JPH084983B2 - ウエ−ハ接着装置 - Google Patents
ウエ−ハ接着装置Info
- Publication number
- JPH084983B2 JPH084983B2 JP61238792A JP23879286A JPH084983B2 JP H084983 B2 JPH084983 B2 JP H084983B2 JP 61238792 A JP61238792 A JP 61238792A JP 23879286 A JP23879286 A JP 23879286A JP H084983 B2 JPH084983 B2 JP H084983B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier plate
- suction
- rotary table
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、ウエーハをワツクスによつてキヤリアプレ
ート上に接着する場合に用いるウエーハ接着装置に関す
る。
ート上に接着する場合に用いるウエーハ接着装置に関す
る。
「従来の技術」 一般に、ウエーハの表面を鏡面仕上げする場合には、
ウエーハをキヤリアプレートの端面にワツクスによつて
貼着して行なうようにしている。そして、従来は、作業
者が、ウエーハを１枚１枚、真空ピンセツトを用いて、
キヤリアプレート上の所定位置に、その方向性をそろえ
て載置接着していた。
ウエーハをキヤリアプレートの端面にワツクスによつて
貼着して行なうようにしている。そして、従来は、作業
者が、ウエーハを１枚１枚、真空ピンセツトを用いて、
キヤリアプレート上の所定位置に、その方向性をそろえ
て載置接着していた。
「発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、上記従来のように、作業者の人手に頼
つてウエーハをキヤリアプレート上に載置接着する場合
には、作業に手間がかかり、作業性に問題があつた。
つてウエーハをキヤリアプレート上に載置接着する場合
には、作業に手間がかかり、作業性に問題があつた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、キヤリアプレート上にウエーハを接
着する場合に、ウエーハの方向性をそろえて、かつキヤ
リアプレート上の所定位置に、確実にかつ円滑に接着す
ることができ、ウエーハのキヤリアプレートへの連続的
な自動接着が実現できるウエーハ接着装置を提供するこ
とにある。
的とするところは、キヤリアプレート上にウエーハを接
着する場合に、ウエーハの方向性をそろえて、かつキヤ
リアプレート上の所定位置に、確実にかつ円滑に接着す
ることができ、ウエーハのキヤリアプレートへの連続的
な自動接着が実現できるウエーハ接着装置を提供するこ
とにある。
「問題点を解決するための手段」 上記目的を達成するために、本発明は、ウエーハの下
面の外周部を支持して移送する移送手段と、キヤリアプ
レートを載置するキヤリアプレート載置台との間に、上
記ウエーハの下面を吸着して上下方向に回動する吸着回
動アームを設置し、かつ上記移送手段に、上記ウエーハ
を回転させる位置決め装置を設けたものである。
面の外周部を支持して移送する移送手段と、キヤリアプ
レートを載置するキヤリアプレート載置台との間に、上
記ウエーハの下面を吸着して上下方向に回動する吸着回
動アームを設置し、かつ上記移送手段に、上記ウエーハ
を回転させる位置決め装置を設けたものである。
「作用」 本発明のウエーハ接着装置にあつては、移送手段によ
つて支持されて移送されているウエーハの方向性を位置
決め装置によつてそろえると共に、吸着回動アームにウ
エーハを吸着させて、該吸着回動アームを上下方向に回
動させることによつて、該ウエーハをキヤリアプレート
上に載置接着する。
つて支持されて移送されているウエーハの方向性を位置
決め装置によつてそろえると共に、吸着回動アームにウ
エーハを吸着させて、該吸着回動アームを上下方向に回
動させることによつて、該ウエーハをキヤリアプレート
上に載置接着する。
「実施例」 以下、第１図ないし第３図に基づいて本発明の一実施
例を説明する。
例を説明する。
図中符号１は、上面にワツクスを塗布したウエーハＷ
を搬送する搬送コンベアであり、この搬送コンベア１
は、等間隔に４個のウエーハ載置座２を有する回転テー
ブル３の該ウエーハ載置座２の内側まで突出して設置さ
れている。そして、上記回転テーブル３は、その下方に
配置したシリンダ４及びガイド機構５に昇降自在に支持
されており、かつ90゜毎に位置決め停止するようになつ
ている。また、上記各ウエーハ載置座２は、複数の径の
異なる（例えば、4,5,6インチ）ウエーハＷに対応でき
るように、同心状に複数の円弧状の段付部を備えたもの
である。さらに、上記回転テーブル３の、上記搬送コン
ベア１から90゜ずれた位置に、ウエーハ位置決め装置６
が配置されている。このウエーハ位置決め装置６は、ウ
エーハＷを載置して回転させる回転プレート７と、この
回転プレート７の近傍に配置され、ウエーハＷの切欠部
OFの有無を検出するセンサー８とから構成されている。
さらにまた、上記回転テーブル３の、上記搬送コンベア
１の反対側には、所定間隔離間してキヤリアプレートCP
を載置して回転させるキヤリアプレート載置台９が設置
されている。このキヤリアプレート載置台９は、モータ
ー10の回転軸に載置テーブル11が連結されたものであ
る。そして、この載置テーブル11と上記回転テーブル３
との間に、吸着回動アーム12が配置されている。この吸
着回動アーム12は、回転機構13に連結されて、上下に回
動自在に設けられている。また、この吸着回動アーム12
の先端部には、シリンダ14が取付けられており、このシ
リンダ14のピストンロツド14aの先端には、ユニバーサ
ルジヨイント15を介して吸着部16が傾斜可能に連結され
ている。そして、上記吸着部16とピストンロツド14aと
の間には、スプリング17が装着されており、このスプリ
ング17により、吸着部16がシリンダ14のピストンロツド
14aの前方側に押圧されるようになつている。さらに、
上記回転機構13は、スライドシリンダ18によつて左右方
向（第１図と第２図参照）に移動自在に支持されてい
る。
を搬送する搬送コンベアであり、この搬送コンベア１
は、等間隔に４個のウエーハ載置座２を有する回転テー
ブル３の該ウエーハ載置座２の内側まで突出して設置さ
れている。そして、上記回転テーブル３は、その下方に
配置したシリンダ４及びガイド機構５に昇降自在に支持
されており、かつ90゜毎に位置決め停止するようになつ
ている。また、上記各ウエーハ載置座２は、複数の径の
異なる（例えば、4,5,6インチ）ウエーハＷに対応でき
るように、同心状に複数の円弧状の段付部を備えたもの
である。さらに、上記回転テーブル３の、上記搬送コン
ベア１から90゜ずれた位置に、ウエーハ位置決め装置６
が配置されている。このウエーハ位置決め装置６は、ウ
エーハＷを載置して回転させる回転プレート７と、この
回転プレート７の近傍に配置され、ウエーハＷの切欠部
OFの有無を検出するセンサー８とから構成されている。
さらにまた、上記回転テーブル３の、上記搬送コンベア
１の反対側には、所定間隔離間してキヤリアプレートCP
を載置して回転させるキヤリアプレート載置台９が設置
されている。このキヤリアプレート載置台９は、モータ
ー10の回転軸に載置テーブル11が連結されたものであ
る。そして、この載置テーブル11と上記回転テーブル３
との間に、吸着回動アーム12が配置されている。この吸
着回動アーム12は、回転機構13に連結されて、上下に回
動自在に設けられている。また、この吸着回動アーム12
の先端部には、シリンダ14が取付けられており、このシ
リンダ14のピストンロツド14aの先端には、ユニバーサ
ルジヨイント15を介して吸着部16が傾斜可能に連結され
ている。そして、上記吸着部16とピストンロツド14aと
の間には、スプリング17が装着されており、このスプリ
ング17により、吸着部16がシリンダ14のピストンロツド
14aの前方側に押圧されるようになつている。さらに、
上記回転機構13は、スライドシリンダ18によつて左右方
向（第１図と第２図参照）に移動自在に支持されてい
る。
上記のように構成されたウエーハ接着装置において、
ウエーハＷをキヤリアプレートCPに載置接着する場合に
は、まず、搬送コンベア１と回転テーブル３との高さを
合わせた状態で、搬送コンベア１によつて、上面にワツ
クスを塗布したウエーハＷを回転テーブル３のウエーハ
載置座２上に移送する。これにより、上記ウエーハＷ
は、その外周部を上記ウエーハ載置座２の円弧状の段付
部に支持される。この状態において、シリンダ４及びガ
イド機構５によつて、回転テーブル３を持ち上げ、回転
テーブル３を、搬送コンベア１の上方に位置させた状態
で90゜回転させる。この場合、回転テーブル３は、ウエ
ーハ位置決め装置６の回転プレート７及び吸着回動アー
ム12の吸着部16の上方に位置しており、これらの回転プ
レート７及び吸着部16に接触干渉することがない。
ウエーハＷをキヤリアプレートCPに載置接着する場合に
は、まず、搬送コンベア１と回転テーブル３との高さを
合わせた状態で、搬送コンベア１によつて、上面にワツ
クスを塗布したウエーハＷを回転テーブル３のウエーハ
載置座２上に移送する。これにより、上記ウエーハＷ
は、その外周部を上記ウエーハ載置座２の円弧状の段付
部に支持される。この状態において、シリンダ４及びガ
イド機構５によつて、回転テーブル３を持ち上げ、回転
テーブル３を、搬送コンベア１の上方に位置させた状態
で90゜回転させる。この場合、回転テーブル３は、ウエ
ーハ位置決め装置６の回転プレート７及び吸着回動アー
ム12の吸着部16の上方に位置しており、これらの回転プ
レート７及び吸着部16に接触干渉することがない。
そして、90゜回転して停止した回転テーブル３を下降
させることにより、上記ウエーハＷはウエーハ位置決め
装置６の回転プレート７上に載置される。この状態にお
いて、上記回転プレート７を回転させることにより、ウ
エーハＷを回転させると共に、センサー８により、ウエ
ーハＷの切欠部OFの位置を検出する。すなわち、センサ
ー８がウエーハＷの切欠部OFを検出し始めてから検出終
了するまでの時間（あるいはウエーハＷの回転角度）を
計測した後、再度ウエーハＷを回転させて、センサー８
がウエーハＷの切欠部OFを検出し始めてから上記時間
（あるいはウエーハＷの回転角度）の1/2にウエーハＷ
が達した時点で回転プレート７を停止させる。これによ
り、ウエーハＷの切欠部OFは、回転テーブル３の外方側
に位置する。
させることにより、上記ウエーハＷはウエーハ位置決め
装置６の回転プレート７上に載置される。この状態にお
いて、上記回転プレート７を回転させることにより、ウ
エーハＷを回転させると共に、センサー８により、ウエ
ーハＷの切欠部OFの位置を検出する。すなわち、センサ
ー８がウエーハＷの切欠部OFを検出し始めてから検出終
了するまでの時間（あるいはウエーハＷの回転角度）を
計測した後、再度ウエーハＷを回転させて、センサー８
がウエーハＷの切欠部OFを検出し始めてから上記時間
（あるいはウエーハＷの回転角度）の1/2にウエーハＷ
が達した時点で回転プレート７を停止させる。これによ
り、ウエーハＷの切欠部OFは、回転テーブル３の外方側
に位置する。
次いで、回転テーブル３をシリンダ４及びガイド機構
５により持ち上げて、ウエーハＷをウエーハ載置座２に
載置させた後に、回転テーブル３を90゜回転させる。そ
して、回転テーブル３を下降させることにより、上記ウ
エーハＷを吸着回動アーム12の吸着部16上に載置する。
さらに、この吸着部16によりウエーハＷを吸着した後
に、回転機構13によつて吸着回動アーム12を上下方向に
180゜回動させて、キヤリアプレート載置台９に載置さ
れたキヤリアプレートCPの上方に位置させる。続いて、
シリンダ14によつて、吸着部16をキヤリアプレートCPに
接近させ、吸着部16に吸着されたウエーハＷのワツクス
塗布面をキヤリアプレートCPの上面に押し付けて接着す
る。そして、吸着部16によるウエーハＷの吸着を解除さ
せた後、吸着回動アーム12を回転テーブル３側に戻す。
５により持ち上げて、ウエーハＷをウエーハ載置座２に
載置させた後に、回転テーブル３を90゜回転させる。そ
して、回転テーブル３を下降させることにより、上記ウ
エーハＷを吸着回動アーム12の吸着部16上に載置する。
さらに、この吸着部16によりウエーハＷを吸着した後
に、回転機構13によつて吸着回動アーム12を上下方向に
180゜回動させて、キヤリアプレート載置台９に載置さ
れたキヤリアプレートCPの上方に位置させる。続いて、
シリンダ14によつて、吸着部16をキヤリアプレートCPに
接近させ、吸着部16に吸着されたウエーハＷのワツクス
塗布面をキヤリアプレートCPの上面に押し付けて接着す
る。そして、吸着部16によるウエーハＷの吸着を解除さ
せた後、吸着回動アーム12を回転テーブル３側に戻す。
このようにして、１枚のウエーハＷを、キヤリアプレ
ートCPの所定位置に、その切欠部OFをキヤリアプレート
CPの外方に向けた状態で、確実にかつ円滑に接着するこ
とができる。そして、１枚のウエーハＷの接着が完了す
ると、回転テーブル３を持ち上げて90゜回転させると共
に、キヤリア載置台９を所定角度回転させて、次のウエ
ーハＷのキヤリアプレートCPへの接着を連続的に行な
う。さらに、所定枚数のウエーハＷをキヤリアプレート
CP上に載置すると、該キヤリアプレートCPを搬出し、新
しいキヤリアプレートCPをキヤリアプレート載置台９上
に供給して上述した操作を繰り返す。
ートCPの所定位置に、その切欠部OFをキヤリアプレート
CPの外方に向けた状態で、確実にかつ円滑に接着するこ
とができる。そして、１枚のウエーハＷの接着が完了す
ると、回転テーブル３を持ち上げて90゜回転させると共
に、キヤリア載置台９を所定角度回転させて、次のウエ
ーハＷのキヤリアプレートCPへの接着を連続的に行な
う。さらに、所定枚数のウエーハＷをキヤリアプレート
CP上に載置すると、該キヤリアプレートCPを搬出し、新
しいキヤリアプレートCPをキヤリアプレート載置台９上
に供給して上述した操作を繰り返す。
「発明の効果」 以上説明したように、本発明は、ウエーハの下面の外
周部を支持して移送する移送手段と、キヤリアプレート
を載置するキヤリアプレート載置台との間に、上記ウエ
ーハの下面を吸着して上下方向に回動する吸着回動アー
ムを設置し、かつ上記移送手段に、上記ウエーハを回転
させる位置決め装置を設けたものであるから、移送手段
によつて支持されて移送されているウエーハの方向性を
位置決め装置によつてそろえると共に、吸着回動アーム
にウエーハを吸着させて、該吸着回動アームの回動によ
つてウエーハをキヤリアプレート上に載置接着すること
により、ウエーハの方向性をそろえて、かつキヤリアプ
レート上の所定位置に、確実にかつ円滑にウエーハを接
着することができ、ウエーハのキヤリアプレートへの連
続的な自動接着が実現できるという優れた効果を有す
る。
周部を支持して移送する移送手段と、キヤリアプレート
を載置するキヤリアプレート載置台との間に、上記ウエ
ーハの下面を吸着して上下方向に回動する吸着回動アー
ムを設置し、かつ上記移送手段に、上記ウエーハを回転
させる位置決め装置を設けたものであるから、移送手段
によつて支持されて移送されているウエーハの方向性を
位置決め装置によつてそろえると共に、吸着回動アーム
にウエーハを吸着させて、該吸着回動アームの回動によ
つてウエーハをキヤリアプレート上に載置接着すること
により、ウエーハの方向性をそろえて、かつキヤリアプ
レート上の所定位置に、確実にかつ円滑にウエーハを接
着することができ、ウエーハのキヤリアプレートへの連
続的な自動接着が実現できるという優れた効果を有す
る。
第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は平面図、第２図は正面図、第３図はウエーハの
位置決めを説明する説明図である。 ２……ウエーハ載置座 ３……回転テーブル ６……ウエーハ位置決め装置 ９……キヤリアプレート載置台 12……吸着回動アーム Ｗ……ウエーハ OF……切欠部 CP……キヤリアプレート。
第１図は平面図、第２図は正面図、第３図はウエーハの
位置決めを説明する説明図である。 ２……ウエーハ載置座 ３……回転テーブル ６……ウエーハ位置決め装置 ９……キヤリアプレート載置台 12……吸着回動アーム Ｗ……ウエーハ OF……切欠部 CP……キヤリアプレート。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐伯 和憲 千葉県野田市西三ヶ尾金打314 日本シリ コン株式会社野田工場内 (72)発明者 小山 光二 千葉県野田市西三ヶ尾金打314 日本シリ コン株式会社野田工場内
Claims (1)
- 【請求項１】ウエーハをキヤリアプレートに接着するウ
エーハ接着装置において、該ウエーハの下面の外周部を
支持して移送する移送手段と、上記キヤリアプレートを
載置するキヤリアプレート載置台との間に、上記移送手
段に支持されたウエーハの下面を吸着して上下方向に回
動し上記キヤリアプレート載置台上のキヤリアプレート
に移載する吸着回動アームが設置され、かつ上記移送手
段は、上記ウエーハを回転させてその方向性をそろえる
位置決め装置が設けられたことを特徴とするウエーハ接
着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61238792A JPH084983B2 (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | ウエ−ハ接着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61238792A JPH084983B2 (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | ウエ−ハ接着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6393537A JPS6393537A (ja) | 1988-04-23 |
| JPH084983B2 true JPH084983B2 (ja) | 1996-01-24 |
Family
ID=17035348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61238792A Expired - Lifetime JPH084983B2 (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | ウエ−ハ接着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084983B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5224304A (en) * | 1991-11-07 | 1993-07-06 | Speedfam Corporation | Automated free abrasive machine for one side piece part machining |
| US5544997A (en) * | 1993-12-28 | 1996-08-13 | Raynor; Joe W. | Device for expediting the cutting of boxes |
| CN103934811A (zh) * | 2013-01-23 | 2014-07-23 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 转盘定位装置 |
| CN106347992B (zh) * | 2016-08-30 | 2018-08-17 | 上海大学 | 八音琴装配线中产品转向与不合格品分流装置 |
-
1986
- 1986-10-07 JP JP61238792A patent/JPH084983B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6393537A (ja) | 1988-04-23 |
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