JPH085713A

JPH085713A - 多品種・複数の実装基板の自動連続検査装置

Info

Publication number: JPH085713A
Application number: JP6163203A
Authority: JP
Inventors: Minoru Horiuchi; 実堀内; Masamitsu Minamitani; 昌満南谷; Hiroaki Ikeda; 裕明池田
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1994-06-22
Filing date: 1994-06-22
Publication date: 1996-01-12

Abstract

(57)【要約】【目的】電子部品が実装された被検査対象となる基板
が多品種・大量の場合でも、自動的に連続して長時間の
無人運転が可能な検査装置によるシステムを実現し、提
供する。【構成】当該検査装置16が有するコントローラ26によ
って、多品種で複数の被検査対象の基板17の検査に関す
る諸条件の設定１をメモリ27に行い、さらに、検査する
当該対象基板17の品種に関する設定のみを認識部28によ
り読み込む４ことを行って、基板の検査８をし、複数台
のラックを収納できる自動搬入装置24及び搬出装置25に
よって、自動的で連続した長時間運転が可能で、かつ、
設定順序を変更することで検査の順序も変えられるシス
テム構成の、電子部品が実装された基板の自動連続検査
装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】電子部品を実装した多品種並びに
複数の基板に対して自動的に、かつ連続して検査するこ
とが可能な自動連続検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術においては、半導体デバイスで
あるLSI（大規模集積回路）など電子部品を実装した多
品種で、かつ複数、大量の基板に対する特性検査を、自
動的に、そして連続して長時間効率的に行える検査装置
及びシステムはなかった。図３に、従来技術による検査
装置の概念を説明するための、検査装置の断面図を示
す。また、図４には、同検査装置によるシステムによる
フローチャートを示す。被検査対象基板は、ローダ上の
ラックに格納されてからサブコンベアによって、検査装
置の検査ステーション部まで移送され、ラック内から検
査ヘッド部に搬入され、検査が行われて終了すると、サ
ブコンベア上の空のラックに搬出され、満杯又は所定の
分だけ格納されると、同じラックごと、サブコンベアに
よってアンローダ上に搬出されるシステムとなってい
る。

【０００３】しかし、(1)検査装置のコントロール部に
対して、検査並びに工程の制御のための諸条件を設定す
る際に、１度の設定で１品種、最大３ラック分しか設定
できない。従って、その品種、ラック分に対する検査が
終了すると次の品種に対する条件設定についてやり変え
なければならない。また、(2)設定変更に伴い、ローダ
部から空となったラックを、アンローダ部からは検査が
終了した基板が格納されたラックを、人手によって排出
し、さらに、次の設定品種の被検査対象基板が格納され
たラックをローダ部にセットし、そして検査した基板を
格納するラックをアンローダ部に、いずれも人手によっ
て再びセットしてやらなければならない。従って、(3)
被検査対象の基板の種類が多品種であったり、複数のラ
ックにまたがるほどに数量が多い場合には、検査条件の
設定と、マガジン・ラックのセットや排出とに、人手を
要するばかりか、自動検査を長時間にわたり連続して行
うことができないという欠点を有していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術の検査装置
にあっては、被検査対象基板が多品種で少量であった
り、品種は少なくてもそれぞれが大量である場合、一度
の検査に関する各種の条件設定で、１品種の基板しか自
動的に連続して検査ができなかった。また、大量である
場合には、マガジン・ラックが３個以内に格納できない
ことが起こり、検査を中断して、条件設定を変えたり、
マガジン・ラックの新たな設定や排出を人手によって行
わなければならないために、多品種・少量又は少品種・
大量の場合、基板の検査を自動的にしかも連続して長時
間にわたって行うことができないという問題点を有して
いた。

【０００５】そこで、本発明の自動連続長時間検査装置
によるシステムにおいては、電子部品を実装した被検査
対象基板が多品種であったり大量であっても、自動的
に、連続的に、長時間無人運転が可能な検査装置を実現
することで、基板検査のコストの低減を図ることを目的
とした。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の電子部品を実装した基板の自動連続長時間
無人運転が可能な基板検査装置においては、図１及び図
２に示すように、検査装置16が有するメモリ27によっ
て、検査開始当初に、検査に関して必要とする各種の設
定１を行った中から、検査する当該基板17に関する設定
部分のみを認識部28により読み込み４ができるように
し、その内容に従ってコントローラ26により基板検査を
遂行することが可能なシステムとした。

【０００７】すなわち、検査開始当初に行う検査に関す
る各種の設定１においては、検査装置16を中心とした自
動搬入装置24並びに自動搬出装置25の動作シーケンスを
制御するための設定、及び当該被検査対象基板17の検査
の実行に必要な諸条件の設定などを行う。そして、その
中から、当該被検査対象基板17の検査の実行に必要な諸
条件として、検査する基板に関する設定部分のみの読み
込み４が行えるシステムとしたことが特徴である。

【０００８】また、本発明における当初の、検査に関す
る各種の設定１においては、検査装置16を中心としたシ
ステムの動作シーケンスの制御データの設定及び当該被
試験対象基板17の検査の実行に必要な諸条件のデータの
設定は、検査装置16が有するコントローラ26のメモリ27
等の許容容量の範囲内ではあるが、多品種のしかも複数
・大量の基板に対して、一括して予め設定が行えるもの
とした。このことで、従来技術のように、設定が被検査
対象基板17の品種が変わるごとに、各々の設定をやり直
したり、マガジン・ラックのその都度のセット換えが不
要となる。その結果、被検査対象基板17が多品種、少量
又は少品種、大量であっても検査を中断することなく、
連続して長時間実行することが可能となった。また、本
発明の方法では、コントローラ26に対する設定データ内
容の変更が自由に可能なので、基板検査の順序の変更が
生じた場合にも、柔軟に対応することが可能となった。

【０００９】

【作用】

(1)本発明では、検査の実行途中過程での検査順序の変
更は、同一マガジン・ラック内の複数の品種、数量の基
板群について可能である。 (2)ラックの構造は、被検査対象の基板の外形寸法の相
違並びに実装後の基板の高さ寸法の相違に対し、ラック
の最大寸法内においてではあるが、相違を吸収できるも
のとした。 (3)被検査対象の基板の品種を認識して検出するのに、
認識部28において、バーコードによる方法で行い、基板
の検査に関する設定部分を検査装置のコントローラに読
み込ませることも可能である。 (4)本発明の検査装置のコントローラにたいして、検査
装置全体のシーケンス制御のための設定データや、検査
する基板に関する設定データは、PCやWS等の他の装置で
作成して各種メディアによって入力することも可能であ
る。

【００１０】

【実施例】図１及び図２は、本発明による多品種・複数
の実装基板の自動検査装置の概念を示す断面図と、当該
検査システムのフローチャートである。 (1)図１に示すように、本発明の検査システムにおける
構成は、検査装置16に被検査対象基板17を搬入する自動
搬入装置24と、検査装置16から検査が終了した当該基板
17を、所定の諸設定条件に従い検査を遂行させるコント
ローラ26を有する検査装置16からなっている。

【００１１】検査開始にあたって、(2)先ず、検査を遂
行させるための各種の設定１を行う。次に、被検査対象
基板17を格納したマガジン・ラックを所定台数分全て自
動搬入装置24にセット２し、同時に、検査が終了した当
該基板17を格納するためのマガジン・ラックを所定台数
分全て自動搬入するためのマガジン・ラックを所定台数
分全て自動搬出装置25にセット３する。本発明では、こ
こまでのセットアップは人手によって行う。次に、(3)
被検査対象基板17の検査に必要な諸設定条件を検査装置
16の認識部28が読み込み４を行う。

【００１２】また、(4)自動搬入装置24によって、検査
しようとする当該基板17の入ったマガジン・ラックをロ
ーダ13にセット５し、かつ、同時に自動搬出装置25によ
って、検査が終了した当該基板17を格納するためのマガ
ジン・ラックをアンローダ14にセット６することを、自
動的に行う。 (5)次に、ローダ13側の、被検査対象基板17が格納され
たラックが、サブコンベア15により基板搬入部18まで移
送され、当該対象基板17を検査装置16内に搬入し、当該
装置16の測定部にセットされる。

【００１３】そして、(6)被検査対象基板17の検査に必
要な諸設定条件を、検査装置16の認識部28が、読み込み
４を行い、その設定条件に従った当該対象基板17の検査
８が実行される。また、検査が終了した当該対象基板17
の検査８が実行される。また、検査が終了した当該対象
基板17は、アンローダ14側の基板格納部19にセットされ
たラック内に搬出され格納される。

【００１４】そして、次の被検査対象基板17の検査10に
あたっては、続行する場合は７〜９を繰り返す。完了す
れば、次のマガジン・ラックの被検査対象基板17の検査
11が“有り”であれば、５〜９を繰り返すが、“無し”
であれば、次の種類の被検査対象基板17の検査12が“有
り”であれば、４〜９を繰り返す。そして、“無し”で
あれば、設定された分についての検査は終了となる。

【００１５】また、本発明では、自動搬入装置24側の、
被検査対象基板17の入ったマガジン・ラック置場20
と、当該対象基板17が検査装置16内に搬入されて空とな
ったマガジン・ラック置場22とを、それぞれに複数台
のマガジン・ラックが置けるようにした。さらに、自動
搬出装置25側においても、基板の検査８が終了した当該
対象基板17を格納する空のマガジン・ラック置場23
と、その格納された当該対象基板17の入ったマガジン・
ラック置場21にも、それぞれ複数台のマガジン・ラッ
クが置けるようにした。このことで、多品種・大量の被
検査対象基板17に対して設定した諸条件に従って、自動
的に連続して長時間の検査の遂行が可能となった。

【００１６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)検査装置が有するコントローラによって、多品種で
大量の、被検査対象の基板の検査に必要とする諸条件の
設定を可能にし、さらに自動搬入部及び自動搬出部のマ
ガジン・ラックも複数台の収納を可能としたことで、自
動的に、連続して長時間の無人運転ができるようにな
り、人手によるハンドリングが不要となって、多数台運
転も実現したので従来技術に比較して格段のコストダウ
ンとなった。 (2)また、被検査対象の基板が多品種・少量でも少品種
・大量である場合でも、自由に検査のための各種の条件
設定ができ、かつ、その設定順序を自由に変更すること
が可能となり、検査作業上の状況変化にも柔軟に対応し
て、検査の順序を容易に変更することができるようにな
った。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の、多品種・複数の実装基板の自動連続
検査装置の概念を示す断面図である。

【図２】本発明の検査装置におけるフローチャートを示
す。

【図３】従来技術の検査装置の概念を示す断面図であ
る。

【図４】従来技術の検査装置におけるフローチャートを
示す。

【符合の説明】

１検査に対する種々の設定２検査する基板の入ったマガジン・ラックを全て自動
搬入装置にセット３検査した基板の入るマガジン・ラックを全て自動搬
出装置にセット４検査する基板に関する設定の読み込み。５検査する基板の入ったマガジン・ラックをローダに
セット６検査した基板が入るマガジン・ラックをアンローダ
にセット７ローダ側の検査する基板を検査装置内へ移送８基板への検査９検査した基板をアンローダ側のマガジン・ラックへ
格納 10 次の基板の検査 11 次のマガジン・ラックの基板の検査 12 次の種類の基板の検査 13 ローダ 14 アンローダ 15 サブコンベア 16 検査装置 17 基板 18 基板搬入部 19 基板格納部 20 基板の入ったマガジン・ラック置場 21 基板の入ったマガジン・ラック置場 22 空のマガジン・ラック置場 23 空のマガジン・ラック置場 24 自動搬入装置 25 自動搬出装置 26 コントローラ 27 メモリ 28 認識部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子部品を実装した被検査対象の基板
（17）の検査装置において、当該基板（17）の検査の実行に関して必要とする動作シ
ーケンスの制御及び当該基板（17）の検査のための諸条
件を記憶したメモリ(27)を設け、当該諸条件設定の中から、当該基板（17）の検査に必要
とする設定部分のみを読み込ませる認識部(28)を設け、設定された各品種の当該基板（17）の検査を順次自動的
に連続して実行するコントローラ(26)を設け、上記よりなる検査装置（16）に当該基板（17）を移送、
搬入する自動搬入装置（24）を設け、検査が終了した当該基板（17）を搬出し、移送、収納す
る自動搬出装置（25）を設け、以上の構成を具備するこ
とを特徴とする多品種・複数の自動連続検査装置。