JPH08508099A - 反射性ライン−スポット集光装置を用いる粒子検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明の表面検査装置は、物体の表面を予め定めた走査線に沿って走査する走査ヘッドを有する。集光装置は走査面に沿って物体表面で反射した光を受光する。集光装置は、物体表面からの光を受光するように配置した第１のミラー、及びこの第１のミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光するように配置した第２のミラーを有し、これら第１及び第２のミラーが、ライン状の反射光をスポットに集束するように構成する。このように形成した光スポットを受光するように光検出器を配置する。物体表面を検査する方法は、予め定めた走査線に沿って物体表面をレーザビームで走査する工程と、複数のミラーを用いて前記走査線に沿って物体表面で反射した光を集光し、反射したライン状の光をスポット状の光に集束させる工程とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】 反射性ライン−スポット集光装置を用いる粒子検出装置発明の分野 本発明は表面検査、特にシリコンウエハのような物体の表面の傷や欠陥につい ての検査に関するものである。発明の背景 シリコンや他の半導体材料のマイクロチップの製造工程において、一般に光を レチクルマスクに投射してシリコンウエハに回路がエッチング形成されている。 レチクルマスクやシリコンウエハ上にゴミ、ほこり、汚れ又は他の不適当なもの が存在することは極めて不所望なことであり最終的に得られる回路に悪影響を与 えてしまう。従って、レチクル及びシリコンウエハは使用する前に検査する必要 がある。一般的な検査技術は、検査者が明るい光のもとで拡大して各表面を目視 検査することである。しかしながら、肉眼では検出できないような小さな破片が 製造されたマイクロチップを害するおそれがある 従って、シリコンウエハの表面を検査して微細な粒子を厳格に検出するために レーザ検査装置が開発されている。この通常のレーザ検査装置では、物体の表面 で鏡面反射した光及び散乱した光の両方の光が発生している。鏡面反射光及び散 乱光は共に物体表面での粒子や傷の存在を示す。物体表面で鏡面反射した光及び 散乱した光は集光され光増倍管（ＰＭＴ）や電荷結合素子（ＣＣＤ）のような光 検出器に入射する。 光ファイババンドル、球面又は放物面ミラー、伸長状レンズ、及び光パイプの ような集光した光を個別に光検出器まで伝播させる集光装置を具える種々のレー ザ検査装置が開発されている。このようなレーザ検査装置の例として米国特許第 ４８７５７８０号、同第４７９５９１１号、同第４６３０２７６号、同第４６０ １５７６号、同第４３７８１５９号、同第４３７６５８３号、同第４３６０２７ ５号明細書がある。しかしながら、これら装置の集光装置は大型であり、市販の 検査装置に組み込むのが困難となるばかりでなく、光を集光するのが不十分にな ってしまう。 従って、物体表面で鏡面反射した光及び散乱した光を効率よく集光できる小型 な粒子検出装置が必要である。発明の概要 本発明は、物体表面からの鏡面反射又は散乱した光を集光し光検出器に向けて 伝播させる比較的小型で効率のよいライン−スポット集光装置を有する粒子検出 装置を提供する。このライン−スポット集光装置は物体表面で鏡面反射し又は散 乱した光を受光するように位置決めされた複数のミラーを有する。第１のミラー は湾曲し、第２のミラーは平坦とし、第１のミラーの曲率により物体表面で走査 線に沿って反射した光を予め定めたスポットに集束させる。これらミラーの形態 及び配置は、ライン−スポット集光装置に向けて反射し又は散乱した光が小さな 範囲で効率よく集光され、光検出器に至る光路で喪失した光量が最小になるよう に構成する。 特に、本発明の表面検査装置は、物体表面をレーザビームで予め定めた走査線 で走査する走査ミラーを有する。集光装置は物体表面で走査線に沿って反射した 光を受光する。この集光装置は物体表面からの光を受光するように配置した第１ のミラー、及びこの第１のミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光する ように配置した第２のミラーを有する。これら第１及び第２のミラーは、ライン 状の反射光をスポットに集束するように構成する。このように形成された光スポ ットを受光するように光検出器を位置決めする。 光がミラーの反射面で複数回反射するように光路を折り曲げることにより、物 体と光検出器との間に配置した集光装置に入射する反射した光又は散乱した光の 実効光路長、すなわち焦点距離を顕著に増大させることができる。一層多数回反 射させることにより、集光された光を光検出器に入射させるのに必要な全体の長 さを一層短くすることができる。従って、集光装置のミラーの配置及び形態は一 連の薄いレンズとして機能し、この結果小さい空間内においても焦点距離が相当 長くなり視野深度も深くなる。 物体表面で反射した光は鏡面反射光及び拡散即ち散乱光の両方を含む。これら 反射光成分はライン−スポット集光装置により個別に集光され、それぞれ光検出 器により分析用の電気信号に変換されて欠陥又は傷のような物体の表面特性に関 する情報が得られる。この粒子検出装置は物体表面で鏡面反射し又は散乱した光 を集光するのに有益に用いることができる。 本発明の表面検査装置は、物体の縁部で反射し又は散乱した光を検出する縁部 検出器を設けることができる。従って、この縁部検出器は、走査されている物体 に対する走査線の相対位置に関するタイミング信号のような付加的な情報を集光 装置に供給することができる。 変形例として、スポットに集束された鏡面反射した光をビームスプリッタによ り２個の光路に分割し、第１の光路が鏡面視野光即ち遠視野光を規定し第２の光 路が近視野光を規定することができる。各光検出器が鏡面視野光及び近視野光を それぞれ検出し走査された物体に関する付加的な情報を発生する。 また、本発明は粒子又は傷等に関して物体の表面を検査する方法を提供する。 本発明の検査方法は、予め定めた走査線に沿って物体表面をレーザビームで走査 する工程と、複数のミラーを用いて前記走査線に沿って物体表面で反射した光を 集光し、反射したライン状の光をスポット状の光に集束させる工程とを含む。図面の説明 添付図面に基づき本発明の構成及び作用効果を説明する 図１は鏡面反射光及び散乱光を集光するライン−スポット集光装置及び検査さ れた物体からの光を検出する縁部検出器を有する本発明の表面検査装置を示す斜 視図である。 図２は破線で示すビーム光路を有する本発明の図１に示す表面検査装置の側面 図である。 図３は多重反射及びラインからスポットに集光された光の光路を示す本発明の 集光兼光検出器の斜視図である。 図４は近視野検出器及び鏡面視野検出器を有する本発明の第２実施例の一部を 示す側面図である。 図５は近視野検出器及び鏡面視野検出器を有する本発明の第２実施例の斜視図 であり、ラインからスポットに集光された光の折り曲げ光路を示す。実施例の説明 本発明の実施例を図示した添付図面に基づき本発明を詳細に説明する。一方、 本発明は種々の形態のものとして構成でき、図示の実施例に限定されるものでは なく、実施例を提示して本願の開示内容が完全なものとし当業者に本発明の範囲 を十分に提示する。尚、図面を通して同様な部材には同一符号を付して説明する 。 図面を参照するに、図１及び図２は本発明による表面検査装置を全体として符 号１０で示す。レーザ１１から破線Ｂで示すレーザビームを発生する。このレー ザビームは一連に配置され符号１２，１３，１４及び１５で示す複数のミラー及 びレンズを用いて反射させ及び屈折させる。これらミラー及びレンズ１２，１３ ，１４及び１５によりレーザビームＢを走査ヘッド１６まで伝播させる。走査ヘ ッド１６は移動するように装着されたミラー（図示せず）を有し、ミラーの移動 により光ビームＢを繰り返しパターンとして移動させ、予じめ定めた走査線を形 成する。走査ヘッド１６は図示のような電磁共振スキャナとするのが好ましいが 、回転多面鏡や圧電性スキャナのような当業者にとって明らかなレーザビームＢ を走査する他の手段を用いることもできる。 走査ヘッド１６からの光ビームＢは光路折り曲げ光学セル２０に入射する。こ の光路折り曲げ光学セル２０はハウジング２１を有し、このハウジングに、走査 ヘッドからの光ビームを受光するように位置決めされた平坦な第１のミラー２２ 及び第１のミラー２２で反射した光ビームを受光するように第１のミラー２２に 対して向きが規定された湾曲した第２のミラー２３を取り付ける。第１及び第２ のミラー２２及び２３は、符号Ｗで示すシリコンウエハのような物体の表面上に 走査線Ｌを形成するような形態及び配置とする。第１及び第２のミラー２２，２ ３の反射面は、光ビームＢ又はセルを最終的に出射する前に各反射面で多数回反 射を繰り返すように互いに対向し離間するように装着する。セル２０を出射する 際、光ビーム１３は検査物すなわち物体Ｗの表面に向けて下向きに入射する。 光路折り曲げ光学素子２０内での光ビームＢの反射の回数は光ビームＢの入射 角及び出射角により決定することができる。光路折り曲げ光学素子２０内で光ビ ームＢの光路を折り曲げることにより光ビームは各反射面で複数回反射するので 、極めて小型の装置内において走査ヘッド１６と物体Ｗとの間での光ビームの全 進行長すなわち焦点距離を顕著に増大させることが可能になる。従って、光路折 り曲げ光学セル２０は一連の薄肉レンズのような機能を果たし、相対的に小さな 空間内において焦点距離が相対的に長くなり、しかも視野深度も相当深くなる。 光路折り曲げ光学セル２０の一方の反射面として凹面状に湾曲したミラー２２ と平面すなわち平坦ミラー２３と組み合わせて用いることにより、光学セル２０ は、光ビームＢの走査経路をほぼ平行な走査に変換する。従って、走査ビームＢ は、物体Ｗの表面に沿って移動しても、検査表面に対してほぼ垂直に維持される 。或いは、光路折り曲げ光学セル２０は、１対の湾曲ミラーを用い、平行、発散 又は集束性の走査パターンのいずれかを発生させることもできる。湾曲ミラー２ ２の曲率及び平面ミラー２３との間の距離は、走査装置の細部構成に応じて定め る。この走査装置の細部構成及び配置形態は米国特許第４６３０２７６号明細書 を参照することができ、この米国特許明細書の記載内容は本発明の内容として援 用する。 図１及び図２にさらに図示するように、光ビームＢは物体Ｗの表面を予じめ定 めた走査線Ｌに沿って走査し、物体の表面に対して予じめ定めた入射角で物体表 面に入射する。光ビームＢは物体Ｗの表面で入射角に等しい角度で反射する。物 体表面のいかなる欠陥、ゴミ又は不規則性によっても入射ビームは発散する。従 って、ウエフＷの表面で反射した光ビームＢは鏡面反射光及び拡散又は散乱光の 両方を含む。これら反射した光の成分及び光路はライン−スポット集光装置４２ ，５０により個別に集められ、各光検出器により制御系７４による分析のための 電気信号に変換され、欠陥やきずのような物体Ｗの表面特性に関する情報が得ら れる。移送装置のような適切な手段を設け、図２の矢印で示すように、予じめ定 めた物体面に位置する物体Ｗの表面におけるレーザビームＢの走査線Ｌと直交す る方向に予じめ定めた移送経路に沿って物体を移送する。物体Ｗはレーザビーム Ｂの下側で進行するので、物体Ｗの全表面を走査することができる。 物体Ｗの上方に配置されたライン−スポット集光装置４０は物体表面からの鏡 面反射光を集光し、物体Ｗの表面の上方に配置した別のライン−スポット集光装 置５０は物体Ｗが予じめ定めた移動経路に沿って移動する際の物体表面からの散 乱光を集光する。物体Ｗの表面の上方に配置されたレンズ７０は物体表面からの 散乱光を屈折させ、これにより集光装置５０に入射する散乱光を相対的に大きな 集光角で有効に集光することができる。集光装置４０，５０は、集光された光を 受光するように配置された光増倍管（ＰＭＴ）又は電荷結合装置（ＣＣＤ）の形 態の光検出器４５，５５，５６を有する。レーザビームＢが物体Ｗの縁部を走査 するとき、レーザビームが物体Ｗの縁部を超えて入射すると、走査線の対向する 側に配置した縁部集光装置すなわち縁部検出器３０がレーザビームを受光し物体 Ｗの縁部を検出する。縁部検出器は制御装置７４にタイミング信号を供給し、レ ーザビームが走査線Ｌを通過する際物体Ｗの縁部を特定する。この縁部検出器３ ０はライン−スポット集光装置４０と同様な構成をとることができ、その詳細に ついては後述する。 図３は一方のライン−スポット集光装置４０の構造及び動作を詳細に示す。鏡 面反射した光の光路はライン光源を画成する。集光装置４０は物体Ｗの表面で反 射した走査線Ｌに沿うライン状の光を受光し光検出器４５の入射部にスポットと して集光する。集光装置４０はハウジング４１を有し、このハウジングに物体表 面で反射した光を受光するように配置され大きく湾曲した第１のミラー４２及び 第１のミラーで反射した光を受光するために第１のミラー４２に向くように配置 した平坦な第２のミラーを装着する。１対の調整ロッド４９を第１のミラー４２ 及びハウジング４１の上側部分に取り付け、この調整ロッドに１対の調整ノブ１ １２も取り付ける。調整ノブ及び調整ロッドを用いることにより第１のミラー４ ２を物体Ｗの表面で反射した光を一層効率よく集光するように配置することがで きる。 集光装置４０のミラー４２，４３の反射面を互いに対向するように離間して配 置し、鏡面反射したライン状の光が出射する前に複数回反射させ、その後光検出 器に入射させる。集光装置４０における光ビームの反射の回数は鏡面反射した光 の入射角及び出射角により決定することができる。従って、ミラーは向きが反転 していることを除いて光路折り曲げ光学セル２０と同様な光路折り曲げセルとし て機能する。集光装置４０内で光路を折り曲げることにより、極めて小型の装置 内で物体Ｗと光検出器との間の全光路長即ち焦点距離を相当長くすることができ る。ミラー４２と４３との間の反射の回数を増大させるほど集光された光を光検 出器４５に向けて反射させるために必要な全体の長さを短くすることができる。 従って、集光装置４０の光路折り曲げセルは一連の薄肉レンズと同様な機能を果 たし、この結果短いスペースで焦点距離が相当長くなると共に視野深度も相当深 くなる。平坦な第１のミラー４３との関係における第１のミラー４２の曲率によ り、走査線Ｌからの集光された光を光検出器に予め定めたスポットとして集束さ せる。ミラー４２，４３の形態及び向きは、ライン−スポット集光装置４０に向 けて反射した光が、光検出器に至る光路での光の損失量が最小になるように効率 よく集光されるように設定する。図１及び図２に示す他のライン−スポット集光 装置３０，５０も上述した集光装置４０と同様に構成し、従ってこれら集光装置 の詳細な説明は省略する。 図３を参照するに、集光装置４０のための光増幅管（ＰＭＴ）又は電荷結合装 置（ＣＣＤ）のような光検出器４５は、形成された光スポットを受光するように 配置する。鏡面反射した光の成分すなわち光の軌跡は個別に集光され、電気信号 に変換されて物体Ｗの表面特性に関する情報を得るための分析に用いる。光学素 子すなわちハーフミラーのようなビームスプリッタ４４及び光トラップ９１を光 路中に配置することもできる。ビームスプリッタ４４及び光トラップ９１は、光 が集光された光の光路中に散乱するのを防止するように配置し、これにより光検 出器４５で受光されたバッグランドノイズを低減することができる。光トラップ ９１は黒化処理された内面を有し、入射した光を吸収する。アラインメント用光 学素子９２も光トラップ９１及びビームスプリッタ４４と協働し、反対方向に伝 播する光を利用して鏡面反射した光を集光するようにミラー４２，４３の整列性 を一層向上させる。光検出器４５は、この光検出器から送られる物体Ｗの表面に 関する電気的情報を処理する電気回路基板に装着する。 集光装置５０は物体Ｗの表面の上方に配置されて物体の表面で反射した散乱光 を集光する。走査線Ｌに沿って検査される表面で拡散した散乱光はライン状の光 源を画成する。集光装置５０は図３の集光装置４０と同様に構成されるので、ラ イン状の光源からの光はスポットに集束される。一方、図１及び図２に示す散乱 光用のライン−スポット集光装置５０は、入射した光を第１及び第２の光路に分 割するビームスプリッタ５４を有する。 第１及び第２の光路の光はそれぞれＣＣＤ及びＰＭＴとして示す第１及び第２ の光検出器５５，５６により検出される。第１及び第２の光検出器から発生した 電気信号は結合され、物体Ｗの傷や欠陥を表示する最良の信号認識を行う。各ラ イン−スポットの光検出器４５，５４，５５により集められた情報は適当なイン タフエース電子回路及びコンプュータ手段７４（図１）により処理して物体Ｗの 表面に存在する欠陥や傷の性質、重要度及び位置に関する重要な情報を発生させ ることができる。 再び図１及び２を参照するに、縁部検出器３０を物体Ｗの下側に配置して、レ ーザ走査線が物体の縁部を通過したとき物体の縁部を検出する。物体の縁部から 集められた光は検出のためにライン状からスポット状に変換されて集光される。 鏡面反射した光の光路及び散乱した光の光路の集光装置４０，５０と同様に、 縁部検出器３０は物体Ｗの縁部からの光を受光するように配置され、取り付けら れた湾曲した第１のミラー３２を具えるハウジング３１及びこのハウジングに取 り付けられ第１のミラーからの光を受光するように第１のミラー３２に対して配 置した平坦な第２のミラーを有する。縁部検出器３０の第１及び第２のミラー３ ２及び３３も同様にライン状に反射した光をスポット状の光として集光するよう な形態とする。ＣＣＤとして示す光検出器３５はスポット状の光を受光するよう に配置する。集光装置４０，５０と同様に、縁部検出器３０は好適に湾曲した第 １のミラー３２及び平坦な第２のミラー３３を有し、これらミラーの反射面で光 ビームＢを複数回反射させる。ＣＣＤ３５に集められた光は、物体Ｗの縁部の位 置に関するタイミング信号のような情報に変換することができる。この情報を制 御装置７４の反射及び散乱光検出回路に供給して走査線Ｌに沿う物体Ｗの縁部を 認識することができる。上述した表面検査装置ように、他の形式の縁部検出装置 を１個又はそれ以上の集光装置と組み合わせて用いることができる。 本発明による集光装置４０’の第２実施例を図４及び図５に示す。尚、図２及 び図３の部材と同一の構成要素には’符号を示すことにする。集光装置４０’も 図３に基づいて説明した集光装置４０と同様にライン状の鏡面反射した光をスポ ット状の光として集光する。しかし、平行光束がミラー４２’，４３’で反射し た後、この光をビームスプリッタ４４’で光検出器４５’，４６，５７に分割し 、一方の光検出器４５’により鏡面視野光を検出し、他方の検出器により近視野 光を検出する。 図５に斜視図として示す第２実施例の集光装置４０’はプリズム４４’を有し 第２のミラー４３’で反射した鏡面反射光を分割する。鏡面視野用に分割された 光はロッド１１０により電子回路基板１００’に取り付けた空間フィルタ４８を 経て光検出器４５’に入射する。鏡面視野用の空間フィルタ４８は一般に矩形形 状を有し、中央に円形開口を有し、中央部にだけ光路を形成してその光を検出用 に用いる。近視野用に分割された光はロッド１１１によりハウジング４１’に取 り付けた空間フィルタ４７を通過し光検出器４６に入射する。近視野用の空間フ ィルタ４７も同様に矩形形状をなすが、鏡面視野用の空間フィルタ４８とは異な り中央部に形成した円形の遮光部分及び遮光部分の周囲に延在する開口を有し、 円形遮光部分のまわりの開口部だけに光路を形成する。２個の光検出器４５’及 び４６で発生した電気信号は結合されて、物体Ｗの表面上の欠陥、粒子又は傷に ついての信号認識における信号のＳ／Ｎ比のような信号特性を改善する。 上記詳細な説明及び図面から明らかなように、物体表面の粒子や傷についての 検査方法は、レーザビームＢが物体の表面を予め定めた走査線にそって走査する ことによって得られる。物体Ｗの縁部は、レーザビームＢが物体表面を走査する 際縁部検出器３０により検出される。物体表面の走査線からの反射した光は、複 数のミラー４２，４３又は５２，５３を有する集光装置により走査線からの光が スポット状の光に集束されるように集光される。このスポット状の光は光検出器 ４５，５４，５５により検出することができる。 別の方法として、形成されたスポット状の光をハーフミラーのようなビームス プリッタ４４’で２個の光路に分割し、一方の光路が鏡面反射光を規定し、他方 の光路が近視野光を規定するように構成することができる。図４及び図５に示す ように、鏡面反射光及び近視野光を各光検出器４５，４６’により検出すること ができる。鏡面視野光検出器４５’及び近視野光検出器４６の出力信号を結合し て光検出器で発生した電気信号のＳ／Ｎ比を増大させることにより物体表面の傷 や欠陥の認識を一層改善することができる。 図面及び明細書に本発明の好適実施例を開示した。これらにおいて特有の用語 が用いられているが、これらの用語は一般的な意味において用いられたものであ り、限定して解釈されるものではない、本発明の範囲は特許請求の範囲により規 定される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ， ＣＡ，ＣＨ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，Ｈ Ｕ，ＪＰ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＧ ，ＭＮ，ＭＷ，ＮＬ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ， ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＫ，ＵＡ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．物体の表面を予じめ定めた走査線に沿ってレーザビームで走査する手段と、 物体の表面で反射した光を受光するように位置決めされた第１のミラー及び この第１のミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光する第２のミラーを 有し、これら第１及び第２のミラーが、ライン状の反射光をスポット状の光に集 束させるように構成され、前記走査線に沿う物体表面で反射した光を受光する集 光装置と、 前記スポット状に形成された光を受光するように配置した光検出器とを具え る表面検査装置。 ２．前記ミラーの少なくとも１個のミラーが、入射したライン状の反射光を予じ め定めたスポットに集束させるように湾曲している請求項１に記載の表面検査装 置。 ３．前記第１のミラーが湾曲し、前記第２のミラーが平坦にされ、第１のミラー の曲率により前記走査線に沿う光が予じめ定めたスポットに集束するように構成 した請求項１に記載の表面検査装置。 ４．前記スポット状に反射した光を第１及び第２の光路の光に分割する手段、並 びに前記第１の光検出器に加えて第２の光検出器をさらに具え、前記第１及び第 ２の光検出器が第１及び第２の光路の光をそれぞれ検出するように構成した請求 項１に記載の表面検査装置。 ５．前記ビーム分割手段と前記第１の光検出器との間に配置され、鏡面視野光だ けを検出する第１の空間フィルタと、前記ビーム分割手段と第２の光検出器との 間に配置され、近視野光だけを検出する第２の空間フィルタをさらに具える請求 項４に記載の表面検査装置。 ６．前記物体の下側に配置され、レーザビームが物体の表面を走査する際、物体 の縁部を検出する縁部検出器をさらに具える請求項１に記載の表面検査装置。 ７．前記縁部検出器が、物体の縁部で散乱した光を受光するように配置した第１ のミラーと、この第１のミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光するよ うに配置した第２のミラーとを有し、これら第１及び第２のミラーを、前記 ライン状の反射光をスポット状に集束させるように構成した請求項６に記載の表 面検査装置。 ８．前記レーザ走査手段が、走査ヘッドを有する請求項１に記載の表面検査装置 。 ９．前記レーザ走査手段が、前記走査ヘッドからの光を受光するように配置した 第１のミラーと、この第１のミラーに対して第１のミラーからの光を受光するよ うに配置した第２のミラーとを有し、これら第１及び第２のミラーを、前記物体 の表面に走査線を形成するように構成した請求項８に記載の表面検査装置。 １０．物体の表面を予め定めた走査線に沿って走査する手段と、 物体表面からの光を受光するように配置した第１のミラー、及びこの第１の ミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光するように配置した第２のミラ ーを有し、これら第１及び第２のミラーのうち少なくとも一方のミラーが湾曲し 、これら第１及び第２のミラーが、ライン状の反射光をスポット状に集束するよ うに構成され、前記走査線に沿う物体表面で反射した光を受光する集光装置と、 前記スポット状に反射した光を第１及び第２の光路に分割する手段と、 前記第１及び第２の光路からの各光をそれぞれ受光するように配置した第１ 及び第２の光検出器とを具える表面検査装置。 １１．前記ビーム分割手段と第１の光検出器との間に配置され、鏡面視野光だけ を検出する第１の空間フイルタ、及び前記ビーム分割手段と第２の光検出器との 間に配置され、近視野光だけを検出する第２の空間フイルタをさらに具える請求 項１０に記載の表面検査装置。 １２．前記第１のミラーが湾曲し、前記第２のミラーが平坦にされ、前記第１の ミラーの曲率により走査線に沿う光を予め定めたスポットに集束させるように構 成した請求項１０に記載の表面検査装置。 １３．前記レーザ走査手段が走査ヘッドを有する請求項１０に記載の表面検査装 置。 １４．前記レーザ走査手段が、前記走査ヘッドからの光を受光するように位置ぎ めされた第１のミラーと、この第１のミラーに対して第１のミラーからの光を受 光するように配置した第２のミラーとをさらに有し、これら第１及び第２の ミラーを物体表面に走査線を形成するように構成した請求項１３に記載の表面検 査装置。 １５．前記物体の下側に配置され、レーザビームが物体の表面を走査する際、物 体の縁部を検出する縁部検出器を具える請求項１０に記載の表面検査装置。 １６．前記縁部検出器が、物体の縁部で散乱した光を受光するように位置決めし た第１のミラーと、第１のミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光する ように配置した第２のミラーとを具え、これら第１及び第２のミラーをライン状 の反射光をスポット状に集束させるように構成した請求項１５に記載の表面検査 装置。 １７．走査ヘッドと、走査ヘッドからの光を受光するように位置決めした第１の ミラーと、この第１のミラーに対して第１のミラーからの光を受光するように位 置決めした第２のミラーとを有し、これら第１及び第２のミラーが物体表面に走 査線を形成するように構成され、物体の表面を予め定めた走査線に沿って走査す る手段と、 前記物体の下側に配置され、レーザビームが物体の表面を走査する際、物体 の縁部を検出する縁部検出器と、 物体表面からの光を受光するように配置した第１のミラー、及びこの第１の ミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光するように配置した第２のミラ ーを有し、これら第１及び第２のミラーが、ライン状の反射光をスポットに集束 するように構成され、前記走査線に沿う物体表面で反射した光を受光する集光装 置と、 形成されたスポット状の光を受光するように位置決めした光検出器とを有す る表面検査装置。 １８．前記縁部検出器が、物体の縁部で散乱した光を受光するように位置決めさ れた第１のミラーと、第１のミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光す るように配置した第２のミラーとを具え、これら第１及び第２のミラーをライン 状の反射光をスポット状に集束させるように構成した請求項１７に記載の表面検 査装置。 １９．前記ミラーの少なくとも１個のミラーを、ライン状の反射光を予め定めた スポット状に集束するように湾曲している請求項１７に記載の表面検査装置。 ２０．前記第１のミラーが湾曲し、前記第２のミラーが平坦にされ、前記第１の ミラーの曲率により走査線に沿う光を予め定めたスポットに集束させるように構 成した請求項１７に記載の表面検査装置。 ２１．前記スポット状に反射した光を第１及び第２の光路に分割する手段、並び に前記第１の光検出器に加えて第２の光検出器をさらに具え、前記第１及び第２ の光検出器が第１及び第２の光路の光をそれぞれ検出するように構成した請求項 １７に記載の表面検査装置。 ２２．前記ビーム分割手段と前記第１の光検出器との間に配置され、鏡面視野光 だけを検出する第１の空間フイルタと、前記ビーム分割手段と前記第２の光検出 器との間に配置され、近視野光だけを検出する第２の空間フイルタとをさらに具 える請求項２１に記載の表面検査装置。 ２３．物体の表面を予め定めた走査線に沿って走査する手段と、 前記物体の下側に配置され、レーザビームが物体の表面を走査する際、物体 の縁部を検出する縁部検出器とを具え、前記縁部検出器が、物体の縁部で散乱し た光を受光するように位置決めされた第１のミラーと、第１のミラーに対して第 １のミラーで反射した光を受光するように配置した第２のミラーとを具え、これ ら第１及び第２のミラーをライン状の反射光をスポット状に集束させるように構 成した表面検査装置。 ２４．前記縁部検出器が、前記第１及び第２の光検出器に隣接するように位置決 めされ、形成された光スポットを受光する光検出器をさらに具える請求項２３に 記載の表面検査装置。 ２５．前記レーザ走査手段が走査ヘッドを有する請求項２３に記載の表面検査装 置。 ２６．前記レーザ走査手段が、前記走査ヘッドからの光を受光するように位置ぎ めされた第１のミラーと、この第１のミラーに対して第１のミラーからの光を受 光するように配置した第２のミラーとをさらに有し、これら第１及び第２のミラ ーを物体表面に走査線を形成するように構成した請求項２５に記載の表面検査装 置。 ２７．物体の表面を予め定めた走査線に沿って走査する手段と、 前記物体の下側に配置され、レーザビームが物体の表面を走査する際、物体 の縁部を検出する縁部検出器と、 前記第１及び第２の光検出器に隣接するように位置決めされ、形成された光 スポットを受光する光検出器を具え、 前記レーザ走査手段が、前記走査ヘッドからの光を受光するように位置ぎめ された第１のミラーと、この第１のミラーに対して第１のミラーからの光を受光 するように配置した第２のミラーとをさらに有し、これら第１及び第２のミラー を物体表面に走査線を形成するように構成し、 前記縁部検出器が、物体の縁部で散乱した光を受光するように位置決めされ た第１のミラーと、第１のミラーに対して第１のミラーで反射した光を受光する ように配置した第２のミラーとを具え、これら第１及び第２のミラーをライン状 の反射光をスポット状に集束させるように構成した表面検査装置。 ２８．粒子及び傷について物体の表面を検査するに際し、 予め定めた走査線に沿って物体表面をレーザビームで走査する工程と、 複数のミラーを用いて前記走査線に沿って物体表面で反射した光を集光し、 反射したライン状の光をスポット状の光に集束させる工程とを具える表面検 査方法。 ２９．光検出器を用いて前記集束した光を検出して物体表面の粒子又は傷の存在 を決定する工程をさらに具える請求項２８に記載の表面検査方法。 ３０．前記集束した光を２個の光路に分割する工程と、 前記２個の光路の光をフイルタして鏡面視野及び近視野を規定する工程と、 前記鏡面視野光及び近視野光を光検出器でそれぞれ検出する工程とをさらに 具える請求項２８に記載の表面検査方法。 ３１．前記レーザビームが物体表面を走査する際物体の縁部を検出する工程をさ らに具える請求項２８に記載の表面検査方法。 ３２．予め定めた走査線に沿って物体表面をレーザビームで走査する工程と、 前記レーザビームが物体表面を走査する際物体の縁部を検出する工程と、 複数のミラーを用いて前記走査線に沿って物体表面で反射した光を集光し、 反射したライン状の光をスポット状の光に集束させる工程と、 前記集束した光を２個の光路に分割する工程と、 前記２個の光路の光をフイルタして鏡面視野及び近視野を規定する工程と、 前記鏡面視野光及び近視野光を光検出器でそれぞれ検出する工程と、 前記鏡面視野光及び近視野光を光検出器でそれぞれ検出する工程と、 前記鏡面視野光検出器の出力と前記近視野光検出器の出力とを結合して物体 表面上の傷又は欠陥の認識を改善する表面検査方法。