
式を書換えると下記（３）式が得られる。
ロック周波数ｆc を乗じ、かつピックアップ３を３個
（３チャンネル）から一般にｎチャンネルとして（２）
式を書換えると下記（３）式が得られる。
【００２４】
【数３】 （Ｔ＋ｔ1 ）ｆc ／ｎ＋（Ｔ＋ｔ2 ）ｆc ／ｎ＋（Ｔ＋ｔ3 ）ｆc ／ｎ＋ ・・・＋（Ｔ＋ｔn ）ｆc ／ｎ＝Ｔ×ｆc ・・・（３） 図４はこの式（３）の演算の説明図で、この図４の階段
状図形Ｆの面積は（３）式の左辺の値、すなわちピック
アップ出力パルス２１，２２，・・・２ｎの発生後の平
均パルス位置３３までの経過時間（Ｔ＋ｔ1 ），（Ｔ＋
ｔ2 ），・・・（Ｔ＋ｔn ）の各々とクロック分周周波
数ｆc ／ｎとの積であるクロック計数値の総和（総クロ
ック数）３１を示しており、この総クロック数３１の値
は（３）式の右辺の値Ｔ×ｆc に等しい。
状図形Ｆの面積は（３）式の左辺の値、すなわちピック
アップ出力パルス２１，２２，・・・２ｎの発生後の平
均パルス位置３３までの経過時間（Ｔ＋ｔ1 ），（Ｔ＋
ｔ2 ），・・・（Ｔ＋ｔn ）の各々とクロック分周周波
数ｆc ／ｎとの積であるクロック計数値の総和（総クロ
ック数）３１を示しており、この総クロック数３１の値
は（３）式の右辺の値Ｔ×ｆc に等しい。
【００２５】図５は（３）式の原理に基づいて平均パル
ス３０を出力する本発明の第１の実施例としての偏心誤
差補正装置６の構成を示すブロック回路図である。この
図５において、ラッチ４１はピックアップ出力パルス２
１，２２，・・・２ｎのパルスエッジの到来時、到来し
た各パルスを保持し、その保持ごとに１本づつ出力信号
としてのパルスラッチ出力８１〜８ｎを有効化する。加
算器４２はラッチ４１の有効な出力本数を加算し、この
加算値としてのピックアップ出力パルスの到来数Ｎを出
力してプログラマブルカウンタ４３にプログラム入力と
して与える。クロック周波数ｆc を原入力のクロックと
するプログラム可能な分周カウンタとしてのプログラマ
ブルカウンタ４３は、与えられたピックアップパルス到
来数Ｎの値に応じてクロック周波数ｆc を分周してなる
周波数ｆc ×Ｎ／ｎの可変クロック４３ａを出力する。
ｆc ×Ｔカウンタ４４はこの可変クロック４３ａを計数
し、この計数値がｆc ×Ｔに達するとカウントアップ信
号４４ａを出力し、モノステーブルフリップフロップ
（フリップフロップをＦＦとも略記する）４５に与え
る。モノステーブルＦＦ４５はカウントアップ信号４４
ａの入力後、一定時間、Ｈレベルの出力信号としての平
均パルス出力３０を発生する。この平均パルス出力３０
はラッチ４１，ｆc ×Ｔカウンタ４４にも与えられてこ
れらをリセットする。
ス３０を出力する本発明の第１の実施例としての偏心誤
差補正装置６の構成を示すブロック回路図である。この
図５において、ラッチ４１はピックアップ出力パルス２
１，２２，・・・２ｎのパルスエッジの到来時、到来し
た各パルスを保持し、その保持ごとに１本づつ出力信号
としてのパルスラッチ出力８１〜８ｎを有効化する。加
算器４２はラッチ４１の有効な出力本数を加算し、この
加算値としてのピックアップ出力パルスの到来数Ｎを出
力してプログラマブルカウンタ４３にプログラム入力と
して与える。クロック周波数ｆc を原入力のクロックと
するプログラム可能な分周カウンタとしてのプログラマ
ブルカウンタ４３は、与えられたピックアップパルス到
来数Ｎの値に応じてクロック周波数ｆc を分周してなる
周波数ｆc ×Ｎ／ｎの可変クロック４３ａを出力する。
ｆc ×Ｔカウンタ４４はこの可変クロック４３ａを計数
し、この計数値がｆc ×Ｔに達するとカウントアップ信
号４４ａを出力し、モノステーブルフリップフロップ
（フリップフロップをＦＦとも略記する）４５に与え
る。モノステーブルＦＦ４５はカウントアップ信号４４
ａの入力後、一定時間、Ｈレベルの出力信号としての平
均パルス出力３０を発生する。この平均パルス出力３０
はラッチ４１，ｆc ×Ｔカウンタ４４にも与えられてこ
れらをリセットする。
【００２６】これにより次回到来のピックアップパルス
２１〜２ｎについて、再び上記と同様な動作が繰返され
る。この図５の回路では実際上、プログラマブルカウン
タ４３の応答速度の制限からクロック周波数ｆc を高め
ることが難しく、ピックアップ３の個数を増加させ、よ
り高精度の回転角度測定を行うことが難しい。
２１〜２ｎについて、再び上記と同様な動作が繰返され
る。この図５の回路では実際上、プログラマブルカウン
タ４３の応答速度の制限からクロック周波数ｆc を高め
ることが難しく、ピックアップ３の個数を増加させ、よ
り高精度の回転角度測定を行うことが難しい。
【００２７】図６はこの点を解決した本発明の第２の実
施例としての偏心誤差補正装置６の回路構成を示す。図
６においては図５の加算器４２，プログラマブルカウン
タ４３に代わり、１／ｎカウンタ５１、デコーダ５２、
ＡＮＤゲート６１，６２，６３，・・・、ＯＲゲート５
３が用いられている。但し、図６のｆc ×Ｔカウンタ４
４はカウンタイネーブル信号９０の入力期間のみクロッ
クｆc を計数する。
施例としての偏心誤差補正装置６の回路構成を示す。図
６においては図５の加算器４２，プログラマブルカウン
タ４３に代わり、１／ｎカウンタ５１、デコーダ５２、
ＡＮＤゲート６１，６２，６３，・・・、ＯＲゲート５
３が用いられている。但し、図６のｆc ×Ｔカウンタ４
４はカウンタイネーブル信号９０の入力期間のみクロッ
クｆc を計数する。
【００２８】図７は図６の動作説明用のタイムチャート
である。次に図７を参照しつつ図６の動作を説明する。
１／ｎカウンタはクロック周波数ｆc を１／ｎに分周す
るカウンタで、この周波数ｆc を計数し、ｎ（＝ピック
アップ３の総個数）をカウントアップ値とする形で、１
からｎまでの計数を繰返し、その計数値をｆc ／ｎコー
ドとして出力する。
である。次に図７を参照しつつ図６の動作を説明する。
１／ｎカウンタはクロック周波数ｆc を１／ｎに分周す
るカウンタで、この周波数ｆc を計数し、ｎ（＝ピック
アップ３の総個数）をカウントアップ値とする形で、１
からｎまでの計数を繰返し、その計数値をｆc ／ｎコー
ドとして出力する。
【００２９】デコーダ５２はｆc ／ｎコードをデコード
し、ｆc ／ｎの周波数で、かつ１周期中の１／ｎ期間づ
つ順番にＨレベルであるような、位相が順にずれた信号
としてのｆc ／ｎクロック位相信号７１，７２，７３，
・・・を出力し、夫々ＡＮＤゲート６１，６２，６３，
・・・に与える。一方、各ＡＮＤゲート６１，６２，６
３，・・・６ｎ（但し６ｎは図外）にはピックアップパ
ルス２１，２２，２３，・・・２ｎの到来時、夫々を保
持してＨレベルとして出力する信号（パルスラッチ出
力）８１，８２，８３，・・・８ｎが与えられる。従っ
て、ＡＮＤゲート６１，６２，６３，・・・は夫々ピッ
クアップパルス２１，２２，２３，・・・の到来後、ｆ
c ／ｎクロック位相信号７１，７２，７３，・・・がＨ
レベルの期間のみ、Ｈレベルの信号６１ａ，６２ａ，６
３ａ，・・・を出力し、ＯＲゲート５３は入力信号６１
ａ，６２ａ，６３ａ，・・・の何れかがＨレベルである
期間、Ｈレベルであるようなカウンタイネーブル信号９
０を出力する。これによりｆc ×Ｔカウンタ４４はカウ
ンタイネーブル信号９０がＨレベルである期間のみクロ
ックｆc を計数し、この計数値がｆc ×Ｔに達するとカ
ウントアップ信号４４ａを出力する。
し、ｆc ／ｎの周波数で、かつ１周期中の１／ｎ期間づ
つ順番にＨレベルであるような、位相が順にずれた信号
としてのｆc ／ｎクロック位相信号７１，７２，７３，
・・・を出力し、夫々ＡＮＤゲート６１，６２，６３，
・・・に与える。一方、各ＡＮＤゲート６１，６２，６
３，・・・６ｎ（但し６ｎは図外）にはピックアップパ
ルス２１，２２，２３，・・・２ｎの到来時、夫々を保
持してＨレベルとして出力する信号（パルスラッチ出
力）８１，８２，８３，・・・８ｎが与えられる。従っ
て、ＡＮＤゲート６１，６２，６３，・・・は夫々ピッ
クアップパルス２１，２２，２３，・・・の到来後、ｆ
c ／ｎクロック位相信号７１，７２，７３，・・・がＨ
レベルの期間のみ、Ｈレベルの信号６１ａ，６２ａ，６
３ａ，・・・を出力し、ＯＲゲート５３は入力信号６１
ａ，６２ａ，６３ａ，・・・の何れかがＨレベルである
期間、Ｈレベルであるようなカウンタイネーブル信号９
０を出力する。これによりｆc ×Ｔカウンタ４４はカウ
ンタイネーブル信号９０がＨレベルである期間のみクロ
ックｆc を計数し、この計数値がｆc ×Ｔに達するとカ
ウントアップ信号４４ａを出力する。
【００３０】つまりこの図６では（３）式の左辺におけ
る、例えば（Ｔ＋ｔ1 ）×ｆc ／ｎの値を計数する際、
クロックｆc を分周することなくそのまま計数する代わ
りに、ｆc ／ｎクロック位相信号７１で割当てられた
（Ｔ＋ｔ1 ）／ｎに相当する期間のみ計数することと
し、この（Ｔ1 ＋ｔ1 ）／ｎの期間を時分割で作ってい
ることになる。
る、例えば（Ｔ＋ｔ1 ）×ｆc ／ｎの値を計数する際、
クロックｆc を分周することなくそのまま計数する代わ
りに、ｆc ／ｎクロック位相信号７１で割当てられた
（Ｔ＋ｔ1 ）／ｎに相当する期間のみ計数することと
し、この（Ｔ1 ＋ｔ1 ）／ｎの期間を時分割で作ってい
ることになる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１に関わる発明によれば、回転円
板１の突起２の通過を検出するピックアップ３を３個以
上とし、ピックアップ出力パルスの真の平均のタイミン
グ位置から一定の遅延時間Ｔだけ遅れた位置３３に回転
円板１の偏心を補正した回転エンコード出力としての平
均パルス出力３０を生成出力するようにしたので、次の
ような効果を得ることができる。
板１の突起２の通過を検出するピックアップ３を３個以
上とし、ピックアップ出力パルスの真の平均のタイミン
グ位置から一定の遅延時間Ｔだけ遅れた位置３３に回転
円板１の偏心を補正した回転エンコード出力としての平
均パルス出力３０を生成出力するようにしたので、次の
ような効果を得ることができる。
【００３２】（１）ピッチ誤差の無い回転エンコーダで
偏心誤差はキャンセルできる。 （２）回転エンコーダのピッチ誤差、又はピックアップ
（パルスセンサ）の設置誤差により生じる測定誤差は、
一ケ所に対し平均化され１／ｎとなる。 （３）回転エンコーダ自身が巨大で動的歪みの発生する
ものでも、パルスセンサの総数ｎを増せば、同様に平均
化の効果が得られる。
偏心誤差はキャンセルできる。 （２）回転エンコーダのピッチ誤差、又はピックアップ
（パルスセンサ）の設置誤差により生じる測定誤差は、
一ケ所に対し平均化され１／ｎとなる。 （３）回転エンコーダ自身が巨大で動的歪みの発生する
ものでも、パルスセンサの総数ｎを増せば、同様に平均
化の効果が得られる。
【００３３】請求項２に関わる発明によれば、クロック
周波数ｆc を可変分周するプログラマブルカウンタ４３
を用い、ピックアップ出力パルスの到来ごとに、このプ
ログラマブルカウンタ４３からこの到来数Ｎに比例した
周波数ｆc ×Ｎ／ｎ（ｎはピックアップの総数）の可変
クロック４３ａを出力させ、ｆc ×Ｔカウンタ４４にこ
の可変クロック４３ａを計数させて平均パルス出力３０
を発生させるようにしたので、ピックアップの多チャン
ネル化ができるほか、入力チャンネル数の多くない回路
においてプログラマブルカウンタの分周でクロック周波
数を可変できるので、回路を小型化することができる。
周波数ｆc を可変分周するプログラマブルカウンタ４３
を用い、ピックアップ出力パルスの到来ごとに、このプ
ログラマブルカウンタ４３からこの到来数Ｎに比例した
周波数ｆc ×Ｎ／ｎ（ｎはピックアップの総数）の可変
クロック４３ａを出力させ、ｆc ×Ｔカウンタ４４にこ
の可変クロック４３ａを計数させて平均パルス出力３０
を発生させるようにしたので、ピックアップの多チャン
ネル化ができるほか、入力チャンネル数の多くない回路
においてプログラマブルカウンタの分周でクロック周波
数を可変できるので、回路を小型化することができる。
【００３４】請求項３に関わる発明によれば、クロック
周波数ｆc を１／ｎに分周するカウンタ５１とこのカウ
ンタ出力をデコードするデコーダ５２によりクロック周
波数ｆc の各パルスを各ピックアップに割付け、ピック
アップ出力パルス到来後の経過時間をｆc ×Ｔカウンタ
４４を介しこの割付けパルスの計数によって、つまりク
ロック周波数ｆc の時分割の計数によって計時し、平均
パルス出力を得るようにしたので、３チャンネル以上の
ピックアップ出力パルスの検出チャンネルを容易に得る
ことができるほか、この検出チャンネル数の多い偏心誤
差補正装置の回路において、高周波クロックでカスケー
ド接続の困難なプログラマブルカウンタを使用しないた
め回路設計が容易にできる。
周波数ｆc を１／ｎに分周するカウンタ５１とこのカウ
ンタ出力をデコードするデコーダ５２によりクロック周
波数ｆc の各パルスを各ピックアップに割付け、ピック
アップ出力パルス到来後の経過時間をｆc ×Ｔカウンタ
４４を介しこの割付けパルスの計数によって、つまりク
ロック周波数ｆc の時分割の計数によって計時し、平均
パルス出力を得るようにしたので、３チャンネル以上の
ピックアップ出力パルスの検出チャンネルを容易に得る
ことができるほか、この検出チャンネル数の多い偏心誤
差補正装置の回路において、高周波クロックでカスケー
ド接続の困難なプログラマブルカウンタを使用しないた
め回路設計が容易にできる。
【図１】本発明の一実施例としての原理的な全体の構成
図
図
【図２】図１の円板の回転角とピックアップの検出する
角度誤差との関係の例を示す図
角度誤差との関係の例を示す図
【図３】図１のピックアップ出力パルスと偏心誤差補正
装置の出力する平均パルスとの関係を示すタイムチャー
ト
装置の出力する平均パルスとの関係を示すタイムチャー
ト
【図４】請求項２に関わる発明の動作説明用のタイムチ
ャート
ャート
【図５】請求項２に関わる発明の構成を示すブロック回
路図
路図
【図６】請求項３に関わる発明の構成を示すブロック回
路図
路図
【図７】図６の動作説明用のタイムチャート
【図８】パルスエンコーダの動作原理の説明図
【図９】回転円板の偏心状況の説明図
【図１０】図９におけるピックアップ出力パルスのタイ
ミング図
ミング図
１ 回転円板 ２（２ａ，２ｂ，・・・） 突起 ３（３−１，３−２，３−３） ピックアップ ５ ふれ回り範囲 ６ 偏心誤差補正装置 ２０（２１，２２，２３，・・・２ｎ） ピックアップ
出力パルス ３０ 平均パルス出力 ３１ 総クロック数 ３２ 真のパルス位置 ３３ 平均パルス位置 Ｔ 遅延時間 ｆc クロック周波数（クロック） ｔ（ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ） 位相差時間 ４１ ラッチ ４２ 加算器 ４３ プログラマブルカウンタ ４３ａ 可変クロック ４４ ｆc ×Ｔカウンタ ４５ モノステーブルＦＦ Ｎ ピックアップ出力パルス到来数 ｎ 検出器の総数 ５１ １／ｎカウンタ ５２ デコーダ ５３ ＯＲゲート ６１，６２，６３，・・・ ＡＮＤゲート ７１，７２，７３，・・・７ｎ ｆc ／ｎクロック位
相信号 ８１，８２，８３，・・・８ｎ パルスラッチ出力 ９０ カウンタイネーブル信号
出力パルス ３０ 平均パルス出力 ３１ 総クロック数 ３２ 真のパルス位置 ３３ 平均パルス位置 Ｔ 遅延時間 ｆc クロック周波数（クロック） ｔ（ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 ） 位相差時間 ４１ ラッチ ４２ 加算器 ４３ プログラマブルカウンタ ４３ａ 可変クロック ４４ ｆc ×Ｔカウンタ ４５ モノステーブルＦＦ Ｎ ピックアップ出力パルス到来数 ｎ 検出器の総数 ５１ １／ｎカウンタ ５２ デコーダ ５３ ＯＲゲート ６１，６２，６３，・・・ ＡＮＤゲート ７１，７２，７３，・・・７ｎ ｆc ／ｎクロック位
相信号 ８１，８２，８３，・・・８ｎ パルスラッチ出力 ９０ カウンタイネーブル信号
Claims (3)
- 【請求項１】偏心して回転し得る回転円板の回転に伴い
前記回転円板の円周上に等間隔に設けられた位置識別子
が近傍を通過することを検出して位置検出信号を発生す
る３つ以上の検出器を、回転円板の周辺近傍の固定位置
に、回転円板の中心から見てほぼ等間隔に、かつ回転円
板の偏心が無いとき各検出器の発生する前記位置検出信
号の位相が一致するように配置し、 且つ前記位置識別子の総数を検出器の総数の整数倍と
し、前記の各検出器から、回転板の偏心に起因し、位相
のずれを生じて出力された位置検出信号から偏心誤差補
正後の位置検出信号（以下補正位置検出信号という）を
生成し、回転エンコード出力とする回転エンコーダの偏
心誤差補正装置であって、 前記検出器ごと１つづつの位置検出信号の発生後の経過
時間の平均値が１つの検出器から出力される位置検出信
号の周期より小さい所定の遅延時間に一致した時点に前
記補正位置検出信号を出力することを特徴とする回転エ
ンコーダの偏心誤差補正装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の偏心誤差補正装置は、 前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットされ、前記
検出器ごと１つづつの位置検出信号の発生のつど、この
発生数に計時用の所定の原クロック周波数を前記検出器
の総数で除してなるクロック周波数を乗じた周波数の可
変クロックを生成する周波数逓倍手段と、 同じく前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットさ
れ、前記周波数逓倍手段によって順次周波数が逓倍され
る前記可変クロックを計数積算し、この積算値が前記の
原クロック周波数と遅延時間との積に一致した時点に前
記補正位置検出信号を出力する手段とを備えたものであ
ることを特徴とする回転エンコーダの偏心誤差補正装
置。 - 【請求項３】請求項１に記載の偏心誤差補正装置は、 計時用の所定の原クロック周波数の各パルスを、所定の
順番を附した前記の全ての検出器に、その順番に１対１
に、かつ検出器の順番の末尾が先頭に続くようにサイク
リックに割当てる手段と、 前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットされ、前記
検出器ごと１つづつの位置検出信号の発生後、夫々、当
該の検出器に割当てられた原クロック周波数の各パルス
を有効とする手段と、 同じく前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットさ
れ、原クロック周波数の前記のように有効とされたパル
スのみを計数積算し、この積算値が前記の原クロック周
波数と遅延時間との積に一致した時点に前記補正位置検
出信号を出力する手段とを備えたものであることを特徴
とする回転エンコーダの偏心誤差補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19509494A JP3166496B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | 回転エンコーダの偏心誤差補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19509494A JP3166496B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | 回転エンコーダの偏心誤差補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861979A true JPH0861979A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3166496B2 JP3166496B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=16335434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19509494A Expired - Lifetime JP3166496B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | 回転エンコーダの偏心誤差補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3166496B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7068001B2 (en) | 2004-07-29 | 2006-06-27 | Japan Servo Co., Ltd. | Motor control system |
| US7958620B2 (en) | 2005-04-26 | 2011-06-14 | Renishaw Plc | Method of producing a rotary encoder |
| JP2012132714A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Mitsutoyo Corp | 角度検出装置およびその偏心量推定方法 |
| US8357891B2 (en) | 2009-06-26 | 2013-01-22 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Speed detection device, image forming device, and computer readable storage medium storing speed detection program |
| JP2017083892A (ja) * | 2017-01-13 | 2017-05-18 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
| JP2018142005A (ja) * | 2018-05-01 | 2018-09-13 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
| US10527945B2 (en) | 2012-03-26 | 2020-01-07 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| CN115014244A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-09-06 | 吉林大学 | 连续调制周期和转位补偿的转盘偏心角测量方法 |
-
1994
- 1994-08-19 JP JP19509494A patent/JP3166496B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7068001B2 (en) | 2004-07-29 | 2006-06-27 | Japan Servo Co., Ltd. | Motor control system |
| US7958620B2 (en) | 2005-04-26 | 2011-06-14 | Renishaw Plc | Method of producing a rotary encoder |
| US8357891B2 (en) | 2009-06-26 | 2013-01-22 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Speed detection device, image forming device, and computer readable storage medium storing speed detection program |
| JP2012132714A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Mitsutoyo Corp | 角度検出装置およびその偏心量推定方法 |
| US10527945B2 (en) | 2012-03-26 | 2020-01-07 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| US10591827B2 (en) | 2012-03-26 | 2020-03-17 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| US10691027B2 (en) | 2012-03-26 | 2020-06-23 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| US11073767B2 (en) | 2012-03-26 | 2021-07-27 | Nikon Corporation | Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device |
| JP2017083892A (ja) * | 2017-01-13 | 2017-05-18 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
| JP2018142005A (ja) * | 2018-05-01 | 2018-09-13 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
| CN115014244A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-09-06 | 吉林大学 | 连续调制周期和转位补偿的转盘偏心角测量方法 |
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