JP3019133U - ファンフィルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ファンフィルタユニットの組み立てや部品管
理の手間を低減する。 【構成】 ケーシング１の天壁１ａに空気吸引口４を形
成するとともに、ケーシング１の底壁１ｂに空気吐出口
５を形成する。この１つのケーシング１の内部に送風装
置２とＨＥＰＡフィルタ３とを設ける。そして、送風装
置２によって空気吸引口４から吸引された空気は、ＨＥ
ＰＡフィルタ３を通して空気吐出口５から吐き出され
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばクリーンルーム内の空気を循環させて、この空気の除塵を 行うファンフィルタユニットに関するものである。

【０００２】

【背景技術】

この考案が対象とするファンフィルタユニットは、例えば図３に示すように、 送風装置２と、ＨＥＰＡフィルタ３とを有しており、クリーンルームＲの天井に 複数個設けられる。 そして、上記クリーンルームＲ内の空気は、ファンフィルタユニットＦの送風 装置２の送風作用によってクリーンルームＲの床面に設けたグレーティング２１ と、クリーンルームＲの外側でクリーンルームＲの床下から天井裏にかけて設け た通気路２２とを通ってファンフィルタユニットＦに吸引され、ファンフィルタ ユニットＦのＨＥＰＡフィルタ３で除塵されたのち、クリーンルームＲ内に循環 される。

【０００３】

【従来の技術】

従来、上記ファンフィルタユニットＦは、上記送風装置２を収納した本体ケー シングとは別に上記ＨＥＰＡフィルタ３を収納するフィルタ専用ケーシングを設 けてあり、ファンフィルタユニットＦのケーシングは、上記本体ケーシングに上 記フィルタ専用ケーシングを組み付けることで構成されていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上記ファンフィルタユニットＦでは、本体ケーシングとフィルタ専 用ケーシングとが別々のため、これらの部品管理が煩わしいとともに、上記ケー シングの組み立てに手間がかかるといった問題点がある。 また、上記本体ケーシング及びフィルタ専用ケーシングは、アルミニウム板や 鉄板などの金属板で形成されるが、搬送時でのファンフィルタユニットＦの破損 や、ケーシング内へ吸引された空気のケーシングの内壁面への衝突によるケーシ ングの振動を低減させるため、上記金属板をある程度厚くしている。 このため、ケーシングの重量が重くなって、ファンフィルタユニットＦの搬送 やクリーンルームＲの天井への据付の際の負担が大きくなる。

【０００５】 しかも、このファンフィルタユニットＦの重量に応じてファンフィルタユニッ トＦをクリーンルームＲの天井に支持するための支持構造の強度を大きくする必 要があり、この支持構造の複雑化やコストアップを招く。 本考案は、組み立てや部品管理の手間を低減できるファンフィルタユニットを 提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記の目的を達成するために、例えば図１に示すように、次のよう に構成したものである。 即ち、ケーシング１の天壁１ａに空気吸引口４を形成するとともに、ケーシン グ１の底壁１ｂに空気吐出口５を形成し、ケーシング１の内部に送風装置２とフ ィルタ３とを設け、送風装置２によって空気吸引口４から吸引した空気をフィル タ３を通して空気吐出口５から吐き出させるように構成したものである。

【０００７】

【作用】

本考案は、例えば図１に示すように、次のように作用する。 送風装置２が駆動されると、空気が、ケーシング１の空気吸引口４から吸引さ れたのち、フィルタ３を通過して除塵されてケーシング１の空気吐出口５から吐 き出される。 そして、送風装置２とフィルタ３とが１つのケーシング１内に収納されること になるため、ケーシング１とは別に設けたフィルタ専用ケーシングにフィルタ３ を収納した場合のような、フィルタ専用ケーシングをケーシング１に取り付ける 作業を省略できる。

【０００８】

【考案の効果】

本考案は、上記のように構成され作用することから次の効果を奏する。 送風装置とフィルタとを１つのケーシング内に収納したので、ケーシングとは 別に設けたフィルタ専用ケーシングにフィルタを収納して、送風装置を収納した ケーシングに取り付ける場合に比し、このフィルタ専用ケーシングを省略できる ことでファンフィルタユニットの組立作業が容易になるうえ、ファンフィルタユ ニットの部品数を削減できて部品管理が容易になる。

【０００９】 また、軽量ながら比較的高い剛性を有する合成樹脂製の波形薄板を金属薄板で 挟み込んだ複合成層板でケーシングの壁材を構成した場合には、ケーシングを金 属板のみで構成した場合に比し、この金属板のみの場合と同等の剛性を保てなが ら重量を低減できる。 しかも、金属の薄板の間に挟んだ波形の薄板の弾性で振動が吸収されるので、 送風装置の駆動や、吸引された空気のケーシングの内壁面への衝突による振動で 生じる騒音が低減される。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案のファンフィルタユニットの一実施例を図１と図２とを用いて説 明する。 図１は、上記ファンフィルタユニットの概略縦断面図、図２は、上記ファンフ ィルタユニットの壁材の拡大断面図である。

【００１１】 上記ファンフィルタユニットＦは、そのケーシング１の内部に送風装置２と、 ＨＥＰＡフィルタ(超高性能エアフィルタ)３とが配設される。 つまり、上記ケーシング１の天壁１ａには空気吸引口４が形成され、ケーシン グ１の底壁１ｂには空気吐出口５が形成されてあり、上記送風装置２は、上記空 気吸引口４に着脱自在に取り付けられ、上記ＨＥＰＡフィルタ３は、上記空気吐 出口５に着脱自在に嵌着される。

【００１２】 また、上記ケーシング１の内部には、上記送風装置２の下方に皿型の第１バッ フル１５が設けられるとともに、この第１バッフル１５の下方で第１バッフル１ ５とＨＥＰＡフィルタ３との間に第２バッフル１６が設けられる。

【００１３】 このケーシング１及びバッフル１５・１６の壁材は、図２に示すように、複合 成層板９でそれぞれ構成されており、この複合成層板９は、塩化ビニールなどの 合成樹脂で形成された波形の薄板７と、この波形薄板７を挟み込む一対のアルミ ニウム板、ステンレス板、鉄板などの金属の薄板８・８とで形成される。

【００１４】 一方、上記送風装置２は、次のように構成される。 即ち、送風装置２は、空気吸引用のインレットコーン１１と、遠心ファン構造 のインパネ１２とを有しており、上記インレットコーン１１の空気吸引部(図１ 中の上側)で上記ケーシング１の空気吸引口４が塞がれる。 上記インパネ１２は、複数のブレードで構成されるとともに、駆動モータ１３ に連結されており、この駆動モータ１３によって水平回転駆動される。

【００１５】 次に、上記ファンフィルタユニットＦの作用について説明する。 送風装置２の駆動モータ１３が駆動されてインパネ１２が回転すると、空気が 上記ケーシング１の空気吸引口４からインレットコーン１１を通ってインパネ１ ２側へ吸引される。すると、上記吸引された空気は、インパネ１２のブレードに よってケーシング１内で水平方向へ吐き出される。

【００１６】 この空気は、第１バッフル１５の傾斜面に当たって気流方向が変えられて、ケ ーシング１の内壁面に斜めに当たったのち、ケーシング１の内壁面とバッフル１ ５・１６とによって形成された通気路を通ってＨＥＰＡフィルタ３に導かれる。 そして、上記空気は、このＨＥＰＡフィルタ３を通過することで除塵されて、ケ ーシング１の空気吐出口５からクリーンルーム内へ吐き出される。

【００１７】 このように、送風装置２とＨＥＰＡフィルタ３とを１つのケーシング１内に収 納したので、ケーシング１とは別に設けたフィルタ専用ケーシングにＨＥＰＡフ ィルタ３を収納してケーシング１に取り付ける場合に比し、このフィルタ専用ケ ーシングを省略できることでファンフィルタユニットＦの組立作業を容易にでき るうえに、ファンフィルタユニットＦの部品数を削減できて部品管理が容易にな る。

【００１８】 また、軽量ながら比較的高い剛性を有する合成樹脂製の波形薄板７を金属薄板 ８・８で挟み込んだ複合成層板９でケーシング１とバッフル１５・１６との壁材 を構成したので、これらのケーシング１とバッフル１５・１６との壁材をアルミ ニウム板や鉄板などの金属板のみで構成した場合に比し、この金属板のみの場合 と同等の剛性を保てながら重量を低減できる。 しかも、上記波形薄板７の弾性で振動が吸収されるので、送風装置２の駆動モ ータ１３の駆動や、ケーシング１内に吸引された空気のケーシング１の内壁面へ の衝突による振動で生じる騒音が低減される。

【００１９】 上記実施例は次のように変更できる。 上記説明では、送風装置２は遠心ファン式に構成したが、軸流ファン式に構成 してもよい。 また、ケーシング１の空気吐出口５に送風装置２を取り付けるとともに、ケー シング１の空気吸引口４にＨＥＰＡフィルタ３を嵌着させてもよい。 さらに、上記複合成層板９は、ポリエチレンなどの合成樹脂製の平板を金属薄 板８・８で挟み込んで形成したものでもよい。

【００２０】 なお、ＨＥＰＡフィルタ３をフィルタ専用ケーシングに収納し、このフィルタ 専用ケーシングを送風装置２を収納したケーシング１に取り付けるようにしたも のでも、このフィルタ専用ケーシングの壁材をケーシング１と同様に上記複合成 層板９で構成することで、フィルタ専用ケーシングに上述の振動や騒音の外部へ の漏れを低減する効果を有させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のファンフィルタユニットの一実施例を
示す概略縦断面図である。

【図２】上記ファンフィルタユニットの壁材の拡大断面
図である。

【図３】上記ファンフィルタユニットのクリーンルーム
への設置状態を示す概略構成図である。

【符号の説明】

１…ケーシング、２…送風装置、３…ＨＥＰＡフィル
タ、４…ケーシングの空気吸引口、５…ケーシングの空
気吐出口、１ａ…ケーシングの天壁、１ｂ…ケーシング
の底壁。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケーシング(１)の天壁(１ａ)に空気吸引
   口(４)を形成するとともに、上記ケーシング(１)の底壁
   (１ｂ)に空気吐出口(５)を形成し、 上記ケーシング(１)の内部に送風装置(２)とフィルタ
   (３)とを設け、 この送風装置(２)によって上記空気吸引口(４)から吸引
   した空気を上記フィルタ(３)を通して上記空気吐出口
   (５)から吐き出させるように構成した、 ことを特徴とするファンフィルタユニット。
2. 【請求項２】 請求項１に記載したファンフィルタユニ
   ットにおいて、 前記ケーシング(１)の壁材を、合成樹脂製の波形の薄板
   (７)を金属の薄板(８)(８)で挟んで形成した複合成層板
   (９)によって構成した、 ことを特徴とするファンフィルタユニット。