JPH086183Y2

JPH086183Y2 - クリーンルーム用ファンユニット

Info

Publication number: JPH086183Y2
Application number: JP9417090U
Authority: JP
Inventors: 治郎柿崎
Original assignee: Takenaka Corp
Current assignee: Takenaka Corp
Priority date: 1990-09-06
Filing date: 1990-09-06
Publication date: 1996-02-21
Anticipated expiration: 2005-09-06
Also published as: JPH0453139U

Description

【考案の詳細な説明】「産業上の利用分野」本考案は、クリーンルーム用ファンユニットに係るも
のである。

「従来の技術と考案が解決しようとする課題」従来、クリーンルーム用ファン・フィルターユニット
として第４図に示すものが知られている。このユニット
は、ルーム天井に多数個配列して使用するものであり、
下面に吸気口ｂと送風口ｃを有する鋼製のケーシングａ
にファンｄとフィルターｅを内装し、ファンｄの作動に
よりクリーンルーム内の汚れた空気を吸気口ｂから吸入
し、フィルターｅで清浄化して、送風口ｃからクリーン
ルーム内へと供給するものである。なお、通常は、上記
吸気口ｂと送風口ｃとの間で下に間仕切り壁ｆが設けら
れ、クリーンルーム内の汚れた空気はその間仕切り壁の
下を廻り込んで送り込まれる。

しかし、この種のユニットを用いたクリーンルームで
は、いずれかのユニットにファンの交換、オーバーホー
ル、修理等を要する場合、その都度そのユニットをルー
ム天井から取り外して行わなければならず、甚だ手数が
かかり、不便であった。

また、その際には、ユニットの取り外しによりルーム
天井の気密性が破れるため、他のユニットに異状がなく
ともクリーンルームのランニング状態を維持できず、そ
の間、クリーンルーム内の生産設備を全て休止させなけ
ればならない欠点があった。

本考案は、斯る従来の問題点を解決しようとするもの
である。

「課題を解決するための手段」本考案は、下面に大きな吸気口２をかつ頂壁乃至周壁
の適所に送風口3,3を設けたケーシング１の内側に、フ
ァン４をその吸気口２を介して下方へと取り外し可能に
装着して、そのファン４の吐出口43,43を上記送風口3,3
に当接連通させるとともに、ファン４の吸込口44,44を
ケーシング１内に開口させ、また、上記送風口3,3に逆
流防止ダンパー5,5を設けたことを特徴とする。

「作用」如上の構成としたファンユニットＡは、例えば、第３
図に示すように、上に天井枠体Ｃを介して天井チャンバ
ーＤを、また、下に通風床Ｅを介して床下チャンバーＦ
を有する中間のルームＢにおいて、その天井枠体Ｃの両
側縁部に複数を配列して使用し、それらのファンユニッ
トＡ…,A…間に多数のフィルターＧ…を配列し、かつ、
ルーム内をファンユニットＡ…とフィルターＧ…との境
にて間仕切り壁H,Hで区切って、クリーンルームを形成
する。

而して、それらのファンユニットＡ…,A…において、
ファン４を作動させると、ファンユニットは、吸気口２
から空気を導入して、送風口3,3から逆流防止ダンパー
5,5を押し開きつつ噴出させるので、クリーンルーム内
の汚れた空気が通風床Ｅ、床下チャンバーＦ及び区画通
気路I,Iを経てファンユニットＡ…,A…を通り、天井チ
ャンバーＤに加圧供給される。この天井チャンバーＤの
加圧空気は、多数のフィルターＧ…を通って清浄化さ
れ、クリーンルーム内へと流出する。

このクリーンルームのランニング状態において、いず
れかのファンユニットＡのファン４を停止させても、該
ファンユニットでは、送風口3,3の逆流防止ダンパー5,5
が自動的に閉じるので、天井チャンバーＤからユニット
内への逆流は生じない。

そこで、いずれかのファンユニットＡにおいて、ファ
ン４の交換、オーバーホール、修理等を要するときは、
クリーンルームのランニング中であっても、当該ファン
ユニットＡのファン４だけを停止させ、該ファンを吸気
口２を介して下方へと取り外して、交換、オーバーホー
ル、修理等を行えばよく、その間、当該ファンユニット
Ａでは逆流防止ダンパー5,5が閉口状態を保持し、ルー
ム天井の気密性が維持されて、クリーンルームにはその
ランニング状態を支障なく持続させることができる。

「実施例」第１図、第２図は、本考案の実施例を示している。

図示のものは、平面形状長方形のアルミフレームのベ
ース11の上に、これの平面形状に適合する下面開放の箱
形でかつ内外の静圧差に耐え得る機械的強度と吸音性を
有するグラスウール板から成るカバー12を重ねて、ケー
シング１を形成し、該ケーシングには、ベース11の下面
全体を開放させて吸気口２を形成するとともに、カバー
12の頂壁適所に二つの送風口3,3を形成し、また、ケー
シング１の内側に、２個の送風機41,41を１個のモータ4
2で作動させるようにしたファン４を内装して、ベース1
1に対し、吸気口２を介して下方へと取外し可能に装着
し、両送風機41,41の吐出口43,43を上記両送風口3,3に
当接連通させ、かつ、両送風機の吸込口44,44をケーシ
ング内に開口させ、上記両送風口3,3にそれぞれ逆流防
止ダンパー5,5を設け、上記吸気口２内に取外し可能な
グラスウール板から成る２つのスライドダンパー6,6と
パンチングメタルから成るフェース７とを装備させてい
る。

アルミフレームによるベース11は、中空枠体であり、
上面に上記カバー12の下縁を嵌合させる凹溝13を備え、
ファン等を支持するに十分な強度と剛性を有している。

また、ベース11は、ファン４の取付け手段として、長
辺たる前辺と後辺の内面上部にそれぞれ２個のアングル
による受部材14,14を設け、更に、２個のスライドダン
パー6,6の取付け手段として、短辺たる左右両辺の内面
下部に上下２段で対をなす横溝15,15,16,16を設けてお
り、下縁にパンチングメタルのフェース７を取外し可能
に嵌合させるようにしている。

グラスウール板による下面開放の箱形のカバー12は、
下縁を上記ベース11上面の凹溝13に嵌合させ、外周面下
部とベース11の外周面下部との間に接着テープ17を貼着
して抜け止めしている。なお、カバー上方に消音チャン
バーを付設してもよい。

グラスウール板から成る２枚のスライドダンパー6,6
はベース11の上記横溝15,15,16,16に摺動自在にかつ取
外し可能に嵌合させている。なお、ダンパーは、水平面
内で回動させるようにしてもよい。機械的ダンパーとし
てもよい。

グラスウール板から成るカバー12及びスライドダンパ
ー6,6は、吸音性と適度な機械的強度を有する上に軽量
であるが、これに代えて、布と、低圧縮した低密度グラ
スウール板と、高圧縮した高密度グラスウール板と、金
属箔とを、順次に重合一体化させたものを、その布を内
側にして用いてもよい。この場合、内部の騒音は布及び
低密度グラスウール板にほとんどが吸収され、これらを
透過した音の一部は高密度グラスウール板との境界面に
おいて密度の違いから反射され、また、この高密度グラ
スウール板を透過した音の一部も金属箔との境界面にお
いて同様に反射されて、低密度グラスウール板に吸収さ
れる。発泡コンクリート板、発泡セラミック板、発泡ウ
レタン樹脂板等の多孔性の一体物を用いてもよい。特
に、カバー12の場合、適宜骨格材の一面又は両面にシー
トを張ったものや、そのシートの内側に別の収音材を設
けたもの等を用いてもよく、スライドダンパー6,6の場
合、外周の一部乃至全部を金属又は合成樹脂製とし、そ
の内部に各種の吸音材を収容したものとしてもよい。ま
た、いずれの場合も、吸音材や重量等に問題がなけれ
ば、鉄板、アルミニュウム板等の金属板を用いてよいこ
とは勿論である。

ファン４は、横軸のモータ42の左右に該モータで作動
される一対の送風機41,41を配し、そのモータ42の脚部4
5を複数の防振材46…を介して架台47上に装着し、該架
台の上面左右端から左右一対の支持小枠48,48を起立さ
せて、該支持小枠に両送風機41,41を、それぞれ吐出口4
3,43を上方に、吸込口44,44を側方に向けて固定し、更
に、その架台47の下面左右端に左右一対の脚本49,49を
設けて、該脚体にてベース11の上記前後各２個の受部材
14,14に対しボルト・ナット８…により取外し可能に締
結している。而して、各吐出口43,43の上面にパッキン
グ９…を貼着し、該パッキングをカバー12項壁に開口さ
せた２つの送風口3,3の下縁に圧接させて、吐出口43,43
を送風口3,3へと気密に連係させている。なお、両送風
機41,41には、内部に回転羽根があって、これがモータ4
2で回転されて送風するが、この回転羽根がモータ42の
回転軸に固定されるので、モータ42と共に防振材46…で
防振される。ボルト・ナット８…による締結手段に代え
フック等の係止手段や適宜ロック手段等を用いてもよ
い。

逆流防止ダンパー5,5は、送風口3,3に嵌合させる小枠
体51,51の一辺の側に自重で閉じるダンパー52,52を枢着
して成る。なお、これに代え内外の圧力差により機械
的、電気的に開閉する各種のダンパーを用いてもよい。

斯様に構成した複数のファンユニットＡ…は、それぞ
れベース11にてルーム天井の天井枠体Ｃに装着するが、
その装着には、シール材Ｊを介在させて気密性を確保す
る。

この様な取付けはフィルターＧ…でも同様である。な
お、気密性を確保するための手段としては、従来の各種
の手段でよく、例えば、ゴム、合成樹脂等のシール材、
ポマード状シール材、液封シール手段等適宜である。

ファン４の取外しの際には、吸気口２のフェース７及
びスライドダンパー6,6等を一旦取り外せばよい。

「考案の効果」本考案によれば、ケーシング１内に装着したファン４
を、ケーシング１の下面の吸気口２を介して下方へと取
外し可能とし、ケーシング１の適所の送風口3,3に逆流
防止ダンパー5,5を設けたので、ルーム天井への取り付
け後に、ケーシング１をルーム天井から外すことなくフ
ァン４だけを簡単に取り外すことができ、また、ファン
４の停止で直ちに逆流防止ダンパー5,5が閉じるから、
複数のファンユニットＡ…とフィルターＧ…とを用いた
クリーンルームにおいて、そのランニング中に、いずれ
かのファンユニットＡのファン４を停止させても逆流の
支障はなく、ファン４の取り外し、交換、オーバーホー
ル、修理等も支障なく容易に行え、クリーンルーム内の
生産設備をその都度停止させる必要もなく、その経済的
利益甚大である。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は、本考案の実施例で、第１図は、使
用状態の截断側面図、第２図は、分解截断斜視図、第３
図は、説明図、第４図は、従来例を示す截断側面図であ
る。１…ケーシング、２…吸気口３…送風口、４…ファン５…逆流防止ダンパー、６…スライドダンパー７…フェース、８…ボルト・ナット９…パッキング、11…ベース 12…カバー、13…凹溝 14…受部材、15,16…横溝 17…接着テープ、41…送風機 42…モータ、43…吐出口 44…吸込口、45…脚部 46…防振材、47…架台 48…支持小枠、49…脚体 51…小枠体、52…ダンパーＡ…ファンユニット、Ｂ…ルームＣ…天井枠体、Ｄ…天井チャンバーＥ…通風床、Ｆ…床下チャンバーＧ…フィルター、Ｈ…間仕切り壁Ｉ…区画通気路、Ｊ…シール材

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】下面に大きな吸気口２をかつ頂壁乃至周壁
の適所に送風口3,3を設けたケーシング１の内側に、フ
ァン４をその吸気口２を介して下方へと取り外し可能に
装着して、そのファン４の吐出口43,43を上記送風口3,3
に当接連通させるとともに、ファン４の吸込口44,44を
ケーシング１内に開口させ、また、上記送風口3,3に逆
流防止ダンパー5,5を設けたことを特徴とするクリーン
ルーム用ファンユニット。