JPH0882651A - エージング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置１２の寿命試験における作業効率
を高める。また、外形サイズの異なるエージングボード
１０を収納する。配線盤８に関する保守、点検、修理等
の作業性を高める。 【構成】 エージング装置において、エージングボード
１０を収納する収納ラック５の入れ出しが可能なエージ
ング炉１を備える。また、エージングボード１０に電圧
信号を供給する配線盤(電圧信号供給ライン)６をエージ
ング炉１に対して入れ出しが可能な収納ラック５に設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エージング装置に関
し、特に、半導体装置の寿命試験を行うエージング装置
に適用して有効な技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】論理回路システム、記憶回路システム或
はそれらの混合回路システムを塔載する半導体装置は、
その製造過程において寿命試験が施される。寿命試験
は、顧客での使用条件に比べて過酷な使用条件（負荷を
与えた状態）において半導体装置の回路動作を行い、顧
客での使用中に欠陥になるもの、ある意味では欠陥を加
速的に発生せしめ、顧客に出荷する前の初期段階におい
て不良品の排除を目的とする。

【０００３】前記半導体装置の寿命試験はエージング装
置で行なわれる。この半導体装置の寿命試験は、一般的
に下記に示す作業手順で行なわれる。

【０００４】まず、エージングボードにＩＣソケットを
介して半導体装置を実装する。次に、前記エージングボ
ードを搬送用ラックに収納する。エージングボードは所
定の間隔を置いて複数枚収納される。次に、前記搬送用
ラックをエージング装置まで搬送する。エージング装置
のエージング炉には収納ラックが一体化されている。次
に、前記搬送用ラックから前記エージング装置のエージ
ング炉の収納ラックにエージングボードを一枚ずつ移し
替えると共に、エージング炉の収納ラックの奥に設けら
れた配線盤(電圧信号供給ライン)の接続コネクタにエー
ジングボードの接続端子を差し込む。次に、エージング
炉の温度を上げ、配線盤の接続コネクタに電気的に接続
された電圧制御信号入出力装置で半導体装置の回路を動
作させながら寿命試験を行う。この後、エージング炉の
収納ラックから搬送用ラックにエージングボードを一枚
ずつ移し替え、搬送用ラックでエージングボードを後段
の工程(電気特性検査工程)に搬送する。

【０００５】なお、エージング装置については、例え
ば、工業調査会発行の電子材料別冊号〔１９８３年、１
１月１５日、第２１０頁乃至第２１５頁〕に記載されて
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記半導体装置が実装
されたエージングボードは、搬送用ラックによってエー
ジング装置まで搬送された後、搬送用ラックからエージ
ング装置のエージング炉に一対化された収納ラックに一
枚ずつ移し替えられる。このため、エージングボードの
移し作業に相当する分、寿命試験での作業効率が低下す
るという問題があった。

【０００７】また、収納ラックはエージング装置のエー
ジング炉に一体化されているので、この収納ラックに対
応した外形サイズのエージングボードしか収納できず、
外形サイズの異なるエージングボードを収納できない問
題があった。

【０００８】また、配線盤が収納ラックの奥にあるた
め、配線盤に関する保守、点検、修理等の作業性が低い
問題があった。

【０００９】本発明の目的は、半導体装置の寿命試験で
の作業効率を高めることが可能なエージング装置を提供
することにある。

【００１０】また、本発明の他の目的は、外形サイズの
異なるエージングボードを収納することが可能なエージ
ング装置を提供することにある。

【００１１】また、本発明の他の目的は、配線盤に関す
る保守、点検、修理等の作業性が高いエージング装置を
提供することにある。

【００１２】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００１４】（１）エージング装置において、エージン
グボードを収納する収納ラックの入れ出しが可能なエー
ジング炉を備える。

【００１５】（２）前記エージングボードに電圧信号を
供給する配線盤を前記エージング炉に対して入れ出しが
可能な収納ラックに設ける。

【００１６】

【作用】上述した手段（１）によれば、エージングボー
ドを収納した収納ラックごとエージング炉に収納できる
ので、エージングボードの移し替え作業を廃止できる。
この結果、エージング装置を用いた半導体装置の寿命試
験における作業効率を高めることができる。

【００１７】また、エージングボードの外形サイズに対
応した収納ラックをエージング炉に収納することができ
るので、異なる外形サイズのエージングボードをエージ
ング炉に収納できる。

【００１８】上述した手段（２）によれば、収納ラック
の配線盤(電圧信号供給ライン)をエージング炉の入出口
側に配置することができるので、配線盤に関する保守、
点検、修理等の作業性を高めることができる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の構成について、エージング装
置に本発明を適用した一実施例とともに説明する。な
お、実施例を説明するための全図において、同一機能を
有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省
略する。

【００２０】本発明の一実施例であるエージング装置の
概略構成を図１(斜視図)に示す。

【００２１】図１に示すように、エージング装置は、エ
ージング炉１、温度制御装置２、電圧制御信号入出力装
置３等を備えている。このエージング装置は、論理回路
システム、記憶回路システム或はそれらの混合回路シス
テムを塔載する半導体装置(１２）の寿命試験に用いら
れる。

【００２２】前記エージング炉１はエージングボード
(１０)に実装された半導体装置(１２)を加熱する。温度
制御装置２はエージング炉１の温度を制御する。電圧制
御信号入出力装置３は、エージングボード(１０)に動作
電圧Ｖｃｃ(例えば５〔Ｖ〕)、基準電圧Ｖｓｓ(例えば
０〔Ｖ〕)を供給すると共に、所定の信号を供給する。

【００２３】前記エージング炉１には、図１、図２（図
１に示すエージング炉の一部切欠き正面図）及び図３
(図１に示すエージング炉の一部切欠き側面図)に示すよ
うに、収納ラック５を入れ出しするための扉１Ａが設け
られる。エージング炉１は収納ラック５の入れ出しが可
能な構造で構成される。

【００２４】前記収納ラック５には複数枚のエージング
ボード１０が収納される。複数枚のエージングボード１
０の夫々は、その板厚の方向に所定の間隔を置いて規則
的に収納される。つまり、エージング装置は、エージン
グボード１０を収納する収納ラック５の入れ出しが可能
なエージング炉１を備える。

【００２５】前記エージング炉１には、収納ラック５を
入れ出しするための入出手段が設けられる。入出手段
は、例えばエージング炉１の内側々面に設けられた凸形
状のガイドレール４Ａで構成される。この凸状のガイド
レール４Ａには収納ラック５の外側々面に設けられた凹
形状の摺動レール４Ｂが収納ラック５の入れ出し時に摺
動する。つまり、本実施例の入出手段は、収納ラック５
に設けられた凹形状の摺動レール４Ｂが摺動する凸形状
のガイドレール４Ａで構成される。

【００２６】なお、凸形状のガイドレール４Ａはエージ
ング炉１の内側底面又は内側上面に設けてもよい。この
場合、凹形状の摺動レール４Ｂは収納ラック５の外側底
面又は外側上面に設けられる。また、入出手段は凹形状
のガイドレールで構成してもよい。この場合、収納ラッ
ク５に設けられる摺動レールは凸形状で構成される。ま
た、入出手段は搬送ローラで構成してもよい。

【００２７】前記エージング炉１の入出口側(扉１Ａ側)
には、電圧制御信号入出力装置３に電気的に接続された
電圧信号供給コネクタ６が設けられる。この電圧信号供
給コネクタ６には、配線ケーブルコネクタ７を介して収
納ラック５に設けられた配線盤(電圧信号供給ライン)８
が電気的に接続される。配線盤８はエージングボード１
０に電圧信号を供給する。

【００２８】前記配線盤８はエージング炉１の入出口側
(扉１Ａ側)に配置される。配線盤８には、図４(要部側
面図)に示すように、エージングボード１０の配列ピッ
チと同一の配列ピッチで配列された複数の接続コネクタ
８Ａが設けられる。この複数の接続コネクタ８Ａの夫々
には、収納ラック５に収納された各エージングボード１
０の接続端子１０Ａが電気的に接続される。エージング
ボード１０にはＩＣソケット１１を介して半導体装置１
２が複数個実装される。半導体装置１２はＩＣソケット
１１を介してエージングボード１０の接続端子１０Ａに
電気的に接続される。つまり、電圧制御信号入出力装置
３は、エージング炉１の入出口側に設けられた電圧信号
供給コネクタ６、配線ケーブルコネクタ７、収納ラック
５に設けられかつエージング炉１の入出口側に配置され
た配線盤８、エージングボード１０、ＩＣソケット１１
の夫々を介して半導体装置１２に電気的に接続される。

【００２９】次に、前記エージング装置を用いた半導体
装置の寿命試験の作業手順について説明する。

【００３０】まず、エージングボード１０にＩＣソケッ
ト１１を介して半導体装置１２を実装する。

【００３１】次に、エージングボード１０を収納ラック
５に収納する。この時、エージングボード１０の接続端
子１０Ａは、収納ラック５に設けられた配線盤８の接続
コネクタ８Ａに電気的に接続される。

【００３２】次に、収納ラック５をエージング装置まで
搬送する。

【００３３】次に、エージング装置のエージング炉１に
エージングボード１０を収納する。エージング装置のエ
ージング炉１は収納ラック５の入れ出しが可能な構造で
構成されているので、エージングボード１０は収納ラッ
ク５ごと収納される。この収納ラック５の収納時におい
て、収納ラック５の摺動レール４Ｂはエージング炉１の
ガイドレール４Ａを摺動する。

【００３４】次に、エージング炉１の電圧信号供給コネ
クタ６と収納ラック５の配線盤８とを配線ケーブルコネ
クタ７で電気的に接続する。

【００３５】次に、エージング炉１の温度を温度制御装
置２で制御し、エージング炉１の電圧信号供給コネクタ
６に電気的に接続された電圧制御信号入出力装置３でエ
ージングボード１０に実装された半導体装置１２の回路
を動作させながら寿命試験を行う。この後、エージング
炉１から収納ラック５ごとエージングボード１０を取り
出し、収納ラック５を後段の工程(例えば電気特性検査
工程)に搬送する。

【００３６】このように、本実施例によれば以下の作用
効果が得られる。

【００３７】エージング装置において、エージングボー
ド１０を収納する収納ラック５の入れ出しが可能なエー
ジング炉１を備えることにより、エージングボード１０
を収納した収納ラック５ごとエージング炉１に収納でき
るので、エージングボード１０の移し替え作業を廃止で
きる。この結果、エージング装置を用いた半導体装置の
寿命試験における作業効率を高めることができる。

【００３８】また、エージングボード１０の外形サイズ
に対応した収納ラック５をエージング炉１に収納するこ
とができるので、異なる外形サイズのエージングボード
１０をエージング炉１に収納できる。

【００３９】また、エージング炉１に収納ラック５を入
れ出しするための入出手段を設けることにより、収納ラ
ック５の入れ出しを容易に行うことができるので、寿命
試験における作業効率を高めることができる。

【００４０】また、エージングボード１０に電圧信号を
供給する配線盤（電圧信号供給ライン）６を収納ラック
５に設けることにより、収納ラック５の配線盤８をエー
ジング炉１の入出口側に配置することができるので、配
線盤８に関する保守、点検、修理等の作業性を高めるこ
とができる。

【００４１】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。

【００４２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。

【００４３】エージング装置を用いた半導体装置の寿命
試験における作業効率を高めることができる。

【００４４】また、外形サイズの異なるエージングボー
ドをエージング炉に収納することができる。

【００４５】また、配線盤に関する保守、点検、修理等
の作業性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるエージング装置の概略
構成図。

【図２】図１に示すエージング炉の一部切欠き正面図。

【図３】図１に示すエージング炉の一部切欠き側面図。

【図４】図２及び図３に示す配線盤の要部側面図。

【符号の説明】

１…エージング炉１、２…温度制御装置、３…電圧制御
信号入出力装置、４Ａ…ガイドレール、４Ｂ…摺動レー
ル、５…収納ラック、６…電圧信号供給コネクタ、７…
配線ケーブルコネクタ、８…配線盤(電圧信号供給ライ
ン)、１０…エージングボード、１１…ＩＣソケット、
１２…半導体装置。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エージングボードを収納する収納ラック
   の入れ出しが可能なエージング炉を備えたことを特徴と
   するエージング装置。
2. 【請求項２】 前記エージング炉には前記収納ラックを
   入れ出しするための入出手段が設けられていることを特
   徴とする請求項１に記載のエージング装置。
3. 【請求項３】 前記入出手段は、前記収納ラックに設け
   られた摺動レールが摺動するガイドレールで構成される
   ことを特徴とする請求項２に記載のエージング装置。
4. 【請求項４】 前記エージングボードに電圧信号を供給
   する配線盤を前記エージング炉に対して入れ出しが可能
   な収納ラックに設けたことを特徴とする請求項１乃至請
   求項３のうちいずれか１項に記載のエージング装置。