JPH085449Y2

JPH085449Y2 - 顕微鏡

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Publication number: JPH085449Y2
Application number: JP1988135116U
Authority: JP
Inventors: 正男矢島; 一雄東浦
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 1988-10-17
Filing date: 1988-10-17
Publication date: 1996-02-14
Anticipated expiration: 2003-10-17
Also published as: JPH0255211U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、干渉対物レンズを有する顕微鏡に関する。

（従来の技術）例えば、デジタル・オーディオ・テープレコーダ（DA
T）用回転磁気ヘッド装置では、磁気ヘッドが回転ドラ
ムに対して所定の正しい姿勢で取付けられていなければ
ならない。そこで、回転磁気ヘッドの組み立て工程で
は、干渉対物レンズを用いた顕微鏡光学系を介してドラ
ム上の磁気ヘッドを観察し、形成される干渉縞の中心位
置に磁気ヘッドの所定の部位が位置しているかどうかを
判断するようになっている。

第８図は、従来の干渉対物レンズを有する顕微鏡の例
を示す。第８図において、光源45からの照明光は単色フ
ィルター46を通り、ハーフミラー47で反射されて干渉対
物レンズ41に至る。光源45はタングステン電球が用いら
れ、白色光が発せられる。この白色光のうちの一部分の
波長だけが単色フィルター46を通る。干渉対物レンズ41
は、倍率ｍの対物レンズ48と、光を反射光と透過光に二
分割するハーフミラー43と、同ハーフミラー43からの反
射光を反射して同ハーフミラー43に戻すミラー44とを有
してなる。ハーフミラー43を透過した光は試料としての
磁気ヘッド１に照射される。磁気ヘッド１による反射光
は、ハーフミラー43、対物レンズ48、ハーフミラー47を
透過し、画像入力装置としてのテレビカメラ５に至る。
対物レンズ48による磁気ヘッド１の面の結像点Ｆはテレ
ビカメラ５の撮像面上にある。

干渉対物レンズ41のハーフミラー43で二分割された一
方の光は磁気ヘッド１の面で反射されてハーフミラー43
に戻り、他方の光はミラー44で反射されてハーフミラー
43に戻り、ここにおいて両方の光が干渉しあい、対物レ
ンズ48の結像点Ｆに干渉縞が発生する。この結像点Ｆ
は、対物レンズ48の設計上の基準となる結像点であっ
て、この結像点で像が結ばれる限りにおいては光学系の
収差が補正された状態になっている。

ハーフミラー43の中心点をＣ、ミラー44の中心点を
Ｂ、磁気ヘッド１の中心点をＡとしたとき、干渉縞が発
生する範囲は光路CACと光路CBCとの差によって決まるも
のであり、この差があまり大きくなると干渉縞は発生し
ない。この干渉縞が発生する範囲を可干渉距離εとい
い、単色フィルター46によって決定される。この可干渉
距離εは、 ε≒λ²／Δλ によって求められる。但し、λは単色フィルター46の中
心波長、Δλは単色フィルター46を通過する波長の帯域
である。

このような干渉対物レンズ41を有する顕微鏡は、回転
ドラムに対する磁気ヘッドの取付け姿勢計測装置に利用
することができる。第６図、第７図はこの磁気ヘッドの
姿勢計測の原理を概略的に示す。第６図のように磁気ヘ
ッド27が所定の正しい姿勢に取付けられているときは、
ヘッドギャップ25がドラム周面より最も突出した位置に
あってヘッドギャップ25の中心と干渉縞17の中心とが一
致している。しかし、第７図のように磁気ヘッド27の姿
勢が傾いていると、磁気ヘッド27の最も突出した位置が
ギャップ25の位置ではなく、従って、ギャップ25の中心
位置と干渉縞17の中心位置とがずれることになる。この
ことから、干渉縞17の中心と磁気ヘッドの像の中心とが
一致するかどうかを観察することにより磁気ヘッド27の
姿勢が正しいかどうかを判断することができる。

尚、本実施例では、磁気ヘッド27のギャップ25の像が
表れる位置と干渉縞17の中心位置とを一致させている
が、一致させずに所定の間隔ずらして、磁気ヘッド27を
回転ドラムに取り付けている場合もある。

（考案が解決しようとする課題）このように、干渉対物レンズを有する顕微鏡によれ
ば、磁気ヘッドの姿勢計測等に利用することができる。
しかし、従来の干渉対物レンズを有する顕微鏡を画像処
理装置を利用した磁気ヘッドの姿勢計測等に利用した場
合、画像処理装置はヘッド面の像であるか干渉縞である
かを判別することは困難であり、干渉縞がじゃましてギ
ャップ25を検出することができない。そこで、干渉光学
系の光路の一部を開閉して干渉縞の発生をオン・オフす
る機構が考えられている。

しかしながら、干渉縞のオン・オフ機構を有する干渉
対物レンズは高価であるし、一般の干渉縞のオン・オフ
機構は手動操作によるものであり、これを自動操作に改
造しようとするとますます高価なものになる。さらに、
自動的なオン・オフ機構とするにしても、機構的な構成
となるため、振動が問題となり、応答時間も遅いという
問題がある。

本考案は、かかる従来技術の問題点を解消するために
なされたもので、干渉対物レンズによる干渉縞の発生及
びその消去を極めて簡単に行うことができるようにし、
もって、計測の自動化を容易に行うことができ、安いコ
ストで、振動も少なく、応答性のよい干渉対物レンズを
有する顕微鏡を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段）本考案は、顕微鏡の光軸上の上記干渉対物レンズの設
計上の結像点よりずらした位置に画像入力装置を設置
し、上記顕微鏡と試料面とを光軸方向に相対移動させる
ことにより、試料面に合焦した状態と干渉縞に合焦した
状態とを個別に出現させることができることを特徴とす
る。

（作用）画像入力装置は干渉対物レンズの設計上の結像点から
ずらした位置に設置されているため、画像入力装置を光
軸上において移動させるだけで、試料面に合焦した状態
と干渉縞に合焦した状態とを個別に出現させることがで
きる。

（実施例）以下、図面を参照しながら本考案にかかる顕微鏡の実
施例について説明する。

第１図は、本考案にかかる顕微鏡の実施例を示すもの
であるが、顕微鏡を構成する光学部品は第８図に示した
従来例と変わりがないので、共通の部品には共通の符号
を付し、異なる構成部分について重点的に説明する。

第１図において、顕微鏡４の干渉対物レンズ41を構成
する対物レンズ48の設計上の結像点をＦとすると、この
設計上の結像点Ｆよりもさらに光軸上においてΔＬだけ
遠くにずらした位置Ｆ′に画像入力装置としてのテレビ
カメラ５の撮像面が配置され、対物レンズ48の像点距離
Ｌ′は設計上の像点距離ＬにΔＬを加えたものとなって
いる。設計上の像点距離ＬにΔＬを加えたことにより、
物点距離ｌ′も設計上の物点距離ｌに対してΔｌだけ変
化する。ここで、対物レンズ48の倍率をｍとすると、変
化分ΔＬは、 ΔＬ＝Δｌ×m² で求められる。そして、ハーフミラー43とミラー44を付
加することによって構成される干渉対物レンズ41は、試
料としての磁気ヘッド１の面が対物レンズ48から設計上
の物点距離ｌだけ離れた点Ａにあるとき、光路CACと光
路CBCが一致して干渉し、位置Ｆ′の位置に配置された
テレビカメラ５の撮像面に磁気ヘッド１の面に発生する
干渉縞が結像され、テレビカメラ５に接続されたモニタ
により干渉縞を観察することができる。即ち、干渉縞の
空間周波数が低いことにより、テレビカメラ５側の焦点
深度は深くなるので、位置Ｆ′の位置に配置されたテレ
ビカメラ５の撮像面にこの干渉縞の像が結像される。

いま、磁気ヘッド１と顕微鏡４との相対移動によって
磁気ヘッド１の面が設計上の像点距離ｌよりも対物レン
ズ48側にΔｌだけ移動して第１図に示すＡ′の位置にあ
る場合は、上記Ｆ′の位置に配置されたテレビカメラ５
の撮像面に磁気ヘッド１の面が結像され、テレビカメラ
５に接続されたモニタに磁気ヘッド１の面が鮮明に映し
だされる。これは、磁気ヘッド１の面にテレビカメラ５
が合焦した状態である。しかし、このときには、光路C
A′Ｃと光路CBCとの差が可干渉距離の範囲外となってお
り、干渉縞は発生しない。

次に、磁気ヘッド１と顕微鏡４とを距離Δｌだけ光軸
方向に相対移動させて磁気ヘッド１の面が点Ａ上に位置
するようにすると、光路CACと光路CBCとの差が可干渉距
離範囲内に入り、干渉縞が発生する。このときはテレビ
カメラ５の撮像面上の磁気ヘッド１の像はぼけている。

以上のことは、干渉縞の像側焦点深度が深く、試料の
像側焦点深度が浅いためにおこるものである。

このように、上記実施例によれば、干渉対物レンズ41
を有する顕微鏡において、上記干渉対物レンズ41の設計
上の結像点Ｆよりずらした位置にテレビカメラ５を配置
し、磁気ヘッド１と顕微鏡４とを相対移動させることに
より、磁気ヘッド１の面と磁気ヘッド１の面上に発生す
る干渉縞とにそれぞれ焦点を合わせることができるよう
にしたため、従来の干渉対物レンズを有する顕微鏡のよ
うに干渉縞の発生と消去とを機構的にオン・オフする必
要がない。従って、磁気ヘッド１の面への合焦と干渉縞
の発生とを自動的に切り換える場合に、磁気ヘッド１と
顕微鏡とを光軸方向に相対移動させるだけでよいから特
別の機構を付加する必要がなく、安いコストで、振動も
なく、応答性に優れた顕微鏡を得ることができる。

次に、本考案にかかる顕微鏡の、DAT用回転ドラムに
おける磁気ヘッドの位置計測および姿勢計測装置への適
用例について説明する。

第４図は、画像入力装置から入力される磁気ヘッドの
入力画像を示す。磁気ヘッドは、ヘッドギャップ25を挟
んで配置されたセンダスト23,23とを、各センダスト23,
23の各一側に配置されたフェライトコア22,22と、ヘッ
ドギャップ25の各一端を一つの頂点としてセンダスト23
とフェライトコア22で囲まれた三角形の空間に配置され
たスライダとしてのガラス24,24とを有してなる。画像
入力装置からの上記磁気ヘッドの画像信号は画像処理装
置に入力され、ヘッドギャップ25の位置が一定の点を基
準としてＸ−Ｙ座標上の位置として計測される。

DATの回転ドラムには、２個の磁気ヘッドがドラムの
外周部に180度の間隔で取付けられている。従って、ド
ラムが180度回転したとき、２個の磁気ヘッドの位置が
それぞれ正しい位置にあり、相互に合致していなければ
ならない。２個の磁気ヘッドの位置がそれぞれ正しい位
置にあるかどうか、かつ、相互に合致しているかどうか
は、一つの磁気ヘッドの画像信号を画像入力装置より入
力して位置計測を行った後、ドラムを180度回転して他
方の磁気ヘッドの画像信号を画像入力装置より入力して
位置計測を行うことにより判断することができる。ま
た、２個の磁気ヘッドのテープとの摺接面は、テープと
の良好な摺接関係を得るために、ドラムの外周面から適
宜の量だけ突出させる必要があり、かつ、２個の磁気ヘ
ッドの突出量が一致していなければならない。さらに、
ギャップ25をテープに正しく摺接させるためには、磁気
ヘッドが正しい姿勢になっていて、ギャップ25の位置が
ドラム面から最も突出した位置になければならない。

第２図は、本考案にかかる顕微鏡を利用したDAT用磁
気ヘッドの自動組み立て装置の例を示す。第２図におい
て、DATの回転ドラム３の外周部には180度間隔で磁気ヘ
ッド1,2がねじ止めされている。ドラム３は、モータ14
によって回転駆動される治具12に磁気ヘッド1,2側を上
にして取付けられている。ドラム３はテープレコーダに
組み込まれる場合は磁気ヘッド1,2側を下にして固定ド
ラムに対して回転可能に取付けられる。

治具12上のドラム３の上記磁気ヘッドの一つに対向さ
せて顕微鏡４が配置されている。顕微鏡４はその干渉対
物レンズ41の光軸42が上記磁気ヘッドの略中心部に位置
するように精密なステージ６に取付けられている。顕微
鏡４で拡大して見る試料は磁気ヘッド1,2であり、サブ
ミクロンオーダーの精度で計測することができる。ステ
ージ６にはまた顕微鏡４の干渉対物レンズ41の設計上の
結像点よりΔＬだけずれた位置に画像入力装置としての
テレビカメラ５が取付けられている。ステージ６はモー
タ13により前記光軸42方向に駆動される。

テレビカメラ５によって得られる磁気ヘッドの画像信
号は、モニタ８に入力されて磁気ヘッドの画像が映しだ
されると共に、オートフォーカス装置７に入力される。
オートフォーカス装置７は、テレビカメラ５からの画像
信号を効率よく、かつ他からの干渉を受けることなく画
像処理装置９に送るためのバッファ77と、撮像画面中の
合焦させたい部分、即ち本実施例ではヘッド面のデータ
だけを取り出すために必要な部分を設定する検出域及び
走査線設定部73と、この検出及び走査線設定部73で設定
された範囲の画像信号のみを通すためのゲート72と、こ
のゲート72からの画像信号の中から高周波成分を取り出
すためのハイパスフィルター74と、このハイパスフィル
ター74からの出力信号を図示しないA/D変換器により、
アナログ信号よりデジタル信号に変換させ、このデジタ
ル信号のデータを記憶させるメモリ75と、このメモリ75
の記憶データから合焦点を求め、ステージ６を移動させ
るための信号を出力させるオートフォーカス用制御部76
とを有してなる。オートフォーカス装置７による合焦方
式はコントラスト法である。

前記オートフォーカス用制御部76は、テレビカメラ５
の移動と共に各カメラ位置での出力電圧データをメモリ
75から取り込む。この出力電圧データから合焦点を検出
し、この検出信号をモータ13へ送り、モータ13を駆動し
てステージ６を対物レンズ41の光軸42方向に移動させ
る。ステージ６には顕微鏡４とテレビカメラ５が取付け
られているため、ステージ６の移動と共に合焦位置が変
わる。オートフォーカス用制御部76は顕微鏡４が磁気ヘ
ッドに合焦するまでモータ13を駆動してステージ６を移
動させることができる。

前記画像処理装置９は、第４図に示すような画像信号
から、フェライトコア22,ガラス24及びセンダスト23と
交差するヘッドギャップ25の一方の交点の位置を計測す
る。この計測は、例えば、画面枠20の左隅を原点Ｏとし
て横軸をＸ、縦軸をＹとしたとき、このＸ−Ｙ座標上で
上記ヘッドギャップの交点位置を計測することによって
行うことができる。また、画像処理装置９は、一方の磁
気ヘッド１のギャップ位置データをX₁，Y₁で、他方の磁
気ヘッド２のギャップ位置データをX₂，Y₂で表し、これ
を次に説明するシステム制御部10の中に設けられたメモ
リに記憶させる。

システム制御部10は、治具12やオートフォーカス装置
７や画像処理装置９等を含む磁気ヘッド組み立て装置全
体の制御を行うもので、２個の磁気ヘッド1,2のギャッ
プ位置X₁，Y₁とX₂，Y₂、ドラム３からの突出量t₁，t₂及
びドラム３に対する磁気ヘッド1,2の姿勢を計測し、こ
れらが許容範囲内にあるかどうかを判断する。具体的に
は、まずドラム３を少し回転させ、このドラム３の外周
面までの距離Z_D1，Z_D2（図示せず）を求め、次に、磁気
ヘッド１に合焦したときのステージ６の位置Z₁と、磁気
ヘッド２に合焦したときのステージ６の位置Z₂を求め、
磁気ヘッド１の突出量t₁をt₁＝（Z_D1−Z₁）により求め
る。同様にして、磁気ヘッド２の突出量t₂をt₂＝（Z_D2
−Z₂）により求める。または、磁気ヘッド1,2を取付け
たドラム３に代えてマスターワークを取付け、マスター
ワークの磁気ヘッドに該当する部分に合焦したときのス
テージ６の位置Z,Z₀から上記磁気ヘッドに該当する部分
の突出量t,t₀を求めると共に、マスターワークの上記磁
気ヘッドに該当する部分のヘッドギャップ位置X,Y,X₀，
Y₀を求める。そして、ワークとしてのドラム３上の磁気
ヘッド1,2の上記各データと、マスターワークの各デー
タとをそれぞれ比較し、それぞれの差、すなわち、（t₁
−ｔ），（t₂−t₀），（X₁−Ｘ），（X₂−X₀），（Y₁−
Ｙ），（Y₂−Y₀）を求める。さらに、オートフォーカス
装置７によって磁気ヘッド面と干渉縞発生位置とに合焦
したときの画像の位置ずれから磁気ヘッドのドラム３に
対する姿勢を計測する。このようにして求められた値
が、予め設定された許容範囲内にあるときは、治具12か
らドラム３を取外し、次の試料となるドラムを治具12に
取付ける。もし、求められた値が上記の許容範囲から外
れているときは、ヘッド位置補正装置11に信号を送る。
システム制御部10はまた、一つの磁気ヘッドの計測が終
了したとき、他方の磁気ヘッドの計測を行うために、モ
ータ14を駆動して治具12を180度回転させる。

ヘッド位置補正装置11は、システム制御部10から信号
を受けて磁気ヘッド１又は磁気ヘッド２の取付けねじを
弛めて調整の対象となる磁気ヘッドの位置を調整し、ま
た上記取付けねじを締め付けてドラム３に上記磁気ヘッ
ドを再び取付ける装置である。このヘッド位置補正装置
11は本考案には直接的な関係はないので詳細な説明は省
略する。

次に、上記自動組み立て装置の動作を第３図、第５図
を参照しながら説明する。

まず、手作業又は図示されないドラム移動用アーム等
を用いて、マスターワークとしてのドラムを治具12上に
設置する。マスターワークの磁気ヘッド面は干渉対物レ
ンズ41の光軸42上に位置し、マスターワークの磁気ヘッ
ドの画像がモニタ８に映しだされる。ただし、顕微鏡４
の焦点が磁気ヘッドに合っていない場合が普通であるか
ら、モニタ８に映しだされる画像はぼけているのが普通
である。

ここで、マスターワークの２個の磁気ヘッド及びドラ
ム３の２個の磁気ヘッドの一方をＲチャンネルヘッド、
他方をＬチャンネルヘッドとする。そこでまず、上記マ
スターワークのＲチャンネルヘッドの面に合焦させる。
そのためにまずマスターワークとしてのドラムが設置さ
れたことを図示されないセンサにより感知し、この感知
信号に基づいてシステム制御部10からオートフォーカス
装置７に信号を送る。オートフォーカス装置７はモータ
13を駆動してステージ６をその移動ストロークの全範囲
にわたって移動させ、この移動に伴う上記磁気ヘッドの
画像のコントラストの変化のデータをメモリ75に記憶さ
せる。オートフォーカス装置７はまた、メモリ75に記憶
されたデータからヘッド面への合焦位置及び干渉縞発生
位置を検出し、モータ13を駆動して、検出された上記合
焦位置と、干渉縞発生装置までステージ６及びこれと一
体の顕微鏡4,テレビカメラ５を移動させる。

上記オートフォーカス装置７の動作をより具体的に説
明すると、顕微鏡４で拡大されテレビカメラ５から出力
される試料としての磁気ヘッドの画像信号は、ゲート72
において、検出域及び走査線設定部73からの信号により
画像信号の中から特定の走査線部分を選び、ハイパスフ
ィルター74でその高周波成分を取り出し、図示しないA/
D変換器により、アナログ信号をデジタル信号に変換
し、このデジタル信号をメモリ75に記憶させる。この記
憶データはオートフォーカス用制御部76に入力される。
オートフォーカス用制御部76は、まずモータ13を駆動し
てステージ６及びこれに取付けられた顕微鏡４とテレビ
カメラ５をその移動ストロークの全範囲にわたり移動さ
せ、このときのハイパスフィルター74からの出力信号で
あるオートフォーカス信号の変化をメモリ75に記憶させ
る。次に、オートフォーカス用制御部76は、上記メモリ
75の記憶データに基づいてモータ13を制御し、ステージ
６を移動させてテレビカメラ５の撮像面に磁気ヘッド面
が結像するようにピント合わせを行い、次に、干渉縞が
発生するようにピント合わせを行う。上記メモリ75に記
憶されているデータは、合焦位置においてピークをもっ
た出力電圧特性であり、この出力電圧特性の中のピーク
位置である磁気ヘッド面への合焦点までステージ６が移
動するようにモータ13を駆動する。合焦位置においてモ
ニタ８に映しだされる磁気ヘッドの画像は第４図のよう
な画像となる。

第３図に戻って、合焦動作が終了したら、この合焦し
たときの磁気ヘッド面からステージ６までの距離をステ
ージ６の位置Ｚとしてこれを計測する。マスターワーク
の磁気ヘッドの突出量ｔは予め一定の量、例えば20μｍ
に設定してあるので、これらの値を基準として、計測し
たデータをシステム制御部10の中のメモリに記憶させ
る。上記ステージ６の位置Ｚの計測は、例えばモータ13
をパルスモータとし、同モータの原点からの駆動パルス
数を計測し、既知の１パルス分のステージ６の移動距離
を上記駆動パルス数に掛けることにより求めることがで
きる。

次に、第４図に示すような画像信号から、ヘッドギャ
ップ25の、フェライトコア22,ガラス24及びセンダスト2
3との交点のうちの一方の位置を画像処理により計測
し、磁気ヘッドのギャップ位置を求める。これは、例え
ば第４図に示すような画像の左隅を原点Ｏ、横軸をＸ、
縦軸をＹとして、磁気ヘッドのギャップ位置をX,Y座標
上で計測することによって求めることができる。求めら
れたギャップ位置データはシステム制御部10内のメモリ
に記憶される。さらに、第６図、第７図について説明し
た原理によりヘッドの姿勢を計測してメモリに記憶す
る。第５図はヘッドの姿勢計測動作の具体例を示す。ヘ
ッド面に合焦してギャップ位置データを記憶すると、次
にシステム制御部から信号が入力され、これによりステ
ージをΔｌだけ移動させて干渉縞に合焦させる。この合
焦された干渉縞の画像データをメモリし、この干渉縞の
画像データからヘッド面の画像データをひいて干渉縞だ
けのデータを取り出し、これを二値化する。二値化され
たデータから干渉縞の重心位置を求め、これをシステム
制御部に送る。システム制御部では、この干渉縞の重心
位置データと前記ギャップ位置とを比較し、これにより
ヘッドの姿勢を計測することができる。

次に、システム制御部10からの信号によりモータ14の
駆動のもとに治具12を180度回転させる。これにより治
具12に取付けられているマスターワークも一体回転し、
マスターワークに取付けられているＬチャンネルの磁気
ヘッドが顕微鏡４の光軸42上にもたらされる。このマス
ターワークのＬチャンネル磁気ヘッドについても、前述
のＲチャンネル磁気ヘッドの場合と同様にして、ヘッド
面に合焦させたときのステージ６の位置Z₀を計測する。
Ｌチャンネル磁気ヘッドの突出し量も基準値t₀として設
定してあり、この基準値t₀に対する上記ステージ６の位
置Z₀を基準値としてメモリに記憶させておく。さらに、
画像処理によりＬチャンネルの磁気ヘッドのギャップ位
置をX,Yの値で計測し、その計測データX₀，Y₀をメモリ
に記憶させておく。また、Ｌチャンネルヘッドの姿勢も
計測してメモリに記憶させる。

次に、マスターワークを治具12から取外し、代わりに
試料のドラム３を治具12に取付ける。そして、マスター
ワークについての計測と同様に、そのときのステージ６
の位置Z₁を計測し、この計測値から試料のＲチャンネル
磁気ヘッドの突出し量t₁を計算してメモリに記憶させ
る。また、前述のマスターワークの場合と同様に、試料
のＲチャンネル磁気ヘッドのギャップの位置をX,Y座標
上で求め、その計測値X₁，Y₁をメモリに記憶させる。さ
らに、上記磁気ヘッドの姿勢を計測してメモリに記憶さ
せる。

次に、システム制御部10内にメモリされた基準値とし
ての突出量ｔと計測値である試料の突出量t₁とを比較し
て両者の差をとる。また、ギャップの位置についても同
様にして基準値X,Yと計測値X₁，Y₁とを比較し、両者の
差をとる。さらに、磁気ヘッドの姿勢についても、マス
ターワークのＲチャンネルの値との差をとる。これらの
差が許容範囲内であればＬチャンネル磁気ヘッドの計測
ステップに進むが、許容範囲を越えているときは、シス
テム制御部10からヘッド位置補正装置11に指令信号が送
られ、Ｒチャンネル磁気ヘッドの位置調整が行われ、再
び計測が行われる。計測の結果、許容範囲内に入ってい
れば次のＬチャンネル磁気ヘッドの計測に進む。

Ｌチャンネル磁気ヘッドの計測は、まず、治具12を18
0度回転させて顕微鏡４の光軸上に試料のＬチャンネル
磁気ヘッドを位置させ、前述の場合と同様にヘッド面に
合焦させてそのときのステージ６の位置を計測し、その
計測結果から磁気ヘッドの突出量t₂を計算する。また、
X,Y座標上でのギャップの位置X₂，Y₂を計測し、これら
の値をメモリする。磁気ヘッドの姿勢についても計測
し、その値をメモリする。そして、これらの計測値をマ
スターワークのＬチャンネルヘッドの計測値である基準
値と比較して差を求め、この差が許容値内にあるかどう
かを判断し、許容値を越えているものについては前述の
ように位置調整を行う。許容値内にある場合は試料を治
具12から取外し、次の試料について同様に計測する。

以上述べた応用例によれば、試料又は顕微鏡を光軸方
向に移動させるだけで磁気ヘッド面に合焦した状態と、
磁気ヘッド面に発生する干渉縞に合焦した状態とを個別
に出現させることができるため、磁気ヘッド面の画像と
干渉縞の画像の双方のずれを計測することによって磁気
ヘッドの姿勢を計測することができる。また、試料又は
顕微鏡を光軸方向に移動させるための機構は比較的簡単
な機構であるため、高価で複雑な機構を特別に付加する
必要はない。特に、オートフォーカス装置のためのステ
ージを利用することができるので効果的である。

なお、本考案にかかる顕微鏡は、磁気ヘッドの自動組
み立て装置のみでなく、これ以外の各種の機器に適用可
能である。

（考案の効果）本考案によれば、顕微鏡の干渉対物レンズの設計上の
結像点よりずらした位置に画像入力装置を設置し、顕微
鏡と試料面とを相対的に移動させることにより、試料面
に合焦した状態と、試料面に発生する干渉縞に合焦した
状態とを個別に出現させることができるため、従来の干
渉対物レンズを有する顕微鏡のように、干渉縞を発生さ
せまたこれを消去するための開閉機構を設ける必要がな
い。従って、市販の一般的な干渉対物レンズを改造する
ことなく用いることができ、安価で動作の安定した干渉
対物レンズを有する顕微鏡を提供することができる。ま
た、開閉機構が不要なため、振動が少なく、自動操作す
る場合の応答性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案にかかる顕微鏡の実施例を示す光学配置
図、第２図は本考案の応用例を示すブロック図、第３図
は同上応用例の動作を示すフローチャート、第４図は同
上応用例の画像入力装置によって得られる画像の例を示
す正面図、第５図は上記応用例の試料の姿勢計測動作を
示すフローチャート、第６図は本考案を応用することが
できる磁気ヘッドの姿勢計測の原理を概略的に示す説明
図、第７図は磁気ヘッドの異なる姿勢での上記姿勢計測
の様子を示す説明図、第８図は従来の干渉対物レンズを
有する顕微鏡の例を示す光学配置図である。 1,2……試料としての磁気ヘッド、４……顕微鏡、５…
…画像入力装置としてのテレビカメラ、41……干渉対物
レンズ、Ｆ……設計上の結像点。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】干渉対物レンズを有する顕微鏡において、
この顕微鏡の光軸上の上記干渉対物レンズの設計上の結
像点よりずらした位置に画像入力装置を設置し、上記顕
微鏡と試料面とを光軸方向に相対移動させることによ
り、試料面に合焦した状態と干渉縞に合焦した状態とを
個別に出現させることができることを特徴とする顕微
鏡。